WO2005103741A1 - Ｔｃｐハンドリング装置 - Google Patents

Abstract

　テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープ５を、プッシャユニット３によって支持しつつ、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカード８に押圧し、ＴＣＰの外部端子をプローブ８１に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドラ２において、プッシャユニット３は、プッシャ本体３３と、プッシャ本体３３の前段側および後段側にてキャリアテープ５を支持・搬送するプッシャスプロケット３５ａ，３５ｂと、プッシャスプロケット３５ａ，３５ｂの前段側および後段側にてキャリアテープ５をガイドするテンションガイド４ａ，４ｂとを備えるとともに、プローブカード８側に移動することによりキャリアテープ５をプローブカード８に押圧する構成を有し、テンションガイド４ａ，４ｂは、プッシャスプロケット３５ａ，３５ｂを支持するプッシャフレーム３６に、上下方向にスライドできるように弾性体４５を介して取り付けられる。

Description

明 細 書

T C Pハンドリング装置 技術分野

本発明は、 I Cデバイスの 1種である T C P (Tape Carrier Packag e) や C〇F (Chip On Film) (以下、 T C P、 C〇 F、 その他 TAB (Tape Automated Bonding)実装技術によって製造されたデバイスを纏 めて 「T C P」 という。 ） を試験するのに用いられる T C Pハンドリン グ装置に関するものである。 背景技術

I Cデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造され た I Cデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験 する電子部品試験装置が必要であり、 TC Pの場合には、 T C P用の試 験装置が使用される。

TC P用の試験装置は、 一般的にテスタ本体と、 テストヘッドと、 T C Pハンドリング装置 （以下 「TC Pハンドラ」 という場合がある。 ） とから構成される。 この T C Pハンドラは、 テープ （フィルムの概念も 含むものとする。 以下同じ。 ) 上に T C Pが複数形成されたキャリアテ ープを搬送して、テストへッ ドに電気的に接続されているプローブカー ドのプローブにキヤリァテープを押圧し、 TC Pの外部端子をプローブ にコンタクトさせることにより、複数の T C Pを順次試験に付す機能を 備えている。

このような T C Pハンドラは、 一般的に、 キャリアテープをプローブ に押し付けるプッシャ本体と、プッシャ本体の両脇でキヤリァテ一プを 支持し当該キヤリァテープを搬送するプッシヤスプロケッ トとを備え ている。 T C Pの試験時に、 これらプッシャ本体およびプッシヤスプロ ケットはキヤリァテープを支持しつつ下方に移動し、キヤリアテープ上 の T C Pをプローブカードのプローブに押し付ける。

上記スプ elケッ トの前段側および後段側には、テンションガイ ドが設 けられており、テンションガイ ドの変位によってキヤリァテープの張力 を調整している。 従来の T C Pハンドラでは、 このテンションガイ ドは ハンドラ本体に設置されているが、上記プッシヤスプロケッ トの上下動 に合わせて、 テンションガイ ドの変位量を大きく取らざるを得ず、 その ためにキヤリアテープに過剰な張力が掛かり、テンションガイ ドからの テープ脱落による搬送ミスが発生したり、場合によってはキャリアテー プ上の T C Pが破損することがあった。 発明の開示

本発明は、 このような実状に鑑みてなされたものであり、 プッシヤス プロケッ 卜の移動に伴ってキヤリァテープに掛かる張力を効果的に軽 減させることのできる T C Pハンドリング装置を提供することを目的 とする。

上記目的を達成するために、 本発明は、 テープ上に T C Pが複数形成 されたキャリアテープを、 プッシャュニッ トによって支持しつつ、 テス トヘッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部に押圧し、 T C Pの外 部端子を前記コンタク ト部に接続させることにより、複数の T C Pを順 次試験に付すことのできる T C P八ンドリング装置であって、前記プッ シャユニットは、 プッシャ本体と、 前記プッシャ本体の前段側および Z または後段側にてキヤリァテープを支持 ·搬送するプッシヤスプロケッ 卜と、前記プッシヤスプロケットの前段側および または後段側にてキ ャリアテープをガイ ドするガイ ド部材とを備えるとともに、前記コン夕 ク ト部側に移動することにより前記キャリアテープを前記コンタク ト 部に押圧する構成を有し、 前記ガイ ド部材は、 前記プッシヤスプロケッ トを支持するフレームに、キヤリァテープに掛かる張力を軽減する方向 に変位できるように取り付けられていることを特徴とする T C Pハン ドリング装置を提供する （ 1 ) 。

上記発明 （ 1 ) に係る T C Pハンドリング装置では、 ガイ ド部材はプ ッシヤスプロケッ トとともにコンタク ト部側に移動するとともに、キヤ リァテープに掛かる張力を軽減する方向に変位し得るため、ガイ ド部材 を T C Pハンドリング装置の本体に設けた場合よりもガイ ド部材の変 位量を小さくすることができ、 これにより、 キャリアテープに掛かる張 力を効果的に軽減することができる。

上記発明 （ 1 ) において、 前記ガイ ド部材は、 前記フレームの移動方 向に沿って変位できるように前記フレームに取り付けられていること が好ましい （ 2 ) 。

上記発明 （ 2 ) によれば、 プッシヤスプロケッ トの移動に伴ってキヤ リァテープに掛かる張力を、プッシヤスプロケッ トに対して反対方向に 変位するガイ ド部材によって効果的に軽減させることができる。

上記発明 （ 1， 2 ) において、 前記ガイ ド部材は、 弾性体を介して前 記フレームに取り付けられていることが好ましい （ 3 ) 。

上記発明 （ 3 ) によれば、 弾性体によって、 ガイ ド部材を、 キャリア テープに掛かる張力を軽減する方向に効果的に変位させることができ る。 また、 ガイ ド部材が変位す ¾ときに発生する振動や衝撃を緩和し、 それら振動や衝撃がキヤリアテープに伝達されることを抑制すること ができる。

上記発明 （ 1〜 3 ) において、 前記ガイ ド部材は、 スプロケッ トを備 えて構成されていることが好ましい （4 ) 。

上記発明 （4 ) によれば、 スプロケッ トの回転によってキャリアテー プに摩擦を与えることなく、キヤリァテープに掛かる張力の調整を行う ことができる。 図面の簡単な説明

図 1は、本発明の一実施形態に係る T C Pハンドラを用いた T C P試 験装置を示す正面図である。

図 2は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるプッシャュニッ ト の正面図である。

図 3は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるテンションガイ ド の正面図である。

図 4は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるテンションガイ ド の側面図である。

図 5は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるテンションガイ ド の動作を示す説明図である。

図 6は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるテンションガイ ド の動作を示す説明図である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

本発明の一実施形態に係る T C Pハンドラを用いた T C P試験装置 を図 1に示す。

T C P試験装置 1は、 図示しないテスタ本.体と、 テス夕本体に電気的 に接続されたテストヘッド 1 0と、テストヘッド 1 0の上側に設けられ た T C Pハンドラ 2とから構成される。 T C Pハンドラ 2は、キャリアテープ 5上に複数形成された各 T C P を順次試験に付すものであり、 本実施形態では、 説明の簡略化のために T C Pを 1個ごと試験に付すものとする。 ただし、 本発明はこれに限定 されるものではなく、キャリアテープ 5上において直列方向および Zま たは並列方向に並んだ複数の T C Pを同時に試験に付すようにしても よい。

T C Pハンドラ 2は、巻出リール 2 1と巻取リ一ル 2 2とを備えてお り、巻出リール 2 1には試験前のキヤリアテープ 5が巻き取られている。 キャリアテープ 5は、 巻出リール 2 1から巻き出され、 試験に付された 後に巻取リール 2 2に巻き取られる。

巻出リール 2 1 と卷取リール 2 2との間には、キヤリァテープ 5から 剥離した保護テープ 5 1を巻出リール 2 1から巻取リール 2 2に架け 渡す 3個のスぺーサロール 2 3 a， 2 3 b , 2 3 cが設けられている。 各スぺ一サロール 2 3 a， 2 3 b , 2 3 cは、 保護テープ 5 1の張力を 調整することができるように、 それぞれ上下可動となっている。

巻出リール 2 1の下側には、 テープガイ ド 2 4 a、 巻出リミッ トロー ラ 2 5 a、ィン側サブスプロケッ ト 2 5 bおよびィン側ガイ ドロ一ラ 2 5 cが設けられており、卷出リール 2 1から巻き出されたキャリアテ一 プ 5は、 テープガイ ド 2 4 aによってガイ ドされつつ、 巻出リミッ ト口 ーラ 2 5 a、ィン側サブスプロケッ ト 2 5 bおよびィン側ガイ ドローラ 2 5 cを経てプッシャュニット 3に搬送される。

また、 巻取リール 2 2の下側には、 テープガイ ド 2 4 b、 卷取リミッ トローラ 2 5 f 、ァゥト側サブスプロケッ ト 2 5 eおよびアウト側ガイ ドロ一ラ 2 5 dが設けられており、試験に付された後のキヤリァテープ 5は、 ァゥト側ガイ ドローラ 2 5 d、 ァゥト側サブスプロケッ ト 2 5 e および巻取リミッ トローラ 2 5 f を経て、テープガイ ド 2 4 bによって ガイ ドされつつ、 巻取リール 2 2に巻き取られる。

イン側ガイ ドロ一ラ 2 5 cと、アウト側ガイ ドローラ 2 5 dとの間に は、 プッシャュニッ ト 3が設けられており、 プッシャュニッ ト 3の前段 側（図 1中左側）には第 1カメラ 6 aが、プッシャユニッ ト 3の下側（後 述するプローブ力一ドステージ 7の内側） には第 2カメラ 6 bが、 プッ シャユニッ ト 3の後段側 （図 1中右側） には第 3カメラ 6 cが設けられ ている。 また、 プッシャユニッ ト 3と第 3カメラ 6 cとの間には、 マ一 クパンチ 2 6 aおよびリジェクトパンチ 2 6 bが設けられている。

マークパンチ 2 6 aは、 試験の結果に基づいて、 該当する T C Pにつ き所定の位置に 1個または複数個の孔を開けるものであり、 リジェク ト パンチ 2 6 bは、試験の結果不良品であると判断された T .C Pを打ち抜 くものである。

各カメラ 6 a， 6 b , 6 cは、 図示しない画像処理装置に接続されて おり、 第 1カメラ 6 aおよび第 3カメラ 6 cは、 キャリアテープ 5上に おける T C Pの有無やマークパンチ 2 6 aによる孔の位置や数を判断 するためのものであり、 第 2カメラ 6 bは、 キャリアテープ 5上の T C Pとプローブとの位置ずれの情報を取得するためのものである。本実施 形態における第 2カメラ 6 bは、視野内の複数の対象についての位置ず れ情報を取得することができるようになつている。

第 2カメラ 6 bは、 カメラステージ 6 1上に搭載されており、 カメラ ステージ 6 1が有するァクチユエ一夕によって平面視縦横方向（X軸— Y軸方向） および上下方向 （Z軸方向） に移動可能となっている。

図 1および図 2に示すように、 T C Pハンドラ 2の本体部には、 ポー ルねじ 3 2を回転させることのできるサーポモータ 3 1がブラケッ ト 3 6 1を介して取り付けられているとともに、ポールねじ 3 2が螺合し ているプッシャ本体部 3 3が 2本の Z軸方向のリニアモーションガイ ド 3 7を介して取り付けられている。 このプッシャ本体部 3 3は、 サ一 ポモータ 3 1を駆動させることにより、 リ二ァモ一ションガイ ド 3 7に ガイ ドされながら上下方向（ Z軸方向）に移動可能となっている。また、 プッシャ本体部 3 3とプッシャュニッ ト 3のフレーム（プッシャフレ一 ム） 3 6とは、 図示しない連動機構によって接続されており、 上記のよ うにプッシャ本体部 3 3が上下動すると、それに伴ってプッシャフレー ム 3 6も上下動するようになっている。

上記プッシャ本体部 3 3の下端部には、エアを吸引することによりキ ャリァテープ 5を吸着保持することのできる吸着プレート 3 4が設け られている。

プッシャフレーム 3 6におけるプッシャ本体部 3 3の前段側（図 1中 左側） には、 テンションスプロケット 3 5 aが設けられており、 プッシ ャ本体部 3 3の後段側 （図 1中右側） には、 メインスプロケッ ト 3 5 b が設けられている。 以下、 テンションスプロケッ ト 3 5 aおよびメイン スプロケット 3 5 bを纏めてプッシヤスプロケッ ト 3 5 a , 3 5 bとい う場合がある。

メインスプロケッ ト 3 5 bは、ステツピングモータ等によって駆動さ れてキャリアテープ 5を搬送し、 テンションスプロケッ ト 3 5 aは、 キ ャリアテープ 5の走行方向と逆方向に回転することによりキャリアテ —プ 5に所定のテンションをかけ、キャリアテープ 5の位置精度を向上 させる。

プッシャュニッ ト 3は、図示しないプッシャステージに接続されてい る。 プッシャステージは、 複数のボールネジを介してサーポモータに接 続されており （図示省略） 、 サーポモー夕の駆動により、 プッシャュニ ッ ト 3を水平方向（X Y平面方向）に移動させることができるとともに、 プッシャユニッ ト 3を垂直軸回り （Z軸回り） に回転させることができ る。

プッシャュニッ ト 3の下側であって、 テストヘッ ド 1 0の上部には、 プローブカード 8を搭載したプローブカードステージ 7が設置されて いる。 プローブカードステージ 7は、 複数のポールネジを介してサ一ポ モータに接続されており （図示省略） 、 サーポモー夕の駆動により、 プ ローブカード 8を水平方向 （X Y平面方向） に移動させることができる とともに、 プローブカード 8を垂直軸回り （Z軸回り） に回転させるこ とができる。

複数のプローブ 8 1を備えたプローブカード 8は、 ピンによってプロ ーブカードステージ 7のカードリングに着脱自在に取り付けられてい る （図示省略） 。 なお、 プローブカード 8の各プローブ 8 1は、 テスト ヘッ ド 1 0を介してテス夕本体に電気的に接続されており、プローブ力 ード 8の下側であって、プローブ力一ドステージ 7の内側には第 2カメ ラ 6 bが位置している。

この T C P試験装置 1では、キヤリァテープ 5はプッシャュニッ ト 3 の下側を通過するように搬送され、 このキヤリァテープ 5をプッシャュ ニッ ト 3が吸着 '支持しながらテストヘッ ド 1 0上のプローブカード 8 に押圧する。 すると、 キャリアテープ 5上の T C Pがプローブカード 8 のプローブ 8 1にコンタクトしてテスト信号が T C Pに印加され、 T C Pから読み出された応答信号は、テストヘッ ド 1 0を通じてテスタ本体 に送られる。 これにより T C Pの性能や機能等が試験される。

かかる試験は、 キャリアテープ 5が搬送されることにより、 キャリア テープ 5上の全ての T C Pについて順次行われる。 そして、 試験結果に 基づいてマークパンチ 2 6 aまたはリジェク トパンチ 2 6 bが駆動さ れる。

[テンションガイ ド] 図 2は、図 1に示した T C Pハンドラのプッシャユニッ トおよびテン ションガイ ドの正面図である。 図 3および図 4は、 図 2に示したテンシ ヨンガイ ドの正面図 （図 3 ) および側面図 （図 4 ) である。 図 5および 図 6は、 図 2に示したテンションガイ ドの動作を示す説明図である。 図 6において、 （ a ) は、 プッシャユニッ ト 3が下方に移動する前の状態 を示しており、 （b ) は、 プッシャユニッ ト 3が下方に移動してキヤリ ァテープ 5がプローブ力一ド 8に押し付けられている状態を示してい る。

この T C Pハンドラ 2では、プッシャ本体 3 3に連動してプッシャフ レーム 3 6が上下方向 （Z軸方向） に移動可能に設置されており、 これ により、プッシャフレーム 3 6に取り付けられたプッシヤスプロケッ ト 3 5 a , 3 5 bが上下方向に移動できる （図示省略） 。

また、 この T C Pハンドラ 2では、 プッシャユニッ ト 3のプッシャフ レーム 3 6に一対のテンションガイ ド 4 a， 4 bが設置されている。 こ れらのテンションガイ ド 4 a， 4 bは、 キャリアテープ 5の搬送方向に 対して、一方のテンションガイ ド 4 aがプッシヤスプロケッ ト 3 5 aの 前段側に設置され、他方のテンションガイ ド 4 bがプッシヤスプロケッ ト 3 5 bの後段側に設置されている（図 1および図 2参照）。すなわち、 テンションガイ ド 4 a , 4 bは、 キャリアテープ 5に対するプッシャュ ニッ ト 3の出入口 （正面視にてプッシャフレーム 3 6の左右） にそれぞ れ位置している。 テンションガイ ド 4 a , 4 bは、 プッシャュニッ ト 3 の出入口にてキヤリアテープ 5をガイ ドすることにより、プッシャュニ ッ ト 3の移動に伴ってキヤリァテープ 5に掛かる張力を調整する機能 を有する。

テンションガイ ド 4は、 ガイ ドスプロケッ ト 4 1 と、 軸受 4 2と、 第 一ベース 4 3と、 第二ベース 4 4と、 弾性体 4 5とを含んで構成される (図 3および図 4参照） 。 ガイ ドスプロケッ ト 4 1は、 キャリアテープ 5を搬送し得る歯車からなり、軸受 4 2によって回転可能に支持されて いる。 軸受 4 2は、 第一ベース 4 3上に固定設置されており、 第一べ一 ス 4 3は、 第二ベース 4 4に対して上下方向 （Z軸方向） に滑らかにス ライ ド可能に設置されている。 第二ベース 4 4は、 プッシャフレーム 3 6に対して固定設置されている。 かかる構成により、 テンションガイ ド 4は、プッシャフレーム 3 6に対して上下方向に滑らかにスライ ドでき る。

また、 本実施形態における弾性体 4 5は、 コイルバネであり、 その上 端が取付金具 4 5 1によりプッシャフレーム 3 6の壁部に固定されて おり、 また、 その下端が第一ベース 4 3に固定されている。 かかる構成 により、 テンションガイ ド 4は、 弾性体 4 5を介してプッシャフレーム 3 6の壁面から吊り下げられて設置されている。

なお、 第一ベース 4 3および第二ベース 4 4間のスライ ド機構は、 例 えば、 第一ベース 4 3が有する係合片 4 3 1 と、 第二ベース 4 4が有す る上下方向の係合溝 4 4 1 とからなり、第一ベース 4 3の係合片 4 3 1 が第二ベース 4 4の係合溝 4 4 1に係合することにより構成される（図 4参照） 。 そして、 係合片 4 3 1が係合溝 4 4 1内をスライ ドすること により、第一ベース 4 3が第二ベース 4 4に対して上下方向にスライ ド する。なお、第一ベース 4 3および第二ベース 4 4間のスライ ド機構は、 かかる構成に限られず、当業者自明の範囲内にて公知のスライ ド機構か ら任意に選択可能である。

また、 この T C Pハンドラ 2では、 T C Pハンドラ 2の本体に、 一対 の高さ規制ガイ ド 2 7 a， 2 7 bが設置されている。 これらの高さ規制 ガイ ド 2 7 a， 2 7 bは、 キャリアテープ 5の搬送方向に対して、 一方 の高さ規制ガイ ド 2 7 aがテンションガイ ド 4 aの前段側に設置され、 他方の高さ規制ガイ ド 2 7 bがテンションガイ ド 4 bの後段側に設置 されている （図 1および図 2参照） 。 これらの高さ規制ガイ ド 2 7 a， 2 7 bは、 プッシャュニッ ト 3の前段側および後段側にて、 キャリアテ ープ 5を所定の高さを規制する機能を有する。

[作用]

この T C Pハンドラ 2では、キヤリァテープ 5がプッシヤスプロケッ ト 3 5 a, 3 5 bおよびテンションガイ ド 4 a， 4 bのガイ ドスプロケ ッ ト 4 1に掛け渡される。 このとき、 テンションガイ ド 4 a， 4 bのガ ィ ドスプロケッ ト 4 1は、 キヤリァテープ 5を下面側 （搬送状態にてプ ローブ 8 1側に位置する面側であり、 T C Pの外部端子が形成されてい る面側） から支持する。

試験時には、 プッシヤスプロケッ ト 3 5 a， 3 5 bがキャリアテープ 5を上面側から支持するとともにプッシャ本体 3 3がキヤリァテープ 5を吸着する。 この状態にて、 プッシャフレーム 3 6 (プッシャュニッ ト 3 ) が下方向 （Z軸方向） に移動することにより、 キャリアテープ 5 上の TC Pがプローブカード 8に対して押し付けられ、 TC Pの外部端 子とプローブ 8 1 とがコンタク トする。 そして、 T C Pにテスト信号が 印加され、 TC Pの性能や機能等が試験される （図 5参照） 。

ここで、 プッシャフレーム 3 6が下方に移動すると、 プッシャフレー ム 3 6とともに下方に移動するプッシヤスプロケッ ト 3 5 a, 3 5 bと、 T C Pハンドラ 2の本体に固定された高さ規制ガイ ド 2 7 a， 2 7 bと によって支持されたキヤリァテープ 5には張力が掛かる。テンションガ イ ド 4 a , 4 b (ガイ ドスプロケッ ト 4 1 ) は、 プッシャフレーム 3 6 とともに下方に移動するが、弾性体 4 5を介してプッシャフレーム 3 6 に吊り下げられたガイ ドスプロケッ ト 4 1は、プッシャフレーム 3 6に 対して上方向にスライ ドし、 これにより、 キャリアテープ 5に掛かる張 力を軽減する。 このとき、 ガイ ドスプロケット 4 1は回転しながらスラ ィ ドするため、 キヤリアテープ 5に摩擦を与えるおそれはない。

かかるガイ ドスプロケッ ト 4 1の元の位置に対する変位量は、ガイ ド スプロケッ ト 4 1を T C Pハンドラ 2の本体に取り付けた場合の変位 量と比較して小さいため、キヤリァテープ 5に掛かる張力を効果的に軽 減することができる。 これにより、 キャリアテープ 5に掛かる過剰な張 力に起因する、 テンションガイ ド 4 a , 4 bからのテープ脱落による搬 送ミスや、キャリアテープ 5上の T C Pの破損を防止することができる。 なお、 テンションガイ ド 4 a， 4 bの弾性体 4 5は、 テンションガイ ド 4 a , 4 bがプッシャフレーム 3 6に対して変位するときに発生する 振動や衝撃を緩和し、それら振動や衝撃がキヤリァテープ 5に伝達され ることを抑制する。

[変形例]

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載され たものであって、 本発明を限定するために記載されたものではない。 し たがって、 上記実施形態に開示された各要素は、 本発明の技術的範囲に 属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、 上記 T C Pハンドラ 2では、 テンションガイ ド 4 (ガイ ドス プロケッ ト 4 1 )がプッシャフレーム 3 6に対してスライ ド機構 4 4 1， 4 3 1を介して設置されている（図 3および図 4参照）。かかる構成は、 プッシャフレーム 3 6に対するテンションガイ ド 4の変位を円滑化で きる点で好ましい。しかし、これに限らず、他の変位可能な構成により、 テンションガイ ド 4がプッシャフレーム 3 6に対して設置されても良 い。 また、 テンションガイ ド 4は、 プッシャフレーム 3 6上にて一方向 (スライ ド方向） のみならず、 任意の平面方向に変位可能に設置されて も良い。 これらの変位可能な構成は、 当業者自明の範囲内にて任意に選 択できる。

また、 上記 T C Pハンドラ 2では、 テンションガイ ド 4 (ガイ ドスプ ロケッ ト 4 1 )がプッシャフレーム 3 6に対して弾性体 4 5を介して設 置されている （図 3および図 4参照） 。 具体的には、 弾性体 4 5がプッ シャフレーム 3 6と第一ベース 4 3との間に介在することにより、テン ションガイ ド 4がプッシャフレーム 3 6上に保持されている。 しかし、 これに限らず、 例えば、 弾性体 4 5が第 2ベース 4 4の係合溝 4 4 1内 に配置されることにより、 テンションガイ ド 4のスライ ド機構 4 4 1， 4 3 1 と一体化されて構成されても良い。 これにより、 テンションガイ ド 4をコンパク ト化できる利点がある。 また、 弾性体 4 5は、 コイルバ ネに限らず、 ゴム製部材その他の弾性部材、 エアシリンダ等の空気圧機 器 ·油圧機器などにより構成されても良い。 産業上の利用の可能性

以上説明したように、本発明に係る T C Pハンドリング装置によれば、 プッシヤスプロケッ トの移動に伴ってキヤリァテープに掛かる張力を 効果的に軽減させることができるため、キャリアテープ上の T C Pを破 損することなく試験に付すことができる。

Claims

請 求 の 範 囲

1 . テープ上に T C Pが複数形成されたキャリアテープを、 プッシャュ ニットによって支持しつつ、テストへッ ドに電気的に接続されているコ ンタク ト部に押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させ ることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハン ドリング装置であって、

前記プッシャユニッ トは、 プッシャ本体と、 前記プッシャ本体の前段 側および または後段側にてキャリアテープを支持 ·搬送するプッシャ スプロケッ トと、前記プッシヤスプロケッ トの前段側および/または後 段側にてキャリアテープをガイ ドするガイ ド部材とを備えるとともに、 前記コンタク ト部側に移動することにより前記キヤリァテープを前記 コンタクト部に押圧する構成を有し、

前記ガイ ド部材は、前記プッシヤスプロケッ トを支持するフレームに、 キヤリァテープに掛かる張力を軽減する方向に変位できるように取り 付けられていることを特徴とする T C Pハンドリング装置。

2 . 前記ガイ ド部材は、 前記フレームの移動方向に沿って変位できるよ うに前記フレームに取り付けられていることを特徴とする請求項 1 に 記載の T C Pハンドリング装置。

3 . 前記ガイ ド部材は、 弾性体を介して前記フレームに取り付けられて いることを特徴とする請求項 1または 2に記載の T C Pハンドリング 装置。

4 . 前記ガイ ド部材は、 スプロケッ トを備えて構成されていることを特 徴とする請求項 1〜 3のいずれかに記載の T C Pハンドリング装置。