JP5523005B2 - 情報処理方法、及び情報処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを少なくとも１つの端末に送信する情報処理装置、情報処理方法およびプログラムに関する。

デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを情報処理装置が収集し、これをホストコンピュータ等の端末に送信するシステムがある。このようなシステムでは、デバイス製造装置の異常検知や状態監視、異常の原因分析などが行われうる。例えば半導体デバイスなどの微細デバイスを製造するために使用される露光装置では、それを構成するユニットの位置を補正するキャリブレーションや、パターンが描画されたレチクルとウエハとを位置を合わせするアライメントなどが実行されうる。

特許文献１には、クリーンルーム内に配置された複数の露光装置の稼動状態を収集して記憶する集中情報サーバをクリーンルーム外に配置したシステムが開示されている。

特開２００１−２０３２４７号公報

上記のようなシステムにおいて、情報処理装置によって収集されたデータは、ホストコンピュータ等の端末からの送信要求に応答して当該端末に送信されうる。ここで、多数の送信要求が情報処理装置で受信されたときに無条件に当該多数の送信要求が受理されたとすると、例えば、送信要求を送信した端末は、当該送信要求に係るデータを即座に受信できるものとして当該データの受信を待ち続けることになる。この場合、端末またはその利用者は、受信したデータを分析して即座に分析結果をデバイス製造装置にフィードバックすることができないにも拘らず、それが可能であるものとしてデータの到来を待ち続けることになる。

本発明は、上記の課題認識を契機としてなされたものであり、例えば、端末側においてデータを長時間に渡って受信することができないにも拘らず端末側がデータの到来を待ち続けることを防止することを目的とする。

本発明の１つの側面は、デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを少なくとも１つの端末に送信する情報処理装置に係り、前記情報処理装置は、前記少なくとも１つの端末と通信する通信部と、前記通信部が前記少なくとも１つの端末から受信した送信要求を受理し又は拒否する送信要求処理部と、前記送信要求処理部によって受理された送信要求に応答して前記少なくとも１つの端末のうち当該送信要求を送信した端末に対して当該送信要求に係るデータを送信するように前記通信部を制御する送信制御部とを備え、前記送信要求は、その種類として、第１種送信要求と、第２種送信要求とを含み、前記第１種送信要求は、それに応答して送信すべきデータが前記情報処理装置において準備される度に当該データを前記第２種送信要求に係るデータよりも優先して送信することを要求するものであり、前記第２種送信要求は、前記通信部から並行して送信されるデータのそれぞれの送信速度の合計が許容送信速度を超えている場合に当該第２種送信要求に係るデータの送信が一次的に保留されることを許容するものであり、前記送信要求処理部は、前記通信部が前記少なくとも１つの端末のいずれかから新たな第１種送信要求を受信した場合に、前記送信要求処理部が既に受理した送信要求に応答して前記通信部から並行して送信されるデータのそれぞれの送信速度と当該新たな第１種送信要求に応答してデータを送信する送信速度との合計が前記許容送信速度を超えない場合には当該新たな第１種送信要求を受理し、そうでない場合には当該新たな第１種送信要求を拒否し、前記送信要求処理部は、前記通信部が前記少なくとも１つの端末のいずれかから新たな第２種送信要求を受信した場合に、前記送信要求処理部が既に受理した送信要求に応答して前記通信部から並行して送信されるデータのそれぞれの送信速度および当該新たな第２種送信要求に応答してデータを送信する送信速度とは無関係に、当該新たな第２種送信要求を受理し、前記通信部から送信されるデータの送信速度は、単位時間当りに前記通信部から送信されるデータの量である。

本発明によれば、例えば、端末側においてデータを長時間に渡って受信することができないにも拘らず端末側がデータの到来を待ち続けることを防止することができる。

デバイス製造装置の一例としての露光装置の構成例を示す図である。 本発明の一実施形態としてのデバイス製造システムの概略構成を示す図である。 情報処理装置における送信要求処理を例示するフローチャートである。 データの送信要求に含まれる情報を例示する図である。 情報処理装置が端末に提供する装置データ定義を例示する図である。 情報処理装置における送信制御処理を例示するフローチャートである。

以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。

［第１実施形態］
図２は、本発明の一実施形態としてのデバイス製造システムの概略構成を示す図である。デバイス製造システム１０１は、１または複数のデバイス製造装置としての１または複数の露光装置１００と、情報処理装置２００と、１または複数の端末２２０とを備えている。露光装置１００と情報処理装置２００とは、通信路（例えば、ＬＡＮ等のネットワーク）２３２を介して接続されている。情報処理装置２００と端末２２０とは、通信路（例えば、ＬＡＮ等のネットワーク）２３４を介して接続されている。ここで、デバイス製造装置の一例として露光装置１００を挙げている。しかし、デバイス製造装置は、デバイスを製造するためのあらゆる装置（例えば、レジスト塗布装置、現像装置、検査装置、成膜装置、エッチング装置、洗浄装置、アッシング装置、搬送装置など）でありうる。また、デバイスは、例えば、半導体デバイス、表示デバイス、磁気デバイス、マイクロマシン等、の製造されうるあらゆる物品でありうる。

図１は、デバイス製造装置の一例としての露光装置１００の構成例を示す図である。露光装置１００は、リソグラフィー工程における露光工程で使用される。この実施形態では、露光装置１００は、走査露光装置とし構成されている。光源１から提供される光束は、照明光学系２で形状、光量分布が調整され、レチクルステージ６に保持されたレチクル（原版）３を照明する。レチクル３のパターンは、投影光学系４によって、ウエハステージ７上のウエハ吸着チャック８によって保持されたウエハ（基板）５に塗布されている感光剤（レジスト）に投影される。これにより、感光剤に潜像パターンが形成される。転写は、ウエハ上に配列された複数のショット領域のそれぞれに対してなされる。潜像パターンは、現像工程において現像されて、マスクパターン（レジストパターン）となる。

照明光学系２には、例えば、コヒーレンスファクタσ値を設定するための円形開口面積が異なる複数の開口絞りが備えられうる。照明光学系２には、更に、輪帯照明用のリング形状絞り、４重極絞り、照明光量を調整するための機構（例えば、複数のＮＤフィルタ及びそれを切り替える機構）が備えられうる。照明光学系２には、更に、光量を計測する光量検出器、光束の形状を決めるスリット、照明範囲を確保するためにレチクル３と共役な位置に載置されたブラインド及びそれを駆動する駆動機構が備えられうる。光源１と照明光学系２は、光源制御系２１の指示によって動作が制御される。

投影光学系４には、開口数を設定するための開口数設定機構や、収差を補正するためのレンズ駆動機構が備えられうる。投影光学系４は投影光学系制御系２４によって動作が制御される。レチクルステージ６の位置は、レチクルステージ計測系１０によって、該光軸に直交する面内における直交する２つの軸方向（即ち、Ｘ、Ｙ方向）の位置、並びに、これらの軸周り回転が計測され、レチクルステージ制御系２２によって制御される。

また、照明光学系２とレチクルステージ６の間には、ＴＴＲ（Ｔｈｒｏｕｇｈ Ｔｈｅ Ｒｅｔｉｃｌｅ）観察光学系９が配置されている。ＴＴＲ観察光学系９は、レチクル３上のマーク、または、レチクルステージ６に設置されるステージ基準マークと、ウエハステージ７上のステージ基準マークまでを投影光学系４を介して同時に観測および計測することができる。これによりレチクルステージ６、レチクル３、ウエハステージ７の投影光学系４の光軸方向（即ち、Ｚ方向）における位置、該光軸に直交する面内における直交する２つの軸方向（即ち、Ｘ、Ｙ方向）の位置、並びに、これらの軸周り回転を計測することができる。

ウエハ５の位置は、ウエハステージ計測系１２及びアライメント計測系３０よって計測されうる。ウエハステージ計測系１２は、例えば、投影光学系４の光軸方向（即ち、Ｚ方向）、該光軸に直交する面内における直交する２つの軸方向（即ち、Ｘ、Ｙ方向）の位置、並びに、これらの軸周りの回転を計測する。アライメント計測系３０は、投影光学系４の光軸方向（Ｚ方向）におけるウエハ５の表面位置を計測する。ウエハステージ制御系２５は、ウエハステージ計測系１２及びアライメント計測系３０から提供される情報に基づいてウエハステージ７の位置を制御する。

露光装置１００はまた、ウエハ５の表面を非露光光で観察および計測することが可能なオフアクシス観察光学系１１を備えている。オフアクシス観察光学系１１は、ウエハ５に形成されている複数のマークの位置を計測し、レチクル３のパターンをウエハ５上のパターンに重ねて転写することができるように、ウエハ５上のパターン位置と形状を決定する。オフアクシス観察光学系１１はまた、ウエハステージ７上のステージ基準マークの位置を計測する。

スリット状の照明光束でレチクル３の全てのパターンをウエハ５に配列されたショット領域に転写するため、レチクルステージ６によって保持されたレチクル３は、図１に示された走査方向に駆動される。それと同時に、ウエハステージ７によって保持されたウエハ５も、図１に示された走査方向に駆動される。ここで、レチクル３とウエハ５は、投影光学系４の投影倍率に応じた速度比で駆動される。レチクル３とウエハ５との相対位置がずれると、ウエハ５のショットには変形したパターンが転写される。そこで、主制御系２７は、レチクル３とウエハ５との相対位置ずれを計算し、その相対位置ずれがゼロになるようにレチクルステージ制御系２２及びウエハステージ制御系２５を制御する。

露光装置１００はまた、レチクルライブラリ１４、レチクルロボット１３を含むレチクル搬送ユニット、および、レチクル３をレチクルステージ６に位置決めするレチクルアライメントユニット２９を備える。レチクル搬送ユニットは、レチクル搬送制御系１９からの指示により動作する。また、また、露光装置１００は、ウエハカセットエレベータ１６やウエハ搬入出ロボット１５などから構成されるウエハ搬送ユニットを備える。ウエハ搬送ユニットはウエハ搬送制御系２６の指示により動作する。チャンバ環境制御部３１は、主に、空気の温度を調整と、微小異物を濾過する空気清浄を行ない、露光装置１００のチャンバ内の環境を一定に保つ。チャンバ環境制御部３１は、チャンバ制御系１８からの指示により動作する。

主制御系２７は、露光装置１００の構成要素、例えば、チャンバ制御系１８、レチクル搬送制御系１９、ウエハ搬送制御系２６、レチクルステージ制御系２２、ウエハステージ制御系２５、光源制御系２１、投影光学系制御系２４等を制御する。主制御系２７は、通信インターフェイス１７を介して、露光装置１００の露光動作を定義する設定パラメータ、又は動作指示を受信し、それに基づいて露光装置１００の各構成要素を制御する。

露光処理は、露光装置１００の動作を定義するジョブパラメータに従って実行される。ジョブパラメータは、例えば、工程名（ジョブ名）、ロットＩＤ、ショット範囲、ショット配列、各ショット番号、露光量、露光走査速度、露光走査方向、露光装置を構成するユニットのキャリブレーション項目、ウエハ及びショットのアライメント方式、等を含む。

露光装置１００は、種々の動作においてデータを発生する。この実施形態では、主制御系２７は、露光処理やその他の処理における露光装置１００の動作を記録したデータを出力するように構成されている。データとしては、例えば、各ユニットの動作の開始／終了時刻、処理対象を特定するロット認識ＩＤ・ウエハ番号・ショット番号、処理に対するジョブパラメータなど設定値を挙げることができる。データとしてはまた、キャリブレーションやアライメントにおける各計測値、アライメント結果、露光制御結果、スキャン動作制御結果を挙げることができる。データとしては、その他、例えば、露光装置１００で発生したエラーイベント、露光装置内外の気圧、温度を挙げることができる。

図２を参照しながら説明を続ける。情報処理装置２００は、デバイス製造装置としての露光装置１００が発生するデータを少なくとも１つの端末２２０に送信するように構成される。情報処理装置２００は、通信部２０６、送信要求処理部２０５、送信制御部２０１、抽出部２１１および記憶部２０２を含みうる。通信部２０６、送信要求処理部２０５、送信制御部２０１および抽出部２１１は、ハードウエア回路として構成されうる。或いは、コンピュータにソフトウエハ（プログラム）を組み込むことによって、該コンピュータを通信部２０６、送信要求処理部２０５、送信制御部２０１、抽出部２１１を含む情報処理装置２００として機能させてもよい。

通信部２０６は、通信路２３４を介して、少なくとも１つの端末２２０と通信する。送信要求処理部２０５は、通信部２０６が少なくとも１つの端末２２０から受信した送信要求を受理し又は拒否する。送信要求処理部２０５は、通信部２０６が少なくとも１つの端末２２０のいずれかから新たな送信要求を受信した場合に、次のような送信要求処理を実行する。送信要求処理は、合計の送信速度が予め設定されている許容送信速度を超えない場合には当該新たな送信要求を受理し、そうでない場合には当該新たな送信要求を拒否する処理である。ここで、合計の送信速度は、送信要求処理部２０５が既に受理した送信要求に応答して通信部２０６から並行して送信される全てのデータのそれぞれの送信速度と当該新たな送信要求に応答してデータを送信するときの送信速度とを合計したものである。また、通信部２０６から送信されるデータの送信速度とは、単位時間当りに通信部２０６から送信されるデータの量であり、例えば、抽出部２１１から通信部２０６に単位時間当りに提供される送信用のデータの量に依存しうる。また、許容送信速度は、通信部２０６または通信路２３４が有する最大送信速度であってもよいし、それより低い速度であってもよい。許容送信速度は、例えば、予め情報処理装置２００或いは通信部２０６に設定されうる。この設定は、例えば、情報処理装置２００の管理者によって任意になされうる。

送信制御部２０１は、送信要求処理部２０５によって受理された送信要求に応答して少なくとも１つの端末２２０のうち当該送信要求を送信した端末２２０に対して当該送信要求に係るデータを送信するように通信部２０６を制御する。送信要求には、送信を要求するデータを特定するためのデータ特定情報が含まれる。抽出部２１１は、露光装置１００が発生したデータからデータ特定情報によって特定されるデータを抽出して、抽出したデータが送信要求の送信元の端末２２０に送信されるように通信部２０６に提供する。通信部２０６は、提供されたデータを当該送信元の端末２２０に送信する。

端末２２０は、情報処理装置２００から送信されてくるデータに基づいて、露光装置１００における異常を検知したり、露光装置１００の状態を監視したり、異常の原因を分析したりしうる。また、端末２２０は、デバイス毎のプロセスにおける問題を解析したり、プロセス設定（ＡＰＣ：Ａｄｖａｎｃｅ Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｃｏｎｔｒｏｌ）をしたり、露光処理の次の処理への情報提供を行ったりしうる。

例えば、異常の検知に関しては、照明光学系２の光量計測器の出力を逐次モニターし、光量に正常範囲を超える変化が生じた場合に異常が発生したものと判断することができる。このような異常の検知に応じて露光装置１００を調整することによって、不良品の発生を抑えることができる。この場合、露光装置１００において計測されたデータは、情報処理装置２００によって速やかに収集され端末２２０に送信されるべきである。もし、データの収集および送信が滞ると不良品を大量に発生させる可能性があるため、このデータは、優先的に端末２２０に送信されるべきである。

露光装置１００において発生した異常の原因は、デバイスの検査工程で異常が発見されたロットを露光装置１００が処理したときの露光装置１００の各種の計測器（例えば、９、１０、１１、１２、３０）の出力を分析することによって特定されうる。さらには、異常が発生する前の数日間、数週間における計測器の出力を分析することによって異常が発生した時期を特定することができる。この場合、露光装置１００が発生した過去のデータを分析するために膨大なデータを情報処理装置２００から端末２２０に送信する必要がある。しかし、このように原因の特定に長時間を要するような分析においては、異常への対応を速やかに行うことができる場合に比べて、端末２２０へのデータの送信の遅延が許容されうる。つまり、データの利用目的により、端末２２０への送信が優先されるべきデータとそうでないものとがある。

端末２２０は、例えば、プロセスにおける異常を分析したり、それを露光装置１００にフィードバックしたりする目的で、露光装置１００が発生したデータを端末２２０に送信するように情報処理装置２００に要求する。異常の分析では、様々な計測結果を掛け合わせるなどするため、複数のデータ項目のデータが必要になりうる。情報処理装置２００は、端末２２０に送信することができるデータとして、どのようなデータ項目のデータがあるのかを示す装置データ定義を通信路２３２を介して端末２２０へ予め提示することができる。図５は、情報処理装置２００が端末２２０に提供する装置データ定義を例示している。端末２２０の利用者は、分析において必要なデータを特定するデータ項目を任意に指定して、それによって特定されるデータを端末２２０に送信するように情報処理装置２００に要求することができる。

図４は、データの送信要求に含まれる情報を例示している。データの送信要求は、通信路２３４を介して端末２２０から情報処理装置２００に送信される。図４には、５つの送信要求が例示されている。送信要求は、データ特定情報として、データ項目名によってデータを特定する情報４０１と、データの発生時刻によってデータを特定する情報４０２とを含みうる。データの発生時刻によってデータを特定する情報４０２は、過去の指定された期間内に発生したデータまたは逐次発生するデータを示す情報を含みうる。図４において、前者は、指定された期間を示す情報（例えば、２００８／４／１〜２００８／４／７）として例示され、後者は、「逐次」として例示されている。送信要求はまた、その種類および優先度を示す情報４０３を含みうる。データの送信要求は、図４に例示されるように、当該送信要求を特定する番号（識別子）を含みうる。分析の目的により、１つの送信要求に複数のデータ項目を含めることができる。

送信要求は、その種類として、第１種送信要求と、第２種送信要求とを含みうる。ここで、第１種送信要求は、それに応答して送信すべきデータが情報処理装置２００において準備される度に当該データを第２種送信要求に係るデータよりも優先して送信することを要求するものでありうる。第２種送信要求は、通信部２０６から並行して送信される全てのデータのそれぞれの送信速度の合計が許容送信速度を超えている場合に当該第２種送信要求に係るデータの送信が一次的に保留されることを許容するものでありうる。第２種送信要求は、それに応答するデータの送信に関する優先度を含みうる。情報４０３は、送信要求が第１種送信要求であるか否か、および、送信要求が第２種送信要求である場合における優先度を示す。図４において、「第１種」は、送信要求が第１種送信要求であることを示し、「１」、「２」、「３」は、送信要求が第２種送信要求であること、および、その優先度を示す。この実施形態では、小さい数字が高い優先度を示す。

図３は、情報処理装置２００における送信要求処理を例示するフローチャートである。ステップＳ３０１では、通信部２０６は、通信路２３４を介して端末２２０から送信要求を受信し、送信制御部２０１は、通信部２０６によって送信要求が受信されたことを通信部２０６からの通知により認識しうる。ステップＳ３０２では、送信要求処理部２０５は、通信部２０６が受信した送信要求が第１種送信要求であるか第２種送信要求であるかを、当該送信要求に含まれる情報４０３を参照することにより、判断する。そして、送信要求処理部２０５は、送信要求が第１種送信要求である場合には処理をステップＳ３０３に進め、送信要求が第２種送信要求である場合には処理をステップＳ３０６に進める。ステップＳ３０６では、送信要求が受理される。よって、この実施形態では、送信要求が第２種送信要求である場合には、無条件に、或いは、後述の合計の送信速度とは無関係に、ステップＳ３０６において、当該送信要求が受理される。

第１種送信要求は、例えば、露光装置１００において発生したデータが即座かつ確実にそれを要求する端末２２０に送信されるべき場合に有用な送信要求である。例えば、露光装置１００において発生したデータを端末２２０において分析し、その結果を露光装置１００に即座にフィードバックすべき場合には、端末２２０は、送信要求として第１種送信要求を情報処理装置２００に対して送信すべきである。これにより、端末２２０は、合計の送信速度が許容送信速度を超えていない場合には、露光装置１００において発生し情報処理装置２００に準備されたデータを即座かつ確実に情報処理装置２００から受信することができる。

一方、合計の送信速度が許容送信速度を超えている場合には、当該第１種送信要求に係るデータを端末２２０に対して即座かつ確実に送信することができない。このような場合には、端末２２０またはその利用者は、受信したデータを分析して即座にその分析結果を露光装置１００にフィードバックすることができないにも拘らず、それが可能であるものとしてデータの到来を待ち続けることになる。そこで、送信要求処理部２０５は、このような場合には、合計の送信速度が許容送信速度を超えている場合には、第１種送信要求を拒否する。これにより、端末２２０またはその利用者は、分析のためのデータをその発生の後に即座に得ることができないことを認識することができる。ここで、合計の送信速度とについで再び説明する。合計の送信速度は、送信要求処理部２０５が既に受理した送信要求に応答して通信部２０６から並行して送信される全てのデータのそれぞれの送信速度（例えば、ｒａ１、ｒａ２、ｒａ３・・・ｒｎとする。）と当該新たな送信要求に応答してデータを送信するときの送信速度（例えば、ｒｂとする。）との合計（ｒｂ＋ｒａ１＋ｒａ２＋ｒａ３＋・・・＋ｒｎ）である。

ステップＳ３０３では、送信要求処理部２０５は、ステップＳ３０１で通信部２０６が受信した新たな送信要求に応答して送信要求元の端末２２０に対して単位時間当りに送信されるデータの量であるデータ送信速度（ｒｂ）を計算する。ステップＳ３０４では、送信要求処理部２０５は、送信要求処理部２０５が既に受理した送信要求に応答して通信部２０６から並行して送信される全てのデータのそれぞれの送信速度（ｒａ１、ｒａ２、ｒａ３・・・ｒｎ）を計算する。

ステップＳ３０５では、送信要求処理部２０５は、合計の送信速度（ｒｂ＋ｒａ１＋ｒａ２＋ｒａ３＋・・・＋ｒｎ）を計算し、当該合計の送信速度が予め設定されている許容送信速度を超える否かを判断する。そして、送信要求処理部２０５は、当該合計の送信速度が予め設定されている許容送信速度を超えない場合には、ステップＳ３０６において、送信要求（この場合は、第１種送信要求）を受理する。送信要求を受理した場合には、送信要求処理部２０５は、当該送信要求を発した端末２２０に対して通信部２０６を介してそのことを通知しうる。一方、当該合計の送信速度が予め設定されている許容送信速度を超える場合には、送信要求処理部２０５は、ステップＳ３０７において、送信要求（この場合は、第１種送信要求）を拒否する。送信要求を拒否する場合には、送信要求処理部２０５は、当該送信要求を発した端末２２０に対して通信部２０６を介してそのことを通知する。

送信要求処理部２０５は、例えば、ステップ３０３において計算したデータの送信速度を送信要求に送信元の端末２２０に通知してもよい。このような通知により、端末２２０は、送信要求が拒否された場合に、拒否された送信要求に代えて、より送信速度が小さくなるようなデータの送信を要求する送信要求を情報処理装置２００に送信することができる。

ステップＳ３０３、Ｓ３０４における送信速度の計算において、送信要求処理部２０５は、露光装置（デバイス製造装置）１００が単位時間当りに発生する該当する送信要求に係るデータの量を当該データの送信速度とすることができる。ここで、送信速度は、例えば、単位時間当りに発生するレポート数で表現されうる。レポートは、露光装置（デバイス製造装置）１００で発生する１つの事象に関る情報の集合である。事象は、例えば、データ項目名５０１で特定され、例えば、ウエハ単位、ショット単位で発生しうる。１つの事象に関る情報の集合は、その内容がデータ内容５０２で特定され、例えば、当該事象に関る処理が発生した時刻やショットを特定するショット番号、処理結果である計測値を含みうる。露光装置１００において単位時間当たりに発生するレポート数は予測が可能であり、例えば、データ項目名５０１毎に、発生粒度５０３に基づいて計算することができる。例えば、ウエハ位置などウエハ毎に計測されるデータや、ショット露光量などショット毎に計測されるデータは、それぞれ発生粒度をウエハ単位、ショット単位とすることができる。そして、露光装置１００が単位時間当たりに露光処理できるウエハ数若しくはショット数に基づいて単位時間当たりのレポート数を計算することができる。露光装置１００におけるウエハ、ショットの処理量は、露光装置１００の仕様や、露光処理のレシピ、稼動実績などに基づいて決定することができる。また、温度や気圧などの計測は、露光装置１００で設定された周期で定期的になされるため、その周期から単位時間当たりのレポート数を計算することができる。或いは、送信速度は、単位時間当たりに送信されるデータのバイト数で表現されてもよい。

送信要求処理部２０５は、ステップＳ３０３において送信要求処理部２０５が送信要求に係るデータの送信速度を計算する代わりに、当該送信要求に含まれる送信速度情報を使用してもよい。この場合、端末２２０は、送信要求処理部２０５は、露光装置（デバイス製造装置）１００が単位時間当りに発生する該当する送信要求に係るデータの量を送信速度とすることができ、その計算は、上記の例に従いうる。

図６は、情報処理装置２００における送信制御処理を例示するフローチャートである。露光装置１００が発生するデータは、通信路２３２を介して情報処理装置２００に送信され、記憶部２０２に格納される。

ステップＳ６０１では、送信制御部２０１は、送信要求のうちデータの送信が完了していない送信要求に係るデータ（以下、未処理データ）の送信が可能であるか否かを判断する。ここで、未処理データおよび現時点で送信中のデータのそれぞれの送信速度の合計が許容送信速度を超えない場合に、未処理データの送信が可能であると判断される。未処理データの送信が可能である場合には、送信制御部２０１は、ステップＳ６０５において、通信部２０６に当該未処理データを送信要求の送信元の端末２２０に送信させる。一方、未処理データの送信が可能ではない場合には、送信制御部２０１は、ステップＳ６０２に処理を進める。

ステップＳ６０２では、送信制御部２０１は、未処理データが第１種送信要求に係るデータまたは送信中のデータよりも優先度の高い送信要求に係るデータであるか否かを判断する。ここで、前述のように、第１種送信要求に係るデータの送信は、第２種送信要求に係るデータの送信よりも優先される。つまり、第１種送信要求の方が第２種送信要求よりも優先度が高い。また、第２種送信要求間には、図４に例示されるように優先度が与えられている。送信制御部２０１は、未処理データが第１種送信要求に係るデータまたは送信中のデータよりも優先度の高い送信要求に係るデータである場合にはステップＳ６０３に処理を進め、そうではない場合にはステップＳ６０４に処理を進める。

ステップＳ６０３では、送信制御部２０１は、未処理データよりも優先度が低いデータ（このようなデータは、全て第２種送信要求に係るデータ）の送信を一時的に保留する。その後、送信制御部２０１は、その保留によって生じた余裕を使ってステップＳ６０５において、通信部２０６に当該未処理データを送信要求の送信元の端末２２０に送信させる。この際に、送信制御部２０１は、一時的に送信を保留したデータ（第２種送信要求に係るデータ）の送信を要求した端末２２０に対して、当該データの送信を一時的に保留したことを通信部２０６を介して通知しうる。つまり、送信制御部２０１は、そのことを、当該第２種送信要求を送信した端末２２０に対して通信部２０６を介して通知しうる。

一方、ステップＳ６０４では、送信制御部２０１は、未処理データの送信を一時的に保留し、処理をＳ６０２に戻す。この際に、送信制御部２０１は、当該未処理データについて送信要求を発した端末２２０に、当該未所データの送信を一時的に保留したことを通信部２０６を介して通知しうる。

ステップＳ６０２〜Ｓ６０４における送信制御部２０１の処理により、送信要求処理部２０５によって受理された複数の第２種送信要求に係るデータについては、与えられた優先度が高い順に送信される。また、第１種送信要求に加係るデータについては、第２種送信要求に係るデータよりも優先的に送信される。

［捕捉］
情報処理装置２００の通信部２０６から端末２２０へのデータの送信速度は、通信部２０６を直接に制御することによってなされてもよいし、抽出部２１１によるデータの抽出速度を制御することによってなされてもよい。抽出部２１１によるデータの抽出速度を制御することにより、抽出部２１１から通信部２０６に提供される単位時間当りのデータの量を制御することができ、これにより通信部２０６によるデータの送信速度が間接的に制御されうる。

Claims (8)

1. デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを少なくとも１つの端末に送信する情報処理装置であって、
   前記少なくとも１つの端末と通信する通信部と、
   前記通信部が前記少なくとも１つの端末から受信した送信要求を受理し又は拒否する送信要求処理部と、
   前記送信要求処理部によって受理された送信要求に応答して前記少なくとも１つの端末のうち当該送信要求を送信した端末に対して当該送信要求に係るデータを送信するように前記通信部を制御する送信制御部とを備え、
   前記送信要求は、その種類として、第１種送信要求と、第２種送信要求とを含み、
   前記第１種送信要求は、それに応答して送信すべきデータが前記情報処理装置において準備される度に当該データを前記第２種送信要求に係るデータよりも優先して送信することを要求するものであり、
   前記第２種送信要求は、前記通信部から並行して送信されるデータのそれぞれの送信速度の合計が許容送信速度を超えている場合に当該第２種送信要求に係るデータの送信が一次的に保留されることを許容するものであり、
   前記送信要求処理部は、前記通信部が前記少なくとも１つの端末のいずれかから新たな第１種送信要求を受信した場合に、前記送信要求処理部が既に受理した送信要求に応答して前記通信部から並行して送信されるデータのそれぞれの送信速度と当該新たな第１種送信要求に応答してデータを送信する送信速度との合計が前記許容送信速度を超えない場合には当該新たな第１種送信要求を受理し、そうでない場合には当該新たな第１種送信要求を拒否し、
   前記送信要求処理部は、前記通信部が前記少なくとも１つの端末のいずれかから新たな第２種送信要求を受信した場合に、前記送信要求処理部が既に受理した送信要求に応答して前記通信部から並行して送信されるデータのそれぞれの送信速度および当該新たな第２種送信要求に応答してデータを送信する送信速度とは無関係に、当該新たな第２種送信要求を受理し、
   前記通信部から送信されるデータの送信速度は、単位時間当りに前記通信部から送信されるデータの量である、
   ことを特徴とする情報処理装置。
2. 前記第２種送信要求は、それに応答するデータの送信に関する優先度を含み、
   前記送信制御部は、第１種送信要求に係るデータが第２種送信要求に係るデータよりも優先して送信されるように制御し、
   前記送信制御部は、前記送信要求処理部によって受理された複数の第２種送信要求に係るデータについては、与えられた優先度が高い順に送信されるように制御する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
3. 前記送信制御部は、第２種送信要求に係るデータの送信が第１種送信要求又は他の第２種送信要求に係るデータの送信を優先させるために遅れる場合に、そのことを、当該第２種送信要求を送信した端末に対して前記通信部を介して通知することを特徴とする請求項１又は２に記載の情報処理装置。
4. 前記送信制御部は、送信要求を送信してきた端末に対して、前記通信部を介して、当該送信要求に応答して送信すべきデータの送信速度を通知することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の情報処理装置。
5. 前記送信要求処理部は、送信要求に係るデータの送信速度として、前記デバイス製造装置が単位時間当りに発生する前記送信要求に係るデータの量を使用する、
   ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
6. 前記送信要求処理部は、送信要求に係るデータの送信速度として、当該送信要求に含まれる送信速度情報を使用する、
   ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
7. デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを少なくとも１つの端末に送信する情報処理装置における情報処理方法であって、
   前記少なくとも１つの端末からの送信要求を受理し又は拒否する送信要求処理工程と、
   前記送信要求処理工程で受理された送信要求に応答して前記少なくとも１つの端末のうち当該送信要求を送信した端末に対して当該送信要求に係るデータを前記情報処理装置から送信する送信工程とを含み、
   前記送信要求は、その種類として、第１種送信要求と、第２種送信要求とを含み、
   前記第１種送信要求は、それに応答して送信すべきデータが前記情報処理装置において準備される度に当該データを前記第２種送信要求に係るデータよりも優先して送信することを要求するものであり、
   前記第２種送信要求は、前記情報処理装置が並行して送信されるデータのそれぞれの送信速度の合計が許容送信速度を超えている場合に当該第２種送信要求に係るデータの送信が一次的に保留されることを許容するものであり、
   前記送信要求処理工程では、前記少なくとも１つの端末のいずれかから新たな第１種送信要求を受信した場合に、前記送信要求処理工程で既に受理した送信要求に応答して前記情報処理装置が並行して送信するデータのそれぞれの送信速度と当該新たな第１種送信要求に応答して前記情報処理装置がデータを送信する送信速度との合計が前記許容送信速度を超えない場合には当該新たな第１種送信要求を受理し、そうでない場合には当該新たな第１種送信要求を拒否し、
   前記送信要求処理工程では、前記少なくとも１つの端末のいずれかから新たな第２種送信要求を受信した場合に、前記送信要求処理工程で既に受理した送信要求に応答して前記情報処理装置が並行して送信するデータのそれぞれの送信速度および当該新たな第２種送信要求に応答して前記情報処理装置がデータを送信する送信速度とは無関係に、当該新たな第２種送信要求を受理し、
   前記情報処理装置から送信されるデータの送信速度は、単位時間当りに前記情報処理装置から送信されるデータの量である、
   ことを特徴とする情報処理方法。
8. デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを少なくとも１つの端末に送信する情報処理装置としてコンピュータを機能させるためのプログラムであって、前記プログラムは、前記コンピュータを、
   前記少なくとも１つの端末と通信する通信部と、
   前記通信部が前記少なくとも１つの端末から受信した送信要求を受理し又は拒否する送信要求処理部と、
   前記送信要求処理部によって受理された送信要求に応答して前記少なくとも１つの端末のうち当該送信要求を送信した端末に対して当該送信要求に係るデータを送信するように前記通信部を制御する送信制御部とを備える情報処理装置として機能させ、
   前記送信要求は、その種類として、第１種送信要求と、第２種送信要求とを含み、
   前記第１種送信要求は、それに応答して送信すべきデータが前記情報処理装置において準備される度に当該データを前記第２種送信要求に係るデータよりも優先して送信することを要求するものであり、
   前記第２種送信要求は、前記通信部から並行して送信されるデータのそれぞれの送信速度の合計が許容送信速度を超えている場合に当該第２種送信要求に係るデータの送信が一次的に保留されることを許容するものであり、
   前記送信要求処理部は、前記通信部が前記少なくとも１つの端末のいずれかから新たな第１種送信要求を受信した場合に、前記送信要求処理部が既に受理した送信要求に応答して前記通信部から並行して送信されるデータのそれぞれの送信速度と当該新たな第１種送信要求に応答してデータを送信する送信速度との合計が前記許容送信速度を超えない場合には当該新たな第１種送信要求を受理し、そうでない場合には当該新たな第１種送信要求を拒否し、
   前記送信要求処理部は、前記通信部が前記少なくとも１つの端末のいずれかから新たな第２種送信要求を受信した場合に、前記送信要求処理部が既に受理した送信要求に応答して前記通信部から並行して送信されるデータのそれぞれの送信速度および当該新たな第２種送信要求に応答してデータを送信する送信速度とは無関係に、当該新たな第２種送信要求を受理し、
   前記通信部から送信されるデータの送信速度は、単位時間当りに前記通信部から送信されるデータの量である、
   ことを特徴とするプログラム。

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