WO2008099789A1 - Mandrin électrostatique - Google Patents

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Kinya Miyashita
Hiroshi Fujisawa
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Abstract

L'invention concerne un mandrin électrostatique qui empêche une décharge anormale générée dans une couche diélectrique ou substrat et qui a une structure appropriée pour être réutilisé. Un mandrin électrostatique (1) comporte un substrat (2), une électrode d'aspiration (3) et une couche diélectrique (4). Des canaux de gaz de type anneau (21, 22) sont disposés sur le substrat (2) sous forme d'évidemments. Des éléments de support (5-1, 5-2) qui supportent un isolant (6) sont ajustés dans les canaux de gaz (21, 22). L'isolant (6) remplit l'intérieur d'une longue rainure (8) formée sur les éléments de support (5-1, 5-2). L'isolant (6) est composé d'une céramique poreuse, forme une bande de type anneau correspondant au canal de gaz (21, 22) dans son entier, et la largeur de la surface supérieure est réglée supérieure au diamètre d'un trou de ventilation (41) de la couche diélectrique (4). Une ouverture inférieure du trou de ventilation (41) vient en butée contre la surface supérieure de l'isolant (6), et le trou de ventilation (41) communique avec le canal de gaz (21, 22) à travers l'isolant (6). De préférence, une encoche (51) A est disposée sur l'élément de support (5-1, 5-2).
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