WO2009079982A2 - Verfahren zur herstellung von halbleiterchips und halbleiterchip - Google Patents

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    • H01L2924/15786—Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
    • H01L2924/15787—Ceramics, e.g. crystalline carbides, nitrides or oxides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1901—Structure
    • H01L2924/1904—Component type
    • H01L2924/19043—Component type being a resistor

Definitions

  • the present application relates to a method for producing semiconductor chips and a semiconductor chip.
  • Refractive index gradient lead which can cause a mostly undesirable formation of a so-called "thermal lens”.
  • strong temperature increases of the semiconductor laser can cause the optical output power of the semiconductor laser with an increase in the pump power does not increase further (thermal rollover).
  • a plurality of semiconductor bodies is provided on a substrate, wherein the semiconductor bodies are spaced apart by gaps.
  • a structured carrier is provided having a plurality of protrusions.
  • the patterned carrier is positioned relative to the substrate such that the bumps of the patterned carrier extend into the spaces between the semiconductor bodies.
  • a mechanically stable composite is made comprising the substrate and the structured support. The composite is singulated into a plurality of semiconductor chips.
  • the method need not necessarily be performed in the above order.
  • semiconductor chips can be produced in a simplified manner, which comprise a part of the structured carrier and expediently in each case a semiconductor body.
  • a chip carrier is formed, which mechanically stabilizes the semiconductor body.
  • the surveys are intended in particular for the mechanical stabilization of the chip carriers.
  • the chip carriers can be made very thin.
  • semiconductor chips can be produced in which the thermal resistance of the chip carrier is reduced, as a result of which the heat generated during operation of the semiconductor chip can be improvedly removed from the semiconductor body.
  • the efficiency of radiation production can be increased in this way.
  • the risk of formation of a thermal lens in the semiconductor body can be reduced.
  • the mounting of the semiconductor chips can be carried out, for example, in a housing for an optoelectronic component or on a mounting carrier, for example a printed circuit board.
  • the semiconductor bodies preferably each have a semiconductor layer sequence, which furthermore preferably comprises an active region provided for generating radiation.
  • the semiconductor layer sequence is preferably deposited epitaxially, for example by means of MBE or MOVPE, on a growth substrate.
  • the structured carrier is structured in a lattice-like manner by means of the elevations. This is expedient in particular in the case of a matrix-shaped arrangement of the semiconductor chips on the substrate.
  • the singulation of the composite preferably takes place in the region of the elevations of the structured carrier.
  • a semiconductor chip with a chip carrier can be produced in which the chip carrier has an increased thickness in the edge region.
  • the chip carrier can have a frame-like reinforcement which can circulate the semiconductor body in a lateral direction, preferably completely.
  • a low thermal resistance of the chip carrier at the same time good mechanical stability can be achieved so simplified.
  • the elevations are formed by area-wise removal of the carrier material between the elevations.
  • the elevations are preferably formed by microstructuring, for example mechanically, for example by means of sawing, or chemically, for example by wet-chemical or dry-chemical etching.
  • the structured carrier preferably contains a material with high thermal conductivity. Furthermore, the carrier material is preferably reliable and structurable in a simple manner.
  • a carrier which contains a semiconductor material or consists of a semiconductor material is suitable.
  • a carrier based on semiconductor material is characterized by a simplified structurability and can furthermore be thinned in a simplified manner.
  • the structured carrier may contain or consist of silicon, germanium or gallium arsenide.
  • silicon is characterized by a good microstructibility and is available as a large-area and inexpensive carrier material.
  • the composite Before the singulation, the composite preferably has an interface on which the semiconductor bodies are arranged and furthermore preferably fixed.
  • the elevations are preferably arranged on the same side of the interface as the semiconductor bodies.
  • the elevations may project beyond the semiconductor bodies in a direction perpendicular to the interface.
  • the composite is thinned on the side of the interface facing away from the semiconductor bodies.
  • the thickness of the chip carrier below the semiconductor body can thus be further reduced in the composite.
  • the expansion of the composite perpendicular to the interface on the side facing away from the semiconductor bodies after thinning is between 5 ⁇ m and 70 ⁇ m inclusive, preferably between 10 ⁇ m and 50 ⁇ m inclusive, more preferably between 10 ⁇ m and 30 ⁇ m inclusive ,
  • it is along a larger extent This direction promoted the mechanical stability of the chip carrier.
  • the expansion of the composite perpendicular to the interface on the side facing the semiconductor bodies of the interface after thinning is greater than on the side facing away from the semiconductor bodies.
  • the expansion of the composite perpendicular to the interface on the side of the interface facing the semiconductor body after thinning is at least 1.5 times, particularly preferably at least twice as large, as on the side facing away from the semiconductor body.
  • the mechanical stability of the chip carrier at the same time good heat dissipation can be further increased.
  • the interface is formed by means of the structured carrier.
  • the semiconductor bodies are thus arranged on the structured carrier.
  • chip carriers formed by the structured carrier can each be made in one piece.
  • the elevations in the manufacture of the composite are spaced from the substrate.
  • the Positioning of the substrate with the semiconductor bodies relative to the structured carrier can thus take place in such a way that the semiconductor bodies are fastened to the interface, wherein the elevations do not extend completely into the interstices of the substrate.
  • the mechanical connection of substrate and structured carrier can therefore take place exclusively via the semiconductor body.
  • the intermediate spaces are formed such that these intermediate spaces extend into the substrate.
  • the substrate is thus already pre-structured in forming the composite.
  • the gaps extend at least 10 microns, more preferably at least 20 microns into the substrate.
  • the substrate may be the growth substrate for the semiconductor layer sequence.
  • the interstices thus extend not only into the, preferably epitaxially grown semiconductor layer sequence of the semiconductor body, but also into the growth substrate.
  • the lateral arrangement of the interstices and the elevations is expediently adapted to one another in such a way that the substrate and the structured carrier can mesh in a comb-like manner.
  • the growth substrate can be thinned or removed at least in certain areas.
  • the semiconductor body can in this case by means of the structured Support mechanically stabilized. The growth substrate is no longer necessary for this.
  • a semiconductor chip in which the growth substrate is at least partially thinned or removed is also referred to as a thin-film semiconductor chip.
  • a thin-film semiconductor chip for example a thin-film light-emitting diode chip, can furthermore be distinguished in the context of the present application by at least one of the following characteristic features:
  • a mirror layer is applied or integrated, for example as a Bragg mirror in the semiconductor layer sequence, which at least a part of the radiation generated in the semiconductor layer sequence is reflected back into it;
  • the semiconductor layer sequence has a thickness in the range of 20 ⁇ m or less, in particular in the range of 10 ⁇ m; and / or the semiconductor layer sequence contains at least one semiconductor layer having at least one surface which has a thorough mixing structure which is preferably designed as an optical mixing structure and which furthermore leads, in the ideal case, to an approximately ergodic distribution of the light in the semiconductor layer sequence, ie it has as ergodically stochastic as possible Scattering behavior on.
  • the structured support is thinned in a composite in such a way that the thickness of the structured support in the region between the elevations is between 5 ⁇ m and 70 ⁇ m inclusive, preferably between 10 ⁇ m and 50 ⁇ m inclusive, particularly preferably between 10 ⁇ m inclusive and including 30 ⁇ m.
  • the thickness of the structured carrier which is decisive for the heat dissipation in the operation of the semiconductor chips can be reduced by the thinning, whereby the performance of the semiconductor chips can be increased.
  • a bonding layer is applied to the semiconductor body and / or to the interface, such as on the structured carrier between the elevations, prior to the production of the mechanically stable composite.
  • the bonding layer may include, for example, a solder or an adhesive.
  • a wetting layer can be provided between the interface and the semiconductor bodies.
  • the wetting layer By the wetting layer, a mechanically stable attachment of the semiconductor body can be achieved in a simplified manner.
  • the bonding layer can be applied to the semiconductor bodies and the wetting layer applied to the boundary surface or vice versa.
  • the interface is formed by means of the substrate.
  • the semiconductor bodies are preferably already arranged on the substrate prior to the production of the mechanically stable composite and are furthermore preferably fastened to the latter.
  • the substrate is preferably different from the growth substrate for the semiconductor layer sequence. After the attachment of the semiconductor bodies, the growth substrate for the semiconductor layer sequence can be removed or thinned in regions or completely.
  • the semiconductor bodies can be mechanically stabilized by the substrate.
  • the substrate preferably contains a material having a high thermal conductivity.
  • the substrate may contain or consist of a semiconductor, such as silicon, germanium or gallium arsenide.
  • the substrate may contain a metal, such as nickel, molybdenum or tantalum, or consist of metal.
  • a metal such as nickel, molybdenum or tantalum, or consist of metal.
  • the substrate may also contain a ceramic such as aluminum nitride or boron nitride.
  • a ceramic material can have a high mechanical stability with simultaneously high thermal conductivity.
  • the structured carrier in the composite in the region between the elevations spaced from the semiconductor bodies.
  • the structured carrier in the composite therefore, does not directly adjoin the semiconductor bodies.
  • the elevations of the structured carrier are preferably connected in a material-bonded manner to the substrate during production of the composite.
  • the, preferably prefabricated, connection partners are held together by means of atomic and / or molecular forces.
  • the cohesive connection is preferably formed by means of a fastening layer, for example an adhesive or a solder. The elevations can thus be connected to the substrate by means of the attachment layer when the composite is produced.
  • the structured carrier is completely removed in the region between the elevations after the composite has been produced. Thus, only the elevations of the structured carrier remain in the composite.
  • the chip carrier may be formed by means of the substrate and the projections secured to the substrate by means of the connection layer.
  • the chip carrier can be formed in such a way that the substrate on which the semiconductor body is arranged can be largely thinned. The risk of breakage for such a thin substrate is reduced by means of the reinforcement by the elevations.
  • the substrate is thinned in a composite such that the thickness of the substrate is between 5 ⁇ m and 70 ⁇ m inclusive, preferably between 10 ⁇ m and 50 ⁇ m inclusive, particularly preferably between 10 ⁇ m and 10 ⁇ m inclusive including 30 microns, is.
  • the thickness of the chip carrier below the semiconductor chip can thus be reduced in a simple manner. Heat generated during operation in the semiconductor body, in particular in the active region, can thus be removed from the semiconductor chip in an improved manner through the chip carrier. Through improved heat dissipation, the temperature in the semiconductor body, in particular in the active region, can be lowered during operation. Thermal induced losses in radiation production, for example due to increased non-radiative recombination, can thus be reduced. Furthermore, the formation of a thermal lens in the semiconductor body can be reduced.
  • the thinning of the composite in particular the thinning of the substrate and / or the thinning of the structured support, and / or optionally the removal or thinning of the growth substrate, may in particular be mechanical, for example by means of grinding, lapping or polishing and / or chemical, for example by wet chemical or dry chemical Etching, done.
  • coherent radiation can also be used, for example in a laser lift-off method (LLO).
  • a semiconductor chip has, according to one embodiment, a semiconductor body and a chip carrier with an interface. On the interface of the semiconductor body is attached.
  • the chip carrier has, on the side of the interface facing the semiconductor body, at least one elevation which projects beyond the semiconductor body in a direction perpendicular to the boundary surface.
  • the semiconductor body preferably has a semiconductor layer sequence, which furthermore preferably comprises an active region.
  • the survey is intended to mechanically stabilize the chip carrier.
  • the elevation is designed such that the chip carrier has a small thickness in the region below the semiconductor body. The dissipation of heat generated during operation of the semiconductor chip through the chip carrier is thus improved.
  • the at least one elevation circumscribes the semiconductor chip in the lateral direction.
  • the survey can therefore be executed like a frame.
  • a thickness of the chip carrier is preferably between 5 ⁇ m and 70 ⁇ m inclusive, more preferably between 10 ⁇ m and 50 ⁇ m inclusive, most preferably between 10 ⁇ m and 30 ⁇ m inclusive.
  • the thickness of conventional planar chip carriers based on semiconductor material is at least 100 .mu.m to provide sufficient mechanical To ensure stability.
  • the thickness of the chip carrier described with respect to the edge regions of the chip carrier is reduced. Even with the same overall height of the chip carrier so the heat dissipation from the semiconductor body can be significantly improved.
  • the extension of the chip carrier is greater perpendicular to the interface on the side of the interface facing the semiconductor body than on the side facing away from the semiconductor body.
  • the mechanical stability of the chip carrier is thus achieved predominantly by means of the at least one elevation, which, viewed from the interface, is arranged on the semiconductor body side.
  • the extent of the chip carrier perpendicular to the interface on the side of the interface facing the semiconductor body is preferably at least 1.5 times, particularly preferably at least twice, the size of the chip carrier on the side of the interface facing away from the semiconductor body.
  • the maximum lateral extent of the elevation in the cross section is preferably between 50 ⁇ m inclusive and 1 mm inclusive, more preferably between 100 ⁇ m and 300 ⁇ m inclusive.
  • the chip carrier in particular the elevation, preferably contains a semiconductor material, such as silicon, germanium or gallium arsenide or consists of such a semiconductor material.
  • silicon is characterized by a good microstructure.
  • the chip carrier has at least two parts which are connected to one another in a material-locking manner, in particular via a fastening layer.
  • the interface preferably runs in a parting plane between the parts of the chip carrier.
  • the chip carrier can, for example, have a carrier part and a stabilization part, wherein a main surface of the carrier part forms the interface on which the semiconductor body is arranged.
  • The, preferably frame-like running, stabilizing part may be formed by means of the survey and further arranged on the same main surface of the support member as the semiconductor chip.
  • the stabilizing member and the support member may be different from each other in material.
  • the material for the stabilization part can be selected for good structurability and the material for the carrier part can be chosen for a high thermal conductivity.
  • the stabilization part preferably contains one of the semiconductor materials, in particular silicon, mentioned in connection with the structured carrier, or consists of such a material.
  • the carrier part may contain or consist of one of the materials mentioned in connection with the substrate, for example a semiconductor such as, for example, germanium, a ceramic or a metal or consist of such a material.
  • the stabilizing member and the support member may be made similar in material.
  • chip carrier is integrally formed.
  • a fastening layer between the carrier part and the stabilizing part can be dispensed with.
  • the at least one elevation on the part of the semiconductor body on a side edge which is perpendicular to the interface can be produced in particular by means of dry chemical etching.
  • the lateral extent of the chip carrier can be minimized for the same size of the semiconductor body.
  • the at least one elevation on the part of the semiconductor body may have a side flank which extends at an angle other than 90 ° to the boundary surface.
  • the elevation hereby tapers with increasing distance to the interface.
  • the angle to the interface is preferably between 30 ° and 60 ° inclusive.
  • Such a side flank can be produced in a simple manner, in particular by means of wet-chemical etching.
  • the chip carrier on the side facing away from the semiconductor body of the interface on a mounting surface, which is provided for the attachment of the semiconductor chip.
  • the chip carrier is so arranged between the mounting surface and the semiconductor body.
  • the semiconductor chip is preferably provided for generating radiation.
  • the semiconductor chip can be optically pumped during operation or generate radiation when an external electrical voltage is applied.
  • the semiconductor chip contains a III-V compound semiconductor material.
  • Compound semiconductor materials are particularly suitable for generating radiation from the ultraviolet to the visible to the infrared spectral range.
  • the semiconductor chip can be provided for generating coherent radiation and be embodied, for example, as a surface-emitting semiconductor laser, for example as a VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser), as a VECSEL (Vertical External Cavity Surface Emitting Laser) or as a disk laser (disk laser). Furthermore, the semiconductor chip may also be formed as an edge-emitting semiconductor laser.
  • a surface-emitting semiconductor laser for example as a VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser), as a VECSEL (Vertical External Cavity Surface Emitting Laser) or as a disk laser (disk laser).
  • the semiconductor chip may also be formed as an edge-emitting semiconductor laser.
  • the semiconductor chip may also be provided for generating incoherent radiation.
  • the semiconductor chip for example, as
  • Lumineszenzdiodenchip be designed as a light-emitting diode chip (LED chip).
  • the semiconductor chip can be designed, for example, as an RCLED chip (resonant cavity light emitting diode).
  • RCLED chip resonant cavity light emitting diode
  • the method described above is particularly suitable for producing the described semiconductor chip. Therefore, features described in connection with the method can also be used for the semiconductor chip and vice versa.
  • FIGS. 1A to 1C show a first exemplary embodiment of a method for producing a plurality of semiconductor chips on the basis of intermediate steps shown schematically in a sectional view;
  • FIGS. 2A to 2F show a second exemplary embodiment of a method for producing a plurality of semiconductor chips on the basis of intermediate steps shown schematically in sectional view;
  • Figures 3A and 3B show a first embodiment of a semiconductor chip in a schematic sectional view ( Figure 3A) and in associated supervision ( Figure 3B).
  • Figures 4A and 4B show a second embodiment of a semiconductor chip in a schematic sectional view ( Figure 4A) and associated supervision ( Figure 4B).
  • FIG. 1A shows a detail of a substrate 8 on which a plurality of semiconductor bodies 2 are provided.
  • two semiconductor body 2 are arranged side by side.
  • the semiconductor bodies 2 preferably each comprise a semiconductor layer sequence.
  • An active region provided for generating radiation may be formed in the semiconductor layer sequence (not explicitly shown).
  • the semiconductor layer sequence is preferably produced epitaxially, for example by means of MOVPE or MBE.
  • the substrate 8 can serve as a growth substrate for the semiconductor layer sequence of the semiconductor body 2. Deviating from the semiconductor bodies can also be provided on a substrate which is different from the growth substrate.
  • the semiconductor bodies 2 are spaced apart from each other by gaps 25 in the lateral direction.
  • the intermediate spaces 25 extend into the substrate 8 on the side of the semiconductor body.
  • the interspaces may extend at least 10 microns, preferably at least 20 microns into the substrate.
  • the intermediate spaces 25 can in particular be produced chemically, for example by wet-chemical or dry-chemical etching.
  • a connection layer 4 is formed on the side facing away from the substrate 8 of the semiconductor body 2.
  • the connecting layer 4 can be embodied, for example, as a solder layer and can furthermore preferably contain a metal, for example gold, tin or indium, or a metallic alloy, in particular with at least one of the metals mentioned.
  • a metal for example gold, tin or indium, or a metallic alloy, in particular with at least one of the metals mentioned.
  • FIG. 1A shows a section of a structured carrier 33 which has a plurality of elevations 35.
  • the elevations are preferably produced by microstructuring, wherein the carrier material of a preferably flat carrier between the elevations is removed.
  • the removal can be effected, for example, mechanically and / or chemically, for example by wet-chemical or dry-chemical etching.
  • the structured support preferably contains or consists of a material which is characterized by good microstructibility, good thermal conductivity and / or high mechanical stability.
  • the structured support preferably contains a semiconductor material or consists of a semiconductor material.
  • a semiconductor material for example, silicon, germanium or gallium arsenide is suitable.
  • the structured carrier 33 has an interface 30, which is provided for the attachment of the semiconductor bodies 2 to the structured carrier 33.
  • a wetting layer 45 is formed on the interface.
  • the wetting layer can be a mechanically stable attachment the semiconductor body 2 can be produced in a simplified manner on the structured carrier 33.
  • the wetting layer 45 may be formed in the region between the elevations 35 or extend over the entire surface of the structured carrier.
  • the substrate 8 with the intermediate spaces 25 already formed between the semiconductor bodies 2 and the structured carrier are positioned relative to one another such that the elevations 35 of the structured carrier 33 extend into the intermediate spaces 25.
  • the substrate 8 and the structured carrier 33 thus engage in one another like a comb.
  • a mechanically stable composite 38 is produced, which comprises the structured carrier 33 and the substrate 8.
  • the extension of the elevations 35 in the vertical direction that is to say in a direction perpendicular to a main extension plane of the structured carrier 33, is adapted to the intermediate spaces 25 such that the elevations 35 are spaced from the substrate 8 in a composite manner.
  • the substrate 8 is thus mechanically connected only via the semiconductor body 2 with the structured carrier 33. Subsequent removal of the substrate 8 is thus simplified.
  • the elevations 35 are therefore already formed prior to the production of the composite 38.
  • the elevations may have side edges 350 on the side of the semiconductor body which run obliquely to the boundary surface 30.
  • the angle to the interface is between 30 ° and 60 ° inclusive.
  • an angle of approximately 54 ° can be produced in a simple manner.
  • the remaining part of the substrate can be removed in a subsequent, preferably chemical, step. This can be done for example by wet-chemical or dry chemical etching. After removal of the substrate 8, adjacent semiconductor bodies 2 are mechanically connected to one another only via the structured carrier 33.
  • the elevations 35 project beyond the semiconductor bodies 2.
  • the structured carrier 33 now serves for mechanical stabilization of the semiconductor bodies 2.
  • the substrate 8 is no longer necessary for this purpose.
  • the structured carrier 33 can be thinned.
  • the structured support is preferably thinned in such a way that the thickness of the structured support in the region between the elevations is between 5 ⁇ m and 70 ⁇ m inclusive, preferably between 10 ⁇ m and 50 ⁇ m inclusive, most preferably between 10 ⁇ m and 30 ⁇ m inclusive. is.
  • the elevations 35 serve in this case the mechanical stabilization of the structured carrier.
  • the structured carrier can thus be thinned to a thickness at which a sufficient mechanical stability without the Surveys, in the case of a flat carrier, would no longer be guaranteed.
  • the expansion of the composite 38 after thinning may be greater on the side facing the semiconductor bodies 2 than on the side facing away from the semiconductor bodies.
  • the expansion of the composite perpendicular to the interface on the side of the interface facing the semiconductor body after thinning is preferably at least 1.5 times as large, particularly preferably at least twice as large, as on the side facing away from the semiconductor bodies.
  • Mounting layers 6 can be formed on the thinned structured carrier 33 on the side facing away from the semiconductor bodies 2.
  • each region of the composite 38, from which a semiconductor chip emerges preferably has an assembly layer in each case.
  • the mounting layer is provided for a simplified attachment of the semiconductor chips, for example on a printed circuit board, a heat sink or in a housing for an optoelectronic component.
  • the mounting layer preferably contains a metal, for example gold, platinum, titanium, silver, aluminum or indium, or a metallic alloy with at least one of said materials.
  • the composite 38 is singulated into a plurality of separate semiconductor chips 1.
  • the separation can be done for example by means of splitting, breaking or sawing. Also a chemical process, about wet-chemical or dry-chemical etching, can be used for singulation.
  • the separation takes place here in the areas of the structured carrier 33, in which the elevations 35 are formed.
  • a sufficient mechanical stability of the structured carrier 33 can be ensured in a simple manner.
  • the attachment of the semiconductor body 2 to the respective chip carriers 3 can thus take place in the wafer process in the described method, so that a multiplicity of semiconductor chips can be produced simultaneously by the method.
  • a second exemplary embodiment of a method for producing a plurality of semiconductor chips is illustrated by means of the intermediate steps illustrated in schematic sectional view in FIGS. 2A to 2F.
  • a plurality of semiconductor bodies 2 which are arranged next to one another are provided on a substrate 8.
  • the semiconductor bodies are each spaced apart by gaps 25.
  • the intermediate spaces 25 extend up to an interface 30 on which the semiconductor bodies 2 are arranged.
  • the semiconductor bodies 2 are fastened to the substrate 8 by means of a connection layer 4.
  • the substrate 8 is thus different from the growth substrate for the semiconductor layer sequence of the semiconductor body 2.
  • the substrate preferably contains a material having a high thermal conductivity.
  • the substrate may contain or consist of a semiconductor, such as silicon, germanium or gallium arsenide.
  • the substrate may contain a metal, such as nickel, molybdenum or tantalum, or consist of metal.
  • a metal such as nickel, molybdenum or tantalum, or consist of metal.
  • the substrate may also contain a ceramic such as aluminum nitride or boron nitride.
  • a ceramic material can have a high mechanical stability with simultaneously high thermal conductivity.
  • the fixing of the semiconductor body 2 to the, preferably flat, substrate 8 can take place here in the wafer composite. That is, after the epitaxial growth of the semiconductor layer sequence, from which the semiconductor bodies 2 emerge, on the growth substrate, the semiconductor layer sequence is attached to the substrate 8. After attachment to the substrate 8, the growth substrate can be removed from the semiconductor layer sequence so that the semiconductor layer sequence remains on the substrate 8.
  • the removal of the growth substrate may be mechanical and / or chemical. Coherent radiation can also be used, for example in a laser lift-off method.
  • the gaps 25 may be formed by wet-chemical or dry-chemical etching.
  • a contact layer 7 is arranged on the semiconductor bodies 2.
  • the contact layer 7 serves for external electrical contacting of the semiconductor bodies 2.
  • the contact layer can be produced, for example, by means of vapor deposition or sputtering, and furthermore preferably contains a metal or a metallic alloy. In particular, in semiconductor chips, which are not intended for operation with an electrical external voltage, can also be dispensed with this contact layer.
  • the semiconductor bodies 2 after the removal of the growth substrate further manufacturing steps can be performed on the semiconductor bodies 2.
  • the surface of the semiconductor bodies 2 which faces away from the substrate 8 in each case can be provided with a roughening.
  • the coupling-out efficiency of the radiation generated can thus be improved.
  • a structured carrier 33 which has a plurality of elevations 35.
  • the structuring of the structured carrier 33 can in this case be carried out in particular as described in connection with FIG. 1A.
  • Elevations 35 with vertically extending side edges 350 are preferably produced by dry chemical etching.
  • the structured carrier 33 and the substrate 8 are positioned relative to one another such that the elevations 35 extend into the intermediate spaces 25.
  • the structured carrier 33 and the substrate 8 become cohesive by means of a fastening layer 5 connected with each other.
  • the attachment layer may include, for example, an adhesive or a solder.
  • the interface 30 on which the semiconductor bodies 2 are arranged is formed by means of a planar surface of the substrate 8.
  • the elevations 35 and the semiconductor bodies 2 are arranged on this boundary surface 30 of the substrate 8.
  • the structured carrier 33 is spaced apart from the semiconductor bodies in the area between the elevations 35.
  • the semiconductor body 2 and the structured carrier 33 are therefore mechanically connected to one another only via the substrate 8 and the attachment layer 5.
  • the substrate 8 can be thinned on the side of the interface facing away from the semiconductor bodies 2.
  • a composite 38 with a thinned substrate is shown schematically in FIG. 2C.
  • the substrate 8 is preferably thinned in a composite such that the thickness of the substrate is between 5 ⁇ m and 70 ⁇ m inclusive, preferably between 10 ⁇ m and 50 ⁇ m inclusive, more preferably between 10 ⁇ m and 30 ⁇ m inclusive.
  • the substrate 8 can be thinned to a thickness which would no longer be sufficient for a planar substrate without the elevations for sufficient mechanical stabilization.
  • the substrate can also already be provided in the desired final thickness. This is particularly useful for a substrate that can be thinned only comparatively difficult, such as for a metal-containing or ceramic-containing substrate.
  • an assembly layer 6 are applied. This is shown schematically in FIG. 2D.
  • the structured support 35 is thinned in such a way that the structured support in the area between the elevations 35 is completely removed.
  • This regional removal of the structured carrier can be carried out mechanically and / or chemically.
  • the composite 38 is singulated into a plurality of semiconductor chips 1.
  • the singulation can be done as described in connection with FIG.
  • the mounting layers 6 may be applied before the structured carrier 33 is thinned.
  • Figures 3A and 3B show a first embodiment of a semiconductor chip in a schematic sectional view ( Figure 3A) and in associated schematic plan view ( Figure 3B).
  • the semiconductor chip 1 comprises a semiconductor body 2 and a chip carrier 3.
  • the chip carrier is thus part of the Semiconductor chips and stabilizes the semiconductor body 2 mechanically.
  • the chip carrier 3 is flat. Mounting of the semiconductor chip is thus simplified.
  • the semiconductor body 2 comprises a semiconductor layer sequence which has an active region provided for generating radiation (not explicitly shown).
  • the semiconductor layer sequence can form the semiconductor body.
  • a growth substrate for the semiconductor layer sequence of the semiconductor body may be removed.
  • the semiconductor chip 1 can therefore be designed as a thin-film semiconductor chip.
  • the semiconductor body 2 is arranged on a boundary surface 30 of the chip carrier 3 by means of a connection layer 4.
  • the chip carrier 3 has an elevation 35, which rotates the semiconductor body 2 in the lateral direction.
  • the survey 35 is executed here as a frame-like stabilization. In the vertical direction, the elevation 35 projects beyond the semiconductor body 2.
  • the chip carrier 3 is mechanically stabilized by means of the elevation 35.
  • the region of the chip carrier, which is formed below the semiconductor body 2 can be particularly thin with good mechanical stability.
  • the chip carrier is in the region below the semiconductor body between 5 microns inclusive and including 70 microns, preferably between 10 microns inclusive and including 50 microns, most preferably between 10 microns inclusive and including 30 microns, thick.
  • the thinner the chip carrier 3 is in this area the better the heat generated during operation of the semiconductor chip can be removed from the semiconductor body 2.
  • the temperature of the semiconductor body, In particular, the active area can be reduced so simplified in operation.
  • the vertical extension of the chip carrier on the semiconductor body side facing the interface 30, so the height of the elevation 35 is preferably at least 1.5 times, more preferably at least twice as large as on the side facing away from the semiconductor body.
  • the vertical extent of the elevation can be between 50 ⁇ m and 80 ⁇ m, while the vertical extent of the chip carrier 3 below the semiconductor body 2 has a thickness of only 10 ⁇ m to 30 ⁇ m.
  • the total height of the chip carrier is thus about 100 microns.
  • the chip carrier 3 therefore has a greater vertical extent on the semiconductor body side than on the opposite side of the interface.
  • the decisive for the heat dissipation thickness of the chip carrier is thus reduced.
  • the chip carrier has a sufficiently high mechanical stability in order to fasten the semiconductor chip to a mounting position provided for the semiconductor chip.
  • the attachment of the semiconductor chip 1 can be carried out, for example, on a printed circuit board, on a heat sink or in a housing for an optoelectronic component.
  • the chip carrier 3 is made in one piece in this embodiment. Furthermore, the chip carrier 3 preferably contains a material with a high thermal conductivity and at the same time good micromechanical structurability. Particularly preferably, the chip carrier 3 contains silicon or consists of silicon. Silicon is characterized by a particularly good, such as mechanical or chemical, structurability. Other semiconductor materials, such as germanium or gallium arsenide can be used.
  • the semiconductor chip On the side of the chip carrier 3 facing away from the semiconductor body 2, the semiconductor chip has an assembly layer 6.
  • the mounting layer serves to simplify the mountability of the semiconductor chip.
  • the chip carrier 3 has a side edge 350 which extends obliquely to the interface 30.
  • the elevation tapers with increasing distance to the interface.
  • the elevation 35 preferably has, in cross section, an extension that is small in comparison to the lateral extent of the semiconductor body 2.
  • the maximum lateral extent of the elevation 35 in cross-section is preferably between 50 ⁇ m and 1 mm inclusive, more preferably between 100 ⁇ m and 300 ⁇ m inclusive.
  • the semiconductor body 2 preferably fills the largest possible part of the base area of the chip carrier 3. The larger this ratio, the greater the proportion of the semiconductor chip area in which radiation can be effectively generated.
  • the semiconductor body 2 preferably covers at least 10% of the base area of the chip carrier.
  • the base area of the chip carrier may be a size of approximately 0.7 ⁇ 0.7 mm 2 for a size of the semiconductor body of 0.3 ⁇ 0.3 mm 2 . This corresponds to a coverage of about 18%.
  • the semiconductor body 2, in particular the active region, preferably contains a III-V semiconductor material.
  • III-V semiconductor materials are for generating radiation in the ultraviolet (In x Ga y Al 1-xy N) through the visible (In x Ga y Al xy N, particularly for blue to green radiation, or In x Ga 7 Ali - xy P, especially for yellow to red radiation) to the infrared (In x Ga y Ali -xy As) spectral range particularly suitable.
  • O ⁇ x ⁇ l, O ⁇ y ⁇ l and x + y ⁇ 1 in particular with x ⁇ I 1 Y ⁇ 1, x ⁇ 0 and / or y ⁇ 0.
  • the semiconductor chip is provided for generating coherent radiation and as a surface emitting semiconductor laser, such as a VECSEL or as a disk laser executed.
  • a surface emitting semiconductor laser such as a VECSEL or as a disk laser executed.
  • the semiconductor body can be optically pumped. Electrical contacts, via which an external electrical voltage can be applied to the semiconductor body, are therefore not required.
  • Heat generated in the active region of the semiconductor body 2 during operation of the semiconductor chip 1 may pass through the chip carrier 3 are effectively removed from the semiconductor body.
  • the temperature of the active area is thereby lowered.
  • the risk of premature thermal rollover is thus reduced.
  • the formation of a thermal lens in the semiconductor body can be prevented or at least reduced.
  • the semiconductor body 2 can be optically pumped in a simplified manner from an obliquely to the vertical direction due to the oblique side edges 350.
  • FIGS. 4A and 4B show a further exemplary embodiment of a semiconductor chip 1 in a schematic sectional view (FIG. 4A) and associated schematic plan view (FIG. 4B).
  • This second embodiment substantially corresponds to the first embodiment described in connection with FIGS. 3A and 3B.
  • the semiconductor body 2 is provided for the conversion of electrical energy into optical radiation power.
  • charge carriers can be injected into the semiconductor body 2 via a contact layer 7 and via an assembly layer 6 from opposite sides.
  • the chip carrier 3 is preferably designed to be electrically conductive for this purpose.
  • the chip carrier 3 is designed in several pieces and has a carrier part 31 and a stabilizing part 32.
  • the support member 31 and the stabilizing member 32 are mechanically stable connected to each other via a fastening layer 5.
  • the Stabilization part 32 is formed by means of a survey 35.
  • the elevation 35 has a vertically extending side flank 350, which faces the semiconductor body 2.
  • the base area of the chip carrier 3 can thus be reduced in a plan view of the semiconductor chip with the same area of the semiconductor body 2. In other words, the effective area in which radiation is generated in the semiconductor chip can be increased with the same size of the semiconductor chip.
  • the attachment layer 5 extends along a parting plane in which the interface 30 is formed.
  • the stabilizing part 32 and the semiconductor body 2 are arranged on the same surface of the support part 31. That is, the semiconductor chip 1 is configured such that the semiconductor body 2 and the stabilization part 32 effecting the mechanical stability of the semiconductor chip 1 are arranged on the same side of the interface on which the semiconductor body is mounted.
  • the mechanical stabilization of the semiconductor body in a conventional semiconductor chip is effected by a thick carrier which is arranged below the semiconductor body.
  • the mirror layer 23 preferably has a high reflectivity for the radiation generated in the semiconductor body 2.
  • the mirror layer preferably contains a metal, such as gold, silver, aluminum or rhodium, or a metallic alloy with at least one of said materials.
  • the Mirror layer is preferably deposited on the semiconductor body, such as sputtering or vapor deposition.
  • a barrier layer may be arranged between the mirror layer 23 and the connection layer 4 (not explicitly shown). By means of the barrier layer, diffusion of material of the bonding layer into the mirror layer can be prevented or at least substantially reduced.
  • the barrier layer may contain a metal, in particular at least one metal from the group consisting of titanium, platinum, tungsten and nickel.
  • a Bragg mirror may be formed in the semiconductor body 2 by means of a plurality of semiconductor layer pairs arranged on one another.
  • the semiconductor chip 1 with the described chip carrier 31 is characterized by a particularly low thermal resistance for heat generated in the semiconductor body 2.
  • the heat can be dissipated from the semiconductor chip 1 in a particularly efficient manner.
  • the construction described is therefore particularly suitable for high-performance semiconductor chips, for example for light-emitting diodes with an electrical input power of at least 100 mW, preferably at least 300 mW.
  • the semiconductor chip 1 can in this case also be designed as RCLED.
  • the support part 31 and the stabilizing part 32 may be different with respect to the material used.
  • the stabilizing part 32 may contain silicon or consist of silicon, while the carrier part comprises a semiconductor other than silicon, such as Ge or GaAs, a metal, such as molybdenum, nickel or tantalum, or a ceramic, such as AlN or BN, contain or may consist of such a material.

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Abstract

Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Halbleiterchips (1) angegeben. Eine Mehrzahl von Halbleiterkörpern (2) mit wird auf einem Substrat (8) bereitgestellt, wobei die Halbleiterkörper (2) durch Zwischenräume (25) voneinander beabstandet sind. Ein strukturierter Träger (33) wird bereitgestellt, der eine Mehrzahl von Erhebungen (35) aufweist. Der strukturierte Träger (33) wird relativ zu dem Substrat (8) derart positioniert, dass sich die Erhebungen des strukturierten Trägers (33) in die Zwischenräume (25) zwischen den Halbleiterkörpern (2) hinein erstrecken. Ein mechanisch stabiler Verbund (38) wird hergestellt, der das Substrat (8) und den strukturierten Träger (33) umfasst. Der Verbund (38) wird in eine Mehrzahl von Halbleiterchips (1) vereinzelt. Weiterhin wird ein Halbleiterchip angegeben.

Description

Besehreibung
Verfahren zur Herstellung von Halbleiterchips und Halbleiterchip
Die vorliegende Anmeldung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Halbleiterchips und einen Halbleiterchip.
Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldungen 10 2007 061 469.3 und 10 2008 014 121.6, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.
Beim Betrieb von Halbleiterchips können Verlustprozesse zu einer starken Erwärmung des Halbleiterchips führen. Beispielsweise können bei einem optisch gepumpten Halbleiterlaser, etwa einem VECSEL (Vertical External Cavity Surface Emitting Laser) , in dem für die Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich Temperaturerhöhungen von über 150° auftreten.
In dem Halbleiterchip kann dies zu einem
Brechungsindexgradienten führen, was eine meist unerwünschte Ausbildung einer so genannten "thermischen Linse" hervorrufen kann. Weiterhin können starke Temperatursteigerungen des Halbleiterlasers bewirken, dass die optische Ausgangsleistung des Halbleiterlasers bei einer Steigerung der Pumpleistung nicht weiter zunimmt (thermisches Überrollen) .
Es ist eine Aufgabe, ein Verfahren anzugeben, mit dem Halbleiterchips hergestellt werden können, bei denen im aktiven Bereich erzeugte Wärme verbessert abgeführt werden kann. Weiterhin soll ein Halbleiterchip mit, insbesondere hinsichtlich der Wärmeabfuhr, verbesserten Eigenschaften angegeben werden.
Diese Aufgaben werden durch ein Herstellungsverfahren beziehungsweise durch einen Halbleiterchip gemäß den unabhängigen Patentansprüchen gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Patentansprüche .
Gemäß einer Ausführungsform wird bei einem Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Halbleiterchips eine Mehrzahl von Halbleiterkörpern auf einem Substrat bereitgestellt, wobei die Halbleiterkörper durch Zwischenräume voneinander beabstandet sind. Ein strukturierter Träger wird bereitgestellt, der eine Mehrzahl von Erhebungen aufweist. Der strukturierte Träger wird relativ zu dem Substrat derart positioniert, dass sich die Erhebungen des strukturierten Trägers in die Zwischenräume zwischen den Halbleiterkörpern hinein erstrecken. Ein mechanisch stabiler Verbund wird hergestellt, der das Substrat und den strukturierten Träger umfasst. Der Verbund wird in eine Mehrzahl von Halbleiterchips vereinzelt.
Das Verfahren muss hierbei nicht notwendigerweise in der oben genannten Reihenfolge durchgeführt werden.
Durch das Verfahren können vereinfacht Halbleiterchips hergestellt werden, die einen Teil des strukturierten Trägers und zweckmäßigerweise jeweils einen Halbleiterkörper umfassen. Mittels des strukturierten Trägers wird ein Chipträger gebildet, der den Halbleiterkörper mechanisch stabilisiert . Die Erhebungen sind insbesondere zur mechanischen Stabilisierung der Chipträger vorgesehen. Im Bereich zwischen den Erhebungen, also in den Bereichen, in denen die Halbleiterkörper befestigt werden, können die Chipträger besonders dünn ausgeführt werden. So können Halbleiterchips hergestellt werden, bei denen der thermische Widerstand des Chipträgers verringert ist, wodurch die im Betrieb des Halbleiterchips erzeugte Wärme verbessert aus dem Halbleiterkörper abgeführt werden kann. Die Effizienz der Strahlungserzeugung kann so gesteigert werden. Weiterhin kann die Gefahr einer Ausbildung einer thermischen Linse in dem Halbleiterkörper verringert werden.
Ferner wird durch die Erhebungen eine ausreichende Stabilität gewährleistet, sodass die Halbleiterchips zuverlässig montiert werden können. Die Montage der Halbleiterchips kann beispielsweise in einem Gehäuse für ein optoelektronisches Bauelement oder auf einem Montageträger, etwa einer Leiterplatte, erfolgen.
Die Halbleiterkörper weisen vorzugsweise jeweils eine Halbleiterschichtenfolge auf, die weiterhin bevorzugt einen zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich umfasst. Die Halbleiterschichtenfolge wird vorzugsweise epitaktisch, etwa mittels MBE oder MOVPE, auf einem Aufwachssubstrat abgeschieden.
In einer bevorzugten Ausgestaltung ist der strukturierte Träger mittels der Erhebungen gitterartig strukturiert ausgebildet. Dies ist insbesondere bei einer matrixförmigen Anordnung der Halbleiterchips auf dem Substrat zweckmäßig. Das Vereinzeln des Verbunds erfolgt vorzugsweise im Bereich der Erhebungen des strukturierten Trägers. Auf diese Weise kann ein Halbleiterchip mit einem Chipträger hergestellt werden, bei dem der Chipträger im Randbereich eine erhöhte Dicke aufweist. Mit anderen Worten kann der Chipträger eine rahmenartig ausgebildete Verstärkung aufweisen, die den Halbleiterkörper in lateraler Richtung, vorzugsweise vollständig, umlaufen kann. Ein geringer thermischer Widerstand des Chipträgers bei gleichzeitig guter mechanischer Stabilität kann so vereinfacht erzielt werden.
In einer bevorzugten Ausgestaltung werden die Erhebungen durch bereichsweises Entfernen des Trägermaterials zwischen den Erhebungen ausgebildet. Bevorzugt erfolgt das Ausbilden der Erhebungen mittels Mikrostrukturierung, etwa mechanisch, beispielsweise mittels Sägens, oder chemisch, beispielsweise mittels nasschemischen oder trockenchemischen Ätzens.
Der strukturierte Träger enthält vorzugsweise ein Material mit hoher thermischer Leitfähigkeit. Weiterhin ist das Trägermaterial vorzugsweise zuverlässig und auf einfache Weise strukturierbar.
Insbesondere eignet sich ein Träger, der ein Halbleitermaterial enthält oder aus einem Halbleitermaterial besteht. Gegenüber metallischen Trägern zeichnet sich ein auf Halbleitermaterial basierender Träger durch eine vereinfachte Strukturierbarkeit aus und kann weiterhin vereinfacht gedünnt werden. Beispielsweise kann der strukturierte Träger Silizium, Germanium oder Galliumarsenid enthalten oder aus einem solchen Material bestehen. Insbesondere Silizium zeichnet sich durch eine gute Mikrostrukturierbarkeit aus und ist als großflächiges sowie kostengünstiges Trägermaterial verfügbar .
Vor dem Vereinzeln weist der Verbund vorzugsweise eine Grenzfläche auf, auf der die Halbleiterkörper angeordnet und weiterhin bevorzugt befestigt sind. Die Erhebungen sind vorzugsweise auf derselben Seite der Grenzfläche angeordnet wie die Halbleiterkörper.
In dem Verbund können die Erhebungen die Halbleiterkörper in einer senkrecht zur Grenzfläche verlaufenden Richtung überragen. Je größer die senkrechte Ausdehnung der Erhebungen ist, desto stabiler kann der Halbleiterchip ausgeführt werden, ohne hierbei den thermischen Widerstand des Chipträgers zu vergrößern.
In einer bevorzugten Ausgestaltung wird der Verbund auf der den Halbleiterkörpern abgewandten Seite der Grenzfläche gedünnt . Die Dicke des Chipträgers unterhalb des Halbleiterkörpers kann so noch im Verbund weiter verringert werden .
In einer bevorzugten Weiterbildung beträgt die Ausdehnung des Verbunds senkrecht zur Grenzfläche auf der den Halbleiterkörpern abgewandten Seite nach dem Dünnen zwischen einschließlich 5 μm und einschließlich 70 μm, bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 50 μm, besonders bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 30 μm. Je geringer die vertikale Ausdehnung des Chipträgers unterhalb des Halbleiterkörpers ist, desto geringer ist der thermische Widerstand des Chipträgers. Andererseits wird durch eine größere Ausdehnung entlang dieser Richtung die mechanische Stabilität des Chipträgers gefördert.
In einer bevorzugten Ausgestaltung ist die Ausdehnung des Verbunds senkrecht zur Grenzfläche auf der den Halbleiterkörpern zugewandten Seite der Grenzfläche nach dem Dünnen größer als auf der den Halbleiterkörpern abgewandten Seite. Durch das Dünnen können also Halbleiterchips hergestellt werden, bei denen der Chipträger im Bereich des Halbleiterkörpers eine besonders geringe Dicke aufweist, und gleichzeitig der Chipträger aufgrund der auf der dem Halbleiterkörper zugewandten Seite der Grenzfläche vergleichsweise großen vertikalen Ausdehnung eine hohe mechanische Stabilität besitzt.
In einer bevorzugten Weiterbildung ist die Ausdehnung des Verbunds senkrecht zur Grenzfläche auf der dem Halbleiterkörper zugewandten Seite der Grenzfläche nach dem Dünnen mindestens 1,5-mal so groß, besonders bevorzugt mindestens doppelt so groß, wie auf der dem Halbleiterkörper abgewandten Seite. Die mechanische Stabilität des Chipträgers bei gleichzeitig guter Wärmeabfuhr kann so weiter gesteigert werden.
In einer Ausgestaltungsvariante wird die Grenzfläche mittels des strukturierten Trägers gebildet. Die Halbleiterkörper sind also auf dem strukturierten Träger angeordnet.
Weiterhin können die mittels des strukturierten Trägers gebildeten Chipträger jeweils einstückig ausgeführt sein.
In einer bevorzugten Weiterbildung sind die Erhebungen beim Herstellen des Verbunds von dem Substrat beabstandet. Die Positionierung des Substrats mit den Halbleiterkörpern relativ zum strukturierten Träger kann also derart erfolgen, dass die Halbleiterkörper an der Grenzfläche befestigt werden, wobei sich die Erhebungen nicht vollständig in die Zwischenräume des Substrats hinein erstrecken. Es verbleibt also ein Freiraum zwischen den Erhebungen des strukturierten Trägers und dem Substrat im Bereich der Zwischenräume. Im Verbund kann die mechanische Verbindung von Substrat und strukturiertem Träger demnach ausschließlich über die Halbleiterkörper erfolgen.
In einer bevorzugten Ausgestaltung werden die Zwischenräume vor dem Positionieren des strukturierten Trägers relativ zu dem Substrat so ausgebildet, dass sich diese Zwischenräume in das Substrat hinein erstrecken. Das Substrat ist beim Ausbilden des Verbunds also bereits vorstrukturiert. Bevorzugt erstrecken sich die Zwischenräume mindestens 10 μm, besonders bevorzugt mindestens 20 μm, in das Substrat hinein.
Das Substrat kann das Aufwachssubstrat für die Halbleiterschichtenfolge sein. Die Zwischenräume erstrecken sich also nicht nur in die, vorzugsweise epitaktisch gewachsene Halbleiterschichtenfolge des Halbleiterkörpers, sondern auch in das Aufwachssubstrat hinein.
Die laterale Anordnung der Zwischenräume und der Erhebungen ist zweckmäßigerweise derart aneinander angepasst, dass das Substrat und der strukturierte Träger kammartig ineinander greifen können.
Nach dem Herstellen des Verbunds kann das Aufwachssubstrat zumindest bereichsweise gedünnt oder entfernt werden. Die Halbleiterkörper können hierbei mittels des strukturierten Trägers mechanisch stabilisiert werden. Das Aufwachssubstrat ist hierfür nicht mehr erforderlich.
Ein Halbleiterchip, bei dem das Aufwachssubstrat zumindest bereichsweise gedünnt oder entfernt ist, wird auch als Dünnfilm-Halbleiterchip bezeichnet .
Ein Dünnfilm-Halbleiterchip, etwa ein Dünnfilm-Leuchtdioden- Chip, kann sich weiterhin im Rahmen der vorliegenden Anmeldung durch mindestens eines der folgenden charakteristischen Merkmale auszeichnen:
- an einer zu einem Trägerelement, etwa dem Chipträger, hin gewandten ersten Hauptfläche eines Halbleiterkörpers, der eine Halbleiterschichtenfolge mit einem aktiven Bereich umfasst, insbesondere einer Epitaxieschichtenfolge, ist eine Spiegelschicht aufgebracht oder, etwa als Bragg- Spiegel in der Halbleiterschichtenfolge integriert, ausgebildet, die zumindest einen Teil der in der Halbleiterschichtenfolge erzeugten Strahlung in diese zurückreflektiert ; die Halbleiterschichtenfolge weist eine Dicke im Bereich von 20 μm oder weniger, insbesondere im Bereich von 10 μm auf ; und/oder die Halbleiterschichtenfolge enthält mindestens eine Halbleiterschicht mit zumindest einer Fläche, die eine Durchmischungsstruktur aufweist, die vorzugsweise als optische Durchmischungsstruktur ausgeführt ist und die weiterhin im Idealfall zu einer annähernd ergodischen Verteilung des Lichtes in der Halbleiterschichtenfolge führt, d.h. sie weist ein möglichst ergodisch stochastisches Streuverhalten auf. Ein Grundprinzip eines DünnfiIm-Leuchtdiodenchips ist beispielsweise in I. Schnitzer et al . , Appl. Phys . Lett. 63 (16), 18. Oktober 1993, 2174 - 2176 beschrieben, deren Offenbarungsgehalt insofern hiermit durch Rückbezug in die vorliegende Anmeldung aufgenommen wird.
In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung wird der strukturierte Träger im Verbund derart gedünnt, dass die Dicke des strukturierten Trägers im Bereich zwischen den Erhebungen zwischen einschließlich 5 μm und einschließlich 70 μm, bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 50 μm, besonders bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 30 μm, beträgt. Die für die Wärmeabfuhr im Betrieb der Halbleiterchips maßgebliche Dicke des strukturierten Trägers kann durch das Dünnen verringert werden, wodurch die Leistungsfähigkeit der Halbleiterchips gesteigert werden kann.
In einer bevorzugten Weiterbildung wird vor dem Herstellen des mechanisch stabilen Verbunds auf die Halbleiterkörper und/oder auf die Grenzfläche, etwa auf den strukturierten Träger zwischen den Erhebungen, eine Verbindungsschicht aufgebracht. Die Verbindungsschicht kann beispielsweise ein Lot oder ein Klebemittel enthalten.
Weitergehend kann zwischen der Grenzfläche und den Halbleiterkörpern eine Benetzungsschicht vorgesehen sein. Durch die Benetzungsschicht kann eine mechanisch stabile Befestigung der Halbleiterkörper vereinfacht erzielt werden. Insbesondere kann auf die Halbleiterkörper die Verbindungsschicht und auf die Grenzfläche die Benetzungsschicht aufgebracht werden oder umgekehrt. In einer alternativen Ausgestaltungsvariante wird die Grenzfläche mittels des Substrats gebildet. In diesem Fall sind die Halbleiterkörper vorzugsweise bereits vor dem Herstellen des mechanisch stabilen Verbunds auf dem Substrat angeordnet und weiterhin bevorzugt an diesem befestigt. Das Substrat ist hierbei vorzugsweise von dem Aufwachssubstrat für die Halbleiterschichtenfolge verschieden. Nach der Befestigung der Halbleiterkörper kann das Aufwachssubstrat für die Halbleiterschichtenfolge bereichsweise oder vollständig entfernt oder gedünnt werden. Die Halbleiterkörper können hierbei durch das Substrat mechanisch stabilisiert werden.
Das Substrat enthält vorzugsweise ein Material mit einer hohen thermischen Leitfähigkeit. Beispielsweise kann das Substrat einen Halbleiter, etwa Silizium, Germanium oder Galliumarsenid enthalten oder aus einem solchen Material bestehen.
Alternativ oder ergänzend kann das Substrat ein Metall, etwa Nickel, Molybdän oder Tantal, enthalten oder aus Metall bestehen. Ein solches Substrat kann sich bereits bei sehr geringen Dicken durch eine hohe Stabilität auszeichnen.
Weiterhin kann das Substrat auch eine Keramik, etwa Aluminiumnitrid oder Bornitrid, enthalten. Ein keramisches Material kann eine hohe mechanische Stabilität bei gleichzeitig hoher thermischer Leitfähigkeit aufweisen.
In einer bevorzugten Weiterbildung ist der strukturierte Träger im Verbund im Bereich zwischen den Erhebungen von den Halbleiterkörpern beabstandet. Der strukturierte Träger grenzt im Verbund also nicht unmittelbar an die Halbleiterkörper an.
Die Erhebungen des strukturierten Trägers werden beim Herstellen des Verbunds vorzugsweise Stoffschlüssig mit dem Substrat verbunden. Bei einer Stoffschlüssigen Verbindung werden die, bevorzugt vorgefertigten, Verbindungspartner mittels atomarer und/oder molekularer Kräfte zusammengehalten. Bevorzugt ist die Stoffschlüssige Verbindung mittels einer Befestigungsschicht, etwa eines Klebemittels oder eines Lots, gebildet. Die Erhebungen können also mittels beim Herstellen des Verbunds mittels der Befestigungsschicht mit dem Substrat verbunden werden.
In einer bevorzugten Ausgestaltung wird der strukturierte Träger nach dem Herstellen des Verbunds im Bereich zwischen den Erhebungen vollständig entfernt. Somit verbleiben nur die Erhebungen des strukturierten Trägers im Verbund.
Der Chipträger kann mittels des Substrats und der an dem Substrat mittels der Verbindungsschicht befestigten Erhebungen gebildet sein. Mittels der mechanischen Stabilisierung durch die Erhebungen kann der Chipträger derart ausgebildet werden, dass das Substrat, auf dem der Halbleiterkörper angeordnet ist, weitgehend gedünnt werden kann. Die Bruchgefahr für ein derart dünnes Substrat wird mittels der Verstärkung durch die Erhebungen vermindert .
In einer bevorzugten Weiterbildung wird das Substrat im Verbund derart gedünnt, dass die Dicke des Substrats zwischen einschließlich 5 μm und einschließlich 70 μm, bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 50 μm, besonders bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 30 μm, beträgt. Die Dicke des Chipträgers unterhalb des Halbleiterchips kann so auf einfache Weise verringert werden. Im Betrieb im Halbleiterkörper, insbesondere im aktiven Bereich, erzeugte Wärme kann so verbessert durch den Chipträger hindurch aus dem Halbleiterchip abgeführt werden. Durch eine verbesserte Wärmeabfuhr kann im Betrieb die Temperatur im Halbleiterkörper, insbesondere im aktiven Bereich, gesenkt werden. Thermisch induzierte Verluste bei der Strahlungserzeugung, etwa infolge von erhöhter nichtstrahlender Rekombination, können so verringert werden. Weiterhin kann das Ausbilden einer thermischen Linse im Halbleiterkörper vermindert werden.
Das Dünnen des Verbunds, insbesondere das Dünnen des Substrats und/oder das Dünnen des strukturierten Trägers, und/oder gegebenenfalls das Entfernen oder Dünnen des Aufwachssubstrats kann insbesondere mechanisch, etwa mittels Schleifens, Läppens oder Polierens und/oder chemisch, etwa mittels nasschemischen oder trockenchemischen Ätzens, erfolgen. Alternativ oder ergänzend kann auch kohärente Strahlung Anwendung finden, beispielsweise in einem Laser- Ablöseverfahren (laser lift-off, LLO) .
Ein Halbleiterchip weist gemäß einer Ausführungsform einen Halbleiterkörper und einen Chipträger mit einer Grenzfläche auf. Auf der Grenzfläche ist der Halbleiterkörper befestigt. Der Chipträger weist auf der dem Halbleiterkörper zugewandten Seite der Grenzfläche zumindest eine Erhebung auf, die den Halbleiterkδrper in einer zur Grenzfläche senkrechten Richtung überragt. Der Halbleiterkörper weist vorzugsweise eine Halbleiterschichtenfolge auf, die weiterhin bevorzugt einen aktiven Bereich umfasst.
Die Erhebung ist dafür vorgesehen, den Chipträger mechanisch zu stabilisieren. Vorzugsweise ist die Erhebung derart ausgebildet, dass der Chipträger im Bereich unterhalb des Halbleiterkörpers eine geringe Dicke aufweist. Die Abfuhr von im Betrieb des Halbleiterchips erzeugter Wärme durch den Chipträger hindurch wird so verbessert.
Im Unterschied hierzu wäre bei einem ebenen Chipträger, insbesondere bei einem auf Halbleitermaterial basierenden Chipträger, gleicher Dicke eine ausreichende mechanische Stabilität nicht mehr gewährleistet. Mittels der Erhebung kann also die für die Wärmeabfuhr maßgebliche Dicke des Chipträgers bei guter mechanischer Stabilität weitergehend verringert werden.
In einer bevorzugten Ausgestaltung umläuft die zumindest eine Erhebung den Halbleiterchip in lateraler Richtung. Die Erhebung kann also rahmenartig ausgeführt sein.
In Bereich des Halbleiterkörpers, insbesondere unterhalb des Halbleiterkörpers, beträgt eine Dicke des Chipträgers vorzugsweise zwischen einschließlich 5 μm und einschließlich 70 μm, besonders bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 50 μm, am meisten bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 30 μm.
Im Unterschied hierzu beträgt die Dicke von herkömmlichen ebenen Chipträgern, die auf Halbleitermaterial basieren, mindestens 100 μm, um eine ausreichende mechanische Stabilität zu gewährleisten. Im für die Wärmeabfuhr maßgeblichen Bereich unterhalb des Halbleiterkörpers ist die Dicke des beschriebenen Chipträgers gegenüber den Randbereichen des Chipträgers verringert. Auch bei gleicher Gesamthöhe des Chipträgers kann also die Wärmeabfuhr aus dem Halbleiterkörper erheblich verbessert werden.
In einer bevorzugten Ausgestaltung ist die Ausdehnung des Chipträgers senkrecht zur Grenzfläche auf der dem Halbleiterkörper zugewandten Seite der Grenzfläche größer als auf der dem Halbleiterkörper abgewandten Seite. Die mechanische Stabilität des Chipträgers wird so vorwiegend mittels der zumindest einen Erhebung erzielt, welche von der Grenzfläche aus gesehen halbleiterkörperseitig angeordnet ist.
Bevorzugt ist die Ausdehnung des Chipträgers senkrecht zur Grenzfläche auf der dem Halbleiterkörper zugewandten Seite der Grenzfläche mindestens 1,5-mal so groß, besonders bevorzugt mindestens doppelt so groß, wie die Ausdehnung des Chipträgers auf der dem Halbleiterkörper abgewandten Seite der Grenzfläche.
In einer bevorzugten Ausgestaltung beträgt die maximale laterale Ausdehnung der Erhebung im Querschnitt vorzugsweise zwischen einschließlich 50 μm und einschließlich 1 mm, besonders bevorzugt zwischen einschließlich 100 μm und einschließlich 300 μm. So kann eine geringe Größe des Chipträgers bei gleichzeitig guter mechanischer Stabilität vereinfacht erzielt werden.
Der Chipträger, insbesondere die Erhebung, enthält vorzugsweise ein Halbleitermaterial, etwa Silizium, Germanium oder Galliumarsenid oder besteht aus einem solchen Halbleitermaterial. Insbesondere Silizium zeichnet sich durch eine gute Mikrostrukturierbarkeit aus.
In einer Ausgestaltungsvariante weist der Chipträger zumindest zwei Teile auf, die Stoffschlüssig, insbesondere über eine Befestigungsschicht, miteinander verbunden sind. Die Grenzfläche verläuft vorzugsweise in einer Trennebene zwischen den Teilen des Chipträgers . Der Chipträger kann beispielsweise ein Trägerteil und ein Stabilisierungsteil aufweisen, wobei eine Hauptfläche des Trägerteils die Grenzfläche bildet, auf der der Halbleiterkörper angeordnet ist. Das, vorzugsweise rahmenartig ausgeführte, Stabilisierungsteil kann mittels der Erhebung gebildet und weiterhin auf derselben Hauptfläche des Trägerteils angeordnet sein wie der Halbleiterchip.
Das Stabilisierungsteil und das Trägerteil können bezüglich des Materials voneinander verschieden sein. So kann beispielsweise das Material für das Stabilisierungsteil hinsichtlich einer guten Strukturierbarkeit und das Material für das Trägerteil hinsichtlich einer hohen thermischen Leitfähigkeit gewählt werden. Vorzugsweise enthält das Stabilisierungsteil eines der im Zusammenhang mit dem strukturierten Träger genannten Halbleitermaterialien, insbesondere Silizium, oder besteht aus einem solchen Material. Das Trägerteil kann insbesondere eines der im Zusammenhang mit dem Substrat genannten Materialien, etwa einen Halbleiter wie beispielsweise Germanium, eine Keramik oder ein Metall enthalten oder aus einem solchen Material bestehen. Alternativ können das Stabilisierungsteil und das Trägerteil bezüglich des Materials gleichartig ausgeführt sein.
In einer alternativen Ausgestaltungsvariante ist der Chipträger einstückig ausgebildet. Auf eine Befestigungsschicht zwischen dem Trägerteil und dem Stabilisierungsteil kann in diesem Fall verzichtet werden.
In einer bevorzugten Ausgestaltung weist die zumindest eine Erhebung seitens des Halbleiterkörpers eine Seitenflanke auf, die senkrecht zur Grenzfläche verläuft. Eine solche Seitenflanke kann insbesondere mittels trockenchemischen Ätzens hergestellt werden.
Durch die senkrechte Seitenflanke kann die laterale Ausdehnung des Chipträgers bei gleicher Größe des Halbleiterkörpers minimiert werden.
Alternativ kann die zumindest eine Erhebung seitens des Halbleiterkörpers eine Seitenflanke aufweisen, die in einem von 90° verschiedenen Winkel zur Grenzfläche verläuft. Vorzugsweise verjüngt sich die Erhebung hierbei mit zunehmendem Abstand zur Grenzfläche.
Der Winkel zur Grenzfläche beträgt vorzugsweise zwischen einschließlich 30° und einschließlich 60°. Eine derartige Seitenflanke ist insbesondere mittels nasschemischen Ätzens auf einfache Weise herstellbar.
In einer bevorzugten Weiterbildung weist der Chipträger auf der dem Halbleiterkörper abgewandten Seite der Grenzfläche eine Montagefläche auf, die für die Befestigung des Halbleiterchips vorgesehen ist. Der Chipträger ist also zwischen der Montagefläche und dem Halbleiterkörper angeordnet .
Der Halbleiterchip ist vorzugsweise zur Erzeugung von Strahlung vorgesehen. Hierbei kann der Halbleiterchip im Betrieb optisch gepumpt werden oder bei Anliegen einer externen elektrischen Spannung Strahlung erzeugen.
Weiterhin bevorzugt enthält der Halbleiterchip ein III-V- Verbindungshalbleitermaterial . Solche
Verbindungshalbleitermaterialien sind zur Erzeugung von Strahlung vom ultravioletten über den sichtbaren bis in den infraroten Spektralbereich besonders geeignet.
Der Halbleiterchip kann zur Erzeugung von kohärenter Strahlung vorgesehen sein und beispielsweise als oberflächenemittierender Halbleiterlaser, etwa als VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) , als VECSEL (Vertical External Cavity Surface Emitting Laser) oder als Scheibenlaser (disk laser) ausgeführt sein. Weiterhin kann der Halbleiterchip auch als kantenemittierender Halbleiterlaser ausgebildet sein.
Alternativ oder ergänzend kann der Halbleiterchip auch zur Erzeugung von inkohärenter Strahlung vorgesehen sein. Hierfür kann der Halbleiterchip beispielsweise als
Lumineszenzdiodenchip, etwa als Leuchtdiodenchip (LED-Chip) ausgeführt sein.
Für die Erzeugung teilkohärenter Strahlung kann der Halbleiterchip beispielsweise als RCLED-Chip (Resonant Cavity Light Emitting Diode) ausgeführt sein. Das weiter oben beschriebene Verfahren ist zur Herstellung des beschriebenen Halbleiterchips besonders geeignet. Im Zusammenhang mit den Verfahren beschriebene Merkmale können daher auch für den Halbleiterchip herangezogen werden und umgekehrt .
Weitere Merkmale, vorteilhafte Ausgestaltungen und Zweckmäßigkeiten ergeben sich aus der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den Figuren.
Es zeigen:
Die Figuren IA bis IG ein erstes Ausführungsbeispiel für ein Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Halbleiterchips anhand von schematisch in Schnittansicht dargestellten Zwischenschritten;
die Figuren 2A bis 2F ein zweites Ausführungsbeispiel für ein Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Halbleiterchips anhand von schematisch in Schnittansicht dargestellten Zwischenschritten;
die Figuren 3A und 3B ein erstes Ausführungsbeispiel für einen Halbleiterchip in schematischer Schnittansicht (Figur 3A) sowie in zugehöriger Aufsicht (Figur 3B) ; und
die Figuren 4A und 4B ein zweites Ausführungsbeispiel für einen Halbleiterchip in schematischer Schnittansicht (Figur 4A) und zugehöriger Aufsicht (Figur 4B) .
Gleiche, gleichartige und gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen. Die Figuren sind jeweils schematische Darstellungen und daher nicht unbedingt maßstabsgetreu. Vielmehr können vergleichsweise kleine Elemente und insbesondere Schichtdicken zur Verdeutlichung übertrieben groß dargestellt sein.
In Figur IA ist ein Ausschnitt eines Substrats 8 gezeigt, auf dem eine Mehrzahl von Halbleiterkörpern 2 bereitgestellt wird. In dem dargestellten Ausschnitt sind zwei Halbleiterkörper 2 nebeneinander angeordnet.
Die Halbleiterkörper 2 umfassen vorzugsweise jeweils eine Halbleiterschichtenfolge . In der Halbleiterschichtenfolge kann ein zur Erzeugung von Strahlung vorgesehener aktiver Bereich ausgebildet sein (nicht explizit dargestellt) . Die Halbleiterschichtenfolge wird vorzugsweise epitaktisch, etwa mittels MOVPE oder MBE, hergestellt. Das Substrat 8 kann hierbei als Aufwachssubstrat für die Halbleiterschichtenfolge des Halbleiterkörpers 2 dienen. Davon abweichend können die Halbleiterkörper aber auch auf einem Substrat bereitgestellt werden, das von dem Aufwachssubstrat verschieden ist.
Die Halbleiterkörper 2 sind durch Zwischenräume 25 in lateraler Richtung voneinander beabstandet. Die Zwischenräume 25 strecken sich halbleiterkörperseitig in das Substrat 8 hinein. Die Zwischenräume können sich mindestens 10 μm, bevorzugt mindestens 20 μm in das Substrat hinein erstrecken. Die Zwischenräume 25 können insbesondere chemisch, etwa mittels nasschemischen oder trockenchemischen Ätzens, hergestellt werden. Auf der dem Substrat 8 abgewandten Seite des Halbleiterkörpers 2 ist eine Verbindungsschicht 4 ausgebildet. Mittels der Verbindungsschicht können die Halbleiterkörper vereinfacht an einem Träger befestigt werden .
Die Verbindungsschicht 4 kann beispielsweise als eine Lotschicht ausgeführt sein und kann weiterhin bevorzugt ein Metall, etwa Gold, Zinn oder Indium, oder eine metallische Legierung, insbesondere mit zumindest einem der genannten Metalle, enthalten.
Weiterhin ist in Figur IA ein Ausschnitt eines strukturierten Trägers 33 dargestellt, der eine Mehrzahl von Erhebungen 35 aufweist. Die Erhebungen werden vorzugsweise durch Mikrostrukturierung hergestellt, wobei das Trägermaterial eines vorzugsweise ebenen Trägers zwischen den Erhebungen entfernt wird. Das Entfernen kann beispielsweise mechanisch und/oder chemisch, etwa mittels nasschemischen oder trockenchemischen Ätzens, erfolgen.
Der strukturierte Träger enthält bevorzugt ein Material, das sich durch eine gute Mikrostrukturierbarkeit, gute thermische Leitfähigkeit und/oder eine hohe mechanische Stabilität auszeichnet, oder besteht aus einem solchen Material.
Insbesondere enthält der strukturierte Träger vorzugsweise ein Halbleitermaterial oder besteht aus einem Halbleitermaterial. Beispielsweise eignet sich Silizium, Germanium oder Galliumarsenid.
Der strukturierte Träger 33 weist eine Grenzfläche 30 auf, die für die Befestigung der Halbleiterkörper 2 an dem strukturierten Träger 33 vorgesehen ist. Auf der Grenzfläche ist eine Benetzungsschicht 45 ausgebildet. Mittels der Benetzungsschicht kann eine mechanisch stabile Befestigung der Halbleiterkörper 2 an dem strukturierten Träger 33 vereinfacht hergestellt werden. Die Benetzungsschicht 45 kann im Bereich zwischen den Erhebungen 35 ausgebildet sein oder sich vollflächig über den strukturierten Träger erstrecken.
Wie in Figur IB dargestellt, werden das Substrat 8 mit den bereits ausgebildeten Zwischenräumen 25 zwischen den Halbleiterkörpern 2 und der strukturierte Träger derart zueinander positioniert, dass sich die Erhebungen 35 des strukturierten Trägers 33 in die Zwischenräume 25 hinein erstrecken. Das Substrat 8 und der strukturierte Träger 33 greifen also kammartig ineinander. Mittels der Verbindungsschicht 4 wird ein mechanisch stabiler Verbund 38 hergestellt, der den strukturierten Träger 33 und das Substrat 8 umfasst. Die Ausdehnung der Erhebungen 35 ist in vertikaler Richtung, also in einer senkrecht zu einer Haupterstreckungsebene des strukturierten Trägers 33 verlaufenden Richtung, derart an die Zwischenräume 25 angepasst, dass die Erhebungen 35 im Verbund von dem Substrat 8 beabstandet sind. Das Substrat 8 ist also nur über die Halbleiterkörper 2 mit dem strukturierten Träger 33 mechanisch verbunden. Ein nachfolgendes Entfernen des Substrats 8 wird so vereinfacht.
Die Erhebungen 35 werden also bereits vor dem Herstellen des Verbunds 38 ausgebildet. Die Erhebungen können halbleiterkörperseitig Seitenflanken 350 aufweisen, die schräg zur Grenzfläche 30 verlaufen. Bevorzugt beträgt der Winkel zur Grenzfläche zwischen einschließlich 30° und einschließlich 60°. Beispielsweise kann bei einem Träger aus Silizium mittels anisotropen nasschemischen Ätzens auf einfache Weise ein Winkel von etwa 54° hergestellt werden. Nach dem Herstellen des Verbunds kann, wie in den Figuren IC und ID dargestellt, das Substrat 8 entfernt werden. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel erfolgt das Entfernen zunächst, wie Figur IC zeigt, in einem mechanischen Schritt, wobei das Substrat auf eine Restdicke gedünnt wird. Das mechanische Dünnen kann beispielsweise mittels Schleifens, Läppens oder Polierens erfolgen.
Der verbleibende Teil des Substrats kann in einem nachfolgenden, vorzugsweise chemischen, Schritt entfernt werden. Dies kann beispielsweise mittels nasschemischen oder trockenchemischen Ätzens erfolgen. Nach dem Entfernen des Substrats 8 sind benachbarte Halbleiterkörper 2 nur noch über den strukturierten Träger 33 mechanisch miteinander verbunden.
In vertikaler Richtung überragen die Erhebungen 35 die Halbleiterkörper 2. Der strukturierte Träger 33 dient nunmehr der mechanischen Stabilisierung der Halbleiterkörper 2. Das Substrat 8 ist hierfür nicht mehr erforderlich.
Auf der den Halbleiterkörpern 2 abgewandten Seite kann der strukturierte Träger 33 gedünnt werden. Bevorzugt wird der strukturierte Träger derart gedünnt, dass die Dicke des strukturierten Trägers im Bereich zwischen den Erhebungen zwischen einschließlich 5 μm und einschließlich 70 μm, bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 50 μm, am meisten bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 30 μm, beträgt. Die Erhebungen 35 dienen hierbei der mechanischen Stabilisierung des strukturierten Trägers . Im Bereich unterhalb der Halbleiterkörper 2 kann der strukturierte Träger somit auf eine Dicke gedünnt werden, bei der eine ausreichende mechanische Stabilität ohne die Erhebungen, also im Falle eines ebenen Trägers, nicht mehr gewährleistet wäre.
Bezogen auf die Grenzfläche 30 kann die Ausdehnung des Verbunds 38 nach dem Dünnen auf der den Halbleiterkörpern 2 zugewandten Seite größer sein als auf der den Halbleiterkörpern abgewandten Seite. Bevorzugt ist die Ausdehnung des Verbunds senkrecht zur Grenzfläche auf der dem Halbleiterkörper zugewandten Seite der Grenzfläche nach dem Dünnen mindestens 1,5 Mal so groß, besonders bevorzugt mindestens doppelt so groß, wie auf der den Halbleiterkörpern abgewandten Seite .
Auf dem gedünnten strukturierten Träger 33 können auf der den Halbleiterkörpern 2 abgewandten Seite Montageschichten 6 ausgebildet werden. Hierbei weist vorzugsweise jeder Bereich des Verbunds 38, aus dem ein Halbleiterchip hervorgeht, jeweils eine Montageschicht auf. Die Montageschicht ist für eine vereinfachte Befestigung der Halbleiterchips, beispielsweise auf einer Leiterplatte, einer Wärmesenke oder in einem Gehäuse für ein optoelektronisches Bauelement, vorgesehen.
Die Montageschicht enthält vorzugsweise ein Metall, beispielsweise Gold, Platin, Titan, Silber, Aluminium oder Indium oder eine metallische Legierung mit zumindest einem der genannten Materialien.
Wie in Figur IG dargestellt, wird der Verbund 38 in eine Mehrzahl von separaten Halbleiterchips 1 vereinzelt. Das Vereinzeln kann beispielsweise mittels Spaltens, Brechens oder Sägens erfolgen. Auch ein chemisches Verfahren, etwa nasschemisches oder trockenchemisches Ätzen, kann für das Vereinzeln herangezogen werden.
Das Vereinzeln erfolgt hierbei in den Bereichen des strukturierten Trägers 33, in dem die Erhebungen 35 ausgebildet sind. So kann eine ausreichende mechanische Stabilität des strukturierten Trägers 33 auf einfache Weise gewährleistet werden.
Die Befestigung der Halbleiterkörper 2 an den jeweiligen Chipträgern 3 kann also bei dem beschriebenen Verfahren noch im Waferverbund erfolgen, so dass durch das Verfahren eine Vielzahl von Halbleiterchips gleichzeitig hergestellt werden kann.
Ein zweites Ausführungsbeispiel für ein Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Halbleiterchips ist anhand von den in den Figuren 2A bis 2F in schematischer Schnittansicht dargestellten Zwischenschritten veranschaulicht.
Wie in Figur 2A dargestellt, wird auf einem Substrat 8 eine Mehrzahl von Halbleiterkörpern 2 bereitgestellt, die nebeneinander angeordnet sind. Die Halbleiterkörper sind jeweils durch Zwischenräume 25 voneinander beabstandet.
Die Zwischenräume 25 erstrecken sich bis zu einer Grenzfläche 30, auf der die Halbleiterkörper 2 angeordnet sind.
Die Halbleiterkörper 2 sind mittels einer Verbindungsschicht 4 an dem Substrat 8 befestigt. Das Substrat 8 ist also von dem Aufwachssubstrat für die Halbleiterschichtenfolge der Halbleiterkörper 2 verschieden. Das Substrat enthält vorzugsweise ein Material mit einer hohen thermischen Leitfähigkeit. Beispielsweise kann das Substrat einen Halbleiter, etwa Silizium, Germanium oder Galliumarsenid, enthalten oder aus einem solchen Material bestehen.
Alternativ oder ergänzend kann das Substrat ein Metall, etwa Nickel, Molybdän oder Tantal, enthalten oder aus Metall bestehen. Ein solches Substrat kann sich bereits bei sehr geringen Dicken durch eine hohe Stabilität auszeichnen.
Weiterhin kann das Substrat auch eine Keramik, etwa Aluminiumnitrid oder Bornitrid, enthalten. Ein keramisches Material kann eine hohe mechanische Stabilität bei gleichzeitig hoher thermischer Leitfähigkeit aufweisen.
Das Befestigen der Halbleiterkörper 2 an dem, vorzugsweise ebenen, Substrat 8 kann hierbei im Waferverbund erfolgen. Das heißt, nach dem epitaktischen Aufwachsen der Halbleiterschichtenfolge, aus der die Halbleiterkörper 2 hervorgehen, auf dem Aufwachssubstrat wird die Halbleiterschichtenfolge an dem Substrat 8 befestigt. Nach der Befestigung an dem Substrat 8 kann das Aufwachssubstrat von der Halbleiterschichtenfolge entfernt werden, sodass die Halbleiterschichtenfolge auf dem Substrat 8 verbleibt. Das Entfernen des Aufwachssubstrats kann mechanisch und/oder chemisch erfolgen. Auch kohärente Strahlung kann, etwa in einem Laser-Ablöseverfahren (laser lift-off ) , Anwendung finden.
Nach dem Entfernen des Aufwachssubstrats können die Zwischenräume 25 mittels nasschemischen oder trockenchemischen Ätzens ausgebildet werden. Auf der dem Substrat 8 abgewandten Seite der Halbleiterkörper 2 ist jeweils eine Kontaktschicht 7 auf den Halbleiterkörpern 2 angeordnet. Die Kontaktschicht 7 dient der externen elektrischen Kontaktierung der Halbleiterkörper 2. Die Kontaktschicht kann beispielsweise mittels Aufdampfens oder Aufsputterns hergestellt werden und enthält weiterhin bevorzugt ein Metall oder eine metallische Legierung. Insbesondere bei Halbleiterchips, die nicht für den Betrieb mit einer elektrischen externen Spannung vorgesehen sind, kann auf diese Kontaktschicht auch verzichtet werden.
Gegebenfalls können nach dem Entfernen des Aufwachssubstrats noch weitere Fertigungsschritte an den Halbleiterkörpern 2 durchgeführt werden. Beispielsweise kann die dem Substrat 8 jeweils abgewandte Oberfläche der Halbleiterkörper 2 mit einer Aufrauung versehen werden. Bei einem LED-Halbleiterchip kann so die Auskoppeleffizienz der erzeugten Strahlung verbessert werden.
Weiterhin wird ein strukturierter Träger 33 bereitgestellt, der eine Mehrzahl von Erhebungen 35 aufweist. Die Strukturierung des strukturierten Trägers 33 kann hierbei insbesondere wie im Zusammenhang mit Figur IA beschrieben erfolgen. Erhebungen 35 mit vertikal verlaufenden Seitenflanken 350 werden vorzugsweise mittels trockenchemischen Ätzens hergestellt.
Wie in Figur 2B dargestellt, werden der strukturierte Träger 33 und das Substrat 8 derart zueinander positioniert, dass sich die Erhebungen 35 in die Zwischenräume 25 hinein erstrecken. Der strukturierte Träger 33 und das Substrat 8 werden mittels einer Befestigungsschicht 5 Stoffschlüssig miteinander verbunden. Die Befestigungsschicht kann beispielsweise ein Klebemittel oder ein Lot enthalten.
Im Unterschied zu dem im Zusammenhang mit den Figuren IA bis IG beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel ist in diesem Ausführungsbeispiel die Grenzfläche 30, auf der die Halbleiterkörper 2 angeordnet sind, mittels einer ebenen Oberfläche des Substrats 8 gebildet. Die Erhebungen 35 und die Halbleiterkörper 2 sind auf dieser Grenzfläche 30 des Substrats 8 angeordnet .
Im Verbund 38 ist der strukturierte Träger 33 im Bereich zwischen den Erhebungen 35 von den Halbleiterkörpern beabstandet. Die Halbleiterkörper 2 und der strukturierte Träger 33 sind also nur über das Substrat 8 und die Befestigungsschicht 5 miteinander mechanisch verbunden.
Nach dem Herstellen des Verbunds 38 kann das Substrat 8 auf der den Halbleiterkörpern 2 abgewandten Seite der Grenzfläche gedünnt werden. Ein Verbund 38 mit gedünntem Substrat ist in Figur 2C schematisch dargestellt.
Das Substrat 8 wird im Verbund vorzugsweise derart gedünnt, dass die Dicke des Substrats zwischen einschließlich 5 μm und einschließlich 70 μm, bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 50 μm, besonders bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 30 μm, beträgt.
Die mechanische Stabilität des Verbunds 38 wird durch die Erhebungen 35 gewährleistet. So kann das Substrat 8 auf eine Dicke gedünnt werden, welche bei einem ebenen Substrat ohne die Erhebungen für eine ausreichende mechanische Stabilisierung nicht mehr genügen würde. Alternativ zum Dünnen des Substrats kann das Substrat auch bereits in der gewünschten Enddicke bereitgestellt werden. Dies ist insbesondere für ein Substrat zweckmäßig, das nur vergleichsweise schwierig gedünnt werden kann, etwa für ein metallhaltiges oder keramikhaltiges Substrat.
Auf dem gedünnten Substrat kann, wie im Zusammenhang mit Figur IF beschrieben, eine Montageschicht 6 aufgebracht werden. Dies ist in Figur 2D schematisch dargestellt.
Wie Figur 2E zeigt, wird der strukturierte Träger 35 derart gedünnt, dass der strukturierte Träger im Bereich zwischen den Erhebungen 35 vollständig entfernt wird.
Dieses bereichsweise Entfernen des strukturierten Trägers kann mechanisch und/oder chemisch erfolgen.
Wie in Figur 2F dargestellt, wird der Verbund 38 in eine Mehrzahl von Halbleiterchips 1 vereinzelt. Das Vereinzeln kann wie im Zusammenhang mit Figur IG beschrieben erfolgen.
Das beschriebene Verfahren muss nicht notwendigerweise in der angegebenen Reihenfolge durchgeführt werden. Beispielsweise können die Montageschichten 6 aufgebracht werden, bevor der strukturierte Träger 33 gedünnt wird.
Die Figuren 3A und 3B zeigen ein erstes Ausführungsbeispiel für einen Halbleiterchip in schematischer Schnittansicht (Figur 3A) und in zugehöriger schematischer Aufsicht (Figur 3B) .
Der Halbleiterchip 1 umfasst einen Halbleiterkörper 2 und einen Chipträger 3. Der Chipträger ist also Teil des Halbleiterchips und stabilisiert den Halbleiterkörper 2 mechanisch. Auf der dem Halbleiterkörper 2 abgewandten Seite ist der Chipträger 3 eben ausgeführt. Eine Montage des Halbleiterchips wird so vereinfacht.
Der Halbleiterkörper 2 umfasst eine Halbleiterschichtenfolge, die einen zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich aufweist (nicht explizit dargestellt) . Die Halbleiterschichtenfolge kann den Halbleiterkörper bilden. Ein Aufwachssubstrat für die Halbleiterschichtenfolge des Halbleiterkörpers kann entfernt sein. Der Halbleiterchip 1 kann also als Dünnfilm-Halbleiterchip ausgeführt sein.
Der Halbleiterkörper 2 ist mittels einer VerbindungsSchicht 4 auf einer Grenzfläche 30 des Chipträgers 3 angeordnet.
Der Chipträger 3 weist eine Erhebung 35 auf, die den Halbleiterkörper 2 in lateraler Richtung umläuft. Die Erhebung 35 ist hierbei als rahmenartige Stabilisierung ausgeführt. In senkrechter Richtung überragt die Erhebung 35 den Halbleiterkörper 2. Der Chipträger 3 wird mittels der Erhebung 35 mechanisch stabilisiert. Auf diese Weise kann der Bereich des Chipträgers, der unterhalb des Halbleiterkörpers 2 ausgebildet ist, bei guter mechanischer Stabilität besonders dünn sein. Vorzugsweise ist der Chipträger im Bereich unterhalb des Halbleiterkörpers zwischen einschließlich 5 μm und einschließlich 70 μm, bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 50 μm, am meisten bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 30 μm, dick. Je dünner der Chipträger 3 in diesem Bereich ist, desto besser kann im Betrieb des Halbleiterchips erzeugte Wärme aus dem Halbleiterkörper 2 abgeführt werden. Die Temperatur des Halbleiterkörpers, insbesondere des aktiven Bereichs, kann so im Betrieb vereinfacht reduziert werden.
Die vertikale Ausdehnung des Chipträgers auf der dem Halbleiterkörper zugewandten Seite der Grenzfläche 30, also die Höhe der Erhebung 35, ist vorzugsweise mindestens 1,5- mal, besonders bevorzugt mindestens doppelt so groß, wie auf der dem Halbleiterkörper abgewandten Seite. Beispielsweise kann die vertikale Ausdehnung der Erhebung zwischen 50 μm bis 80 μm betragen, während die vertikale Ausdehnung des Chipträgers 3 unterhalb des Halbleiterkörpers 2 eine Dicke von lediglich 10 μm bis 30 μm aufweist. Die Gesamthöhe des Chipträgers beträgt somit etwa 100 μm.
Bezogen auf die Grenzfläche 30 weist der Chipträger 3 also halbleiterkörperseitig eine größere vertikale Ausdehnung auf als auf der gegenüberliegenden Seite der Grenzfläche. Die für die Wärmeabfuhr maßgebliche Dicke des Chipträgers wird so vermindert. Gleichzeitig weist der Chipträger eine hinreichend hohe mechanische Stabilität auf, um den Halbleiterchip an einer für den Halbleiterchip vorgesehenen Montageposition zu befestigen. Die Befestigung des Halbleiterchips 1 kann beispielsweise auf einer Leiterplatte, auf einer Wärmesenke oder in einem Gehäuse für ein optoelektronisches Bauelement erfolgen.
Der Chipträger 3 ist in diesem Ausführungsbeispiel einstückig ausgeführt. Weiterhin enthält der Chipträger 3 vorzugsweise ein Material mit einer hohen thermischen Leitfähigkeit und einer gleichzeitig guten mikromechanischen Strukturierbarkeit . Besonders bevorzugt enthält der Chipträger 3 Silizium oder besteht aus Silizium. Silizium zeichnet sich durch eine besonders gute, etwa mechanische oder chemische, Strukturierbarkeit aus. Auch andere Halbleitermaterialien, wie Germanium oder Galliumarsenid können Anwendung finden.
Auf der dem Halbleiterkörper 2 abgewandten Seite des Chipträgers 3 weist der Halbleiterchip eine Montageschicht 6 auf . Die Montageschicht dient der vereinfachten Montierbarkeit des Halbleiterchips.
Halbleiterkörperseitig weist der Chipträger 3 eine Seitenflanke 350 auf, die schräg zur Grenzfläche 30 verläuft. Die Erhebung verjüngt sich hierbei mit zunehmendem Abstand zur Grenzfläche.
Die Erhebung 35 weist im Querschnitt vorzugsweise eine Ausdehnung auf, die klein ist im Vergleich zur lateralen Ausdehnung des Halbleiterkörpers 2.
Weiterhin beträgt die maximale laterale Ausdehnung der Erhebung 35 im Querschnitt vorzugsweise zwischen einschließlich 50 μm und einschließlich 1 mm, besonders bevorzugt zwischen einschließlich 100 μm und einschließlich 300 μm.
In Aufsicht auf den Halbleiterchip füllt der Halbleiterkörper 2 vorzugsweise einen möglichst großen Teil der Grundfläche des Chipträgers 3. Je größer dieses Verhältnis ist, desto größer ist der Anteil der Halbleiterchipfläche, in der effektiv Strahlung erzeugt werden kann. In Aufsicht auf den Halbleiterchip bedeckt der Halbleiterkörper 2 vorzugsweise mindestens 10 % der Grundfläche des Chipträgers. Beispielsweise kann die Grundfläche des Chipträgers eine Größe von etwa 0,7 x 0,7 mm2 bei einer Größe des Halbleiterkörpers von 0,3 x 0,3 mm2 betragen. Dies entspricht einem Bedeckungsgrad von etwa 18 %.
Der Halbleiterkörper 2, insbesondere der aktive Bereich, enthält vorzugsweise ein III-V-Halbleitermaterial.
III-V-Halbleitermaterialien sind zur Strahlungserzeugung im ultravioletten (Inx Gay Al1-x-y N) über den sichtbaren (Inx Gay Ali-x-y N, insbesondere für blaue bis grüne Strahlung, oder Inx Ga7 Ali-x-y P, insbesondere für gelbe bis rote Strahlung) bis in den infraroten (Inx Gay Ali-x-y As) Spektralbereich besonders geeignet. Hierbei gilt jeweils O ≤ x ≤ l, O ≤ y ≤ l und x + y ≤ 1, insbesondere mit x ≠ I1 Y ≠ 1, x ≠ 0 und/oder y ≠ 0. Mit III-V-Halbleitermaterialien, insbesondere aus den genannten Materialsystemen, können weiterhin bei der Strahlungserzeugung hohe interne Quanteneffizienzen erzielt werden.
In dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Halbleiterchip zur Erzeugung von kohärenter Strahlung vorgesehen und als ein oberflächenemittierender Halbleiterlaser, etwa als VECSEL oder als Scheibenlaser, ausgeführt. Für eine
Strahlungserzeugung kann der Halbleiterkörper optisch gepumpt werden. Elektrische Kontakte, über die eine externe elektrische Spannung am Halbleiterkörper angelegt werden kann, sind also nicht erforderlich.
Im Betrieb des Halbleiterchips 1 im aktiven Bereich des Halbleiterkörpers 2 erzeugte Wärme kann durch den Chipträger 3 effektiv aus dem Halbleiterkörper abgeführt werden. Die Temperatur des aktiven Bereichs wird dadurch gesenkt. Die Gefahr eines vorzeitigen thermischen Überrollens wird so vermindert. Weiterhin kann die Ausbildung einer thermischen Linse im Halbleiterkörper verhindert oder zumindest vermindert werden .
Der Halbleiterkörper 2 kann aufgrund der schräg verlaufenden Seitenflanken 350 vereinfacht aus einer schräg zur vertikalen Richtung verlaufenden Richtung optisch gepumpt werden.
In den Figuren 4A und 4B ist ein weiteres Ausführungsbeispiel für einen Halbleiterchip 1 in schematischer Schnittansicht (Figur 4A) und zugehöriger schematischer Aufsicht (Figur 4B) dargestellt.
Dieses zweite Ausführungsbeispiel entspricht im Wesentlichen dem im Zusammenhang mit Figur 3A und 3B beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel. Im Unterschied hierzu ist der Halbleiterkörper 2 für die Umwandlung von elektrischer Energie in optische Strahlungsleistung vorgesehen. Im Betrieb des Halbleiterchips können Ladungsträger über eine Kontaktschicht 7 und über eine Montageschicht 6 von gegenüberliegenden Seiten in den Halbleiterkörper 2 injiziert werden. Der Chipträger 3 ist hierfür vorzugsweise elektrisch leitfähig ausgeführt.
Im Unterschied zum ersten Ausführungsbeispiel ist der Chipträger 3 mehrstückig ausgeführt und weist ein Trägerteil 31 und ein Stabilisierungsteil 32 auf. Das Trägerteil 31 und das Stabilisierungsteil 32 sind über eine Befestigungsschicht 5 mechanisch stabil miteinander verbunden. Das Stabilisierungsteil 32 ist hierbei mittels einer Erhebung 35 gebildet.
Die Erhebung 35 weist eine senkrecht verlaufende Seitenflanke 350 auf, die dem Halbleiterkörper 2 zugewandt ist. Die Grundfläche des Chipträgers 3 kann so in einer Aufsicht auf den Halbleiterchip bei gleicher Fläche des Halbleiterkörpers 2 verringert werden. Mit anderen Worten kann die effektive Fläche, in der im Halbleiterchip Strahlung erzeugt wird, bei gleicher Größe des Halbleiterchips vergrößert werden.
Die Befestigungsschicht 5 verläuft entlang einer Trennebene, in der die Grenzfläche 30 ausgebildet ist. Das Stabilisierungsteil 32 und der Halbleiterkörper 2 sind auf derselben Oberfläche des Trägerteils 31 angeordnet. Das heißt, der Halbleiterchip 1 ist derart ausgeführt, dass der Halbleiterkörper 2 und das die mechanische Stabilität des Halbleiterchips 1 bewerkstelligende Stabilisierungsteil 32 auf derselben Seite der Grenzfläche angeordnet sind, auf der der Halbleiterkörper befestigt ist. Im Unterschied hierzu erfolgt die mechanische Stabilisierung des Halbleiterkörpers bei einem herkömmlichen Halbleiterchip durch einen dicken Träger, der unterhalb des Halbleiterkörpers angeordnet ist.
Zwischen dem Halbleiterkörper 2 und dem Chipträger 3, bevorzugt zwischen dem Halbleiterkörper 2 und der Verbindungsschicht 4, ist eine Spiegelschicht 23 ausgebildet. Die Spiegelschicht 23 weist vorzugsweise eine für die im Halbleiterkörper 2 erzeugte Strahlung hohe Reflektivität auf. Die Spiegelschicht enthält vorzugsweise ein Metall, etwa Gold, Silber, Aluminium oder Rhodium oder eine metallische Legierung mit zumindest einem der genannten Materialien. Die Spiegelschicht ist vorzugsweise auf dem Halbleiterkörper abgeschieden, etwa mittels Sputtems oder Aufdampfens.
Zwischen der Spiegelschicht 23 und der Verbindungsschicht 4 kann eine Sperrschicht angeordnet sein (nicht explizit dargestellt) . Mittels der Sperrschicht kann eine Diffusion von Material der Verbindungsschicht in die Spiegelschicht verhindert oder zumindest weitgehend verringert werden. Die Sperrschicht kann ein Metall, insbesondere zumindest ein Metall aus der Gruppe bestehend aus Titan, Platin, Wolfram und Nickel, enthalten.
Alternativ oder ergänzend kann in dem Halbleiterkörper 2 ein Bragg-Spiegel mittels einer Mehrzahl von aufeinander angeordneten Halbleiterschichtenpaaren gebildet sein.
Der Halbleiterchip 1 mit dem beschriebenen Chipträger 31 zeichnet sich durch einen besonders geringen Wärmewiderstand für im Halbleiterkörper 2 erzeugte Wärme aus. Die Wärme kann so besonders effizient aus dem Halbleiterchip 1 abgeführt werden. Der beschriebene Aufbau ist daher besonders für Hochleistungs-Halbleiterchips, etwa für Leuchtdioden mit einer elektrischen Aufnahmeleistung von mindestens 100 mW, bevorzugt mindestens 300 mW, geeignet. Der Halbleiterchip 1 kann hierbei auch als RCLED ausgeführt sein.
Das Trägerteil 31 und das Stabilisierungsteil 32 können bezüglich des verwendeten Materials verschieden sein. Insbesondere kann das Stabilisierungsteil 32 Silizium enthalten oder aus Silizium bestehen, während das Trägerteil einen von Silizium verschiedenen Halbleiter, etwa Ge oder GaAs, ein Metall, etwa Molybdän, Nickel oder Tantal, oder eine Keramik, etwa AlN oder BN, enthalten oder aus einem solchen Material bestehen kann.
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmale oder dies Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder den Ausführungsbeispielen angegeben ist.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Halbleiterchips (1) mit den Schritten: a) Bereitstellen einer Mehrzahl von Halbleiterkörpern (2) auf einem Substrat (8), wobei die Halbleiterkörper (2) durch Zwischenräume (25) voneinander beabstandet sind; b) Bereitstellen eines strukturierten Trägers (33) , der eine Mehrzahl von Erhebungen (35) aufweist; c) Positionieren des strukturierten Trägers (33) relativ zu dem Substrat (8) derart, dass sich die Erhebungen (35) des strukturierten Trägers (33) in die Zwischenräume (25) zwischen den Halbleiterkörpern (2) hinein erstrecken; d) Herstellen eines mechanisch stabilen Verbunds (38) , der das Substrat (8) und den strukturierten Träger (33) umfasst; und e) Vereinzeln des Verbunds (38) in eine Mehrzahl von Halbleiterchips (1) .
2. Verfahren nach Anspruch 1 , wobei der Verbund (38) vor dem Vereinzeln eine Grenzfläche (30) aufweist, auf der die Halbleiterkörper (2) angeordnet sind.
3. Verfahren nach Anspruch 2 , wobei der Verbund (38) auf der den Halbleiterkörpern (2) abgewandten Seite der Grenzfläche (30) gedünnt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3 , wobei die Ausdehnung des Verbunds (38) senkrecht zur Grenzfläche auf der den Halbleiterkörpern (2) zugewandten Seite der Grenzfläche (30) nach dem Dünnen größer ist als auf der den Halbleiterkörpern (2) abgewandten Seite.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die Grenzfläche (30) mittels des strukturierten Trägers (33) gebildet wird und der strukturierte Träger (33) derart gedünnt wird, dass die Dicke des strukturierten Trägers (33) im Bereich zwischen den Erhebungen (25) zwischen einschließlich 5 μm und einschließlich 70 μm beträgt.
6. Verfahren nach Anspruch 5 , wobei der Halbleiterkörper eine Halbleiterschichtenfolge aufweist, wobei das Substrat (8) ein Aufwachssubstrat für die Halbleiterschichtenfolge ist und das Aufwachsubstrat (8) im Verbund zumindest bereichsweise gedünnt oder entfernt wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4 , wobei die Grenzfläche (30) mittels des Substrats (8) gebildet wird, wobei die Halbleiterkörper (2) an dem Substrat (8) befestigt werden und nachfolgend ein Aufwachssubstrat für die Halbleiterschichtenfolge der Halbleiterkörper (2) entfernt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7 , wobei der strukturierte Träger (33) nach Schritt d) zwischen den Erhebungen (35) vollständig entfernt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8 , wobei das Substrat (8) im Verbund (38) derart gedünnt wird, dass die Dicke des Substrats (8) im Bereich zwischen den Erhebungen (35) zwischen einschließlich 5 μm und einschließlich 70 μm beträgt.
10. Halbleiterchip (1) umfassend einen Halbleiterkörper (2) und einen Chipträger (3) mit einer Grenzfläche (30) , auf der Halbleiterkörper (2) befestigt ist, wobei der Chipträger (3) auf der dem Halbleiterkörper (2) zugewandten Seite zumindest eine Erhebung (35) aufweist, die den Halbleiterkörper (2) in einer zur Grenzfläche (30) senkrechten Richtung überragt.
11. Halbleiterchip nach Anspruch 10, wobei der Chipträger (3) im Bereich des Halbleiterkörpers (2) eine Dicke zwischen einschließlich 10 μm und einschließlich 30 μm aufweist.
12. Halbleiterchip nach Anspruch 10 oder 11, wobei die zumindest eine Erhebung (35) Si enthält oder aus. Si besteht.
13. Halbleiterchip nach einem der Ansprüche 10 bis 12, wobei der Chipträger (3) ein Trägerteil (31) und ein Stabilisierungsteil (32) aufweist, die über eine Befestigungsschicht (5) miteinander verbunden sind, und wobei die Grenzfläche in einer Trennebene zwischen dem Trägerteil (31) und dem Stabilisierungsteil (32) verläuft.
14. Halbleiterchip nach einem der Ansprüche 10 bis 12, wobei der Chipträger (3) einstückig ausgebildet ist.
15. Halbleiterchip nach einem der Ansprüche 10 bis 14, der gemäß einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9 hergestellt ist.
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