WO2008072322A1 - 同軸ケーブルユニット、及び試験装置 - Google Patents

同軸ケーブルユニット、及び試験装置 Download PDF

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WO2008072322A1
WO2008072322A1 PCT/JP2006/324867 JP2006324867W WO2008072322A1 WO 2008072322 A1 WO2008072322 A1 WO 2008072322A1 JP 2006324867 W JP2006324867 W JP 2006324867W WO 2008072322 A1 WO2008072322 A1 WO 2008072322A1
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WO
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cable
terminal
signal
housing
signal line
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Application number
PCT/JP2006/324867
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English (en)
French (fr)
Inventor
Masamitsu Minamiya
Junji Ebara
Kiyoshi Nishii
Hirokuni Fukuda
Kakuhei Ito
Original Assignee
Advantest Corporation
Hirakawa Hewtech Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Priority to JP2007544223A priority patent/JPWO2008072322A1/ja
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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R9/00—Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, e.g. terminal strips or terminal blocks; Terminals or binding posts mounted upon a base or in a case; Bases therefor
    • H01R9/03—Connectors arranged to contact a plurality of the conductors of a multiconductor cable, e.g. tapping connections
    • H01R9/05—Connectors arranged to contact a plurality of the conductors of a multiconductor cable, e.g. tapping connections for coaxial cables
    • H01R9/0515—Connection to a rigid planar substrate, e.g. printed circuit board
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R24/00—Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure
    • H01R24/38—Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure having concentrically or coaxially arranged contacts
    • H01R24/40—Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure having concentrically or coaxially arranged contacts specially adapted for high frequency
    • H01R24/50—Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure having concentrically or coaxially arranged contacts specially adapted for high frequency mounted on a PCB [Printed Circuit Board]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R2103/00—Two poles

Definitions

  • the present invention relates to a coaxial cable unit and a test apparatus using the coaxial cable unit.
  • a test apparatus for testing a device under test such as a semiconductor circuit, it is conceivable to transmit a signal through a coaxial cable.
  • a test apparatus includes a socket board on which a device under test is placed and a main body that generates a test signal to be supplied to the device under test. Thousands or more are provided in a narrow space between the socket board and the main body. It is conceivable to use coaxial cables that are as long as possible.
  • Patent Document 1 JP-A-8-31476
  • the socket board has thousands of coaxial cable terminals provided at a narrow pitch, it is difficult to solder the coaxial cable while maintaining insulation. For this reason, it is necessary to skillfully solder the coaxial cables to these terminals.
  • the socket board may have a plurality of sub-boards. In this case, multiple services The board is provided in parallel so that the surfaces face each other. Then, a coaxial cable signal line is inserted into a through hole or the like provided on the surface of each sub board and soldered.
  • an object of one aspect of the present invention is to provide a coaxial cable unit and a test apparatus that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims.
  • the dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.
  • a coaxial cable unit that transmits a signal, the signal line, an insulating portion that covers an outer periphery of the signal line, and an outside of the insulating portion.
  • a cable part having a shield part covering the periphery and a connector part provided at an end of the cable part, and the connector part extends in a terminal extending direction substantially perpendicular to the cable extending direction in which the cable part extends.
  • a signal terminal that is in electrical contact with the signal line, a ground terminal that extends in the terminal extension direction and is in electrical contact with the shield part, an end of the cable part, a signal terminal, And a coaxial cable unit having a housing for fixing a ground terminal.
  • a test apparatus for testing a device under test a socket board on which the device under test is placed, and a main body unit that generates a test signal to be supplied to the device under test
  • a coaxial cable unit that transmits a test signal from the main body to the socket board, and the coaxial cable unit includes a signal line, an insulating part that covers the outer periphery of the signal line, and a cable part that has a shield part that covers the outer periphery of the insulating part.
  • a connector portion provided at an end of the cable portion, and the connector portion extends in a cable extending direction in which the cable portion extends.
  • a signal terminal extending in a substantially perpendicular terminal extending direction and electrically contacting the signal line, and a ground terminal extending in the terminal extending direction and electrically contacting the shield part;
  • a test apparatus including an end portion of a cable portion, a signal terminal, and a housing for fixing a ground terminal.
  • the first cable is a coaxial cable unit that transmits a signal, and includes a signal line, an insulating portion that covers the outer periphery of the signal line, and a shield portion that covers the outer periphery of the insulating portion.
  • the second cable part, and a connector part provided in common at the ends of the first cable part and the second cable part, and the connector part is in electrical contact with the signal line of the first cable part.
  • Coaxial cable unit having a housing To do.
  • a test apparatus for testing a device under test, a socket board on which the device under test is placed, and a main body unit that generates a test signal to be supplied to the device under test.
  • a coaxial cable unit that transmits a test signal from the main body to the socket board, and the coaxial cable unit includes a signal cable, an insulating part that covers the outer periphery of the signal line, and a first cable that has a shield part that covers the outer periphery of the insulating part.
  • the second cable portion, and a connector portion provided in common at the ends of the first cable portion and the second cable portion, and the connector portion is in electrical contact with the signal line of the first cable portion.
  • Grounding end Provided is a test apparatus including a terminal, a first cable part end, a second cable part end, a first signal terminal, a second signal terminal, and a housing for fixing a ground terminal.
  • FIG. 1 is a diagram showing an example of a coaxial cable unit 100 according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 1 (a) is a diagram illustrating an example of a side view of the coaxial cable unit 100
  • FIG. 1 (b) is a diagram illustrating an example of a bottom view of the coaxial cable unit 100.
  • FIG. 1 (a) is a diagram illustrating an example of a side view of the coaxial cable unit 100
  • FIG. 1 (b) is a diagram illustrating an example of a bottom view of the coaxial cable unit 100.
  • FIG. 1 is a diagram showing an example of a coaxial cable unit 100 according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 1 (a) is a diagram illustrating an example of a side view of the coaxial cable unit 100
  • FIG. 1 (b) is a diagram illustrating an example of a bottom view of the coaxial cable unit 100.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of the internal structure of the connector section 50.
  • FIG. 2 (a) is a diagram showing an example of the internal structure of the connector part 50 in which the side force of the coaxial cable unit 100 is also seen.
  • FIG. 2 (b) is a diagram of the connector part 50 as seen from the bottom surface of the coaxial cable unit 100. It is a figure which shows an example of an internal structure.
  • FIG. 3 is a view showing an example of a cross section of a connector section 50.
  • FIG. 3 (a) is a view showing a cross section AA ′ in FIG. 2 (a)
  • FIG. 3 (b) is a view showing a cross section BB ′ in FIG. 2 (a).
  • IV 4] Another example of the ground terminal 54.
  • FIG. 5 is a view showing another example of the connector section 50.
  • Fig. 5 (a) is a diagram showing an example of a bottom view of the coaxial cable unit 100
  • Fig. 5 (b) is a diagram showing an example of a bottom view of the internal structure of the connector unit 50
  • Fig. 5 (c FIG. 4B is a diagram illustrating an example of a cross section of the connector unit 50.
  • FIG. 6 is a diagram showing another example of the coaxial cable unit 100.
  • FIG. 6A is a diagram illustrating an example of a bottom view of the coaxial cable unit 100
  • FIG. 6B is a diagram illustrating an example of a cross section of the connector unit 50.
  • FIG. 6A is a diagram illustrating an example of a bottom view of the coaxial cable unit 100
  • FIG. 6B is a diagram illustrating an example of a cross section of the connector unit 50.
  • FIG. 7 is a diagram showing an example of the structure of the housing 52.
  • FIG. 7 is a diagram showing an example of the structure of the housing 52.
  • FIG. 8 is a diagram showing an example of the configuration of a test apparatus 200 that tests a device under test 300.
  • FIG. 8A is a diagram illustrating an outline of a configuration example of the test apparatus 200
  • FIG. 8B is a diagram illustrating a connection example between the socket board 110 and the coaxial cable unit 100.
  • FIG. 8A is a diagram illustrating an outline of a configuration example of the test apparatus 200
  • FIG. 8B is a diagram illustrating a connection example between the socket board 110 and the coaxial cable unit 100.
  • FIG. 9 is a view showing another structural example of the coaxial cable unit 100.
  • Fig. 9 (a) is a diagram showing an example of a top view of the coaxial cable unit 100
  • Fig. 9 (b) is a diagram showing an example of a front view of the coaxial cable unit 100
  • Fig. 9 (c) FIG. 4 is a diagram showing an example of a side view of the coaxial cable unit 100.
  • FIG. 10 is a diagram showing an example of the internal structure of the connector section 50.
  • FIG. 11 is a diagram showing another configuration example of the test apparatus 200.
  • FIG. 1 is a diagram showing an example of a coaxial cable unit 100 according to an embodiment of the present invention.
  • 1A is a diagram illustrating an example of a side view of the coaxial cable unit 100
  • FIG. 1B is a diagram illustrating an example of a bottom view of the coaxial cable unit 100.
  • the coaxial cable unit 100 includes a cable portion 10 and a connector portion 50.
  • the cable unit 10 transmits a signal.
  • the cable unit 10 may include a signal line for transmitting a signal, a shield part provided around the signal line, an insulating part provided between the signal line and the shield part, and a sheath covering the shield part. .
  • the cable portion 10 may be a coaxial cable, for example.
  • the connector unit 50 is provided at the end of the cable unit 10 and transmits the signal transmitted by the cable unit 10 to the outside.
  • the cable portion 10 is provided so as to extend in the direction in which the signal is to be transmitted, and the end portion of the cable portion 10 may be one end of the cable portion 10 in the direction in which the signal is transmitted.
  • the connector unit 50 includes a signal terminal 56, a ground terminal 54, and a housing 52.
  • the ground terminal 54 is a press-fit type terminal, and is provided by extending in a terminal extending direction substantially perpendicular to a cable extending direction in which the cable unit 10 extends. Contact.
  • the signal terminal 56 is a press-fit type terminal, is provided extending in the terminal extending direction, and is in contact with the signal line of the cable portion 10.
  • the housing 52 holds and fixes the end portion of the cable section 10 and holds and fixes the signal terminal 56 and the ground terminal 54 at predetermined positions.
  • the housing 52 may be formed of an insulating material such as a resin or a liquid crystal polymer.
  • the housing 52 may be formed by filling the insulating material in a region where the housing 52 is to be formed.
  • the housing 52 may have a box shape having an opening portion in which a signal terminal 56 and a ground terminal 54 are connected to the cable portion 10, for example. Further, the housing 52 may be formed by filling and curing the resin in the shape. In addition, in the housing 52, for example, a signal terminal 56 and a ground terminal 54 connected to the cable portion 10 may be mounted on a mold having an outer shape of a nose and a housing 52. The mold may be formed by filling the mold with resin or the like, and then releasing the mold from the mold. As a result, the thickness of the housing 52 may be a little thicker than the diameter of the cable portion 10. For this reason, it can be press-fitted and mounted in a narrow space with high density, and can be easily removed individually.
  • the signal terminal 56 and the ground terminal 54 are formed of a conductive material.
  • the signal terminal 56 and the ground terminal 54 may be formed by pressing a metal plate material.
  • the cable unit 10 may be a bendable coaxial cable.
  • the cable extending direction may be the extending direction at the end of the cable portion 10.
  • the cable extending direction may be a direction in which the cable portion 10 is inserted into the connector portion 50.
  • the housing 52 may have a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the cable portion 10 extends in the direction of cable extension perpendicular to the housing 52!, And is inserted into the housing 52.
  • the ground terminal 54 and the signal terminal 56 are inserted into the housing 52 by extending in a terminal extending direction perpendicular to any surface orthogonal to the surface of the housing 52 into which the cable portion 10 is inserted.
  • the ground terminal 54 and the signal terminal 56 may be provided so that a straight line connecting the ground terminal 54 and the signal terminal 56 is substantially parallel to the cable extending direction. .
  • the ground terminal 54 and the signal terminal 56 are provided along the outer periphery of the surface inserted into the housing 52, as shown in FIG. Also good.
  • the connector unit 50 is configured to insert a ground terminal 54 and a signal terminal 56 into a hole-like terminal on the receiving side to be connected, thereby receiving a terminal (for example, a through hole provided on the board). Connected). In this way, by providing the connector part 50 having the ground terminal 54 and the signal terminal 56 at the end of the cable part 10, the connector part 50 is connected to the receiving terminal without soldering or the like. be able to.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of the internal structure of the connector unit 50.
  • FIG. 2 (a) shows an example of the internal structure of the connector portion 50 as seen from the side of the coaxial cable unit 100, as in FIG. 1 (a).
  • FIG. 2B shows an example of the internal structure of the connector unit 50 as viewed from the lower surface of the coaxial cable unit 100, as in FIG. 1B.
  • the cable portion 10 includes, in order, an end side force at which the connector portion 50 is provided, a signal region that the signal line 16 exposes, an insulating region that the insulating portion 14 exposes, and a shield that the shield portion 12 exposes. There is a region within the housing 52.
  • the shield part 12 may be given a ground potential.
  • the signal line 16 may be given a signal to be transmitted. For example, at the other end of the cable section 10, the shield section 12 may be grounded and a signal may be given to the signal line 16.
  • a signal line 16 In the cable part 10, a signal line 16, an insulating part 14, a shield part 12, and a sheath (insulating coating) are provided concentrically.
  • the signal line 16 and the shield part 12 are made of a conductive material, and the insulating part 14 and the sheath are made of an insulating material.
  • the sheath In the shield area, the sheath is removed and the shield 12 is exposed.
  • the sheath and shield part 12 are removed, and the insulating part 14 is exposed.
  • the signal region In the signal region, the sheath, the shield part 12, and the insulating part 14 are removed, and the signal line is exposed.
  • the ground terminal 54 is in contact with the shield portion 12 in the shield region.
  • the ground terminal 54 may be in electrical contact with the outer periphery of the shield portion 12.
  • the ground terminal 54 has a side surface extending in the terminal extending direction, and may be in electrical contact with the outer periphery of the shield portion 12 on the side surface.
  • the ground terminal 54 may have a ground contact portion 60 having a width wider than that of other portions inside the housing 52.
  • the width of the ground contact portion 60 may refer to the width of the ground contact portion 60 in the cable extending direction.
  • the ground terminal 54 is in electrical contact with the outer periphery of the shield portion 12 on the side surface of the ground contact portion 60.
  • the ground terminal 54 may be fixed to the shield portion 12 by a method such as soldering or welding. For example, fix the solder around the contact area of shield 12 and ground contact 60. Yes.
  • the signal terminal 56 is in contact with the signal line 16 in the signal region.
  • the signal terminal 56 may be in electrical contact with the outer periphery of the signal line 16.
  • the signal terminal 56 has a side surface extending in the terminal extending direction, and may be in electrical contact with the outer periphery of the signal line 16 on the side surface.
  • the signal terminal 56 may have a signal contact portion 64 having a width larger than that of other portions inside the housing 52.
  • the width of the signal contact portion 64 may refer to the width of the signal contact portion 64 in the cable extending direction.
  • the signal terminal 56 is in electrical contact with the outer periphery of the signal line 16 on the side surface of the signal contact portion 64.
  • the signal terminal 56 may be fixed to the signal line 16 by soldering, welding, or the like.
  • solder may be fixed around the contact portions of the signal line 16 and the signal contact portion 64.
  • the signal contact portion 64 forms a V-shaped cut groove (not shown), and the signal wire 16 is press-fitted into the V-shaped groove to make electrical contact.
  • the side surfaces of the ground terminal 54 and the signal terminal 56 and the outer periphery of the shield part 12 and the signal line 16 are brought into electrical contact with each other, so that the outer periphery of the shield part 12 and the signal line 16 is made. It is possible to prevent pressure from being applied vertically. For example, when the connector 50 is inserted into the receiving terminal, a force is applied to the ground terminal 54 and the signal terminal 56 in the terminal extending direction. However, since the side surfaces of the ground terminal 54 and the signal terminal 56 are in contact with the outer periphery of the shield part 12 and the signal line 16, the pressing force on the shield part 12 and the signal line 16 can be reduced. For this reason, it can prevent that the shield part 12 and the signal wire
  • the distance between the ground terminal 54 and the signal terminal 56 in the cable extension direction is preferably as short as possible on the condition that insulation is maintained. As a result, impedance mismatch at the signal terminal 56 can be reduced.
  • the distance between the ground contact portion 60 and the signal contact portion 64 may be about 0.8 mm.
  • the ground terminal 54 and the signal terminal 56 may have a cross section that is larger in a part of a region that is exposed to the outside of the housing 52 than a cross section of another part of the region that is exposed to the outside of the housing 52.
  • the ground terminal 54 and the signal terminal 56 have an inflating portion 58 and an inflating portion 62 in a part of a region exposed outside the housing 52.
  • the expansion part 58 has elasticity, and is press-fitted into a through-hole or the like of a connection partner board to Make contact.
  • the expansion portion 58 is provided in an intermediate portion of the region of the ground terminal 54 exposed to the outside of the housing 52, and the expansion portion 62 is provided in an intermediate portion of the region of the signal terminal 56 exposed to the outside of the housing 52. That is, the ground terminal 54 has a relatively small cross-sectional area grounding tip, a relatively large cross-sectional area expansion portion 58 and a relatively small cross-sectional area ground in the region that appears outside the housing 52.
  • An insertion part is provided in order from the tip side.
  • the signal terminal 56 has a signal tip portion having a relatively small cross-sectional area, an inflating portion 58 having a relatively large cross-sectional area, and a relatively small cross-sectional area in the region exposed outside the housing 52.
  • a signal insertion portion is provided in order from the distal end side.
  • the inflating part 58 and the inflating part 62 preferably have elasticity.
  • the inflating part 58 and the inflating part 62 may have a cavity. With such a configuration, it is possible to reduce the dropout of the connector unit 50 after the connector unit 50 is connected to the receiving terminal. For this reason, the connection between the connector 50 and the receiving terminal can be maintained without fixing the connector 50 using solder or the like.
  • the straight line connecting the ground terminal 54 and the signal terminal 56 inside the nosing 52 is in the cable extension direction as shown in FIG. 2 (b). It is not parallel to it.
  • At least one of the ground terminal 54 and the signal terminal 56 may be curved so that a straight line connecting the ground terminal 54 and the signal terminal 56 outside the housing 52 is substantially parallel to the cable extending direction.
  • the curved portions of the ground terminal 54 and the signal terminal 56 are preferably provided inside the housing 52.
  • FIG. 3 is a view showing an example of a cross section of the connector unit 50.
  • Fig. 3 shows a cross section substantially perpendicular to the cable extension direction.
  • FIG. 3 (a) is a view showing the AA ′ cross section in FIG. 2 (a)
  • FIG. 3 (b) is a view showing the BB ′ cross section in FIG. 2 (a).
  • the ground terminal 54 is in electrical contact with the outer periphery of the shield portion 12 on the side surface 66 extending in the terminal extending direction.
  • the signal terminal 56 is in electrical contact with the outer periphery of the signal line 16 on the side surface 68 extending in the terminal extending direction.
  • the position of the center of the cable portion 10 (for example, the position of the center of the signal line 16) in a predetermined cross section substantially perpendicular to the cable extending direction.
  • the ground terminal 54 and the signal terminal 56 may be provided so that the projected positions of the contact point between the ground terminal 54 and the shield 12 and the contact point between the signal terminal 56 and the signal line 16 are substantially in a straight line. .
  • the portion exposed to the outside of the housing 52 and the side surface 66 of the ground terminal 54 that contacts the shield portion 12 of these at least one of the signal terminal 56 and the ground terminal 54 may be curved so that the portion exposed to the outside of the housing 52 is provided in substantially the same plane.
  • both the signal terminal 56 and the ground terminal 54 are provided to be bent in the same direction in the opposite direction.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating another example of the ground terminal 54.
  • FIG. 4 illustrates the ground terminal 54 using the same cross section as FIG. 3 (a).
  • the ground terminal 54 in this example has a first contact portion 70, a second contact portion 72, and a third contact portion 74 in place of the ground contact portion 60 shown in FIG.
  • Other parts of the ground terminal 54 in this example may be the same as the corresponding parts of the ground terminal 54 described in FIGS. 1 to 3.
  • the first contact portion 70, the second contact portion 72, and the third contact portion 74 are provided so as to surround, for example, 3Z4 on the outer periphery of the shield portion 12, and each of the first contact portion 70, the second contact portion 72, and the third contact portion 74 is electrically connected to the outer periphery of the shield portion 12. Touch.
  • the first contact portion 70, the second contact portion 72, and the third contact portion 74 are arranged at the boundary between the inside and the outside of the housing 52, similarly to the ground contact portion 60 shown in FIG. Have a width larger than the width of the ground terminal 54!
  • the first contact portion 70 is provided by extending the internal force of the housing 52 to the outside of the housing 52 in the terminal extending direction, and makes electrical contact with the outer periphery of the shield portion 12.
  • the first contact part 70 has a relatively small area in the vicinity of the boundary between the inside and outside of the housing 52 and a relatively wide area in the vicinity of the contact part that is in electrical contact with the outer periphery of the shield part 12. Have a size, area and.
  • the relatively small region of the first contact portion 70 in the vicinity of the boundary between the inside and the outside of the housing 52 is curved and provided as described with reference to FIG. May be.
  • the region of the first contact portion 70 in the vicinity of the contact portion that is in electrical contact with the outer periphery of the shield portion 12 may be a planar shape.
  • the planar area is the housing 52 It should be provided approximately parallel to the opposite surface.
  • the second contact portion 72 is provided inside the housing 52 in a direction perpendicular to both the terminal extension direction and the cable extension direction from the end portion of the first contact portion 70 inside the housing 52. It is provided by stretching.
  • the second contact portion 72 may have a planar shape substantially parallel to the opposing surface of the housing 52.
  • the third contact part 74 is provided to extend from the end of the second contact part 72 that is not on the first contact part 70 side in the terminal extension direction inside the housing 52.
  • the third contact portion 74 may have a planar shape that is substantially parallel to the opposing surface of the housing 52.
  • the first contact portion 70, the second contact portion 72, and the third contact portion 74 may be integrally formed. Further, the contact portions of the first contact portion 70, the second contact portion 72, the third contact portion 74, and the shield portion 12 may be fixed by soldering or the like. With such a configuration, the electrical contact between the ground terminal 54 and the shield portion 12 can be improved, and the physical contact strength can be improved.
  • FIG. 5 is a view showing another example of the connector unit 50.
  • the connector 50 described with reference to FIGS. 1 to 4 is a force in which the straight line connecting the ground terminal 54 and the signal terminal 56 exposed to the outside of the housing 52 is substantially parallel to the cable extension direction.
  • the straight line is different in that it is not substantially parallel to the cable extension direction.
  • the other structure of the connector part 50 in this example may be the same as the connector part 50 demonstrated in FIGS. 1-4.
  • FIG. 5 (a) shows an example of a bottom view of the coaxial cable unit 100, as in FIG. 1 (b).
  • FIG. 5 (b) shows an example of a bottom view of the internal structure of the connector section 50, as in FIG. 2 (b).
  • FIG. 5C shows an example of a cross section of the connector portion 50, as in FIG. In FIG. 5 (c), two cross sections at different positions shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b) are schematically shown as one cross sectional view.
  • FIG. 5C shows a cross-sectional view in which the signal terminal 56 is projected onto the same cross section as shown in FIG.
  • the ground terminal 54 and the signal terminal 56 in this example are opposite to the center of the cable part 10, and the shield part 12 and Contact signal line 16. That is, between the position where the contact point of the signal terminal 56 and the signal line 16 is projected on a predetermined cross section and the position where the contact point of the ground terminal 54 and the shield part 12 is projected on the cross section,
  • the signal terminal 56 and the ground terminal 54 may be provided so that the center of the cable section 10 is arranged.
  • the ground terminal 54 and the signal terminal 56 are on the same side with respect to the center of the cable part 10, and the shield part 12 and the signal terminal Contact line 16. That is, the position where the contact point of the signal terminal 56 and the signal line 16 is projected on the cross section between the center of the cable part 10 and the position where the contact point of the ground terminal 54 and the shield part 12 is projected on the predetermined cross section.
  • a signal terminal 56 and a ground terminal 54 are provided as arranged.
  • the signal terminal 56 and the ground terminal 54 may be provided to be curved inside the housing 52 so as to be exposed to the outside of the housing 52 at predetermined positions on the surface of the housing 52. Further, in the example shown in FIGS. 1 to 5, the signal terminal 56 and the ground terminal 54 are curved in a direction perpendicular to both the cable extension direction and the terminal extension direction. In other words, the signal terminal 56 and the ground terminal 54 are provided so as to be bent in a direction perpendicular to the surface in contact with the signal line 16 and the shield portion 12, and adjust the position where the signal is exposed on the surface of the housing 52.
  • the signal terminal 56 and the ground terminal 54 may be provided curved in a direction different from a direction perpendicular to the surface in contact with the signal line 16 and the shield portion 12.
  • the signal terminal 56 and the ground terminal 54 may be provided curved in the cable extending direction.
  • the position where the signal terminal 56 and the ground terminal 54 are exposed to the outside of the housing 52 is The position corresponds to the position of the signal line 16 and shield part 12 of the cable part 10. For this reason, the coordinates with the axis extending in the direction of the cable at the position where the signal terminal 56 and the ground terminal 54 are exposed to the outside of the housing 52 are different.
  • the cable extending direction at the position where the signal terminal 56 and the ground terminal 54 are exposed to the outside of the housing 52 is changed.
  • the coordinates of the axes may be substantially the same.
  • FIG. 6 is a view showing another example of the coaxial cable unit 100.
  • FIG. 6 (a) shows an example of a bottom view of the coaxial cable unit 100, as in FIG. 1 (b).
  • FIG. 6 (b) shows an example of a cross section of the connector portion 50, as in FIG. 5 (c).
  • the connector portion 50 in this example is provided so that two ground terminals 54 are exposed outside the housing 52.
  • the signal terminal 56 is provided between the two ground terminals 54-1 and 54-2 outside the housing 52. With such a configuration, noise superimposed on the signal transmitted through the signal terminal 56 can be reduced.
  • at least one of the two ground terminals 54 and the signal terminal 56 may be provided in the housing 52 so as to be curved in the cable extending direction! /.
  • the structure of other portions of the coaxial cable unit 100 may be the same as that of the coaxial cable unit 100 described with reference to FIGS.
  • the two ground terminals 54 may be provided so that the ground terminals 54 as shown in FIG. 3A are in contact with both sides of the shield portion 12. Further, the two ground terminals 54 may be integrally formed as shown in FIG. 6 (b). In this case, the ground terminal 54 may be formed by extending until the third contact portion 74 described in FIG. 4 is exposed to the outside of the housing 52. In the example described with reference to FIG. 6, the lengths of the ground terminal 54 and the signal terminal 56 exposed to the outside of the housing 52 in the terminal extension direction may be substantially the same!
  • FIG. 7 is a view showing an example of the structure of the housing 52.
  • FIG. 7 shows an example of a front view and a bottom view of the housing 52.
  • the front view of the housing 52 shows a surface of the housing 52 that faces the surface into which the cable portion 10 is inserted.
  • the housing 52 has a notch 80 on at least one side of the surface from which the signal terminal 56 and the ground terminal 54 protrude (in this example, the lower surface).
  • the nosing 52 has a notch 80 in which a part of the insulating material on the lower surface and the front surface is cut out at the boundary line between the lower surface and the front surface.
  • the connector unit 50 can be easily detached from the terminal on the receiving side.
  • the width of the notch 80 on the one side is preferably long enough to insert a removal jig such as a driver. This allows the connector part 50 to be removed individually even if it is mounted in a narrow space at a high density. It can be done easily.
  • the surface of the housing 52 is coated with a conductive material.
  • the plating part is preferably grounded.
  • the mesh portion may be electrically connected to the shield portion 12.
  • a terminal hole 84 into which the ground terminal 54 is inserted and a terminal hole 82 into which the signal terminal 56 is inserted are formed on the lower surface of the housing 52. It is preferable that the vicinity of the terminal hole 82 is not scratched with a conductive material.
  • the lower surface of the housing 52 is not scratched, and the other surface of the housing 52 may be covered.
  • the region of a predetermined distance from the terminal hole 82 does not have to be scratched.
  • the predetermined distance is substantially equal to the distance between the ground contact portion 60 and the signal contact portion 64 described in FIG.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the configuration of a test apparatus 200 that tests the device under test 300.
  • FIG. 8 (a) shows an outline of a configuration example of the test apparatus 200.
  • FIG. FIG. 8B shows an example of connection between the socket board 110 and the coaxial cable unit 100.
  • the test apparatus 200 is an apparatus for testing a device under test 300 such as a semiconductor circuit, and includes a socket board 110, a main body 120, and a coaxial cable unit 100.
  • the socket board 110 mounts the device under test 300 thereon.
  • the socket board 110 is electrically connected to input / output pins of the device under test 300 by probe pins or the like.
  • the main body 120 generates a test signal to be supplied to the device under test 300. Further, the main body 120 determines pass / fail of the device under test 300 based on the output signal of the device under test 300.
  • the main body 120 passes signals to and from the socket board 110 via the coaxial cable unit 100. Further, the socket board 110 passes signals to and from the device under test 300 via probe pins or the like.
  • the coaxial cable unit 100 transmits a test signal from the main body 120 to the socket board 110.
  • the coaxial cable unit 100 transmits the output signal of the device under test 300 to the main body 120 from the socket board 110 force.
  • the test apparatus 200 includes a plurality of coaxial cable units 100 corresponding to the number of signals to be transmitted.
  • the coaxial cable unit 100 may be the same as the coaxial cable unit 100 described with reference to FIGS.
  • the socket board 110 has a plurality of sub boards 112 connected to the coaxial cable unit 100.
  • the plurality of sub boards 112 are provided perpendicular to the socket board 110. .
  • the plurality of sub-boards 112 are provided with receiving-side terminals into which the signal terminal 56 and the ground terminal 54 of the coaxial cable unit 100 are inserted.
  • the plurality of sub-boards 112 are provided such that the front and back surfaces of adjacent sub-boards 112 face each other.
  • each sub board 112 has the back surface of the adjacent sub board 112 facing the surface on which the receiving terminal is provided.
  • the receiving terminal may have a hole into which the signal terminal 56 and the ground terminal 54 are inserted.
  • the signal terminal 56 and the ground terminal 54 are provided substantially perpendicular to the cable extension direction.
  • the connector part 50 can be connected to the receiving terminal in a state where the cable part 10 is arranged in parallel to the surface of the sub board 112.
  • the interval between the adjacent sub boards 112 only needs to be larger than the sum of the lengths of the signal terminal 56 and the ground terminal 54 and the connector section 50.
  • a plurality of sub-boards 112 can be provided at small intervals. Therefore, a large number of sub boards 112 can be provided in a small area, and the test apparatus 200 can be easily designed.
  • the end of the cable portion 10 of the coaxial cable unit 100 is placed on the surface of the sub board 112. It is necessary to arrange them vertically. Then, it is necessary to bend the cable portion 10 between the sub boards 112 and route the cable portion 10 in the direction of the main body portion 120. For this reason, it is necessary to arrange the sub boards 112 at intervals at which the cable portion 10 can be bent, and it is difficult to provide the sub boards 112 at small intervals.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating another example of the structure of the coaxial cable unit 100.
  • 9 (a) is a diagram showing an example of a top view of the coaxial cable unit 100
  • FIG. 9 (b) is a diagram showing an example of a front view of the coaxial cable unit 100
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of a side view of the coaxial cable unit 100.
  • the coaxial cable unit 100 in this example includes a first cable part 10-1, a second cable part 10-2, and a connector part 50.
  • Each of the first cable portion 10-1 and the second cable portion 10-2 may be the same as the cable portion 10 described in FIGS. [0067]
  • the connector part 50 is provided in common at the ends of the first cable part 10-1 and the second cable part 10-2. That is, the first cable portion 10-1 and the second cable portion 10-2 are inserted into the connector portion 50 in parallel with the same surface force.
  • the connector unit 50 includes a housing 52, a first signal terminal 56-1, a second signal terminal 56-2, and a ground terminal 54.
  • the structure of the housing 52 may be the same as the connector unit 50 described with reference to FIGS.
  • the housing 52 fixes the first cable portion 10-1, the second cable portion 10-2, the first signal terminal 56-1, the second signal terminal 56-2, and the ground terminal 54.
  • the first signal terminal 56-1, the second signal terminal 56-2, and the ground terminal 54 are exposed from the surface (front surface) facing the surface where the cable portion 10 is inserted. .
  • the first signal terminal 56-1 is in electrical contact with the signal line 16 of the first cable portion 10-1.
  • the second signal terminal 56-2 is in electrical contact with the signal line 16 of the second cable portion 10-2. Further, the shapes of the first signal terminal 56-1 and the second signal terminal 56-2 may be the same as the signal terminal 56 described in FIGS.
  • the ground terminal 54 is in electrical contact with both the shield part 12 of the first cable part 10-1 and the shield part 12 of the second cable part 10-2.
  • the shape of the grounding terminal 54 is the same as that of the grounding terminal 54 described in FIGS.
  • the first signal terminal 56-1, the second signal terminal 56-2, and the grounding terminal 54 are configured so that the internal force of the housing 52 is also external. It is provided extending in substantially the same direction.
  • the first signal terminal 56-1, the second signal terminal 56-2, and the ground terminal 54 extend from the inside of the housing 52 to the outside of the housing 52 through the front surface of the housing 52. And extending in the terminal extending direction in substantially the same direction.
  • the ground terminal 54 is provided between the first signal terminal 56-1 and the second signal terminal 56-2.
  • the first signal terminal 56-1, the second signal terminal 56-2, and the ground terminal 54 are provided on a substantially straight line, and the ground terminal 54 is connected to the first signal terminal 56-1 and the first signal terminal 56-1.
  • 2Signal terminal 56-2 should be provided in the approximate center of 2 ⁇ .
  • FIG. 10 is a diagram showing an example of the internal structure of the connector unit 50.
  • Fig. 10 shows an example of the internal structure of the connector unit 50 as seen from the top surface of the coaxial cable unit 100, as in Fig. 9 (a).
  • the first cable portion 10-1 and the second cable portion 10-2 are inserted from the back surface of the housing 52 substantially in parallel. Further, the first signal terminal 56-1, the second signal terminal 56-2, and the ground terminal 54 are inserted substantially in parallel from the front of the housing 52.
  • the shield part 12 of the first cable part 10-1 and the shield part 12 of the second cable part 10-2 may be provided inside the housing 52 with the ground terminal 54 interposed therebetween.
  • the shield part 12 of the first cable part 10-1 and the shield part 12 of the second cable part 10-2 are provided across a part of the ground contact part 60 of the ground terminal 54.
  • the ground contact portion 60 is in electrical contact with both of the shield portions 12 and is fixed by soldering or the like. As described with reference to FIG. 2, the ground contact portion 60 may have a planar shape or a curved shape, or a cylindrical shape.
  • the signal line 16 of the first cable portion 10-1 is provided inside the housing 52 so as to extend in a direction substantially perpendicular to the insertion direction of the first cable portion 10-1.
  • the region covered with the insulating portion 14 may be curved and the signal line 16 may be extended in this direction.
  • the signal line 16 of the first cable portion 10-1 may be extended in a direction parallel to the surface of the signal contact portion 64 of the first signal terminal 56-1.
  • the signal line 16 contacts the surface of the signal contact portion 64 of the first signal terminal 56-1, and is fixed by soldering or the like.
  • the signal line 16 of the second cable portion 10-2 is provided inside the housing 52 so as to extend in a direction substantially opposite to the signal line 16 of the first cable portion 10-1.
  • the region covered with the insulating portion 14 may be curved and the signal line 16 may be extended in this direction.
  • the signal line 16 of the second cable section 10-2 is in contact with the surface of the signal contact section 64 of the second signal terminal 56-2 and is fixed by soldering or the like. With such a configuration, the two cable portions 10 can be connected to the receiving terminals arranged at a narrow interval. For this reason, a large number of signals can be transmitted in a narrow area.
  • FIG. 11 is a diagram showing another configuration example of the test apparatus 200.
  • the configuration of the test apparatus 200 in this example is different from the configuration of the test apparatus 200 described in FIG. 8 in that the socket board 110 does not have the sub board 112.
  • Other configurations may be the same as those of the test apparatus 200 described in FIG.
  • the socket board 110 in this example has the device under test 300 placed on the front surface and is connected to the coaxial cable unit 100 on the back surface.
  • the coaxial cable unit 100 may be the coaxial cable unit 100 described in FIG. 9 to FIG.
  • the receiving terminal is a hole-like terminal into which the signal terminal 56 and the ground terminal 54 are inserted.
  • one ground terminal at the receiving terminal may be provided for the two cable portions 10. For this reason, a large number of receiving terminals can be provided in a small area, and a large number of signals can be transmitted.
  • the coaxial cable unit 100 and the receiving terminal can be connected without using soldering or the like.
  • a large number of signals can be transmitted in a small area.

Landscapes

  • Communication Cables (AREA)
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Abstract

　信号を伝送する同軸ケーブルユニットであって、信号線、信号線の外周を覆う絶縁部、及び絶縁部の外周を覆うシールド部を有するケーブル部と、ケーブル部の端部に設けられたコネクタ部とを備え、コネクタ部は、ケーブル部が延伸するケーブル延伸方向に対して略垂直な端子延伸方向に延伸して設けられ、信号線と電気的に接触する信号端子と、端子延伸方向に延伸して設けられ、シールド部と電気的に接触する接地端子と、ケーブル部の端部、信号端子、及び接地端子を固定するハウジングとを有する同軸ケーブルユニットを提供する。

Description

明 細 書
同軸ケーブルユニット、及び試験装置
技術分野
[0001] 本発明は、同軸ケーブルユニット及び当該同軸ケーブルユニットを用いた試験装 置に関する。
背景技術
[0002] 半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置にお!ヽて、同軸ケーブルによ り信号を伝送することが考えられる。例えば試験装置は、被試験デバイスを載置する ソケットボードと、被試験デバイスに供給すべき試験信号を生成する本体部とを備え 、ソケットボードと本体部との狭い空間には、数千本以上にも及ぶ同軸ケーブルを用 いることが考えられる。
[0003] ソケットボードに同軸ケーブルを接続する場合、半田付けにより同軸ケーブルを固 定することが考えられる。例えば、ソケットボードの複数の端子に、それぞれ同軸ケー ブルを半田付けすることが考えられる。尚、関連する先行技術文献として、以下の特 許文献がある。
特許文献 1：特開平 8— 31476号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] しかし、ソケットボードには、数千本以上にも及び同軸ケーブルの端子が狭ピッチで 設けられているので、絶縁を保って同軸ケーブルを半田付けするが難しくなつている 。このため、これらの端子に同軸ケーブルをそれぞれ半田付けすることは熟練を要す る。
[0005] また、同軸ケーブルを半田付けした後に、接続不安定、隣接間のショート等の不具 合が発生した場合、特定の同軸ケーブルだけを取り外すことが困難である。このため 、特定の同軸ケーブルの交換等を行う場合に、周辺の同軸ケーブルも取り外す必要 がある。
[0006] また、ソケットボードは、複数のサブボードを有する場合がある。この場合、複数のサ ブボードは、それぞれの面が対向するように並列に設けられる。そして、それぞれの サブボードの表面に設けられたスルーホール等に同軸ケーブルの信号線が挿入さ れて半田付けされる。
[0007] しかし、同軸ケーブルの信号線をサブボード表面に挿入して半田付けした場合、そ れぞれのサブボードを狭ピッチで並列に配置することが困難である。つまり、サブボ ード表面に対して略垂直に同軸ケーブルを挿入するので、サブボードの外部に同軸 ケーブルを引き回すベぐ同軸ケーブルをサブボード表面と略平行な方向に 90度曲 げる必要がある。このため、当該曲げ部分に応じて、隣接するサブボードとの間隔を 広くする必要がある。
[0008] このため本発明の一つの側面においては、上述した課題を解決することのできる同 軸ケーブルユニット、及び試験装置を提供することを目的とする。この目的は、請求 の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は 本発明の更なる有利な具体例を規定する。
課題を解決するための手段
[0009] 上記課題を解決するために、本発明の第 1の形態においては、信号を伝送する同 軸ケーブルユニットであって、信号線、信号線の外周を覆う絶縁部、及び絶縁部の外 周を覆うシールド部を有するケーブル部と、ケーブル部の端部に設けられたコネクタ 部とを備え、コネクタ部は、ケーブル部が延伸するケーブル延伸方向に対して略垂 直な端子延伸方向に延伸して設けられ、信号線と電気的に接触する信号端子と、端 子延伸方向に延伸して設けられ、シールド部と電気的に接触する接地端子と、ケー ブル部の端部、信号端子、及び接地端子を固定するハウジングとを有する同軸ケー ブルユニットを提供する。
[0010] 本発明の第 2の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、 被試験デバイスを載置するソケットボードと、被試験デバイスに供給する試験信号を 生成する本体部と、本体部からソケットボードに試験信号を伝送する同軸ケーブルュ ニットとを備え、同軸ケーブルユニットは、信号線、信号線の外周を覆う絶縁部、及び 絶縁部の外周を覆うシールド部を有するケーブル部と、ケーブル部の端部に設けら れたコネクタ部とを有し、コネクタ部は、ケーブル部が延伸するケーブル延伸方向に 対して略垂直な端子延伸方向に延伸して設けられ、信号線と電気的に接触する信 号端子と、端子延伸方向に延伸して設けられ、シールド部と電気的に接触する接地 端子と、ケーブル部の端部、信号端子、及び接地端子を固定するハウジングとを含 む試験装置を提供する。
[0011] 本発明の第 3の形態においては、信号を伝送する同軸ケーブルユニットであって、 信号線、信号線の外周を覆う絶縁部、及び絶縁部の外周を覆うシールド部を有する 第 1ケーブル部及び第 2ケーブル部と、第 1ケーブル部及び第 2ケーブル部の端部 に共通に設けられたコネクタ部とを備え、コネクタ部は、第 1ケーブル部の信号線と電 気的に接触する第 1信号端子と、第 2ケーブル部の信号線と電気的に接触する第 2 信号端子と、第 1ケーブル部のシールド部、及び第 2ケーブル部のシールド部の双方 に電気的に接触し、且つ第 1信号端子及び第 2信号端子の間に設けられる接地端子 と、第 1ケーブル部の端部、第 2ケーブル部の端部、第 1信号端子、第 2信号端子、 及び接地端子を固定するハウジングとを有する同軸ケーブルユニットを提供する。
[0012] 本発明の第 4の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、 被試験デバイスを載置するソケットボードと、被試験デバイスに供給する試験信号を 生成する本体部と、本体部からソケットボードに試験信号を伝送する同軸ケーブルュ ニットとを備え、同軸ケーブルユニットは、信号線、信号線の外周を覆う絶縁部、及び 絶縁部の外周を覆うシールド部を有する第 1ケーブル部及び第 2ケーブル部と、第 1 ケーブル部及び第 2ケーブル部の端部に共通に設けられたコネクタ部とを有し、コネ クタ部は、第 1ケーブル部の信号線と電気的に接触する第 1信号端子と、第 2ケープ ル部の信号線と電気的に接触する第 2信号端子と、第 1ケーブル部のシールド部、 及び第 2ケーブル部のシールド部の双方に電気的に接触する接地端子と、第 1ケー ブル部の端部、第 2ケーブル部の端部、第 1信号端子、第 2信号端子、及び接地端 子を固定するハウジングとを含む試験装置を提供する。
[0013] なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなぐ これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
図面の簡単な説明
[0014] [図 1]本発明の実施形態に係る同軸ケーブルユニット 100の一例を示す図である。図 1 (a)は、同軸ケーブルユニット 100の側面図の一例を示す図であり、図 1 (b)は、同 軸ケーブルユニット 100の下面図の一例を示す図である。
[図 2]コネクタ部 50の内部構造の一例を示す図である。図 2 (a)は、同軸ケーブルュ ニット 100の側面力も見たコネクタ部 50の内部構造の一例を示す図であり、図 2 (b) は、同軸ケーブルユニット 100の下面から見たコネクタ部 50の内部構造の一例を示 す図である。
[図 3]コネクタ部 50の断面の一例を示す図である。図 3 (a)は、図 2 (a)における A— A '断面を示す図であり、図 3 (b)は、図 2 (a)における B— B'断面を示す図である。 圆 4]接地端子 54の他の例を示す図である。
[図 5]コネクタ部 50の他の例を示す図である。図 5 (a)は、同軸ケーブルユニット 100 の下面図の一例を示す図であり、図 5 (b)は、コネクタ部 50の内部構造の下面図の 一例を示す図であり、図 5 (c)は、コネクタ部 50の断面の一例を示す図である。
[図 6]同軸ケーブルユニット 100の他の例を示す図である。図 6 (a)は、同軸ケーブル ユニット 100の下面図の一例を示す図であり、図 6 (b)は、コネクタ部 50の断面の一 例を示す図である。
[図 7]ハウジング 52の構造の一例を示す図である。
[図 8]被試験デバイス 300を試験する試験装置 200の構成の一例を示す図である。 図 8 (a)は、試験装置 200の構成例の概略を示す図であり、図 8 (b)は、ソケットボード 110と同軸ケーブルユニット 100との接続例を示す図である。
[図 9]同軸ケーブルユニット 100の他の構造例を示す図である。図 9 (a)は、同軸ケー ブルユニット 100の上面図の一例を示す図であり、図 9 (b)は、同軸ケーブルユニット 100の正面図の一例を示す図であり、図 9 (c)は、同軸ケーブルユニット 100の側面 図の一例を示す図である。
[図 10]コネクタ部 50の内部構造の一例を示す図である。
[図 11]試験装置 200の他の構成例を示す図である。
符号の説明
10 · · 'ケーブル部、 12 · · 'シールド部、 14 · · '絶縁部、 16 · · '信号線、 50 · · 'コネク タ部、 52 · · 'ハウジング、 54 · · ·接地端子、 56 · · ·信号端子、 58、 62 · · '膨張部、 60 • · '接地接触部、 64· · '信号接触部、 66、 68 · · '側面、 70· · '第 1の接触部、 72 · · · 第 2の接触部、 74· · '第 3の接触部、 80· · '切り欠き、 82、 84· · '端子孔、 100· · ·同 軸ケーブルユニット、 110· · ·ソケットボード、 112· · ·サブボード、 120· · ·本体部、 1 50 · · '端子部材、 152· · ·共通部、 200· · '試験装置、 300· · '被試験デバイス 発明を実施するための最良の形態
[0016] 以下、発明の実施の形態を通じて本発明の一つの側面を説明するが、以下の実施 形態は請求の範隨こかかる発明を限定するものではなぐまた実施形態の中で説明 されて 、る特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らな!/、。
[0017] 図 1は、本発明の実施形態に係る同軸ケーブルユニット 100の一例を示す図である 。図 1 (a)は、同軸ケーブルユニット 100の側面図の一例を示す図であり、図 1 (b)は 、同軸ケーブルユニット 100の下面図の一例を示す図である。図 1に示すように、同 軸ケーブルユニット 100は、ケーブル部 10及びコネクタ部 50を備える。
[0018] ケーブル部 10は、信号を伝送する。ケーブル部 10は、信号を伝送する信号線、信 号線の周囲に設けられたシールド部、信号線とシールド部との間に設けられた絶縁 部、及びシールド部を被覆するシースを有してよい。ケーブル部 10は、例えば同軸 ケーブルであってよい。コネクタ部 50は、ケーブル部 10の端部に設けられ、ケープ ル部 10が伝送した信号を外部に伝送する。例えば、ケーブル部 10は、信号を伝送 すべき方向に延伸して設けられており、ケーブル部 10の端部とは、信号を伝送する 方向における、ケーブル部 10の一端であってよい。コネクタ部 50は、信号端子 56、 接地端子 54、及びハウジング 52を有する。
[0019] 接地端子 54は、プレスフィット型の端子であり、ケーブル部 10が延伸するケーブル 延伸方向に対して略垂直な端子延伸方向に延伸して設けられ、ケーブル部 10のシ 一ルド部と接触する。信号端子 56は、プレスフィット型の端子であり、端子延伸方向 に延伸して設けられ、ケーブル部 10の信号線と接触する。ハウジング 52は、ケープ ル部 10の端部を保持固定して、信号端子 56、及び接地端子 54を所定の配設位置 で保持固定する。ハウジング 52は、例えば榭脂、液晶ポリマ等の絶縁材料で形成さ れてよい。また、ハウジング 52は、ハウジング 52が形成されるべき領域に、当該絶縁 材料を充填することにより形成されてよい。 [0020] ハウジング 52は、例えば信号端子 56と接地端子 54とがケーブル部 10に接続され た状態のものを実装可能な開口部位を備えた箱型の形状としてよい。また、ハウジン グ 52は、榭脂等を当該形状に充填硬化することにより形成してよい。また、ハウジン グ 52は、例えばノ、ウジング 52の外形を有する金型に、ケーブル部 10に接続された 信号端子 56及び接地端子 54を実装してよい。そして、当該金型に榭脂等を充填硬 化させた後、当該金型から離型して形成してもよい。これにより、ハウジング 52の厚み は、ケーブル部 10の直径に対してわずかに厚くなる程度で済む。このため、狭い空 間に高密度で圧入して実装することができ、且つ、個別に取り外すことも容易にでき る。
[0021] また、信号端子 56及び接地端子 54は、導電材料で形成される。信号端子 56及び 接地端子 54は、金属の板材をプレス加工して形成してよい。また、信号端子 56及び 接地端子 54の一方又は双方の端子形状は、ケーブル部 10の同軸ケーブルの特性 インピーダンス、例えば 50オームに近づくように、端子形状を形成することが望ましい
[0022] 尚、ケーブル部 10は、湾曲可能な同軸ケーブルであってよい。この場合、ケーブル 延伸方向とは、ケーブル部 10の端部における延伸方向であってよい。例えばケープ ル延伸方向とは、ケーブル部 10がコネクタ部 50に挿入されている方向であってよい 。また、ハウジング 52は、ほぼ直方体の形状であってよい。ケーブル部 10は、ハウジ ング 52の!、ずれかの面に対して垂直なケーブル延伸方向に延伸して、ハウジング 5 2に挿入される。また、接地端子 54及び信号端子 56は、ケーブル部 10が挿入される ハウジング 52の面と直交するいずれかの面に対して垂直な端子延伸方向に延伸し て、ハウジング 52に挿入される。
[0023] また、図 1 (b)に示すように、接地端子 54及び信号端子 56を結ぶ直線が、ケープ ル延伸方向と略平行となるように、接地端子 54及び信号端子 56を設けてよい。接地 端子 54及び信号端子 56は、ハウジング 52に挿入される面の略中央に設けられてよ ぐ図 1 (b)に示すように、ハウジング 52に挿入される面の外周に沿って設けられても よい。コネクタ部 50は、接続するべき受け側の孔状の端子に接地端子 54及び信号 端子 56を挿入することにより、受け側の端子 (例えば、基板に設けられるスルーホー ル等）に接続される。このように、ケーブル部 10の端部に、接地端子 54及び信号端 子 56を有するコネクタ部 50を設けることにより、半田付け等を行わずに、コネクタ部 5 0を受け側の端子に接続することができる。
[0024] 図 2は、コネクタ部 50の内部構造の一例を示す図である。図 2 (a)は、図 1 (a)と同 様に、同軸ケーブルユニット 100の側面から見たコネクタ部 50の内部構造の一例を 示す。また図 2 (b)は、図 1 (b)と同様に、同軸ケーブルユニット 100の下面から見たコ ネクタ部 50の内部構造の一例を示す。
[0025] ケーブル部 10は、コネクタ部 50が設けられる端部側力も順に、信号線 16が表出す る信号領域、絶縁部 14が表出する絶縁領域、及びシールド部 12が表出するシール ド領域を、ハウジング 52の内部において有する。シールド部 12には接地電位が与え られてよい。また信号線 16には、伝送すべき信号が与えられてよい。例えばケープ ル部 10の他端において、シールド部 12が接地され、信号線 16に信号が与えられて よい。
[0026] ケーブル部 10は、信号線 16、絶縁部 14、シールド部 12、及びシース（絶縁被覆） が同心円状に設けられる。信号線 16及びシールド部 12は導電材料で形成され、絶 縁部 14及びシースは絶縁材料で形成される。シールド領域においては、シースが除 去されてシールド部 12が表出される。また絶縁領域においては、シース及びシール ド部 12が除去されて絶縁部 14が表出される。また信号領域においては、シース、シ 一ルド部 12、及び絶縁部 14が除去されて信号線が表出される。
[0027] 接地端子 54は、シールド領域にお 、てシールド部 12と接触する。例えば図 2に示 すように、接地端子 54は、シールド部 12の外周と電気的に接触してよい。接地端子 54は、端子延伸方向に延伸する側面を有しており、当該側面においてシールド部 1 2の外周と電気的に接触してよい。接地端子 54は、ハウジング 52の内部において、 他の部分より幅の大きい接地接触部 60を有してよい。ここで、接地接触部 60の幅と は、ケーブル延伸方向における接地接触部 60の幅を指してよい。接地端子 54は、 接地接触部 60の側面において、シールド部 12の外周と電気的に接触する。また接 地端子 54は、半田付け、溶接等の方法で、シールド部 12に対して固定されてよい。 例えばシールド部 12及び接地接触部 60の接触部位の周囲に半田を固着させてよ い。
[0028] また信号端子 56は、信号領域において信号線 16と接触する。例えば図 2に示すよ うに、信号端子 56は、信号線 16の外周と電気的に接触してよい。信号端子 56は、端 子延伸方向に延伸する側面を有しており、当該側面において信号線 16の外周と電 気的に接触してよい。信号端子 56は、ハウジング 52の内部において、他の部分より 幅の大きい信号接触部 64を有してよい。ここで、信号接触部 64の幅とは、ケーブル 延伸方向における信号接触部 64の幅を指してよい。信号端子 56は、信号接触部 64 の側面において、信号線 16の外周と電気的に接触する。また信号端子 56は、半田 付け、溶接等の方法で、信号線 16に対して固定されてよい。例えば信号線 16及び 信号接触部 64の接触部位の周囲に半田を固着させてよい。また、信号接触部 64は 、 V字状の切り込み溝（図示しない）を形成して、信号線 16を当該 V字溝に圧入させ て電気的に接触させてょ ヽ。
[0029] このように、接地端子 54及び信号端子 56の側面と、シールド部 12及び信号線 16 の外周とを電気的に接触させることにより、シールド部 12及び信号線 16の外周に対 して垂直に圧力が力かることを防ぐことができる。例えば、コネクタ部 50を受け側の端 子に挿入する場合、接地端子 54及び信号端子 56には、端子延伸方向に力が加わ る。しかし、接地端子 54及び信号端子 56の側面と、シールド部 12及び信号線 16の 外周とが接触するので、シールド部 12及び信号線 16に対する押圧力を低減すること ができる。このため、シールド部 12及び信号線 16が変形することを防ぐことができる。
[0030] また、ケーブル延伸方向における、接地端子 54と信号端子 56との距離は、絶縁性 を保つことを条件として、できるだけ短いことが好ましい。これにより、信号端子 56に おけるインピーダンスの不整合を低減することができる。例えば接地接触部 60と信号 接触部 64との距離は、 0. 8mm程度であってよい。
[0031] また、接地端子 54及び信号端子 56は、ハウジング 52の外部に表出する領域の一 部において、ハウジング 52の外部に表出する領域の他の部分の断面より大きい断面 を有することが好ましい。本例において接地端子 54及び信号端子 56は、ハウジング 52の外部に表出する領域の一部に膨張部 58及び膨張部 62を有する。
[0032] 膨張部 58は、弾性を有して、接続相手の基板のスルーホール等へ圧入して、電気 的な接触を行う。膨張部 58は、接地端子 54のハウジング 52の外部に表出する領域 の中間部分に設けられ、膨張部 62は、信号端子 56のハウジング 52の外部に表出す る領域の中間部分に設けられる。つまり、接地端子 54は、ハウジング 52の外部に表 出する領域において、比較的に断面積の小さい接地先端部と、比較的に断面積の 大きい膨張部 58と、比較的に断面積の小さい接地挿入部とが、先端側から順に設け られる。また、信号端子 56は、ハウジング 52の外部に表出する領域において、比較 的に断面積の小さい信号先端部と、比較的に断面積の大きい膨張部 58と、比較的 に断面積の小さ 、信号挿入部とが、先端側から順に設けられる。
[0033] 膨張部 58及び膨張部 62は、弾性を有することが好ましい。例えば膨張部 58及び 膨張部 62は空洞を有してよい。このような構成により、コネクタ部 50を受け側の端子 に接続したあとに、コネクタ部 50が脱落することを低減することができる。このため、 半田等を用いてコネクタ部 50を固定せずとも、コネクタ部 50と受け側の端子との接続 を保つことができる。
[0034] また、シールド部 12及び信号線 16の直径が異なるので、図 2 (b)に示すように、ノヽ ウジング 52の内部における接地端子 54及び信号端子 56を結ぶ直線は、ケーブル 延伸方向に対して平行とならない。ハウジング 52の外部における接地端子 54及び 信号端子 56を結ぶ直線がケーブル延伸方向に対して略平行となるように、接地端子 54及び信号端子 56の少なくとも一方を湾曲させて設けてよい。この場合、接地端子 54及び信号端子 56における湾曲部位は、ハウジング 52の内部に設けられることが 好ましい。これにより、接地端子 54及び信号端子 56の強度が劣化することを防ぐこと ができる。
[0035] 図 3は、コネクタ部 50の断面の一例を示す図である。図 3においては、ケーブル延 伸方向と略垂直な断面を示す。また、図 3 (a)は、図 2 (a)における A—A'断面を示す 図であり、図 3 (b)は、図 2 (a)における B— B'断面を示す図である。
[0036] 図 3 (a)に示すように、接地端子 54は、端子延伸方向に延伸する側面 66において 、シールド部 12の外周と電気的に接触する。また、図 3 (b)に示すように、信号端子 5 6は、端子延伸方向に延伸する側面 68において、信号線 16の外周と電気的に接触 する。 [0037] また、図 3 (a)及び図 3 (b)に示すように、ケーブル延伸方向と略垂直な所定の断面 に、ケーブル部 10の中心の位置 (例えば信号線 16の中心の位置）と、接地端子 54 及びシールド部 12の接触点と、信号端子 56及び信号線 16の接触点とを投影した位 置が、略一直線となるように、接地端子 54及び信号端子 56を設けてよい。
[0038] また、上述したように、信号線 16と接触する信号端子 56の側面 68のうち、ハウジン グ 52の外部に表出する部分と、シールド部 12と接触する接地端子 54の側面 66のう ち、ハウジング 52の外部に表出する部分とが略同一の面内に設けられるように、信号 端子 56及び接地端子 54の少なくとも一方を湾曲させて設けてよい。本例では、信号 端子 56及び接地端子 54の双方を、逆方向に同程度に湾曲させて設けている。
[0039] 図 4は、接地端子 54の他の例を示す図である。図 4は、図 3 (a)と同様の断面を用 いて、接地端子 54を説明する。本例における接地端子 54は、図 2 (a)に示した接地 接触部 60に代えて、第 1の接触部 70、第 2の接触部 72、及び第 3の接触部 74を有 する。本例における接地端子 54の他の部位は、図 1から図 3において説明した接地 端子 54の対応する部位と同一であってよい。
[0040] 第 1の接触部 70、第 2の接触部 72、及び第 3の接触部 74は、シールド部 12の外周 の例えば 3Z4を囲むように設けられ、それぞれがシールド部 12の外周と電気的に接 触する。また、第 1の接触部 70、第 2の接触部 72、及び第 3の接触部 74は、図 2 (a) に示した接地接触部 60と同様に、ハウジング 52の内部及び外部の境界における接 地端子 54の幅より大き 、幅を有してよ!、。
[0041] 第 1の接触部 70は、ハウジング 52の内部力もハウジング 52の外部まで、端子延伸 方向に延伸して設けられ、シールド部 12の外周と電気的に接触する。第 1の接触部 70は、ハウジング 52の内部及び外部の境界の近傍において比較的に幅の小さい領 域と、シールド部 12の外周と電気的に接触する接触部位の近傍において比較的に 幅の大き 、領域とを有してょ 、。
[0042] また、第 1の接触部 70の、ハウジング 52の内部及び外部の境界近傍における比較 的に幅の小さい領域は、図 3 (a)に関連して説明したように、湾曲して設けられてよい 。また、第 1の接触部 70の、シールド部 12の外周と電気的に接触する接触部位の近 傍における領域は、平面形状であってよい。当該平面形状の領域は、ハウジング 52 の対向する面と略平行に設けられてよ 、。
[0043] 第 2の接触部 72は、第 1の接触部 70のハウジング 52の内部における端部から、端 子延伸方向及びケーブル延伸方向の双方に垂直な方向に、ハウジング 52の内部に おいて延伸して設けられる。例えば第 2の接触部 72は、ハウジング 52の対向する面 と略平行な平面形状であってょ 、。
[0044] 第 3の接触部 74は、第 2の接触部 72の、第 1の接触部 70の側でない端部から、端 子延伸方向に、ハウジング 52の内部において延伸して設けられる。例えば第 3の接 触部 74は、ハウジング 52の対向する面と略平行な平面形状であってよい。
[0045] また、第 1の接触部 70、第 2の接触部 72、及び第 3の接触部 74は、一体に成形さ れてよい。また、第 1の接触部 70、第 2の接触部 72、及び第 3の接触部 74と、シール ド部 12のそれぞれの接触部位は、それぞれ半田付け等により固着されてよい。この ような構成により、接地端子 54とシールド部 12との電気的な接触性を向上させること ができ、また物理的な接触強度を向上させることができる。
[0046] 図 5は、コネクタ部 50の他の例を示す図である。図 1から図 4において説明したコネ クタ部 50は、ハウジング 52の外部に表出する接地端子 54及び信号端子 56を結ぶ 直線が、ケーブル延伸方向と略平行である力 本例におけるコネクタ部 50は、当該 直線が、ケーブル延伸方向と略平行でない点で異なる。本例におけるコネクタ部 50 の他の構造は、図 1から図 4において説明したコネクタ部 50と同一であってよい。
[0047] 図 5 (a)は、図 1 (b)と同様に、同軸ケーブルユニット 100の下面図の一例を示す。
また図 5 (b)は、図 2 (b)と同様に、コネクタ部 50の内部構造の下面図の一例を示す。 また図 5 (c)は、図 3と同様に、コネクタ部 50の断面の一例を示す。尚、図 5 (c)にお いては、図 3 (a)及び図 3 (b)に示した異なる位置における二つの断面を、模式的に 一つの断面図で示す。本例では、図 3 (a)に示した断面と同様の断面に、信号端子 5 6を投影した断面図を図 5 (c)に示す。
[0048] 図 5 (b)及び図 5 (c)に示すように、本例における接地端子 54及び信号端子 56は、 ケーブル部 10の中心に対して互 、に逆側で、シールド部 12及び信号線 16と接触す る。つまり、信号端子 56及び信号線 16の接触点を所定の断面に投影した位置と、接 地端子 54及びシールド部 12の接触点を当該断面に投影した位置との間に、ケープ ル部 10の中心が配置されるように、信号端子 56及び接地端子 54が設けられてよい
[0049] これに対し、図 3 (a)及び図 3 (b)に示した例では、接地端子 54及び信号端子 56は 、ケーブル部 10の中心に対して同一側で、シールド部 12及び信号線 16と接触する 。つまり、ケーブル部 10の中心と、接地端子 54及びシールド部 12の接触点を所定 の断面に投影した位置との間に、信号端子 56及び信号線 16の接触点を当該断面 に投影した位置が配置されるように、信号端子 56及び接地端子 54が設けられる。
[0050] また、信号端子 56及び接地端子 54は、ハウジング 52の面における所定の位置で 、ハウジング 52の外部に表出するように、ハウジング 52の内部で湾曲して設けられて よい。また、図 1から図 5に示した例では、信号端子 56及び接地端子 54は、ケーブル 延伸方向及び端子延伸方向の双方に垂直な方向に湾曲して設けられて!/、る。つまり 、信号端子 56及び接地端子 54は、信号線 16及びシールド部 12に接触する面に垂 直な方向に湾曲して設けられ、ハウジング 52の面において表出する位置を調整する
[0051] 信号端子 56及び接地端子 54は、信号線 16及びシールド部 12に接触する面に垂 直な方向とは異なる方向に湾曲して設けられてもよい。例えば、信号端子 56及び接 地端子 54は、ケーブル延伸方向に湾曲して設けられてよい。例えば図 5 (a)に示した 例では、信号端子 56及び接地端子 54は、ケーブル延伸方向に湾曲していないので 、信号端子 56及び接地端子 54がハウジング 52の外部に表出する位置は、ケーブル 部 10の信号線 16及びシールド部 12の位置に応じた位置となる。このため、信号端 子 56及び接地端子 54がハウジング 52の外部に表出する位置の、ケーブル延伸方 向を軸とする座標は異なっている。これに対し、信号端子 56及び接地端子 54の少な くとも一方を、ケーブル延伸方向に湾曲させることにより、信号端子 56及び接地端子 54がハウジング 52の外部に表出する位置の、ケーブル延伸方向を軸とする座標が 略同一となるようしてもよい。
[0052] このように、信号端子 56及び接地端子 54をハウジング 52の内部で湾曲させること により、信号端子 56及び接地端子 54がハウジング 52の外部に表出する位置を任意 の位置とすることができる。 [0053] 図 6は、同軸ケーブルユニット 100の他の例を示す図である。図 6 (a)は、図 1 (b)と 同様に、同軸ケーブルユニット 100の下面図の一例を示す。また図 6 (b)は、図 5 (c) と同様に、コネクタ部 50の断面の一例を示す。
[0054] 本例におけるコネクタ部 50は、ハウジング 52の外部において、接地端子 54が 2つ 表出するように設けられている。また、信号端子 56は、ハウジング 52の外部において 、 2つの接地端子 54— 1及び 54— 2の間に設けられる。このような構成により、信号 端子 56を伝送する信号に重畳されるノイズを低減することができる。 2つの接地端子 54及び信号端子 56の少なくともいずれかは、上述したように、ハウジング 52の内部 にお 、てケーブル延伸方向に湾曲して設けられてよ!/、。同軸ケーブルュ-ット 100 の他の箇所の構造は、図 1から図 5において説明した同軸ケーブルユニット 100と同 一であってよい。
[0055] また、 2つの接地端子 54は、図 3 (a)に示したような接地端子 54を、シールド部 12 の両側に接触させて設けてよい。また、 2つの接地端子 54は、図 6 (b)に示すように、 一体に成形されていてもよい。この場合、接地端子 54は、図 4において説明した第 3 の接触部 74が、ハウジング 52の外部に表出するまで延伸して形成されてよい。図 1 力も図 6において説明した例において、ハウジング 52の外部に表出する接地端子 54 及び信号端子 56の、端子延伸方向における長さは略同一であってよ!、。
[0056] 図 7は、ハウジング 52の構造の一例を示す図である。図 7は、ハウジング 52の正面 図及び下面図の一例を示す。ハウジング 52の正面図は、ハウジング 52において、ケ 一ブル部 10が挿入される面に対向する面を示す。ハウジング 52は、信号端子 56及 び接地端子 54が突出する面 (本例では下面）の少なくとも一辺に切り欠き 80を有す る。例えばノヽウジング 52は、下面と正面との境界線において、下面及び正面の一部 の絶縁材料を切り欠いた切り欠き 80を有する。切り欠き 80を設けることにより、コネク タ部 50を受け側の端子に接続した後に、コネクタ部 50を受け側の端子力も容易に取 り外すことができる。例えば当該切り欠き 80にドライバ等を挿入することにより、コネク タ部 50を容易に受け側の端子から取り外すことができる。当該一辺における切り欠き 80の幅は、ドライバ等の取り外し治具を挿入できる程度の長さを有することが好まし い。これにより、狭い空間に高密度で実装していても、コネクタ部 50を個別に取り外 すことが容易にできる。
[0057] また、ハウジング 52は、表面が導電材料でメツキされて 、て 、ょ 、。メツキ部は、接 地されることが好ましい。例えばメツキ部は、シールド部 12と電気的に接続されてよい 。また、ハウジング 52の下面には、接地端子 54が挿入される端子孔 84及び信号端 子 56が挿入される端子孔 82が形成される。端子孔 82の近傍は、導電材料でメツキさ れないことが好ましい。例えばハウジング 52の下面はメツキされず、ハウジング 52の 他の面カ ツキされていてよい。また、端子孔 82から、所定の距離の領域は、メツキさ れなくてよい。例えば当該所定の距離は、図 2において説明した、接地接触部 60と 信号接触部 64との距離と略等しくてょ 、。
[0058] 図 8は、被試験デバイス 300を試験する試験装置 200の構成の一例を示す図であ る。図 8 (a)は、試験装置 200の構成例の概略を示す。また図 8 (b)は、ソケットボード 110と同軸ケーブルユニット 100との接続例を示す。試験装置 200は、半導体回路 等の被試験デバイス 300を試験する装置であって、ソケットボード 110、本体部 120、 及び同軸ケーブルユニット 100を備える。
[0059] ソケットボード 110は、被試験デバイス 300を載置する。また、ソケットボード 110は 、プローブピン等により、被試験デバイス 300の入出力ピンと電気的に接続される。
[0060] 本体部 120は、被試験デバイス 300に供給する試験信号を生成する。また本体部 120は、被試験デバイス 300の出力信号に基づいて、被試験デバイス 300の良否を 判定する。本体部 120は、同軸ケーブルユニット 100を介してソケットボード 110との 間で信号を受け渡す。またソケットボード 110は、プローブピン等を介して被試験デ バイス 300との間で信号を受け渡す。
[0061] 同軸ケーブルユニット 100は、本体部 120からソケットボード 110に試験信号を伝 送する。また同軸ケーブルユニット 100は、ソケットボード 110力ら本体部 120に、被 試験デバイス 300の出力信号を伝送する。試験装置 200は、伝送すべき信号の本数 に応じた複数の同軸ケーブルユニット 100を備える。同軸ケーブルユニット 100は、 図 1から図 7に関連して説明した同軸ケーブルユニット 100と同一であってよい。
[0062] ソケットボード 110は、同軸ケーブルユニット 100と接続される複数のサブボード 11 2を有する。複数のサブボード 112は、ソケットボード 110に対して垂直に設けられる 。また複数のサブボード 112は、同軸ケーブルユニット 100の信号端子 56及び接地 端子 54が挿入される受側端子が表面に設けられる。また複数のサブボード 112は、 隣接するサブボード 112同士の表面と裏面とが対向して設けられる。例えばそれぞ れのサブボード 112は、受側端子が設けられる表面に対向して、隣接するサブボー ド 112の裏面が配置される。受側端子は、信号端子 56及び接地端子 54が挿入され る孔を有してよい。
[0063] 本例における同軸ケーブルユニット 100は、信号端子 56及び接地端子 54が、ケー ブル延伸方向に対して、略垂直に設けられる。このため、ケーブル部 10を、サブボー ド 112の表面に対して平行に配置した状態で、コネクタ部 50を受側端子に接続する ことができる。このため、隣接するサブボード 112の間隔は、信号端子 56及び接地端 子 54の長さと、コネクタ部 50の長さの和より大きければよい。このため、複数のサブボ ード 112を、小さい間隔で設けることができる。このため、多数のサブボード 112を小 さ 、領域に設けることができ、試験装置 200の設計を容易に行うことができる。
[0064] これに対し、例えば信号端子 56及び接地端子 54が、ケーブル延伸方向に対して 平行に設けられている場合、同軸ケーブルユニット 100のケーブル部 10の端部を、 サブボード 112の表面に対して垂直に配置する必要がある。そして、それぞれのサブ ボード 112の間で、ケーブル部 10を湾曲させ、本体部 120の方向にケーブル部 10 を引き回す必要がある。このため、それぞれのサブボード 112は、ケーブル部 10を湾 曲させることができる間隔で配置する必要があり、小さい間隔で設けることが困難であ る。
[0065] 図 9は、同軸ケーブルユニット 100の他の構造例を示す図である。図 9 (a)は、同軸 ケーブルユニット 100の上面図の一例を示す図であり、図 9 (b)は、同軸ケーブルュ ニット 100の正面図の一例を示す図であり、図 9 (c)は、同軸ケーブルユニット 100の 側面図の一例を示す図である。
[0066] 本例における同軸ケーブルユニット 100は、第 1ケーブル部 10— 1、第 2ケーブル 部 10— 2、及びコネクタ部 50を備える。第 1ケーブル部 10— 1及び第 2ケーブル部 1 0— 2のそれぞれは、図 1から図 8において説明したケーブル部 10と同一であってよ い。 [0067] コネクタ部 50は、第 1ケーブル部 10— 1及び第 2ケーブル部 10— 2の端部に共通 に設けられる。つまり、コネクタ部 50には、第 1ケーブル部 10— 1及び第 2ケーブル 部 10— 2が、同一の面力 平行に挿入される。
[0068] コネクタ部 50は、ハウジング 52、第 1信号端子 56— 1、第 2信号端子 56— 2、及び 接地端子 54を有する。ハウジング 52の構造は、図 1から図 8において説明したコネク タ部 50と同様であってよい。ハウジング 52は、第 1ケーブル部 10—1、第 2ケーブル 部 10— 2、第 1信号端子 56— 1、第 2信号端子 56— 2、及び接地端子 54を固定する 。但し、本例におけるハウジング 52は、ケーブル部 10が挿入される面に対向する面（ 正面)から、第 1信号端子 56— 1、第 2信号端子 56— 2、及び接地端子 54を表出さ せる。
[0069] 第 1信号端子 56— 1は、第 1ケーブル部 10— 1の信号線 16と電気的に接触する。
また第 2信号端子 56— 2は、第 2ケーブル部 10— 2の信号線 16と電気的に接触する 。また、第 1信号端子 56— 1及び第 2信号端子 56— 2の形状は、図 1から図 8におい て説明した信号端子 56と同様であってよい。
[0070] 接地端子 54は、第 1ケーブル部 10— 1のシールド部 12、及び第 2ケーブル部 10— 2のシールド部 12の双方に電気的に接触する。接地端子 54の形状は、図 1から図 8 にお 、て説明した接地端子 54と同様であってょ 、。
[0071] 図 9 (a)及び図 9 (c)に示すように、第 1信号端子 56— 1、第 2信号端子 56— 2、及 び接地端子 54は、ハウジング 52の内部力も外部に、略同一の方向に延伸して設け られる。本例では、第 1信号端子 56— 1、第 2信号端子 56— 2、及び接地端子 54は、 ハウジング 52の内部から、ハウジング 52の正面を介してハウジング 52の外部に、ケ 一ブル延伸方向と略同一方向の端子延伸方向に延伸して設けられる。また、図 9 (a) 及び図 9 (b)に示すように、接地端子 54は、第 1信号端子 56— 1及び第 2信号端子 5 6— 2の間に設けられる。例えばノヽウジング 52の外部において、第 1信号端子 56— 1 、第 2信号端子 56— 2、及び接地端子 54は略直線上に設けられ、接地端子 54は、 第 1信号端子 56— 1及び第 2信号端子 56— 2の略中央に設けられてよ ヽ。
[0072] 図 10は、コネクタ部 50の内部構造の一例を示す図である。図 10は、図 9 (a)と同様 に、同軸ケーブルユニット 100の上面から見た、コネクタ部 50の内部構造の一例を示 す。
[0073] 第 1ケーブル部 10— 1及び第 2ケーブル部 10— 2は、ハウジング 52の背面から略 平行に挿入される。また、第 1信号端子 56— 1、第 2信号端子 56— 2、及び接地端子 54は、ハウジング 52の正面から略平行に挿入される。第 1ケーブル部 10—1のシー ルド部 12及び第 2ケーブル部 10— 2のシールド部 12は、ハウジング 52の内部にお いて、接地端子 54を挟んで設けられてよい。
[0074] 本例では、第 1ケーブル部 10— 1のシールド部 12及び第 2ケーブル部 10— 2のシ 一ルド部 12は、接地端子 54の接地接触部 60の一部を挟んで設けられる。接地接触 部 60は、これらのシールド部 12の双方と電気的に接触して、また半田付け等により 固着される。接地接触部 60は、図 2において説明したように平面形状であってよぐ また曲面形状であってよぐ円柱形状であってもよい。
[0075] 第 1ケーブル部 10—1の信号線 16は、ハウジング 52の内部において、第 1ケープ ル部 10— 1の挿入方向に対して略垂直な方向に延伸して設けられる。例えば、絶縁 部 14で被覆されている領域を湾曲させ、信号線 16を当該方向に延伸させてよい。第 1ケーブル部 10— 1の信号線 16は、第 1信号端子 56— 1の信号接触部 64の表面と 平行な方向に延伸してよい。信号線 16は、第 1信号端子 56— 1の信号接触部 64の 表面に接触して、また半田付け等により固着される。
[0076] 第 2ケーブル部 10— 2の信号線 16は、ハウジング 52の内部において、第 1ケープ ル部 10— 1の信号線 16と略逆方向に延伸して設けられる。例えば、絶縁部 14で被 覆されている領域を湾曲させ、信号線 16を当該方向に延伸させてよい。第 2ケープ ル部 10— 2の信号線 16は、第 2信号端子 56— 2の信号接触部 64の表面に接触して 、また半田付け等により固着される。このような構成により、 2つのケーブル部 10を、 狭い間隔で配置された受側端子に接続することができる。このため、狭い領域で、多 数の信号を伝送することができる。
[0077] 図 11は、試験装置 200の他の構成例を示す図である。本例における試験装置 200 の構成は、ソケットボード 110がサブボード 112を有さない点で、図 8において説明し た試験装置 200の構成と異なる。他の構成は、図 8において説明した試験装置 200 と同様であってよい。 [0078] 本例におけるソケットボード 110は、表面に被試験デバイス 300を載置して、裏面に おいて同軸ケーブルユニット 100と接続される。同軸ケーブルユニット 100は、図 9か ら図 10において説明した同軸ケーブルユニット 100であってよい。ソケットボード 110 の裏面には、同軸ケーブルユニット 100と接続される受側端子が設けられる。当該受 側端子は、信号端子 56及び接地端子 54が挿入される孔状の端子であってょ 、。
[0079] 本例における試験装置 200によれば、 2つのケーブル部 10に対して、受側端子に おける接地端子を一つ設ければよい。このため、小さい領域に多数の受側端子を設 けることができ、多数の信号を伝送することができる。
[0080] 以上、本発明の一つの側面を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的 範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様 な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な 変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範 囲の記載力も明らかである。
[0081] 以上から明らかなように、本発明の実施形態によれば、同軸ケーブルユニット 100と 受側端子とを、半田付け等を用いずに接続することができる。また、小さい領域で多 数の信号を伝送することができる。

Claims

請求の範囲
[1] 信号を伝送する同軸ケーブルユニットであって、
信号線、前記信号線の外周を覆う絶縁部、及び前記絶縁部の外周を覆うシールド 部を有するケーブル部と、
前記ケーブル部の端部に設けられたコネクタ部と
を備え、
前記コネクタ部は、
前記ケーブル部が延伸するケーブル延伸方向に対して略垂直な端子延伸方向に 延伸して設けられ、前記信号線と電気的に接触する信号端子と、
前記端子延伸方向に延伸して設けられ、前記シールド部と電気的に接触する接地 端子と、
前記ケーブル部の端部、前記信号端子、及び前記接地端子を固定するハウジング と
を有する同軸ケーブルユニット。
[2] 前記信号端子は、前記端子延伸方向に延伸する側面が、前記信号線の外周と電 気的に接触し、
前記接地端子は、前記端子延伸方向に延伸する側面が、前記シールド部の外周と 電気的に接触する
請求項 1に記載の同軸ケーブルユニット。
[3] 前記ケーブル延伸方向と略垂直な前記ケーブル部の断面において、前記ケープ ル部の中心の位置と、前記信号端子及び前記信号線の接触点を前記断面に投影し た位置と、前記接地端子及び前記シールド部の接触点を前記断面に投影した位置 とが、略一直線となるように前記信号端子及び前記接地端子を設けた
請求項 2に記載の同軸ケーブルユニット。
[4] 前記ハウジングの内部において、前記信号端子及び前記接地端子の少なくとも一 方を湾曲させて設けた
請求項 1に記載の同軸ケーブルユニット。
[5] 前記接地端子は、 前記シールド部の外周と電気的に接触し、前記ハウジングの内部力も前記ハウジン グの外部まで、前記端子延伸方向に延伸して設けられた第 1の接触部と、
前記第 1の接触部の前記ハウジングの内部における端部から、前記端子延伸方向 及び前記ケーブル延伸方向の双方に垂直な方向に、前記ハウジングの内部におい て延伸して設けられ、前記シールド部の外周と電気的に接触する第 2の接触部と、 前記第 2の接触部の、前記第 1の接触部側でない端部から、前記端子延伸方向に 、前記ハウジングの内部において延伸して設けられ、前記シールド部の外周と電気 的に接触する第 3の接触部と
を有する請求項 2に記載の同軸ケーブルユニット。
[6] 前記ハウジングの外部において、前記接地端子が 2つ表出するように設け、前記ハ ウジングの外部において、前記信号端子を前記接地端子の間に設けた
請求項 1に記載の同軸ケーブルユニット。
[7] 前記ハウジングは、前記信号端子及び前記接地端子が突出する面の少なくとも一 辺に切り欠きを有する
請求項 1に記載の同軸ケーブルユニット。
[8] 前記ハウジングの表面が導電材料でメツキされて!、る
請求項 1に記載の同軸ケーブルユニット。
[9] 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを載置するソケットボードと、
前記被試験デバイスに供給する試験信号を生成する本体部と、
前記本体部から前記ソケットボードに前記試験信号を伝送する同軸ケーブルュニッ 卜と
を備え、
前記同軸ケーブルユニットは、
信号線、前記信号線の外周を覆う絶縁部、及び前記絶縁部の外周を覆うシールド 部を有するケーブル部と、
前記ケーブル部の端部に設けられたコネクタ部と
を有し、 前記コネクタ部は、
前記ケーブル部が延伸するケーブル延伸方向に対して略垂直な端子延伸方向に 延伸して設けられ、前記信号線と電気的に接触する信号端子と、
前記端子延伸方向に延伸して設けられ、前記シールド部と電気的に接触する接地 端子と、
前記ケーブル部の端部、前記信号端子、及び前記接地端子を固定するハウジング と
を含む試験装置。
[10] 前記ソケットボードは、前記試験信号を受け取る複数のサブボードを有し、
それぞれのサブボードは、前記信号端子及び前記接地端子が挿入される受側端 子が表面に設けられ、且つ隣接する前記サブボードの表面と裏面とが対向して設け られる
請求項 9に記載の試験装置。
[11] 信号を伝送する同軸ケーブルユニットであって、
信号線、前記信号線の外周を覆う絶縁部、及び前記絶縁部の外周を覆うシールド 部を有する第 1ケーブル部及び第 2ケーブル部と、
前記第 1ケーブル部及び前記第 2ケーブル部の端部に共通に設けられたコネクタ 部と
を備え、
前記コネクタ部は、
前記第 1ケーブル部の前記信号線と電気的に接触する第 1信号端子と、 前記第 2ケーブル部の前記信号線と電気的に接触する第 2信号端子と、 前記第 1ケーブル部の前記シールド部、及び前記第 2ケーブル部の前記シールド 部の双方に電気的に接触し、且つ前記第 1信号端子及び前記第 2信号端子の間に 設けられる接地端子と、
前記第 1ケーブル部の端部、前記第 2ケーブル部の端部、前記第 1信号端子、前 記第 2信号端子、及び前記接地端子を固定するハウジングと
を有する同軸ケーブルユニット。
[12] 前記第 1ケーブル部及び前記第 2ケーブル部は、前記ハウジングに略平行に挿入 され、
前記第 1ケーブル部の前記シールド部、及び前記第 2ケーブル部の前記シールド 部は、前記接地端子を挟んで設けられ、
前記第 1ケーブル部の前記信号線は、前記ハウジングの内部において、前記第 1 ケーブル部の挿入方向に対して略垂直な方向に延伸して前記第 1信号端子と接触 し、
前記第 2ケーブル部の前記信号線は、前記ハウジングの内部において、前記第 1 ケーブル部の前記信号線と逆方向に延伸して前記第 2信号端子と接触する
請求項 11に記載の同軸ケーブルユニット。
[13] 前記ハウジングの表面が導電材料でメツキされて!、る
請求項 11に記載の同軸ケーブルユニット。
[14] 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを載置するソケットボードと、
前記被試験デバイスに供給する試験信号を生成する本体部と、
前記本体部から前記ソケットボードに前記試験信号を伝送する同軸ケーブルュニッ 卜と
を備え、
前記同軸ケーブルユニットは、
信号線、前記信号線の外周を覆う絶縁部、及び前記絶縁部の外周を覆うシールド 部を有する第 1ケーブル部及び第 2ケーブル部と、
前記第 1ケーブル部及び前記第 2ケーブル部の端部に共通に設けられたコネクタ 部と
を有し、
前記コネクタ部は、
前記第 1ケーブル部の前記信号線と電気的に接触する第 1信号端子と、 前記第 2ケーブル部の前記信号線と電気的に接触する第 2信号端子と、 前記第 1ケーブル部の前記シールド部、及び前記第 2ケーブル部の前記シールド 部の双方に電気的に接触する接地端子と、
前記第 1ケーブル部の端部、前記第 2ケーブル部の端部、前記第 1信号端子、前 記第 2信号端子、及び前記接地端子を固定するハウジングと
を含む試験装置。
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