WO2008091018A1 - 光記録媒体およびその製造方法 - Google Patents

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WO2008091018A1
WO2008091018A1 PCT/JP2008/051462 JP2008051462W WO2008091018A1 WO 2008091018 A1 WO2008091018 A1 WO 2008091018A1 JP 2008051462 W JP2008051462 W JP 2008051462W WO 2008091018 A1 WO2008091018 A1 WO 2008091018A1
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recording medium
optical recording
recording
atomic
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Takemitsu Sakai
Yuichi Sabi
Etsuro Ikeda
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Sony Corporation
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Definitions

  • the present invention relates to an optical recording medium and a method of manufacturing the same. Specifically, the present invention relates to an optical recording medium having an inorganic recording film.
  • an optical recording medium of high density recording capable of recording a large volume of information is desired.
  • the standard ver.1.1 of Blu-ray Disc (registered trademark) hereinafter referred to as BD
  • BD Blu-ray Disc
  • the normal playback speed of the HD is 1x (1 x)
  • the BD standard ver.1.1 already supports recording up to 2x (2 x).
  • C LV Constant Linear Velocity
  • CAV Constant Angular Velocity
  • an object of the present invention is to provide an optical recording medium capable of improving the power margin at high speed recording in an optical recording medium having an inorganic recording film, and a method of manufacturing the same.
  • a write-once type optical recording medium including an oxide film containing an oxide of germanium (G e) and an adjacent film containing titanium (T i) as an inorganic recording film, It is the recording principle that the oxide film is separated into two layers with different oxygen compositions at the time of recording. Such separation occurs because the adjacent film is adjacent to the oxide film.
  • the adjacent film surface plays an important role in the oxygen separation, and the titanium (T i) oxide on the adjacent film surface absorbs the recording light and the photocatalytic effect appears, which is the recording principle. It is thought that This is done by using a material that does not contain titanium (T i), such as an alloy based on aluminum (A 1) or silver (A g). Or used in the contact layer, in the case of forming the inert dielectric film such as a few nm of S i N and Z n S- S i 0 2 between adjacent film and the oxide film, extremely modulation degree decreases It is demonstrated indirectly from the experimental results that oxide films do not separate cleanly.
  • the present inventors have conducted intensive studies to improve the recording characteristics in high-speed recording.
  • the additive significantly affects the recording characteristics
  • manganese (Mn) is added to the adjacent film, a wide power mirror can be obtained especially at high speed recording. It came to find.
  • This invention is devised based on the above examination.
  • the 1st invention of this invention is a 1st invention of this invention.
  • An optical recording medium having an inorganic recording film, comprising
  • Adjacent film adjacent to the oxide film containing titanium (T i) and manganese (Mn)
  • the second invention of this invention is
  • a method of manufacturing an optical recording medium having an inorganic recording film comprising:
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a configuration example of a write-once type optical recording medium according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a tracking diagram according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing one configuration example of the write-once type optical recording medium according to the first embodiment of the present invention.
  • the write-once type optical recording medium 10 has a configuration in which an inorganic recording film 2, a dielectric film 3, and a light transmission layer 4 are sequentially laminated on a substrate 1.
  • recording and / or reproduction of an information signal is performed by irradiating the inorganic recording film 2 with laser light from the side of the light transmitting layer 4.
  • a laser beam having a wavelength in the range of 400 nm to 410 nm is collected by an objective lens having a numerical aperture in the range of 0.84 to 0.86. Irradiation to the inorganic recording film 2 from the side of By doing this, recording and reproduction of the information signal are performed.
  • An example of such a write-once type optical recording medium 10 is BD-R.
  • the substrate 1, the inorganic recording film 2, the dielectric film 3 and the light transmitting layer 4 constituting the write-once type optical recording medium 10 will be sequentially described below.
  • the substrate 1 has an annular shape in which an opening (hereinafter referred to as a center hole) is formed at the center.
  • One main surface of the substrate 1 is an uneven surface 11, and the inorganic recording film 2 is formed on the uneven surface 11.
  • the concave portion of the concave and convex surface 1 1 is referred to as in-groove 1 1 Gin, and the convex portion of the concave and convex surface 1 1 is referred to as on groove 1 1 Gon.
  • Examples of the shape of the ring loop 1 1 Gin and the on-group 1 1 Gon include various shapes such as a spiral shape and a concentric shape. Also, in-groove 1 1 Gin and / or on-group 1 1 Gon are wobbled to add address information.
  • the diameter of the substrate 1 is selected to be, for example, 120 mm.
  • the thickness of the substrate 1 is selected in consideration of the rigidity, and preferably 0.3 mn! It is selected from ⁇ 1.3 mm, more preferably from 0.6 mm to: L. 3 mm, for example, selected to be 1.1 mm. Also, the diameter (diameter) of the center hole 1a is selected to be 15 mm.
  • a plastic material such as polycarbonate resin, polyolefin resin or acrylic resin, or glass can be used. In consideration of the cost, it is preferable to use a plastic material as the material of the substrate 1.
  • the inorganic recording film 2 is composed of a metal film 2 a and an oxide film 2 b sequentially stacked on the uneven surface 11 of the substrate 1.
  • the metal film 2 a is made of titanium (T i) and It contains Ngan (Mn). Basically, good recording characteristics can be obtained by using titanium (T i) and manganese (Mn) as main materials.
  • the content of manganese (Mn) is preferably in the range of 1 atomic% to 40 atomic%, more preferably 2 atomic% to 30 atomic%, and still more preferably 5 atomic% to 28 atomic%. is there. Within this range, it is possible to improve the power supply margin at high speed recording and improve the recording characteristics at high speed recording. In addition, it is also preferable to contain a slight amount of nitrogen (N) in the metal film 2a. This is because the recording sensitivity can be adjusted.
  • the oxide film 2 b is made of, for example, GeO, which is an oxide of germanium (Ge).
  • the absorption coefficient k of the oxide film 2 b is preferably in the range of 0.15 to 0.90, more preferably 0.20 to 0.70, and still more preferably 0.25 to 0.60. is there.
  • the film thickness of the oxide film 2 b is preferably 1 0! ⁇ ! It is in the range of ⁇ 35 nm.
  • the absorption coefficient k in this specification is at a wavelength of 4 10 n m.
  • Ellipsometer manufactured by Rudolph, trade name: Auto EL-462P17 was used for the measurement.
  • an additive may be added to the oxide film 2b, and examples of the additive include tellurium (T e), palladium (P d), platinum (P t), chromium (C r) , Zinc (Z n), gold (A u), silicon (S i), titanium (T i), iron (F e), nickel (N i), tin (S n), antimony (S b), Manganese (Mn), Indium (In), Zirko Num (Z r) etc. can be used.
  • the durability and / or the reactivity (recording sensitivity) can be improved.
  • palladium (P d), platinum (P t), chromium (C r) and antimony (S b) are particularly preferable in order to improve the durability.
  • the dielectric film 3 is provided on and in contact with the inorganic recording film 2, and optically and mechanically protects the inorganic recording film 2, that is, improves the durability, or deforms the inorganic recording film 2 during recording, that is, It is intended to control the As this dielectric film 3, for example, S i N, Z n S-S i 0 2 , A 1 N, A 1 2 0 3 , S i 0 2 , S i 0 2 -C r 2 0 3 -Z r 0 2 (SCZ) etc. can be used. In order to improve the S / N of the recording signal and to obtain good characteristics, it is preferable to use Z n S-S i 0 2 as the dielectric film 3.
  • the thickness of the dielectric film 3 is, for example, in the range of 10 nm to 100 nm.
  • the light transmitting layer 4 includes, for example, a light transmitting sheet (film) having an annular shape, and an adhesive layer for bonding the light transmitting sheet to the substrate 1.
  • the adhesive layer is made of, for example, UV curable resin or pressure sensitive adhesive (PSA: Pressure Sensitive Adhesive).
  • PSA Pressure Sensitive Adhesive
  • the thickness of the light transmission layer 4 is preferably 10 ⁇ ! It is selected from within the range of 1 to 7 ⁇ m, for example, 1 0 0 / x m.
  • a high density recording can be realized by combining such a thin light transmission layer 4 with an objective lens with a high NA (numerical aperture) of about 8.5, for example.
  • the light transmitting sheet is preferably made of a material having a low absorbability to laser light used for recording and Z or reproduction, and specifically, it is preferable to be made of a material having a transmittance of 90% or more.
  • a material of the light transmitting sheet for example, polycarbonate resin material, polyolefin based resin Fats (for example Zeonex (R)) are mentioned.
  • the thickness of the light transmitting sheet is preferably selected to be 0.3 mm or less, and more preferably selected in the range of 3; u m ⁇ l 7 7 / im.
  • the inner diameter (diameter) of the light transmission layer 4 is selected to be, for example, 22.7 mm.
  • the substrate 1 provided with the uneven surface 11 on one main surface is formed.
  • a method of molding the substrate for example, an injection molding (injection) method, a photopolymer method (2 P method: photo polymerization), or the like can be used. (Metal film deposition process)
  • the substrate 1 is transferred into a vacuum chamber provided with a target consisting of, for example, titanium (T i) and manganese (Mn), and the inside of the vacuum chamber is evacuated to a predetermined pressure. Thereafter, while introducing a process gas into the vacuum chamber, the target is sputtered to form a metal film 2 a on the substrate 1.
  • a target consisting of, for example, titanium (T i) and manganese (Mn
  • Atmosphere 0. 1 to 0. 6 P a
  • Ar gas flow rate 1 0 to 4 0 s c c m
  • a target made of, for example, germanium (G e) Transfer to the provided vacuum chamber and evacuate the vacuum chamber to a predetermined pressure. Thereafter, while introducing a process gas into the vacuum chamber, the target is sputtered to form an oxide film 2 b on the substrate 1.
  • Atmosphere 0. 1 to 0. 6 P a
  • the substrate 1 is transferred into a vacuum chamber provided with a target consisting of, for example, Z n S-S i 0 2, and the inside of the vacuum chamber is evacuated to a predetermined pressure. Thereafter, while introducing a process gas into the vacuum chamber, the target is sputtered to form a dielectric film 3 on the substrate 1.
  • Atmosphere 0. 1 to 0. 6 P a
  • the light transmission layer 4 is formed to cover the films formed on the substrate 1.
  • the write-once type optical recording medium 10 shown in FIG. 1 is obtained. According to the first embodiment of the present invention, the following effects can be obtained. Since the write-once type optical recording medium 10 can be formed simply by sequentially laminating the metal film 2 a, the oxide film 2 b, the dielectric film 3, and the light transmitting layer 4 on the substrate 1, it has a simple film configuration. It is possible to provide the high recording density write-once optical recording medium 10, that is, the inexpensive high recording density write-once optical recording medium 10.
  • the power margin and the like in high speed recording can be improved only by adding manganese (Mn) to the metal film 2a. Therefore, it is possible to provide a write-once type optical recording medium 10 having excellent recording characteristics in high-speed recording, for example, with the total number of films of three or four layers or less, without increasing the total number of films. That is, it is possible to provide the write-once type optical recording medium 10 excellent in the recording characteristics at high speed recording without causing the increase in the capital investment cost.
  • the metal film 2a contains titanium (T i), excellent durability can also be realized.
  • the write-once type optical recording medium 10 provided with the metal film 2a containing titanium (T i) and manganese (M n) has stable recording sensitivity and durability, while maintaining high speed recording. It is possible to improve the recording characteristics (wide power margin).
  • the physical properties of the metal film 2a hardly change before and after the recording, and the metal film 2 promotes the reaction at the interface between the metal film 2 and the oxide film 2b. It functions as a sort of catalytic effect.
  • oxygen in oxide film 2 b is separated, and oxygen composition in the interface of metal film 2 a A lot of Ge layers are formed.
  • the oxide film 2b is separated into two layers of storage stability and high stability which have different optical constants.
  • the dielectric film is composed of a plurality of dielectric films different in material and composition.
  • the dielectric film is composed of two dielectric films of different materials and compositions will be described as an example.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing one structural example of an optical recording medium according to a second embodiment of the present invention. The same parts as those of the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
  • the dielectric film 5 is composed of a first dielectric film 5 a and a second dielectric film 5 b, and the second dielectric film 5 b is provided on the side of the light transmission layer 4.
  • the first dielectric film 5a is made of, for example, Z n S-S i 0 2 having a high deposition rate, and the second dielectric film 5 b is more stable than, for example, Z n S _ S i 0 2 It is made of a dielectric such as S i N.
  • the component such as sulfur (S) contained in the first dielectric film 5 a It is possible to suppress the deterioration of the light transmission layer 4 due to the reaction with the PSA of the light transmission layer 4 and the like and the deterioration of the durability. That is, it is possible to suppress the occurrence of a large aberration in the light spot and the deterioration of the reproduction signal.
  • the present invention will be specifically described by way of examples, but the present invention is not limited to only these examples.
  • the parts corresponding to those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals.
  • the present invention is designed according to an optical disc recording and reproducing apparatus using a 2-group objective lens having a numerical aperture of 0.85 and a blue-violet semiconductor laser light source having a wavelength of 405 nm.
  • the recordable optical recording medium 10 is shown.
  • a BD disc inspection machine made by Pulstec Industrial Co., Ltd., OD U-1000 was used as an evaluation apparatus.
  • the wavelength of the light source is 40. 5 nm.
  • the jitter was measured by using a signal passing through an equalizer board manufactured by Pulstec Industrial Co., Ltd., using a time analyzer analyzer TAA 720 manufactured by Yokogawa Electric Corporation.
  • the equalizer was standardized and the jitter of the signal after passing through the limit equalizer was measured.
  • the linear velocity of recording is 19.6 m / s (quadruple-speed recording), the linear velocity during reproduction is 4.9 m / s (single-speed), and the channel bit length is 7 4.5 nm (diameter
  • the recording density was 25 GB on a 12 cm optical disc.
  • the modulation method is 1 7 PP, the shortest mark 2 T mark has a mark length of 0.149 ⁇ , and the 8 T mark has a mark length of 0.5 6 / im.
  • Track pitch is a 0. 3 2 ⁇ ⁇ .
  • the range in which the jitter value after passing through the limit equalizer is 8.5% or less is defined as the recording sensitivity margin.
  • the power range divided by the optimum power is defined as the power margin.
  • a 1.1 mm thick polycarbonate substrate (hereinafter referred to as a PC substrate) 1 was produced by injection molding.
  • the uneven surface 1 1 having a ring loop 1 1 Gin and an ong ring 1 1 G on on the PC substrate 1 Formed.
  • the depth of this in-groove 1 1 Gin was 20 nm, and the track pitch was 0.3 ⁇ m.
  • a D 11 11 film 2 3 with a film thickness 2 2 11 111 and a Ge O film 2 with a film thickness 2 5 nm b, Z n S—S i 0 2 film 5 a with a film thickness of 52 nm, and Si N film 5 b with a film thickness of 4 nm were sequentially formed on the substrate 1.
  • a polycarbonate sheet hereinafter referred to as a PC sheet
  • PSA pressure sensitive adhesive
  • the TiMn target is sputtered while Ar gas and N 2 gas are introduced into the vacuum chamber, and a TiMn film 2a having a thickness of 22 nm is used as a substrate.
  • the film was formed on 1.
  • the content of Mn in this TiMn target was 20 atomic%.
  • the Ge target is reactively sputtered while introducing Ar gas and 0 2 gas into the vacuum chamber to form a GeO film having a thickness of 25 nm.
  • 2b was deposited on the TiMn film 2a.
  • the oxygen content of the GeO film 2b was set to a value such that the absorption coefficient k of the Ge0 film 2b was 0.6.
  • the film forming conditions in this film forming process are shown below.
  • Oxygen gas flow rate 4 4 scm
  • the Z n S-S i 2 0 2 target is sputtered while introducing Ar gas into the vacuum chamber, and a Z n S- S i film having a thickness of 52 nm is formed.
  • An O 2 film 5 a was deposited on the GeO film 2 b.
  • composition ratio (atomic ratio) in the Z n S-S i 0 2 film 5 a was set to be z n S: S i O 2 force 8 0: 20.
  • Atmosphere 0.1 P a
  • the write-once optical recording medium 10 obtained as described above is When recording and reproduction was performed, a recording sensitivity of 10.2 mW and a bottom jitter of 6.5% were obtained. Also, the power margin as defined above was 21.6%, and good recording was performed.
  • a write-once optical recording medium 10 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the material of the TiMn film 2 was changed to TiSi.
  • the Si content was 25 atomic percent.
  • the film formation conditions of this TiSi film are shown below.
  • the write-once type optical recording medium 10 obtained under this film forming condition is an S L (Single Layer) medium conforming to the BD-R ver. 1.1.
  • the write-once type optical recording medium 10 obtained as described above became a recording sensitivity of 10.7 mW and a bottom jitter of 6.5%. Also, the power margin as defined above was 17%. Therefore, it is understood that the power margin is improved by 4.6 points while the recording sensitivity is improved by 0.5 mW as compared with the comparative example 1 with the write-once type optical recording medium 10 of Example 1.
  • Comparative Example 1 Where the Mn content in the TiMn film 2a is less than 5 atomic%, the power content begins to narrow rapidly, and when the Mn content is 2 atomic%, the power content is a TiSi film Comparative Example 1 It is equivalent to 17%. When the Mn content is 18 atomic% or more, the power margin is somewhat narrow, and when it exceeds 28 atomic%, the power margin starts to be sharply narrowed, and the Mn content becomes small. At 30 atomic%, the power merge is 18%, which is comparable to that of Comparative Example 1. And, when the Mn content exceeds 40 atomic%, the power margin becomes smaller than Comparative Example 2 in which the Mn content is 0 atomic%.
  • the recording sensitivity is improved by containing Mn, and the recording sensitivity fluctuates somewhat in the range of 1 atomic% to 30 atomic% of Mn, but it remains in the range of 10.0 to 1 1.
  • 1 mW, 30 atomic% Becomes almost constant.
  • the bottom jitter deteriorates to 8.0% due to noise rise, but when the Mn content is 1 atomic%, it decreases to 7.2%, and when it is 2 atomic% or more, the content is It will be around 6.5% regardless of it.
  • the content of Mn is preferably 1 atomic% to 40 atomic%, more preferably 2 atomic% to 30 atomic%, and still more preferably 5 atomic% to 28 atomic%.
  • the oxide film 2b is an oxide of two or more layers, such as materials and a composition, etc. which differ. It may be made of a membrane.
  • the metal film 2a is formed of a single-layer metal film, but the metal film 2a is formed of two or more metal films different in material and composition. You may do so.
  • metal film 2a consisted of titanium (T i) and manganese (Mn), metal materials etc. which exhibit the photocatalytic effect other than titanium (T i) etc. It may be used in place of titanium (T i).

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Abstract

追記型光記録媒体１０は無機記録膜２を備え、無機記録膜２が、ゲルマニウム（Ｇｅ）の酸化物を含む酸化物膜２ａと、チタン（Ｔｉ）およびマンガン（Ｍｎ）を含み、酸化物膜２ａに隣接する隣接膜２ｂとを備える。

Description

明 細 書 光記録媒体およびその製造方法 技術分野 この発明は、 光記録媒体およびその製造方法に関する。 詳しくは、 無 機記録膜を有する光記録媒体に関する。 背景技術 近年、 大容量の情報を記録できる高密度記録の光記録媒体が望まれて いる。 例えば、 この要求に応えるために、 ブルーレイディスク （Blu- ray Disc (登録商標） 、 以下 BD) の規格 ver.1.1が策定され、 ハイビ ジョン画像を光記録媒体に録画、 保存することが可能となっている。 ハ イビジョ ンの通常再生速度を 1倍速 （ 1 X ) とすると、 BDの規格 ver.1.1では既に 2倍速 （2 x) までの記録に対応している。
し力 し、 ユーザからは更なる高速記録が求められており、 ディスクの 回転数の限界といわれる 1 0000 r p m近くでは、 C LV (Constant Linear Velocity) モードでは 4倍速 （4 x) に対応しなければならな い。 更に、 将来的には CAV (Constant Angular Velocity) モードで は 1 0倍速 （ 1 0 x) を超える速度での記録に応える必要がある。 した がって、 光記録媒体はこうした高速記録でも十分な記録特性を有する必 要がある。
ところで、 2倍速 （2 x) までの記録に対応する BD— R (BD— Rewitable) メディアとしては、 ゲルマニウム （G e) の酸化物膜から なる酸化物膜と、 それに隣接して設けられた、 チタン （T i ) からなる 金属膜とを備えるものが商品化されている （例えば特開 2006— 28 1 7 5 1号公報参照） 。 この追記型光記録媒体は 3層膜または 4層膜で 構成されていながら、 広いパワーマージンと高い耐久性とを有する。 発明の開示 しかしながら、 上述の膜構成を有する追記型光記録媒体では、 4倍速 (4 x) の線速で情報信号を記録すると、 パワーマージンが狭く、 その 改善が必要とされる。
したがって、 この発明の目的は、 無機記録膜を有する光記録媒体にお いて、 高速記録でのパワーマージンを改善することができる光記録媒体 およびその製造方法を提供することにある。
本発明者らは、 従来技術が有する上述の課題を解決すべく、 鋭意検討 を行った。 以下にその概要を説明する。
本発明者らの知見によれば、 膜総数を増やさずに、 高速記録において も十分広いパワーマージンを実現するには、 各層の材料に添加物を加え ることが有効である。 また、 本発明者らの知見によれば、 ゲルマニウム (G e) の酸化物を含む酸化物膜と、 チタン （T i ) を含む隣接膜とを 無機記録膜として備える追記型光記録媒体では、 記録時に酸化物膜が酸 素組成の異なる 2層に分離することが記録原理となっている。 このよう な分離は隣接膜が酸化物膜に隣接していることで発生する。 そして、 そ の酸素分離には隣接膜表面が重要な役割を担っており、 隣接膜表面のチ タン （T i ) 酸化物が記録光を吸収し、 光触媒効果が現れることが記録 原理となっていると考えられる。 これは、 チタン （T i ) を含まない材 料、 例えばアルミニウム （A 1 ) や銀 （A g) を主成分とする合金を隣 接膜に用いたり、 隣接膜と酸化物膜の間にわずか数 nmの S i Nや Z n S- S i 02などの不活性な誘電体膜を形成した場合、 極端に変調度が 低下し、 酸化物膜がきれいに分離しないという実験結果が得られている ことから間接的に実証される。
そこで、 本発明者らは、 上述の記録原理に関する知見に基づき、 高速 記録での記録特性を向上するために鋭意検討を行った。 その結果、 隣接 膜に添加物を加えた場合、 その添加物が記録特性に大きな影響を与え、 隣接膜にマンガン （Mn) を添加した場合、 特に高速記録において広い パワーマ一ジンが得られることを見出すに至った。
この発明は以上の検討に基づいて案出されたものである。
上述の課題を解決するために、 この発明の第 1の発明は、
無機記録膜を有する光記録媒体であって、
無機記録膜が、
ゲルマニウム （G e) の酸化物を含む酸化物膜と、
チタン （T i ) およびマンガン （Mn) を含み、 酸化物膜に隣接する 隣接膜と
を備えることを特徴とする光記録媒体である。
この発明の第 2の発明は、
無機記録膜を有する光記録媒体の製造方法であって、
ゲルマニウム （G e) の酸化物を含む酸化物膜を形成する工程と チタン （T i ) およびマンガン （Mn) を含み、 酸化物膜に隣接する 隣接膜を形成する工程と
を備えることを特徴とする光記録媒体の製造方法である。
この発明では、 隣接膜がマンガン （Mn) を含有しているので、 酸化 物膜における酸素の分離速度をより速くすることができると推定される。 以上説明したように、 この発明によれば、 隣接膜がチタン （T i ) お よびマンガン （M n ) を含んでいるので、 高速記録でのパワーマージン を改善することができる。 したがって、 高速記録での記録特性を向上す ることができる。 図面の簡単な説明 第 1図は、 この発明の第 1の実施形態による追記型光記録媒体の一構 成例を示す概略断面図、 第 2図は、 この発明の第 2の実施形態による追 記型光記録媒体の一構成例を示す概略断面図、 第 3図は、 実施例 2〜 1 5、 比較例 2における M n含有量とパワーマージンおよび記録感度との 関係を示すグラフである。 発明を実施するための最良の形態 以下、 この発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。 ( 1 ) 第 1の実施形態
( 1 - 1 ) 追記型光記録媒体の構成
第 1図は、 この発明の第 1の実施形態による追記型光記録媒体の一構 成例を示す概略断面図である。 この追記型光記録媒体 1 0は、 基板 1上 に、 無機記録膜 2、 誘電体膜 3、 光透過層 4が順次積層された構成を有 する。
この第 1の実施形態による追記型光記録媒体 1 0では、 光透過層 4の 側からレーザ光を無機記録膜 2に照射することにより、 情報信号の記録 および/または再生が行われる。 例えば、 4 0 0 n m〜 4 1 0 n mの範 囲の波長を有するレーザ光を、 0 . 8 4〜0 . 8 6の範囲の開口数を有 する対物レンズにより集光し、 光透過層 4の側から無機記録膜 2に照射 することにより、 情報信号の記録およびノまたは再生が行われる。 この ような追記型光記録媒体 1 0としては、 例えば BD— Rが挙げられる。 以下、 追記型光記録媒体 1 0を構成する基板 1、 無機記録膜 2、 誘電 体膜 3および光透過層 4について順次説明する。
(基板）
基板 1は、 中央に開口 （以下、 センターホールと称する） が形成され た円環形状を有する。 この基板 1の一主面は、 凹凸面 1 1 となっており、 この凹凸面 1 1上に無機記録膜 2が成膜される。 以下では、 凹凸面 1 1 のうち凹部をイングルーブ 1 l Gin、 凹凸面 1 1のうち凸部をオングル ーブ 1 1 Gonと称する。
このィングループ 1 1 Ginおよびオングループ 1 1 Gonの形状と して は、 例えば、 スパイラル状、 同心円状などの各種形状が挙げられる。 ま た、 イングルーブ 1 1 Ginおよび またはオングループ 1 1 Gonが、 ァ ドレス情報を付加するためのゥォブル （蛇行） されている。
基板 1の直径は、 例えば 1 20 mmに選ばれる。 基板 1の厚さは、 剛 性を考慮して選ばれ、 好ましくは 0. 3 mn！〜 1. 3mmから選ばれ、 より好ましくは 0. 6mm〜： L . 3 mmから選ばれ、 例えば 1. 1 mm に選ばれる。 また、 センタホール 1 aの径 （直径） は、 1 5 mmに選ば れる。
基板 1の材料としては、 例えばポリカーボネート系樹脂、 ポリオレフ ィン系樹脂若しくはァクリル系樹脂などのプラスチック材料、 またはガ ラスなどを用いることができる。 なお、 コス トを考慮した場合には、 基 板 1の材料として、 プラスチック材料を用いることが好ましい。
(無機記録膜）
無機記録膜 2は、 基板 1の凹凸面 1 1上に順次積層された金属膜 2 a および酸化物膜 2 bからなる。 金属膜 2 aは、 チタン （T i ) およびマ ンガン （Mn) を含んでいる。 チタン （T i ) およびマンガン （Mn) を主たる材料とすれば基本的に良好な記録特性を得ることができる。 マ ンガン （Mn) の含有量は、 好ましくは 1原子％〜40原子％、 より好 ましくは 2原子％〜 30原子％、 更により好ましくは 5原子％〜2 8原 子％の範囲内である。 この範囲内にすることにより、 高速記録でのパヮ 一マージンを改善し、 高速記録での記録特性を向上することができるか らである。 また、 窒素 （N) を微量に金属膜 2 aに含ませることも好ま しい。 記録感度の調整が可能となるからである。
酸化物膜 2 bは、 例えば、 ゲルマニウム （G e ) の酸化物である G e Oからなる。 酸化物膜 2 bの吸収係数 kは、 好ましくは 0. 1 5〜0. 90、 より好ましくは 0. 20〜0. 7 0、 更により好ましくは 0. 2 5〜0. 60の範囲内である。 また、 酸化物膜 2 bの膜厚は、 好ましく は 1 0 η π！〜 3 5 n mの範囲内である。 0. 1 5〜0. 90の範囲を満 たすことで、 例えば良好な変調度およびキャリア対ノイズ比 （以下、 C /N比と称する） を得ることができる。 0. 20〜0. 70の範囲を満 たすことで、 例えばより良好な変調度および C/N比を得ることができ る。 0. 2 5〜0. 60の範囲を満たすことで、 例えば更により良好な 変調度および CZN比を得ることができる。
なお、 この明細書における吸収係数 kは波長 4 1 0 n mにおけるもの である。 また、 その測定には、 エリプソメータ （ルドルフ社製、 商品 名 ： Auto EL-462P17) を用いた。
また、 酸化物膜 2 bに対して添加物を加えるようにしてもよく、 この 添加物としては、 例えばテルル （T e ) 、 パラジウム （P d) 、 白金 (P t ) 、 クロム （C r ) 、 亜鉛 （Z n) 、 金 （A u) 、 ケィ素 （ S i ) 、 チタン （T i ) 、 鉄 （F e ) 、 ニッケル （N i ) 、 スズ （S n) 、 アンチモン （S b) 、 マンガン （Mn) 、 インジウム （ I n) 、 ジルコ ニゥム （Z r ) などを用いることができる。 このような添加物を加える ことで、 耐久性および または反応性 （記録感度） を向上することがで きる。 なお、 耐久性を向上させるためには、 特にパラジウム （P d ) 、 白金 （P t ) 、 クロム （C r ) 、 アンチモン （S b ) が特に好ましい。 (誘電体膜）
誘電体膜 3は、 無機記録膜 2上に接して設けられ、 無機記録膜 2の光 学的、 機械的保護、 すなわち耐久性の向上や、 記録時の無機記録膜 2の 変形、 すなわちふく らみの抑制等を行うためのものである。 この誘電体 膜 3としては、 例えば S i N、 Z n S— S i 02、 A 1 N、 A 1 203、 S i 02、 S i 02-C r 203- Z r 02 (S C Z) などを用いること ができる。 なお、 記録信号の S/Nを向上し、 良好な特性を得るために は、 誘電体膜 3として Z n S— S i 02を用いることが好ましい。 誘電 体膜 3の厚さは、 例えば 1 0 nm〜 1 0 0 n mの範囲内である。
(光透過層）
光透過層 4は、 例えば、 円環形状を有する光透過性シート （フィル ム） と、 この光透過性シートを基板 1に対して貼り合わせるための接着 層とから構成される。 接着層は、 例えば紫外線硬化樹脂または感圧性粘 着剤 （P S A ： Pressure Sensitive Adhesive) 力 らなる。 光透過層 4 の厚さは、 好ましくは 1 0 μ π！〜 1 7 7 μ mの範囲内から選ばれ、 例え ば 1 0 0 /x mに選ばれる。 このような薄い光透過層 4と、 例えば 0. 8 5程度の高 N A (numerical aperture)化された対物レンズとを組み合わ せることによって、 高密度記録を実現することができる。
光透過性シートは、 記録および Zまたは再生に用いられるレーザ光に 対して、 吸収能が低い材料からなることが好ましく、 具体的には透過率 90パーセント以上の材料からなることが好ましい。 光透過性シートの 材料としては、 例えばポリカーボネート樹脂材料、 ポリオレフイン系榭 脂 （例えばゼォネックス （登録商標） ） が挙げられる。
また、 光透過性シー トの厚さは、 好ましくは 0. 3 mm以下に選ばれ、 より好ましくは 3 ;u m〜 l 7 7 /i mの範囲内から選ばれる。 また、 光透 過層 4の内径 （直径） は、 例えば 2 2. 7 mmに選ばれる。
( 1 - 2 ) 追記型光記録媒体の製造方法
次に、 この発明の第 1の実施形態による追記型光記録媒体の製造方法 の一例について説明する。
(基板の成形工程）
まず、 一主面に凹凸面 1 1が設けられた基板 1を成形する。 基板 1の 成形方法としては、 例えば射出成形 （インジェクショ ン） 法、 フォ トポ リマー法 （ 2 P法： Photo Polymerization) などを用いることができる。 (金属膜の成膜工程）
次に、 基板 1を、 例えばチタン （T i ) およびマンガン （Mn) から なるターゲットが備えられた真空チャンバ内に搬送し、 真空チャンバ内 を所定の圧力になるまで真空引きする。 その後、 真空チャンバ内にプロ セスガスを導入しながら、 ターゲッ トをスパッタ リ ングして、 基板 1上 に金属膜 2 aを成膜する。
この成膜工程における成膜条件の一例を以下に示す。
真空到達度： 5. 0 X 1 0 P a
雰囲気： 0. 1〜 0. 6 P a
投入電力： 1〜 3 k W
ガス種： A rガスおよび N2ガス
A rガス流量： 1 0〜4 0 s c c m
N2ガス流量： 1〜 1 0 s c c m
(酸化物膜の成膜工程）
次に、 基板 1を、 例えばゲルマニウム （G e ) からなるターゲッ トが 備えられた真空チャンバ内に搬送し、 真空チャンバ内を所定の圧力にな るまで真空引きする。 その後、 真空チャンバ内にプロセスガスを導入し ながら、 ターゲットをスパッタリングして、 基板 1上に酸化物膜 2 bを 成膜する。
この成膜工程における成膜条件の一例を以下に示す。
真空到達度： 5. 0 X 1 0— 5 P a
雰囲気： 0. 1〜 0. 6 P a
投入電力 ： 1〜 3 k W
ガス種： A rガスおよび 02ガス
A rガス流量： 24 s c c m
O 2ガス流量： 9 s c c m
(誘電体膜の成膜工程）
次に、 基板 1を、 例えば Z n S— S i 02からなるターゲットが備え られた真空チャンバ内に搬送し、 真空チャンバ内を所定の圧力になるま で真空引きする。 その後、 真空チャンバ内にプロセスガスを導入しなが ら、 ターゲットをスパッタリングして、 基板 1上に誘電体膜 3を成膜す る。
この成膜工程における成膜条件の一例を以下に示す。
真空到達度： 5. 0 X 1 0—5 P a
雰囲気： 0. 1〜 0. 6 P a
投入電力 ： 1〜4 k W
ガス種： A rガス
A r 77ス流量： 6 s c cm
(光透過層の形成工程）
次に、 円環形状の光透過性シートを、 例えば、 このシート一主面に予 め均一に塗布された感圧性粘着剤 （P SA) を用いて、 基板 1上の凹凸 面 1 1側に貼り合わせる。 これにより、 基板 1上に形成された各膜を覆 うように、 光透過層 4が形成される。
以上の工程により、 第 1図に示す追記型光記録媒体 1 0が得られる。 この発明の第 1の実施形態によれば以下の効果を得ることができる。 金属膜 2 a、 酸化物膜 2 b、 誘電体膜 3、 光透過層 4を基板 1上に順 次積層するだけで追記型光記録媒体 1 0を形成できるので、 単純な膜構 成を有した高記録密度の追記型光記録媒体 1 0、 すなわち、 低廉な高記 録密度の追記型光記録媒体 1 0を提供することができる。
また、 金属膜 2 aにマンガン （M n ) を添加するだけで、 高速記録で のパワーマージンなどを改善することができる。 したがって、 膜総数を 増やさずに例えば 3層または 4層以下の膜総数で、 高速記録での記録特 性に優れた追記型光記録媒体 1 0を提供することができる。 すなわち、 設備投資費の増加を招くことなく、 高速記録での記録特性に優れた追記 型光記録媒体 1 0を提供することができる。 また、 金属膜 2 aがチタン ( T i ) を含んでいるので、 優れた耐久性も実現できる。
また、 マンガン （M n ) は低熱伝導性を有しているので、 安定した記 録感度を実現でき、 更に、 マンガン （M n ) はチタン （T i ) と同じく 遷移元素であり化学的にも極めて安定であるので、 優れた耐久性を実現 できる。 したがって、 チタン （T i ) およびマンガン （M n ) を含む金 属膜 2 aを備える追記型光記録媒体 1 0では、 安定した記録感度、 およ び耐久性を有しつつ、 高速記録での記録特性の向上 （広パワーマージ ン） を得ることができる。
また、 記録の際には、 金属膜 2 aの物理的特性は記録前後でほとんど 変化せず、 金属膜 2は、 その金属膜 2と酸化物膜 2 bとの界面での反応 を促進させる、 いわば触媒的作用を生じさせるものとして機能する。 記 録後には、 酸化物膜 2 bの酸素が分離し、 金属膜 2 aの界面に酸素組成 の多い G e層が形成される。 こうして、 酸化物膜 2 bが光学定数の異な る保存安定性の高い安定な 2層に分離する。 このように 2層分離した酸 化物膜 2 bに再生光を照射すると、 反射光量が変化するので、 良好な再 生信号が得られる。
( 2 ) 第 2の実施形態
この第 2の実施形態は、 誘電体膜が材料や組成の異なる複数の誘電体 膜により構成されているものである。 以下では、 誘電体膜が材料や組成 の異なる 2層の誘電体膜により構成されている場合を例として説明する。 第 2図は、 この発明の第 2の実施形態による光記録媒体の一構成例を 示す断面図である。 なお、 上述の第 1の実施形態と同様の部分は同一の 符号を付してその説明を省略する。
誘電体膜 5は、 第 1の誘電体膜 5 aおよび第 2の誘電体膜 5 bからな り、 第 2の誘電体膜 5 bを光透過層 4の側に設けたものである。 第 1の 誘電体膜 5 aは、 例えば、 成膜速度の速い Z n S - S i 0 2からなり、 第 2の誘電体膜 5 bは、 例えば、 Z n S _ S i 0 2より安定である S i Nなどの誘電体からなる。
この発明の第 2の実施形態によれば、 上述した第 1の実施形態の効果 以外に以下の効果を得ることができる。
第 2の誘電体膜 5 bを第 1の誘電体膜 5 aと光透過層 4との間に設け ているので、 第 1の誘電体膜 5 aに含まれる硫黄 （S ) などの成分が光 透過層 4の P S Aなどと反応し光透過層 4が劣化して耐久性が低下する ことを抑えることができる。 すなわち、 光スポッ トに大きな収差が生じ、 再生信号が劣化することなどを抑えることができる。
以下、 実施例によりこの発明を具体的に説明するが、 この発明はこれ らの実施例のみに限定されるものではない。 なお、 以下の実施例におい ては、 上述の実施形態と対応する部分には同一の符号を付す。 この発明の実施例として、 B Dの光学系である、 開口数 0. 8 5の 2 群対物レンズと波長 4 0 5 n mの青紫色半導体レーザ光源とを用いた光 ディスク記録再生装置に合わせて設計した追記型光記録媒体 1 0につい て示す。
評価装置はパルステック工業株式会社製の B Dディスク検査機、 OD U— 1 0 0 0を用いた。 光源の波長は 4 0 5. 2 nmである。
また、 ジッタは、 パルステック工業株式会社製のイコライザーボード を通した信号を、 横河電機株式会社製のタイムィンターパルアナライザ 一、 T A 7 2 0を用いて測定した。 イコライザ一は規格準拠とし、 リ ミ ッ トイコライザ一を通した後の信号のジッタを測定した。
その他、 振幅、 変調度などの測定にはテク トロ二クス社製のデジタル オシロスコープ、 TD S 7 1 0 4を用いた。
記録の線速度は 1 9. 6 7 m/ s (4倍速記録）、 再生時の線速度は 4. 9 2 m/ s ( 1倍速）、 チャンネルビッ ト長は 7 4. 5 0 n m (直径 1 2 c mの光ディスクに 2 5 G Bの記録密度）で行った。
変調方式は 1 7 P Pであり、 最短マークである 2 Tマークのマーク長 は 0. 1 4 9 μ πι、 8 Tマークのマーク長は 0. 5 9 6 /i mである。 ト ラックピッチは、 0. 3 2 μ πιである。
パワーマージンの測定についてはいくつか規定の方法があるが、 この 明細書中では、 リ ミ ッ トイコライザーを通した後のジッタ値が 8. 5 % 以下である範囲を記録感度のマージンとし、 そのパワー範囲を最適パヮ 一で割ったものをパワーマージンと定義することにする。
(実施例 1 )
まず、 射出成形により、 厚さ 1. 1 mmのポリカーボネート基板 （以 下、 P C基板と称する） 1を作製した。 なお、 この P C基板 1上には、 ィングループ 1 1 Ginおよびオングル一ブ 1 1 G onを有する凹凸面 1 1 を形成した。 このイングルーブ 1 1 Ginの深さは 20 nmとし、 トラッ クピッチは 0. 3 2 μ mとした。
次に、 成膜装置 （U n a X i s社製、 商品名 ： S p r i n t e r ) を 用いて、 膜厚 2 2 11 111の丁 11^ 11膜2 3、 膜厚 2 5 nmの G e O膜 2 b、 膜厚 5 2 nmの Z n S— S i 02膜 5 a、 膜厚 4 nmの S i N膜 5 bを 基板 1上に順次成膜した。 その後、 感圧性粘着材 （P SA) によりポリ カーボネートシート （以下、 P Cシートと称する） を P C基板 1の凹凸 面 1 1側に貼り合せて、 S i N膜 5 b上に光透過層 4を形成した。 この 光透過層 4の厚さは、 P S Aおよび P Cシートを含めて 1 00 /X mとし た。 以上により、 目的とする追記型光記録媒体 1 0を得た。
ここで、 各膜の成膜条件を以下に示す。
まず、 真空チャンバ内を真空引きした後、 真空チャンバ内に A rガス および N2ガスを導入しながら、 T i Mnターゲットをスパッタリング して、 膜厚 2 2 nmの T i Mn膜 2 aを基板 1上に成膜した。 なお、 こ の T i Mnターゲッ ト中の Mnの含有率を 20原子％とした。
この成膜工程における成膜条件を以下に示す。
真空到達度： 5. 0 X 1 0—5 P a
雰囲気： 0. 2 P a
投入電力： 3 k W
A rガス流量： 3 0 s c c m
N2ガス流量： 6 s c c m
次に、 真空チャンバ内を真空引きした後、 真空チャンバ内に A rガス および 02ガスを導入しながら、 G eターゲットを反応性スパッタリン グして、 膜厚 2 5 nmの G e O膜 2 bを T i Mn膜 2 a上に成膜した。 なお、 G e O膜 2 bの酸素含有量は、 G e O膜 2 bの吸収係数 kが 0. 6となる値にした。 この成膜工程における成膜条件を以下に示す。
真空到達度： 5. 0 X 1 0—5 P a
雰囲気： 0. 2 P a
投入電力 ： 2 k W
A rガス流量： 3 0 s c c m
酸素ガス流量： 4 4 s c c m
次に、 真空チャンバ内を真空引きした後、 真空チャンバ内に A rガス を導入しながら、 Z n S— S i〇2ターゲットをスパッタリングして、 膜厚 5 2 nmの Z n S— S i 02膜 5 aを G e O膜 2 b上に成膜した。
Z n S— S i 02膜 5 aにおける組成比（原子比） Z n S ： S i O 2力 8 0 ： 2 0となるようにした。
この成膜工程における成膜条件を以下に示す。
真空到達度： 5. 0 X 1 0— 5 P a
雰囲気： 0. 1 P a
投入電力 ： 1 kW
A rガス流量： 6 s c c m
次に、 真空チャンバ内を真空引きした後、 真空チャンバ内に A Γガス および Ν2ガスを導入しながら、 S i ターゲッ トをスパッタリングして、 膜厚 1 0 ^11の 3 1 31^4膜5 13を基板 1上に成膜した。
この成膜工程における成膜条件を以下に示す。
真空到達度： 5. 0 X 1 0一5 P a
雰囲気： 0. 3 P a
投入電力 ： 4 k W
A rガス流量： 5 0 s c c m
N2ガス流量： 3 7 s c c m
上述のようにして得られた追記型光記録媒体 1 0を、 上述の条件によ り記録再生を行ったところ、 記録感度 1 0. 2mW、 ボトムジッタ 6. 5%が得られた。 また、 上述の定義によるパワーマージンは、 2 1. 6%であり、 良好な記録が行われた。
(比較例 1 )
次に、 T i Mn膜 2の材料を T i S i に変える以外のことは、 実施例 1とすべて同様にして、 追記型光記録媒体 1 0を得た。 S i含有率は 2 5原子％とした。 この T i S i膜の成膜条件を以下に示す。
真空到達度： 5. 0 X 1 0 "5 P a
雰囲気： 0. 2 P a
投入電力： 3 k W
A rガス流量： 3 0 s c c m
N2ガス流量： 7. 5 s e e m
なお、 この成膜条件で得られる追記型光記録媒体 1 0は、 BD— Rの ver.1.1に準拠した S L (SingleLayer)メディアである。
上述のようにして得られた追記型光記録媒体 1 0を、 上述の条件によ り記録再生を行ったところ、 記録感度 1 0. 7mW、 ボトムジッタ 6. 5%となった。 また、 上述の定義によるパワーマージンは、 1 7%であ つた。 したがって、 実施例 1の追記型光記録媒体 1 0は、 比較例 1のも のよりも、 記録感度で 0. 5 mW改善しながら、 パワーマージンは 4. 6ポイント改善していることがわかる。
(実施例 2〜 1 6、 比較例 2)
次に、 T i Mn膜 2 aにおける Mn (マンガン） の含有量を 0原子％ 〜5 0原子％の範囲内で変える以外は実施例 1とすべて同様にして、 複 数の追記型光記録媒体 1 0を得た。 そして、 上述のようにして得られた 追記型光記録媒体 1 0のパワーマージン、 感度およびボトムジッタを実 施例 1と同様にして求めた。 その結果を表 1および第 3図に示す。 (表 1 )
Figure imgf000018_0001
表 1および第 3図から、 （a ) パワーマージン、 （b) 記録感度、 お よび （c ) ボトムジッタについて以下のことが分かる。
( a ) パワーマージン
T i Mn膜 2 aにおける Mn含有量が 5原子％未満になるとパワーマ 一ジンが急激に狭くなり始め、 Mn含有量が 2原子％になるとパワーマ 一ジンは T i S i膜を備える比較例 1 と同程度の 1 7%になる。 Mn含 有量が 1 8原子％以上ではパワーマージンが多少狭くなつており、 2 8 原子％を超えるとパワーマージンが急激に狭くなり始め、 Mn含有量が 30原子％になるとパワーマージは比較例 1と同程度の 1 8 %となる。 そして、 Mn含有量が 40原子％を超えると、 パワーマージンは、 Mn 含有量が 0原子％である比較例 2より小さくなる。
(b) 記録感度
Mnを含有させると記録感度が向上し、 Mnの含有量 1原子％〜 30 原子％の範囲では記録感度は多少変動するが 1 0. 0〜 1 1. l mWの 範囲に留まり、 30原子％を超えるとほぼ一定となる。
( c ) ボトムジッタ
Mn含有量 0原子％ではノイズ上昇により、 ボトムジッタが 8. 0% に劣化するのに対して、 Mnを 1原子％含有させると 7. 2%に低下し、 2原子％以上ではその含有量によらず 6. 5 %程度となる。
以上の点を考慮すると、 高速記録に対応するためには、 Mnが添加さ れた T i Mn膜 2 aを用いることが好ましい。 そして、 Mnの含有量は、 好ましくは 1原子％〜40原子％、 より好ましくは 2原子％〜30原 子％、 更により好ましくは 5原子％〜 2 8原子％である。
また、 比較例 1と実施例 2〜 1 5とを比較すると、 Mnが添加された T i Mn膜 2 aを用いることにより、 比較例 1よりも良好な記録を行う ことができ、 広いパワーマージンを得ることができることが分かる。 以上、 この発明の実施形態および実施例について具体的に説明したが、 この発明は、 上述の実施形態および実施例に限定されるものではなく、 この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
例えば、 上述の実施形態および実施例において挙げた数値はあくまで も例に過ぎず、 必要に応じてこれと異なる数値を用いてもよい。
また、 上述の実施形態および実施例では、 酸化物膜 2 bを 1層の酸化 物膜から構成する場合について説明したが、 酸化物膜 2 bを材料や組成 などの異なる 2層以上の酸化物膜から構成するようにしてもよい。 また、 上述の実施形態および実施例では、 金属膜 2 aを 1層の金属膜 から構成する場合について説明したが、 金属膜 2 aを材料や組成などの 異なる 2層以上の金属膜から構成するようにしてもよい。
また、 上述の実施形態および実施例では、 金属膜 2 aがチタン （T i ) およびマンガン （Mn) からなる場合について説明したが、 チタン (T i ) 以外の光触媒効果を発現する金属材料などをチタン （T i ) に 代えて用いるようにしてもよい。

Claims

1. 無機記録膜を有する光記録媒体であって、
上記無機記録膜が、
ゲルマニウム （G e) の酸化物を含む酸化物膜と、
チタン （T i ) およびマンガン （Mn) を含み、 上記酸化物膜に隣接 する隣接膜と 請
を備えることを特徴とする光記録媒体。
2. 上記隣接膜におけるマンガン （Mn) の含有量が、 1原子％以上 4 0原子％以下の範囲内であることを特徴とする請求の範囲 1に記載の光 記録媒体。
囲
3. 上記隣接膜におけるマンガン （Mn) の含有量が、 5原子％以上 2 8原子％以下の範囲内であることを特徴とする請求の範囲 2に記載の光 記録媒体。
4. 上記酸化物膜の面のうち、 上記隣接膜と反対側の面上に 1以上の誘 電体膜をさらに備えることを特徴とする請求の範囲 1に記載の光記録媒 体。
5. 無機記録膜を有する光記録媒体の製造方法であって、
ゲルマニウム （G e ) の酸化物を含む酸化物膜を形成する工程と チタン （T i ) およびマンガン （Mn) を含み、 上記酸化物膜に隣接 する隣接膜を形成する工程と
を備えることを特徴とする光記録媒体の製造方法。
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