WO2005083399A1 - 多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法および多方向同時観察光学系複合体 - Google Patents

多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法および多方向同時観察光学系複合体 Download PDF

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WO2005083399A1
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optical path
image
simultaneous observation
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Kazuhide Yamauchi
Kiyoshi Toyamori
Takayoshi Shino
Toru Kato
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Technical Co., Ltd
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    • G01N21/951Balls

Definitions

  • Multi-directional simultaneous observation optical system image reading device, image reading method, and multi-directional simultaneous observation optical system complex
  • the present invention relates to a multi-directional simultaneous observation optical system, an image reading device, an image reading method, and a multi-directional simultaneous observation optical system complex.
  • the present invention can simultaneously observe a test object from each surface with high accuracy.
  • Technology related to multi-directional simultaneous observation optical system, image reading device, image reading method, and multi-directional simultaneous observation optical system complex that can increase the efficiency of inspection, inspection, etc.
  • test object For quality control and other purposes in various industrial fields, observation and measurement of the external appearance of a test object from multiple directions may be required.
  • FIG. 12 is an explanatory diagram showing a conventional example of a method for observing a multi-directional force on a test object.
  • the appearance must be understood by observing from the front, back, left and right sides, flat surface, and bottom surface, that is, from six directions.
  • observation from multiple directions front and back, left and right, up and down, etc.
  • the position of the reader 407 requires a considerably complicated and sophisticated moving mechanism, and its setting requires labor and time. You.
  • Patent Document 1 relates to a technology for grasping the position between a plurality of measurement targets, and the one shown as Patent Document 2 is used for shape measurement when a blind spot occurs.
  • Patent Document 2 is used for shape measurement when a blind spot occurs.
  • Patent Document 3 discloses an improvement in the resolution of the optical interval sensor and a reduction in the secondary light reflection sensitivity. It is related to the technology to achieve.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-156333. "Ranging device, etc.” wrap up.
  • Patent Document 2 Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-322526. "3D shape measuring device”. wrap up.
  • Patent Document 3 JP-A-5-240607. "Optical interval sensor”. wrap up.
  • FIG. 13 is an explanatory diagram showing the relationship between the object plane 401 to be examined, the lens 405, and the image plane 403.
  • the distance from the end position 406 of the lens 405 to the object surface 401 is referred to as a single king distance (hereinafter referred to as WD) 402.
  • WD single king distance
  • the WD of a fixed magnification lens does not change. If the imaging position relationship shown in the figure is not satisfied, the focus plane (focus plane) is blurred. As a result, the reading device cannot output clear images.
  • FIG. 14 is an explanatory diagram showing an arrangement configuration of a system for observing a test object (a cubic in the figure) from multiple directions by reducing the number of readers to be installed in order to reduce costs.
  • the plane mirrors 4030a to 4030f are used to adjust the plane mirror arrangement so as to guide the six images of the object surface la-If to the lens 405.
  • the WD of each surface there are three different values of (1) 2a-2d, (2) 2e, and (3) 2f. Due to the occurrence of such a difference in WD, the focal plane is blurred by this method, and the reader becomes a reading device capable of simultaneously and accurately observing the six object surfaces simultaneously.
  • An object of the present invention is to provide a multidirectional simultaneous observation optical system, an image reading device, an image reading method, and a multidirectional simultaneous observation optical system complex.
  • One or more side image acquisition prism systems for obtaining one or more side images of one or more side surfaces of a test object, or a bottom surface image acquisition prism for obtaining a bottom image A multi-directional simultaneous observation optical system having at least one of the following system, wherein the side-view image acquisition prism system has an optical path redirection prism or a prism function for optical path redirection, and the prism In the system, an open space for acquiring an image of the upper surface of the test object and a space for placing the test object are secured just above the test object.
  • the prism systems are arranged such that the optical paths of the light emitted from the respective prisms are directed upwardly of the object to be inspected or parallel to each other and in the same direction.
  • a multi-directional simultaneous observation optical system which is arranged so as to be unobstructed.
  • One or more side-view image acquisition prism systems for obtaining one or more side images on one or more side surfaces of the object to be inspected, and a bottom-surface image acquisition for obtaining a bottom surface image
  • a multi-directional simultaneous observation optical system including a prism system, wherein each of the side image acquisition prism system and the bottom image acquisition prism system has an optical path direction changing prism or an optical path direction changing prism function.
  • an open space for acquiring an upper surface image of the object is secured immediately above the object to be inspected, and a side of the space is secured so as to secure an object mounting space.
  • the prisms are arranged so as to occupy a lower position, and the respective prism systems are arranged so that the optical paths of the light emitted from the respective prisms are directed to the upper side of the object to be measured or parallel to each other and in the same direction.
  • And light by other prism systems A multidirectional simultaneous observation optical system, which is arranged so as not to block a road.
  • the optical path length correcting prism or the optical path length correcting prism function is formed so as to be exchangeable or optical path length adjustable so that optical path length correction is performed according to the shape and size of the test object.
  • the multidirectional simultaneous observation optical system according to (3) which is characterized in that:
  • a 45 ° mirror prism or a prism having the function is used in the above-described side image acquiring prism system, and the bottom surface is used.
  • the image acquisition prism system is characterized in that a trapezoidal prism or a triangular prism capable of obtaining two changes of direction, or a prism having the function of shifting these is used, (3) or ( The multidirectional simultaneous observation optical system described in 4).
  • the optical path changing prism or the optical path changing prism function in the side image obtaining prism system is characterized by using a pentabrhythm capable of obtaining an erect image or a prism having the function. (3) The multi-directional simultaneous observation optical system according to (5).
  • Each of the prism systems is provided with an optical path shift prism or an optical path shift prism function for shifting an optical path above the optical path direction changing prism, (1)
  • the multi-directional simultaneous observation optical system according to (6) is provided with an optical path shift prism or an optical path shift prism function for shifting an optical path above the optical path direction changing prism.
  • the optical path shift prism or the optical path shift prism function is formed so as to reduce the optical path cross section of the light output from each surface of the object to be inspected, which reduces the area of light incident on a lens or the like and increases the resolution.
  • test object transporting means capable of mounting two or more test objects and transporting them via the test object mounting space, and each prism system is provided with the test object.
  • the multidirectional simultaneous observation optical system according to any one of (3) to (8), wherein the multidirectional simultaneous observation optical system is arranged so as to secure a path of the object transporting means.
  • the lens is a complex test object having a sphere, a superpolyhedron, or the like in shape.
  • An image reading device comprising: an electronic imaging device including: an image capturing device that can be used for image analysis including image measurement.
  • the multidirectional simultaneous observation optical system according to any one of (11) to (13), wherein image information of each surface of the object is acquired as light, and the light obtained through the lens is captured by a CCD. It is characterized by being able to obtain image information that can be processed electrically by performing photoelectric conversion processing by an electronic imaging device including a CMOS or a line CCD, and to use it for image analysis including image measurement. , Image reading method.
  • the prism system for acquiring the side image and the prism system for acquiring the bottom image are each provided with the prism for changing the optical path direction or the prism function for changing the optical path direction so that visual observation with the naked eye can be easily performed.
  • the side-surface image acquiring prism system may be a triangular mirror prism or a prism having the same function as the optical path direction changing prism or the optical path direction changing prism function.
  • a trapezoidal prism, a triangular prism, or a prism having the function thereof capable of obtaining twice the direction change is used, and the multidirectional simultaneous observation optics according to (16) is used. system.
  • a pentagonal prism capable of obtaining an erect image or a prism having the function is used as the prism for optical path redirection or the prism function for optical path redirection in the side image acquisition prism system.
  • test objects Two or more test objects are placed, and these are passed through the test object mounting space. (16) to (19), wherein each of the prism systems is arranged so as to secure a path of the object to be measured.
  • Multi-directional simultaneous observation characterized by using two or more multi-directional simultaneous observation optical systems according to (1) or (2), thereby enabling simultaneous observation in multiple directions of a test object.
  • Optical complex
  • the multidirectional simultaneous observation optical system, image reading device, image reading method, and multidirectional simultaneous observation optical system complex of the present invention are configured as described above. Power Simultaneous observation can be performed with high accuracy, and the efficiency of inspection and the like can be increased.
  • the following effects can be obtained by using the multidirectional simultaneous observation optical system, the image reading device, the image reading method, or the multidirectional simultaneous observation optical system complex of the present invention. it can.
  • Upright images can be provided simultaneously by replacing the 45 ° mirror prism of the side image acquisition prism system with a penta prism or a triangular mirror prism with a pentagonal prism ((6), (18) above) Multi-directional simultaneous observation optical system, image reading device, image reading method, multi-directional simultaneous observation optical system complex).
  • (V) By additionally configuring an optical path shifting prism function such as an optical path shifting prism or a plane mirror for optical path shifting, the area of light incident on the lens is reduced, and the size of an object captured by the image sensor per image is reduced.
  • the resolution can be increased (multi-directional simultaneous observation optical system, image reading device, image reading method, multi-directional simultaneous observation optical system complex as described in (7) and (8) above).
  • the size of each of the constituent prisms can be suppressed and the arrangement thereof can be made close to each other due to its characteristics. Can be downsized.
  • image measurement such as dimensional defect inspection can be performed accurately (multi-directional simultaneous observation optical system, image reading device, image reading method, multi-directional simultaneous observation optical system as described in (2) and (12) above). body).
  • FIG. 1 is a perspective explanatory view showing a model of a test object used for explaining the present invention.
  • FIG. 2 is an explanatory view conceptually showing a basic configuration of a multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • FIG. 2-2 is an explanatory diagram showing a configuration example of an observation optical system dedicated to bottom surface image acquisition in the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a configuration example of an observation optical system dedicated to bottom image acquisition in FIG. 2-2.
  • FIG. 2-2 is a perspective view showing a configuration example of the observation optical system exclusively for bottom image acquisition of FIG. 2-2.
  • FIG. 2B is a perspective view showing a configuration example of the observation optical system dedicated to bottom surface image acquisition in FIG. 2-2.
  • FIG. 2-6 is a perspective view showing a configuration example of the observation optical system dedicated to bottom image acquisition in FIG. 2-2.
  • FIG. 2-7] is a perspective view showing a configuration example of an observation optical system dedicated to bottom surface image acquisition in FIG. 2-2.
  • Fig. 3 is a perspective view showing a configuration for obtaining image information of six surfaces as a configuration example of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • FIG. 4 (A) is an explanatory view showing a vertical cross section taken along a line AA or a line A′-A ′ in FIG. 3 and a situation where an image is obtained.
  • FIG. 4 (B) is an explanatory view showing a vertical cross-section along the section line BB in FIG. 3 and a state in which an image can be obtained.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a basic configuration example of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention for obtaining an erect image.
  • FIG. 6 (A)] is an explanatory view showing a vertical cross section of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention shown in FIG. 3 and a state in which an image can be obtained.
  • FIG. 6 (B)] is an explanatory view showing a longitudinal section and a state where an image can be obtained of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention in which another configuration is added to FIG. 6 (A). It is a longitudinal cross-sectional view of another multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • FIG. 6-2 is a plan view showing an arrangement example of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • FIG. 7 is an explanatory view showing the principle configuration of the image reading apparatus of the present invention, wherein (A) mainly shows a side image acquisition prism system, and (B) shows a side image acquisition prism system. is there.
  • FIG. 8 is a perspective view showing a configuration that can be used for visual observation as a configuration example of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • FIG. 9 (A) is an explanatory view showing a vertical section taken along section line AA or section line A′-A ′ in FIG. 8 and a state where an image can be obtained with the naked eye.
  • FIG. 9 (B) is an explanatory view showing a vertical cross section taken along the line BB of FIG. 8 and a state where an image can be formed with the naked eye.
  • Fig. 10 is a perspective view showing a configuration in which a pentagonal prism is used as a configuration example of a simplified multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • FIG. 11 (A) is an explanatory view showing a vertical cross section taken along the line AA or the line A′-A ′ in FIG. 10 and a state where an image can be formed with the naked eye.
  • FIG. 11 (B) is an explanatory view showing a vertical section taken along the line BB of FIG. 10 and a state where an image can be formed with the naked eye.
  • FIG. 12 is an explanatory view showing a conventional example of a method of observing a test object from multiple directions.
  • FIG. 13 is an explanatory diagram showing a general relationship between a test object plane, a lens, and an image plane.
  • FIG. 14 is an explanatory diagram showing a conventional arrangement of a system for observing a test object from multiple directions by reducing the number of readers to be installed for cost reduction.
  • A, 2145B, 2145C Prism system for side image acquisition, 215 ⁇ lens, 218 ⁇ trapezoidal prism, 2185F... Prism system for bottom image acquisition, 3... Image plane to be imaged
  • 8a, 8b trapezoidal prism
  • 80a, 80b plane mirror for optical path shift
  • Test object transport means (test object mounting part), 90
  • A—A, A, A—, B—B ... Cutting line for explanation 401 ⁇ Test object plane, 402 ⁇ Working distance (WD), 402a-402f "'WD, 403 ⁇ Image plane, 4030a-4030f ... Plane mirror, 404 ⁇ Image sensor, 405” Lens, 406 ⁇ Lens end position, 407 ⁇ Reader
  • FIG. 1 is a perspective explanatory view showing a model of a test object used in the description of the present invention
  • FIG. 2 is an explanatory view conceptually showing a basic configuration of a multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • the multi-directional simultaneous observation optical system includes one or more side image acquisition prism systems 145A for obtaining one or more side images for one or more side surfaces of the test object 11. , 145B, etc., and a bottom image obtaining prism system 185F for obtaining a bottom image, which is also an optical system, and the side image obtaining prism system 145A, etc. and the bottom image obtaining prism system 185F are respectively optical paths.
  • It has a direction changing prism 14A, 14B, 18F or the like or an optical path changing prism function (hereinafter, also collectively referred to as “optical path changing prism”), and each of the prism systems 145A, 185F, etc.
  • an open space for acquiring an image of the upper surface of the test object 11 is secured, and a space around the space is occupied so that a space for placing the test object 11 is secured.
  • a part is provided occupying the lower position.
  • the prism systems 145A, 185F, etc. are arranged such that the optical path of the light emitted from each of them is directed upward of the test object 11 and the optical path is not blocked by the other prism systems. , The main configuration.
  • reference numeral 19 denotes a portion on which the test object is placed, which is referred to as a test object to be described later. It can also be a transport means.
  • one or more side image acquisition prism systems 145A, 145B, etc. are used to apply one or more side surfaces to the object 11 to be inspected.
  • a side image is obtained, and a bottom image is obtained by the bottom image acquisition prism system 185F.
  • Each of the prism systems 145A, 185F and the like occupies the side periphery of the open space, and a part thereof occupies a lower position, so that the mounting space of the test object 11 is secured.
  • the optical paths of the light emitted from the prism systems 145A, 185F, and the like go upward of the test object 11 and upward without being interrupted by the other prism systems. Opposite, it is acquired as an image of each surface.
  • the arrangement of the prism systems 145A, 185F and the like is such that the optical paths of the light emitted from the respective prisms are parallel to each other and in the same direction, and are positioned so that the optical paths are not blocked by the other prism systems. Things.
  • the principal ray which is a ray passing through the center of the stop in the optical system, is parallel on the object side of the lens.
  • a telecentric optical system that does not change magnification regardless of the distance of the object is realized. Therefore, there is no magnification change due to a focusing error, and there is no visual difference with respect to the test object between the center and the periphery of the image, so that no perspective is generated over the entire visual field and no distortion occurs. Images are acquired, and high accuracy can be obtained in image processing and measurement.
  • the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention has, in addition to the above-described configuration, the side image acquisition prism system 145A and the bottom image acquisition prism system 185F, respectively, the optical path direction changing prism 14A and the like.
  • the W An optical path length correcting prism 15A, 15B, 15F, etc., or an optical path length correcting prism function (hereinafter, also collectively referred to as “optical path length correcting prism”) is provided to make D the same as the WD on the upper surface. It can be configured.
  • the WD of each surface excluding the upper surface of the test object 11 becomes the same as the WD of the upper surface from the optical path length correcting prisms 15A, 15B, 15F and the like. In this way, the WD becomes equal for the image from each surface, the in-focus surface (focus surface) is adjusted, and a clear image output can be obtained in the reading device.
  • optical path length correcting prisms 15A, 15B, 15F and the like are appropriately replaced so as to perform optical path length correction according to the shape and size of the test object, or other appropriate means. Accordingly, a configuration in which the optical path length can be adjusted can be adopted.
  • FIG. 2-2 is an explanatory view showing a configuration example of the observation optical system dedicated to bottom surface image acquisition in the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention, and is a side view. Also,
  • FIG. 2-3 is a perspective view showing a configuration example of the observation optical system dedicated to bottom surface image acquisition in FIG. 2-2.
  • the present invention provides a prism system for obtaining one or more side images for obtaining one or more side images of one or more side surfaces of a test object, or a prism system for obtaining a bottom image for obtaining a bottom image. Since the system is a multi-directional simultaneous observation optical system having at least a deviation of ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ /! From the prism system, as shown in these figures, the prism 35 for correcting the optical path length and the prism for changing the optical path An observation optical system exclusively for bottom surface image acquisition, which is basically composed of the prism function portion 38F, is also within the scope of the present invention.
  • FIGS. 2-4 to 2-7 are front, rear, bottom, and plan views of the configuration example of FIG. 2-2.
  • FIG. 3 is a perspective view showing a configuration for obtaining six-plane image information as a configuration example of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • FIG. 4 (A) is an explanatory view showing a vertical cross-section along the section line A—A or A′—A ′ in FIG.
  • FIG. 4 (B) is an explanatory view showing a vertical section and a state where an image can be obtained along the cutting line BB in FIG.
  • the multi-directional simultaneous observation optical system uses the 45 ° mirror prisms 40a, 40b, 40c, 40d or the functions thereof in the side image acquisition prism system as the optical path direction changing prism and the like.
  • a prism (hereinafter, also collectively referred to as a “45 ° mirror prism”), or a trapezoidal prism 8a or a triangular prism or a triangular prism capable of obtaining twice a direction change in the bottom image acquiring prism system.
  • a prism having any one of the following functions hereinafter, also collectively referred to as a “trapezoidal prism” can be used.
  • FIG. 1 Note that these figures are only examples of a configuration for obtaining six-sided image information suitable for simultaneously observing the appearance of a test object including a cube from six directions, including a cube, from multiple directions. Therefore, the present invention is not limited to the number of powerful surfaces.
  • 50a, 50b,..., 50f are optical path length correcting prisms.
  • Reference numeral 5 denotes a lens
  • 6 denotes a lens end face
  • 3 denotes an image plane on which an image is formed.
  • the WD 2a from the object surface la on the side surface to the lens end surface 6 and the WD 2e from the object surface 1e on the upper surface to the lens end surface 6 are different.
  • the optical path length between the optical paths from the object surface la on the side surface to the lens is set so that the distance between 2a and 2e becomes the same value in terms of the optical path length in the air.
  • the correction prism 50a By arranging the correction prism 50a, it becomes possible to align the in-focus surface of the side surface la and the upper surface le of the surface of the test object with a common reading device.
  • the WDs of the side surfaces la and lb of the surface of the object to be inspected have different directions, but the distances 2a and 2b are equal. Therefore, for simultaneous observation of the surface of the object to be inspected, the optical path length correction prism 50a 50b should have the same specifications. According to the same principle, the four sides of the surface of the object to be inspected can be easily observed simultaneously with the same configuration for the optical path length correction prisms 50a, 50b, 50c, and 50d. .
  • the optical path length correcting prisms 5Oa and 50b are used instead of the plane mirrors 4030a to 4030f as described in the conventional example of FIG. 14 described above. Etc. can be reduced in size.
  • test object transporting means 9 is arranged below the test object. It can be provided.
  • the test object transporting means 9 can be made of a transparent material such as glass or glass so that a bottom image of the test object can be obtained therethrough. In the case where glass is used, the test object transporting unit may be hereinafter referred to as “test object transport glass plate”. By moving the test object transport glass plate 9 in a longitudinal direction thereof by an appropriate means, a plurality of test objects placed thereon can be continuously observed and inspected efficiently. .
  • the trapezoidal prism (or triangular prism) 8a having two reflecting surfaces is placed below the test object and the glass plate 9 for transporting the test object, and the optical path is bent twice in the direction of the lens 5 by reflecting the optical path twice. .
  • the distance between WD 2f from the lower object surface If to the lens 5 and the WD 2e from the upper object surface le to the lens 5 The optical path length correcting prisms 50f and 50e and the trapezoidal prism (or triangular prism) 8a having two reflecting surfaces are arranged so that the optical path length in the air is converted to the same value.
  • the in-focus surface of the object to be inspected is aligned, and the object surface If on the lower surface and the object surface le on the upper surface can be simultaneously observed by a common reading device.
  • the in-focus surface of the lower surface If and the upper surface le of the surface of the object to be inspected can be adjusted by using a common reading device.
  • the distance between the optical path length correcting prisms 50a and 50b and the distance between the optical path length correcting prisms 50d and 50c are shown. By adjusting the interval, it is possible to secure the space (9) for transporting the test object described above.
  • FIG. 4 (A), and FIG. 4 (B) according to the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention, a total of six surfaces including the upper and lower surfaces and four side surfaces are combined.
  • the surface of the object to be inspected can be simultaneously observed with one reading device and one imaging device.
  • the components (prisms) are arranged so as not to interfere with each other, so that there is no vignetting of the image where the six optical paths are not obstructed from each other.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a basic configuration example of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention for obtaining an erect image.
  • the multidirectional simultaneous observation optical system includes a pentaprism 60a or the like capable of obtaining an erect image or a prism having the function (hereinafter, referred to as a prism) as the optical path direction changing prism or the like in the side image acquisition prism system.
  • a prism Collectively referred to as “penta prism”.
  • the pentaprism is a kind of pentagonal prism.
  • the reflected light is bent 90 ° as an erect image and reflected.
  • Pentagonal prism By using vigorous pentablism, all acquired images can be erect images.
  • the pentaprisms 60a, 60b, 60c, and 60d are used as optical path direction changing prisms instead of the 45 ° mirror prism 40a in FIG. .
  • the light is reflected 90 ° by a single reflection on the mirror reflection surface.
  • the image generation here is confirmed with reference to FIG. 14 described above, it can be seen that the image directions of the images 402a, 402b, 402c, and 402d reflected once and the image 402f reflected twice are different. It becomes. Therefore, by replacing the 45 ° mirror prism 40a and the like in FIG. 3 with the pentabrhythm 60a and the like as shown in FIG. 5, the image of each side surface of the test object can be made to be twice reflected as the image of the lower surface, It is possible to obtain an image having a uniform direction, that is, an erect image, for all the object surfaces to be inspected.
  • FIG. 6 (A) is an explanatory diagram showing a vertical cross section of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention shown in FIG. 3 and a state where an image can be obtained.
  • FIG. 6 (B) is an explanatory view showing the vertical cross section of the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention in which another configuration is added to FIG. 6 (A) and the situation in which an image can be obtained.
  • 1) is a longitudinal sectional view of another multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • each of the prism systems of the present multi-directional simultaneous observation optical system includes an optical path redirection prism 40a and the like.
  • an optical path shifting prism 70a, 70b, 80a or the like for shifting the optical path, or an optical path shifting prism function (hereinafter, also collectively referred to as "optical path shifting prism") can be provided.
  • shift refers to movement in the cross-sectional direction of the traveling direction of light from each of the prisms 70a, 70b, or the like, or 80a, 80b, or the like.
  • the optical path shift prism 70a and the like reduce the area of light incident on a lens or the like and increase the resolution to increase the light output from each surface of the object to be inspected.
  • the optical path shift prisms 70 a and 70 b are placed above the optical path direction changing prism 40 a and the like and above or below the optical path length correction prisms 50 a to 50 d on the side surfaces.
  • the optical path shifting mirrors 80a, 80b, etc. the optical axis of the side image can be shifted in parallel.
  • the lens so as to reduce the area of light incident on the lens, the size of the entire image to be acquired from the test object can be reduced.
  • the size of an object captured per pixel of the image sensor can be reduced, and the resolution can be improved. Therefore, when the same imaging device is used, observation with higher resolution is possible.
  • the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention mounts two or more test objects and passes them through the test object mounting space.
  • the prism system 50a, 50e, etc. can be provided so that the conveyance path of the test object conveying means 9 is secured. be able to.
  • the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention is provided with four side image acquisition prism systems, and can obtain light output without each prism system.
  • Each image information of the regular six surfaces of the test object including the upper surface can be obtained as light.
  • grasping the appearance of the object to be inspected from six sides often satisfies the conditions for identifying the appearance in inspections and the like. There is considerable utility value.
  • FIG. 6B is a plan view showing an example of the arrangement of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • the four sets of side-view image acquisition prism systems are arranged in two sets of two sets opposing each other across the test object mounting space, and each set is arranged orthogonal to each other. (Pl, P2, P3, P4) (Fig. 6-2 (a)).
  • the two sets may be arranged at any angle (P5, P6, P7, P8) (FIG. 6-2 (b)).
  • the two opposing systems may be arranged in three or more sets. For example, by arranging three threads, it is possible to simultaneously observe a polyhedron of seven or more sides having five sides in multiple directions.
  • the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention includes a lens provided in the light output direction of the side image acquisition prism system and the bottom surface image acquisition prism system. It is also a good idea to specify this as, or alternatively, to exclude the lens.
  • a system capable of accurately performing image measurement such as dimensional measurement is configured by its characteristics. be able to. Also, the use of telecentric lenses
  • the test object may be of various shapes. The above description is centered on the cubic shape shown as a model of the test object in Fig. 1.However, in the case of a cuboid or cuboid shape with different sides, By changing the size of the prism 50a etc. to an appropriate one, it is possible to focus on all the object surfaces at the same time. (See Fig. 3, Fig. 4 (A), (B), etc.).
  • the number of sets of the optical path length correction prism 50a and the like and the 45 ° mirror prism 40a and the like on the side surface is determined by the number of side surfaces. It is possible to respond by increasing the number of minutes.
  • the depth of field of the lens of the reading device is increased as described above, so that the object can be applied to a sphere or a super-polyhedron.
  • the focal plane can be adjusted, and the effect of the present invention can be obtained.
  • (B) Increase the number of sets such as the optical path length correction prism 50a and the 45 ° mirror prism 40a by the number of side surfaces
  • FIG. 7 is an explanatory view showing the principle configuration of the image reading apparatus of the present invention.
  • FIG. 7 (A) mainly shows a side image acquisition prism system
  • FIG. 7 (B) mainly shows a side image acquisition prism system. It is shown.
  • the present image reading apparatus is composed of any of the above-described multi-directional simultaneous observation optical systems mainly including a side image acquisition prism system 2145A, 2145B, etc., and a bottom image acquisition prism system 2185F, and the lens
  • an electronic imaging device 213 such as a CCD, a CMOS, or a line CCD for photoelectrically converting light obtained through the 215 is provided.
  • a line CCD it is possible to observe multiple directions simultaneously while moving a long object such as a linear object.
  • the image reading apparatus can be used for image analysis including image measurement in combination with software such as appropriate image analysis software.
  • image information of each surface of the test object is acquired as light by the multi-directional simultaneous observation optical system having the same force as 2145A and 2185F,
  • the lens 21 The light obtained through 5 is subjected to photoelectric conversion by an electronic image pickup device 213 such as a CMOS or a line CCD to obtain image information that can be electrically processed, thereby obtaining an image.
  • Image analysis including measurement can be performed.
  • FIG. 8 is a perspective view showing a configuration that can be used for visual observation as a configuration example of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • FIG. 9 (A) is an explanatory view showing a vertical section taken along section line A--A or A ′-A ′ in FIG. 8 and a situation in which imaging with the naked eye is obtained.
  • FIG. 9 (B) is an explanatory view showing a vertical cross section taken along the line BB of FIG. 8 and a state in which imaging with the naked eye is obtained.
  • the present multi-directional simultaneous observation optical system includes the side image acquisition prism system and the bottom image acquisition prism system! Each of the prisms for changing the optical path direction
  • a characteristic configuration is that an open space is formed above 41a and the like. That is, the configuration is such that the above-described optical path length correcting prism is not provided.
  • the visual observation with the naked eye 10 can sufficiently and easily perform the multidirectional simultaneous observation of the test object. . Since the configuration can be simplified, it is advantageous in terms of cost and can be provided as a low-cost version of the observation optical system.
  • the multi-directional simultaneous observation optical system uses the side-surface image acquiring prism system as the optical path direction changing prism, a triangular mirror prism 41a or the like, and the bottom surface image acquiring prism system.
  • a trapezoidal prism 8b or a triangular prism that can obtain two changes in direction can be used.
  • the optical path length correction prism 50a and the like in FIG. 3 and the like are deleted, the reading device is replaced with the human eye 10, and the 45 ° mirror prism 40a and the like are replaced with a triangular mirror prism.
  • the prisms 41a, 41b, 41c, and 41d are replaced with the prism 90 for preventing reflection at the position of the prism 50f for correcting an optical path length.
  • the in-focus plane (focus plane) is simultaneously focused on all six object surfaces, and the multi-directional simultaneous observation optics is used.
  • the prisms constituting the system By arranging the prisms constituting the system so that their optical paths are not obstructed from each other, it is possible to simultaneously provide images of all six surfaces of the test object without vignetting.
  • This configuration does not require the provision of the optical path length correction prism 50a and the like and a reading device, and thus can exhibit sufficient functions as a simple observation optical system for, for example, visual inspection.
  • FIG. 10 is a perspective view showing a configuration using a pentagonal prism as a configuration example of the simplified multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
  • FIG. 11 (A) is an explanatory view showing a vertical section taken along section line A--A or A ′-A ′ in FIG. 10 and a state in which imaging with the naked eye is obtained.
  • FIG. 11 (B) is an explanatory view showing a vertical section taken along the line BB in FIG. 10 and a situation where an image can be obtained with the naked eye.
  • a pentagonal prism 6 la or the like capable of obtaining an erect image or a prism having the function can be used as the optical path direction changing prism in the side image acquisition prism system.
  • the operation and effect of the powerful configuration are basically the same as the operation and effect of the pentablism described above with reference to FIG. That is, the mirror prism 41a and the like shown in FIG. 8 are bent by a single reflection of the mirror reflection surface, but in the configuration using the pentagonal prism shown in FIG. 10 and the like, each of the pentagonal prisms 6la, 61b, 61c, 6c Since Id is reflected twice like the trapezoidal prism 8b, the image of each surface of the test object can be made the same direction.
  • test object transfer means 9 that can transfer the test object can be provided.
  • the side image acquisition prism system includes four systems, including the upper surface from which light output can be obtained without each prism system.
  • the four side image acquisition prism systems include two sets of two systems opposed to each other with the test object mounting space interposed therebetween. Each set can be arranged to be orthogonal to each other (Pl, P2, P3, P4) (Fig. 6-2 (a)). Further, the two sets may be arranged at arbitrary angles (P5, P6, P7, P8) (FIG. 6-2 (b)).
  • the object to be inspected can be accurately adjusted with respect to each surface force. It is an invention that can be observed simultaneously, can increase the efficiency of inspection and the like, and has extremely high industrial utility value.

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Abstract

  本発明の多方向同時観察光学系は、図2のように、被検物体11の各側面画像を得るための側面画像取得用プリズム系145A、145B等と、底面画像を得るための底面画像取得用プリズム系185Fとからなり、各プリズム系145A等はそれぞれ光路方向転換用プリズム14A、14B、18F等を有し、被検物体11の真上方向にはその上面画像を取得するための開放空間が確保され、各プリズム系145A等から出される光の光路が被検物体11の上方へ向い、かつ他のプリズム系により光路を遮られないように配置されることを主たる構成とする。これにより被検物体を各面から高精度に同時観察することができる。  

Description

明 細 書
多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法および 多方向同時観察光学系複合体
技術分野
[0001] 本発明は多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法および 多方向同時観察光学系複合体に係り、特に、被検物体を各面から高精度に同時観 察することができ、検査等の効率を高めることのできる、多方向同時観察光学系、画 像読み取り装置、画像読み取り方法および多方向同時観察光学系複合体に関する 背景技術
[0002] 各産業分野における品質管理その他の目的のために、被検物体外観の多方向か らの観察 ·測定が要望される場合がある。
図 12は、被検物体の多方向力もの観察方法の従来例を示す説明図である。図示 するように、面 lb、 lc、 le等を備えてなる被検物体を観察する場合、その正面'背面 •左右側面 ·平面 ·底面すなわち六面方向からの観察により、その外観を把握すること ができる力 ここでは、読み取り装置 407を適宜移動させて被検物体観察の方向を 変えることで、多方向(表裏 ·左右 ·上下など)からの観察がなされる。多方向力もの観 察を 1台の読み取り装置 407の移動により行う場合は、読み取り装置 407の位置決定 には、相当複雑かつ高度な移動機構が必要であり、その設定には労力と時間を要す る。
[0003] あるいは力かる方法を採らな 、場合は、任意の一方向から観察し、観察する被検物 体を動かし向きを変えることもなされている力 被検物体の移動と位置決めに相当の 労力 ·煩雑さが伴い、また作業効率や観察精度向上に限界がある。
[0004] 多方向からの同時観察 ·測定をテーマとした特許出願等の状況を知るために、下 記により、特許庁特許電子図書館により検索調査を試みた。
(I)検索調査 1
メニュー:公報テキスト検索 検索式:(六面 +多面) *測定 *同時 * (像 +画 +図 +撮)
資料:特許公開公報
検索月日:平成 15年 12月 18日
ヒット件数: 28件
[0005] (Π)検索調査 2
メニュー:公報テキスト検索
検索式:(六面 +多面) *観察 *同時 * (光学 +プリズム)
資料:特許公開公報、特許公報
検索月日:平成 16年 2月 19日
ヒット件数: 4件
[0006] これらのうち、後掲特許文献 1として示すものは、複数の測定対象間の位置把握技 術に係るものであり、特許文献 2として示すものは、死角が生じる場合の形状測定の ために複数の鏡による構成を用いるものであり(以上、上記検索調査 1より)、また特 許文献 3として示すものは、光学式間隔センサにおける分解能の向上と二次光反射 感度の低減ィ匕を図る技術に係るものである。
[0007] 特許文献 1 :特開 2003— 156333号公報。「測距装置、他」。要約。
特許文献 2 :特開平 5 - 322526号公報。「3次元形状測定装置」。要約。
特許文献 3 :特開平 5 - 240607号公報。「光学式間隔センサ」。要約。
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0008] さて、図 12を用いて上述した従来例では、被検物体を多方面力も観察 *計測する 場合、所要時間を抑制するために、観察方向の違う位置に固定した読み取り装置 40 7を必要台数設置することによつても対応がなされてきた。しかし、かかる方法は時間 節約になったとしても、一方コストを押し上げることとなっている。
[0009] 図 13は、披検物体面 401とレンズ 405、および像面 403の関係を示した説明図で ある。図において、レンズ 405の端部位置 406から被検物体面 401までの距離をヮ 一キングディスタンス(以下 WD) 402と称する力 通常、固定倍率のレンズの WDは 変化することはな ヽ。図に示す結像位置関係を満足しな ヽと合焦面 (ピント面)がボケ てしまい、読み取り装置力 鮮明な映像を出力することができない。
[0010] 図 14は、コスト抑制のために読み取り装置の設置数量を減らし、被検物体(図中、 立方体)を多方向から観察するシステムの配置構成を示した説明図である。図示する ようにこの方法では、平面ミラー 4030a— 4030fを用いて、被検物体面 la— Ifの六 面の映像をレンズ 405に導くよう平面ミラー配置関係を調整する。ここで各面の WD を比較すると、(1) 2a— 2dは共通、(2) 2e、 (3) 2f の三通りの違った値となる。かか る WDの相違の発生により、この方法では合焦面がボケてしまい、六面の被検物体面 を同時に正確に観察できる読み取り装置とはなって 、な 、。
[0011] 他方、力かる観察系を人間の目に置き換えて目視で観察する場合を考えると、三 通りの値をとる WDに対して人間の目は自動的にピント調整をすることができるため、 六面の被検物体面の同時観察において、読み取り装置における不都合が多少は軽 減される。し力しながら、視線を移動する時間と手間は必要となるため、観察にはよけ いに労力と時間を伴い、疲労を招き、観察精度の低下を早期に招くこととなる。
[0012] そこで本発明が解決しょうとする課題は、上記従来技術の問題点を除き、被検物体 を各面力も高精度に同時観察することができ、検査等の効率を高めることのできる、 多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法および多方向同時 観察光学系複合体を提供することである。
課題を解決するための手段
[0013] 本願発明者は上記課題について検討した結果、各面力 の像について単一の W Dを与え得るプリズム配置方法を構成することによって課題解決可能であることを見 出し、本発明に至った。すなわち、上記課題を解決するための手段として本願で特 許請求もしくは少なくとも開示される発明は、以下のとおりである。
[0014] (1) 被検物体の一または二以上の側面について各側面画像を得るための一ま たは二以上の側面画像取得用プリズム系、もしくは底面画像を得るための底面画像 取得用プリズム系の少なくとも ヽずれかを有してなる多方向同時観察光学系であつ て、該側面画像取得用プリズム系は、光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換 用プリズム機能を有しており、該プリズム系は、被検物体の真上方向にはその上面画 像を取得するための開放空間が確保されるとともに被検物体載置空間部が確保され るように該空間の側方に設けられ、該プリズム系は、それぞれにより出される光の光 路が被検物体の上方へ向うようにもしくは相互に平行かつ同一方向となるように、か つ光路を遮られな 、ように配置されて 、ることを特徴とする、多方向同時観察光学系
(2) 被検物体の一または二以上の側面につ!、て各側面画像を得るための一ま たは二以上の側面画像取得用プリズム系と、底面画像を得るための底面画像取得 用プリズム系とからなる多方向同時観察光学系であって、該側面画像取得用プリズ ム系および該底面画像取得用プリズム系はそれぞれ、光路方向転換用プリズムまた は光路方向転換用プリズム機能を有しており、該各プリズム系は、被検物体の真上 方向にはその上面画像を取得するための開放空間が確保されるとともに被検物体載 置空間部が確保されるように該空間の側方周囲および一部は下方位置を占めて設 けられ、該各プリズム系は、それぞれにより出される光の光路が被検物体の上方へ向 うようにもしくは相互に平行かつ同一方向となるように、かつ他のプリズム系により光 路を遮られな 、ように配置されて 、ることを特徴とする、多方向同時観察光学系。
(3) 前記側面画像取得用プリズム系および底面画像取得用プリズム系にはそれ ぞれ、前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能の上方に、 被検物体の上面を除く各面のワーキングディスタンスを上面のワーキングディスタン スと同一にするための光路長補正用プリズムまたは光路長補正用プリズム機能が設 けられていることを特徴とする、(1)または(2)に記載の多方向同時観察光学系。
(4) 前記光路長補正用プリズムまたは光路長補正用プリズム機能は、被検物体 の形状や大きさに応じた光路長補正がなされるよう、交換または光路長調整可能に 形成されていることを特徴とする、 (3)に記載の多方向同時観察光学系。
(5) 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、前 記側面画像取得用プリズム系にお 、ては 45° ミラープリズムまたはその機能を有す るプリズムが用いられ、前記底面画像取得用プリズム系にお 、ては二度の方向転換 を得ることのできる台形プリズムもしくは三角プリズムまたはこれらの 、ずれかの機能 を有するプリズムが用いられることを特徴とする、(3)または (4)に記載の多方向同時 観察光学系。 (6) 前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換用プリズムまた は光路方向転換用プリズム機能には、正立像を得ることのできるペンタブリズムまた はその機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、 (3)な 、し (5)の 、ずれ かに記載の多方向同時観察光学系。
(7) 前記各プリズム系には、前記光路方向転換用プリズムの上方に、光路をシ フトさせるための光路シフトプリズムまたは光路シフトプリズム機能が設けられているこ とを特徴とする、( 1)な 、し (6)の 、ずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(8) 前記光路シフトプリズムまたは光路シフトプリズム機能は、レンズ等への入射 光面積を縮小して解像度を高めるベぐ被検物体各面からの光出力の光路断面を縮 小させるように形成されていることを特徴とする、 (7)に記載の多方向同時観察光学 系。
(9) 二以上の被検物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由して 搬送することのできる被検物体搬送手段が設けられ、前記各プリズム系は該被検物 体搬送手段の経路が確保されるように配置されることを特徴とする、 (3)な 、し (8)の いずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(10) 前記側面画像取得用プリズム系は 4系統設けられ、前記各プリズム系なし に光出力の得られる上面方向を含めて被検物体の六方向からの各画像情報を光と して取得可能であることを特徴とする、 (3)な 、し (9)の 、ずれかに記載の多方向同 時観察光学系。
(11) 前記 4系統の側面画像取得用プリズム系は、前記被検物体載置空間部を 挟んで対向する 2系統による組が 2組配置されていて、各組は相互に直交しているか 、または任意の角度でもって配置されていることを特徴とする、(10)に記載の多方向 同時観察光学系。
( 12) 前記側面画像取得用プリズム系および前記底面画像取得用プリズム系の 光出力方向に設けられたレンズまたは被検物体側をテレセントリックとすることができ るテレセントリックレンズをさらに含んでなることを特徴とする、 (3)な 、し(10)の 、ず れかに記載の多方向同時観察光学系。
(13) 前記レンズは、形状に球体や超多面体などを有する複雑な被検物体であ つても各面同時に合焦面を合わせられるのに充分な被写界深度を備えていることを 特徴とする、(12)に記載の多方向同時観察光学系。
[0016] (14) (11)ないし(13)のいずれかに記載の多方向同時観察光学系と、前記レ ンズを介して得られる光を光電変換処理するための CCD、 CMOSもしくはライン CC Dを含む電子撮像素子とを備えてなり、画像計測を含む画像解析に用いることができ ることを特徴とする、画像読み取り装置。
(15) ( 11)ないし( 13)の 、ずれかに記載の多方向同時観察光学系により被検 物体の各面の画像情報を光として取得し、前記レンズを介して得られる該光を CCD 、 CMOSもしくはライン CCDを含む電子撮像素子により光電変換処理することによつ て電気的に処理の可能な画像情報を取得し、これにより画像計測を含む画像解析に 用いることができることを特徴とする、画像読み取り方法。
[0017] (16) 前記側面画像取得用プリズム系および底面画像取得用プリズム系はそれ ぞれ、肉眼による目視観察を容易に行えるように、前記光路方向転換用プリズムまた は光路方向転換用プリズム機能の上方に開放空間が形成されていることを特徴とす る、(1)または(2)に記載の多方向同時観察光学系。
( 17) 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、 前記側面画像取得用プリズム系にお 、ては三角ミラープリズムまたはその機能を有 するプリズムが用いられ、前記底面画像取得用プリズム系にお 、ては二度の方向転 換を得ることのできる台形プリズムもしくは三角プリズムまたはその機能を有するプリ ズムが用いられることを特徴とする、 (16)に記載の多方向同時観察光学系。
(18) 前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換用プリズムま たは光路方向転換用プリズム機能には、正立像を得ることのできる五角形プリズムま たはその機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、(16)または(17)に記 載の多方向同時観察光学系。
(19) 前記台形プリズムもしくは三角プリズムまたはその機能の上方には、反射 防止用プリズムまたはその機能が設けられていることを特徴とする、(16)ないし (18) の!、ずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(20) 二以上の被検物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由し て搬送することのできる被検物体搬送手段が設けられ、前記各プリズム系は該被検 物体搬送手段の経路が確保されるように配置されることを特徴とする、(16)ないし(1 9)の 、ずれかに記載の多方向同時観察光学系。
[0018] (21) 前記側面画像取得用プリズム系は 4系統設けられ、前記各プリズム系なし に光出力の得られる上面方向を含めて被検物体の六方向からの各画像情報を光と して取得可能であることを特徴とする、 (16)な 、し (20)の 、ずれかに記載の多方向 同時観察光学系。
(22) 前記 4系統の側面画像取得用プリズム系は、前記被検物体載置空間部を 挟んで対向する 2系統による組が 2組配置されていて、各組は相互に直交しているか 、または任意の角度でもって配置されていることを特徴とする、(21)に記載の多方向 同時観察光学系。
(23) (1)または(2)に記載の多方向同時観察光学系を二以上用いてなり、それ による被検物体の多方向同時観察が可能であることを特徴とする、多方向同時観察 光学系複合体。
発明の効果
[0019] 本発明の多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法および 多方向同時観察光学系複合体は上述のように構成されるため、これによれば、被検 物体を各面力 高精度に同時観察することができ、検査等の効率を高めることができ る。
[0020] さらに詳述すれば、本発明の多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読 み取り方法または多方向同時観察光学系複合体を用いることにより、下記の各効果 を得ることができる。
(I)被検物体の形状が、概略立方体的に把握できるか直方体的かに関わらず、六面 方向全てにおいて同時に合焦面を合わせることができ、かつ、いわゆるケラレのない 画像を同時に提供でき、外観欠陥検査等の画像解析を正確に行うことができ、検査 等の時間を短縮し、検査等の効率を高め、コストを抑制できる(上記(1)、(4)、 (12) 、(14)、(16)などの多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方 法、多方向同時観察光学系複合体)。 (II)被検物体が上下面のある七面体以上の多面体であっても、側面画像取得用プリ ズム系のセット数を増やすことで、全ての面において同時に合焦面が合い、、かつ、 ケラレのな 、画像を同時に提供することができる(上記 (4)などの多方向同時観察光 学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法、多方向同時観察光学系複合体)。
[0021] (III)被検物体が球体または超多面体であっても、読み取り装置のレンズの被写界深 度を長くすることにより、合焦面が合い、かつ、ケラレのない画像を同時に提供するこ とができる (上記 (4)などの多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取 り方法、多方向同時観察光学系複合体)。
(IV)側面画像取得用プリズム系の 45° ミラープリズムをペンタプリズムに、あるいは 三角ミラープリズムを 5角形プリズムに置き換えることで、正立した像を同時に提供で きる(上記 (6)、(18)などの多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み 取り方法、多方向同時観察光学系複合体)。
[0022] (V)光路シフトプリズムまたは光路シフト用平面ミラー等の光路シフトプリズム機能を 追加構成することで、レンズへの入射光面積が小さくなり、撮像素子の 1画像当たりの 取り込む物体サイズが小さくなり解像力を高めることができる(上記(7)、 (8)などの多 方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法、多方向同時観察光 学系複合体)。
[0023] (VI)被検物体を移動できる搬送経路を設けることにより、多数の被検物体の多方向 同時観察を連続的に行うことができる (上記 (9)などの多方向同時観察光学系、画像 読み取り装置、画像読み取り方法、多方向同時観察光学系複合体)。
[0024] (VII)読み取り装置のレンズに被検物体側テレセントリックレンズを用いることにより、 その特性から、構成する各プリズムの大きさを抑制できるとともに、その配置を近接さ せることができ、全体を小型化できる。また、寸法欠陥検査等の画像計測も正確に行 うことができる(上記 (2)、(12)などの多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、 画像読み取り方法、多方向同時観察光学系複合体)。
図面の簡単な説明
[0025] [図 1]図 1は、本発明の説明に用いる被検物体のモデルを示す斜視説明図である。
[図 2]本発明の多方向同時観察光学系の基本構成を概念的に示す説明図である。 [図 2-2]本発明の多方向同時観察光学系のうち、底面画像取得専用観察光学系の 構成例を示す説明図である。
圆 2-3]図 2-2の底面画像取得専用観察光学系の構成例を示す斜視図である。 圆 2- 4]図 2-2の底面画像取得専用観察光学系の構成例を示す斜視図である。 圆 2-5]図 2-2の底面画像取得専用観察光学系の構成例を示す斜視図である。 圆 2-6]図 2-2の底面画像取得専用観察光学系の構成例を示す斜視図である。 圆 2-7]図 2-2の底面画像取得専用観察光学系の構成例を示す斜視図である。 圆 3]本発明の多方向同時観察光学系の構成例として六面の画像情報を得るための 構成を示す斜視図である。
[図 4(A)]図 3の A— A切断線または A'— A'切断線による縦断面ならびに結像の得ら れる状況を示す説明図である。
[図 4(B)]図 3の B— B切断線による縦断面ならびに結像の得られる状況を示す説明図 である。
圆 5]正立像を得るための本発明多方向同時観察光学系の基本構成例を示す斜視 図である。
圆 6(A)]図 3に示した本発明多方向同時観察光学系の縦断面ならびに結像の得られ る状況を示す説明図である。
圆 6(B)]図 6 (A)に別の構成を付加した本発明多方向同時観察光学系の縦断面なら びに結像の得られる状況を示す説明図であり、(B— 1)はまた別の本発明多方向同 時観察光学系の縦断面図である。
圆 6-2]本発明の多方向同時観察光学系の配置例を示す平面図である。
圆 7]本発明の画像読み取り装置の原理構成を示す説明図であり、 (A)は側面画像 取得用プリズム系主体に、(B)は側面画像取得用プリズム系主体に、それぞれ示し たものである。
圆 8]本発明の多方向同時観察光学系の構成例として目視観察用途に用いることの できる構成を示す斜視図である。
[図 9(A)]図 8の A— A切断線または A'— A'切断線による縦断面ならびに肉眼による結 像の得られる状況を示す説明図である。 [図 9(B)]図 8の B— B切断線による縦断面ならびに肉眼による結像の得られる状況を 示す説明図である。
圆 10]本発明の簡易型多方向同時観察光学系の構成例として五角形プリズムを用 V、た構成を示す斜視図である。
[図 11(A)]図 10の A-A切断線または A'-A'切断線による縦断面ならびに肉眼によ る結像の得られる状況を示す説明図である。
[図 11(B)]図 10の B— B切断線による縦断面ならびに肉眼による結像の得られる状況 を示す説明図である。
圆 12]被検物体の多方向からの観察方法の従来例を示す説明図である。
圆 13]—般的な披検物体面とレンズ、および像面の関係を示した説明図である。
[図 14]従来において、コスト抑制のために読み取り装置の設置数量を減らし、被検物 体を多方向から観察するシステムの配置構成を示した説明図である。
符号の説明
la— If…被検物体の面、 10· ··肉眼、 11· ··被検物体、 14A、 14B、 18F…光路 方向転換用プリズム、 15A、 15B、 15F…光路長補正用プリズム、 145A、 145B
…側面画像取得用プリズム系、 185F…底面画像取得用プリズム系、 19· ··被検 物体の載置される部位 (被検物体搬送手段、被検物体載置部)、
2a、 2b、 2e、 2f"-WD、 213- CCDある!/、 ίま CMOS等の電子撮像素子、 2145
A、 2145B、 2145C…側面画像取得用プリズム系、 215· ··レンズ、 218· ··台形プ リズム、 2185F…底面画像取得用プリズム系、 3…結像される像面
40a、 40b、 40c、 40d- "45° ミラープリズム、 41a— 41d…光路方向転換用プリズ ム(三角ミラープリズム)
5 · · -レンズ、 50a— 50f · · ·光路長補正用プリズム
6· ··レンズ端面、 60a— 60d…ペンタプリズム、 61a— 61d…五角形プリズム 70a, 70b…光路シフトプリズム
8a、 8b…台形プリズム、 80a, 80b…光路シフ卜用平面ミラー
9· · ·被検物体搬送手段 (被検物体載置部)、 90· · '反射防止用プリズム
A— A、 A,一 A,、 B— B…説明のための切断線 401· ··披検物体面、 402· ··ワーキングディスタンス(WD)、 402a— 402f"'WD、 403· ··像面、 4030a— 4030f…平面ミラー、 404· ··撮像素子、 405· "レンズ、 406· ··レンズの端部位置、 407· ··読み取り装置
35· ··底面画像取得専用観察光学系の光路長補正用プリズム
38F…底面画像取得専用観察光学系の光路方向転換用プリズム (部分)
39· · '被検物体の載置される部位 (被検物体載置部)
Pl、 P2、 P3、 P4、 P5、 P6、 P7、 Ρ8· ··側面画像取得用プリズム系 発明を実施するための最良の形態
[0027] 以下、本発明を図面により詳細に説明する。以下の説明では、複数の図にわたつ て基本的に同一の機能を有する要素や、対応するプリズム面力 出る光を、同一の 符合で表すことがある。
図 1は、本発明の説明に用いる被検物体のモデルを示す斜視説明図、 図 2は、本発明の多方向同時観察光学系の基本構成を概念的に示す説明図であ る。
[0028] 図 2において本多方向同時観察光学系は、被検物体 11の一または二以上の側面 につ 、て各側面画像を得るための一または二以上の側面画像取得用プリズム系 14 5A、 145B等と、底面画像を得るための底面画像取得用プリズム系 185Fと力もなる 光学系であって、該側面画像取得用プリズム系 145A等および該底面画像取得用プ リズム系 185Fはそれぞれ、光路方向転換用プリズム 14A、 14B、 18F等または光路 方向転換用プリズム機能 (以下、まとめて「光路方向転換用プリズム」ともいう。)を有 しており、該各プリズム系 145A、 185F等は、被検物体 11の真上方向にはその上面 画像を取得するための開放空間が確保されるとともに被検物体 11載置空間部が確 保されるように、該空間の側方周囲を占めて、また一部は下方位置を占めて設けられ 、該各プリズム系 145A、 185F等は、それぞれにより出される光の光路が被検物体 1 1の上方へ向!、、かつ他のプリズム系により光路を遮られな 、ように配置されて 、るこ とを、主たる構成とする。
[0029] 図 2中、 19は、被検物体の載置される部位であり、これを、後述するような被検物体 搬送手段とすることもできる。
[0030] 力かる構成により本多方向同時観察光学系では、一または二以上の側面画像取得 用プリズム系 145A、 145B等によって、被検物体 11の一または二以上の側面につ Vヽて各側面画像が得られ、底面画像取得用プリズム系 185Fによって底面画像が得 られる。
[0031] 該側面画像取得用プリズム系 145A等および該底面画像取得用プリズム系 185F がそれぞれ有する光路方向転換用プリズム 14A等により、被検物体 11からこれらに 入射した光は、被検物体 11の上方向に向けて光路方向が転換される。被検物体 11 の上面画像は、その真上方向に確保された開放空間により、つまり特別プリズム系を 通すことなく取得される。
[0032] 各プリズム系 145A、 185F等が該開放空間の側方周囲を占めて、また一部は下方 位置を占めて設けられることにより、被検物体 11の載置空間部が確保される。
[0033] 該各プリズム系 145A、 185F等の配設構成により、それぞれにより出される光の光 路は被検物体 11の上方へ向 ヽ、かつ他のプリズム系により光路を遮られずに上方へ 向かい、各面の画像として取得される。
[0034] 図 2において各プリズム系 145A、 185F等の配置は、それぞれにより出される光の 光路が相互に平行かつ同一方向となり、他のプリズム系により光路を遮られないよう に酉己置されるものとすることができる。
[0035] 力かる構成をとることにより、光学系において絞りの中心を通る光線である主光線が 、レンズの被検物体側において平行となるため、本発明多方向同時観察光学系では 、被検物体の遠近に関わらず倍率変化のない光学系であるテレセントリック光学系が 実現する。したがって、ピント合わせ誤差による倍率変動が発生せず、さらに、画像 中心と周辺との間で被検物体に対する視覚差が生じないため、視野全般に亘つて遠 近感が発生せず、歪みのない画像が取得され、画像処理 '計測においても高い精度 を得ることができる。
[0036] 図において本発明多方向同時観察光学系は、上述の構成に加え、前記側面画像 取得用プリズム系 145A等および底面画像取得用プリズム系 185Fにはそれぞれ、 前記光路方向転換用プリズム 14A等の上方に、被検物体 11の上面を除く各面の W Dを上面の WDと同一にするための光路長補正用プリズム 15A、 15B、 15F等または 光路長補正用プリズム機能 (以下、まとめて「光路長補正用用プリズム」ともいう。)が 設けられた構成とすることができる。
力かる構成により本多方向同時観察光学系では、該光路長補正用プリズム 15 A、 1 5B、 15F等〖こより、被検物体 11の上面を除く各面の WDが上面の WDと同一となる ように補正される、つまりかかる補正により、各面からの像について WDが等しくなり、 合焦面 (ピント面)が合い、読み取り装置においては鮮明な映像の出力を得ることが できる。
ここで該光路長補正用プリズム 15 A、 15B、 15F等は、被検物体の形状や大きさに 応じた光路長補正がなされるように、これらを適宜交換することにより、またはその他 適宜の手段により、光路長調整可能に形成する構成をとることができる。
[0037] 図 2— 2は、本発明の多方向同時観察光学系のうち、底面画像取得専用観察光学 系の構成例を示す説明図であり、側面図である。また、
図 2— 3は、図 2— 2の底面画像取得専用観察光学系の構成例を示す斜視図である 。上述のように本発明は、被検物体の一または二以上の側面について各側面画像を 得るための一または二以上の側面画像取得用プリズム系、もしくは底面画像を得るた めの底面画像取得用プリズム系の少なくとも!/ヽずれかを有してなる多方向同時観察 光学系であるから、これらの図に示すように、光路長補正用プリズム 35および光路方 向転換用プリズムもしくは光路方向転換用プリズム機能部分たる 38Fとから基本的に 構成される、底面画像取得専用観察光学系も、本発明の範囲内である。本観察光学 系では、プリズム系からは底面画像のみが得られ、被検物体載置部 39上方からは平 面(上面)画像が得られ、計 2画像が得られる。側面画像の取得が不要で、底面画像 は必要な場合においては、この底面画像取得専用観察光学系が必要充分な構成で ある。なお、図 2— 4ないし 2— 7は図 2— 2の構成例の正面、背面、底面、平面の各図 である。
[0038] 本発明の多方向同時観察光学系では、これを構成する側面画像取得用プリズム系 の数は限定されない。たとえばその系統数は、 2、 3、 4、 5、 6、もしくは 7のいずれかと することができるが、 8以上でもよい。 [0039] 図 3は、本発明の多方向同時観察光学系の構成例として六面の画像情報を得るた めの構成を示す斜視図、
図 4 (A)は、図 3の A— A切断線または A'— A'切断線による縦断面ならびに結像の 得られる状況を示す説明図、
図 4 (B)は、図 3の B— B切断線による縦断面ならびに結像の得られる状況を示す説 明図である。
[0040] これらの図において、本多方向同時観察光学系は、前記光路方向転換用プリズム 等として、前記側面画像取得用プリズム系においては 45° ミラープリズム 40a、 40b 、 40c、 40dまたはその機能を有するプリズム(以下、まとめて「45° ミラープリズム」と もいう。)を、一方、前記底面画像取得用プリズム系においては二度の方向転換を得 ることのできる台形プリズム 8aもしくは三角プリズムまたはこれらのいずれかの機能を 有するプリズム(以下、まとめて「台形プリズム」ともいう。)を、それぞれ用いることがで きる。
[0041] なお、これらの図はあくまで、立方体を含む、六面力 外観を把握できる被検物体 についてこれを多方向から同時に観察するのに適した、六面の画像情報を得るため の構成例であり、本発明は力かる面数に限定されるものではない。これらの図中、 50 a、 50b、 · · ·、 50fは光路長補正用プリズムである。また、 5はレンズ、 6はレンズ端面 、 3は結像される像面である。
[0042] 図 4 (A)および図 3により、本発明多方向同時観察光学系における被検物体の側 面および上面画像の取得について、さらに説明する。
光は、空気中を伝達する速度よりも、ガラスの中を伝達する速度の方が速くなる。す なわち、ガラス中の光路長は、これを空気中の光路長に換算すると短くなる。したが つて、側面の被検物体面 laからレンズ端面 6までの WD 2aと、上面の被検物体面 1 eからレンズ端面 6までの WD 2eとは異なったものとなる。
[0043] そこで、より距離の長い 2aにおいて、 2aと 2eの距離が空気中の光路長に換算して 同じ値になるように、側面の被検物体面 laからレンズまでの光路間に光路長補正用 プリズム 50aを配置することにより、被検物体面の側面 laと上面 leの合焦面を、共通 の読み取り装置にぉ 、て合わせることが可能となる。 [0044] 被検物体面の側面 laと lbの WDは、それぞれの方向は違うものの、距離 2a、 2bは 等しいため、被検物体面の同時観察のためには、光路長補正用プリズム 50aと 50b は同じ仕様のものを配置すればよい。同様の原理により、被検物体面の四方向の側 面は、 50a、 50b、 50c、 50dの各光路長補正用プリズムの仕様を共通のものとする 構成により、容易に同時観察することができる。
[0045] また、前出図 14の従来例で説明したような平面ミラー 4030a— 4030fではなく 45 ° ミラープリズム 40a、 40b、 40c、 40dを使用することにより、光路長補正用プリズム 5 Oa、 50b等のサイズを小型化することができる。
[0046] 後述するように本多方向同時観察光学系では、被検物体を保持しこれを移動でき るようにするために、被検物体搬送手段 9を被検物体の下方に配置するように設ける ことができる。該被検物体搬送手段 9は、これを透して被検物体の底面画像を取得で きるよう〖こ、ガラス等の透明材料を用いて構成することができる。ガラスを用いる場合、 以下、被検物体搬送手段を「被検物体搬送用ガラス板」ということがある。該被検物 体搬送用ガラス板 9をその長手方向に適宜の手段によって移動させることにより、こ れに載置された複数の被検物体を、連続的に効率よく観察、検査することができる。
[0047] 図 4 (B)および図 3により、本発明多方向同時観察光学系における被検物体の上 面および底面(下面)画像の取得にっ 、て、さらに説明する。
二つの反射面を持つ台形プリズム (または三角プリズム) 8aを被検物体と被検物体 搬送用ガラス板 9の下方に配置し、二回光路を反射させることにより、光路をレンズ 5 の方向に折り曲げる。
[0048] 上述した側面の被検物体面の場合と同様に、下面の被検物体面 Ifからレンズ 5ま での WD 2fと、上面の被検物体面 leからレンズ 5までの WD 2eの距離力 空気中 の光路長に換算して同じに値になるように光路長補正用プリズム 50fならびに 50e、 および二つの反射面を持つ台形プリズム (または三角プリズム) 8aを配置する。それ により、被検物体の合焦面が合い、共通の読み取り装置で下面の被検物体面 Ifと上 面の被検物体面 leを同時に観察できる。つまり、被検物体面の下面 Ifと上面 leの 合焦面を、共通の読み取り装置にぉ 、て合わせることが可能となる。
[0049] これらの図において、光路長補正用プリズム 50aと 50bの間隔および 50dと 50cの 間隔を調整することにより、上述の被検物体を搬送するスペース (9)を確保すること ができる。
[0050] 図 3、図 4 (A)、図 4 (B)を用いて説明したように、本発明の多方向同時観察光学系 によれば、上下面と四方向の側面をあわせた合計六面の被検物体面を同時に一つ の読み取り装置、撮影装置で観察することができる。図 3に示すように、各部品(プリ ズム)は相互に干渉しないように配置されるため、六つの光路が相互に遮られること がなぐ像のケラレも発生しない。
[0051] 図 5は、正立像を得るための本発明多方向同時観察光学系の基本構成例を示す 斜視図である。図において本多方向同時観察光学系には、前記側面画像取得用プ リズム系における前記光路方向転換用プリズム等として、正立像を得ることのできる ペンタプリズム 60a等またはその機能を有するプリズム(以下、まとめて「ペンタプリズ ム」ともいう。)を用いることができる。
[0052] ここで、ペンタプリズムとは五角形プリズムの一種であり、特に、入射光をプリズム内 部で二回反射させることにより、像反転の発生せず、正立像のまま 90° 折り曲げて反 射することができる五角形プリズムをいう。力かるペンタブリズムの利用により、取得さ れるすべての画像を正立像とすることができる。
[0053] 図 5の例をさらに説明すると、該ペンタプリズム 60a、 60b、 60c、 60dは、前出図 3 における 45° ミラープリズム 40a等に替えて光路方向転換用プリズムとして用 、たも のである。
[0054] 図 3のミラープリズム 40a等では、ミラー反射面の一回の反射により 90° 折り曲げて 反射される。ここでの像生成を前出図 14を参照して確認すると、一回反射した 402a 、 402b, 402cおよび 402dの各像と、二回反射した 402fの像とでは、像の向きが異 なることとなる。したがって、図 3における 45° ミラープリズム 40a等を本図 5のように ペンタブリズム 60a等に替えることにより、被検物体の各側面の像を下面の像と同じ 二回反射にすることができ、全被検物体面について、方向のそろった像、つまり正立 像を得ることができる。
[0055] 図 6 (A)は、図 3に示した本発明多方向同時観察光学系の縦断面ならびに結像の 得られる状況を示す説明図、 図 6 (B)は、図 6 (A)に別の構成を付加した本発明多方向同時観察光学系の縦断 面ならびに結像の得られる状況を示す説明図であり、本図中の(B— 1)は、また別の 本発明多方向同時観察光学系の縦断面図である。
[0056] これらの図(特に、図 6 (B)、(B— 1) )において示すように、本多方向同時観察光学 系の各プリズム系には、前記光路方向転換用プリズム 40a等の上方に、光路をシフト させるための光路シフトプリズム 70a、 70b、 80a等、または光路シフトプリズム機能( 以下、まとめて「光路シフトプリズム」ともいう。)を設けることができる。ここで「シフト」は 、各プリズム 70a、 70b等、あるいはまた 80a、 80b等からの光の進行方向の断面方 向における移動を指す。
[0057] 図 6 (B)、(B— 1)において、該光路シフトプリズム 70a等は、レンズ等への入射光面 積を縮小して解像度を高めるベぐ被検物体各面からの光出力の光路断面を縮小さ せるように配置構成することができる。つまり、各プリズム 50a等中を上方に進行して きた光を、光軸中央寄りに収束させるように、光路シフトプリズム 70a等を配置構成す る。
[0058] これらの図でさらに説明すれば、光路方向転換用プリズム 40a等の上方、かつ、側 面の光路長補正用プリズム 50a— 50dの上方もしくは下方に、光路シフトプリズム 70 a、 70b等力、または光路シフト用ミラー 80a、 80b等を配置することにより、側面画像 の光軸を平行シフトすることができる。上述のようにレンズへの入射光面積を小さくす るように配置すれば、結果的には、被検物体から取得すべき像全体のサイズを小さく することができる。撮像素子の一画素当たりに取り込む物体サイズを小さくすることが でき、分解能を向上させることができる。したがって、同じ撮像素子を使用した場合、 より解像力を高めての観察が可能となる。
[0059] 図 3、図 5等に示したとおり、本発明の多方向同時観察光学系には、二以上の被検 物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由して搬送することのできる被 検物体搬送手段 9を設けることができ、前記各プリズム系 50a、 50e等は、該被検物 体搬送手段 9の搬送経路が確保されるように配置する構成をとることができる。
各図における例示に用いたように、本発明の多方向同時観察光学系は、前記側面 画像取得用プリズム系は 4系統設けられ、前記各プリズム系なしに光出力の得られる 上面を含めて被検物体の正六面の各画像情報を光として取得可能なものとして構成 することができる。産業財産権手続における意匠の特定に常用されているように、被 検物体の外観を六面により把握することは、検査等における外観特定のための条件 を満たす場合が多いため、かかる構成には相当の利用価値がある。
[0060] 図 6— 2は、本発明の多方向同時観察光学系の配置例を示す平面図である。図示 するように前記 4系統の側面画像取得用プリズム系は、前記被検物体載置空間部を 挟んで対向する 2系統による組が 2組配置されていて、各組は相互に直交して配置( Pl、 P2、 P3、 P4)される構成とすることができる(図 6— 2 (a) )。また、該 2組は任意の 角度でもって配置 (P5、 P6、 P7、 P8)される構成とすることもできる(図 6—2 (b) )。 本発明では、前記対向する 2系統は、 3組以上配置するように構成することもできる 。たとえばこれを 3糸且配置すれば、側面が 5つある 7面体以上の多面体の多方向同時 観察も可能である。
[0061] 各図において説明したように、本発明の多方向同時観察光学系は、前記側面画像 取得用プリズム系および前記底面画像取得用プリズム系の光出力方向に設けられた レンズを含んだものとしてこれを特定することも、あるいはまたレンズは除外したものと してこれを特定することちでさる。
[0062] また、前記レンズには、被検物体側をテレセントリックとすることができるテレセントリ ックレンズを用いることによって、その特性により、寸法計測等の画像計測を正確に行 うことのできるシステムを構成することができる。また、テレセントリックレンズの使用は
、本光学系を構成する各プリズムの寸法を小型化することを可能とし、さらに、各プリ ズム構成力もなる光学系全体の小型化も可能とする。
[0063] 前記レンズとしては、形状に球体や超多面体などを有する複雑な被検物体であつ ても各面同時に合焦面を合わせられるのに充分な被写界深度を備えたものを、特に 用!/、ることができる。
[0064] 被検物体としては、種々の形状のものがあり得る。以上の説明は、図 1に被検物体 のモデルとして示した立方体的形状を中心にしたものであるが、各辺の長さが違う直 方体あるいは直方体的形状の場合は、前記光路長補正用プリズム 50a等の大きさを 適当なものに変えることによって、全ての被検物体面に同時に合焦させることができ る(図 3、図 4 (A)、(B)等参照)。
[0065] また、上下面が平行でかつ側面が五面以上あるような異形多面体の場合は、側面 の光路長補正用プリズム 50a等と 45° ミラープリズム 40a等のセット数を、側面の面 数分だけ増やすことにより、対応することができる。
[0066] さらに、被検物体が球体や、非常に面数の多い超多面体の場合は、上述のように 読み取り装置のレンズの被写界深度を深くすることにより、球体または超多面体にも 合焦面を合わせることができ、本発明の効果を得ることができる。
[0067] このような、被検物体としての形状の複雑さを一または二以上併せ持つ場合であつ ても、
(ァ)光路長補正用プリズム 50a等の大きさを適当なものに変える
(ィ)光路長補正用プリズム 50a等と 45° ミラープリズム 40a等のセット数を、側面の面 数分だけ増やす
(ゥ)レンズの被写界深度を深くする
の各方法を適宜組み合わせたり、あるいは単独で採用することにより、対応すること ができる。
[0068] 図 7は、本発明の画像読み取り装置の原理構成を示す説明図であり、 (A)は側面 画像取得用プリズム系主体に、(B)は側面画像取得用プリズム系主体に、それぞれ 示したものである。
図において本画像読み取り装置は、側面画像取得用プリズム系 2145A、 2145B 等および底面画像取得用プリズム系 2185Fとから主として構成される、上述した ヽず れかの多方向同時観察光学系と、前記レンズ 215を介して得られる光を光電変換処 理するための CCDあるいは CMOS、もしくはライン CCD等の電子撮像素子 213とを 備えることを原理構成とする。ライン CCDを用いることにより、線状物等、長尺の被検 物体を移動させながら連続的に多方向同時観察することができる。
[0069] 力かる構成により本画像読み取り装置は、適宜の画像解析ソフトなどのソフトウェア との組み合わせで、画像計測を含む画像解析に用いることができる。
[0070] 図 7 (A)、 (B)に示した原理構成を用いて、 2145A、 2185F等力もなる該多方向 同時観察光学系により被検物体の各面の画像情報を光として取得し、前記レンズ 21 5を介して得られる該光を CCDある!/、は CMOS、もしくはライン CCD等の電子撮像 素子 213により光電変換処理することによって電気的に処理の可能な画像情報を取 得し、これにより画像計測を含む画像解析を行うことができる。
[0071] 図 8は、本発明の多方向同時観察光学系の構成例として目視観察用途に用いるこ とのできる構成を示す斜視図、
図 9 (A)は、図 8の A— A切断線または A'— A'切断線による縦断面ならびに肉眼に よる結像の得られる状況を示す説明図、
図 9 (B)は、図 8の B— B切断線による縦断面ならびに肉眼による結像の得られる状 況を示す説明図である。
[0072] これらの図において本多方向同時観察光学系は、前記側面画像取得用プリズム系 および底面画像取得用プリズム系にお!ヽてそれぞれ、前記光路方向転換用プリズム
41a等の上方に開放空間が形成されていることを特徴的な構成とする。すなわち、上 述の光路長補正用プリズムを設けな 、構成である。
[0073] 敢えて光路長補正用プリズムを設けないこととした力かる構成によっても、肉眼 10 による目視観察であれば、被検物体の多方向同時観察を充分に、かつ容易に行うこ とができる。構成を簡便化できるためコスト上有利であり、廉価版観察光学系として提 供することができる。
[0074] 図において本多方向同時観察光学系は、前記光路方向転換用プリズムとしては、 前記側面画像取得用プリズム系にお 、ては三角ミラープリズム 41a等を用い、前記 底面画像取得用プリズム系においては二度の方向転換を得ることのできる台形プリ ズム 8bもしくは三角プリズム等を用いることができる。
[0075] さらに図示の具体例により説明すれば、図 3等における光路長補正用プリズム 50a 等を削除し、前記読み取り装置を人の目 10に置き換え、 45° ミラープリズム 40a等を 、三角ミラープリズム 41a、 41b、 41c、 41dに置き換え、また、光路長補正用プリズム 50fの位置に反射防止用プリズム 90を配置することにより、本多方向同時観察光学 系を構成できる。
[0076] これにより、本発明光学系を小型化し、またその構成を簡素化することができる。六 面全ての被検物体面に同時に合焦面 (ピント面)が合い、前記多方向同時観察光学 系を構成する各プリズムを、それぞれの光路が相互に遮られることのないように配置 することにより、ケラレのない被検物体の六面全ての画像を、同時に提供することが できる。
[0077] 本構成は、光路長補正用プリズム 50a等と読み取り装置を備えることを不要とする ため、たとえば目視検査用途に、簡易型の観察光学系として充分な機能を発揮する ことができる。
[0078] 図 10は、本発明の簡易型多方向同時観察光学系の構成例として五角形プリズム を用いた構成を示す斜視図、
図 11 (A)は、図 10の A— A切断線または A'— A'切断線による縦断面ならびに肉眼 による結像の得られる状況を示す説明図、
図 11 (B)は、図 10の B— B切断線による縦断面ならびに肉眼による結像の得られる 状況を示す説明図である。
[0079] これらの図において、前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換 用プリズムには、正立像を得ることのできる五角形プリズム 6 la等、またはその機能を 有するプリズムを用いることができる。
[0080] 力かる構成による作用効果は、先に図 5を用いて説明したペンタブリズムにおける 作用効果と、基本的に同様である。すなわち、図 8に示したミラープリズム 41a等では 、ミラー反射面の一回の反射によって折り曲げるところ、図 10等に示した五角形プリ ズム利用の構成では、各五角形プリズム 6 la、 61b、 61c、 6 Idは、台形プリズム 8bと 同じく二回反射するため、被検物体各面の像を同方向の像にすることができる。
[0081] 図 8、 10等において示されるように、本簡易型多方向同時観察光学系においても、 二以上の被検物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由して搬送する ことのできる被検物体搬送手段 9を設けることができる。
[0082] 各図に例示されるように、本簡易型多方向同時観察光学系においても、前記側面 画像取得用プリズム系を 4系統とし、前記各プリズム系なしに光出力の得られる上面 を含めて被検物体の正六面の各画像情報を光として取得可能な構成をとることがで きる。 4系統の側面画像取得用プリズム系は、図 6— 2を用いて先に説明したように、 前記被検物体載置空間部を挟んで対向する 2系統による組が 2組配置されていて、 各組は相互に直交して配置 (Pl、 P2、 P3、 P4)される構成とすることができる(図 6— 2 (a) )。また、該 2組は任意の角度でもって配置 (P5、 P6、 P7、 P8)される構成とする こともできる(図 6— 2 (b) )。
[0083] 以上説明した多方向同時観察光学系を二以上用いることによって、たとえばサイズ の相当大きな被検物体の多方向同時観察を可能とするような、多方向同時観察光学 系複合体を構成することも可能である。
産業上の利用可能性
[0084] 本発明の多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法および 多方向同時観察光学系複合体は上述のように構成されているため、被検物体を各 面力も高精度に同時観察することができ、検査等の効率を高めることができ、産業上 利用価値が極めて高 、発明である。

Claims

請求の範囲
[1] 被検物体の一または二以上の側面にっ 、て各側面画像を得るための一またはニ以 上の側面画像取得用プリズム系、もしくは底面画像を得るための底面画像取得用プ リズム系の少なくとも 、ずれかを有してなる多方向同時観察光学系であって、該側面 画像取得用プリズム系は、光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム 機能を有しており、該プリズム系は、被検物体の真上方向にはその上面画像を取得 するための開放空間が確保されるとともに被検物体載置空間部が確保されるように 該空間の側方に設けられ、該プリズム系は、それぞれにより出される光の光路が被検 物体の上方へ向うようにもしくは相互に平行かつ同一方向となるように、かつ光路を 遮られな 、ように配置されて 、ることを特徴とする、多方向同時観察光学系。
[2] 被検物体の一または二以上の側面につ!、て各側面画像を得るための一またはニ以 上の側面画像取得用プリズム系と、底面画像を得るための底面画像取得用プリズム 系とからなる多方向同時観察光学系であって、該側面画像取得用プリズム系および 該底面画像取得用プリズム系はそれぞれ、光路方向転換用プリズムまたは光路方向 転換用プリズム機能を有しており、該各プリズム系は、被検物体の真上方向にはその 上面画像を取得するための開放空間が確保されるとともに被検物体載置空間部が 確保されるように該空間の側方周囲および一部は下方位置を占めて設けられ、該各 プリズム系は、それぞれにより出される光の光路が被検物体の上方へ向うようにもしく は相互に平行かつ同一方向となるように、かつ他のプリズム系により光路を遮られな V、ように配置されて 、ることを特徴とする、多方向同時観察光学系。
[3] 前記側面画像取得用プリズム系および底面画像取得用プリズム系にはそれぞれ、前 記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能の上方に、被検物体 の上面を除く各面のワーキングディスタンスを上面のワーキングディスタンスと同一に するための光路長補正用プリズムまたは光路長補正用プリズム機能が設けられてい ることを特徴とする、請求項 1または 2に記載の多方向同時観察光学系。
[4] 前記光路長補正用プリズムまたは光路長補正用プリズム機能は、被検物体の形状や 大きさに応じた光路長補正がなされるよう、交換または光路長調整可能に形成されて いることを特徴とする、請求項 3に記載の多方向同時観察光学系。
[5] 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、前記側面画 像取得用プリズム系にお 、ては 45° ミラープリズムまたはその機能を有するプリズム が用いられ、前記底面画像取得用プリズム系にお 、ては二度の方向転換を得ること のできる台形プリズムもしくは三角プリズムまたはこれらのいずれかの機能を有するプ リズムが用いられることを特徴とする、請求項 3または 4に記載の多方向同時観察光 学系。
[6] 前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換用プリズムまたは光路 方向転換用プリズム機能には、正立像を得ることのできるペンタブリズムまたはその 機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、請求項 3ないし 5のいずれかに 記載の多方向同時観察光学系。
[7] 前記各プリズム系には、前記光路方向転換用プリズムの上方に、光路をシフトさせる ための光路シフトプリズムまたは光路シフトプリズム機能が設けられていることを特徴 とする、請求項 1ないし 6のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
[8] 前記光路シフトプリズムまたは光路シフトプリズム機能は、レンズ等への入射光面積 を縮小して解像度を高めるベぐ被検物体各面からの光出力の光路断面を縮小させ るように形成されて 、ることを特徴とする、請求項 7に記載の多方向同時観察光学系
[9] 二以上の被検物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由して搬送する ことのできる被検物体搬送手段が設けられ、前記各プリズム系は該被検物体搬送手 段の経路が確保されるように配置されることを特徴とする、請求項 3な ヽし 8の 、ずれ かに記載の多方向同時観察光学系。
[10] 前記側面画像取得用プリズム系は 4系統設けられ、前記各プリズム系なしに光出力 の得られる上面方向を含めて被検物体の六方向からの各画像情報を光として取得 可能であることを特徴とする、請求項 3ないし 9のいずれかに記載の多方向同時観察 光学系。
[11] 前記 4系統の側面画像取得用プリズム系は、前記被検物体載置空間部を挟んで対 向する 2系統による組が 2組配置されていて、各組は相互に直交している力、または 任意の角度でもって配置されていることを特徴とする、請求項 10に記載の多方向同 時観察光学系。
[12] 前記側面画像取得用プリズム系および前記底面画像取得用プリズム系の光出力方 向に設けられたレンズまたは被検物体側をテレセントリックとすることができるテレセン トリックレンズをさらに含んでなることを特徴とする、請求項 3ないし 10のいずれかに記 載の多方向同時観察光学系。
[13] 前記レンズは、形状に球体や超多面体などを有する複雑な被検物体であっても各面 同時に合焦面を合わせられるのに充分な被写界深度を備えていることを特徴とする 、請求項 12に記載の多方向同時観察光学系。
[14] 請求項 11ないし 13のいずれかに記載の多方向同時観察光学系と、前記レンズを介 して得られる光を光電変換処理するための CCD、 CMOSもしくはライン CCDを含む 電子撮像素子とを備えてなり、画像計測を含む画像解析に用いることができることを 特徴とする、画像読み取り装置。
[15] 請求項 11な 、し 13の 、ずれかに記載の多方向同時観察光学系により被検物体の 各面の画像情報を光として取得し、前記レンズを介して得られる該光を CCD、 CMO Sもしくはライン CCDを含む電子撮像素子により光電変換処理することによって電気 的に処理の可能な画像情報を取得し、これにより画像計測を含む画像解析に用いる ことができることを特徴とする、画像読み取り方法。
[16] 前記側面画像取得用プリズム系および底面画像取得用プリズム系はそれぞれ、肉眼 による目視観察を容易に行えるように、前記光路方向転換用プリズムまたは光路方 向転換用プリズム機能の上方に開放空間が形成されていることを特徴とする、請求 項 1または 2に記載の多方向同時観察光学系。
[17] 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、前記側面画 像取得用プリズム系にお 、ては三角ミラープリズムまたはその機能を有するプリズム が用いられ、前記底面画像取得用プリズム系にお 、ては二度の方向転換を得ること のできる台形プリズムもしくは三角プリズムまたはその機能を有するプリズムが用いら れることを特徴とする、請求項 16に記載の多方向同時観察光学系。
[18] 前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換用プリズムまたは光路 方向転換用プリズム機能には、正立像を得ることのできる五角形プリズムまたはその 機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、請求項 16または 17に記載の多 方向同時観察光学系。
[19] 前記台形プリズムもしくは三角プリズムまたはその機能の上方には、反射防止用プリ ズムまたはその機能が設けられていることを特徴とする、請求項 16ないし 18のいず れかに記載の多方向同時観察光学系。
[20] 二以上の被検物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由して搬送する ことのできる被検物体搬送手段が設けられ、前記各プリズム系は該被検物体搬送手 段の経路が確保されるように配置されることを特徴とする、請求項 16な 、し 19の 、ず れかに記載の多方向同時観察光学系。
[21] 前記側面画像取得用プリズム系は 4系統設けられ、前記各プリズム系なしに光出力 の得られる上面方向を含めて被検物体の六方向からの各画像情報を光として取得 可能であることを特徴とする、請求項 16ないし 20のいずれかに記載の多方向同時観 察光学系。
[22] 前記 4系統の側面画像取得用プリズム系は、前記被検物体載置空間部を挟んで対 向する 2系統による組が 2組配置されていて、各組は相互に直交している力、または 任意の角度でもって配置されていることを特徴とする、請求項 21に記載の多方向同 時観察光学系。
[23] 請求項 1または 2に記載の多方向同時観察光学系を二以上用いてなり、それによる 被検物体の多方向同時観察が可能であることを特徴とする、多方向同時観察光学 系複合体。
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