JP2004205500A - 複屈折測定装置及び複屈折測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複屈折測定装置において、試料に略円偏光の光を入射させる入射ユニットと、試料からの光の偏光状態を検出するストークスメーターと、前記ストークスメーターから出力されたストークスパラメターに基づいて前記試料の複屈折を演算する演算部と、を有することを特徴とする構成とした。
【選択図】 図1
Description
E=Ep+Es
と第1平行平板の反射の際にp偏光成分となる直線偏光成分Epとs偏光成分となる直線偏光成分Esとに分解して計算することが可能である。入射光束が部分偏光や非偏光の時もこれらは複数の完全偏光成分の集まりと考えられるので、各々の完全偏光が保存されれば良い。
E11=rsrpEp
となる。一方第2偏光成分の複素振幅E12は
E12=rprsEs
となる。これらの足し合わせである反射光束の複素振幅E1は
E1=rsrp(Ep+Es)
となり、入射光束に対して定数rsrpがかかっただけの光束となるため、この第1の光束202は偏光状態が入射光の偏光状態と同じ光束である。
E21=tstpEp
となる。一方第2偏光成分の複素振幅E22は
E22=tptsEs
となる。これらの足し合わせである透過光束の複素振幅E2は
E2=tstp(Ep+Es)
となり、入射光束に対して定数tstpがかかっただけの光束となるため、この第2の光束203は偏光状態が入射光の偏光状態と同じ光束である。
EA=rprsEs
EB=rsrpEp
I1=|rprs|2|Es|2
I2=|rsrp|2|Ep|2
S1=(I1−I2)/|rprs|2
S2=2*I3/|rprstpts|2−S0
S3=2*I4/|tpts|4−S0
上記のようにストークスパラメターを求めると、光束の光量を含め、偏光状態のすべての情報が得られる。
C’=C R(ξ) S R(−ξ)
である。
ここでS−1はSの逆行列である。上の式ではC、C’に回転行列が含まれることもある。
104,106,201,202,203 光束
103,114,504 位相差板
102,112,115,503 偏光子
110,111,113,116 受光器
117,508 演算部
107,108 偏光状態を保存して光束を分割する光束分割手段
109 2光束型のグラントムソン偏光プリズム
204,205,206 平行平板
207,208 不要光
105,301,401,506 試料
302,402 測定領域
303 試料走査方向
403 試料回転方向
404 試料回転中心
502 フィルター
505 入射ユニット
507 偏光解析装置
Claims (12)
- 試料に略円偏光の光を入射させる入射手段と、
前記試料からの光の偏光状態を検出するストークスメーターと、
前記ストークスメーターからのストークスパラメターに基づいて前記試料の複屈折を演算する演算部と、を有することを特徴とする複屈折測定装置。 - 試料に略円偏光の光を入射させる入射手段と、前記試料からの出射光を同じ偏光状態を有する2つの光束に分割する少なくとも1つの分割ユニットと、少なくとも1つの偏光子と、少なくとも1つの位相差板と、少なくとも2つの受光部と、前記受光部の受光光量を演算する演算部と、を有することを特徴とする複屈折測定装置。
- 試料に略円偏光の光を入射させる入射手段と、前記試料からの出射光を同じ偏光状態を有する2つの光束に分割する少なくとも1つの分割ユニットと、少なくとも1つの偏光子と、4つの受光部と、前記受光部の受光光量を演算する演算部と、を有し、
試料と偏光子を回転することなく試料の複屈折を測定することを特徴とする複屈折測定装置。 - 試料に略円偏光の光を入射させる入射手段と、前記試料からの出射光を同じ偏光状態を有する2つの光束に分割する分割ユニットを少なくとも2つと、4つの受光部を有し、
該試料からの出射光と同じ偏光状態を有する第1の光束を1つの偏光分離手段に入射し、2つの直交する偏光成分を有する2光束に分割し各々受光部で検出し、
該試料からの出射光と同じ偏光状態を有する第2の光束を、偏光子を介して前記直交する2つの偏光成分とは45度異なる偏光成分を受光部で検出し、
該試料からの出射光と同じ偏光状態を有する第3の光束を、位相差板と偏光子を介して円偏光成分のみを受光部で検出して該試料の複屈折量を測定することを特徴とする複屈折測定装置。 - 試料に略円偏光の光を入射させる入射手段と、前記試料からの出射光を前記出射光と同じ偏光状態を有する2つの光束に分割する分割ユニットを少なくとも3つと、4つの受光部を有し、
該試料からの出射光と同じ偏光状態を有する第1の光束を第1の偏光子に入射し、第1の偏光成分を第1の受光部で検出し、
該試料からの出射光と同じ偏光状態を有する第2の光束を偏光子に入射し、第1の偏光成分とは直交する第2の偏光成分を第2の受光部で検出し、
該試料からの出射光と同じ偏光状態を有する第3の光束を偏光子に入射し、第1の偏光成分とは45度異なる第3の偏光成分を第3の受光部で検出し、
該試料からの出射光と同じ偏光状態を有する第4の光束を位相差板と偏光子に入射し、円偏光成分を第4の受光部で検出して該試料の複屈折量を測定することを特徴とする複屈折測定装置。 - 前記分割ユニットは、同じ反射特性と同じ透過特性を有する光学素子3つを持つことを特徴とする請求項2〜5のいずれか一項記載の複屈折測定装置。
- 前記入射手段は、光源と光源からの光を略円偏光にする変換する変換手段とを有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の複屈折測定装置。
- 前記変換手段は、位相差板を有することを特徴とする請求項7記載の複屈折測定装置。
- 試料無しで該複屈折測定装置により測定される複屈折を記憶するメモリーを更に有し、前記演算部は該メモリーに記憶された複屈折にも基づいて前記試料の複屈折を演算することを特徴とする請求項1記載の複屈折測定装置。
- 試料に円偏光又は略円偏光の光を入射させるステップと、
前記試料からの光の光量を検出するステップと、
該検出結果に基づいてストークスパラメターを決定するステップと、
該ストークスパラメターに基づいて前記試料の複屈折を求めるステップと、を有することを特徴とする複屈折測定方法。 - 前記複屈折を求めるステップにおいて、試料無しで測定される複屈折にも基づいて、前記試料の複屈折を求めることを特徴とする請求項11記載の複屈折測定方法。
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