WO2007129566A1 - サーバ装置、およびプログラム - Google Patents

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WO2007129566A1
WO2007129566A1 PCT/JP2007/058788 JP2007058788W WO2007129566A1 WO 2007129566 A1 WO2007129566 A1 WO 2007129566A1 JP 2007058788 W JP2007058788 W JP 2007058788W WO 2007129566 A1 WO2007129566 A1 WO 2007129566A1
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WO
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chart
measurement information
information
instruction
output instruction
Prior art date
Application number
PCT/JP2007/058788
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English (en)
French (fr)
Inventor
Kenji Matogawa
Noriaki Koyama
Original Assignee
Tokyo Electron Limited
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Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Limited filed Critical Tokyo Electron Limited
Publication of WO2007129566A1 publication Critical patent/WO2007129566A1/ja

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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41875—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by quality surveillance of production
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/32—Operator till task planning
    • G05B2219/32179—Quality control, monitor production tool with multiple sensors
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Definitions

  • the present invention relates to a group management system, a server device, and the like including, for example, two or more manufacturing apparatuses that perform a predetermined process on a substrate to be processed, and a server device connected to the two or more manufacturing apparatuses It is.
  • a calculation formula for processing the measurement data is registered in advance, and when the measurement data is received, the measurement data is stored in a measurement data reception buffer, and the recipe name that the measurement data has Based on the above, the medium power of the registered calculation formula is selected, and at least one calculation formula having the same recipe name suitable for processing the measurement data is selected, stored in the calculation formula storage buffer, and stored in the above-mentioned measurement Data is calculated by applying to the selected calculation formula, and the calculation result is stored in the processed data storage buffer.
  • a conventional group management system for semiconductor manufacturing apparatuses has a function of displaying time-series information (hereinafter referred to as a chart) measured by the semiconductor manufacturing apparatus.
  • a chart time-series information measured by the semiconductor manufacturing apparatus.
  • FDC fault detection and classification
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 11 354395 (Page 1, Fig. 1 etc.)
  • a server apparatus of the present invention includes a plurality of manufacturing apparatuses that perform a predetermined process on a substrate to be processed and a server apparatus connected to the plurality of manufacturing apparatuses, and performs abnormality analysis after detecting an abnormality.
  • a server device constituting a group management system having a function to perform, which is time-series information about information measured by the plurality of manufacturing devices, and identifies a device identifier or recipe for identifying the manufacturing device.
  • a measurement information storage unit capable of storing a plurality of measurement information, which includes time information indicating a recipe identifier and time, and a chart output instruction including one or more device identifiers or one or more recipe identifiers
  • the instruction receiving unit receives an output instruction
  • the output instruction includes one or more device identifiers or one or more recipe identifiers included in the output instruction.
  • Measurement information is read from the measurement information storage unit, and from the read measurement information, a chart configuration unit that configures a chart in a mode in which measurement information for each apparatus identifier or for each recipe identifier can be visually distinguished, and the chart configuration
  • a server device including an output unit that outputs a chart configured by the unit.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram of a group management system in the present embodiment.
  • the group management system is a system that controls a manufacturing apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus or a liquid crystal panel manufacturing apparatus.
  • the group management system has a function of performing an abnormality analysis after detecting an abnormality.
  • the group management system includes one or more manufacturing apparatuses 11 (manufacturing apparatuses 11 (1) to 11 (n)), a server apparatus 12, and a client apparatus 13.
  • the manufacturing apparatus 11 is an apparatus that performs a predetermined process on a substrate to be processed. More specifically, the manufacturing apparatus 11 is a manufacturing apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus or a liquid crystal panel manufacturing apparatus. The manufacturing apparatus 11 performs various processes on the substrate to be processed such as a film forming process, an etching process, and a thermal oxidation process. The manufacturing apparatus 11 is, for example, a composite process type semiconductor wafer manufacturing apparatus. Figure 2 shows an example of this semiconductor wafer manufacturing equipment. As shown in FIG.
  • the semiconductor wafer manufacturing apparatus includes a plurality of (for example, three) process chambers 1 that perform various processes on the semiconductor wafer, such as a film forming process, an etching process, and a thermal oxidation process, 2 and 3, and cassettes Cl and C2 that can accommodate a large number of wafers W (for example, 50) W between cassette chambers 4 and 5 and process chambers 1 and 2 and cassette chambers 4 and 5
  • a transfer chamber 6 that delivers Wu W.
  • Each chamber is connected through a gate valve G so as to be freely opened and closed.
  • an articulated transfer arm 7 capable of bending and extending and rotating is provided, and the transfer arm 7 transfers the wafer W between the chambers.
  • the cassettes Cl and C2 When the cassettes Cl and C2 are taken into the cassette chambers 4 and 5, the cassettes Cl and C2 are turned 90 degrees, and the wafer outlet of the cassettes Cl and C2 is rotated so as to face the center in the transfer chamber 6 for transfer.
  • the arm 7 is installed in a posture that allows woofer W to be taken in and out.
  • the manufacturing apparatus 11 stores, for example, a recipe (usually a set of process condition values) that is information related to a predetermined process for the substrate to be processed, and performs control using the recipe.
  • a recipe usually a set of process condition values
  • the server device 12 is a server device that constitutes a so-called group management system, and stores various measurement information in a plurality of manufacturing devices 11, and for the measurement information, It has a function to perform abnormality analysis.
  • the server device 12 normally has an abnormality detection function.
  • the server device 12 normally provides an abnormality praying function to the user after detecting the abnormality.
  • the abnormality detection function stores a normal range threshold (for example, an upper limit threshold and a lower limit threshold) or an abnormal range threshold in a recording medium (for example, a threshold storage unit) in advance, and uses the threshold.
  • a determination unit for determining whether the measurement information is normal or abnormal, and the abnormality is detected by the determination of the determination unit. Since such a general abnormality detection function is a known technique, a detailed description thereof will be omitted.
  • the client device 13 issues various requests to the server device 12 and accepts processing results in the server device 12.
  • FIG. 3 is a block diagram of the group management system in the present embodiment.
  • the group management system includes one or more manufacturing apparatuses 11, a server apparatus 12, and a client apparatus 13.
  • the manufacturing apparatus 11 includes a recipe storage unit 1101, a processing unit 1102, a measurement unit 1103, an original information storage unit 1104, and an original information transmission unit 1105.
  • the server device 12 includes a measurement information storage unit 1201, an original information reception unit 1202, a measurement information acquisition unit 1203, a measurement information storage unit 1204, an instruction reception unit 1205, a chart configuration unit 1206, an output unit 1 207, and an output instruction storage Part 1208.
  • the client device 13 includes an instruction input unit 1301, an instruction sending unit 1302, a chart receiving unit 1303, and a chart display unit 1304.
  • Recipe storage unit 1101 stores a recipe used to control manufacturing apparatus 11.
  • a recipe is information about a predetermined process for a substrate to be processed, and usually includes a set of process parameter information.
  • the process parameter information includes, for example, a category name, item name, parameter name, and value.
  • the category name is a name indicating the type of process parameter, for example, “temperature”, “gas flow rate”, “boat elevator speed”, and the like.
  • the item name is a name indicating the attribute of the process parameter, for example, “vertical speed”, “rotational speed”, and the like.
  • the parameter name is the name of the process parameter, for example, “C” “A” or the like.
  • the value is the value given to a variable called a process parameter.
  • recipes are stored in pairs with a recipe identifier that identifies the recipe (eg, recipe name). ing.
  • the recipe storage unit 1101 can also be realized by a force volatile recording medium, which is preferably a non-volatile recording medium.
  • the processing unit 1102 reads the recipe in the recipe storage unit 1101 and performs a predetermined process on the substrate to be processed according to the recipe.
  • the processing unit 1102 can usually be realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the processing unit 1102 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM.
  • hardware dedicated circuit
  • the measurement unit 1103 measures one or more values such as the temperature, gas flow rate, and pressure in the manufacturing apparatus 11, and obtains original information that is the basis of measurement information that is charted.
  • the original information is information such as the measured temperature.
  • the original information usually has time information indicating the measured time.
  • the original information includes a recipe identifier for identifying a recipe that was processed when the measurement unit 1103 was measuring a value such as temperature, one or more measured values, and time information indicating the measured time. Is more preferred.
  • the measuring unit 1103 may measure a plurality of temperatures at a plurality of locations and a plurality of values such as temperature and gas flow rate.
  • the measurement unit 1103 can be realized by sensors such as one or more temperature sensors or one or more flow sensors.
  • the original information accumulation unit 1104 accumulates the original information acquired by the measurement unit 1103 in a recording medium (not shown).
  • the original information storage unit 1104 can usually be realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the original information storage unit 1104 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the recording medium is preferably a non-volatile recording medium, but can also be realized as a volatile recording medium.
  • the original information transmission unit 1105 transmits the original information accumulated by the original information accumulation unit 1104 to the server device 12.
  • the trigger of transmission of original information is not ask
  • the original information transmitted by the original information transmission unit 1105 preferably has a measured value, time information, and a manufacturing apparatus identifier that identifies the manufacturing apparatus 11.
  • the original information transmitted by the original information transmission unit 1105 has a measured value, time information, a manufacturing apparatus identifier that identifies the manufacturing apparatus 11, and a recipe identifier. That is, the original information accumulated by the original information accumulation unit 1104 and The original information transmitted by the original information transmission unit 1105 may have a different structure or configuration.
  • the original information may be configured to have one manufacturing apparatus identifier or Z and one recipe identifier for a plurality of measured values.
  • the original information transmission unit 1105 may transmit a set of measured values and time information and attribute values such as a manufacturing apparatus identifier and a recipe identifier at different timings.
  • the original information transmission unit 1105 can be realized by a wireless or wired communication means.
  • the measurement information storage unit 1201 can store a plurality of measurement information.
  • the plurality of pieces of measurement information is time-series information regarding information measured by a plurality of manufacturing apparatuses 11, and is information having a device identifier for identifying the manufacturing apparatus 11 and time information indicating time. Further, the plurality of measurement information is time-series information about information measured by the plurality of manufacturing apparatuses 11, and indicates a device identifier for identifying the manufacturing apparatus 11, a recipe identifier for identifying the recipe, and a time. It may be information having time information.
  • the measurement information storage unit 1201 is preferably a non-volatile recording medium, but can also be realized by a volatile recording medium. Note that the measurement information stored in the measurement information storage unit 1201 may be information stored in the measurement information storage unit 1204, information received directly from the manufacturing apparatus 11 or information read from a recording medium (not shown). .
  • the original information receiving unit 1202 receives original information, which is information that is the basis of a plurality of measurement information, from the plurality of manufacturing apparatuses 11.
  • the original information receiving unit 1202 can be realized by wireless or wired communication means.
  • Measurement information acquisition section 1203 performs a predetermined calculation on the plurality of pieces of original information received by original information reception section 1202, and acquires a plurality of pieces of measurement information.
  • Predetermined operations are, for example, calculating an average value of multiple values of multiple original information, obtaining a maximum value, obtaining a minimum value, or calculating a standard deviation at predetermined time intervals. Or to obtain the median.
  • the predetermined calculation is, for example, calculating an average value of a plurality of values included in a plurality of original information, acquiring a maximum value, or acquiring a minimum value for each predetermined step in a recipe.
  • An operation for calculating a standard deviation or obtaining a median value may be used.
  • the measurement information acquisition unit 1203 reads a predetermined arithmetic expression held in advance, substitutes a plurality of pieces of original information into the arithmetic expression, and acquires a plurality of measurement information.
  • Measurement information acquisition unit 1203 can be realized from an MPU or memory.
  • the processing procedure of the measurement information acquisition unit 1203 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the measurement information storage unit 1204 stores a plurality of measurement information acquired by the measurement information acquisition unit 1203 in the measurement information storage unit 1201.
  • the measurement information accumulating unit 1204 includes measurement information that is determined to be abnormal by a determination unit (not shown) from among a plurality of measurement information acquired by the measurement information acquisition unit 1203 and measurement information that has a certain relationship with the measurement information ( It is preferable to store only the measurement information of the same manufacturing apparatus as the abnormal measurement information and the measurement information of the same recipe) in the measurement information storage unit 1201.
  • the measurement information storage unit 1204 can usually be realized from an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the measurement information storage unit 1204 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, hardware (dedicated circuit) may be used.
  • the instruction receiving unit 1205 receives an instruction. This instruction may also be received by a force such as a keyboard or mouse connected to the force server device 12 that is normally received from the client device 13.
  • the instruction received by the instruction receiving unit 1205 corresponds to, for example, an output instruction for a chart including one or more device identifiers, an output instruction for a chart including one or more recipe identifiers, and an output instruction accumulated by the output instruction storage unit 1208. It is a chart output instruction.
  • the output instruction is an output instruction for performing an abnormality analysis after an abnormality is detected.
  • the output instruction may include information on the type of chart (SPC chart, correlation chart, MD chart, etc.).
  • the output instruction may include the type of data to be output as a chart (measurement information such as temperature, gas flow rate, pressure, etc.). Further, the output instruction may include point or Z and line attribute information constituting the chart. The attribute information includes a point color, a point type (shape), a line color, a line type, and the like. Further, when the output instruction includes a recipe identifier, the recipe identifier usually indicates a plurality of recipes having the same identifier of a plurality of apparatuses.
  • the instruction receiving unit 1205 also has a wireless or wired reception capability.
  • the instruction input means may be anything such as a numeric keypad, keyboard, mouse or menu screen.
  • the instruction receiving unit 1205 can be realized by a device driver for input means such as a numeric keypad or a keyboard, control software for a menu screen, or the like.
  • the chart configuration unit 1206 reads a plurality of measurement information having one of one or more device identifiers included in the output instruction from the measurement information storage unit 1201, From the read measurement information, a chart is formed in which the measurement information for each device identifier can be visually distinguished.
  • the chart configuration unit 1206 reads, from the measurement information storage unit 1201, a plurality of measurement information having any of one or more recipe identifiers included in the output instruction.
  • the chart of the aspect which can distinguish visually the measurement information for every recipe identifier from the read measurement information concerned is constituted.
  • the chart in which the measurement information for each device identifier can be visually distinguished is the type of point where the measurement information for each device identifier is different (square and round shape) when the output instruction includes two or more device identifiers. , Color, size), and charts in which measurement information for each device identifier is connected with different line colors.
  • the chart in which the measurement information for each device identifier can be visually distinguished is a chart that also has a plurality of measurement information capabilities of the one device identifier when the output instruction includes only one device identifier.
  • the chart in which the measurement information for each recipe identifier can be visually distinguished is different from the chart in which the measurement information for each recipe identifier is different when the output instruction includes two or more recipe identifiers (square and circle shapes, Color, size), and charts in which measurement information for each recipe identifier is connected by different line types (solid line, broken line, etc.).
  • the chart in which the measurement information for each recipe identifier can be visually distinguished refers to a chart having a plurality of measurement information capabilities of the one recipe identifier when the output instruction includes only one recipe identifier.
  • the chart construction unit 1206 reads the chart output instruction corresponding to the accumulated output instruction according to the instruction received by the instruction reception unit 1205, and configures the chart according to the output instruction.
  • the chart configuration unit 1206 reads a plurality of pieces of measurement information having one of one or more device identifiers included in the output instruction from the measurement information storage unit 1201.
  • FIG. 11 is a chart in a mode in which measurement information for each device identifier can be visually distinguished from the read measurement information, and the plurality of read measurement information in order of time indicated by time information of one type of measurement information.
  • An SPC chart (a univariate abnormality detection chart) that is a chart in which is plotted may be configured.
  • SPC Chiaichi G is a chart for detecting anomalies by monitoring univariates.
  • the chart configuration unit 1206 reads a plurality of measurement information having any one of one or more device identifiers included in the output instruction from the measurement information storage unit 1201, It is a chart in a mode in which the measurement information for each device identifier can be visually distinguished from the read measurement information, and constitutes a correlation chart (bivariate abnormality detection chart) that shows the correlation between two types of measurement information. Also good.
  • the correlation chart is a chart for monitoring the bivariate correlation.
  • the chart configuration unit 1206 reads a plurality of measurement information having one of one or more device identifiers included in the output instruction from the measurement information storage unit 1201, and This is a chart in which the measurement information for each device identifier can be visually distinguished from the read measurement information, and it is an MD chart (multivariate abnormality detection chart) that shows the correlation of three or more types of measurement information You may do it.
  • the MD chart is a chart for detecting anomalies by monitoring multivariate and is a chart that handles multiple SPC charts together. For example, it is preferable that the chart constituting unit 1206 determines abnormality using the Mahalanobis distance and outputs an MD chart that visually indicates whether the abnormality is normal or normal.
  • the chart configuration unit 1206 reads, from the measurement information storage unit 1201, a plurality of measurement information having any one of one or more recipe identifiers included in the output instruction, This is a chart in which the measurement information for each recipe identifier can be visually distinguished from the read measurement information, and plots a plurality of read measurement information in the order of the time indicated by the time information of one type of measurement information.
  • An SPC chart which is a chart that has been created, may be configured.
  • the chart configuration unit 1206 reads, from the measurement information storage unit 1201, a plurality of pieces of measurement information having one of one or more recipe identifiers included in the output instruction.
  • the chart may be configured such that the measurement information for each recipe identifier can be visually distinguished from the read measurement information, and a correlation chart that is a chart showing the correlation between two types of measurement information may be configured.
  • the chart component 120 6 when the instruction receiving unit 1205 receives an output instruction, the measurement information storage unit 1201 reads a plurality of pieces of measurement information having one of one or more recipe identifiers included in the output instruction, and the read measurement information Therefore, the measurement information for each recipe identifier can be visually distinguished, and an MD chart, which is a chart showing the correlation of three or more types of measurement information, may be configured.
  • the chart configuration is, for example, processing for obtaining a chart by connecting a plurality of pieces of measurement information with lines along a time axis.
  • the process for constructing the chart is a known technique, and thus detailed description thereof is omitted.
  • the processing for constructing the SPC chart, the correlation chart, and the MD chart is a known technique, and thus detailed description thereof is omitted.
  • the two types of measurement information include information including two types of measured values (for example, temperature and gas flow rate) in one measurement information.
  • the three or more types of measurement information include information including three or more types of measured values (for example, temperature, gas flow rate, and pressure) in one measurement information.
  • the chart configuration unit 1206 can usually also realize an MPU, a memory and the like.
  • the processing procedure of the chart configuration unit 1206 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the output unit 1207 outputs the chart configured by the chart configuration unit 1206.
  • the output is normally transmission to the client device 13.
  • the output unit 1207 may be connected to the server device 12 to display a chart on a display, print it on a printer, or send it to an external device.
  • the output unit 1207 can be realized by wireless or wired communication means.
  • the output unit may be realized by 1207, output device driver software, or output device driver software and output device.
  • the output instruction accumulating unit 1208 accumulates an output instruction which is an instruction such as having point or Z and line attribute information and device identifier, or having point or Z and line attribute information and recipe identifier.
  • an output instruction which is an instruction such as having point or Z and line attribute information and device identifier, or having point or Z and line attribute information and recipe identifier.
  • the instruction receiving unit 1205 receives an accumulation instruction that is an instruction for accumulating chart settings (including color information)
  • the output instruction accumulating unit 1208 receives point or Z and line attribute information and a device identifier, or Output instructions having point or Z and line attribute information and recipe identifiers may be stored.
  • the output instruction storage unit 1208 is usually MPU and memory power can also be realized.
  • the processing procedure of the output instruction storage unit 1208 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the instruction input unit 1301 inputs various instructions.
  • the various instructions include a start instruction, a chart output instruction, and an instruction to change chart attribute values (line type, line color, point type, point color, etc.).
  • the chart output instruction and the instruction to change the chart attribute values (such as line type, line color, point type, point color, etc.) will be analyzed after the user is notified of the abnormality detection.
  • This is an instruction to input.
  • the instruction input means may be anything such as a numeric keypad, keyboard, mouse or menu screen.
  • the instruction input unit 1301 can be realized by input means such as a numeric keypad and a keyboard, a device driver thereof, control software for a menu screen, and the like.
  • the instruction sending unit 1302 sends the instruction input from the instruction input unit 1301 to the server device 12.
  • the sending here is usually sending using communication means.
  • the instruction sending unit 1302 can be realized by a wireless or wired communication means.
  • the chart receiving unit 1303 receives chart information from the server device 12.
  • the acceptance here is usually reception using communication means.
  • the chart receiving unit 1303 can be realized by a wireless or wired communication means.
  • the chart display unit 1304 displays the information of the chart received by the chart receiving unit 1303 on the display.
  • the chart display unit 1304 may or may not include a display.
  • the chart display unit 1304 can be realized by display driver software or display driver software and a display.
  • Step S401 The processing unit 1102 reads the recipe in the recipe storage unit 1101.
  • Step S402 The processing unit 1102 assigns 1 to the counter i.
  • Step S403 The processing unit 1102 determines whether or not the i-th processing step is present in the recipe read in step S401. If the i-th processing step exists, go to step S404, and if the i-th processing step does not exist, go to step S409. (Step S404) The processing unit 1102 executes the process of the i-th step.
  • the measurement unit 1103 performs a predetermined measurement and acquires original information (the original information here usually has only a value). Two or more values (for example, temperature, gas flow rate, and pressure) can be used for the measurement here.
  • the measuring unit 1103 obtains time information from a clock (not shown), adds time information to the measured information (one or more values), and constitutes original information. Further, the measurement unit 1103 may read the manufacturing apparatus identifier and the recipe identifier stored in advance and add them to the original information here.
  • This recipe identifier is identification information of a recipe for which processing is being executed.
  • the original information storage unit 1104 stores the original information configured in step S406 on a recording medium (not shown).
  • Step S408 The processing unit 1102 increments the counter i by 1, and returns to step S403.
  • the original information transmission unit 1105 determines whether or not it is a timing to transmit the original information.
  • the original information transmission unit 1105 goes to step S410 if it is the timing to transmit the original information, and ends the process if it is not the timing to transmit the original information.
  • the server apparatus 12 is usually made to read the original information by another means (for example, via a portable recording medium).
  • the original information transmission unit 1105 receives the original information accumulated by the original information accumulation unit 1104.
  • the original information transmission unit 1105 reads the manufacturing apparatus identifier and the recipe identifier for identifying the manufacturing apparatus 11, assigns the original information read in Step S410, and configures the original information to be transmitted. . It is assumed that the manufacturing apparatus identifier is held in advance by the manufacturing apparatus 11.
  • the manufacturing apparatus identifier and the recipe identifier may be stored in a non-volatile recording medium that is preferably stored in the non-volatile recording medium of the manufacturing apparatus 11.
  • the original information transmission unit 1105 transmits the original information configured in step S 411 to the server apparatus 12.
  • the original information transmission unit 1105 communicates with the server device 12. (For example, the IP address of the server device 12).
  • a recipe identifier and a manufacturing apparatus identifier are assigned to the original information and transmitted.
  • a set of one or more values and time information, a recipe identifier, and a manufacturing apparatus identifier may be separately transmitted to the server apparatus 12.
  • each time one piece of original information composed of a set of one or more values and time information is acquired, it may be transmitted to the server device 12.
  • the recipe identifier and the manufacturing device identifier may be transmitted to the server device 12. That is, the transmission timing of the original information and the transmission timing of each part of the original information (a set of value and time information, a manufacturing device identifier, etc.) are not limited.
  • Step S501 The instruction receiving unit 1205 determines whether or not the instruction has been received in order to perform an abnormality analysis after the abnormality is detected. If the instruction is accepted, the process goes to step S502. If the instruction is not accepted, the process goes to step S507.
  • Step S502 The chart constituting unit 1206 determines whether or not the instruction received in step S501 is a chart output instruction. If it is a chart output instruction, go to step S503. If it is not a chart output instruction, go to step S508.
  • Step S503 The chart constituting unit 1206 acquires one or more device identifiers, or Z and one or more recipe identifiers for which the instruction received in Step S501 is present.
  • Step S504 The chart construction unit 1206 searches the measurement information storage unit 1201 using one or more device identifiers obtained in step S503 or step S510, or Z and one or more recipe identifiers as keys.
  • the above measurement information is acquired.
  • Measurement information includes at least one value (such as temperature and gas flow rate) and time information.
  • the chart configuration unit 1206 receives any one of the measurement information having one of one or more device identifiers included in the output instruction, or one or more recipe identifiers included in the Z and the output instruction. Get the measurement information you have.
  • Chart configuration unit 1206 configures a chart according to the received output instruction from the measurement information retrieved in step S 504.
  • the chart line attribute values are attribute values acquired in step S510, instructed attribute values, default attribute values, etc.
  • the chart composing unit 1206 composes a chart using powerful attribute values.
  • the chart to be configured is a chart in which the measurement information for each apparatus identifier can be visually distinguished, or a chart in which the measurement information for each Z and recipe identifier can be visually distinguished. Further, the charts to be configured are charts according to chart type information (SPC chart, correlation chart, MD chart, etc.) included in the output instruction.
  • Step S506 The output unit 1207 outputs the chart configured in step S506. Here, the output is transmission to the client device 13. Return to step S501.
  • Step S507 The original information receiving unit 1202 determines whether or not the original information is received from the manufacturing apparatus 11. If the original information is received, the process goes to step S514. If the original information is not received, the process returns to step S501.
  • Step S508 The chart constituting unit 1206 determines whether or not the instruction received in step S501 is a chart output instruction in accordance with the accumulated chart output instruction. If it is an instruction to output the chart, go to step S509, and if it is not instructed to output the chart, go to step S510.
  • Step S509 The chart construction unit 1206 reads out the output instruction stored in Step S512 in accordance with the instruction received in Step S501, and from the output instruction, the device identifier or Z and recipe identifier, and the chart Acquires point and line attribute values (point color, point shape, point size, line color, line type, line thickness, etc.). Go to step S504.
  • Step S510 The output instruction storage unit 1208 determines whether or not the instruction received in step S501 is a storage instruction. If it is an accumulation instruction, the process proceeds to step S511, and if it is not an accumulation instruction, the process returns to step S501.
  • the output instruction storage unit 1208 acquires information on the output instruction of the output chart.
  • the information of the output instruction of the output chart includes the device identifier or Z and recipe identifier, and the attribute value of the point and line of the chart (point and line color, point and line type, dot and line thickness, etc. ) Etc.
  • Step S512 The output instruction accumulation unit 1208 accumulates the output instruction information acquired in Step S512 in a predetermined storage medium. Return to step S501.
  • Step S513 The measurement information acquisition unit 1203 receives the original information reception unit 1202 in Step S507. Performs a predetermined operation on the multiple pieces of original information received by the to obtain one or more measurement information
  • Step S514 The measurement information accumulation unit 1204 accumulates one or more pieces of measurement information acquired in step S513 in the measurement information storage unit 1201. Return to step S501.
  • the original information and the measurement information may be the same information.
  • the process of reading the original information is performed in step S513.
  • the user inputs a chart attribute value such as a line type or a line color of the chart
  • the server apparatus accepts the input, and selects a chart according to the input. It may be output.
  • the abnormality detection process in the server device 12 is omitted.
  • the above-described abnormality detection function can be performed by a known technique.
  • the instruction input receiving unit 1301 of the client device 13 receives the output instruction of the chart for the user power
  • the instruction sending unit 1322 sends the output instruction to the server device 12 and is the processing result in the server device 12.
  • Chart information is received by the chart receiving unit 1303, and the chart display unit 1304 displays a chart.
  • Figure 1 shows a conceptual diagram of the group management system.
  • An example of the original information is shown in FIG.
  • the original information includes temperature, time information, recipe identifier, and device identifier.
  • the time information is information indicating the time, and may be information specifying hours, minutes and seconds, date and time, and time.
  • the information may be good.
  • the recipe identifier is information for identifying the recipe, and is the ID of the recipe that was being executed when the temperature was measured.
  • the device identifier is information for identifying the manufacturing device 11 whose temperature has been measured. Further, in this specific example, it is assumed that the original information is measured and acquired by each manufacturing apparatus 11 every second.
  • the original information receiving unit 1202 of the server device 12 receives and accumulates the original information from the plurality of manufacturing apparatuses 11 one after another.
  • the server device 12 first stores the original information as it is.
  • the plurality of accumulated original information is shown in the original information management table of FIG.
  • the original information management table has a plurality of pieces of original information having measurement results of the measurement unit 1103 when a plurality of recipes of a plurality of manufacturing apparatuses 11 are executed.
  • the measurement information acquisition unit 1203 of the server device 12 performs a predetermined calculation on the values of each record in the original information management table in FIG. 7 to obtain a representative value.
  • the predetermined calculation is, for example, a process for obtaining the maximum temperature among the temperatures measured in the execution time of the three steps constituting the recipe.
  • the time information corresponding to the representative value is the first time information of the execution time of 3 steps.
  • the measurement information acquisition unit 1203 obtains the information (measurement information management table) of FIG. 8 and temporarily stores it on the memory.
  • a determination unit detects an abnormal value from the information in FIG. 8 and informs the user.
  • the anomaly may be presented to the user as a chart, a buzzer, or a list of abnormalities. Since the method for detecting an abnormal value is a known technique as described above, the description thereof is omitted.
  • the user inputs an instruction to output a chart having the device identifier “device A” from the client device 13 in order to analyze the abnormality after detecting the abnormality.
  • the instruction input unit 1 301 receives the output instruction.
  • the instruction sending unit 1302 sends a chart output instruction having the device identifier “device A” to the server device 12.
  • the instruction receiving unit 1205 of the server device 12 receives an instruction to output a chart having the device identifier “device A”.
  • the chart construction unit 1206 searches the measurement information management table of FIG. 8 using “device A” as a key. Then, the chart configuration unit 1206 obtains the chart information of FIG. Chart information is information that constitutes a chart.
  • the chart information in Fig. 9 filters records with the device identifier "Device A" from the measurement information management table in Fig. 8. It is the ringed information.
  • the chart configuration unit 1206 reads the information in FIG. 9 and configures the chart.
  • This chart is a line graph in which the horizontal axis indicates the time indicated by the time information and the vertical axis indicates the value.
  • the output unit 1207 transmits the line graph configured by the chart configuration unit 1206 to the client device 13.
  • the chart receiving unit 1303 of the client device 13 receives the line graph
  • the chart display unit 1304 displays the line graph on the display as shown in FIG.
  • the user can know the manufacturing state of the manufacturing apparatus by paying attention only to the value measured by the desired manufacturing apparatus, and analyze the abnormality of the manufacturing apparatus. Very effective.
  • the user inputs an instruction to output a chart having the recipe identifier “recipe cake” from the client device 13. Then, the instruction input unit 1301 receives the output instruction. Then, the instruction sending unit 1302 sends the output instruction of the chart having the recipe identifier “recipe bowl” to the server device 12.
  • the instruction receiving unit 1205 of the server apparatus 12 receives an instruction to output a chart having the recipe identifier “recipe cake”.
  • the chart configuration unit 1206 searches the measurement information management table of FIG. 8 using “recipe cake” as a key. Then, the chart configuration unit 1206 obtains the chart information of FIG. Chart information is information that constitutes a chart.
  • the chart information shown in FIG. 11 is a blueprint obtained by filtering the record having the recipe identifier “recipe ⁇ ” in the measurement information management table shown in FIG.
  • the chart configuration unit 1206 reads the information in FIG. 11 and configures the chart.
  • This chart is a line graph in which the horizontal axis indicates the time indicated by the time information and the vertical axis indicates the value.
  • the output unit 1207 transmits the line graph configured by the chart configuration unit 1206 to the client device 13.
  • the chart receiving unit 1303 of the client device 13 receives the line graph
  • the chart display unit 1304 displays the line graph on the display as shown in FIG.
  • the user can know the quality of the recipe by looking only at the value measured when the desired recipe is executed, and is extremely effective in detecting recipe problems.
  • the user can set chart attribute information such as line color and line type.
  • the chart configuration unit 1206 configures a chart according to the chart setting information.
  • the output instruction accumulation unit 1208 displays the device identifier or Z and recipe identifier specified by the user, and chart attributes such as line color. An output instruction having information is taken out and stored. Thereafter, the user can call the output instruction by designating the accumulated output instruction and output a chart according to the output instruction.
  • measurement information for each apparatus or for each recipe can be extracted and displayed for abnormality analysis after abnormality detection.
  • abnormality analysis can be easily performed with high accuracy.
  • output instructions for chart output for useful abnormality analysis can be accumulated and reused.
  • effective anomaly analysis methods accumulated at the site can be reused over time and can be reused at other sites.
  • the output chart is one of one or more device identifiers included in the output instruction for abnormality analysis after the abnormality detection, or
  • a plurality of measurement information having one of Z and one or more recipe identifiers can be read from the measurement information storage unit 1201, and the measurement information for each device identifier or each Z and recipe identifier can be visually distinguished from the read measurement information.
  • It may be an SPC chart that is a chart of an aspect, and is a chart in which a plurality of read measurement information is plotted in the order of time indicated by time information included in one type of measurement information. Note that the SPC chart shown in FIG. 13 is, for example, an SPC chart configured with the measurement information power of one device identifier.
  • the management value (upper limit) and the management value (lower limit) are output. If the value is outside this control value, it indicates an abnormality.
  • the management value (upper limit) and the management value (lower limit) are held in advance by the chart constituting unit 1206 or means not shown.
  • the chart output is shown in FIG.
  • a plurality of pieces of measurement information having one of one or more device identifiers included in an output instruction for abnormality analysis or Z and one or more recipe identifiers is read from the measurement information storage unit 1201
  • This is a chart in which the measurement information for each device identifier or Z and recipe identifier can be visually distinguished from the read measurement information, and shows the correlation between two types of measurement information (for example, temperature and pressure)
  • the correlation chart shown in FIG. 14 is, for example, a correlation chart composed of two types of measurement information power of one device identifier.
  • two management values are output. An out-of-range value between the two control values indicates an abnormality.
  • the output chart is one of one or more device identifiers included in an output instruction for abnormality analysis after abnormality detection, or
  • a plurality of measurement information having one of Z and one or more recipe identifiers can be read from the measurement information storage unit 1201, and the measurement information for each device identifier or each Z and recipe identifier can be visually distinguished from the read measurement information.
  • the MD chart shown in FIG. 15 is an MD chart in which, for example, the measurement information power of one device identifier is also configured. Further, the MD chart shown in FIG.
  • the MD chart shown in FIG. 15 is a chart in which abnormality is determined using, for example, the Mahalanobis distance. More specifically, the MD chart shown in FIG. 15 is a chart that models normal data and numerically indicates the degree of abnormality using Mahalanobis distance. In the MD chart shown in Fig. 15t, two management values are output. If the value is out of the range of these two control values, it indicates an abnormality.
  • the output chart is a chart in which measurement information of one device identifier or one recipe is displayed, and has one type of measurement information. It was a line graph in which a plurality of read out measurement information was connected in the order of time indicated by the time information.
  • the output chart reads a plurality of measurement information having three device identifiers included in the output instruction from the measurement information storage unit 1201, and performs measurement for each device identifier from the read measurement information. Information can be visually distinguished It is a chart of an aspect, and may be three charts in which a plurality of read measurement information is plotted in order of time indicated by time information included in one type of measurement information.
  • the output instruction includes, for example, three device identifiers of “device A”, “device B”, and “device C”.
  • the chart configuration unit 1206 searches the measurement information storage unit 1201 three times using “device A”, “device B”, and “device C” as keys, and obtains measurement information three times.
  • separate charts of attribute values of different points and lines are obtained to obtain three charts. Three charts are output.
  • the display form of three or more charts (SPC chart, correlation chart, MD chart, etc.) can be freely selected. Abnormality analysis becomes possible.
  • the server apparatus 12 may hold the original information and the measurement information in advance.
  • the original information or the measurement information is acquired from the manufacturing apparatus 11 by means not shown and passed to the server apparatus 12 via a recording medium or the like.
  • the chart is output by specifying the apparatus identifier or the recipe identifier.
  • the chart may be output by specifying one or more apparatus identifiers and one or more recipe identifiers. good.
  • the chart configuration unit 1206 measures each of the specified one or more device identifiers and one or more recipe identifiers as keys. Search for information (or source information) and compose a chart.
  • the user inputs an instruction to enlarge a part of the chart of interest, and changes the scale of a part of the chart (by changing the time interval of measurement information or the step interval). It is preferable to output the chart.
  • the original information and the measurement information may have the same configuration.
  • the measurement information acquisition unit and the measurement information storage unit are not necessary.
  • the present embodiment it is not essential to transmit and receive original information between the manufacturing apparatus and the server apparatus.
  • the original information may be given from the manufacturing apparatus to the server apparatus via a recording medium, for example.
  • the group management system does not have the client device 13. Also good.
  • the user inputs an instruction such as an output instruction to the server device 12.
  • the processing in the present embodiment may be realized by software.
  • This software may be distributed by software download or the like.
  • this software may be recorded and distributed on a recording medium such as a CD-ROM.
  • the software that realizes the server device in the present embodiment is the following program. That is, this program is time-series information about information measured by a plurality of manufacturing apparatuses that perform a predetermined process on a substrate to be processed, and includes a device identifier that identifies the manufacturing apparatus and a time that indicates the time.
  • An instruction receiving step for receiving a chart output instruction including one or more device identifiers when an abnormality analysis is performed after an abnormality is detected, and a plurality of pieces of measurement information, which is information having information, are received.
  • step When an output instruction is received in step, a plurality of pieces of measurement information having one of one or more device identifiers included in the output instruction is read, and the measurement information for each device identifier is visually determined from the read measurement information.
  • a chart composing step that constitutes a chart having a mode that can be distinguished from each other, and an output that outputs the chart composed of the chart composing step Step a program, the order is executed.
  • the program for realizing the server device is a time-series information about information measured by a plurality of manufacturing apparatuses that perform a predetermined process on a substrate to be processed in a computer.
  • An instruction receiving step for receiving an instruction to output a chart including one or more recipe identifiers when a plurality of pieces of measurement information, which includes time information indicating an identifier and time, are stored and an abnormality analysis is performed after an abnormality is detected.
  • a plurality of measurement information having any of the recipe identifiers included in the output instruction is read, and the measurement information for each recipe identifier is read from the read measurement information.
  • Chart configuration step for forming a visually distinguishable aspect chart, and a chart configured by the chart configuration step Program to be executed by the out Kasutetsu flop for output, it is.
  • the program includes, in a computer, an original information reception step of receiving original information, which is information based on the plurality of measurement information, from the plurality of manufacturing apparatuses; A predetermined calculation is performed on the plurality of original information received in the reception step !, a measurement information acquisition step for acquiring a plurality of measurement information, and a measurement for storing the plurality of measurement information acquired in the measurement information acquisition step A program for further executing the information accumulation step.
  • the output instruction also includes attribute information of points or Z and lines constituting the chart, and the computer transmits the attribute information of the points or Z and lines and the device identifier, or the points or Z.
  • an output instruction accumulating step for accumulating an output instruction having the line attribute information and the recipe identifier, and in the instruction accepting step, a chart corresponding to the output instruction accumulated by the output instruction accumulating unit.
  • An accumulated output instruction that is an output instruction is also received, and in the chart configuration step, when an accumulated output instruction is accepted in the instruction accepting step, the chart output instruction corresponding to the accumulated output instruction is read, and according to the output instruction, A chart configured and the chart configured in the chart configuration step in the output step Output, it is preferred.
  • a correlation chart that is a chart in a mode in which measurement information for each device identifier can be visually distinguished from the read measurement information, and is a chart showing a correlation between two types of measurement information.
  • an MD chart which is a chart in a mode in which measurement information for each identifier can be visually distinguished and shows a correlation between three or more types of measurement information.
  • a correlation chart that is a chart in a manner in which measurement information for each recipe identifier can be visually distinguished from the read measurement information, and is a chart showing a correlation between two types of measurement information.
  • a plurality of pieces of measurement information having any one of one or more recipe identifiers included in the output instruction Is a chart in a mode in which measurement information for each recipe identifier can be visually distinguished from the read measurement information, and constitutes an MD chart that is a chart showing the correlation of three or more types of measurement information. Is preferred.
  • each processing may be realized by centralized processing by a single device (system), or may be distributed by a plurality of devices. It will be realized by.
  • the transmission step for transmitting information and the reception step for receiving information are performed by hardware, for example, a modem or an interface card in the transmission step. Does not include processing (processing that can only be done with software)! /.
  • the computer that executes the program may be a single computer or a plurality of computers. That is, centralized processing or distributed processing may be performed. Further, in each of the above embodiments, it goes without saying that two or more communication means (such as an instruction receiving unit) existing in one device may be physically realized by one medium.
  • the group management system can extract and display time-series information for each manufacturing apparatus or recipe when performing abnormality analysis after detecting abnormality.
  • an abnormality analysis can be performed very effectively.
  • two or more manufacturing apparatuses that perform a predetermined process on a substrate to be processed and a server apparatus connected to the two or more manufacturing apparatuses are provided. This is useful as a group management system.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of the same semiconductor wafer manufacturing apparatus
  • FIG. 4 is a flowchart for explaining the operation of the manufacturing apparatus.
  • FIG. 5 is a flowchart illustrating the operation of the server device.
  • FIG. 10 is a diagram showing an example of chart output on the client device
  • FIG. 12 is a diagram showing an example of chart output on the client device
  • FIG. 13 is a diagram showing an example of chart output on the client device
  • FIG. 14 is a diagram showing an example of chart output on the client device ⁇ 15] Diagram showing an example of chart output on the client device ⁇ 16] Diagram showing an example of chart output on the client device

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Description

明 細 書
サーバ装置、およびプログラム
技術分野
[0001] 本発明は、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスを行う 2以上の製造装置と 、当該 2以上の製造装置と接続されるサーバ装置を具備する群管理システム、サー バ装置等に関するものである。
背景技術
[0002] 従来の群管理システムにおいて、測定器力も送られてくるデータを自動的に、かつ 正確に加工できる半導体製造装置の群管理システムにおける測定データ加工方法 を実現していた (例えば、特許文献 1参照)。本測定データ加工方法において、群管 理システムの群管理部の測定器通信部に、測定器が送信してくる種々の測定データ を受信する。本測定データ加工方法は、前記測定データを加工する計算式を予め 登録しておき、前記測定データを受信したとき、前記測定データを測定データ受信 バッファに格納するとともに、前記測定データが有するレシピ名称に基づいて、前記 登録された計算式の中力 前記測定データを加工するのに適する少なくとも一つの 同じレシピ名称をもつ計算式を選択して計算式格納バッファに格納し、格納された前 記測定データを前記選択された計算式に適用して計算し、計算結果を加工済みデ ータ格納バッファに記憶するものである。
[0003] また、従来の半導体製造装置の群管理システムでは、半導体製造装置で測定され た時系列の情報 (以下チャートと記載)を表示する機能を有していた。このチャートに は、群管理システムが管理する複数の半導体製造装置の情報が表示されていた。そ して、従来の群管理システムでは、チャートを用いて、異常検知を行い、その後異常 分類を行う FDC (fault detection and classification)という機能を有していた。
[0004] つまり、従来の群管理システムでは、ユーザが設定した検査対象群 (期間、装置群 、レシピ群および、またはパラメータ群）において異常検知した後、当該検査対象群 の全検査データを取り込み、ユーザが異常分析を行っていた。また、異常が発生した 場合の異常分析の手法として、 SPC (単変量異常検知)チャート、相関 (2変量異常 検知）チャート、および MD (多変量異常検知）チャートによる分析手法が存在して!/ヽ た。
特許文献 1 :特開平 11 354395号公報 (第 1頁、第 1図等）
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] し力しながら、従来の群管理システムにおいては、異常検知した後の異常分析にお いて、当該検査対象群の全検査データを表示するものであったので、どの製造装置 力 Sどのような経過で異常となった力、または、どのレシピが異常に関与しているのか等 を、直ちに分析して知ることはできな力つた。特に、サーバ装置に数十力も数百台の 製造装置が接続された場合、上記の異常分析は非常に困難であった。
課題を解決するための手段
[0006] 本発明のサーバ装置は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装 置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後 に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、前 記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装 置を識別する装置識別子またはレシピを識別するレシピ識別子と、時刻を示す時刻 情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、一以上の 装置識別子または一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指 示受付部と、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む 一以上の装置識別子または一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数 の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、 装置識別子ごと、またはレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様の チャートを構成するチャート構成部と、前記チャート構成部が構成したチャートを出力 する出力部を具備するサーバ装置である。
発明を実施するための最良の形態
[0007] 以下、群管理システム等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実 施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明 を省略する場合がある。
(実施の形態）
[0008] 図 1は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは 、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシステム である。また、群管理システムは、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する。さ らに、群管理システムは、 1以上の製造装置 11 (製造装置 11 (1)から製造装置 11 (n ) )、サーバ装置 12、およびクライアント装置 13を有する。
[0009] 製造装置 11は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う装置である。さらに具体 的には、製造装置 11は、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置であ る。製造装置 11は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基 板に対する各種処理を行う。製造装置 11は、例えば、複合プロセス型の半導体ゥェ ハ製造装置である。本半導体ウェハ製造装置の例を図 2に示す。図 2に示すように、 本半導体ウェハ製造装置は、半導体ウェハに対して各種の処理、例えば、成膜処理 やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数 (例えば、 3つ）のプロセスチャンバ 1、 2、 3と、多数枚（例えば、 50枚）のウェハ Wを収納できるカセット Cl、 C2を収容する カセットチャンバ 4、 5と、プロセスチャンバ 1、 2、 3とカセットチャンバ 4、 5との間でゥェ ハ Wの受け渡しを行う搬送チャンバ 6とを備えて構成される。各チャンバ間は、ゲート バルブ Gを介して開閉自在に連結されている。搬送チャンバ 6内には、屈伸動作及 び回転動作が可能な例えば多関節式の搬送アーム 7が設けられており、この搬送ァ ーム 7によりチャンバ間でのウェハ Wの搬送が行われる。カセット Cl、 C2は、カセット チャンバ 4、 5内に取り込まれる際に 90度反転されると共に、そのカセット Cl、 C2のゥ ェハ揷脱口が搬送チャンバ 6内の中心を向くように回転され、搬送アーム 7によるゥェ ハ Wの出し入れが可能な姿勢に設置される。
[0010] また、製造装置 11は、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスに関する情報 であるレシピ (通常、プロセス条件値の集合)を格納しており、当該レシピを用いて制 御する。
[0011] また、サーバ装置 12は、いわゆる群管理システムを構成するサーバ装置であり、複 数の製造装置 11における各種の測定情報を格納しており、当該測定情報に対して、 異常分析を行う機能を有する。また、サーバ装置 12は、通常、異常検知の機能を有 する。そして、サーバ装置 12において、通常、異常検知をした後、ユーザに、異常分 祈の機能を提供する。なお、異常検知の機能は、予め正常な範囲の閾値 (例えば、 上限閾値および下限閾値)または異常な範囲の閾値を記録媒体 (例えば、閾値格納 部）に格納しており、当該閾値を用いて、測定情報が正常か異常かを判断する判断 部を具備し、当該判断部の判断により異常を検知する。なお、かかる一般的な異常 検知の機能は公知技術であるので詳細な説明を省略する。
[0012] また、クライアント装置 13は、サーバ装置 12に対して各種の要求を出し、サーバ装 置 12における処理結果を受け付ける。
[0013] 図 3は、本実施の形態における群管理システムのブロック図である。
[0014] 群管理システムは、 1以上の製造装置 11、サーバ装置 12、クライアント装置 13を具 備する。
[0015] 製造装置 11は、レシピ格納部 1101、処理部 1102、測定部 1103、元情報蓄積部 1104、元情報送信部 1105を具備する。
[0016] サーバ装置 12は、測定情報格納部 1201、元情報受信部 1202、測定情報取得部 1203、測定情報蓄積部 1204、指示受付部 1205、チャート構成部 1206、出力部 1 207、出力指示蓄積部 1208を具備する。
[0017] クライアント装置 13は、指示入力部 1301、指示送付部 1302、チャート受付部 130 3、チャート表示部 1304を具備する。
[0018] レシピ格納部 1101は、製造装置 11を制御するために使用されるレシピを格納して いる。レシピとは、被処理基板に対する所定のプロセスに関する情報であり、通常、 プロセスパラメータの情報の集合を含む。プロセスパラメータの情報は、例えば、カテ ゴリ一名、アイテム名、パラメータ名、値を含む。カテゴリ一名とは、プロセスパラメータ の種類を示す名称であり、例えば、「温度」「ガス流量」「ボートエレベーターのスピー ド」などである。アイテム名は、プロセスパラメータの属性を示す名称であり、例えば、 「上下速度」「回転速度」などである。パラメータ名は、プロセスパラメータの名称であり 、例えば、「C」「A」などである。値は、プロセスパラメータという変数に与える値である 。通常、レシピは、レシピを識別するレシピ識別子 (例えば、レシピ名）と対に格納され ている。レシピ格納部 1101は、不揮発性の記録媒体が好適である力 揮発性の記 録媒体でも実現可能である。
[0019] 処理部 1102は、レシピ格納部 1101のレシピを読み出し、当該レシピにしたがって 、被処理基板に対する所定のプロセスを行う。処理部 1102は、通常、 MPUやメモリ 等から実現され得る。処理部 1102の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当 該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回 路)で実現しても良い。
[0020] 測定部 1103は、製造装置 11内の温度や、ガス流量や、圧力などの一種以上の値 を測定し、チャート化される測定情報の元になる情報である元情報を取得する。元情 報は、測定した温度などの情報である。元情報は、通常、測定した時刻を示す時刻 情報を有する。元情報は、測定部 1103が温度等の値を測定していた際に処理して いたレシピを識別するレシピ識別子と、測定した一種以上の値と、測定した時刻を示 す時刻情報を有することはさらに好適である。測定部 1103は、複数の箇所の複数の 温度や、温度とガス流量などの複数の値を測定しても良いことは言うまでもない。測 定部 1103は、 1以上の温度センサや 1以上の流量センサなどのセンサ等で実現され 得る。
[0021] 元情報蓄積部 1104は、測定部 1103が取得した元情報を、図示しな 、記録媒体 に蓄積する。元情報蓄積部 1104は、通常、 MPUやメモリ等から実現され得る。元情 報蓄積部 1104の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアは RO M等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウ ア（専用回路)で実現しても良い 。また、記録媒体は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも 実現可能である。
[0022] 元情報送信部 1105は、元情報蓄積部 1104が蓄積した元情報を、サーバ装置 12 に送信する。元情報の送信のトリガーは問わない。また、元情報送信部 1105が送信 する元情報は、測定された値、時刻情報、および製造装置 11を識別する製造装置 識別子を有することが好適である。さら〖こ、元情報送信部 1105が送信する元情報は 、測定された値、時刻情報、および製造装置 11を識別する製造装置識別子、レシピ 識別子を有することが好適である。つまり、元情報蓄積部 1104が蓄積した元情報と、 元情報送信部 1105が送信する元情報は、その構造や構成が異なっていても良い。 また、元情報は、複数の測定された値に対して、一つの製造装置識別子または Zお よび一つのレシピ識別子を有する構成でも良い。さらに、元情報送信部 1105は、測 定された値と時刻情報の組と、製造装置識別子、レシピ識別子などの属性値を異な るタイミングで送信しても良い。元情報送信部 1105は、無線または有線の通信手段 等で実現され得る。
[0023] 測定情報格納部 1201は、複数の測定情報を格納し得る。複数の測定情報は、複 数の製造装置 11で測定された情報についての時系列の情報であり、製造装置 11を 識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である。また、さらに、複数 の測定情報は、複数の製造装置 11で測定された情報についての時系列の情報であ り、製造装置 11を識別する装置識別子とレシピを識別するレシピ識別子と時刻を示 す時刻情報を有する情報であっても良い。測定情報格納部 1201は、不揮発性の記 録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。なお、測定情報格 納部 1201の測定情報は、測定情報蓄積部 1204が蓄積した情報でも良いし、製造 装置 11力 直接に受信した情報でも良いし、図示しない記録媒体力 読み出した情 報でも良い。
[0024] 元情報受信部 1202は、複数の測定情報の元になる情報である元情報を複数の製 造装置 11から受信する。元情報受信部 1202は、無線または有線の通信手段等で 実現され得る。
[0025] 測定情報取得部 1203は、元情報受信部 1202が受信した複数の元情報に対して 所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する。所定の演算とは、例えば、所定の 時間間隔ごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を 取得したり、最小値を取得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演 算である。また、所定の演算とは、例えば、レシピ内の所定のステップごとに、複数の 元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を取得したり、最小値を取 得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演算でも良い。測定情報 取得部 1203は、例えば、予め保持している所定の演算式を読み出し、当該演算式 に複数の元情報を代入し、複数の測定情報を取得する。測定情報取得部 1203は、 通常、 MPUやメモリ等から実現され得る。測定情報取得部 1203の処理手順は、通 常、ソフトゥ アで実現され、当該ソフトゥ アは ROM等の記録媒体に記録されてい る。但し、ハードウェア（専用回路)で実現しても良い。
[0026] 測定情報蓄積部 1204は、測定情報取得部 1203が取得した複数の測定情報を測 定情報格納部 1201に蓄積する。なお、測定情報蓄積部 1204は、測定情報取得部 1203が取得した複数の測定情報のうち、図示しない判断部が異常であると判断した 測定情報およびその測定情報と一定の関係がある測定情報 (異常な測定情報と同 一製造装置の測定情報、同一レシピの測定情報)のみを、測定情報格納部 1201に 蓄積することは好適である。測定情報蓄積部 1204は、通常、 MPUやメモリ等から実 現され得る。測定情報蓄積部 1204の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当 該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回 路)で実現しても良い。
[0027] 指示受付部 1205は、指示を受け付ける。この指示は、通常、クライアント装置 13か ら受信する力 サーバ装置 12に接続されているキーボードやマウス等力も受け付け ても良い。指示受付部 1205が受け付ける指示は、例えば、一以上の装置識別子を 含むチャートの出力指示や、一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示や、 出力指示蓄積部 1208が蓄積した出力指示に対応したチャートの出力指示などであ る。出力指示は、異常検知した後に異常分析を行うための出力指示である。また、出 力指示は、チャートの種類（SPCチャート、相関チャート、または MDチャートなど）の 情報を含んでも良い。また、出力指示は、チャート出力する対象のデータのタイプ（ 温度や、ガス流量や、圧力などの測定情報)を含んでも良い。また、出力指示は、チ ヤートを構成する点または Zおよび線の属性情報を含んでも良い。属性情報とは、点 の色、点の種類 (形状)、線の色、線種などである。さらに、出力指示がレシピ識別子 を含む場合、通常、当該レシピ識別子は、複数の装置の同一の識別子を有する複数 のレシピを示すものである。指示受付部 1205は、例えば、無線または有線の受信手 段力もなる。指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によ るもの等、何でも良い。指示受付部 1205は、テンキーやキーボード等の入力手段の デバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。 チャート構成部 1206は、指示受付部 1205が出力指示を受け付けた場合、当該出 力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を測 定情報格納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごと の測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成する。また、チャート構成部 1206は、指示受付部 1205が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一 以上のレシピ識別子のうちのいずれ力を有する複数の測定情報を測定情報格納部 1 201から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が 視覚的に区別できる態様のチャートを構成する。ここで、装置識別子ごとの測定情報 が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が 2以上の装置識別子を含む 場合、装置識別子ごとの測定情報が異なる点の種類 (四角と丸の形状、色、大きさ） で出力されているチャートや、装置識別子ごとの測定情報が異なる線の色で連結さ れているチャートなどである。また、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別でき る態様のチャートとは、出力指示が一つの装置識別子のみを含む場合、当該一の装 置識別子の複数の測定情報力もなるチャートをいう。また、レシピ識別子ごとの測定 情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が 2以上のレシピ識別子 を含む場合、レシピ識別子ごとの測定情報が異なる点の種類（四角と丸の形状、色、 大きさ)や、レシピ識別子ごとの測定情報が異なる線の種類 (実線と破線など)で連結 されているチャートなどである。また、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別 できる態様のチャートとは、出力指示が一つのレシピ識別子のみを含む場合、当該 一のレシピ識別子の複数の測定情報力 なるチャートをいう。また、チャート構成部 1 206は、指示受付部 1205が受け付けた指示に従って、蓄積した出力指示に対応し たチャートの出力指示を読み出し、当該出力指示に従って、チャートを構成する。ま た、チャート構成部 1206は、指示受付部 1205が出力指示を受け付けた場合、当該 出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を 測定情報格納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ご との測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有 する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチ ヤートである SPCチャート（単変量異常検知チャート）を構成しても良い。 SPCチヤ一 トは、単変量を監視して異常検知を行うためのチャートである。 SPCチャートにおいて 、監視対象の上下限値 (管理値)を設定 (チャート構成部 1206が予め保持)しておき 、管理値外の値となった場合、異常を検知し、検知した異常を視覚的に示すことは好 適である。また、チャート構成部 1206は、指示受付部 1205が出力指示を受け付け た場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれ力を有する複数 の測定情報を測定情報格納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報から、 装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の 測定情報の相関を示すチャートである相関チャート（2変量異常検知チャート)を構成 しても良い。相関チャートは、 2変量の相関関係を監視するチャートである。チャート 構成部 1206は、指示受付部 1205が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が 含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格 納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情 報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示 すチャートである MDチャート（多変量異常検知チャート）を構成しても良い。 MDチヤ ートは、多変量を監視して異常検知を行うためのチャートであり、複数の SPCチャート をまとめて扱うチャートである。そして、例えば、チャート構成部 1206は、マハラノビス の距離を用いて異常判定し、異常であるか正常であるかを視覚的に示す MDチヤ一 トを出力することは好適である。また、チャート構成部 1206は、指示受付部 1205が 出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちの いずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部 1201から読み出し、当該読 み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様の チャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出し た複数の測定情報をプロットしたチャートである SPCチャートを構成しても良 、。また 、チャート構成部 1206は、指示受付部 1201が出力指示を受け付けた場合、当該出 力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を 測定情報格納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子 ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の 相関を示すチャートである相関チャートを構成しても良い。また、チャート構成部 120 6は、指示受付部 1205が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上 のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部 1201 から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚 的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチヤ一 トである MDチャートを構成しても良い。チャートの構成は、例えば、時間軸にしたが つて、複数の測定情報を線で連結し、チャートを得る処理である。値と時刻情報を有 する測定情報が複数与えられた場合に、チャートを構成する処理は公知技術である ので、詳細な説明は省略する。また、値と時刻情報を有する測定情報が複数与えら れた場合に、 SPCチャートや、相関チャートや、 MDチャートを構成する処理は公知 技術であるので、詳細な説明は省略する。また、二種類の測定情報とは、一の測定 情報の中に、二種類の測定された値 (例えば、温度とガス流量)を含む情報も含む。 また、三種類以上の測定情報とは、一の測定情報の中に、三種類以上の測定された 値 (例えば、温度とガス流量と圧力）を含む情報も含む。チャート構成部 1206は、通 常、 MPUやメモリ等力も実現され得る。チャート構成部 1206の処理手順は、通常、 ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。 但し、ハードウェア（専用回路)で実現しても良い。
[0029] 出力部 1207は、チャート構成部 1206が構成したチャートを出力する。ここで、出 力とは、通常、クライアント装置 13への送信である。ただし、出力部 1207は、サーバ 装置 12に接続されて!、るディスプレイにチャートを表示したり、プリンタへ印字したり、 外部の装置へ送信したりしても良い。出力部は 1207、無線または有線の通信手段 で実現され得る。ただし、出力部は 1207、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出 力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現しても良い。
[0030] 出力指示蓄積部 1208は、点または Zおよび線の属性情報と装置識別子、または 点または Zおよび線の属性情報とレシピ識別子を有するなどの指示である出力指示 を蓄積する。出力指示蓄積部 1208は、例えば、指示受付部 1205がチャートの設定 (色情報を含む)を蓄積する指示である蓄積指示を受け付けた場合に、点または Z および線の属性情報と装置識別子、または点または Zおよび線の属性情報とレシピ 識別子を有する出力指示を蓄積しても良い。また、出力指示蓄積部 1208は、通常、 MPUやメモリ等力も実現され得る。出力指示蓄積部 1208の処理手順は、通常、ソ フトウェアで実現され、当該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。伹 し、ハードウェア (専用回路)で実現しても良い。
[0031] 指示入力部 1301は、各種の指示を入力する。各種の指示とは、起動の指示や、チ ヤートの出力指示や、チャートの属性値 (線種や線の色や点の種類や点の色など）の 変更の指示などである。ここで、チャートの出力指示や、チャートの属性値 (線種や線 の色や点の種類や点の色など）の変更の指示などは、ユーザが異常の検知を知らさ れた後に、異常分析を行うために入力する指示である。指示の入力手段は、テンキ 一やキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示入力部 130 1は、テンキーやキーボード等の入力手段と、そのデバイスドライバーや、メニュー画 面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
[0032] 指示送付部 1302は、指示入力部 1301から入力された指示をサーバ装置 12に送 付する。ここでの送付とは、通常、通信手段を用いた送信である。指示送付部 1302 は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
[0033] チャート受付部 1303は、サーバ装置 12からチャートの情報を受け付ける。ここでの 受け付けとは、通常、通信手段を用いた受信である。チャート受付部 1303は、無線 または有線の通信手段等で実現され得る。
[0034] チャート表示部 1304は、チャート受付部 1303が受け付けたチャートの情報をディ スプレイに表示する。チャート表示部 1304は、ディスプレイを含むと考えても含まな いと考えても良い。チャート表示部 1304は、ディスプレイのドライバーソフトまたは、 ディスプレイのドライバーソフトとディスプレイ等で実現され得る。
[0035] 次に、群管理システムの動作について説明する。まず、製造装置 11の動作につい て図 4のフローチャートを用いて説明する。
[0036] (ステップ S401)処理部 1102は、レシピ格納部 1101のレシピを読み出す。
[0037] (ステップ S402)処理部 1102は、カウンタ iに 1を代入する。
[0038] (ステップ S403)処理部 1102は、ステップ S401で読み込んだレシピ中に、 i番目の 処理ステップが存在するか否かを判断する。 i番目の処理ステップが存在すればステ ップ S404に行き、 i番目の処理ステップが存在しなければステップ S409に行く。 [0039] (ステップ S404)処理部 1102は、 i番目のステップの処理を実行する。
[0040] (ステップ S405)測定部 1103は、予め決められた測定を行 、、元情報（ここでの元 情報は、通常、値のみ有する）を取得する。ここでの測定は、二種以上の値 (例えば、 温度とガス流量と圧力など)でも良 ヽ。
[0041] (ステップ S406)測定部 1103は、図示しな 、時計から時刻情報を取得し、測定し た情報 (一種以上の値)に時刻情報を付与して、元情報を構成する。また、測定部 11 03は、予め格納している製造装置識別子と、レシピ識別子を読み出し、ここで、元情 報に付加しても良い。このレシピ識別子は、処理が実行されているレシピの識別情報 である。
[0042] (ステップ S407)元情報蓄積部 1104は、ステップ S406で構成した元情報を、図示 しない記録媒体に蓄積する。
[0043] (ステップ S408)処理部 1102は、カウンタ iを 1、インクリメントし、ステップ S403に戻 る。
[0044] (ステップ S409)元情報送信部 1105は、元情報を送信するタイミングか否かを判 断する。元情報送信部 1105は、元情報を送信するタイミングであればステップ S410 に行き、元情報を送信するタイミングでなければ処理を終了する。なお、元情報を送 信しな力つた場合、通常、別途の手段 (例えば、可搬型の記録媒体経由など)で、元 情報をサーバ装置 12に読み込ませる。
[0045] (ステップ S410)元情報送信部 1105は、元情報蓄積部 1104が蓄積した元情報を
BJCみ出す。
[0046] (ステップ S411)元情報送信部 1105は、製造装置 11を識別する製造装置識別子 とレシピ識別子を読み出し、ステップ S410で読み出した元情報に対して付与し、送 信する元情報を構成する。なお、製造装置識別子は、予め製造装置 11が保持して いる、とする。製造装置識別子とレシピ識別子は、製造装置 11の不揮発性の記録媒 体に格納されて 、ることが好適である力 不揮発性の記録媒体に格納されて ヽても 良い。
[0047] (ステップ S412)元情報送信部 1105は、ステップ S411で構成した元情報をサー バ装置 12に送信する。なお、元情報送信部 1105は、サーバ装置 12と通信するため の情報 (例えば、サーバ装置 12の IPアドレス等）を保持している、とする。
[0048] なお、図 4のフローチャートにおいて、元情報にレシピ識別子と製造装置識別子を 付与し、送信した。しかし、一種以上の値と時刻情報の組と、レシピ識別子および製 造装置識別子を分けて、サーバ装置 12に送信しても良い。さらに、かかる場合、一 種以上の値と時刻情報の組からなる元情報を一つ取得するごとに、サーバ装置 12に 送信しても良い。そして、すべてのレシピのステップの処理が完了した後、レシピ識別 子および製造装置識別子をサーバ装置 12に送信しても良い。つまり、元情報の送信 のタイミング、元情報の部分 (値と時刻情報の組、製造装置識別子など）の各々の送 信のタイミングは問わない。
[0049] 次に、サーバ装置 12の動作について図 5のフローチャートを用いて説明する。
[0050] (ステップ S501)指示受付部 1205は、異常検知した後に異常分析を行うために、 指示を受け付けた力否かを判断する。指示を受け付ければステップ S502に行き、指 示を受け付けなければステップ S507に行く。
[0051] (ステップ S502)チャート構成部 1206は、ステップ S501で受け付けた指示がチヤ ートの出力指示であるか否かを判断する。チャートの出力指示であればステップ S50 3に行き、チャートの出力指示でなければステップ S508に行く。
[0052] (ステップ S503)チャート構成部 1206は、ステップ S501で受け付けた指示が有す る一以上の装置識別子、または Zおよび一以上のレシピ識別子を取得する。
[0053] (ステップ S504)チャート構成部 1206は、ステップ S503またはステップ S510で取 得した一以上の装置識別子、または Zおよび一以上のレシピ識別子をキーとして、 測定情報格納部 1201を検索し、 1以上の測定情報を取得する。なお、測定情報は、 少なくとも 1種以上の値 (温度やガス流量の値など）と時刻情報を有する。ここで、チヤ ート構成部 1206は、出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有す る測定情報、または Zおよび出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれ かを有する測定情報を取得する。
[0054] (ステップ S505)チャート構成部 1206は、ステップ S504で検索した測定情報から 、受け付けた出力指示に従ったチャートを構成する。なお、チャートの線の属性値は 、ステップ S510で取得した属性値や、指示された属性値や、デフォルトの属性値等 であり、チャート構成部 1206は、力かる属性値を用いて、チャートを構成する。構成 するチャートは、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャート、 または Zおよびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャート である。また、構成するチャートは、出力指示が有するチャートの種類の情報 (SPC チャート、相関チャート、 MDチャートなど）に従ったチャートである。
[0055] (ステップ S506)出力部 1207は、ステップ S506で構成したチャートを出力する。こ こで、出力とは、クライアント装置 13への送信である。ステップ S501に戻る。
[0056] (ステップ S507)元情報受信部 1202は、元情報を製造装置 11から受信した力否 かを判断する。元情報を受信すればステップ S514に行き、元情報を受信しなければ ステップ S501に戻る。
[0057] (ステップ S508)チャート構成部 1206は、ステップ S501で受け付けた指示が蓄積 したチャートの出力指示に従ったチャートの出力指示であるか否かを判断する。当該 チャートの出力指示であればステップ S509行き、当該チャートの出力指示なければ ステップ S510に行く。
[0058] (ステップ S509)チャート構成部 1206は、ステップ S501で受け付けた指示に従つ て、ステップ S512で蓄積した出力指示を読み出し、当該出力指示から装置識別子、 または Zおよびレシピ識別子や、チャートの点や線の属性値 (点の色、点の形状、点 の大きさ、線の色、線種、線の太さなど）を取得する。ステップ S504に行く。
[0059] (ステップ S510)出力指示蓄積部 1208は、ステップ S501で受け付けた指示が蓄 積指示であるか否かを判断する。蓄積指示であればステップ S511に行き、蓄積指 示でなければステップ S501に戻る。
[0060] (ステップ S511)出力指示蓄積部 1208は、出力したチャートの出力指示の情報を 取得する。出力したチャートの出力指示の情報とは、装置識別子、または Zおよびレ シピ識別子、およびチャートの点や線の属性値 (点や線の色、点や線の種類、点や 線の太さなど)などである。
[0061] (ステップ S512)出力指示蓄積部 1208は、ステップ S512で取得した出力指示の 情報を、所定の記憶媒体に蓄積する。ステップ S501に戻る。
[0062] (ステップ S513)測定情報取得部 1203は、ステップ S507で元情報受信部 1202 が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行 、、 1以上の測定情報を取得する
[0063] (ステップ S514)測定情報蓄積部 1204は、ステップ S513で取得した 1以上の測定 情報を測定情報格納部 1201に蓄積する。ステップ S501に戻る。
[0064] なお、図 5のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は 終了する。
[0065] また、図 5のフローチャートにおいて、元情報と測定情報は同じ情報でも良い。かか る場合、ステップ S513において、元情報を読み出す処理を行う。
[0066] また、図 5のフローチャートにおいて、ユーザがチャートの線種や線の色などのチヤ ートの属性値を入力し、本サーバ装置が当該入力を受け付け、当該入力に従ったチ ヤートを出力しても良い。
[0067] また、図 5のフローチャートにおいて、サーバ装置 12における異常検知の処理は省 略している。上述した異常検知の機能は、公知技術により可能である。
[0068] さらに、図 5のフローチャートにおいて、元情報を蓄積しておいて、チャート出力を 行う際に、複数の元情報に対して所定の演算を行い、 1以上の測定情報を取得し、 当該 1以上の測定情報を用いてチャートを構成し、出力しても良い。つまり、測定情 報を構成するタイミングは問わな 、。
[0069] 次に、クライアント装置 13の動作について説明する。クライアント装置 13の指示入 力受付部 1301がユーザ力もチャートの出力指示を受け付けた場合、指示送付部 13 02は、当該出力指示をサーバ装置 12に送付し、サーバ装置 12での処理結果であ るチャートの情報をチャート受付部 1303が受け付け、チャート表示部 1304がチヤ一 トを表示する。
[0070] 以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。
群管理システムの概念図は図 1である。
[0071] 本具体例において、複数の製造装置 11が測定した、例えば、製造装置内の温度 の情報である元情報を、次々とサーバ装置 12に送信する。元情報の例は、図 6であ る。元情報は、温度、時刻情報、レシピ識別子、装置識別子を有する。時刻情報は、 時刻を示す情報であり、時 ·分'秒までを特定する情報でも良いし、日時、および時だ けの情報でも良い。レシピ識別子は、レシピを識別する情報であり、当該温度が測定 された際に実行されていたレシピの IDである。装置識別子は、温度が測定された製 造装置 11を識別する情報である。また、本具体例において、元情報は、 1秒ごとに、 各製造装置 11で測定されて、取得される、とする。
[0072] そして、サーバ装置 12の元情報受信部 1202は、複数の製造装置 11から元情報を 次々受信し、蓄積する。ここで、サーバ装置 12は、まず、元情報をそのまま蓄積する 、とする。かかる蓄積された複数の元情報を、図 7の元情報管理表に示す。元情報管 理表は、複数の製造装置 11の複数のレシピを実行させた時の、測定部 1103の測定 結果を有する複数の元情報を有する。
[0073] 次に、ユーザは、クライアント装置 13から、異常を検知するための指示を入力する、 とする。この指示により、サーバ装置 12の測定情報取得部 1203は、図 7の元情報管 理表の各レコードの値に対して、所定の演算を行い、代表値を得る。ここで、所定の 演算とは、例えば、レシピを構成する 3ステップの実行時間で測定された温度の中で 最大の温度を取得する処理である、とする。そして、代表値に対応する時刻情報は、 3ステップの実行時間の最初の時刻情報とする。そして、測定情報取得部 1203は、 図 8の情報 (測定情報管理表)を得て、メモリ上に一時格納する。そして、図示しない 判断部は、図 8の情報から、異常値を検出し、ユーザに知らしめる。異常のユーザへ の提示は、チャートでも良いし、ブザー等でも良いし、異常の一覧表などでも良い。な お、異常値の検知方法は、上述したように公知技術であるので説明を省略する。
[0074] 次に、ユーザは、クライアント装置 13から、異常検知後に、異常分析をするために、 装置識別子「装置 A」を有するチャートの出力指示を入力する。そして、指示入力部 1 301は、当該出力指示を受け付ける。そして、指示送付部 1302は、サーバ装置 12 に装置識別子「装置 A」を有するチャートの出力指示を送信する。
[0075] 次に、サーバ装置 12の指示受付部 1205は、装置識別子「装置 A」を有するチヤ一 トの出力指示を受信する。次に、チャート構成部 1206は、図 8の測定情報管理表を 、「装置 A」をキーとして検索する。そして、チャート構成部 1206は、図 9のチャート情 報を得る。チャート情報とはチャートを構成する元になる情報である。図 9のチャート 情報は、図 8の測定情報管理表から装置識別子「装置 A」を有するレコードをフィルタ リングした情報である。
[0076] 次に、チャート構成部 1206は、図 9の情報を読み出し、チャートを構成する。本チ ヤートは、横軸が時刻情報の示す時刻、縦軸が値である折れ線グラフである。
[0077] 次に、出力部 1207は、チャート構成部 1206が構成した折れ線グラフをクライアント 装置 13に送信する。
[0078] 次に、クライアント装置 13のチャート受付部 1303は当該折れ線グラフを受信し、チ ヤート表示部 1304は、図 10に示すように折れ線グラフをディスプレイに表示する。
[0079] 以上の処理により、ユーザは、異常検知の後、所望の製造装置で測定された値の みに着目して、製造装置の製造の状態を知ることができ、製造装置の異常の分析に 極めて有効である。
[0080] 次に、例えば、ユーザは、クライアント装置 13から、レシピ識別子「レシピ丫」を有す るチャートの出力指示を入力する。そして、指示入力部 1301は、当該出力指示を受 け付ける。そして、指示送付部 1302は、サーバ装置 12にレシピ識別子「レシピ丫」を 有するチャートの出力指示を送信する。
[0081] 次に、サーバ装置 12の指示受付部 1205は、レシピ識別子「レシピ丫」を有するチヤ ートの出力指示を受信する。次に、チャート構成部 1206は、図 8の測定情報管理表 を、「レシピ丫」をキーとして検索する。そして、チャート構成部 1206は、図 11のチヤ ート情報を得る。チャート情報とはチャートを構成する元になる情報である。図 11の チャート情報は、図 8の測定情報管理表力もレシピ識別子「レシピ丫」を有するレコー ドをフィルタリングした '青報である。
[0082] 次に、チャート構成部 1206は、図 11の情報を読み出し、チャートを構成する。本チ ヤートは、横軸が時刻情報の示す時刻、縦軸が値である折れ線グラフである。
[0083] 次に、出力部 1207は、チャート構成部 1206が構成した折れ線グラフをクライアント 装置 13に送信する。
[0084] 次に、クライアント装置 13のチャート受付部 1303は当該折れ線グラフを受信し、チ ヤート表示部 1304は、図 12に示すように折れ線グラフをディスプレイに表示する。
[0085] 以上の処理により、ユーザは、所望のレシピを実行した際に測定された値のみに着 目して、レシピの良し悪しを知ることができ、レシピの課題の検出に極めて有効である [0086] また、図 10、図 13などのチャートを出力させる際に、ユーザは、線の色や線種など のチャートの属性情報を設定できる。そして、かかる場合、チャート構成部 1206は、 チャートの設定情報に従ったチャートを構成する。
[0087] また、クライアント装置 13のユーザが、出力指示の蓄積指示を入力した場合、出力 指示蓄積部 1208は、ユーザが指定した装置識別子または Zおよびレシピ識別子と 、線の色等のチャートの属性情報を有する出力指示を取り出し、蓄積する。そして、 以後、ユーザは、蓄積した出力指示を指定することにより、当該出力指示を呼び出し 、当該出力指示に従ったチャートを出力できる。
[0088] 以上、本実施の形態によれば、異常検知の後、異常分析のために、装置毎、また はレシピ毎の測定情報を取り出して表示させることができる。その結果、異常の分析 が精度高ぐ容易に行うことができる。
[0089] また、本実施の形態によれば、有用な異常分析のためのチャート出力のための出 力指示を蓄積して再利用できる。力かる機能により、現場で蓄積される有効な異常分 析方法が、時間が経過しても再利用でき、また、他の現場で再利用でき得る。
[0090] なお、本実施の形態において、出力されるチャートは、図 13に示すように、異常検 知の後、異常分析のための出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれか、また は Zおよび一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を測定情報 格納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは Z およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一 種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報 をプロットしたチャートである SPCチャートであっても良い。なお、図 13に示す SPCチ ヤートは、例えば、一つの装置識別子の測定情報力 構成されている SPCチャート である。また、図 13に示す SPCチャートにおいて、管理値 (上限）、および管理値（下 限)が出力されている。この管理値の外の値となった場合、異常であることを示してい る。管理値 (上限)、および管理値 (下限)は、チャート構成部 1206または図示しない 手段が予め保持している。
[0091] また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図 14に示すように、異常検 知の後、異常分析のための出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれか、また は Zおよび一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を前記測定 情報格納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとま たは Zおよびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートで あり、二種類の測定情報 (例えば、温度と圧力など)の相関を示すチャートである相関 チャートであっても良い。なお、図 14に示す相関チャートは、例えば、一つの装置識 別子の、二種類の測定情報力 構成されている相関チャートである。また、図 14に示 す相関チャートにおいて、 2つの管理値が出力されている。この 2つの管理値の範囲 外の値となった場合、異常であることを示している。
[0092] また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図 15に示すように、異常検 知の後、異常分析のための出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれか、また は Zおよび一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を測定情報 格納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは Z およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三 種類以上の測定情報 (例えば、 2箇所の温度とガス流量と圧力）の相関を示すチヤ一 トである MDチャートであっても良い。なお、図 15に示す MDチャートは、例えば、一 つの装置識別子の測定情報力も構成されている MDチャートである。また、図 15に 示す MDチャートは、例えば、マハラノビスの距離を用いて異常判定しているチャート である。さらに具体的には、図 15に示す MDチャートは、正常時のデータをモデルィ匕 し、マハラノビスの距離を用いて異常時の度合いを数値で示すチャートである。また、 図 15tに示す MDチャートにおいて、 2つの管理値が出力されている。この 2つの管 理値の範囲外の値となった場合、異常であることを示して 、る。
[0093] また、本実施の形態の具体例において、出力されたチャートは、一の装置識別子ま たは一のレシピの測定情報が表示されたチャートであり、一種類の測定情報が有す る時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報を連結した一の折れ線 グラフであった。しかし、出力されるチャートは、図 16に示すように、出力指示が含む 3つの装置識別子を有する複数の測定情報を測定情報格納部 1201から読み出し、 当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる 態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読 み出した複数の測定情報をプロットした 3つのチャートであっても良い。かかる場合、 出力指示は、例えば、「装置 A」「装置 B」「装置 C」の 3つの装置識別子を含む。そし て、チャート構成部 1206は、「装置 A」「装置 B」「装置 C」をそれぞれキーとして、 3度 測定情報格納部 1201を検索し、 3度、測定情報を取得し、それぞれのキーごとに、 異なる点や線の属性値のチャートを別個に構成し、 3つのチャートを得る。そして、 3 つのチャートが出力される。
[0094] 本実施の形態において、上記のように 3つ以上のチャート（SPCチャート、相関チヤ ート、 MDチャートなど）の表示形態を自由に選択できるので、全数検査の結果に応 じた、異常分析が可能となる。
[0095] また、本実施の形態の具体例において、元情報や測定情報は、予めサーバ装置 1 2が保持していても良い。かかる場合、元情報または測定情報は、図示しない手段に より製造装置 11から取得され、記録媒体等を経由してサーバ装置 12に渡される。
[0096] また、本実施の形態の具体例において、装置識別子またはレシピ識別子を指定し てチャートを出力したが、 1以上の装置識別子および 1以上のレシピ識別子を指定し てチャートを出力しても良い。ユーザが、 1以上の装置識別子および 1以上のレシピ 識別子を含む出力指定を入力した場合、チャート構成部 1206は、指定された 1以上 の各装置識別子および 1以上の各レシピ識別子をそれぞれキーとして測定情報 (ま たは元情報)を検索し、チャートを構成する。
[0097] また、本実施の形態において、ユーザは着目するチャートの一部を拡大する指示を 入力し、当該チャートの一部のスケールを変えて（測定情報の時間間隔やステップの 間隔を変えて)チャート出力することは好適である。
[0098] また、本実施の形態において、元情報と測定情報が同じ構成でも良い。かかる場合 、測定情報取得部や測定情報蓄積部は不要となる。
[0099] また、本実施の形態において、製造装置とサーバ装置間で元情報を送受信するこ とは必須ではない。元情報は、例えば、記録媒体を経由して、製造装置からサーバ 装置に与えられても良い。
[0100] また、本実施の形態において、群管理システムは、クライアント装置 13を有さなくて も良い。かかる場合、ユーザは、サーバ装置 12に対して、出力指示などの指示を入 力する。
[0101] さらに、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、この ソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェア を CD— ROMなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、本実施の形態にお けるサーバ装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、こ のプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の 製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別 する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し ており、異常検知した後に異常分析を行う場合に、一以上の装置識別子を含むチヤ ートの出力指示を受け付ける指示受付ステップと、前記指示受付ステップで出力指 示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれか を有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ご との測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成するチャート構成ステップ と、前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する出力ステップを実行させ るためのプログラム、である。
[0102] また、サーバ装置を実現するプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所 定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であ り、レシピを識別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情 報を、複数格納しており、異常検知した後に異常分析を行う場合に、一以上のレシピ 識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付ステップと、前記指示受付 ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含むレシピ識別子のうちの いずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、レシ ピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成するチャート 構成ステップと、前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する出カステツ プを実行させるためのプログラム、である。
[0103] また、上記プログラムは、コンピュータに、前記複数の測定情報の元になる情報で ある元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信ステップと、前記元情報 受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行!、、複数の測定情 報を取得する測定情報取得ステップと、前記測定情報取得ステップで取得した複数 の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ステップをさらに実行させるためのプログラム、 である。
[0104] また、上記プログラムにおいて、出力指示は、チャートを構成する点または Zおよび 線の属性情報も含み、コンピュータに、当該点または Zおよび線の属性情報と前記 装置識別子、または当該点または Zおよび線の属性情報と前記レシピ識別子を有す る出力指示を蓄積する出力指示蓄積ステップをさらに実行させ、前記指示受付ステ ップにおいて、前記出力指示蓄積部が蓄積した出力指示に対応したチャートの出力 指示である蓄積出力指示をも受け付け、前記チャート構成ステップにおいて、前記指 示受付ステップで蓄積出力指示を受け付けた場合、前記蓄積出力指示に対応する チャートの出力指示を読み出し、当該出力指示に従って、チャートを構成し、前記出 力ステップにおいて、前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する、こと は好適である。
[0105] また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップ で出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちの いずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置 識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定 情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロ ットしたチャートである SPCチャートを構成する、ことは好適である。
[0106] また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップ で出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちの いずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置 識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定 情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成する、ことは好適である。
[0107] また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップ で出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちの いずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置 識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の 測定情報の相関を示すチャートである MDチャートを構成する、ことは好適である。
[0108] また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップ で出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子を有す る複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの 測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する 時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチヤ一 トである SPCチャートを構成する、ことは好適である。
[0109] また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップ で出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうち のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、レ シピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の 測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成する、ことは好適である。
[0110] また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにお 、て、前記指示受付ステップ で出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうち のいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、レ シピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以 上の測定情報の相関を示すチャートである MDチャートを構成する、ことは好適であ る。
[0111] また、上記各実施の形態において、各処理 (各機能）は、単一の装置 (システム）に よって集中処理されることによって実現されてもよぐあるいは、複数の装置によって 分散処理されることによって実現されてもょ 、。
[0112] なお、上記プログラムにお 、て、情報を送信する送信ステップや、情報を受信する 受信ステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信ステップに おけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理 (ノヽ一ドウエアでしか行わ れな 、処理）は含まれな!/、。
[0113] また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよぐ複数であって もよい。すなわち、集中処理を行ってもよぐあるいは分散処理を行ってもよい。 [0114] また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する 2以上の通信手段 (指示 受付部など）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。
[0115] 本発明は、以上の実施の形態に限定されることなぐ種々の変更が可能であり、そ れらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
[0116] また、 2006年 5月 8日に出願された日本国特許出願番号 2006— 129105の詳細 な説明、図面、特許請求の範囲を含む開示は、その全体の参照により、この開示に 含まれる。
産業上の利用可能性
[0117] 以上のように、本発明にかかる群管理システムは、異常検知した後に異常分析を行 う場合に、製造装置毎、またはレシピ毎の時系列の情報を取り出して表示させること ができ、その結果、異常分析が非常に効果的に行える、という効果を有し、例えば、 被処理基板に対する所定のプロセスを行う 2以上の製造装置と、当該 2以上の製造 装置と接続されるサーバ装置を具備する群管理システム等として有用である。
図面の簡単な説明
[0118] [図 1]実施の形態における群管理システムの概念図
[図 2]同半導体ウェハ製造装置の例を示す図
[図 3]同群管理システムのブロック図
[図 4]同製造装置の動作について説明するフローチャート
[図 5]同サーバ装置の動作にっ 、て説明するフローチャート
[図 6]同元情報の例を示す図
[図 7]同元情報管理表を示す図
[図 8]同測定情報管理表を示す図
[図 9]同チャート情報の例を示す図
[図 10]同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
[図 11]同チャート情報の例を示す図
[図 12]同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
[図 13]同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
[図 14]同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図 圆 15]同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図 圆 16]同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図

Claims

請求の範囲
[1] 被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置 と接続されて ヽるサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有 する群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造 装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を 、複数格納し得る測定情報格納部と、
一以上の装置識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、 前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装 置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読 み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別 できる態様のチャートを構成するチャート構成部と、
前記チャート構成部が構成したチャートを出力する出力部を具備するサーバ装置。
[2] 被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置 と接続されて ヽるサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有 する群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識 別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格 納し得る測定情報格納部と、
一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、 前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシ ピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読 み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区 別できる態様のチャートを構成するチャート構成部と、
前記チャート構成部が構成したチャートを出力する出力部を具備するサーバ装置。
[3] 前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信 する元情報受信部と、
前記元情報受信部が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行 、、複数の測 定情報を取得する測定情報取得部と、
前記測定情報取得部が取得した複数の測定情報を前記測定情報格納部に蓄積す る測定情報蓄積部をさらに具備する請求項 1記載のサーバ装置。
[4] 前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信 する元情報受信部と、
前記元情報受信部が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行 、、複数の測 定情報を取得する測定情報取得部と、
前記測定情報取得部が取得した複数の測定情報を前記測定情報格納部に蓄積す る測定情報蓄積部をさらに具備する請求項 2記載のサーバ装置。
[5] 前記出力指示は、チャートを構成する点または Zおよび線の属性情報も含み、 当該点または Zおよび線の属性情報と前記装置識別子、または当該点または Zお よび線の属性情報と前記レシピ識別子を有する出力指示を蓄積する出力指示蓄積 部をさらに具備し、
前記指示受付部は、
前記出力指示蓄積部が蓄積した出力指示に対応したチャートの出力指示である蓄 積出力指示をも受け付け、
前記チャート構成部は、
前記指示受付部が蓄積出力指示を受け付けた場合、前記蓄積出力指示に対応する チャートの出力指示を読み出し、当該出力指示に従って、チャートを構成し、 前記出力部は、
前記チャート構成部が構成したチャートを出力する請求項 1記載のサーバ装置。
[6] 前記出力指示は、チャートを構成する点または Zおよび線の属性情報も含み、 当該点または Zおよび線の属性情報と前記装置識別子、または当該点または Zお よび線の属性情報と前記レシピ識別子を有する出力指示を蓄積する出力指示蓄積 部をさらに具備し、
前記指示受付部は、
前記出力指示蓄積部が蓄積した出力指示に対応したチャートの出力指示である蓄 積出力指示をも受け付け、 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が蓄積出力指示を受け付けた場合、前記蓄積出力指示に対応する チャートの出力指示を読み出し、当該出力指示に従って、チャートを構成し、 前記出力部は、
前記チャート構成部が構成したチャートを出力する請求項 2記載のサーバ装置。
[7] 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装 置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読 み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別 できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順 に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートである SPCチャートを構 成する請求項 1記載のサーバ装置。
[8] 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装 置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読 み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別 できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チ ヤートを構成する請求項 1記載のサーバ装置。
[9] 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装 置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読 み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別 できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートである M Dチャートを構成する請求項 1記載のサーバ装置。
[10] 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシ ピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読 み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区 別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の 順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートである SPCチャートを 構成する請求項 2記載のサーバ装置。
[11] 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシ ピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読 み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区 別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関 チャートを構成する請求項 2記載のサーバ装置。
[12] 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシ ピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読 み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区 別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートである MDチャートを構成する請求項 2記載のサーバ装置。
[13] コンピュータに、
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報につ いての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時 刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、
異常検知した後に異常分析を行う場合に、一以上の装置識別子を含むチャートの出 力指示を受け付ける指示受付ステップと、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上 の装置識別子のうちのいずれ力を有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出し た測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャート を構成するチャート構成ステップと、
前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する出力ステップを実行させる ためのプログラム。
[14] コンピュータに、 被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報につ いての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報 を有する情報である測定情報を、複数格納しており、
異常検知した後に異常分析を行う場合に、一以上のレシピ識別子を含むチャートの 出力指示を受け付ける指示受付ステップと、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上 のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出 した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチヤ ートを構成するチャート構成ステップと、
前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する出力ステップを実行させる ためのプログラム。
[15] コンピュータに、
前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信 する元情報受信ステップと、
前記元情報受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行!、、複 数の測定情報を取得する測定情報取得ステップと、
前記測定情報取得ステップで取得した複数の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ス テツプをさらに実行させるための請求項 13記載のプログラム。
[16] コンピュータに、
前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信 する元情報受信ステップと、
前記元情報受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行!、、複 数の測定情報を取得する測定情報取得ステップと、
前記測定情報取得ステップで取得した複数の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ス テツプをさらに実行させるための請求項 14記載のプログラム。
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