WO2008099939A1 - 光分割素子、距離測定装置 - Google Patents

光分割素子、距離測定装置 Download PDF

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Satoshi Fukumoto
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Nikon-Trimble Co., Ltd.
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Definitions

  • the present invention relates to a light splitting element and a distance measuring device.
  • a distance measuring device using light waves irradiates a target object with light, receives reflected or scattered light from the target object as measurement light, and measures the distance to the target object based on this. is there.
  • a distance measuring device includes a collimation optical system for collimating a target object.
  • the collimation optical system, a transmission optical system for irradiating the target object with measurement light, and received light from the target object are used.
  • the receiving optical system that receives light is a coaxial optical system, and the light from the target object is divided into collimated light, that is, transmitted light and received light, that is, reflected light, by a light splitting element with a diced mouth coating. It has been known.
  • the dike mouth and the thick coat are visible. It is preferable to have a high transmittance with respect to light in the region (about 400 to 700 nm). For example, if the measurement light is configured to use light in the near-infrared region (approximately 780 to 100 nm) that is outside the visible region, the dichroic coat has a high transmittance for light in the visible region. (For example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-110090 2).
  • the collimation position on the target object is A distance measuring device configured to perform confirmation.
  • the dichroic coat applied to the light splitting element has a characteristic that the wavelength range of light that can be split changes as the incident angle of light changes to the coating surface.
  • the difference in the incident angle of the light beam at the center of the optical axis and the peripheral light beam to the dichroic coat becomes large, and the aforementioned characteristics become more prominent. End up.
  • an object of the present invention is to provide a light splitting element in which a change in wavelength separation performance depending on the incident angle of light is suppressed, and a distance measuring device including the same. To do.
  • the first aspect of the present invention has a dichroic mirror surface that reflects light in the first wavelength band and transmits light in the second wavelength band, and has a peripheral portion of the dichroic mirror surface.
  • the present invention provides a light splitting element characterized in that the reflecting surface has a high reflectivity with respect to light in the first wavelength band.
  • the reflecting surface has a ring shape provided over a part or the entire periphery of the dichroic mirror surface.
  • the light splitting element is a dichroic prism, and the wavelength separation surface of the dichroic prism is composed of the dichroic mirror surface and the reflecting surface. desirable.
  • the light splitting element is a dichroic mirror
  • the wavelength separation surface of the dichroic mirror is composed of the dichroic mirror surface and the reflecting surface.
  • the light in the second wavelength band is visible light.
  • the reflecting surface is made of a metal film.
  • the second aspect of the present invention provides a transmission optical system for irradiating a target object with measurement light, a reception optical system for receiving reception light from the target object, and for collimating the target object
  • the distance measuring apparatus having a collimating optical system that forms an image of collimating light from the target object
  • at least the receiving optical system and the collimating optical system are coaxial optical systems that share an objective lens.
  • the coaxial optical path includes a dichroic mirror surface that reflects and guides the received light to the receiving optical system, and transmits the collimated light to the collimating optical system.
  • a distance measuring device comprising a light splitting element having a peripheral portion having a high reflectivity with respect to the received light and having a reflective surface for guiding the received light to the receiving optical system. To do.
  • the light splitting element which suppressed the change of the wavelength separation performance depending on the incident angle of light, and a distance measuring device provided with the same can be provided.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a distance measuring device including a light splitting element according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 shows a dichroic clock provided in the light splitting element according to each embodiment of the present invention.
  • 3A, 3B, and 3C are views showing the shape of the reflective coat portion provided in the light splitting element according to each embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram showing light rays incident on the reflective coating portion in the dichroic prism in the distance measuring device including the light splitting element according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a distance measuring device including the light splitting element according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a distance measuring device including a light splitting element according to the first embodiment of the present invention.
  • the distance measuring apparatus 1 collimates a target object (not shown), collimating optical system 2 that forms an image of collimated light from the target object, and irradiates the target object with measurement light.
  • a transmission optical system 3 for receiving the received light from the target object and a receiving optical system 4 for receiving the received light from the target object are provided as a coaxial optical system sharing the objective lens 5.
  • the collimating optical system 2 includes an object lens 5, a focusing lens 6, an erecting prism 7, a reticle 8, and an eyepiece 9 in order from a target object (not shown). .
  • the transmission optical system 3 is arranged in order from the target object side on the reflecting mirror 10 disposed in the optical path between the objective lens 5 and the focusing lens 6, and on the reflecting optical path of the reflecting mirror 10.
  • a laser diode (L D) that emits light having a wavelength of about 6500 nm is used as the light source 12.
  • the receiving optical system 4 includes a dichroic prism 13 described later disposed as a light splitting element in the optical path between the reflecting mirror 10 and the focusing lens 6, and in the vicinity of the exit surface of the dichroic prism 13. And a light receiving element 14 arranged.
  • the light receiving element 14 and the light source 12 in the transmission optical system 3 are connected to the calculation control unit 15, respectively.
  • the measurement light emitted from the light source 12 passes through the collimator lens 11, is then reflected by the reflecting mirror 10, and is irradiated onto the target object as a substantially parallel light beam through the objective lens 5.
  • the light reflected or scattered by the target object that is, the received light again passes through the periphery of the reflecting mirror 10 through the objective lens 5.
  • the received light is reflected by the reflection coating portion 16 in the dichroic prism 13, further travels inside the dichroic prism 13, exits, and enters the light receiving element 14.
  • the calculation control unit 15 calculates the distance from the distance measuring device 1 to the target object based on the time difference between the timing when the light source 12 is emitted and the timing when the received light is received by the light receiving element 14. To do. At this time, in order to improve the distance measurement accuracy, an internal optical path (not shown) is usually provided to measure the timing of the measurement light. In this way, the user can measure the distance to the target object using the distance measuring device 1. It should be noted that if the measurement light beam from the light source 12 is thinned and irradiated on the target object, the measurement position on the target object can be observed as a red spot image.
  • the collimated light from the target object passes through the peripheral part of the reflecting mirror 10 through the objective lens 5, passes through the reflecting coating part 16 in the dichroic prism 13, and then enters the focusing lens 6, The light passes through the erecting prism 7 and the reticle 8 in order, and is guided to the user's eyes through the eyepiece 9. As a result, the user can collimate the target object image.
  • the dichroic prism 13 is a prism member formed by sticking a rectangular prism prism and a trapezoid prism that extend in the direction perpendicular to the paper surface.
  • an elliptical first reflective coat 16 a having a minor axis extending in the direction perpendicular to the paper surface, and a first reflective coat 16 a formed on the outer peripheral portion of the first reflective coat 16 a. 2 reflective coat
  • a reflective coating portion 16 comprising 1 6 b is provided.
  • the first reflective coat 16 a is composed of a dichroic coat whose transmission characteristics are shown in FIG. 2, and transmits collimated light out of light from the target object and reflects received light.
  • received light light with a wavelength of 6500 nm
  • a part of the dichroic coat is applied to the dichroic coat 1 6a.
  • the light from the target object cannot be properly divided into the received light and collimated light.
  • the second reflection coat 16 b for appropriately reflecting the reception light is provided on the outer peripheral portion where the reflectance of the reception light is reduced in the first reflection coating 16 a.
  • the second reflective coat 16 b is made of a metal thin film deposited in a ring shape over the entire circumference of the first reflective coat 16 a as shown in FIG. 3A. -
  • the reflection coat unit 16 appropriately divides the light from the target object into the received light and the collimated light by the first reflection coat 16 a, and further proceeds to the outside of the first reflection coat 16 a. Received light can be appropriately reflected by the second reflective coating 16 b.
  • the dichroic prism 13 in the present embodiment has a prism member having a refractive index of 1.569, and an angle formed by the reflective coating portion 16 and the optical axis AX is 30. It is arranged so that Then, when light from the target object enters the reflection coat portion 16, the first reflection coat 16 a has a light flux with an F number of 2.75 at the objective lens 5, that is, received light. The collimated light is incident, and the second reflecting coat 16 b is configured to receive a light beam having an F number of 2.2 at the objective lens 5, that is, received light.
  • FIG. 4 is a diagram showing a state of light rays incident on the reflective coating portion 16 of the dichroic prism 13 in the distance measuring device 1 including the light splitting element according to the first embodiment of the present invention.
  • the first reflective coat 16a of the light ray C passing through the upper end of the objective lens 5 is applied to the first reflective coat 16a.
  • the incident angle is 23.5 °
  • the incident angle of the light ray D passing through the lower end with respect to the first reflective coating 16 a is 36.5 °.
  • the incident angle of the light traveling on the optical axis AX to the first reflective coat 16 a is 30 °
  • the incident angle of the light beam passing through the left and right ends of the objective lens 5 to the first reflective coat 16 a is 3 0.6 3 degrees.
  • the wavelength separation of the first reflective coat 16a is reduced by reducing the difference in incident angle between the light rays C and D incident on the first reflective coat 16a and the light beam traveling on the optical axis AX. Deterioration of performance can be suppressed.
  • the difference in incident angle is reduced, it is easy to design a dichroic coat film, which is advantageous in reducing the number of coats and producing a dichroic coat having better wavelength separation performance. Also, as shown in FIG.
  • the incident angle of the light beam A passing through the upper end of the objective lens 5 with respect to the second reflection coat 16 b of the luminous flux having the F number of 2.2 at the objective lens 5 is 2
  • the incident angle of the light beam B passing through the lower end with respect to the second reflective coating 16 b is 38 °.
  • the incident angle of the light beam that has passed through the left and right ends of the objective lens 5 with respect to the second reflection coat 16 b is 30.95 °.
  • the second reflective coat 16 b is made of a metal thin film as described above, and the metal thin film has reflection characteristics that do not depend on the incident angle of light. Therefore, the wavelength separation performance of the dichroic coat 16 a Light rays traveling at an incident angle that causes deterioration (for example, 22 °) can be reflected appropriately without loss of light.
  • the area ratio on the objective lens 5 with respect to the light beam with the F number of 2.75 at the objective lens 5, that is, the collimated light and the received light with the light beam at 2.2, that is, the received light is 1: It will be about 1.6.
  • the dichroic prism 13 of the present embodiment is such that the reflection coating portion 16 is the same, and the first reflection coating 16 a maintains the wavelength separation performance of the dichroic coating well regardless of the incident angle of the received light.
  • the second reflective coat is applied to the incident area of the received light that is traveling at an incident angle that degrades the wavelength separation performance of the dichroic coat. 1 6 b is installed It is
  • the first reflective coat 16 a can appropriately divide the light from the target object into the received light and the collimated light with good wavelength separation performance. Therefore, it is possible to prevent a part of the received light from passing through the first reflective coat 16 a and coloring the target object image formed by the collimated light.
  • the received light is appropriately reflected by the first reflective coat 16 a, and the received light incident on the second reflective coat 16 b is not reflected by the second reflective coat 16 b regardless of the incident angle. It is reflected appropriately and can be guided to the light receiving element 14. Therefore, the light receiving element 14 can receive the received light with a sufficient amount of light without losing the amount of light.
  • this embodiment it is possible to realize a dichroic prism that suppresses a change in wavelength separation performance that depends on the incident angle of light. This also improves the reception efficiency while suppressing the coloration of the collimated light, making it possible to observe the target object image comfortably in a natural color and is advantageous for extending the measurement distance. Can be realized.
  • FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a distance measuring device including the light splitting element according to the second embodiment of the present invention.
  • the distance measuring device 20 includes a collimation optical system 2, a transmission optical system 21, and a reception optical system 22 as a coaxial optical system sharing the objective lens 5.
  • the transmission optical system 21 includes a dichroic mirror 2 3 disposed as an optical path splitting element in the optical path between the objective lens 5 and the focusing lens 6, and the dichroic mirror 2 3.
  • the dichroic mirror 23 has a reflective coating portion 16 shown in FIG. 3A similar to the dichroic prism 13 of the first embodiment on the surface thereof, and the dichroic prism 1 It has the same effect as 3.
  • reception optical system 22 is an optical system that shares the dichroic mirror 23 and the half prism 24 with the transmission optical system 21, and has a light receiving element 14 on the reflection optical path of the half prism 24.
  • the measurement light emitted from the light source 1 2 passes through the half prism 2 4, is reflected by the dichroic mirror 1 2 3, and passes through the objective lens 5 as a substantially parallel light beam to the target object. Irradiated.
  • the light reflected or scattered by the target object that is, the received light again enters the dichroic mirror 2 3 through the objective lens 5 and is reflected by the reflection coating portion 16 of the dichroic mirror 1 2 3. .
  • the received light is reflected by the half prism 24 and enters the light receiving element 14.
  • the arithmetic control unit 15 can determine the distance from the distance measuring device 20 to the target object based on the time difference between the timing when the light source 12 emits light and the timing when the received light is received by the light receiving element 14. Is calculated. In this way, the user can measure the distance to the target object using the distance measuring device 20.
  • a dichroic mirror that suppresses the change in wavelength separation performance depending on the incident angle of light can be realized. This also improves the reception efficiency while suppressing the coloring of the collimated light, making it possible to observe the target object image comfortably in a natural color, which is advantageous for extending the measurement distance.
  • An apparatus can be realized.
  • the shape of the second reflective coat 16 b in the reflective coat portion 16 of the dichroic prism 13 of the first embodiment and the dichroic mirror 23 of the second embodiment is shown in FIG. 3A. It is not limited to the annular zone shape. Reflective coat part 1 6
  • the second reflective coat 16 b may be formed as long as there is no problem in the amount of collimated light. This makes it possible to secure a larger amount of received light, which is effective for increasing the measurement distance. Therefore, specifically, the following shapes can be formed according to the light receiving efficiency of received light and the manufacturing cost.
  • the incident angle of the light beam that has passed through the right and left ends of the objective lens 5 to the reflective coating portion 16 is not very different from the incident angle of the light beam traveling on the optical axis AX, so the wavelength separation performance of dichroic glass is deteriorated. There is nothing to do. For this reason, since it is not always necessary to provide the second reflective coat 16 b in the region where the light beam that has passed through the left and right ends of the objective lens 5 enters the reflective coat part 16, the second reflective coat 16 b is provided. For example, as shown in FIG. 3B, the left and right portions of the annular zone may be cut out.
  • the second reflective coat 16 b is formed as shown in FIG. Only the upper half of the ring shape may be used, and the thickness may increase toward the upper end. It is preferable that the second reflective coat 16 b be formed in these shapes, since there is an advantage that the manufacturing becomes easy.
  • the dichroic prism 13 of the first embodiment is incident on the reflective coating section 16 because the light beam is refracted by the prism portion as compared to the dichroic mirror 23 of the second embodiment.
  • the dichroic mirror 1 23 according to the second embodiment has an advantage that it is easier to manufacture than the dichroic prism 13 according to the first embodiment.

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Abstract

 光の入射角度に依存する波長分離性能の変化を抑えた光分割素子、及びこれを備えた距離測定装置を提供する。第1波長帯域の光を反射しかつ第2波長帯域の光を透過するダイクロイックミラー面16aを有し、ダイクロイックミラー面16aの周縁部を、前記第1波長帯域の光に対して高反射率を有する反射面16bとしたことを特徴とする。

Description

光分割素子、 距離測定装置 技術分野
本発明は、 光分割素子、 距離測定装置に関する。 背景技術
従来、 光波を利用した距離測定装置は、 目標物体に光を照射し、 目標物体から の反射光又は散乱光を測定光として受光し、 これをもとに目標物体までの距離を 測定するものである。
通常、 距離測定装置は、 目標物体を視準するための視準光学系を備えており、 この視準光学系と、 目標物体に測定光を照射する送信光学系及び目標物体からの 受信光を受光する受信光学系を同軸の光学系とし、 目標物体からの光をダイク口 イツクコートを施した光分割素子によって視準光、 すなわち透過光と受信光、 す なわち反射光に分割する構成のものが知られている。
斯かる距離測定装置において、 目標物体を視準する際に自然な色の見えを得る、 即ち視準光学系によって自然な色味の目標物体像を形成するためには、 ダイク口 イツクコートが広い可視域 (4 0 0〜7 0 0 n m程度) の光に対して高い透過率 を有していることが好ましい。 例えば、 測定光として可視域から外れている近赤 外域 (7 8 0〜 1 0 0 0 n m程度) の光を使用する構成とすれば、 ダイクロイツ クコートは可視域の光に対して高い透過率を維持することが可能となる (例えば、 特開平 1 1— 1 0 9 0 2 2号公報を参照) 。
また、 近赤外域ではなく可視域の波長 6 5 0 n m程度の赤色光を測定光として 使用し、 目標物体に対して比較的小さなスポット光束を照射することで、 目標物 体における視準位置の確認を行う構成の距離測定装置も知られている。 し力 ^しながら、 光分割素子に施されたダイクロイツクコートは、 コート面へ光 の入射角度が変化することによって、 分割できる光の波長域が変化してしまうと いう特性がある。 特に、 受信光学系において対物レンズの Fナンバーが小さい場 合には、 光軸中心の光線と周縁光線のダイクロイツクコー卜への入射角度の差が 大きくなり、 前述の特性がより顕著になってしまう。 このため、 視準光について は、 可視域における長波長の光の透過率が悪化するため、 目標物体を視準する際 に目標物体像が色付いてしまうという不具合が生じる。また、受信光についても、 ダイクロイツクコートで視準光と適切に分割されないため、 受信光学系の受光素 子において十分な光量で受光することができなくなつてしまう。 発明の開示
そこで本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、 光の入射角度に依存 する波長分離性能の変化を抑えた光分割素子、 及びこれを備えた距離測定装置を 提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明の第 1態様は、 第 1波長帯域の光を反射しか つ第 2波長帯域の光を透過するダイクロイツクミラー面を有し、 前記ダイクロイ ックミラー面の周縁部を、 前記第 1波長帯域の光に対して高反射率を有する反射 面としたことを特徴とする光分割素子を提供する。
また、 本発明の第 1態様によれば、 前記反射面は、 前記ダイクロイツクミラー 面の外周の一部又は全周にわたって設けられた輪帯形状であることが望ましい。 また、 本発明の第 1態様によれば、 前記光分割素子は、 ダイクロイツクプリズ ムであり、 前記ダイクロイツクプリズムの波長分離面は、 前記ダイクロイツクミ ラー面と前記反射面とからなることが望ましい。
また、 本発明の第 1態様によれば、 前記光分割素子は、 ダイクロイツクミラー であり、 前記ダイクロイツクミラーの波長分離面は、 前記ダイクロイツクミラー 面と前記反射面とからなることが望ましい。 また、 本発明の第 1態様によれば、 前記第 2波長帯域の光は、 可視域の光であ ることが望ましい。
また、 本発明の第 1態様によれば、 前記反射面は、 金属膜からなることが望ま しい。
また本発明の第 2態様は、 目標物体に測定光を照射するための送信光学系と、 前記目標物体からの受信光を受光するための受信光学系と、 前記目標物体を視準 するために前記目標物体からの視準光を結像する視準光学系とを有する距離測 定装置において、 少なくとも前記受信光学系と前記視準光学系とは、 対物レンズ を共用する同軸の光学系であって、 同軸光路中には、 前記受信光を反射して前記 受信光学系へ導き、 かつ前記視準光を透過して前記視準光学系へ導くダイクロイ ックミラー面を有し、 前記ダイクロイックミラ一面の周縁部を、 前記受信光に対 して高反射率を有し、 前記受信光を前記受信光学系へ導く反射面とした光分割素 子を備えていることを特徴とする距離測定装置を提供する。
本発明によれば、 光の入射角度に依存する波長分離性能の変化を抑えた光分割 素子、 及びこれを備えた距離測定装置を提供することができる。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明の第 1実施形態に係る光分割素子を備えた距離測定装置の構成 を示す図である。
図 2は、 本発明の各実施形態に係る光分割素子に備えられたダイクロイツクコ
—卜の透過特性を光の入射角度毎に示したグラフである。
図 3 A、 3 B、 3 Cは、 本発明の各実施形態に係る光分割素子に備えられた反 射コート部の形状を示す図である。
図 4は、 本発明の第 1実施形態に係る光分割素子を備えた距離測定装置におい て、 ダイクロイツクプリズム中の反射コート部に対して入射する光線を示す図で ある。 図 5は、 本発明の第 2実施形態に係る光分割素子を備えた距離測定装置の構成 を示す図である。 発明の実施の形態
以下、 本発明の各実施形態に係る光分割素子を備えた距離測定装置を添付図面 に基づいて詳細に説明する。
(第 1実施形態)
図 1は、 本発明の第 1実施形態に係る光分割素子を備えた距離測定装置の構成 を示す図である。
図 1に示すように本距離測定装置 1は、 不図示の目標物体を視準するために該 目標物体からの視準光を結像する視準光学系 2、 目標物体に測定光を照射するた めの送信光学系 3、 及び目標物体からの受信光を受光するための受信光学系 4を、 対物レンズ 5を共用する同軸の光学系として備えてなる。
本距離測定装置 1において視準光学系 2は、 不図示の目標物体側から順に、 対 物レンズ 5と、 合焦レンズ 6と、 正立プリズム 7と、 レチクル 8と、 接眼レンズ 9とを有する。
また、 送信光学系 3は、 目標物体側から順に、 対物レンズ 5と合焦レンズ 6と の間の光路中に配置された反射鏡 1 0と、 この反射鏡 1 0の反射光路上に配置さ れたコリメ一夕レンズ 1 1と光源 1 2とを有する。 なお、 本実施形態では光源 1 2として波長 6 5 0 n m程度の光を発するレーザーダイオード (L D) が用いら れている。
さらに、 受信光学系 4は、 反射鏡 1 0と合焦レンズ 6との間の光路中に光分割 素子として配置された後述するダイクロイツクプリズム 1 3と、 このダイクロイ ックプリズム 1 3の射出面付近に配置された受光素子 1 4とを有する。 なお、 こ の受光素子 1 4と、 送信光学系 3における光源 1 2とは、 それぞれ演算制御部 1 5に接続されている。 以上の構成の下、 光源 1 2から射出された測定光は、 コリメ一夕レンズ 1 1を 経た後、 反射鏡 1 0によって反射され、 対物レンズ 5を介して略平行光束として 目標物体に照射される。 これにより、 目標物体で反射或いは散乱された光、 すな わち受信光は、 再び対物レンズ 5を介して反射鏡 1 0の周辺部を通過する。 そし てこの受信光は、 ダイクロイツクプリズム 1 3内の反射コート部 1 6で反射され、 さらにダイクロイツクプリズム 1 3内部を進行して射出され、 受光素子 1 4へ入 射する。
これにより演算制御部 1 5は、 光源 1 2を発光したタイミングと、 受信光が受 光素子 1 4で受光されたタイミングとの時間差に基づき、 本距離測定装置 1から 目標物体までの距離を演算する。 この時、 測距精度を良くするために、 不図示の 内部光路を設け、 測定光のタイミングを計測するのが通常である。 このようにレ て使用者は、 本距離測定装置 1を用いて目標物体までの距離を測定することがで きる。 なお、 光源 1 2からの測定光の光束を細くして目標物体に照射すれば、 目 標物体における測定位置を赤色のスポット像として観察することが可能となる。 また、 目標物体からの視準光は、 対物レンズ 5を介して反射鏡 1 0の周辺部を 通過し、 ダイクロイツクプリズム 1 3内の反射コート部 1 6を透過した後、 合焦 レンズ 6、 正立プリズム 7、 及びレチクル 8を順に経て、 接眼レンズ 9を介して 使用者の目に導かれる。 これにより使用者は、 目標物体像を視準することが可能 となる。
次に、 本距離測定装置 1において最も特徴的なダイクロイツクプリズム 1 3の 構成について詳細に説明する。
ダイクロイツクプリズム 1 3は、 図 1に示すように紙面垂直方向に延在する直 角三角柱プリズムと台形プリズムとを張り合わせてなるプリズム部材である。 そ して、 貼り合わせ面には、 短軸が紙面垂直方向に延在した楕円形状の第 1反射コ ート 1 6 aと、 該第 1反射コート 1 6 aの外周部分に形成された第 2反射コート
1 6 bとからなる反射コート部 1 6が備えられている。 第 1反射コート 1 6 aは、 図 2にその透過特性を示すダイクロイツクコートか らなり、 目標物体からの光のうち視準光を透過し、 かつ受信光を反射するもので ある。 ここで、 図 2からわかるように、 ダイクロイツクコート 1 6 aに入射角度 2 2 ° で受信光 (波長 6 5 0 n mの光) が入射する際には、 その一部がダイク口 イツクコート 1 6 aを透過してしまい、 目標物体からの光を受信光と視準光に適 切に分割することができなくなってしまう。
このため、 第 1反射コー卜 1 6 aにおいて受信光の反射率が低下する外周部分 には、 受信光を適切に反射するための第 2反射コート 1 6 bが設けられている。 本実施形態においてこの第 2反射コート 1 6 bは、 図 3 Aにその形状を示すよう に第 1反射コート 1 6 aの全周にわたって輪帯状に蒸着された金属薄膜からな る。 ―
斯かる構成により反射コート部 1 6は、 目標物体からの光を第 1反射コート 1 6 aで受信光と視準光に適切に分割し、 さらに第 1反射コート 1 6 aの外側へ進 行する受信光を第 2反射コート 1 6 bで適切に反射することができる。
より具体的には、 本実施形態におけるダイクロイツクプリズム 1 3は、 プリズ ム部材の屈折率が 1 . 5 6 9であって、 反射コート部 1 6と光軸 AXとのなす角 度が 3 0 ° となるように配置されている。 そして、 目標物体からの光が反射コ一 ト部 1 6に入射する際に、 第 1反射コート 1 6 aには対物レンズ 5での Fナンパ 一が 2 . 7 5となる光束、 すなわち受信光及び視準光が入射し、 第 2反射コート 1 6 bには対物レンズ 5での Fナンバーが 2 . 2となる光束、 すなわち受信光が 入射するように構成されている。
なお、 図 4は、 本発明の第 1実施形態に係る光分割素子を備えた距離測定装置 1において、 ダイクロイツクプリズム 1 3の反射コート部 1 6へ入射する光線の 様子を示す図である。
この設定の下、 図 4に示すように対物レンズ 5での Fナンバーが 2 . 7 5とな る光束のうち、 対物レンズ 5の上端を経た光線 Cの第 1反射コート 1 6 aに対す る入射角度は 2 3 . 5 ° となり、 下端を経た光線 Dの第 1反射コート 1 6 aに対 する入射角度は 3 6 . 5 ° となる。 なお、 光軸 A X上を進行する光線の第 1反射 コート 1 6 aに対する入射角度は 3 0 ° であり、 対物レンズ 5の左右端を経た光 線の第 1反射コート 1 6 aに対する入射角度は 3 0 . 6 3 ° である。
このように、 第 1反射コート 1 6 aに入射する光線 C、 Dと光軸 A X上を進行 する光線との入射角度の差を小さくすることで、 第 1反射コート 1 6 aの波長分 離性能の悪化を抑えることができる。 また、 入射角度の差が小さくなることで、 ダイクロイツクコートの膜設計が容易となり、 コート数を削減したり、 より良好 な波長分離性能を有するダイクロイツクコートを製造することにも有利である。 また図 4に示すように、 対物レンズ 5での Fナンバーが 2 . 2となる光束のう ち、 対物レンズ 5の上端を経た光線 Aの第 2反射コ一ト 1 6 bに対する入射角度 は 2 2 ° となり、 下端を経た光線 Bの第 2反射コート 1 6 bに対する入射角度は 3 8 ° となる。 なお、 対物レンズ 5の左右端を経た光線の第 2反射コート 1 6 b に対する入射角度は 3 0 . 9 5 ° である。
ここで、 第 2反射コート 1 6 bは上述のように金属薄膜からなり、 金属薄膜は 光の入射角度に依存しない反射特性を有しているため、 ダイクロイツクコート 1 6 aの波長分離性能の悪化を引き起こす入射角度 (例えば 2 2 ° ) で進行する光 線を光量ロスすることなく適切に反射することができる。
なお、 対物レンズ 5での Fナンバーが 2 . 7 5となる光束、 すなわち視準光及 び受信光と 2 . 2となる光束、 すなわち受信光との対物レンズ 5上での面積比率 は 1 : 1 . 6程度となる。
以上をまとめれば、 本実施形態のダイクロイツクプリズム 1 3は、 反射コート 部 1 6において、 第 1反射コート 1 6 aはダイクロイツクコートの波長分離性能 を受信光の入射角度によらず良好に維持でき、 かつ視準光の光束を十分に確保で きる大きさに設定されており、 ダイクロイツクコートの波長分離性能を悪化させ てしまう入射角度で進行する受信光の入射領域には第 2反射コート 1 6 bが設 けられている。
このため、 第 1反射コート 1 6 aでは目標物体からの光を受信光と視準光に良 好な波長分離性能で適切に分割することができる。 したがって、 受信光の一部が 第 1反射コート 1 6 aを透過し、 視準光によって形成される目標物体像が色付い てしまうことを防ぐことができる。
また、 前述のように第 1反射コート 1 6 aによって受信光が適切に反射され、 さらに第 2反射コート 1 6 bに入射する受信光は入射角度によらず該第 2反射 コート 1 6 bで適切に反射され、 受光素子 1 4へ導くことができる。 したがって 受光素子 1 4では、 光量ロスすることなく十分な光量で受信光を受光することが できる。
:以上より本実施形態では、 光の入射角度に依存する波長分離性能の変化を抑え たダイクロイツクプリズムを実現することができる。 またこれにより、 視準光の 色付きを抑えながら受信効率を向上することができるため、 目標物体像を自然な 色味で快適に観察可能で、 測定距離の長距離化にも有利な距離測定装置を実現す ることができる。
(第 2実施形態)
図 5は、 本発明の第 2実施形態に係る光分割素子を備えた距離測定装置の構成 を示す図である。
以下、 本実施形態に係る光分割素子を備えた距離測定装置は、 本発明の光分割 素子の変形例を示すものであり、 上記第 1実施形態と同様の構成である部分には 同じ符号を付してその説明を省略し、 異なる構成の部分について詳細に説明する。 図 5に示すように本距離測定装置 2 0は、 視準光学系 2、 送信光学系 2 1、 及 び受信光学系 2 2を、 対物レンズ 5を共用する同軸の光学系として備えてなる。 本距離測定装置 2 0において送信光学系 2 1は、 対物レンズ 5と合焦レンズ 6 との間の光路中に光路分割素子として配置されたダイクロイツクミラー 2 3と、 このダイクロイツクミラー 2 3の反射光路上に配置されたハーフプリズム 2 4 と光源 1 2とを有する。なお、本実施形態においてダイクロイツクミラー 2 3は、 その表面に上記第 1実施形態のダイクロイツクプリズム 1 3と同様の図 3 Aに 示す反射コート部 1 6を備えており、 前記ダイクロイツクプリズム 1 3と同様の 効果を奏するものである。
さらに、 受信光学系 2 2は、 ダイクロイツクミラー 2 3及びハーフプリズム 2 4を送信光学系 2 1と共用する光学系であって、 ハーフプリズム 2 4の反射光路 上に受光素子 1 4を有する。
以上の構成の下、 光源 1 2から射出された測定光は、 ハーフプリズム 2 4を透 過した後、 ダイクロイツクミラ一 2 3で反射され、 対物レンズ 5を介して略平行 光束として目標物体に照射される。 これにより、 目標物体で反射或いは散乱され た光、 すなわち受信光は、 再び対物レンズ 5を介してダイクロイツクミラー 2 3 へ入射し、 該ダイクロイックミラ一 2 3の反射コート部 1 6で反射される。 そし てこの受信光は、 ハーフプリズム 2 4によって反射されて受光素子 1 4へ入射す る。
これにより演算制御部 1 5は、 光源 1 2を発光したタイミングと、 受信光が受 光素子 1 4で受光されたタイミングとの時間差に基づき、 本距離測定装置 2 0か ら目標物体までの距離を演算する。 このようにして使用者は、 本距離測定装置 2 0を用いて目標物体までの距離を測定することができる。
以上より本実施形態では、 第 1実施形態と同様に、 光の入射角度に依存する波 長分離性能の変化を抑えたダイクロイツクミラーを実現することができる。 また これにより、 視準光の色付きを抑えながら受信効率を向上することができるため、 目標物体像を自然な色味で快適に観察可能で、 測定距離の長距離化にも有利な距 離測定装置を実現することができる。
なお、 上記第 1実施形態のダイクロイツクプリズム 1 3及び第 2実施形態のダ ィクロイツクミラー 2 3の反射コート部 1 6における第 2反射コート 1 6 bの 形状は、 図 3 Aに示した輪帯形状に限られるものでない。 反射コート部 1 6にお いて上記各実施形態では第 1反射コート 1 6 aとしていた領域でも、 視準光の光 量等に問題が生じない範囲であれば第 2反射コート 1 6 bを形成してもよい。 こ れにより、 受信光の光量をより多く確保することが可能となり、 測定距離の長距 離化に有効となる。 したがって具体的には、 受信光の受光効率や製造コストに応 じて、 以下のような形状とすることができる。
対物レンズ 5の左右の端部を経た光束の反射コート部 1 6に対する入射角度 は、 光軸 A X上を進行する光線の入射角度と差が小さいため、 ダイクロイツクコ 一卜の波長分離性能が悪化することがない。 このため、 対物レンズ 5の左右の端 部を経た光束の反射コート部 1 6への入射領域には、 必ずしも第 2反射コート 1 6 bを設ける必要がないため、 第 2反射コート 1 6 bを例えば図 3 Bに示すよう に輪帯形状の左右部分を切り欠いた形状としてもよい。
また、 ダイクロイツクコートの波長分離性能の悪化は、 入射角度が小さくなる 対物レンズ 5の上端を経た光束に対して顕著であるため、 第 2反射コート 1 6 b を例えば図 3 Cに示すように輪帯形状の上半分のみとし、 上端部へ向かって厚み が大きくなる形状としてもよい。 なお、 第 2反射コート 1 6 bをこれらの形状と することで、 製造が容易になるという長所も生じるため好ましい。
なお、 上記第 1実施形態のダイクロイツクプリズム 1 3は、 第 2実施形態のダ ィクロイツクミラー 2 3に比して、 光束がプリズム部分で屈折されることで反射 コート部 1 6への入射角度の変動を少なくできるという利点や、 光軸のシフトが ないため装置組立て時の都合が良いという利点がある。 これに対して第 2実施形 態のダイクロイツクミラ一 2 3は、 上記第 1実施形態のダイクロイツクプリズム 1 3に比して製造が容易であるという利点がある。
以上の各実施形態によれば、.光の入射角度に依存する波長分離性能の変化を抑 えた光分割素子、 及びこれを備えた距離測定装置を実現することができる。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 第 1波長帯域の光を反射しかつ第 2波長帯域の光を透過するダイクロイツ クミラー面を有し、 前記ダイクロイツクミラ一面の周縁部を、 前記第 1波長帯域 の光に対して高反射率を有する反射面としたことを特徴とする光分割素子。
2 . 前記反射面は、 前記ダイクロイツクミラー面の外周の一部又は全周にわた つて設けられた輪帯形状であることを特徴とする請求項 1に記載の光分割素子。
3 . 前記光分割素子は、 ダイクロイツクプリズムであり、 前記ダイクロイツク プリズムの波長分離面は、 前記ダイクロイツクミラー面と前記反射面とからなる ことを特徴とする請求項 1記載の光分割素子。
4 . 前記光分割素子は、 ダイクロイツクミラーであり、 前記ダイクロイツクミ ラーの波長分離面は、 前記ダイクロイツクミラー面と前記反射面とからなること を特徴とする請求項 1記載の光分割素子。
5 . 前記第 2波長帯域の光は、 可視域の光であることを特徴とする請求項 1記 載の光分割素子。
6 . 前記反射面は、 金属膜からなることを特徴とする請求項 1記載の光分割素 子。
7 . 目標物体に測定光を照射するための送信光学系と、
前記目標物体からの受信光を受光するための受信光学系と、
前記目標物体を視準するために前記目標物体からの視準光を結像する視準光 学系とを有する距離測定装置において、
少なくとも前記受信光学系と前記視準光学系とは、 対物レンズを共用する同軸 の光学系であって、 同軸光路中には、 前記受信光を反射して前記受信光学系へ導 き、 かつ前記視準光を透過して前記視準光学系へ導くダイクロイツクミラー面を 有し、 前記ダイクロイツクミラー面の周縁部を、 前記受信光に対して高反射率を 有し、 前記受信光を前記受信光学系へ導く反射面とした光分割素子を備えている ことを特徵とする距離測定装置。
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