WO2006062152A1

WO2006062152A1 - 中継接続部材、検査装置および中継接続部材の製造方法

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Publication number: WO2006062152A1
Application number: PCT/JP2005/022535
Authority: WO
Inventors: Hiroyasu Sotoma; Toshio Kazama
Original assignee: NHK Spring Co Ltd
Current assignee: NHK Spring Co Ltd
Priority date: 2004-12-08
Filing date: 2005-12-08
Publication date: 2006-06-15
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Abstract

　検査対象の端子の狭小化に対応しつつ、検査対象との電気的接続および内部における電気的接続を充分確保可能な検査装置を実現する。　プローブ３と、プローブ３を保持するプローブホルダ４と、プローブ３を介して検査対象１に対して検査信号を出力する検査回路５と、プローブ３と検査回路５とを電気的に接続する中継接続部材６とを備える。中継接続部材６は、プローブ３と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に形成された第１配線構造１１、１２を備えた第１接続部材８と、検査回路５に備わる配線構造７と電気的に接続され、同一層上に形成された第２配線構造１６を備えた第２接続部材９とを有する。中継接続部材６は、プローブ３との接続に適した第１接続部材８と、検査回路５との接続に適した第２接続部材９とを備えることによって、両者に対する良好な電気的導通を実現できる。

Description

明細書

中継接続部材、検査装置および中継接続部材の製造方法

技術分野

[0001] 本発明は、所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と一端が接触する複数のプローブの他端と、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材、中継接続部材を用いた検査装置および中継接続部材の製造方法に関するものである。

背景技術

[0002] 従来、液晶パネル等の電子部品に対して電気特性検査を行うための検査装置が知られている。このような検査装置としては、例えば、図 5に示すように、電子部品たる検査対象 101に備わる端子 101aに対応して多数設けられた複数のプローブ 102と、複数のプローブを保持するプローブホルダ 103と、所定の検査信号の出力等を行う検査回路 105と、プローブと検査回路との間を電気的に接続するための中継接続部材 104とによって形成される。力かる構成を採用することによって、検査の際には、検査回路 105より出力された検査信号は、中継接続部材 104に備わるシート部材 10 7上に形成された配線構造 106およびプローブ 102を経由して検査対象 101たる電子部品に入力し、電子部品内の回路の処理を経て応答信号がプローブ 102および配線構造 106を経由して検査回路 105に入力される（例えば、特許文献 1参照)。

[0003] 検査回路 105としては、専用の電子回路を用いることとしても良いが、例えば電子部品の動作試験を行う等の場合には、電子部品を製品に実装した際に実際に使用される電子回路を用いることが好ましい。例えば、液晶パネルの検査を行う検査装置においては、検査回路 105として実装時に用いられるドライバ ICを備えた TAB(Tape Automated Bonding)を使用するのが一般的である。検査回路 105として製品レべルで使用される電子回路を用いる理由は、実際の使用状況に近、条件下で検査を行うことが好ましいことと、別途検査専用の電子回路を作製することによる検査コストの上昇を回避するためである。

[0004] 特許文献 1 :特開平 8— 222299号公報発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] し力しながら、従来の検査装置では、中継接続部材 104とプローブ 102の電気的接続および中継接続部材 104と検査回路 105の電気的接続に不具合が生じる可能性が否定できないという課題を有する。以下、力かる課題について説明する。

[0006] 液晶パネル等の電子部品は近年小型化の傾向が顕著であり、かかる傾向に鑑みて検査の際に検査信号の入出力が行われる複数の端子についても、小型化および隣接する端子間の間隔が狭小化するという傾向が見られる。力かる傾向に対応して、検査装置においてもプローブ 102の配置間隔の狭小化および中継接続部材 104中に形成する複数の配線構造 106の間隔を狭小化する必要性が生じる。このため、従来の検査装置では、特に、プローブ 102と中継接続部材 104中に形成した配線構造 106との間で電気的接続を行うためには、プローブ 102と中継接続部材 104との間できわめて正確な位置あわせを行う必要があり、検査装置の作製を困難なものとしていた。

[0007] また、従来の検査装置では、プローブ 102と中継接続部材 104中の配線構造 106 との接続は、ハンダ等で固定することによって実現するのではなぐ配線構造 106と別体に形成されたプローブ 102が、配線構造 106に対して所定の荷重を印加しつつ物理的に接触することによって実現する。このため、位置ずれした状態でプローブ 10 2が配線構造 106に接触した場合または配線構造 106に接触した後にプローブ 102 が位置ずれした場合には、プローブ 102との間に生じる摩擦力に起因して配線構造 106の形状が変化し、隣接する配線構造間で電気的に短絡を生じる等の新たな問題が発生する。

[0008] さらに、従来の検査装置は、中継接続部材 104と検査回路 105との間の電気的接続に関しても問題を有する。図 5に示すように、検査対象 101に備わる端子 101aと配線構造 106とは向かい合った状態でプローブ 102を介した電気的接続を実現しており、この結果、図 5における紙面垂直方向に関する複数の端子 101aの配列パターンは、鏡に映したのと同様の理由で配線構造 106において反転することとなる。このため、検査回路 105は、配列パターンが反転した中継接続部材 104に対して電気的に接続する必要が生じることとなり、図 5に示すように、中継接続部材 104と検査回路 1 05とは、いわゆる「く」の字状に接続する必要性が生じることとなる。力かる接続態様は物理的に無理が生じた構造であることから、例えば物理的な強度が低い部分において配線構造 106等に断線が生じるなどの問題が新たに生じることとなる。

[0009] 本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、検査対象に備わる端子の狭小化に対応しつつ、検査対象との電気的接続および内部における電気的接続を充分確保可能な検査装置、検査装置を構成する中継接続部材および中継接続部材の製造方法を実現することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0010] 上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項 1にかかる中継接続部材は、所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と一端が接触する複数のプローブの他端と、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材であって、それぞれの一端において複数の前記プローブの他端と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に位置し、他端が所定長以上に渡って表面に露出した複数の第 1配線構造が形成された第 1接続部材と、一端において所定長だけ表面に露出した前記第 1配線構造の他端と接触し、他端において前記検査回路と電気的に接続する複数の第 2配線構造が同一層上に形成された第 2接続部材と、を備えたことを特徴とする。

[0011] この請求項 1の発明によれば、隣接する第 1配線構造を異なる層上に形成することによって同一層上における第 1配線構造の間隔を広げ、プローブと第 1配線構造との間の電気的導通を充分に確保可能な第 1接続部材と、第 1接続部材と検査回路とを電気的に接続する第 2配線構造を同一面上に形成することによって検査回路に対する電気的接続を充分に確保可能な第 2接続部材とを備えたことによって、プローブと検査回路との間の電気的導通を充分に確保することが可能である。

[0012] また、請求項 2にかかる中継接続部材は、上記の発明において、前記第 1接続部材は、絶縁部材によって形成され、上面に 1以上の前記第 1配線構造が形成されたシート部材を複数積層した構造を有し、隣り合う前記第 1配線構造は、互いに異なるシート部材上に形成されたことを特徴とする。 [0013] また、請求項 3にかかる検査装置は、所定の検査対象に対して該検査対象に備わる複数の端子を介して電気信号を入出力することによって検査を行う検査装置であつて、前記検査対象上に形成された複数の前記端子のそれぞれと一端が接触する複数のプローブと、複数の前記プローブを前記端子に対応した位置に収容するプローブホルダと、それぞれの一端にお!、て複数の前記プローブの他端と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に位置し、他端が所定長以上に渡って表面に露出した複数の第 1配線構造が形成された第 1接続部材と、一端において所定長だけ表面に露出した前記第 1配線構造の他端と接触し、他端において前記検査回路と電気的に接続する複数の第 2配線構造が同一層上に形成された第 2接続部材と、前記第 2接続部材と電気的に接続され、前記第 2接続部材に対して少なくとも検査信号を出力する検査回路と、を備えたことを特徴とする。

[0014] また、請求項 4にかかる中継接続部材の製造方法は、所定の検査対象に対する検查の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と接触する複数のプローブと、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材の製造方法であって、単一のシート部材の表面上に、一方の端部から中央付近まで延伸した複数の第 1配線と、他方の端部から中央付近まで延伸し、かつ中央付近にて隣接する前記第 1配線間に位置するよう形成された第 2配線とを形成する配線形成工程と、前記シート部材を、前記第 1配線および前記第 2配線が延伸する方向に関して、前記第 1配線のみが形成された第 1領域と、前記第 2配線のみが形成された第 2領域と、前記第 1配線および前記第 2配線の双方が形成された第 3領域とに分割することによって第 1シート部材、第 2シート部材および第 3シート部材を形成するシート分割工程と、前記第 1シート部材および前記第 2シート部材を、前記第 1 配線と前記第 2配線との配列パターンが、前記第 3シート部材における配列パターンとほぼ同一になるよう積層する積層工程と、前記第 1シート部材および前記第 2シート部材の積層構造における前記第 1配線および前記第 2配線の端部を、前記第 3シート部材における前記第 1配線および前記第 2配線の端部と電気的に接続した状態で前記第 1、第 2および第 3シート部材の相互間の位置関係を固定する固定工程と、を含むことを特徴とする。 [0015] この請求項 4の発明によれば、単一のシート部材上に所定の第 1配線および第 2配線を第 1〜第 3領域に渡って連続的に形成することとしたため、第 1、第 2および第 3 シート部材のそれぞれに対して別個独立に配線パターンを形成する必要がなぐかつ分離した後に配線間で位置ずれが生じるおそれが抑制されることとなり、電気的導通に優れた中継接続部材を製造することができる。

[0016] また、請求項 5にかかる中継接続部材の製造方法は、上記の発明にお、て、前記積層工程前において、前記第 1シート部材および前記第 2シート部材の少なくともいずれか一方に対して、他方との位置あわせに利用する位置あわせ標識を形成する標識形成工程をさらに含み、前記積層工程において、前記位置あわせ標識を用いて前記第 1シート部材と前記第 2シート部材との間の位置あわせを行いつつ積層することを特徴とする。

発明の効果

[0017] 本発明にかかる中継接続部材および検査装置は、隣接する第 1配線構造を異なる層上に形成することによって同一層上における第 1配線構造の間隔を広げ、プロ一ブと第 1配線構造との間の電気的導通を充分に確保可能な第 1接続部材と、第 1接続部材と検査回路とを電気的に接続する第 2配線構造を同一面上に形成することによって検査回路に対する電気的接続を充分に確保可能な第 2接続部材とを備えたことによって、プローブと検査回路との間の電気的導通を充分に確保できるという効果を奏する。

[0018] また、本発明にかかる中継接続部材の製造方法は、単一のシート部材上に所定の第 1配線および第 2配線を第 1〜第 3領域に渡って連続的に形成することとしたため、第 1、第 2および第 3シート部材のそれぞれに対して別個独立に配線パターンを形成する必要がなぐかつ分離した後に配線間で位置ずれが生じるおそれが抑制されることとなり、電気的導通に優れた中継接続部材を製造することができるという効果を奏する。

図面の簡単な説明

[0019] [図 1]図 1は、実施の形態にかかる検査装置の全体構成を示す模式図である。

[図 2]図 2は、検査装置を構成する第 1接続部材のプローブ近傍部分の構造を詳細に示す模式図である。

[図 3]図 3は、検査装置を構成する第 1接続部材、第 2接続部材および検査回路の相互間における接続態様を説明するための模式図である。

[図 4]図 4は、検査装置を構成する中継接続部材の製造方法を説明するための模式図である。

[図 5]図 5は、従来の検査装置の構成を示す模式図である。

符号の説明

1、 101 検査対象

2、 101a 端子

3、 102 プローブ

4、 103 プローブホノレダ

5、 105 検査回路

5a ICチップ

6、 104 中継接続部材

7、 7a〜7d、 105a, 106 配線構造

8 第 1接続部材

9 第 2接続部材

10 補強部材

11、 l la〜l ld 第 1配線構造

12、 12a〜12d 第 1配線構造

13、 14、 15、 21、 107 シート部材

16、 16a〜16d 第 2配線構造

18a〜18d、 19a〜19d 接続パッド

21a 中央領域

21b、 21c 端部領域

22a〜22h 第 1配線

23a〜23i 第 2配線

24a〜24h、 25a〜25i パッド 26 ァライメント

S、S 、S 、S 、S 、S 、S 、S 、S 、S 、S 、T、T 、T 、T 、T 、T

11 11a lib 12 12a 12b 16a 16b 16c 16d 7 7a 7b 7c 7d 16a

、T 、T 、T 一点鎖線領域

16b 16c 16d

発明を実施するための最良の形態

[0021] 以下に、本発明にかかる検査装置および検査装置を構成する中継接続部材を実施するための最良の形態 (以下、「実施の形態」と称する）を、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、図面は模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。

[0022] 図 1は、実施の形態にかかる検査装置の全体構成を示す模式図である。図 1に示すように、本実施の形態にかかる検査装置は、検査対象 1に備わる端子 2と一端が接触するプローブ 3と、プローブ 3を所定の位置に保持するプローブホルダ 4と、プロ一ブ 3を介して検査対象 1に対して少なくとも検査信号を出力する検査回路 5と、プロ一ブ 3と検査回路 5とを電気的に接続するための中継接続部材 6とを備える。

[0023] プローブ 3は、検査の際に一端において検査対象 1に備わる端子 2と接触し、他端において第 1配線構造 11, 12 (後述）と接触することにより、検査回路 5と検査対象 1 との間を電気的に接続するためのものである。具体的には、プローブ 3は、パネ等の弾性部材を一部に備えた伸縮自在の導電性部材によって形成され、端子 2等の接触対象に対して所定の押圧力を印加しつつ接触することによって、接触対象と電気的に導通する機能を有する。なお、本実施の形態において検査対象 1上に形成される端子 2は複数設けられることとし、本実施の形態にかかる検査装置は、複数の端子 2に対応して、複数のプローブ 3を備える。

[0024] プローブホルダ 4は、複数のプローブ 3を所定の位置に保持するためのものである。

すなわち、プローブ 3は、検査対象 1上に形成された複数の端子 2とそれぞれ接触することによって電気的に導通するためのものであり、プローブホルダ 4は、導通状態が良好となるようあらかじめ定めた場所に位置するよう、複数のプローブ 3を保持する機能を有する。具体的な保持態様としては、プローブホルダ 4は例えば板状体によって形成され、力かる板状体に形成された貫通口内に、両端が板状体の表面から若干突出するようプローブ 3を保持することとする。

[0025] 検査回路 5は、検査対象 1の電気的特性の検査を行う際に、検査に必要な検査信号を検査対象 1に対して出力するためのものである。具体的には、検査回路 5は、 T AB等によって構成され、例えば検査信号を生成する電子回路を含む ICチップ 5aを搭載すると共に、 ICチップ 5aと中継接続部材 6とを電気的に接続するための配線構造 7を備えた構造を有する。なお、検査回路 5として、検査専用の電子回路を備えたものを別途作製することとしても良いが、本実施の形態では、検査対象 1が製品の一部として実装された際に、検査対象 1に対して動作信号等の入出力を行う回路をそのまま流用することとする。すなわち、例えば検査対象 1が液晶パネルの場合には、液晶パネルを用いてディスプレイを作製した場合に液晶パネルに対して画素信号等を入力するドライバ回路を検査回路 5として使用する。このように既存の電子回路を流用することによって、現実の動作に即した検査が可能であると共に、検査装置の製造コストを低減することが可能である。

[0026] 次に、中継接続部材 6について説明する。図 1にも示すように、中継接続部材 6は、プローブ 3と電気的に接続するための第 1接続部材 8と、第 1接続部材 8と検査回路 5 との間を電気的に接続するための第 2接続部材 9と、第 1接続部材 8の反り等を防止するための補強部材 10とによって構成される。

[0027] 第 1接続部材 8は、他端においてそれぞれ対応するプローブ 3と電気的に接続すると共に、互いに異なる層上に形成された第 1配線構造 11、 12を備える。具体的には、図 1にも示すように、第 1接続部材 8は、シート部材 13、 14を順次積層した構成を有し、シート部材 13、 14のそれぞれの表面上に第 1配線構造 11、 12をあら力じめ形成しておくことにより、第 1配線構造 11、 12が異なる層上に形成された構造を実現する

[0028] シート部材 13、 14は、膜厚が薄く柔軟性に富んだシート状の絶縁部材によって形成される。具体的には、シート部材 13、 14は、例えば FPC (Flexible Printed Circui t)の基材として用いられるポリイミド等を材料として形成される。なお、図 1にも示すように、積層構造の下層に位置するシート部材 13は、形成される第 1配線構造 11がプローブ 3等と電気的に接続することを可能とするために、第 1配線構造 11、 12の延伸方向に関してシート部材 14よりも延伸した構成を有し、シート部材 14よりも延伸した部分まで第 1配線構造 11を延伸させた構造を有する。

[0029] 第 1配線構造 11、 12は、プローブ 3と第 2接続部材 9上に形成される第 2配線構造 16 (後述)との間の導通経路としての機能を果たすものである。具体的には、第 1配線構造 11および 12は、プローブ 3に対応して複数個ずつ形成されており、第 1配線構造 11と第 1配線構造 12とは異なる層上に形成されている。隣接する第 1配線構造のうち、一方は第 1配線構造 11であり、他方は第 1配線構造 12である。すなわち、隣接する第 1配線構造は、異なる層上に位置するよう形成されている。なお、第 1配線構造 11は、第 1配線構造 12に対して下層に位置するが、基材たるシート部材 13がシート部材 14よりも延伸した部分を有することに対応して、かかる部分まで延伸して形成されることによって端部近傍が表面上に露出した構造を有する。

[0030] 第 2接続部材 9は、第 1接続部材 8を構成する第 1配線構造 11、 12と検査回路 5とを電気的に接続するためのものである。具体的には、第 2接続部材 9は、シート部材 1 5上に複数の第 2配線構造 16が形成された構造を有し、第 2配線構造 16によって第 1配線構造 11、 12と検査回路 5とを電気的に接続する機能を有する。また、複数の第 2配線構造 16は、それぞれが同一のシート部材 15上、すなわち同一層上に形成された構造を有する。

[0031] 補強部材 10は、第 1接続部材 8を補強するためのものである。上述したように第 1接続部材 8の一方の端部は、第 1配線構造 11、 12がプローブ 3と接触することによってプローブ 3に対して電気的に導通する構成を有することから、プローブ 3と第 1接続部材 8との間には所定の押圧力が作用することとなる。一方で、第 1接続部材 8の基材として機能するシート部材 13、 14は柔軟性に富んだシート状の部材によって形成されることから、プローブ 3から供給される押圧力に対してシート部材 13、 14が反ることによってプローブ 3と第 1配線構造 11、 12とが密着せず、両者の間の導通状態が悪ィ匕するおそれがある。このため、本実施の形態では、補強部材 10を新たに備えることによって第 1接続部材 8を補強し、第 1配線構造 11、 12の端部とプローブ 3との間における良好な電気的導通を実現する。 [0032] 次に、第 1接続部材 8を構成する第 1配線構造 11、 12のうち、プローブ 3と接触する側の端部の構造について詳細に説明する。図 2は、第 1接続部材 8のうちプローブ 3 と接触する側の端部の一部について示す平面図である。なお、図 2は、第 1接続部材 8をプローブ 3側から見た平面構造を模式的に示したものであり、直接目視できな!/、部分は破線にて示している。なお、図 2等では、複数存在する第 1配線構造 11、 12 等について、互いを区別するために必要に応じて a、 b等の添え字を付すこととする。また、第 1配線構造 11、 12の個数については、図 2等の例に限定して解釈する必要がないことはもちろんである。

[0033] 図 2に示すように、シート部材 13上に形成される第 1配線構造 l la〜l Idと、シート部材 14上に形成される第 1配線構造 12a〜12dとは、平面構造としては互いに交互に配置された構造を有する。具体的には、第 1接続部材 8をプローブ 3側力眺めた際には、第 1配線構造 11aゝ 12aゝ l ibゝ 12bゝ…のように配列されることとなり、プローブ 3側力も見て隣接する第 1配線構造は、互いに異なる層（シート部材 13またはシ一ト部材 14)上に位置するよう形成されたこととなる。力かる構造を採用することにより、図 2にも示すように、単一層上に第 1配線構造を形成した場合と比較して、同一層上に形成される第 1配線構造の間隔はほぼ 2倍の値となる。

[0034] また、第 1配線構造 l la〜l ldおよび第 1配線構造 12a〜12dの端部には、延伸方向と垂直な方向に第 1配線構造よりも広い幅を有する接続パッド 18a〜18dおよび接続パッド 19a〜 19dがそれぞれ形成されて!、る。これらの接続パッド 18a〜 18dおよび接続パッド 19a〜19dは、それぞれがいわゆる千鳥配置の状態で形成されている。具体的には、例えば接続パッド 18a〜18dの場合、第 1配線構造 11の延伸方向に関して、接続パッド 18a、 18cは同一の位置に形成される一方で、接続パッド 18b、 1 8dは、接続パッド 18a等と異なる位置に形成されている。すなわち、接続パッド 18a 〜18dおよび接続パッド 19a〜19dは、第 1配線構造の延伸方向に関する位置が、それぞれ隣接する接続パッド間で異なるよう形成されている。

[0035] 次に、第 1接続部材 8、第 2接続部材 9および検査回路 5の相互間における電気的な接続関係について説明する。図 3は、第 1接続部材 8、第 2接続部材 9および検査回路 5の相互間の接続態様を説明するための模式図である。以下、図 3を参照しつつ接続態様に関して説明する。

[0036] まず、第 1接続部材 8と第 2接続部材 9との間の接続態様について説明する。第 1接続部材 8と第 2接続部材 9との間の電気的接続は、具体的には第 1接続部材 8に備わる第 1配線構造 11、 12の端部と第 2接続部材 9に備わる第 2配線構造 16の端部とが接触した状態で第 1接続部材 8と第 2接続部材 9の間の位置関係が固定されることによって実現される。なお、第 1配線構造 11、 12と第 2配線構造 16との間の電気的な接触抵抗を実用上問題ない程度にまで抑制する観点から、本実施の形態では第 1 配線構造 11、 12と第 2配線構造 16とが互いに接触する部分を、所定の配線長 dだ

1 け確保する必要があるものとする。

[0037] 第 1配線構造 11にお、て力かる配線長 dを確保するために、本実施の形態では第

1

1接続部材 8に関して、第 2接続部材 9と接続する側においてシート部材 13がシート部材 14よりも延伸した構造を有する。上述したように、第 1配線構造 11は、シート部材 13を基材として形成され、シート部材 14の下層に形成されることとなる。このため、第 2配線構造 16と接続するためには配線長 dの範囲が第 1接続部材 8の表面上に

1

露出した構造とする必要があり、力かる配線長 dを確保するために基材たるシート部

1

材 13をシート部材 14よりも延伸させた構造を採用する。なお、本実施の形態では第 1配線構造 12は全体が第 1接続部材 8の表面上に露出した構造を有するが、仮に保護層等によって被覆する構造を採用した場合であっても、第 1配線構造 11の場合と同様に第 2接続部材 9と接続する側の端部において配線長 dだけ露出した構造とす

1

ることが好ましい。

[0038] このような構造の第 1接続部材 8に対して、第 2接続部材 9に備わる第 2配線構造 16 は、第 1配線構造 11、 12と接触する領域として、配線長 dのほぼ 2倍にあたる配線長

1

dの範囲が必要となる。上述したように、第 1接続部材 8は、下層側に位置する第 1配

2

線構造 11を表面に露出させるためにシート部材 13をシート部材 14よりも延伸させた構造を有する。ここで、シート部材 14は、第 1配線構造 12の基材として機能することから、図 3に示すように、シート部材 13上に形成された第 1配線構造 11は、シート部材 14上に形成された第 1配線構造 12よりも第 2接続部材 9側に配線長 dにほぼ等し

1 い長さだけ延伸した構造を有することとなる。そして、複数の第 2配線構造 16は、それぞれが第 1配線構造 11、 12のいずれか一方と接触する必要があり、いずれに対しても接触可能な構造とするためには、接触に要する配線長 d

2として d

1のほぼ 2倍の値が必要となる。

[0039] このように、接続用の領域が所定の配線長だけ確保された第 1配線構造 11、 12および第 2配線構造 16を用いることによって、第 1接続部材 8と第 2接続部材 9とが電気的に接続されることとなる。すなわち、第 1配線構造 11、 12と第 2配線構造 16とが向力、合う状態（図 3の例では第 2接続部材 9が第 1接続部材 8に対して紙面垂直上方に位置することとなる)で第 1接続部材 8の端部と第 2接続部材 9の端部とが重ね合わされ、例えば ACF (Anisotropic Conductive Film :異方性導電性接着剤）を用いることによって両者の位置関係が固定される。

[0040] より具体的には、第 1接続部材 8と第 2接続部材 9とが互いに固定された状態では、図 3において両側矢印によって連結された一点鎖線領域同士が接触し、電気的導通が行われる。すなわち、例えば第 1配線構造 11aの一点鎖線領域 S は、第 2配線構

11a

造 16aの一点鎖線領域 S と接触した状態で固定され、力かる接触状態により第 1配

16a

線構造 11aと第 2配線構造 16aとの間が配線長 dの範囲で接触し、電気的な接触抵

1

抗を充分に低減した、良好な電気的導通を実現している。また、第 1配線構造 12aの一点鎖線領域 S は、第 2配線構造 16bの一点鎖線領域 S と接触した状態で固定

12a 16b され、第 1配線構造 l ibの一点鎖線領域 S は、第 2配線構造 16cの一点鎖線領域 lib

S と接触した状態で固定され、第 1配線構造 12bの一点鎖線領域 S は、第 2配線

16c 12b 構造 16dの一点鎖線領域 S と接触した状態で固定される。このようにして、第 1接続

16d

部材 8に形成されたすベての第 1配線構造と、第 2接続部材 9に形成されたすベての第 2配線構造とは、それぞれ対応する領域間で良好な電気的導通を実現して!/ヽる。

[0041] 次に、第 2接続部材 9と検査回路 5との間の接続態様について説明する。第 2接続部材 9と検査回路 5との間の電気的接続は、具体的には第 2接続部材 9に備わる第 2 配線構造 16の端部と、検査回路 5に備わる配線構造 7の端部とが接触することによつて実現される。

[0042] 第 2配線構造 16の端部と配線構造 7の端部とを接触させる場合にも、電気的な接触抵抗を低減するために配線長 dの領域に渡って接触させることとする。このため、第 2配線構造 16は、検査回路 5と接触する側の端部にて接触領域として配線長 dの

1 領域が確保され、配線構造 7においても同様に配線長 dの領域が確保されている。

1

そして、カゝかる確保された領域同士が接触するように第 2接続部材 9と検査回路 5との間の位置関係力ACF等によって固定され、電気的な導通が実現される。具体的には、第 2配線構造 16aの端部にある一点鎖線領域 T と配線構造 7aの端部にある一

16a

点鎖線領域 T 、第 2配線構造 16bの端部にある一点鎖線領域 T と配線構造 7bの

7a 16b

端部にある一点鎖線領域 T 、第 2配線構造 16cの端部にある一点鎖線領域 Τ と配

7b 16c 線構造 7cの端部にある一点鎖線領域 T 、第 2配線構造 16dの端部にある一点鎖線

7c

領域 T と配線構造 7dの端部にある一点鎖線領域 T 、がそれぞれ接触することによ

16d 7d

り、第 2接続部材 9と検査回路 5との電気的な接続が実現される。

[0043] 次に、本実施の形態に力かる検査装置の製造方法の一例について説明する。以下では、検査装置を構成する部材のうち、第 1接続部材 8および第 2接続部材 9によつて構成される中継接続部材 6の製造方法にっヽて説明することとする。

[0044] 図 4は、中継接続部材を構成する第 1接続部材 8および第 2接続部材 9の製造方法を説明するための模式図である。図 4に示すように、まず単一のシート部材 21上に、所定の配線パターンを形成する。シート部材 21は、中央に位置する中央領域 21a ( 特許請求の範囲における第 3領域に対応）と、両端部に位置する端部領域 21b (特許請求の範囲における第 1領域に対応）、端部領域 21c (特許請求の範囲における第 2領域に対応）とによって構成されており、中央領域 21aおよび端部領域 21b、 21 cのそれぞれにおいて異なるパターンとなるよう配線が形成される。

[0045] 具体的には、シート部材 21上には、中央領域 21aから端部領域 21bに渡って第 1 配線 22a〜22hが形成され、中央領域 21aから端部領域 21cに渡って第 2配線 23a 〜23iが形成される。第 1配線 22a〜22hおよび第 2配線 23a〜23iは、それぞれがほぼ平行に延伸した構成を有する一方で、中央領域 21aにて第 1配線と第 2配線とが交互に配列するよう形成される。具体的には、図 4に示すように第 2配線 23a、第 1 配線 22a、第 2配線 23b、第 1配線 22b、… ·、第 1配線 22h、第 2配線 23iの順に配列するよう配線パターンが形成される。また、シート部材 21の端部近傍には、第 1配線 22a〜22hおよび第 2配線 23a〜23iのそれぞれに対応して、パッド 24a〜24hおよびパッド 25a〜25iが形成される。また、後述する位置あわせの際の便宜のため、図 4の例では端部領域 2 lc上に位置あわせ用のァライメント 26 (特許請求の範囲における位置あわせ標識の一例として機能する）が形成される。

[0046] その後、シート部材 21を、図 4に示す破線に沿って中央領域 21a、端部領域 21b、 21cの三片に分割する。分割した中央領域 21a、端部領域 21bおよび 21cの三片は、それぞれ特許請求の範囲における第 3シート部材、第 1シート部材および第 2シート部材の一例として機能するものである。所定の配線パターンが形成された中央領域 2 la、端部領域 21b、 21cは、中継接続部材 6に備わるシート部材 15、シート部材 13 およびシート部材 14をそれぞれ構成することとなり、各領域上に形成された配線バターンは、図 4を図 3と対比すれば明らかなように、それぞれ第 2配線構造 16、第 1配線構造 12、第 1配線構造 11を構成することとなる。すなわち、形成された第 1配線 22a 〜22hおよび第 2配線 23a〜23iのうち、中央領域 21a上に残存する部分は、それぞれ第 2配線構造 16を構成し、端部領域 21bに残存する部分は、それぞれ第 1配線構造 12を構成し、端部領域 21cに残存する部分は、それぞれ第 1配線構造 11を構成することとなる。また、パッド 24およびパッド 25はそれぞれ接続パッド 19および接続ノッド 18を構成することとなる。

[0047] そして、第 1接続部材 8を形成すべくシート部材 14およびシート部材 13に対応した端部領域 21b、 21cを順次積層し、固定する。なお、力かる工程において、上述したァライメント 26によって端部領域 21b、 21cの位置あわせを正確に行うことが好ましい。例えば、図 4に示す例では、ァライメント 26は、端部領域 21bの中央領域 21a側の端部（図 4において、破線部にて示した側の端部）の位置を示しており、ァライメント 2 6の位置に端部領域 21bの端部が一致するように積層 ·固定することによって、端部領域 21b、 21c間の位置関係を正確にあわせることが可能である。

[0048] その一方で、中央領域 21aは、表面上に形成された第 1配線 22a〜22hと第 2配線 23a〜23iと共に第 2接続部材 9を形成する。そのため、中央領域 2 laを端部領域 21 b、 21cを積層した構造に対して、配線構造同士が電気的に接続するよう、すなわち図 3に示した接続関係を満たすよう固着することによって中継接続部材 6が完成する [0049] 次に、本実施の形態にかかる検査装置の利点について説明する。まず、本実施の形態にかかる検査装置は、第 1接続部材 8において、互いに隣接する第 1配線構造 1 1、 12が異なる層上に形成されたことによる利点を有する。図 2にも示したように、互いに隣接する第 1配線構造 11、 12が異なる層（すなわち、シート部材 13、 14)上に形成されたことにより、同一層上に形成された複数の第 1配線構造 11および複数の第 1配線構造 12配置間隔をプローブ 3の配置間隔の 2倍に広げることが可能である。このため、図 2に示すようにプローブ 3との端部と接触するための接続パッド 18、 19の面積を広くすることが可能であり、プローブ 3と接続パッド 18、 19との間の位置あわせを容易に行うことが可能となると共に、プローブ 3との間の摩擦力に起因した配線構造 (接続パッド)の変形を抑制することが可能であると、う利点を有する。

[0050] また、本実施の形態では、それぞれシート部材 13上に形成された複数の接続パッド 18と、それぞれシート部材 14上に形成された複数の接続パッド 19に関して、隣接するもの同士が、第 1配線構造の延伸方向に関して異なる位置に配置された構造を有する。カゝかる構造を採用することによって、接続パッド 18、 19のそれぞれに関してさらに面積を大きくすることが可能である。すなわち、例えば図 2において、接続パッド 18bは、第 1配線構造の延伸方向（図 2における縦方向）に関して、接続パッド 18a 、 18cと異なる位置に形成されることから、延伸方向と垂直な方向（図 2における横方向）に関して延伸しても接続パッド 18a、 18cと短絡することはない。このため、接続パッド 18bに関しては近傍に位置する第 1配線構造 l la、 11cと短絡しない限りにおいて延伸方向と垂直な方向に延伸させることが可能となる。このことは他の接続パッド 1 8a、 19a等でも同様であって、同一層上にて隣接するもの同士が異なる位置に配置されることで、さらに広い面積の接続パッドを実現することが可能である。

[0051] さらに、本実施の形態では、中継接続部材 6にて第 2接続部材 9を新たに設けた構造を採用することにより、検査回路 5と中継接続部材 6との間で良好な電気的導通を実現することが可能であるという利点を有する。以下、力かる利点について詳細に説明する。

[0052] 上述したように、本実施の形態では第 1接続部材 8にて第 1配線構造 11、 12が異なる層上に形成された構造を有し、より具体的には、第 1配線構造 11、 12間には、シート部材 14が介在することとなる。従って、下層に位置する第 1配線構造 11を他と電気的に導通するためには、端部近傍にて第 1配線構造 11を露出した構造を採用する必要があり、第 1配線構造 11における電気的接続部分（図 3における一点鎖線領域 S )と、上層に形成された第 1配線構造 12における電気的接続部分（図 3における

11

一点鎖線領域 s )とは配線構造の延伸方向に関して位置がずれることとなる。このた

12

め、第 1接続部材 8と電気的に接続する部材は、第 1配線構造 11、 12の双方と電気的に接続するために、通常必要とされる配線長 dのほぼ 2倍の長さたる配線長 dを電

1 2 気的接続部分として確保する必要がある。

[0053] これに対して、中継接続部材 6の接続対象たる検査回路 5は、電気的接続部分 (配線構造 7の一点鎖線領域 T )の長さとして配線長 d程度しカゝ備えないのが通常であ

7 1

る。上述したように、検査回路 5は検査対象 1を実装する際にドライバ回路等として用いられるものを流用したものであることから、検査回路 5に備わる電気的接続部分は、検査対象 1の表面上 (すなわち、同一層上）に形成された端子 2と電気的に接続するために必要な長さ（例えば、配線長 d )のみを有することとなる。従って、第 1接続部

1

材 8と検査回路 5とを直接的に接続した場合には、第 1接続部材 8と検査回路 5との間で充分な導通状態を得ることが困難であるという問題が新たに生じることとなる。検査回路 5として、電気的接続部分が配線長 dとなる検査専用の回路を用いることとして

2

も良いが、カゝかる構成を採用した場合には、実装時の動作に即した検査を行うことが困難になることおよび検査装置の製造コストが上昇するという別の問題が新たに生じることとなり、根本的な問題の解決とはならない。

[0054] そこで、本実施の形態では、第 1接続部材 8と検査回路 5との間に第 2接続部材 9を介在させた構成を採用することにより、中継接続部材 6と検査回路 5との間で良好な導通状態を実現している。すなわち、第 2接続部材 9においては、配線長に制限が無ぐ第 1接続部材 8と接続する側にて第 2配線構造 16にて配線長 dを確保することは

2

容易であるため、異なる層上に形成された第 1配線構造 11、 12のいずれに対しても良好な導通状態を実現することが可能である。また、上述したように複数の第 2配線構造 16は、すべてが単一のシート部材 15上に形成されていることから、検査回路 5 に備わる配線構造 7との間の電気的な接続には配線長 dで足りることとなり、既存の検査回路 5を流用しても充分な導通を確保することが可能であることとなる。このように、第 1接続部材 8のみならず第 2接続部材 9も備えることによって、中継接続部材 6 は、第 1接続部材 8の作用によってプローブ 3に対して充分な導通を確保することが可能であり、第 2接続部材 9の作用によって検査回路 5に対して充分な導通を確保することができるという利点を有することとなる。

[0055] また、本実施の形態において中継接続部材 6が第 2接続部材 9を新たに備えたことによって、物理的に無理のない構造の検査装置を実現できるという利点を有する。図 5に示したように、従来の検査装置では、中継接続部材 104が単一の接続部材によつて形成された構造を有する。このため、従来の検査装置では、検査回路 105上に形成された複数の配線構造 105aと検査対象 101上に形成された複数の端子 101a との間の対応関係を維持するためには、図 5に示すように中継接続部材 104と検査回路 105とを「く」の字状に接続する必要があり、物理的に無理が生じた構造となり、強度の弱、部分にぉ、て断線が生じる等の問題があった。

[0056] これに対して、本実施の形態では、中継接続部材 6は、複数の接続部材 (第 1接続部材 8、第 2接続部材 9)を備えた構造を有することによりかかる問題を解決している。すなわち、図 1における紙面垂直方向に関する端子 2の配列パターンは、端子 2に対して第 1配線構造 11、 12が対向した状態で配置された第 1接続部材 8を経由することによって反転する。その後、第 1配線構造 11、 12に対して第 2配線構造 16が対向した状態で配置された第 2接続部材 9を経由することによって再び反転し、元の配列ノターンと一致することとなる。この結果、検査回路 5は、検査対象 1に備わる複数の端子 2と接触させた場合と同様に配線構造 7を第 2配線構造 16と接触させることが可能となり、「く」の字状ではなく通常の接続態様によって第 2接続部材 9と検査回路 5とを接続することが可能となる。この結果、本実施の形態に力かる検査装置は、物理的に無理のな、構造を実現することができ、断線等の不具合の発生確率を低減できる t 、う利点を有することとなる。

[0057] さらに、本実施の形態にかかる検査装置は、図 4に示したように中継接続部材 6を単一のシート部材 21を用いて製造することが可能である。また、上述したように中継接続部材 6を構成するシート部材 15上に形成される第 2配線構造 16は、シート部材 13、 14上に形成される第 1配線構造 11、 12と交互に接続する構成を有する。従って、シート部材 21上において、中央領域 21a (分離後にシート部材 15を構成)上に第 1 配線 22と第 2配線 23を交互に配列するよう形成し、端部領域 21c (分離後にシート部材 13を構成）にはそのうちの第 2配線 23を延伸させ、端部領域 21b (分離後にシート部材 14を構成）には第 1配線 22を延伸させた配線構造を形成することによって、第 1 配線構造 11、 12および第 2配線構造 16を容易に実現することが可能である。このため、シート部材 21上に配線パターンを形成するためのマスクは、領域毎に 3通りのものを用意する必要はなぐ単純なパターンのマスクを用いて配線パターンを形成することが可能である。

[0058] また、図 4からも明らかなように、第 1配線 22は中央領域 21aと端部領域 21bとで連続性を保持し、第 2配線 23は中央領域 21aと端部領域 21cとで連続性を保持する。従って、シート部材 21を分離することによって形成されるシート部材 13〜15において、シート部材 13の表面上に形成された第 1配線構造 11、シート部材 14の表面上に形成された第 1配線構造 12、およびシート部材 15の表面上に形成された第 2配線構造 16の相互間で隣接する配線構造の間隔がずれる等の弊害が生じることはなぐ第 1接続部材 8と第 2接続部材 9とを接続した際に、いずれの配線構造に関しても良好な導通状態を確保することが可能であるという利点を有する。

[0059] 以上、実施の形態を用いて本発明を説明したが、実施の形態はあくまで一具体例であって、本発明を実施の形態に限定して解釈するべきではなぐ当業者であれば様々な実施例、変形例に想到することが可能である。例えば、本実施の形態では第 1接続部材 8の構成として、それぞれ所定の配線パターンが表面上に形成されたシ一ト部材 13、 14を積層した構造を有するが、第 1接続部材 8としては TAB、 FPC等を積層した構造に限定する必要はなぐ隣接した第 1配線構造が互いに異なる層上に形成された構造であれば第 1接続部材として使用することが可能である。また、第 1 配線構造が形成される層の数についても、 2層に限定する必要はなぐ複数であれば任意の数の層上に第 1配線構造を形成することが可能である。

産業上の利用可能性

[0060] 以上のように、本発明にかかる中継接続部材、中継接続部材を用いた検査装置および中 «接続部材の製造方法は、所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と一端が接触する複数のプローブの他端と、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する際に有用であり、特に、液晶パネル等の電子部品に対して電気特性検査を行う際に好適である。

Claims

請求の範囲

[1] 所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と一端が接触する複数のプローブの他端と、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材であって、

それぞれの一端において複数の前記プローブの他端と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に位置し、他端が所定長以上に渡って表面に露出した複数の第 1配線構造が形成された第 1接続部材と、

一端において所定長だけ表面に露出した前記第 1配線構造の他端と接触し、他端において前記検査回路と電気的に接続する複数の第 2配線構造が同一層上に形成された第 2接続部材と、

を備えたことを特徴とする中継接続部材。

[2] 前記第 1接続部材は、絶縁部材によって形成され、上面に 1以上の前記第 1配線構造が形成されたシート部材を複数積層した構造を有し、隣り合う前記第 1配線構造は、互いに異なるシート部材上に形成されたことを特徴とする請求項 1に記載の中継接続部材。

[3] 所定の検査対象に対して該検査対象に備わる複数の端子を介して電気信号を入出力することによって検査を行う検査装置であって、

前記検査対象上に形成された複数の前記端子のそれぞれと一端が接触する複数のプローブと、

複数の前記プローブを前記端子に対応した位置に収容するプローブホルダと、それぞれの一端において複数の前記プローブの他端と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に位置し、他端が所定長以上に渡って表面に露出した複数の第 1配線構造が形成された第 1接続部材と、

前記第 2接続部材と電気的に接続され、前記第 2接続部材に対して少なくとも検査信号を出力する検査回路と、を備えたことを特徴とする検査装置。

[4] 所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と接触する複数のプローブと、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材の製造方法であって、

単一のシート部材の表面上に、一方の端部から中央付近まで延伸した複数の第 1 配線と、他方の端部から中央付近まで延伸し、かつ中央付近にて隣接する前記第 1 配線間に位置するよう形成された第 2配線とを形成する配線形成工程と、

前記シート部材を、前記第 1配線および前記第 2配線が延伸する方向に関して、前記第 1配線のみが形成された第 1領域と、前記第 2配線のみが形成された第 2領域と、前記第 1配線および前記第 2配線の双方が形成された第 3領域とに分割することによって第 1シート部材、第 2シート部材および第 3シート部材を形成するシート分割ェ程と、

前記第 1シート部材および前記第 2シート部材を、前記第 1配線と前記第 2配線との配列パターン力 S、前記第 3シート部材における配列パターンとほぼ同一になるよう積層する積層工程と、

前記第 1シート部材および前記第 2シート部材の積層構造における前記第 1配線および前記第 2配線の端部を、前記第 3シート部材における前記第 1配線および前記第 2配線の端部と電気的に接続した状態で前記第 1、第 2および第 3シート部材の相互間の位置関係を固定する固定工程と、

を含むことを特徴とする中継接続部材の製造方法。

[5] 前記積層工程前において、前記第 1シート部材および前記第 2シート部材の少なくとも!/、ずれか一方に対して、他方との位置あわせに利用する位置あわせ標識を形成する標識形成工程をさらに含み、

前記積層工程にお!ヽて、前記位置あわせ標識を用いて前記第 1シート部材と前記第 2シート部材との間の位置あわせを行いつつ積層することを特徴とする請求項 4に記載の中継接続部材の製造方法。