WO2009048003A1 - Dispositif d'examen de surface - Google Patents

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Abstract

L'invention porte sur un dispositif d'examen de surface présentant une précision de détection de défaut améliorée par l'augmentation de la quantité d'informations utilisées pour une détection de défaut de motif. Un faisceau lumineux divergeant émis par une source de lumière (1) est converti en un faisceau lumineux linéairement polarisé par un polarisateur (2), converti en un faisceau lumineux sensiblement parallèle par un miroir concave (3) et projeté sur la totalité d'une tranche (4), à savoir un substrat à examiner. L'état polarisé du faisceau lumineux réfléchi de façon uniforme par la tranche (4) est amené à varier par la biréfringence structurale qu'à un motif (13). Étant donné que la variation d'état polarisé par la biréfringence structurale diffère en fonction de l'état du motif (13), tel que la largeur de ligne, le caractère trapézoïdal de la section transversale ou la rugosité de bord, la variation d'état polarisé peut être utilisée pour un examen de défaut de motif. Étant donné que le paramètre de Stokes du faisceau lumineux éclairant est connu, la variation de l'état polarisé par le motif (13) peut être déterminée par la mesure du paramètre de Stokes de la ligne réfléchie.
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