WO2007007418A1

WO2007007418A1 - トレイ保持装置

Info

Publication number: WO2007007418A1
Application number: PCT/JP2005/013434
Authority: WO
Inventors: Toshihito Seki; Hideo Uesawa; Yoji Shinozaki
Original assignee: Hirata Corporation
Priority date: 2005-07-14
Filing date: 2005-07-14
Publication date: 2007-01-18
Also published as: JP4680996B2; JPWO2007007418A1

Abstract

本発明のトレイ保持装置は、トレイを昇降させ得る昇降スペースを空けて前後方向(Y)に伸長する左右のフレーム(10)、前後方向に移動してカム作用を及ぼすべくフレームに対して往復動自在に支持された左右の力ムプレート(20)、カムプレートのカム作用により昇降スペースに対して出没するべくフレームに対して左右方向(X)に往復動自在に支持され,かつ,トレイを支持し得ると共に位置決めし得る左右の保持部材(30)、左右のカムプレートを連動して駆動する駆動機構(40)を備えている。これにより、構造の簡略化及び集約化、装置の小型化、装置の設置面積の省スペース化、トレイの保持(支持及び位置決め)に要する時間の短縮化等を達成しつつ、トレイを位置決めしつつ、積み重ねて保管又は積み重ねたトレイを分離して取り出すことができる。

Description

明細書トレイ保持装置技術分野

本発明は、電子機器等の部品を収容するトレィを保持するトレイ保持装置に関し、特に、トレイの位置決めを行いつつトレィを保持し、又は、複数のトレィを積み重ねて保持しあるいは積み重ねられたトレイを分離して取り出すトレイ保持装置に関する。 ' 背景技術

半導体チップ等の電子部品あるいはその他の機械部品等を搬送する場合、略矩形の輪郭に形成されて上方に複数の部品を保持（载置）又は収容できるトレイが使用されている。このトレィは、複数の部品を保持した状態又は空の状態で各種の作業場所に移送される。したがって、一度に複数のトレィを移送するとき又は移送したトレィを一定期間所定の場所に保管するときは、移送効率の向上、保管スペースの有効活用を図るために、複数のトレイを可能な限り積み重ねて移送し又は保管することが行われている。

そして、移送先において積み重ねられたトレイのうち最上段のトレイ又は最下段のトレィを、取り出し装置等により分離して取り出し、取り出したトレィを位置決めあるいはセンタリングして、トレイに保持されている部品を取り出して各種の作業を施し、その後、空になったトレィをそのまま又は部品を載せた後に再び積み重ねて保管あるいは移送することが行われている。

このようなトレイに保持された部品は主として小物であるため、取り出し装置により部品を掴んであるいは吸着して取り出す際に、トレイが所定の位置に正しく位置決めされていないと、把持ミスあるいは吸着ミス等を生じて、取り出し作業が確実に行われなレ、虞がある。

ところで、従来のトレイ保持装置としては、前後方向に伸長する左右一対のフレーム、一対のフレームの間に位置付けられたトレイに対して係合して下側から支持し得るように各々のフレーム上で左右方向に揺動可能に設けられた左右二対の支持部材（分離フック）、一対のフレームの間に位置付けられたトレイに対して当接しつつトレイを位置決めし得るように各々のフレーム上で左右方向に摇動可能に設けられた左右二対の位置決め用プッシャ、一対のフレーム上において直立した状態で前後方向に往復動自在に支持されて支持部材を往復動させるカム作用を及ぼすと共に位置決めプッシャを往復動させる力ム作用を及ぼす板状の左右一対のカムプレート、カムプレートを前後方向に駆動するリンク駆動機構等を備えたものが知られている（例えば、特開 2 0 0 2— 1 6 8 9 0 7号公報）。しかしながら、上記従来のトレイ保持装置においては、トレィを下側から支持し又支持したトレイを位置決めするために、それぞれ個別に駆動される専用の支持部材（分離フック）と位置決め用プッシャを採用しているため、部品点数が多くて構造が複雑であり、組付け作業が煩雑で、製造コストが高い等の問題がある。

また、カムプレートはフレームに対して直立した状態に支持され（すなわち、水平方向に幅広い主面を向けるように支持され）ているため、上下方向の高さ寸法が大きくなり、装置の小型化、薄型化が困難であり、それ故に、このトレィ保持装置を用いて複数のトレイを積み重ねて上下空間の有効利用を図るには不利でめる。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、構造の簡略化及び集約化、装置の小型化及ぴ薄型化、装置の設置面積の省スぺース化、トレイの保持（支持及び位置決め）に要する時間の短縮化等を図れ、トレイを効率良く積み重ね又は分離できるトレイ保持装置を提供することにある。発明の開示

上記の目的を達成する本発明のトレイ保持装置は、トレイを昇降させ得る昇降スペースを空けて前後方向に伸長する左右のフレームと、前後方向に移動して力ム作用を及ぼすベくフレームに対して往復動自在に支持された左右のカムプレートと、カムプレートのカム作用により昇降スペースに対して出没するべくフレームに対して左右方向に往復動自在に支持され，かつ，トレィを支持し得ると共に位置決めし得る左右の保持部材と、左右のカムプレートを連動して駆動する駆動機構と、を含む構成となっている。

この構成によれば、左右の保持部材が昇降スペースから左右両外側に後退した没入位置にある状態から、駆動機構により左右のカムプレートが前方又は後方に移動させられると、カムプレートのカム作用により左右の保持部材が昇降スぺース内に突出して、この領域に位置付けられたトレイを支持すると共に位置決めする。すなわち、左右の保持部材がお互いに近接するように移動するだけでトレイの支持及び位置決めが行われて所定位置に保持され、一方、左右の保持部材がお互いに離隔するように移動するだけで保持状態からトレイが解放される。

このように、トレイ保持装置が、左右のフレーム、左右のカムプレート、トレィの保持及立置決めの役割を兼ねる左右の保持部材、駆動機構等により構成されるため、構造の簡略化及び集約化、装置の小型化、装置の設置面積の省スぺース化、トレイの保持（支持及び位置決め）に要する時間の短縮化等を達成できる。

上記構成において、保持部材は、昇降スペースに向けて水平に突出しトレィを下側から支持する支持部と、支持部の付け根側において上方に突出しその側面にてトレィを当接させる位置決め部と、を一体的に有する、構成を採用することができる。

この構成によれば、左右の保持部材がお互いに近づく向きに移動すると、先ず支持部がトレイを下側から支持し、続いて支持部の外側に位置する位置決め部がトレイの縁部に当接して左右両側から挟み込んで位置決めする。

このように、支持部及び位置決め部が保持部材に対して一体的に形成されているため、従来のように別々に設ける場合に比べて部品点数を削減でき、構造を簡素化できると共に耐荷重性を高めることができる。また、トレィを支持するタイミングとトレィを位置決めするタイミングをずれることなく確実に所定のタイミングに設定することができ、それ故に、トレィを確実に安定した動作で保持すると共に位置決めすることができる。

上記構成において、左右のカムプレートは、左右のフレームに対して上下方向に主面を向けて扁平になるように配置されている、構成を採用することができる。

この構成によれば、カムプレートを直立させるのではなく横倒しにして支持するため、装置の厚み方向の寸法を小さくでき、装置の薄型ィ匕を達成できる。その結果、複数のトレィを上下方向に積み重ねて保持するようなところに、このトレィ保持装置が用いられると、装置を薄型化できる分だけ、トレィを積み重ねるスペースを有効に利用することができる。

上記構成において、左右のカムプレートは、左右のフレームに対して、凹凸嵌合により前後方向に摺動自在に支持されている、構成を採用することができる。この構成によれば、凹凸嵌合という簡単な連結構造により、カムプレートが摺動自在に支持されるため、構造の簡素化、装置の薄型化等を達成しつつ、カムプレートを前後方向に高精度に案内することができる。

上記構成において、保持部材は、下方に伸長するフォロワピンを有し、フレームは、フォロワピンを挿通させると共に左右方向にガイドするガイド長孔を有し、カムプレートは、フォロワピンを受け入れて、保持部材を昇降スペースから後退した没入位置及ぴ昇降スペースに向けて突出させてトレイを支持しその後に位置決めする突出位置に位置付けるようにカム作用を及ぼすカム溝を有する、構成を採用することができる。この構成によれば、装置の組付けに際しては、フレームの上側に保持部材を配置し、フレームの下側に往復動自在にカムプレートを連結し、保持部材のフォロヮピンをフレームのガイド長孔に通しさらにカムプレートの力ム溝に挿入する。このように、簡単な手順で装置を組付けることができる。そして、カムプレートを前方又は後方に移動させると、フォロワピンは、フレームのガイド長孔により左右方向に案内されつつカムプレートのカム溝によりカム作用を受けて、保持部材が没入位置から突出位置に移動して、トレイを下側から支持した後に水平面内において所定位置に位置決めする。このように、簡単な動作により、トレイの保持と位置決めを行うことができる。

上記構成において、カム溝は、没入位置及ぴ突出位置において、カムプレートの移動に拘わらず保持部材を停止させる遊び領域を含む、構成を採用することができる。

この構成によれば、カムプレートが保持部材を没入位置又は突出位置に位置付けた後に過移動しても、カム作用を生じない遊ぴ領域があるため、保持部材を所定の没入位置及び突出位置に高精度に位置付けることができ、又、過負荷を防止でき、それ故に装置の破損等を防止できる。

上記構成において、駆動機構は、上下方向に伸長する回転軸をもつ駆動モータと、回転軸に直結されたロータと、ロータの偏芯した位置に設けられた連結ピンと、連結ピンを揷入するべく左右方向に伸長して形成された連結長孔を有すると共に左右のカムプレートを連結する連結部材と、を含む構成を採用することができる。

この構成によれば、駆動モータが起動してロータが回転すると、連結ピンと連結長孔との連結を介してその回転力が連結部材に伝達され、左右のカムプレートは前後方向に移動して、保持部材は没入位置と突出位置との間を移動する。このように、駆動機構が、駆動モータに直結されたロータ、連結ピン、連結長孔、及び連結部材、すなわち、回転運動を直線運動に変換する簡単な構成により形成されているため、部品の集約化、装置の小型化等を達成できる。また、駆動モータの回転速度及び回転量を適宜制御することにより、保持部材の動作を微調整しつつきめ細かな動作を行わせることができ、トレイを確実にかつ高精度に保持し又位置決めすることができる。

上記構成において、昇降スペースにおいてトレィを昇降させる昇降機構を含む、構成を採用することができる。

この構成によれば、昇降機構により、トレイが昇降スペース内の所定の高さ位置に位置付けられると、駆動機構により左右のカムプレートが移動させられ、左右の保持部材が昇降スペース内に突出してトレイを支持すると共に位置決めする。また、昇降機構の往復動による複数のトレィを搬入し、保持部材により最下端に位置するトレイを保持すると共に位置決めすることにより、複数のトレィを位置決めしつつ積み重ねることができる。それ故に、トレィを保管する保管場所の省スペース化、トレィを搬送する際の搬送効率の向上等を達成できる。一方、逆の動作を行わせることにより、積み重ねられたトレイのうち最下端のトレィを効率良く分離して搬出することができる。

上記構成において、左右のフレーム、左右のカムプレート、左右の保持部材、及び駆動機構により形成されたトレイ保持機構が水平方向に複数配列して設けられたベースと、複数のトレイ保持機構の相互間においてトレイを移送するべくベースに設けられた移送機構と、昇降スペースにおいてトレィを昇降させるベくベースに設けられた昇降機構と、を含む構成を採用することができる。

この構成によれば、ベース上に設けられた複数のトレイ保持機構において、それぞれトレィを積み重ねて保持することができ、又、移送機構により、トレィ保持機構相互間でのトレイの受け入れ及ぴ受け渡しを行うことができる。

したがって、装置の設置面積の省スペース化を達成しつつ、複数のトレィを積み重ねた状態で保持し、又は積み重ねたトレィを移送することができる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明に係るトレイ保持装置の一実施形態を示す平面図である。図 2は、図 1に示すトレイ保持装置の右側面図である。

図 3は、図 1に示すトレイ保持装置の一部断面を含む背面図である。

図 4は、図 1に示すトレィ保持装置の一部を拡大した部分拡大平面図である。図 5 Aは、図 1に示すトレイ保持装置の右側のフレーム及び保持部材を示す部分平面図であり、図 5 Bは、図 1に示すトレイ保持装置の右側のフレーム及び保持部材を示す部分側断面図である。

図 6 Aは、図 5 B中の E 1— E 1における断面図であり、図 6Bは、図 5B中の E 2— E 2における断面図である。

図 7 Aは、図 1に示すトレィ保持装置の右側のフレーム及ぴカムプレートを示す部分平面図であり、図 7Bは、図 1に示すトレイ保持装置の右側のフレーム及ぴカムプレートの一部断面を含む部分平面図である。

図 8は、図 1に示すトレイ保持装置の動作を説明するための平面図である。図 9A，図 9B，図 9Cは、トレイ保持装置の動作を説明するものであり、図 9 Aは保持部材が没入位置にある状態を示す平面図、図 9 Bは保持部材が没入位置と突出位置との中間にある状態を示す平面図、図 9 Cは保持部材が突出位置にある状態を示す平面図である。

図 10A, 図 10B, 図 10C, 図 10Dは、移送機構により搬入したトレイを昇降機構により持ち上げて保持部材で保持すると共に位置決めする動作を示す動作図である。

図 11A，図 1 1 B，図 1 1 C，図 1 1D，図 1 1 E, 図 1 1 Fは、移送機構により搬入したトレイを昇降機構により持ち上げて保持部材で支持及び位置決めしつつ、複数のトレイを積み重ねる動作を示す動作図である。

図 12A, 図 12B，図 12C，図 12D，図 12Eは、積み重ねられたトレィのうち最下端のトレイを分離して搬出する動作を示す動作図である。図 1 3は、本発明に係るトレィ保持装置の他の実施形態を示す右側面図である。

図 1 4は、図 1 3に示すトレィ保持装置の正面図である。

図 1 5は、図 1 3に示すトレイ保持装置の平面図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の最良の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。このトレィ保持装置は、図 1ないし図 7に示すように、トレイ Tを昇降させ得る昇降スペース Sを空けて前後方向 Yに伸長すると共に後端側が連結されたフレ —ム 1 0、フレーム 1 0に対して前後方向 Yに往復動自在に支持された左右の力ムプレート 2 0、カムプレート 2 0のカム作用により昇降スペース Sに対して出没するべくフレーム 1◦に対して左右方向 Xに往復動自在に支持された左右の保持部材 3 0、左右のカムプレート 2 0を連動して駆動する駆動機構 4 0を備えている。

フレーム 1 0は、図 1に示すように、全体として略扁平に形成され、昇降スぺース sを空けて前後方向 Yに伸長する左右のフレーム 1 1、左右方向 Xに伸長して左右のフレーム 1 1同士を後端側にて連結する連結フレーム 1 2等を備えている。

左右のフレーム 1 1には、図 5 B、図 6 A、図 7 Bに示すように、保持部材 3 0を摺動自在に支持する凹部 1 1 aが形成され、凹部 1 1 aの底面には後述する保持部材 3 0のフォロワピン 3 4を揷通させると共に左右方向 Xにガイドするガィド長孔 1 1 bが形成されている。また、左右のフレーム 1 1には、図 5 B、図 6 B、図 7 Bに示すように、前後方向 Yに伸長すると共に断面が凹状に形成されたリニアガイド 1 1 cが形成されている。このリエァガイド 1 1 cは、カムプレ —ト 2 0に形成された後述する断面凸状のリ二了レール 2 2を嵌合させて前後方向 Yに摺動自在に案内するものである。連結フレーム 1 2は、その上面において後述する駆動機構 4 0の駆動モータ 4 1を堅固に保持し、その内部ないしは下側において後述する駆動機構 4 0のロータ 4 2を回動自在に支持し、又、後述する連結部材 4 3を前後方向 Yに往復動自在に支持レている。

左右のカムプレート 2 0は、図 3、図 5 A、図 5 B、図 6 A、図 6 B、図 7 A 、図 7 Bに示すように、左右のフレーム 1 1に対して前後方向 Yに往復動自在に、かつ、その主面を上下方向 Zに向けて扁平になるように支持されている。左右のカムプレート 2 0は、フォロワピン 3 4を受け入れてカム作用を及ぼすそれぞれ 2つのカム溝 2 1、フレーム 1 1のリニアガイド 1 1 cに摺動自在に嵌合される断面凸状のリニアレール 2 2等を備えている。

このように、左右のカムプレート 2 0は、リニアガイド 1 1 cとリニアレール

2 2の凹凸嵌合により前後方向 Yに摺動自在に支持されている。すなわち、凹凸嵌合という簡単な連結構造により、カムプレート 2 0が摺動自在に支持されるため、構造の簡素化、装置の薄型化等を達成しつつ、カムプレート 2 0を前後方向 Yに高精度で滑らかに案内することができる。

そして、左右のカムプレート 2 0は、それぞれの後端側が左右方向 Xに伸長する後述の連結部材 4 3に連結されて、一緒に往復動するようになっている。ここで、カム溝 2 1は、昇降スペース Sから後退した没入位置〜昇降スペース Sに突出した突出位置の間で保持部材 3 0を移動させるカム作用を及ぼすものであり、左右対称となるように形成されている。

また、カム溝 2 1には、図 7 Aに示すように、没入位置側においてカム作用を及ぼさない遊ぴ領域 2 1 aが形成され、突出位置側においてカム作用を及ぼさない遊び領域 2 1 bが形成されている。したがって、カムプレート 2 0が保持部材

3 0を没入位置又は突出位置に位置付けた後に過移動しても、カム作用を生じない遊び領域 2 1 a , 2 1 bがあるため、保持部材 3 0を所定の没入位置及び突出位置に高精度に位置付けることができ、又、過負荷を防止でき、それ故に装置の破損等を防止できる。また、保持部材 3 0に不意の外力が加わっても、遊び領域 2 1 a , 2 1 bがストツパ的な口クタ機能を果たして、不用意に動作するのを防止できる。

さらに、左右のカムプレート 2 0は、左右のフレーム 1 1に対して上下方向 Z に主面を向けて扁平になるように配置されている、すなわち、カムプレート 2 0 を直立させるのではなく横倒しにして支持しているため、装置の厚み方向（上下方向 Z ) の寸法を小さくでき、装置の薄型ィ匕を達成できる。その結果、複数のトレイ Tを上下方向 Zに積み重ねて保持するようなところに、このトレィ保持装置が用いられると、装置を薄型化できる分だけ、トレィを積み重ねるスペースを有効に利用することができる。

左右の保持部材 3 0は、図 1、図 5 A、図 5 B、図 6 A、図 8に示すように、フレーム 1 1の凹部 1 1 aに支持される基部 3 1、基部 3 1から昇降スペース S に向けて水平に突出しトレイ Tを下側から支持する支持部 3 2、支持部 3 2の付け根側において上方に突出しその側面にてトレイ Tを当接させる位置決め部 3 3 、基部 3 1から下方に突出するフォロワピン 3 4等を一体的に備えており、左右のフレーム 1 1上にそれぞれ 2個ずつ配置されている。尚、支持部 3 2は、図 6 Aに示すように、上面先端側が角取り又は湾曲して形成されており、トレイ Tを円滑に受け入れるようになつている。

すなわち、カムプレート 2 0のカム作用により、左右の保持部材 3 0がお互いに近づく向き（昇降スペース S内に突出する向き）に移動すると、先ず支持部 3 2力 Sトレィ Tを下側から支持し、続レ、て支持部 3 2の外側（昇降スペース Sから遠ざかる側）に位置する位置決め部 3 3がトレイ Tの縁部に当接して左右両側から挟み込んで位置決めするようになっている。

このように、支持部 3 1及び位置決め部 3 2が保持部材 3 0に対して一体的に形成されているため、従来のように別々に設ける場合に比べて部品点数を削減でき、構造を簡素化できると共に耐荷重性を高めることができる。また、トレイ T

0 を支持するタイミングとトレイ Tを位置決めするタイミングを、ずれることなく確実に所定のタイミングに設定することができ、それ故に、トレイ Tを確実に安定した動作で保持すると共に位置決めすることができる。

駆動機構 4 0は、図 1ないし図 4、図 8に示すように、上下方向 Zに伸長する回転軸 4 1 aをもつ駆動モータ 4 1、回転軸 4 1 aに直結されたロータ 4 2、口ータ 4 2の偏芯した位置に設けられた連結ピン 4 2 a、連結ピン 4 2 aを挿入するべく左右方向 Xに伸長して形成された連結長孔 4 3 aを有すると共に左右の力ムプレート 2 0を連結する連結部材 4 3等を備えている。

ここで、ロータ 4 2には、図 3及び図 4に示すように、被検出片 4 2 bが設けられており、フォトインタラプタ等の検出センサ 4 4によりその回転量が検出されるようになっている。

すなわち、図 8に示すように、駆動モータ 4 1が起動してロータ 4 2が回転すると、連結ピン 4 2 aと連結長孔 4 3 aとの連結を介して、ロータ 4 2の回転力が連結部材 4 3に伝達される。そして、連結部材 4 3の移動に伴って、左右の力ムプレート 2 0は前後方向 Yに移動し、カム溝 2 1のカム作用により、 4つの保持部材 3 0は没入位置 P 0と突出位置 P 1との間を移動する。

このように、駆動機構 4 0が、駆動モータ 4 1、ロータ 4 2、連結ピン 4 2 a 、連結長孔 4 3 a、及ぴ連結部材 4 3、すなわち、回転運動を直線運動に変換する簡単な構成により形成されているため、部品の集約化、装置の小型化等を達成できる。また、駆動モータ 4 1の回転速度及ぴ回転量を適宜制御することにより、保持部材 3 0の動作を微調整しつつきめ細かな動作を行わせることができ、トレイ Tを確実に勝つ高精度に保持し又位置決めすることができる。

次に、このトレイ保持装置によるトレイ Tの支持及び位置決めによる保持動作について、図 9 A〜図 1 O Dを参照しつつ説明する。尚、ここでは、トレイ Tを昇降スペース S内の所定高さに位置付けるための昇降機構 5 0、及ぴトレイ Tを昇降スペース S内に移送するための移送機構 6 0を採用している。

1 昇降機構 5 0は、図 1 0 A〜図 1 0 Dに示すように、油圧又は空気圧等により上下方向 Zに伸縮するァクチユエータ 5 1、ァクチユエータ 5 1の上端部に固定されてトレイ Tを担持するテーブル 5 2等を備えている。

移送機構 6 0は、トレイ Tを他の位置から水平方向に移動させて昇降スペース S内に搬入するものであり、コンベア、ハンドラ等各種の機構が採用される。先ず、図 9 Aに示すように、左右のカムプレート 2 0が前方 Fの移動端に位置する状態で、左右の保持部材 3 0は、図 9 A及ぴ図 1 O Aに示すように、昇降スペース Sから後退した没入位置 P 0に位置し、又、トレイ Tは、コンベア等の移送機構により、昇降スペース Sの移送高さ位置 H 0に搬入される。

そして、図 1 0 Bに示すように、昇降機構 5 0が作動して、テーブル 5 2が上昇してトレイ Tを担持すると共に保持可能位置 H 1まで持ち上げる。

続いて、図 9 Bに示すように、駆動モータ 4 1が起動して、ロータ 4 2が時計回りに回転すると、連結ピン 4 2 a及ぴ連結長孔 4 3 aの連結を介して、左右のカムプレート 2 0が前後方向 Yの後方 Rに向けて移動し、左右の保持部材 3 0が、昇降スペース S内に向けて突出するように移動して、支持部 3 2がトレイ丁の縁部下側に滑り込むようにしてトレイ Tを支持し始める。

そして、左右のカムプレート 2 0が後方の所定位置（カム溝 2 1の傾斜領域を過ぎて遊び領域 2 1 bの始まり領域に対応する位置）まで移動すると、図 9 C及び図 1 0 Dに示すように、左右の保持部材 3 0がさらに昇降スペース S内に向けて移動して突出位置 P 1に至り、左右の保持部材 3 0の位置決め部 3 3がトレイ Tの縁部に当接して、トレイ Tを左右方向 Xの両側から挟持し、左右方向 Xの中心位置（昇降スペース Sの中心位置）に位置決めする。

このとき、カム溝 2 1には、遊び領域 2 1 bが設けられているため、カムプレート 2 0が保持部材 3 0を突出位置 P 1に位置付けた後に過移動しても、保持部材 3 0を所定の突出位置 P 1に高精度に位置付けることができ、又、過負荷を防止でき、それ故に装置の破損等を防止できる。その後、昇降機構 5 0のテープ 5 2は、図 1 0 Dに示すように、下方の休止位置まで下降する。

すなわち、左右の保持部材 3 0がお互いに近接するように移動するだけで、トレイ Τを支持しつつ位置決めして所定位置に保持することができ、一方、左右の保持部材 3 0がお互いに離隔するように移動するだけで、トレイ Τを保持状態から解放することができる。

このように、トレイ保持装置として、左右のフレーム 1 1、左右のカムプレート 2 0、トレイ Τの支持及立置決めの役割を兼ねる左右の保持部材 3 0、回転運動を直線運動に変換する駆動機構 4 0等を採用したことにより、構造の簡略化及び集約化、装置の小型化、装置の設置面積の省スペース化、トレイ Τの保持（支持及び位置決め）に要する時間の短縮化等を達成できる。

次に、このトレィ保持装置によりトレイ Τを上下方向 Ζに積み重ねる動作につレ、て、図 1 1 Α〜図 1 1 Fを参照しつつ説明する。尚、ここでも、前述同様に、トレイ Tを昇降スペース S内の所定高さに位置付けるための昇降機構 5 0、及ぴトレイ Tを昇降スペース S内に移送する移送機構 6 0を採用している。

先ず、図 1 1 Aに示すように、左右の保持部材 3 0が突出位置に位置して、トレイ Tを支持部 3 2により支持すると共に位置決め部 3 3により位置決めした状態において、移送機構 6 0により次のトレィ T を昇降スペース S内に搬入する。

続いて、図 1 1 Bに示すように、昇降機構 5 0が作動して、テーブル 5 2が上昇して移送高さ位置 H 0にあるトレイ T を上側のトレイ Tの下面に当接させると共に保持解除可能位置 H 2まで持ち上げる。これにより、上側のトレイ Tは保持部材 3 0の支持部 3 2及び位置決め部 3 3から離脱する。

続いて、駆動モータ 4 1が起動して、ロータ 4 2が反時計回りに回転すると、連結ピン 4 2 a及び連結長孔 4 3 aの連結を介して、左右のカムプレート 2 0力 S 前後方向 Yの前方 Fに向けて移動し、図 1 1 Cに示すように、左右の保持部材 3

3 0が昇降スペース S内から後退するように移動し、支持部 3 2がトレイ Tの縁部下側から離隔した没入位置 P 0に至る。

そして、図 1 1 Dに示すように、昇降機構 5 0が作動して、テーブル 5 2が上昇して下側のトレイ T を保持可能位置 H 1まで持ち上げる。

続いて、駆動モータ 4 1が逆向きに起動して、ロータ 4 2が時計回りに回転すると、連結ピン 4 2 a及び連結長孔 4 3 aの連結を介して、左右のカムプレート 2 0が前述同様に前後方向 Yの後方 Rに向けて移動する。

そして、図 1 1 Eに示すように、左右の保持部材 3 0力昇降スペース S内に向けて突出して、支持部 3 2がトレイ T の縁部下側に滑り込んでトレイ T を支持すると共に位置決め部 3 3により位置決めする。

その後、昇降機構 5 0のテーブル 5 2は、図 1 1 Fに示すように、下方の休止位置まで下降する。

これにより、二つのトレイ Τ， Τ は、二段に積み重ねられた状態で、保持部材 3 0により位置決めされつつ保持される。

すなわち、左右の保持部材 3 0の近接及び離隔動作を繰り返すと共に、昇降機構 5 0により新たなトレイ Τ 'を所定高さの保持可能位置 Ρ 1まで持ち上げるだけで、複数のトレイ Τを上下方向 Ζに高精度に位置決めしつつ積み重ねることができる。

次に、このトレィ保持装置により、上下方向 Ζに積み重ねられた複数のトレイ Τのうち最下端にあるトレィ Τを分離して搬出する動作について、図 1 2 A〜図 1 2 Εを参照しつつ説明する。尚、ここでも、前述同様に、トレイ Τを昇降スぺース S内の所定高さに位置付けるための昇降機構 5 0、及びトレィ Τを昇降スぺース S内から外側の他の場所に移送するための移送機構 6 0を採用している。先ず、図 1 2 Αに示すように、左右の保持部材 3 0は、突出位置 P 1に位置しており、上下方向 Zに積み重ねられた複数のトレイ Tのうち最下端に位置するトレイ Tを、支持部 3 2により支持すると共に位置決め部 3 3により位置決めした状態にある。

そして、図 1 2 Bに示すように、昇降機構 5 0が作動して、テーブル 5 2が上昇して最下端に位置するトレイ Tに当接して積み重ねられた複数のトレイ Tを担持して若干持ち上げる。これにより、最下端に位置するトレイ Tは保持部材 3 0 の支持部 3 2及ぴ位置決め部 3 3から離脱する。

続いて、駆動モータ 4 1が起動して、ロータ 4 2が反時計回りに回転すると、連結ピン 4 2 a及び違結長孔 4 3 aの連結を介して、左右のカムプレート 2 0が前後方向 Yの前方 Fに向けて移動し、図 1 2 Cに示すように、左右の保持部材 3 0が昇降スペース S内から後退するように移動し、支持部 3 2がトレイ Tの縁部下側から離隔した没入位置 P 0に至る。この状態で、昇降機構 5 0が作動して、テーブル 5 2が複数のトレイ Tを担持した状態で下降し、下から二段目のトレィ Tを保持可能位置 P 1に位置付ける。

そして、図 1 2 Dに示すように、左右の保持部材 3 0力昇降スペース S内に向けて突出して突出位置 P 1に至ると、支持部 3 2が二段目のトレィ Tの縁部下側に滑り込んでトレイ Tを支持すると共に、位置決め部 3 3がトレイ Tの縁部に当接してトレイ Tを位置決めする。

続いて、図 1 2 Eに示すように、昇降機構 5 0が作動して、テーブル 5 2は最下端のトレイ Tを二段目のトレイ Tから分離して、移送可能位置 H 0に位置付ける。その後、分離されたトレイ Tは移送機構 6 0により他の場所に移送される。すなわち、左右の保持部材 3 0の近接及び離隔動作を繰り返すと共に、昇降機構 5 0により最下端に位置するトレイ Tの分離動作を行うだけで、積み重ねられた複数のトレイ Tのうち最下端に位置するトレイ Tを容易に分離及び搬出することができる。

5 図 1 3ないし図 1 5は、本発明に係るトレイ保持装置の他の実施形態を示すものである。この実施形態に係るトレィ保持装置は、前述のフレーム 1 0、左右のカムプレート 2 0、左右の保持部材 3 0、及び駆動機構 4 0からなる構成を一つのトレイ保持機構 Uとして、複数（ここでは 4つ）のトレイ保持機構 Uを水平方向（前後左右）に配列して形成したものである。尚、この実施形態においては、後方側 Rに配置される 2つのトレイ保持機構 Uに含まれる駆動機構 4 0は下向きに突出するように配置されて、上側からのトレイ Tの搬入及び搬出を容易に行えるようになっている。

すなわち、このトレィ保持装置は、図 1 3ないし図 1 5に示すように、各種の部品を保持及ぴ固定するベース 1 0 0、ベース 1 0 0上において前後左右に配列された複数（ここでは 4つ）のトレイ保持機構 U、前後方向 Yに配列されたトレィ保持機構 Uの相互間においてトレィ Tを移送するべくベース 1 0 0に設けられた複数（ここでは 2つ）の移送機構 1 1 0、各々のトレイ保持機構 Uの昇降スぺース Sにおいてトレイ Tを昇降させるベくベース 1 0◦に設けられた複数（ここでは 4つ）の昇降機構 1 2 0、積み重ねられたトレイ Tのずれを規制する規制部材 1 3 0、トレイ Tを検出する検出センサ 1 4 0等を備えている。

移送機構 1 1 0は、前後方向 Yに配列されたトレイ保持機構 Uの相互間において、一方から他方にトレイ Tを移送するものであり、図 1 3に示すように、駆動モータ 1 1 1、ガイドレーノレ 1 1 2、ガイドレール 1 1 2上を移動するテーブル 1 1 3、駆動モータ 1 1 1の回転力を直線移動に変換してテーブル 1 1 3に伝達する伝達機構（例えば、リードスクリュー及ぴナット、その他の機構）等を備えている。尚、移送機構としては、その他にローラやベルト等のコンベアを採用しでもよい。

昇降機構 1 2 0は、油圧又は空気圧等により上下方向 Zに伸縮するァクチユエータ 1 2 1、ァクチユエータ 1 2 1に固定されてトレイ Tを担持するテーブル 1 2 2等を備えている。規制部材 1 3 0は、積み重ねられたトレイ Tの四隅に位置して、トレイ Tのずれを規制するものである。

検出センサ 1 4 0は、積み重ねられたトレイ Tの高さ（枚数）を検出するものであり、好ましくは光反射型あるいは光透過型の光センサ等が適用される。この装置によれば、ベース 1 0 0上に設けられた複数のトレイ保持機構 Uにおいて、それぞれトレイ Tを積み重ねて保持することができ、又、移送機構 1 1 0 により、トレイ保持機構 U相互間でのトレイ Tの受け入れ及び受け渡しを行うことができる。したがって、装置の設置面積の省スペース化を達成しつつ、複数のトレイ Tを積み重ねた状態で保持し、又は積み重ねたトレイ Tを移送することができる。

上記のように、このトレィ保持装置によれば、構造の簡略化及び集約化、装置の小型化及び薄型化、装置の設置面積の省スペース化、トレイ Tの保持（支持及置決め）に要する時間の短縮ィ匕等を達成でき、トレイ τを効率良く積み重ね又は分離することができる。

上記実施形態にぉ、ては、左右の保持部材 3 0として左右に 2つずつ配置した場合を示したが、一つの保持部材の前後方向 Yにおける支持部 3 2及び位置決め部 3 3の幅を大きく設定すれば、左右に 1つずつ配置してもよく、あるいは、左右にそれぞれ 3つ以上の保持部材を配列してもよレ、。

上記実施形態においては、保持材 3 0として支持部 3 2及立置決め部 3 3 を一体的に形成したものを示したが、これに限定されるものではなく、別個に形成されてその後一体的に結合されたものを採用してもよい。

上記実施形態においては、ベース 1 0 0上において 4つのトレイ保持機構 Uを配列して形成した場合を示したが、これに限定されるものではなく、 2つあるいは 5つ以上のトレイ保持機構 Uを配列してもよレ、。

上記実施形態においては、駆動機構 4 0として、駆動モータ 4 1、ロータ 4 2

、連結部材 4 3等を示したが、これに限定されるものではなく、直線的に往復動

7 すると共にカムプレートに直結された電磁ァクチユエータを採用し、この電磁ァクチユエータのオン Zオフによりカムプレートを往復動させる構成を採用してもよい。産業上の利用可能性

以上述べたように、本発明のトレイ保持装置は、構造の簡略化及び集約化、装置の小型化及び薄型化、装置の設置面積の省スペース化、トレイの保持（支持及び位置決め）に要する時間の短縮化等を達成しつつ、トレイを効率良く積み重ね又は分離できるため、半導体製造ライン等での電子部品の搬送あるいは保管に用いられるトレイに適用できるのは勿論のこと、その他の電子 Μ§あるいは機械部品を収容するトレイの搬送あるいは保管にも有用である。

8

Claims

請求の範囲

1 . トレイを昇降させ得る昇降スペースを空けて前後方向に伸長する左右のフレームと、

前後方向に移動して力ム作用を及ぼすベく前記フレームに対して往復動自在に支持された左右のカムプレートと、

前記力ムプレートのカム作用により前記昇降スペースに対して出没するべく前記フレームに対して左右方向に往復動自在に支持され，かつ，トレィを支持し得ると共に位置決めし得る左右の保持部材と、

前記左右のカムプレートを連動して駆動する駆動機構と、

を含む、トレイ保持装置。

2 . 前記保持部材は、前記昇降スペースに向けて水平に突出しトレイを下側から支持する支持部と、前記支持部の付け根側において上方に突出しその側面にてトレイを当接させる位置決め部と、を一体的に有する、

ことを特徴とする請求の範囲第 1項に記載のトレイ保持装置。

3 . 前記左右のカムプレートは、前記左右のフレームに対して上下方向に主面を向けて扁平になるように配置されている、

4 . 前記左右のカムプレートは、前記左右のフレームに対して、凹凸嵌合により前後方向に摺動自在に支持されている、

5 . 前記保持部材は、下方に伸長するフォロワピンを有し、前記フレームは、前記フォロワピンを揷通させると共に左右方向にガイドするガイド長孔を有し、

前記カムプレートは、前記フォロワピンを受け入れて、前記保持部材を前記昇降スペースから後退した没入位置及び前記昇降スペースに向けて突出させてトレ

9 ィを支持しその後に位置決めする突出位置に位置付けるようにカム作用を及ぼすカム溝を有する、

6 . 前記カム溝は、前記没入位置及ぴ突出位置において、前記カムプレートの移動に拘わらず前記保持部材を停止させる遊ぴ領域を含む、ことを特徴とする請求の範囲第 5項に記載のトレイ保持装置。

7 . 前記駆動機構は、上下方向に伸長する回転軸をもつ駆動モータと、前記回転軸に直結されたロータと、前記ロータの偏芯した位置に設けられた連結ピンと、前記連結ピンを揷入するべく左右方向に伸長して形成された連結長孔を有すると共に前記左右のカムプレートを連結する連結部材と、を含む、ことを特徴とする請求の範囲第 1項に記載のトレイ保持装置。

8 . 前記昇降スペースにおいてトレイを昇降させる昇降機構を含む、ことを特徴とする請求の範囲第 1項に記載のトレイ保持装置。

9 . 前記左右のフレーム、前記左右のカムプレート、前記左右の保持部材、及ぴ前記駆動機構により形成されたトレイ保持機構を水平方向に複数配列して保持するベースと、

前記複数のトレイ保持機構の相互間においてトレイを移送するべく前記ベースに設けられた移送機構と、

前記昇降スペースにおいてトレイを昇降させる昇降機構と、を含む、ことを特徴とする請求の範囲第 1項に記載のトレイ保持装置。