WO2007017919A1

WO2007017919A1 - ワーク吸着ヘッド

Info

Publication number: WO2007017919A1
Application number: PCT/JP2005/014392
Authority: WO
Inventors: Tetsunori Otaguro; Takenori Hirakawa
Original assignee: Hirata Corporation
Priority date: 2005-08-05
Filing date: 2005-08-05
Publication date: 2007-02-15
Also published as: CN101237965A; US8100413B2; JPWO2007017919A1; CN101237965B; US20100194061A1; JP4698674B2

Description

明細書

ワーク吸着ヘッド

技術分野

[0001] 本願の発明は、ワーク吸着ヘッドに関し、特に軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりするために使用される、構造が簡単で、操作性及び信頼性に優れたワーク吸着ヘッドに関する。

背景技術

[0002] 数百 μ mから数 mmまでのようなオーダーの大きさの軽量で微細なワークを正確、確実に吸着したり、吸着したワークを確実に離脱させて、これをワーク載置面に正確、確実に載置したりすることは容易ではない。このようなオーダーの大きさの軽量で微細なワークになると、重力のほかに、静電気力や界面エネルギーの影響が無視できなくなり、単に把持力や真空吸着力を加えたり解いたりするだけの通常の方法では、ワークを載置面に対して脱着することが容易でなくなるし、ワークの寸法に合わせて吸着部を製作し、これをワークの位置、姿勢に合わせて精密にセッティングすることが容易でなくなるからである。

[0003] 従来、このような軽量で微細なワークの吸着や脱着、載置面への載置を目的としたワーク吸着ヘッドあるいはワーク吸着装置として、特開平 5— 235594号公報ゃ特開 2003— 165083号公報に記載されたちの力 Sある。

[0004] 前者のものは、電子部品のリリース（離脱)を確実にするために、吸着ヘッドの負圧室の内部に押圧子を備えている。この押圧子は、負圧室の負圧解除時に、その下端の押圧部がヘッドの吸引ロカ進出して、吸着面に吸着されたワークを押すことにより、ワークが吸着面力も離脱するのを助けるようになつている。しかしながら、このものは、吸着面をワーク載置面に倣わせる倣、機構を備えて、な、。

[0005] また、後者のものは、吸着ノズルを薄くて微小な電子部品等のワークに押し付けて、これを吸着したり、吸着したワークを基板に装着したりする際の衝撃荷重を小さくし、ワークの割れや欠けを防止することを目的として、吸着ノズル本体と該吸着ノズル本体が収容 ·装着されるホルダ部との間にコイルパネ (第 1緩衝機構)を配設するとともに、吸着ノズル本体の内部に肉薄部 (第 2緩衝機構)を設けている。この肉薄部 (第 2 緩衝機構）は、吸着ノズル本体の先端部のノズルチップと根元部のノズル中間部と呼ばれる部分との間を特別に薄肉構造にしたもので、これにより、ノズルチップをワークに押し付けて、これを吸着したり、吸着したワークを基板に装着したりする際には、先ず、肉薄部 (第 2緩衝機構)が橈み、次いで、押付け力の大きさに応じ、コイルパネ（第 1緩衝機構)が橈むので、前記のような衝撃荷重の発生や、ワークの割れ、欠けを緩和もしくは防止できるようになって、る。

[0006] し力しながら、この後者のものは、吸着したワークをノズルチップ力も確実に離脱させるための手段を備えないし、また、その肉薄部 (第 2緩衝機構）は、吸着ノズルがヮークに押し付けられる際の衝撃荷重を小さくしたり、ワークの割れ、欠けを防止するために、ノズルチップの軸方向に撓むことはできる力ノズルチップの先端面に形成されたワーク吸着面の面積が元々小さ!/、こと力もして、ワーク吸着面をワーク載置面の傾斜に倣わせる倣、機能を発揮するものとしては当初力期待されて、な、ものである。

[0007] ワーク吸着面をワーク載置面の傾斜に倣わせる倣!、機能を備えたワーク吸着装置としては、実公昭 50— 14070号公報に記載されたものがある。し力しながら、このものは、前記した、数百 mから数 mmまでのようなオーダーの大きさの軽量で微細なワークを吸着、装着の対象物としたものではなぐそのための工夫が特に施されたものとはなっていない。

特許文献 1：特開平 5 - 235594号公報

特許文献 2 :特開 2003— 165083号公報

特許文献 3：実公昭 50 - 14070号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0008] 本願の発明は、従来のワーク吸着ヘッドやワーク吸着装置が有する前記のような問題点を解決して、軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりするために使用されるワーク吸着ヘッドが、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、ワークを正確、確実に吸着したり、吸着したワークを確実に離脱させて、これをワーク載置面に正確、確実に載置したりすることができ、ワークに損傷を与えることがなぐしカゝも、構造が簡単で、操作性及び信頼性に優れたワーク吸着ヘッドを提供することを課題とする。

課題を解決するための手段

[0009] 前記のような課題は、本願の各請求項に記載された次のような発明により解決される。すなわち、その請求項 1に記載された発明は、軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりするために使用されるワーク吸着ヘッドが、基台部と、ワーク吸着部と、前記基台部と前記ワーク吸着部とを連結する倣い機構部とを備え、これら基台部とワーク吸着部と倣い機構部とは、一体構造物から成っており、前記基台部は、前記ワーク吸着ヘッド自体をヘッド駆動機構に取り付けるための取付け面を有し、前記ワーク吸着部は、ワークを吸着するためのワーク吸着面と、その内部に設けられ、吸気孔を介して前記ワーク吸着面に開口する負圧室とを有し、前記倣い機構部は、弾性変形が容易な構造にされていて、 3次元空間内で適宜橈んで、前記ワーク吸着面を前記ワーク載置面の傾斜に倣わせるように作用するものであることを特徴とするワーク吸着ヘッドである。

[0010] そのワーク吸着ヘッドは、前記のように構成されているので、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、ワークを正確、確実に吸着することができ、また、ワークをワーク載置面に正確、確実に載置することができる。これらにより、ワーク載置面に対するワークの正確、確実な着脱が可能になり、し力も、ワークに過大な応力が加わらないので、ワークを損傷することちない。

[0011] さらに、そのワーク吸着ヘッドは、一体構造物力成っているので、構造が簡単であり、その操作も、倣い機構部の作動により、回動操作が不要で、直線的で単純になり、操作性及び信頼性に優れている。

[0012] 好ましい実施形態によれば、そのワーク吸着ヘッドの負圧室には、ワーク押圧子が収容されており、該ワーク押圧子は、吸気孔に挿通され、ワーク吸着面を越えて出没するピン部を有している。

[0013] この構成により、例えば、吸着したワークをワーク載置面に載置するに際して、負圧室の負圧が解除されると、ワーク押圧子のピン部が重力又は負圧の解除と同時に正圧への切替えによる圧力でワーク吸着面を越えて突出してワークを押すので、ワークを確実にワーク吸着面力も離脱させることができる。したがって、このワーク吸着ヘッドは、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、且つ、吸着したワークをピン部が押して確実に離脱させつつ、これをワーク載置面にさらに正確、確実に載置することができ、ワークの位置ずれを生ずることがない。また、ワークを吸着するに際しても、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、且つ、ワークをピン部が押しつつ、これをワーク吸着面にさらに正確、確実に吸着することができ、ワークの位置ずれを生ずることがない。

[0014] 別の好ま U、実施形態によれば、そのワーク吸着ヘッドの倣、機構部の弾性変形が容易な構造が、複数本の湾曲したパネ脚片を備えており、これら複数本の湾曲したパネ脚片が、基台部とワーク吸着部とを複数個所でそれぞれ連結していて、ワーク吸着面に作用する全方位の外力に対し、ワーク吸着面を同じように変位させるようにされている。

[0015] この構成により、倣い機構部の弾性変形が容易な構造を、きわめて簡単な構成により得ることができる。また、倣い機構部の制御が簡単になる。

[0016] さらに別の好ましい実施形態によれば、そのワーク吸着ヘッドの基台部とワーク吸着部とは、それぞれ平面視矩形状に形成されていて、複数本の湾曲したパネ脚片は、これら基台部とワーク吸着部との各 4つの角部の対応する角部同士を連結している

[0017] この構成により、倣い機構部の弾性変形が容易な構造を、さらに簡単な構成により得ることができる。

発明の効果

[0018] 前記のとおり、本願の発明のワーク吸着ヘッドによれば、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、ワークを正確、確実に吸着することができ、また、ワークをワーク載置面に正確、確実に載置することができる。これらにより、ワーク載置面に対するワークの正確、確実な着脱が可能になり、し力も、ワークに過大な応力が加わらないので、ワークを損傷することもない。さらに、そのワーク吸着ヘッドは、一体構造物から成っているので、構造が簡単であり、倣い機構部の作動により操作も簡単になり、操作性及び信頼性にも優れている。 [0019] また、その負圧室にワーク押圧子が収容され、このワーク押圧子が、吸気孔に挿通され、ワーク吸着面を越えて出没するピン部を有するものとされる場合には、例えば、吸着したワークをワーク載置面に載置するに際して、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、且つ、吸着したワークをピン部が押して確実に離脱させつつ、これをワーク載置面にさらに正確、確実に載置することができ、ワークの位置ずれを生ずることがない。また、ワークを吸着するに際しても、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、且つ、ワークをピン部が押しつつ、これをワーク吸着面にさらに正確、確実に吸着することができ、ヮークの位置ずれを生ずることがな!、。

[0020] また、その倣い機構部の弾性変形が容易な構造が、複数本の湾曲したパネ脚片から成り、これら複数本の湾曲したパネ脚片が、基台部とワーク吸着部とを複数個所でそれぞれ連結していて、ワーク吸着面に作用する全方位の外力に対し、ワーク吸着面を同じように変位させるようにされる場合には、倣、機構部の弾性変形が容易な構造を、きわめて簡単な構成により得ることができる。

図面の簡単な説明

[0021] [図 1]本願の発明の一実施例のワーク吸着ヘッドの正面図である。

[図 2]同ワーク吸着ヘッド本体部の斜め上方から見た斜視図である。

[図 3]同ワーク吸着ヘッド本体部の異なる斜め上方から見た斜視図である。

[図 4]同ワーク吸着ヘッド本体部の斜め下方から見た斜視図である。

[図 5]同ワーク吸着ヘッド本体部の平面図である。

[図 6]同ワーク吸着ヘッド本体部の側面図である。

[図 7]同ワーク吸着ヘッドを使用して、ワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりする方法を説明するための第 1の図である。

[図 8]同第 2の図である。

[図 9]同第 3の図である。

符号の説明

[0022] 1…ワーク吸着ヘッド、 2…ワーク吸着ヘッド本体部、 3…連通管、 4…ヘッド部、 5〜基台部、 6· ··ワーク吸着部、 6a…膨出部、 7…倣い機構部、 8· ··ワーク吸着面、 9· ·· 吸気子し、 10· ··負圧室、 11· ··取付け面、 12· ··取付け板、 13· ··ボノレト、 14· ··子し、 15· ·· ワーク押圧子、 15a…ピン部、 16· ··ワーク載置面、 17…パネ脚片、 18· ··上板部材、 19…下板部材、 L…軸線、 L'…垂線、 W…ワーク、

発明を実施するための最良の形態

[0023] 軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりするために使用されるワーク吸着ヘッドが、基台部と、ワーク吸着部と、これらを連結する倣い機構部とを備えている。これら基台部とワーク吸着部と倣い機構部とは、一体構造物から成っており、基台部は、ワーク吸着ヘッド自体をヘッド駆動機構に取り付けるための取付け面を有し、ワーク吸着部は、ワークを吸着するためのワーク吸着面と、その内部に設けられ、吸気孔を介してワーク吸着面に開口する負圧室とを有している。また、倣い機構部は、弾性変形が容易な構造にされていて、 3 次元空間内で適宜橈んで、ワーク吸着面をワーク載置面の傾斜に倣わせるように作用するものとされている。負圧室には、吸気孔に挿通され、ワーク吸着面を越えて出没するピン部を有するワーク押圧子が収容されてヽる。

[0024] 前記倣い機構部の弾性変形が容易な構造は、複数本の湾曲したパネ脚片カも成り、これら複数本の湾曲したパネ脚片が、平面視矩形状に形成された基台部とワーク吸着部とを、それらの各 4つの角部の対応する角部同士でそれぞれ連結していて、ヮーク吸着面に作用する全方位の外力に対し、ワーク吸着面を同じように変位させるようにされている。

実施例

[0025] 次に、本願の発明の一実施例について説明する。

本実施例のワーク吸着ヘッドは、電子部品等の軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これを基板表面等のワーク載置面に載置したりするために使用される。その構造は、あらまし、図 2ないし図 6に図示されるワーク吸着ヘッド本体部 2に、図 1に図示されるように、真空源への連通管 3が接続されることにより構成されている。本実施例のワーク吸着ヘッド 1は、実際には、ロボットハンド先端のへッド部 4に取り付けられて用いられる力これに限られず、電子部品組立装置等にお V、て、 XYZ方向に移動可能な走行体に取り付けられて用いられる場合もある。

[0026] ワーク吸着ヘッド本体部 2は、次のように構成されて、る。ワーク吸着ヘッド本体部 2は、基台部 5と、ワーク吸着部 6と、これらを連結する倣い機構部 7とを備えている。これら基台部 5とワーク吸着部 6と倣い機構部 7とは、パネ性のある金属材料を素材とした一体構造物力も成っている。その寸法は、大体、ワーク W (図 7参照）の大きさに見合う小型のものである。基台部 5とワーク吸着部 6とは、平面視矩形状に形成された板状ブロック体から成り、ワーク吸着部 6は、その中央部に後述する負圧室 10を収容する膨出部 6aを有してヽる。

[0027] 基台部 5は、ワーク吸着ヘッド 2自体をロボットノヽンド先端のヘッド部 4に取り付けるための取付け面 11を有している。この取付け面 11には、図 1に図示されるように、へッド部 4の取付け板 12が接着又はネジにより締着されている。取付け面 11の中央部には、連通管 3を揷通させるための孔 14が開口している。

[0028] ワーク吸着部 6は、ワーク Wを吸着するためのワーク吸着面 8と、負圧室 10とを有している。負圧室 10は、ワーク吸着部 6の中央膨出部 6aの内部に設けられており、吸気孔 9を介してワーク吸着面 8に開口している。また、この負圧室 10には、基台部 5と倣い機構部 7とを貫通する孔 14に挿通された連通管 3の一端が接続されており、負圧室 10は、この連通管 3を介して図示されない負圧源に連通している。連通管 3は、ロボットノヽンドの内部空間を通って、この負圧源に接続されている。

[0029] 負圧室 10には、ワーク押圧子 15が収容されている。このワーク押圧子 15の下方部分は、ピン部 15aとなっており、このピン部 15aは、吸気孔 9に揷通されていて、ワーク吸着面 8を越えて出没することができる。例えば、負圧室 10の負圧状態が解除された時、ワーク押圧子 15が重力又は負圧の解除と同時に正圧への切替えによる圧力で落下して、そのピン部 15aは、ワーク吸着面 8を越えて突出する。そして、ワーク吸着面 8に吸着されたワーク Wを押して、ワーク Wが確実にワーク吸着面 8から離脱するように作用する（図 9参照)。

[0030] 倣い機構部 7は、弾性変形が容易な構造にされていて、 3次元空間内で適宜橈んで、ワーク吸着面 8をワーク載置面 16 (図 7参照）の傾斜に倣わせるように作用するものである。この倣い機構部 7の弾性変形が容易な構造は、具体的には、複数本 (本実施例の場合、 4本)の湾曲したパネ脚片 17を備えており、これら複数本の湾曲したパネ脚片 17が、平面視矩形状に形成された基台部 5とワーク吸着部 6とを、それらの各 4つの角部の対応する角部同士でそれぞれ連結していて、これにより、ワーク吸着面 8に作用する全方位の外力に対し、ワーク吸着面 8を同じように変位させるようになつている。

[0031] これら複数本の湾曲したパネ脚片 17は、実際には、倣い機構部 7を構成する平面視矩形状の上板部材 18と下板部材 19とを、それらの各 4つの角部の対応する角部同士でそれぞれ連結していて、これら上板部材 18、下板部材 19が基台部 5、ワーク吸着部 6とそれぞれ一体構造物として形成されることにより、結果として、基台部 5とヮーク吸着部 6とを、それらの各 4つの角部の対応する角部同士でそれぞれ連結することになっているのである。なお、ワーク吸着部 6の中央膨出部 6aは、下板部材 19の中央部を貫通して内方に突出していて、この内方突出部は、負圧室 10の図 1において上方部分の囲壁をなしている。この内方突出部は、機能上、下板部材 19に属すると見られるべきものではない（図 1、図 3、図 6参照）。

[0032] 次に、本実施例のワーク吸着ヘッド 1を使用して、ワーク Wを吸着したり、吸着したヮーク Wを離脱させて、これをワーク載置面 16に載置したりする方法について説明する。先ず、吸着したワーク Wを離脱させて、これをワーク載置面 16に載置する方法について、図 7〜図 9を参照しつつ、説明する。ワーク Wを吸着するには、この逆の手順で行えば良い。

[0033] 先ず、ワーク吸着部 6のワーク吸着面 8にワーク Wを吸着したワーク吸着ヘッド 1が、ワーク載置面 16に向けて下降する。このワーク載置面 16は、図 7に図示されるように、水平に対して角度 αだけ傾いている。そして、ワーク Wの一端（図 7においては右端）がワーク載置面 16に接触して、なおワーク吸着ヘッド 1が下降を続けると、ワーク吸着部 6及びワーク Wは、ワーク載置面 16と平行になるようにワーク Wの一端を支点として回動して、その姿勢を角度 αだけ傾ける。ロボットハンド先端のヘッド部 4の姿勢は不変であるから、ワーク吸着部 6及びワーク Wの前記傾き姿勢を可能にするためには、結局、倣い機構部 7の図 7において右側 2本のパネ脚片 17がその曲率を大きくして、上板部材 18の右端と下板部材 19の右端との間の距離が縮小されざるを得ない（図 7、図 8参照)。

[0034] なお、図 1、図 7〜図 9において、 Lは、ワーク吸着ヘッド 1の中心軸線であって、この中心軸線 Lは、負圧室 10及び孔 14の中心を通っており、ワーク吸着ヘッド 1が自然状態にある時、ワーク吸着面 8の中心を通るワーク吸着面 8に立てた垂線 L' (図 8 参照）と一致している。上記のようにして、ワーク吸着部 6及びワーク W力その姿勢を角度 αだけ傾ける時、これら中心軸線 Lと垂線 L'とは、角度 αだけ乖離する。

[0035] 次、で、この状態にお、て、負圧室 10の負圧状態を解除すると、ワーク Wのワーク吸着面 8への吸着が解除され、そこからの離脱が可能な状態になる力ワーク Wは、静電気力や界面張力等重力以外の力の影響を受けて、容易にはワーク吸着面 8から離脱しょうとしない。そこで、ワーク吸着ヘッド 1をわずかに上昇させると、負圧室 10 内のワーク押圧子 15が重力又は負圧の解除と同時に正圧への切替えによる圧力で落下して、そのピン部 15aがワーク吸着面 8を越えて突出する。そして、ワーク吸着面 8に吸着されていたワーク Wを押して、これをワーク吸着面 8から確実に離脱させる（図 9参照)。

[0036] 以後、ワーク吸着ヘッド 1を引き続き上昇させると、しばらくの間は、ピン部 15aがヮーク Wを押し続ける力やがて、ピン部 15aがワーク W力も完全に分かれて、ワーク吸着ヘッド 1は、ワークを吸着していない自由な状態になって、ワーク載置面 16から離れることができる。ピン部 15aがワーク Wを押し続ける「しばらくの間」は、ピン部 15aがワーク吸着面 8を越えて突出することが可能な長さだけ完全に突出し終えるまでの間である。この間、ピン部 15aがワーク Wを押し続けるので、ワーク吸着ヘッド 1がワーク載置面 16から離れるに際して、ワーク載置面 16に正しく載置されていたワーク Wの位置が位置ずれを生ずる虡がな！/、。

[0037] ワーク吸着ヘッド 1がワーク載置面 16に載置されたワーク Wを吸着するのには、以上の逆の手順で行えば良、。

この場合、ワーク吸着ヘッド 1は、そのワーク押圧子 15のピン部 15aがワーク Wを押した状態で、ワーク Wに接近し（図 9参照）、倣い機構部 7の作用でワーク Wと同じ姿勢に傾きながら、やがてこれに接触し、負圧の導通により、これを吸着することができる（図 8参照)。したがって、ワーク吸着ヘッド 1がワーク Wを吸着するに際して、ワーク Wが位置ずれを生ずる虡がな、。

[0038] 本実施例のワーク吸着ヘッド 1は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。

ワーク吸着ヘッド 1は、ワーク載置面 16の傾斜に倣いつつ、ワーク Wを正確、確実に吸着することができ、また、ワーク Wをワーク載置面 16に正確、確実に載置することができる。これらにより、ワーク載置面 16に対するワーク Wの正確、確実な着脱が可能になり、し力も、倣い機構部 7が、複数本の湾曲したパネ脚片 17の採用により弾性変形が容易な構造にされていて、 3次元空間内で適宜橈むことにより、ワーク Wに過大な応力が加わらな、ので、ワーク Wを損傷することもな、。

[0039] また、ワーク吸着ヘッド 1は、一体構造物から成るので、構造が簡単であり、その操作も、倣い機構部 7の作動により、回動操作が不要で、直線的で単純になり、操作性及び信頼性に優れている。

[0040] また、負圧室 10にはワーク押圧子 15が収容されており、このワーク押圧子 15は、吸気孔 9に挿通され、ワーク吸着面 8を越えて出没することができるピン部 15aを有しているので、例えば、吸着したワーク Wをワーク載置面 16に載置するに際して、負圧室の負圧が解除されると、ワーク押圧子 15のピン部 15aが重力によりワーク吸着面 8 を越えて突出してワーク Wを押すので、ワーク Wを確実にワーク吸着面 8から離脱させることができる。したがって、このワーク吸着ヘッド 1は、ワーク載置面 16の傾斜に倣いつつ、且つ、吸着したワーク Wをピン部 15aが押して確実に離脱させつつ、これをワーク載置面 16にさらに正確、確実に載置することができ、ワーク Wの位置ずれを生ずることがない。また、ワーク Wを吸着するに際しても、ワーク載置面 16の傾斜に倣いつつ、且つ、ワーク Wをピン部 15aが押しつつ、これをワーク吸着面 8にさらに正確、確実に吸着することができ、ワーク Wの位置ずれを生ずることがない。

[0041] さらに、倣い機構部 7の弾性変形が容易な構造は、複数本の湾曲したパネ脚片 17 を備えており、これら複数本の湾曲したパネ脚片 17が、平面視矩形状に形成された基台部 5とワーク吸着部 6とを、それらの各 4つの角部の対応する角部同士でそれぞれ連結していて、ワーク吸着面 8に作用する全方位の外力に対し、ワーク吸着面 8を同じように変位させるようにされて!、るので、倣、機構部 7の弾性変形が容易な構造をきわめて簡単な構成により得ることができるとともに、倣い機構部 7の制御が簡単になる（一定の傾斜に対しては、一定の力で倣わせることができる)。なお、本願の発明は、以上の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。

Claims

請求の範囲

[1] 軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりするために使用されるワーク吸着ヘッドが、

基台部と、

ワーク吸着部と、

前記基台部と前記ワーク吸着部とを連結する倣い機構部と

を備え、

これら基台部とワーク吸着部と倣い機構部とは、一体構造物力成っており、前記基台部は、前記ワーク吸着ヘッド自体をヘッド駆動機構に取り付けるための取付け面を有し、

前記ワーク吸着部は、ワークを吸着するためのワーク吸着面と、その内部に設けられ、吸気孔を介して前記ワーク吸着面に開口する負圧室とを有し、

前記倣い機構部は、弾性変形が容易な構造にされていて、 3次元空間内で適宜橈んで、前記ワーク吸着面を前記ワーク載置面の傾斜に倣わせるように作用するものである

ことを特徴とするワーク吸着ヘッド。

[2] 前記負圧室には、ワーク押圧子が収容されており、

前記ワーク押圧子は、前記吸気孔に挿通され、前記ワーク吸着面を越えて出没するピン咅を有する

ことを特徴とする請求項 1に記載のワーク吸着ヘッド。

[3] 前記倣い機構部の前記弾性変形が容易な構造は、複数本の湾曲したパネ脚片を備えており、

これら複数本の湾曲したパネ脚片が、前記基台部と前記ワーク吸着部とを複数個所でそれぞれ連結していて、前記ワーク吸着面に作用する全方位の外力に対し、前記ワーク吸着面を同じように変位させるようにされて!、る

ことを特徴とする請求項 1又は請求項 2に記載のワーク吸着ヘッド。

[4] 前記基台部と前記ワーク吸着部とは、それぞれ平面視矩形状に形成されて、て、複数本の前記湾曲したパネ脚片は、これら基台部とワーク吸着部との各 4つの角部の対応する角部同士を連結して、る

ことを特徴とする請求項 3に記載のワーク吸着ヘッド。