WO2008012091A3 - Verfahren und vorrichtung zum bestimmen einer abweichung einer tatsächlichen form von einer sollform einer optischen oberfläche - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum bestimmen einer abweichung einer tatsächlichen form von einer sollform einer optischen oberfläche Download PDF

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Abstract

Ein Verfahren zum Bestimmen einer Abweichung einer tatsächlichen Form von einer Sollform einer optischen Oberfläche (12; 103) umfasst folgende Schritte: Bereitstellen einer eingehenden elektromagnetischen Messwelle (20; 113), Bereitstellen zweier diffraktiver Strukturen (47, 49; 145, 146, 141, 143), die jeweils darauf ausgelegt sind, die Wellenfront einer eintreffenden Welle umzuformen, Kalibrieren eines der beiden diffraktiven Strukturen (47, 49; 145, 146, 141, 143) durch Einstrahlen der eingehenden Messwelle (20; 113) auf die mindestens eine zu kalibrierende diffraktive Struktur (47, 49; 145, 146, 141, 143) und Bestimmen einer Kalibrierabweichung der tatsächlichen Wellenfront von einer Sollwellenfront der Messwelle (20; 113) nach deren Interaktion mit der mindestens einen zu kalibrierenden diffraktiven Struktur (47; 49; 145, 146, 141, 143), Anordnen der beiden diffraktiven Strukturen (47; 49; 145, 146, 141, 143) derart im Strahlengang der eingehenden Messwelle (20; 113), dass einzelne Strahlen der Messwelle beide diffraktive Strukturen (47; 49; 145, 146, 141, 143) durchstrahlen, und Umformen der eingehenden Messwelle (20; 113) mittels der beiden diffraktiven Strukturen (47; 49; 145, 146, 141, 143) in eine angepasste Messwelle (64; 114), deren Wellenfront an die Sollform der optischen Oberfläche (12; 103) angepasst ist, Anordnen der optischen Oberfläche (12; 103) im Strahlengang der angepassten Messwelle (64, 114), so dass die angepasste Messwelle (64; 114) mit der optischen Oberfläche (12; 103) in Interaktion tritt, sowie Vermessen der Wellenfront der angepassten Messwelle (64; 114) nach deren Interaktion mit der optischen Oberfläche (12; 103).
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