WO2006070444A1 - 多方向同時観察光学系および画像読み取り装置 - Google Patents
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Definitions
- Multi-directional simultaneous observation optical system and image reading apparatus Multi-directional simultaneous observation optical system and image reading apparatus
- the present invention relates to a multi-directional simultaneous observation optical system and an image reading apparatus, and in particular, can simultaneously observe a test object with high precision at each surface force, and can increase the efficiency of inspection and the like.
- the present invention relates to a multidirectional simultaneous observation optical system and an image reading apparatus capable of efficiently observing a linear test object.
- FIG. 9 is an explanatory view showing a conventional example of a method for observing a test object having multidirectional forces.
- the appearance is grasped by observing the front, back, left and right sides, plane, bottom, that is, from the six sides.
- the reading device 407 is appropriately moved to change the direction of observation of the object to be observed, so that observation from multiple directions (front and back, left and right, up and down, etc.) is performed.
- positioning of the reading device 407 requires a considerably complicated and sophisticated moving mechanism, and the setting requires labor and time.
- Patent Document 1 relates to a technique for grasping a position between a plurality of measurement objects
- Patent Document 2 is for shape measurement when a blind spot occurs.
- the above configuration uses multiple mirrors (from the above search survey 1), and the one shown in Patent Document 3 improves the resolution of the optical distance sensor and reduces the secondary light reflection sensitivity. (From the above search survey 2).
- Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-156333. "Rangefinder, etc.” wrap up.
- Patent document 2 JP-A-5-322526. "3D shape measuring device”. wrap up.
- Patent Document 3 JP-A-5-240607. "Optical distance sensor”. wrap up.
- FIG. 10 is an explanatory diagram showing the relationship between the test object surface 401, the lens 405, and the image plane 403.
- the distance from the end position 406 of the lens 405 to the object surface 401 to be measured is called a single king distance (hereinafter referred to as WD) 402.
- WD single king distance
- the WD of a lens with a fixed magnification does not change. If the imaging position relationship shown in the figure is not satisfied, the focal plane (focus plane) will be blurred, and the reader will not be able to output a clear image.
- FIG. 11 shows a reduction in the number of readers installed to reduce costs, It is an explanatory view showing an arrangement configuration of a system for observing a cube) from multiple directions.
- the plane mirror arrangement relationship is adjusted so that the images of the six surfaces of the object surface la-If are guided to the lens 405 using the plane mirrors 4030a-4030f.
- three different values (1) 2a-2d are common, (2) 2e, and (3) 2f. Due to the difference in WD, the focused surface is blurred by this method, and it becomes a reading device that can accurately observe the six object surfaces simultaneously.
- At least one or more side image acquisition prism systems for obtaining each side image of one or more side surfaces of the test object, or a bottom image acquisition prism system for obtaining a bottom image A multi-directional simultaneous observation optical system having a misalignment, wherein the side image acquisition prism system has an optical path direction changing prism or an optical path direction changing prism function, and the prism system has In the upward direction of the object to be examined, an open space for acquiring the upper surface image is secured and a space for placing the object to be examined is secured on the side of the space, the prism system Are arranged so that the optical paths of the light emitted by each of them are directed upward of the object to be examined or are parallel to each other and in the same direction and are not obstructed by the optical paths.
- Multi-directional simultaneous view Optical system Multi-directional simultaneous view Optical system
- a multi-directional simultaneous observation optical system comprising a prism system, the prism for acquiring the side image
- Each of the prism system and the bottom surface image acquisition prism system has a light path direction changing prism or a light path direction changing prism function, and each prism system has a top surface image directly above the object to be examined.
- the space around the side and part of the space occupy the lower position so that an open space for acquiring the image and a space for placing the object to be inspected are secured.
- the optical paths of the light emitted by each of them are arranged so as to be directed upward of the object to be inspected or in parallel with each other and in the same direction and not blocked by other prism systems.
- a multi-directional simultaneous observation optical system characterized by that.
- the side surface image acquisition prism system and the bottom surface image acquisition prism system have the optical path direction changing prism or the optical path direction changing prism function above each of the surfaces excluding the upper surface of the object to be examined.
- the multi-direction according to (1) or (2) characterized in that an optical path length correcting prism or an optical path length correcting prism function is provided to make the working distance the same as the upper working distance. Simultaneous observation optical system.
- the optical path length correcting prism or the optical path length correcting prism function is formed to be exchangeable or optical path length adjustable so that optical path length correction is performed according to the shape and size of the object to be measured.
- the multi-directional simultaneous observation optical system according to (3) characterized in that
- a 45 ° mirror prism or a prism having the function is used for the side surface image acquisition prism system, and the bottom surface is used.
- the optical path direction changing prism or the optical path direction changing prism function in the side surface image acquisition prism system is a pen tab rhythm capable of obtaining an erect image or a prism having the function.
- the multidirectional simultaneous observation optical system according to any one of (3) and (5).
- Each of the prism systems is provided with an optical path shift prism or an optical path shift prism function for shifting the optical path above the optical path direction changing prism, (1)
- the optical path shift prism or the optical path shift prism function is formed so as to reduce the cross section of the optical path of the light output from each surface of the test object to reduce the area of light incident on the lens or the like and increase the resolution.
- the multi-directional simultaneous observation optical system according to (7) characterized in that:
- each prism system includes the test object
- the lens further includes a lens provided in a light output direction of the side surface image acquisition prism system and the bottom surface image acquisition prism system or a telecentric lens capable of making the test object side telecentric.
- the multidirectional simultaneous observation optical system according to any one of (3), (10), and (3).
- the lens is characterized by having a depth of field that is sufficient to adjust the focal plane at the same time even for a complex test object having a sphere or a super polyhedron in shape.
- the multi-directional simultaneous observation optical system according to any one of (11) to (13) and an electron including a CCD, a CMOS, or a line CCD for performing photoelectric conversion processing on the light obtained through the lens.
- An image reading device comprising: an image sensor; and being usable for image analysis including image measurement.
- the test is performed by the multi-directional simultaneous observation optical system described in any one of (11) to (13).
- Image information of each surface of the object is acquired as light, and the light obtained through the lens can be electrically processed by photoelectric conversion with an electronic image sensor including CCD, CMOS or line CCD
- An image reading method characterized in that it can acquire image information and use it for image analysis including image measurement.
- the side surface image acquisition prism system and the bottom surface image acquisition prism system are respectively provided above the optical path direction changing prism or the optical path direction changing prism function so that visual observation with the naked eye can be easily performed.
- a triangular mirror prism or a prism having the function thereof is used in the side image acquiring prism system, and the bottom surface image acquiring prism is used.
- a trapezoidal prism or a triangular prism capable of obtaining two directional changes or a prism having a function thereof is used. system.
- a pentagonal prism capable of obtaining an erect image or a prism having the function is used for the optical path direction changing prism or the optical path direction changing prism function in the side image acquisition prism system.
- the antireflection prism or the function thereof is provided above the trapezoidal prism or the triangular prism or the function thereof, (16) to (18)! The multi-directional simultaneous observation optical system according to any one of the above.
- a test object transporting means is provided for mounting two or more test objects and transporting them via the test object mounting space, and each of the prism systems includes the test object.
- the multi-directional simultaneous observation optical system according to any one of (16) and (20), characterized in that: (22) In the four systems of side image acquisition prism systems, two sets of two systems facing each other across the object placement space portion are arranged, and each set is orthogonal to each other. Alternatively, the multi-directional simultaneous observation optical system according to (21), wherein the multi-directional simultaneous observation optical system is arranged at an arbitrary angle.
- Multi-directional simultaneous observation characterized by using two or more multi-directional simultaneous observation optical systems as described in (1) or (2), thereby enabling simultaneous multi-directional observation of an object to be examined.
- Optical system complex
- the in-focus plane can be adjusted simultaneously in all six directions, and an image without so-called vignetting can be provided simultaneously.
- image analysis such as appearance defect inspection can be performed accurately, the inspection time can be shortened, the inspection efficiency can be increased, and the cost can be reduced.
- a multi-directional simultaneous observation of a large number of test objects can be performed continuously by providing a transport path that can move the test objects.
- VII By using an object-side telecentric lens as the lens of the reading device, the size of each prism can be reduced due to its characteristics, the arrangement can be made closer, and the overall size can be reduced. . Also, image measurement such as dimensional defect inspection can be performed accurately.
- the problem to be solved by the present invention is that the object to be inspected can be simultaneously observed with high accuracy from each surface, and the efficiency of inspection and the like can be improved. It is an object to provide a multidirectional simultaneous observation optical system and an image reading apparatus capable of efficiently observing an object to be examined.
- the inventor of the present application has reached the present invention based on the construction of a prism arrangement method capable of giving a single WD to each surface force image. That is, the invention claimed or at least disclosed in the present application as means for solving the above-described problems is as follows.
- One or more side image acquisition prism systems for obtaining each side image for one or more side surfaces of a linear or rod-like test object, or a bottom surface for obtaining a bottom image
- a multi-directional simultaneous observation optical system having at least a deviation of an image acquisition prism system, wherein the side image acquisition prism system and the bottom image acquisition prism system are optical path direction changing prisms or optical paths.
- the prism system has a direction-changing prism function, and the prism system secures an open space for acquiring a top surface image of the linear or rod-like object to be examined and mounts the object to be examined.
- the prism system is provided on the side of the space so as to secure an installation space portion, and the prism system is arranged so that the optical paths of the light emitted by each of them are directed upward of the object to be measured or parallel to each other and in the same direction.
- the side image acquisition prism systems are arranged parallel to each other so that the acquired images are parallel to each other, and the object placement space is arranged.
- the section has an open end so that the object to be placed can be moved in the longitudinal direction.
- a multi-directional simultaneous observation optical system characterized in that it forms a transport path for the object to be examined.
- One or two or more side image acquisition prism systems for obtaining one or more side images of one or more side surfaces of a linear or rod-like object, and bottom image acquisition for obtaining a bottom image
- the side image acquisition prism system and the bottom surface image acquisition prism system each have an optical path direction conversion prism function or an optical path direction conversion prism function.
- Each prism system is provided with an open space for acquiring a top surface image in a direction directly above the linear or rod-like test object and a test object placement space.
- each prism system is arranged so that the optical path of the light emitted by each of the prism systems is directed upward of the object to be examined or parallel to each other
- the same person Are arranged so that the optical path is not obstructed by other prism systems, and each side image acquisition prism system and the bottom image acquisition prism system are parallel to each other.
- the test object placement space is provided with an open end so that the placed test object can be moved in the longitudinal direction.
- a multi-directional simultaneous observation optical system characterized by forming an object conveyance path.
- the side image acquisition prism system and the bottom surface image acquisition prism system are configured so that each acquired image is in the same region of the linear or rod-like object to be detected.
- the multi-directional simultaneous observation optical system according to any one of (1) and (3) above, characterized in that the length is the same as the length of the object placement space in the open end direction. .
- the prism function for changing the optical path direction or the prism function for changing the optical path direction includes a 45 ° mirror prism in the side face image acquisition prism system, a pen tab rhythm capable of obtaining an erect image, or any of the functions.
- a trapezoidal prism, a triangular prism, or a prism having a function of deviation is used in the bottom image acquisition prism system.
- the multidirectional simultaneous observation optical system according to (3) or (4) characterized by: (6) A lens provided in a light output direction of the side surface image acquisition prism system and the bottom surface image acquisition prism system or a telecentric lens capable of making the test object side telecentric.
- the multi-directional simultaneous observation optical system according to any one of (3), (5), and (5).
- An image reading apparatus comprising: the image reading apparatus, wherein the image reading apparatus can be used for image analysis including image measurement.
- the object to be inspected can be simultaneously observed from each surface with high accuracy, and the inspection can be performed. Etc. can increase the efficiency. In particular, it is possible to efficiently observe a linear or rod-like object.
- FIG. 1 is a perspective explanatory view showing a model of a test object used for explaining the present invention.
- FIG. 2 is an explanatory view conceptually showing the basic structure of the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention.
- FIG. 2-2 is a perspective explanatory view showing a configuration example of the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention.
- FIG. 3-1 is an explanatory diagram showing a configuration example of a bottom image acquisition dedicated observation optical system in the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention.
- FIG. 3-2 is a perspective view of the observation optical system dedicated to obtaining a bottom image in FIG. 3-1.
- FIG. 4-1 is an explanatory diagram viewed from the side, showing another configuration example of the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention.
- FIG. 4-2 is a perspective view of the multidirectional simultaneous observation optical system of FIG.
- FIG. 4-3 is a front view of the multi-directional simultaneous observation optical system in FIG. Test object is omitted
- FIG. 4-4 is a rear view of the multidirectional simultaneous observation optical system of FIG. 4-5]
- Fig. 41 is a plan (top) view of the multidirectional simultaneous observation optical system in Fig. 41. The test object is omitted.
- FIG. 4-6 is a bottom view of the multidirectional simultaneous observation optical system of FIG. The object to be examined is omitted.
- FIG. 7 is a side view illustrating another example of the configuration of the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention.
- FIG. 5 (A) Schematic explanation of the vertical cross section of the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention as shown in Fig. 2-2 along with the AA section line or A'-A 'section line and the situation where imaging is obtained.
- FIG. 5 (B)] is a schematic explanatory view showing a vertical cross section along the BB cutting line and a situation where imaging is obtained in the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention as shown in FIG. 2-2.
- FIG. 6 is an explanatory diagram showing a side view configuration using a pentagonal prism as a configuration example of the simplified multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention and a situation in which imaging with the naked eye is obtained.
- FIG. 7 is an explanatory diagram showing the principle configuration of the image reading apparatus of the present invention, where (A) shows the side image acquisition prism system main body, and (B) shows the side image acquisition prism system main body. is there.
- FIG. 8 is an explanatory diagram showing a longitudinal section of the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention to which another configuration is added and a situation where imaging is obtained.
- (B-1) is another multi-directional simultaneous observation optical of the present invention It is a longitudinal cross-sectional view of a system.
- FIG. 9 is an explanatory view showing a conventional example of a method for observing a test object from multiple directions.
- FIG. 11 is an explanatory diagram showing an arrangement of a system for observing a test object from multiple directions by reducing the number of readers installed in order to reduce costs.
- test object lsp ... a linear or rod-like test object, 10 ... the naked eye, 11 ⁇ Test object, 14A, 14B, 18F ... prism for optical path direction change, 15A, 15B, 15F ... prism for optical path length correction, 145A, 145B ... prism system for side image acquisition, 185F ... prism system for image acquisition, 19 ⁇ Place where test object is placed (test object transport means), 2a, 2b, 2e, 2f "-WD, 213- CCD or other electronic image sensor such as CMOS, 2145 A, 2145B, 2145C ... Prism system for side image acquisition, 215 ⁇ Lens, 218 ... Trapezoid prism, 2185F ... Prism system for bottom image acquisition, 3 ... Image plane to be imaged
- FIG. 1 is an explanatory perspective view showing a model of an object to be used for explaining the present invention
- FIG. 2 is an explanatory view conceptually showing the basic configuration of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
- the multi-directional simultaneous observation optical system obtains one or more side images for obtaining each side image for one or more side surfaces of the linear or rod-like object 11.
- a multi-directional simultaneous observation optical system having at least one of a prism system 145A, 145B, etc., or a bottom image acquisition prism system 185F for obtaining a bottom image, wherein the side image acquisition prism system
- the bottom image acquisition prism system 185F such as 145A, has an optical path direction changing prism 14A, 14B, 18F, etc. or an optical path direction changing prism function (hereinafter also referred to as “optical path direction changing prism”).
- optical path direction changing prism hereinafter also referred to as “optical path direction changing prism”.
- each prism system 145A, 185F, etc. is arranged so that the optical path of the light emitted by each of the prism systems 145A, 185F or the like is directed upward of the object 11 to be inspected or parallel to each other. Also, they are arranged so that they are in the same direction and not blocked by other prism systems, and each side image acquisition prism system 145A etc. is arranged so that each acquired image is parallel.
- the test object 11 mounting space portion is opened so that the mounted linear or bar-shaped test object 11 can move in the longitudinal direction through the mounting space portion.
- the main configuration is to have an end and form a transport path for the object to be inspected.
- the side surface image acquisition prism system 145A and the like and the bottom surface image acquisition prism system 185F may have only one of them, or both.
- reference numeral 19 denotes a part on which the test object is placed, and this can also be used as a test object conveying means as described later.
- this multidirectional simultaneous observation optical system acquires one or more side images.
- each side image is obtained for one or more side surfaces of the test object 11, and a bottom image is obtained by the bottom image acquisition prism system 185F.
- Each prism system 145A, 185F, etc. occupies the side periphery of the open space and a part occupies the lower position, so that a placement space for the object 11 to be inspected is secured.
- the optical paths of the light emitted by the prism systems are directed upward of the test object 11, and upward without being blocked by the other prism systems. It is acquired as an image of each side.
- the arrangement of the prism systems 145A, 185F, etc. is placed so that the optical paths of the light emitted by them are parallel to each other and in the same direction, and are not blocked by other prism systems. Can be.
- the principal ray which is a ray that passes through the center of the stop in the optical system, becomes parallel on the object side of the lens, so in the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention, A telecentric optical system that does not change magnification regardless of the distance of the object will be realized. Therefore, there is no fluctuation in magnification due to focus error, and there is no visual difference between the center of the image and the periphery of the test object.
- the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention includes, in addition to the above-described configuration, the side image acquisition prism system 145A and the bottom image acquisition prism system 185F, respectively.
- the optical path length correction prisms 15A, 15B, 15F, etc. for making the WD of each surface except the upper surface of the test object 11 the same as the WD of the upper surface, or the optical path length correction prism function (hereinafter collectively referred to as ⁇ Also referred to as “optical path length correcting prism”). It can be set as the provided structure.
- the WD of each surface excluding the upper surface of the test object 11 is the same as the WD of the upper surface from the optical path length correcting prisms 15A, 15B, 15F, etc.
- the WD is equalized for the images from each surface, the in-focus surface (focus surface) is aligned, and a clear image output can be obtained in the reading apparatus.
- optical path length correcting prisms 15A, 15B, 15F, etc. are appropriately replaced or other appropriate means so that the optical path length is corrected according to the shape and size of the test object.
- the optical path length is adjustable.
- FIG. 2-2 is a perspective explanatory view showing a configuration example of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
- a linear or rod-shaped test object lsp is transported on the test object transporting means 9 and its side and bottom images are simultaneously acquired.
- the test object conveying means 9 an appropriate one such as use of a belt conveyor can be used.
- FIG. 3A is an explanatory diagram showing an example of the configuration of a bottom image acquisition dedicated observation optical system in the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention. Also,
- FIG. 3-2 is a perspective view showing a configuration example of the bottom image acquisition dedicated observation optical system of FIG. 3-1.
- the present invention is for obtaining one or more side image acquisition prism systems for obtaining each side image for one or more side surfaces of an object to be examined, or for obtaining a bottom image for obtaining a bottom image. Since it is a multi-directional simultaneous observation optical system that has at least! /! Deviation of the prism system, as shown in these figures, it is basically composed of the optical path length correcting prism 35 and the optical path direction changing prism 38F.
- the bottom-surface image acquisition dedicated observation optical system configured as described above is also within the scope of the present invention.
- the number of side surface image acquisition prism systems constituting the same is not limited.
- the number of lines is either 2, 3, 4, 5, 6, or 7. It can be 8 or more.
- FIG. 41 is an explanatory diagram in side view showing another configuration example of the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention. Also,
- Fig. 4 2 is a perspective view of the multi-directional simultaneous observation optical system of Fig. 41.
- Figure 4 3 shows the same front view.
- Figure 4 4 shows the same rear view.
- Figure 4 5 shows the same (top) view
- Figure 46 is a bottom view of the same. In FIG. 42 and the subsequent figures, the test object shown in FIG. 41 is omitted.
- the side surface image acquisition prism systems 65A and 65B, the bottom surface image acquisition prism system 65F, and the conveyance path 69 are integrally formed. This is the main configuration.
- the side image of the linear or rod-like object 61 is not a diagonal force on the side but an image of the force in the frontal direction due to the powerful configuration. This is extremely convenient for simultaneous observation of a linear or rod-shaped object 61 in multiple directions.
- each side image acquisition prism system 65A or the like is configured such that the optical path direction changing prism or the optical path direction changing prism function 64B or the like is integrated continuously or discontinuously. It can be provided.
- the optical path direction changing prism for the bottom surface image acquisition prism system 65 F or the optical path direction changing prism function 68 F may be provided continuously or discontinuously.
- the “continuously” integrated configuration includes the case where the same component is integrally formed.
- the multi-directional simultaneous observation optical system includes the side image acquisition prism systems 65A and 65B and the bottom surface image acquisition prism system 65F.
- the length of the test object placement space 69 may be the same as the length in the open end direction. Of course, even when these lengths are not the same, it falls within the scope of the present invention.
- FIG. 47 is an explanatory diagram viewed from the side, showing still another configuration example of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention.
- the bottom surface image acquisition prism system can be formed at the same or equivalent height as the side surface image acquisition prism system.
- the optical path length correction is adjusted so that an image of the same size can be obtained by using a material different from that for the side surface image acquisition prism system. can do.
- FIG. 5 (A) shows the longitudinal section and imaging of the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention as shown in Fig. 2-2 along the A-A cutting line or A'- A 'cutting line.
- Fig. 5 (B) shows the vertical cross section along the BB cutting line and the situation where imaging is obtained in the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention as shown in Fig. 2-2. It is a schematic explanatory drawing. Here, the following explanation applies to the force shown in the example of Fig. 2-2 and the example of Fig. 41 and Fig. 3-1.
- the multi-directional simultaneous observation optical system has a 45 ° mirror prism 40a, 40b, 40c, 40d or its function in the side image acquisition prism system as the optical path direction changing prism or the like.
- a trapezoidal prism 8a, a triangular prism or the like that can obtain a double direction change in the prism image acquisition prism system (hereinafter collectively referred to as “45 ° mirror prism”).
- Each of the prisms having any of the functions hereinafter collectively referred to as “trapezoidal prism”.
- reference numerals 50a, 50b,..., 50f denote optical path length correcting prisms.
- 5 is a lens
- 6 is a lens end face
- 3 is an image plane on which an image is formed.
- FIG. 5 (A) a linear or rod-like test object in the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention is used. The acquisition of the side and top images of the body will be further described.
- the WD 2a from the test object surface la on the side surface to the lens end surface 6 is different from the WD 2e from the test object surface 1e on the upper surface to the lens end surface 6.
- the optical path length correction prism 50a 50b should have the same specifications.
- the size of the optical path length correcting prism 50a and the like can be reduced by using the 45 ° mirror prism 40a and the like instead of the plane mirrors 4030a to 4030f as described in the conventional example of FIG. Can do.
- the test object transporting means 9 is arranged below the test object.
- the object conveying means 9 can be configured by using a transparent material such as glass or glass so that a bottom image of the object to be examined can be obtained through the object conveying means 9.
- the test object transport means may be referred to as a “test object transport glass plate”.
- a trapezoidal prism (or triangular prism) 8a with two reflecting surfaces is placed under the test object and the test object transport glass plate 9, and the light path is bent in the direction of the lens 5 by reflecting the light path twice. .
- the test object surface If on the bottom surface is connected to the lens 5.
- WD 2f at the top and the distance force of WD 2e from the top object surface le to the lens 5 are converted to the same optical path length in the air, and the optical path length correction prisms 50f and 50e, and two A trapezoidal prism (or triangular prism) 8a having two reflecting surfaces is arranged.
- the in-focus surface of the object to be inspected matches, and the object surface If and the object surface le on the lower surface can be observed simultaneously with a common reader. That is, the in-focus surface of the lower surface If and the upper surface le of the object surface to be inspected can be aligned with a common reading device.
- the upper and lower surfaces and both side surfaces of a linear or rod-like object to be measured are used.
- a total of four test object surfaces can be observed at the same time with one reading device and imaging device. Since each component (prism) can be arranged so as not to interfere with each other, image vignetting does not occur where the optical paths are not blocked from each other.
- the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention has a pen tab rhythm capable of obtaining an erect image, or the function thereof, as the optical path direction changing prism or the like in the side image acquisition prism system. It is possible to use prisms (hereinafter collectively referred to as “penta prisms”).
- the pentaprism is a kind of pentagonal prism.
- image reversal does not occur, and it is bent 90 ° as it is upright and reflected.
- a pentagonal prism that can be used. By using the powerful pen tab rhythm, all acquired images can be made upright.
- the pen tab rhythm can be used as an optical path direction changing prism instead of the 45 ° mirror prism.
- the light is reflected by being bent 90 ° by a single reflection on the mirror reflecting surface.
- FIG. 6 is an explanatory diagram showing a side view configuration using a pentagonal prism as a configuration example of the simplified multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention and a situation in which imaging with the naked eye is obtained.
- a pentagonal prism 6 la or the like capable of obtaining an erect image or a prism having a function thereof can be used for the optical path direction changing prism in the side image acquisition prism system.
- the operational effects of the powerful configuration are basically the same as the operational effects in pen tab rhythm. That is, in the mirror prism, the mirror reflecting surface is bent by one reflection. In the configuration using the pentagonal prism shown in FIG. 6, each pentagonal prism 61a and the like is reflected twice in the same manner as the trapezoidal prism. Images on each surface of the object can be made in the same direction.
- FIG. 7 is an explanatory diagram showing the principle configuration of the image reading apparatus of the present invention.
- A is a side image acquisition prism system main body
- B is a side image acquisition prism system main body, It is shown.
- the image reading apparatus includes any one of the multi-directional simultaneous observation optical system described above, which is mainly composed of the side image acquisition prism systems 2145A and 2145B and the bottom image acquisition prism system 2185F, and the lens.
- the principle configuration is to include an electronic image sensor 213 such as a CCD, CMOS, or line CCD for photoelectric conversion processing of the light obtained via 215.
- a line CCD By using a line CCD, a multi-directional simultaneous observation can be performed while moving a long object such as a linear object.
- this image reading apparatus can be used for image analysis including image measurement in combination with software such as appropriate image analysis software.
- the image information of each surface of the object to be examined is acquired as light by the multidirectional simultaneous observation optical system having 2145A and 2185F equal forces,
- the light obtained through the lens 215 is a CCD! /, Is obtained by performing photoelectric conversion processing by an electronic imaging device 213 such as a CMOS or a line CCD to obtain image information that can be electrically processed, Thereby, image analysis including image measurement can be performed.
- FIG. 8 shows a longitudinal section and a connection of the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention to which another configuration is added.
- FIG. 7 is an explanatory diagram showing a situation where an image is obtained, and (B-1) in the figure is a longitudinal sectional view of another multi-directional simultaneous observation optical system of the invention.
- optical path shift prisms 70a, 70b, 80a for shifting the optical path above the optical path direction conversion prism 40a, etc.
- optical path shift prism an optical path shift prism function
- shift refers to movement in the cross-sectional direction of the traveling direction of light from each of the prisms 70a, 70b, etc., or from 8 Oa, 80b, etc.
- the optical path shift prism 70a and the like are arranged so as to reduce the optical path cross section of the light output of each surface force of the test object to reduce the area of light incident on the lens or the like and increase the resolution.
- Optical path shift prisms 70a and 70b are applied at the upper side of the optical path direction changing prism 40a and the upper and lower sides of the optical path length correcting prisms 50a to 50d.
- the optical axis of the side image can be shifted in parallel by arranging the optical path shifting mirrors 80a and 80b. If the arrangement is made so that the area of light incident on the lens is reduced as described above, the size of the entire image to be acquired from the test object can be reduced as a result. The object size captured per pixel of the image sensor can be reduced, and the resolution can be improved. Therefore, when the same image sensor is used, observation with higher resolution is possible.
- test object transporting means capable of transporting these through the test object placing space portion
- Each of the prism systems can be arranged so as to secure a conveyance path of the object conveyance means.
- the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention includes a lens provided in the light output direction of the side surface image acquisition prism system and the bottom surface image acquisition prism system. This can be specified as, or by specifying this as excluding the lens.
- the lens has a telecentric that can be telecentric on the object side.
- a lens By using a lens, it is possible to configure a system that can accurately perform image measurement such as dimension measurement due to its characteristics. Also, the use of telecentric lenses
- the multi-directional simultaneous observation optical system of the present invention is not provided with an optical path length correction prism in each of the side surface image acquisition prism system and the bottom surface image acquisition prism system, and is open above the optical path direction changing prism. It can be set as the structure by which the space is formed.
- the multi-directional simultaneous observation of the test object can be sufficiently and easily performed by visual observation with the naked eye. . Since the configuration can be simplified, it is advantageous in terms of cost, and can be provided as an inexpensive observation optical system.
- the multidirectional simultaneous observation optical system of the present invention having a simple structure uses the triangular mirror prism as the side image acquisition prism system as the optical path direction changing prism.
- a trapezoidal prism, a triangular prism, or the like that can obtain a double direction change can be used.
- the optical path length correcting prism is deleted, the reading device is replaced with the human eye, the 45 ° mirror prism is replaced with a triangular mirror prism, and the optical path length correcting prism is replaced.
- the antireflection prism By arranging the antireflection prism at the position, the multi-directional simultaneous observation optical system can be configured.
- the optical system of the present invention can be miniaturized and the configuration can be simplified.
- the focusing surface focusing surface
- the focusing surface is simultaneously aligned with each object surface. Images of the entire object surface without vignetting can be provided simultaneously.
- the multi-directional simultaneous observation optical system and the image reading apparatus of the present invention are configured as described above, it is possible to simultaneously observe the object to be examined with high accuracy in each surface force, and to increase the efficiency of inspection and the like. In particular, it is possible to efficiently observe a linear or rod-like object to be examined, which is an invention with extremely high industrial utility value.
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Abstract
本発明の多方向同時観察光学系は、図4−1のように、被検物体61の各側面画像を得るための側面画像取得用プリズム系65A、65Bと、底面画像を得るための底面画像取得用プリズム系65Fとを有してなり、各プリズム系65A等はそれぞれ光路方向転換用プリズム部分64B等を有し、被検物体61の真上方向にはその上面画像を取得するための開放空間が確保され、各プリズム系65A等から出される光の光路が被検物体61の上方へ向い、かつ他のプリズム系により光路を遮られないように配置されることを主たる構成とする。これにより被検物体を各面から高精度に同時観察することができる。
Description
明 細 書
多方向同時観察光学系および画像読み取り装置
技術分野
[0001] 本発明は多方向同時観察光学系および画像読み取り装置に係り、特に、被検物体 を各面力も高精度に同時観察することができ、検査等の効率を高めることのでき、殊 に線状被検物体の観察を効率的に行うことのできる、多方向同時観察光学系および 画像読み取り装置に関する。
背景技術
[0002] 各産業分野における品質管理その他の目的のために、被検物体外観の多方向か らの観察 ·測定が要望される場合がある。
図 9は、被検物体の多方向力もの観察方法の従来例を示す説明図である。図示す るように、面 lb、 lc、 le等を備えてなる被検物体を観察する場合、その正面'背面 · 左右側面 ·平面 ·底面すなわち六面方向からの観察により、その外観を把握すること ができる力 ここでは、読み取り装置 407を適宜移動させて被検物体観察の方向を 変えることで、多方向(表裏 ·左右 ·上下など)からの観察がなされる。多方向力もの観 察を 1台の読み取り装置 407の移動により行う場合は、読み取り装置 407の位置決定 には、相当複雑かつ高度な移動機構が必要であり、その設定には労力と時間を要す る。
[0003] あるいは力かる方法を採らな 、場合は、任意の一方向から観察し、観察する被検物 体を動かし向きを変えることもなされている力 被検物体の移動と位置決めに相当の 労力 ·煩雑さが伴い、また作業効率や観察精度向上に限界がある。
[0004] 多方向からの同時観察 ·測定をテーマとした特許出願等の状況を知るために、下 記により、特許庁特許電子図書館により検索調査を試みた。
(I)検索調査 1
メニュー:公報テキスト検索
検索式:(六面 +多面) *測定 *同時 * (像 +画 +図 +撮)
資料:特許公開公報
検索月日:平成 15年 12月 18日
ヒット件数: 28件
[0005] (Π)検索調査 2
メニュー:公報テキスト検索
検索式:(六面 +多面) *観察 *同時 * (光学 +プリズム)
資料:特許公開公報、特許公報
検索月日:平成 16年 2月 19日
ヒット件数: 4件
[0006] これらのうち、後掲特許文献 1として示すものは、複数の測定対象間の位置把握技 術に係るものであり、特許文献 2として示すものは、死角が生じる場合の形状測定の ために複数の鏡による構成を用いるものであり(以上、上記検索調査 1より)、また特 許文献 3として示すものは、光学式間隔センサにおける分解能の向上と二次光反射 感度の低減ィ匕を図る技術に係るものである(以上、上記検索調査 2より)。
[0007] 特許文献 1 :特開 2003— 156333号公報。「測距装置、他」。要約。
特許文献 2 :特開平 5 - 322526号公報。「3次元形状測定装置」。要約。
特許文献 3 :特開平 5 - 240607号公報。「光学式間隔センサ」。要約。
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0008] さて、図 9を用いて上述した従来例では、被検物体を多方面から観察 ·計測する場 合、所要時間を抑制するために、観察方向の違う位置に固定した読み取り装置 407 を必要台数設置することによつても対応がなされてきた。しかし、かかる方法は時間 節約になったとしても、一方コストを押し上げることとなっている。
[0009] 図 10は、披検物体面 401とレンズ 405、および像面 403の関係を示した説明図で ある。図において、レンズ 405の端部位置 406から被検物体面 401までの距離をヮ 一キングディスタンス(以下 WD) 402と称する力 通常、固定倍率のレンズの WDは 変化することはな ヽ。図に示す結像位置関係を満足しな ヽと合焦面 (ピント面)がボケ てしまい、読み取り装置力 鮮明な映像を出力することができない。
[0010] 図 11は、コスト抑制のために読み取り装置の設置数量を減らし、被検物体(図中、
立方体)を多方向から観察するシステムの配置構成を示した説明図である。図示する ようにこの方法では、平面ミラー 4030a— 4030fを用いて、被検物体面 la— Ifの六 面の映像をレンズ 405に導くよう平面ミラー配置関係を調整する。ここで各面の WD を比較すると、(1) 2a— 2dは共通、(2) 2e、 (3) 2f の三通りの違った値となる。かか る WDの相違の発生により、この方法では合焦面がボケてしまい、六面の被検物体面 を同時に正確に観察できる読み取り装置とはなって 、な 、。
[0011] 他方、力かる観察系を人間の目に置き換えて目視で観察する場合を考えると、三 通りの値をとる WDに対して人間の目は自動的にピント調整をすることができるため、 六面の被検物体面の同時観察において、読み取り装置における不都合が多少は軽 減される。し力しながら、視線を移動する時間と手間は必要となるため、観察にはよけ いに労力と時間を伴い、疲労を招き、観察精度の低下を早期に招くこととなる。
[0012] そこで本願発明者らは、先に、上記従来技術の問題点を解決するものとして、被検 物体を各面力 高精度に同時観察することができ、検査等の効率を高めることのでき る、多方向同時観察光学系および画像読み取り装置の提供を課題として特許出願を 行った (特願 2004— 54440 本願出願時点で未公開)。
(1) 被検物体の一または二以上の側面について各側面画像を得るための一ま たは二以上の側面画像取得用プリズム系、もしくは底面画像を得るための底面画像 取得用プリズム系の少なくとも ヽずれかを有してなる多方向同時観察光学系であつ て、該側面画像取得用プリズム系は、光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換 用プリズム機能を有しており、該プリズム系は、被検物体の真上方向にはその上面画 像を取得するための開放空間が確保されるとともに被検物体載置空間部が確保され るように該空間の側方に設けられ、該プリズム系は、それぞれにより出される光の光 路が被検物体の上方へ向うようにもしくは相互に平行かつ同一方向となるように、か つ光路を遮られな 、ように配置されて 、ることを特徴とする、多方向同時観察光学系
(2) 被検物体の一または二以上の側面につ!、て各側面画像を得るための一ま たは二以上の側面画像取得用プリズム系と、底面画像を得るための底面画像取得 用プリズム系とからなる多方向同時観察光学系であって、該側面画像取得用プリズ
ム系および該底面画像取得用プリズム系はそれぞれ、光路方向転換用プリズムまた は光路方向転換用プリズム機能を有しており、該各プリズム系は、被検物体の真上 方向にはその上面画像を取得するための開放空間が確保されるとともに被検物体載 置空間部が確保されるように該空間の側方周囲および一部は下方位置を占めて設 けられ、該各プリズム系は、それぞれにより出される光の光路が被検物体の上方へ向 うようにもしくは相互に平行かつ同一方向となるように、かつ他のプリズム系により光 路を遮られな 、ように配置されて 、ることを特徴とする、多方向同時観察光学系。
(3) 前記側面画像取得用プリズム系および底面画像取得用プリズム系にはそれ ぞれ、前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能の上方に、 被検物体の上面を除く各面のワーキングディスタンスを上面のワーキングディスタン スと同一にするための光路長補正用プリズムまたは光路長補正用プリズム機能が設 けられていることを特徴とする、(1)または(2)に記載の多方向同時観察光学系。
(4) 前記光路長補正用プリズムまたは光路長補正用プリズム機能は、被検物体 の形状や大きさに応じた光路長補正がなされるよう、交換または光路長調整可能に 形成されていることを特徴とする、 (3)に記載の多方向同時観察光学系。
(5) 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、前 記側面画像取得用プリズム系にお 、ては 45° ミラープリズムまたはその機能を有す るプリズムが用いられ、前記底面画像取得用プリズム系にお 、ては二度の方向転換 を得ることのできる台形プリズムもしくは三角プリズムまたはこれらの 、ずれかの機能 を有するプリズムが用いられることを特徴とする、(3)または (4)に記載の多方向同時 観察光学系。
(6) 前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換用プリズムまた は光路方向転換用プリズム機能には、正立像を得ることのできるペンタブリズムまた はその機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、 (3)な 、し (5)の 、ずれ かに記載の多方向同時観察光学系。
(7) 前記各プリズム系には、前記光路方向転換用プリズムの上方に、光路をシ フトさせるための光路シフトプリズムまたは光路シフトプリズム機能が設けられているこ とを特徴とする、( 1)な 、し (6)の 、ずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(8) 前記光路シフトプリズムまたは光路シフトプリズム機能は、レンズ等への入射 光面積を縮小して解像度を高めるベぐ被検物体各面からの光出力の光路断面を縮 小させるように形成されていることを特徴とする、 (7)に記載の多方向同時観察光学 系。
(9) 二以上の被検物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由して 搬送することのできる被検物体搬送手段が設けられ、前記各プリズム系は該被検物 体搬送手段の経路が確保されるように配置されることを特徴とする、 (3)な 、し (8)の いずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(10) 前記側面画像取得用プリズム系は 4系統設けられ、前記各プリズム系なし に光出力の得られる上面方向を含めて被検物体の六方向からの各画像情報を光と して取得可能であることを特徴とする、 (3)な 、し (9)の 、ずれかに記載の多方向同 時観察光学系。
(11) 前記 4系統の側面画像取得用プリズム系は、前記被検物体載置空間部を 挟んで対向する 2系統による組が 2組配置されていて、各組は相互に直交しているか 、または任意の角度でもって配置されていることを特徴とする、(10)に記載の多方向 同時観察光学系。
( 12) 前記側面画像取得用プリズム系および前記底面画像取得用プリズム系の 光出力方向に設けられたレンズまたは被検物体側をテレセントリックとすることができ るテレセントリックレンズをさらに含んでなることを特徴とする、 (3)な 、し(10)の 、ず れかに記載の多方向同時観察光学系。
(13) 前記レンズは、形状に球体や超多面体などを有する複雑な被検物体であ つても各面同時に合焦面を合わせられるのに充分な被写界深度を備えていることを 特徴とする、(12)に記載の多方向同時観察光学系。
(14) (11)ないし(13)のいずれかに記載の多方向同時観察光学系と、前記レ ンズを介して得られる光を光電変換処理するための CCD、 CMOSもしくはライン CC Dを含む電子撮像素子とを備えてなり、画像計測を含む画像解析に用いることができ ることを特徴とする、画像読み取り装置。
(15) ( 11)ないし( 13)の 、ずれかに記載の多方向同時観察光学系により被検
物体の各面の画像情報を光として取得し、前記レンズを介して得られる該光を CCD 、 CMOSもしくはライン CCDを含む電子撮像素子により光電変換処理することによつ て電気的に処理の可能な画像情報を取得し、これにより画像計測を含む画像解析に 用いることができることを特徴とする、画像読み取り方法。
( 16) 前記側面画像取得用プリズム系および底面画像取得用プリズム系はそれ ぞれ、肉眼による目視観察を容易に行えるように、前記光路方向転換用プリズムまた は光路方向転換用プリズム機能の上方に開放空間が形成されていることを特徴とす る、(1)または(2)に記載の多方向同時観察光学系。
( 17) 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、 前記側面画像取得用プリズム系にお 、ては三角ミラープリズムまたはその機能を有 するプリズムが用いられ、前記底面画像取得用プリズム系にお 、ては二度の方向転 換を得ることのできる台形プリズムもしくは三角プリズムまたはその機能を有するプリ ズムが用いられることを特徴とする、 (16)に記載の多方向同時観察光学系。
(18) 前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換用プリズムま たは光路方向転換用プリズム機能には、正立像を得ることのできる五角形プリズムま たはその機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、(16)または(17)に記 載の多方向同時観察光学系。
(19) 前記台形プリズムもしくは三角プリズムまたはその機能の上方には、反射 防止用プリズムまたはその機能が設けられていることを特徴とする、(16)ないし (18) の!、ずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(20) 二以上の被検物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由し て搬送することのできる被検物体搬送手段が設けられ、前記各プリズム系は該被検 物体搬送手段の経路が確保されるように配置されることを特徴とする、(16)ないし(1 9)の 、ずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(21) 前記側面画像取得用プリズム系は 4系統設けられ、前記各プリズム系なし に光出力の得られる上面方向を含めて被検物体の六方向からの各画像情報を光と して取得可能であることを特徴とする、 (16)な 、し (20)の 、ずれかに記載の多方向 同時観察光学系。
(22) 前記 4系統の側面画像取得用プリズム系は、前記被検物体載置空間部を 挟んで対向する 2系統による組が 2組配置されていて、各組は相互に直交しているか 、または任意の角度でもって配置されていることを特徴とする、(21)に記載の多方向 同時観察光学系。
(23) (1)または(2)に記載の多方向同時観察光学系を二以上用いてなり、それ による被検物体の多方向同時観察が可能であることを特徴とする、多方向同時観察 光学系複合体。
力かる先に行った発明によれば、被検物体を各面から高精度に同時観察すること ができ、検査等の効率を高めることができる。さらに詳述すれば、下記の各効果を得 ることがでさる。
(I)被検物体の形状が、概略立方体的に把握できるか直方体的かに関わらず、六面 方向全てにおいて同時に合焦面を合わせることができ、かつ、いわゆるケラレのない 画像を同時に提供でき、外観欠陥検査等の画像解析を正確に行うことができ、検査 等の時間を短縮し、検査等の効率を高め、コストを抑制できる。
(II)被検物体が上下面のある七面体以上の多面体であっても、側面画像取得用プリ ズム系のセット数を増やすことで、全ての面において同時に合焦面が合い、、かつ、 ケラレのない画像を同時に提供することができる。
(III)被検物体が球体または超多面体であっても、読み取り装置のレンズの被写界深 度を長くすることにより、合焦面が合い、かつ、ケラレのない画像を同時に提供するこ とがでさる。
(IV)側面画像取得用プリズム系の 45° ミラープリズムをペンタプリズムに、あるいは 三角ミラープリズムを 5角形プリズムに置き換えることで、正立した像を同時に提供で きる。
(V)光路シフトプリズムまたは光路シフト用平面ミラー等の光路シフトプリズム機能を 追加構成することで、レンズへの入射光面積が小さくなり、撮像素子の 1画像当たりの 取り込む物体サイズが小さくなり解像力を高めることができる。
(VI)被検物体を移動できる搬送経路を設けることにより、多数の被検物体の多方向 同時観察を連続的に行うことができる。
(VII)読み取り装置のレンズに被検物体側テレセントリックレンズを用いることにより、 その特性から、構成する各プリズムの大きさを抑制できるとともに、その配置を近接さ せることができ、全体を小型化できる。また、寸法欠陥検査等の画像計測も正確に行 うことができる。
[0014] さて、先の発明の応用は多岐に亘るが、線材など線状もしくは棒状の被検物体の 観察を効率的に行うことのできる光学系も、大いに需要が予測されるものである。しか しながら先の発明ではその点を充分に満足する提案とは言い難い。
[0015] したがって本発明が解決しょうとする課題は、被検物体を各面カゝら高精度に同時観 察することができ、検査等の効率を高めることができ、殊に、線状もしくは棒状の被検 物体の観察を効率的に行うことのできる、多方向同時観察光学系および画像読み取 り装置を提供することである。
課題を解決するための手段
[0016] 本願発明者は上記課題について検討した結果、各面力 の像について単一の W Dを与え得るプリズム配置方法を構成することに基づき、本発明に至った。すなわち 、上記課題を解決するための手段として本願で特許請求もしくは少なくとも開示され る発明は、以下のとおりである。
[0017] (1) 線状もしくは棒状の被検物体の一または二以上の側面について各側面画 像を得るための一または二以上の側面画像取得用プリズム系、もしくは底面画像を 得るための底面画像取得用プリズム系の少なくとも 、ずれかを有してなる多方向同 時観察光学系であって、該側面画像取得用プリズム系、該底面画像取得用プリズム 系は、光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能を有しており、該 プリズム系は、該線状もしくは棒状の被検物体の真上方向にはその上面画像を取得 するための開放空間が確保されるとともに被検物体載置空間部が確保されるように 該空間の側方に設けられ、該プリズム系は、それぞれにより出される光の光路が被検 物体の上方へ向うようにもしくは相互に平行かつ同一方向となるように、かつ光路を 遮られないように配置されており、各側面画像取得用プリズム系は、取得される各画 像が平行となるように相互に平行に配置されており、該被検物体載置空間部は載置 される該線状もしくは棒状の被検物体が長手方向に移動できるよう開放端部を有し
て該被検物体の搬送路をなしていることを特徴とする、多方向同時観察光学系。
(2) 線状もしくは棒状の被検物体の一または二以上の側面について各側面画 像を得るための一または二以上の側面画像取得用プリズム系と、底面画像を得るた めの底面画像取得用プリズム系とからなる多方向同時観察光学系であって、該側面 画像取得用プリズム系および該底面画像取得用プリズム系はそれぞれ、光路方向転 換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能を有しており、該各プリズム系は、 該線状もしくは棒状の被検物体の真上方向にはその上面画像を取得するための開 放空間が確保されるとともに被検物体載置空間部が確保されるように該開放空間の 側方周囲および一部は下方位置を占めて設けられ、該各プリズム系は、それぞれに より出される光の光路が被検物体の上方へ向うようにもしくは相互に平行かつ同一方 向となるように、かつ他のプリズム系により光路を遮られないように配置されており、各 側面画像取得用プリズム系ならびに該底面画像取得用プリズム系は、取得される各 画像が平行となるように相互に平行に配置されており、該被検物体載置空間部は載 置される該線状もしくは棒状の被検物体が長手方向に移動できるよう開放端部を有 して該被検物体の搬送路をなしていることを特徴とする、多方向同時観察光学系。
(3) 前記側面画像取得用プリズム系、前記底面画像取得用プリズム系および搬 送路は一体に形成されていることを特徴とする、(1)または(2)に記載の多方向同時 観察光学系。
(4) 前記側面画像取得用プリズム系と該底面画像取得用プリズム系とは、取得 される各画像が前記線状もしくは棒状の被検物体の同一領域のものとなるように、前 記被検物体載置空間部の開放端部方向長さと同一の長さに形成されていることを特 徴とする、(1)な 、し (3)の 、ずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(5) 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、前 記側面画像取得用プリズム系においては 45° ミラープリズム、正立像を得ることので きるペンタブリズムもしくはそのいずれかの機能を有するプリズムが用いられ、前記底 面画像取得用プリズム系にお 、ては二度の方向転換を得ることのできる台形プリズム 、三角プリズムもしくはその!/、ずれかの機能を有するプリズムが用いられることを特徴 とする、(3)または (4)に記載の多方向同時観察光学系。
(6) 前記側面画像取得用プリズム系および前記底面画像取得用プリズム系の 光出力方向に設けられたレンズまたは被検物体側をテレセントリックとすることができ るテレセントリックレンズをさらに有してなることを特徴とする、 (3)な 、し (5)の 、ずれ かに記載の多方向同時観察光学系。
(7) 前記レンズは、前記被検物体の各面同時に合焦面を合わせられるのに充 分な被写界深度を備えていることを特徴とする、 (6)に記載の多方向同時観察光学 系。
(8) (6)または(7)に記載の多方向同時観察光学系と、前記レンズを介して得ら れる光を光電変換処理するための CCD、 CMOSもしくはライン CCDを含む電子撮 像素子とを備えてなり、画像計測を含む画像解析に用いることができることを特徴と する、画像読み取り装置。
発明の効果
[0019] 本発明の多方向同時観察光学系および画像読み取り装置は上述のように構成さ れるため、これによれば、被検物体を各面から高精度に同時観察することができ、検 查等の効率を高めることができる。殊に、線状もしくは棒状の被検物体の観察を効率 的に行うことができる。
図面の簡単な説明
[0020] [図 1]図 1は、本発明の説明に用いる被検物体のモデルを示す斜視説明図である。
[図 2]本発明の多方向同時観察光学系の基本構成を概念的に示す説明図である。
[図 2-2]本発明の多方向同時観察光学系の構成例を示す斜視の説明図である。
[図 3-1]本発明の多方向同時観察光学系のうち、底面画像取得専用観察光学系の 構成例を示す説明図である。
[図 3-2]図 3— 1の底面画像取得専用観察光学系の斜視図である。
[図 4-1]本発明の多方向同時観察光学系の別の構成例を示す側面視の説明図であ る。
[図 4-2]図 4 1の多方向同時観察光学系の斜視図である。被検物体は省略してある [図 4-3]図 4 1の多方向同時観察光学系の正面図である。被検物体は省略してある
[図 4-4]図 4 1の多方向同時観察光学系の背面図である。被検物体は省略してある 圆 4-5]図 4 1の多方向同時観察光学系の平面 (上面)図である。被検物体は省略 してある。
[図 4-6]図 4 1の多方向同時観察光学系の底面図である。被検物体は省略してある 圆 4- 7]本発明の多方向同時観察光学系の、さらに別の構成例を示す側面視の説明 図である。
圆 5(A)]図 2-2に示したような本発明多方向同時観察光学系の、 A-A切断線または A'— A'切断線による縦断面ならびに結像の得られる状況を示す概略説明図である 圆 5(B)]図 2-2に示したような本発明多方向同時観察光学系の、 B-B切断線による 縦断面ならびに結像の得られる状況を示す概略説明図である。
圆 6]本発明の簡易型多方向同時観察光学系の構成例として五角形プリズムを用い た側面視構成ならびに肉眼による結像の得られる状況を示す説明図である。
圆 7]本発明の画像読み取り装置の原理構成を示す説明図であり、 (A)は側面画像 取得用プリズム系主体に、(B)は側面画像取得用プリズム系主体に、それぞれ示し たものである。
圆 8]別の構成を付加した本発明多方向同時観察光学系の縦断面ならびに結像の 得られる状況を示す説明図であり、(B— 1)はまた別の本発明多方向同時観察光学 系の縦断面図である。
圆 9]被検物体の多方向からの観察方法の従来例を示す説明図である。
圆 10]—般的な披検物体面とレンズ、および像面の関係を示した説明図である。
[図 11]従来において、コスト抑制のために読み取り装置の設置数量を減らし、被検物 体を多方向から観察するシステムの配置構成を示した説明図である。
符号の説明
la— If…被検物体の面、 lsp…線状もしくは棒状被検物体、 10· ··肉眼、 11〜
被検物体、 14A、 14B、 18F…光路方向転換用プリズム、 15A、 15B、 15F…光 路長補正用プリズム、 145A、 145B…側面画像取得用プリズム系、 185F…底面 画像取得用プリズム系、 19· ··被検物体の載置される部位 (被検物体搬送手段)、 2a、 2b、 2e、 2f"-WD、 213- CCDあるレヽ ίま CMOS等の電子撮像素子、 2145 A、 2145B、 2145C…側面画像取得用プリズム系、 215· ··レンズ、 218…台形プ リズム、 2185F…底面画像取得用プリズム系、 3…結像される像面
35…底面画像取得専用観察光学系の光路長補正用プリズム
38F…底面画像取得専用観察光学系の光路方向転換用プリズム
39…被検物体載置部
40a、40b、40c、40d- --45o ミラープジズム、 41a、 41b…光路方向転換用プジズ ム(三角ミラープリズム)
5· ··レンズ、 50a、 50b、 50c、 50d、 50e、 50f…光路長補正用プリズム
6· ··レンズ端面
61 a、 6 lb…光路方向転換用プリズム(五角形プリズム)
631、 632…補助構造部
64Α、 64Β· ··側面画像取得専用観察光学系の光路方向転換用プリズム (機能)
65Α、 65Β· ··側面画像取得専用観察光学系の光路長補正用プリズム
65F…底面画像取得専用観察光学系の光路長補正用プリズム
68F…底面画像取得専用観察光学系の光路方向転換用プリズム
69…被検物体載置部
70a, 70b…光路シフトプリズム
8a、 8b…台形プリズム、 80aゝ 80b…光路シフ卜用平面ミラー
9· ··被検物体搬送手段、 90· ··反射防止用プリズム
Α-Α、 Α'-Α'、 Β-Β· ··説明のための切断線
401 · ··披検物体面、 402· ··ワーキングディスタンス(WD)、 402a— 402f"'WD、 403· ··像面、 4030a— 4030f…平面ミラー、 404· ··撮像素子、 405· "レンズ、 406…レンズの端部位置、 407…読み取り装置
発明を実施するための最良の形態
[0022] 以下、本発明を図面により詳細に説明する。以下の説明では、複数の図にわたつ て基本的に同一の機能を有する要素や、対応するプリズム面力 出る光を、同一の 符合で表すことがある。
図 1は、本発明の説明に用いる被検物体のモデルを示す斜視説明図、 図 2は、本発明の多方向同時観察光学系の基本構成を概念的に示す説明図であ る。
[0023] 図 2において本多方向同時観察光学系は、線状もしくは棒状の被検物体 11の一ま たは二以上の側面について各側面画像を得るための一または二以上の側面画像取 得用プリズム系 145A、 145B等、もしくは底面画像を得るための底面画像取得用プ リズム系 185Fの少なくとも 、ずれかを有してなる多方向同時観察光学系であって、 該側面画像取得用プリズム系 145A等、該底面画像取得用プリズム系 185Fは、光 路方向転換用プリズム 14A、 14B、 18F等または光路方向転換用プリズム機能(以 下、まとめて「光路方向転換用プリズム」ともいう。)を有しており、該各プリズム系 145 A、 185F等は、被検物体 11の真上方向にはその上面画像を取得するための開放 空間が確保されるとともに被検物体 11載置空間部が確保されるように、該空間の側 方周囲を占めて、また一部は下方位置を占めて設けられ、該各プリズム系 145A、 1 85F等は、それぞれにより出される光の光路が被検物体 11の上方へ向うようにもしく は相互に平行かつ同一方向となるように、かつ他のプリズム系により光路を遮られな いように配置されており、各側面画像取得用プリズム系 145A等は、取得される各画 像が平行となるように相互に平行に配置されており、該被検物体 11載置空間部は、 載置される該線状もしくは棒状の被検物体 11が該載置空間部を通って長手方向に 移動できるよう開放端部を有して該被検物体の搬送路をなして 、ることを、主たる構 成とする。
[0024] 該側面画像取得用プリズム系 145A等と該底面画像取得用プリズム系 185Fは、そ の一方のみを有することとすることも、また双方を備えたものとすることもできる。
[0025] 図 2中、 19は、被検物体の載置される部位であり、これを、後述するような被検物体 搬送手段とすることもできる。
[0026] 力かる構成により本多方向同時観察光学系では、一または二以上の側面画像取得
用プリズム系 145A、 145B等によっては、被検物体 11の一または二以上の側面に ついて各側面画像が得られ、また、底面画像取得用プリズム系 185Fによっては、底 面画像が得られる。
[0027] 該側面画像取得用プリズム系 145A等および該底面画像取得用プリズム系 185F がそれぞれ有する光路方向転換用プリズム 14A等により、被検物体 11からこれらに 入射した光は、被検物体 11の上方向に向けて光路方向が転換される。被検物体 11 の上面画像は、その真上方向に確保された開放空間により、つまり特別プリズム系を 通すことなく取得される。
[0028] 各プリズム系 145A、 185F等が該開放空間の側方周囲を占めて、また一部は下方 位置を占めて設けられることにより、被検物体 11の載置空間部が確保される。
[0029] 該各プリズム系 145A、 185F等の配設構成により、それぞれにより出される光の光 路は被検物体 11の上方へ向 ヽ、かつ他のプリズム系により光路を遮られずに上方へ 向かい、各面の画像として取得される。
[0030] 図 2において各プリズム系 145A、 185F等の配置は、それぞれにより出される光の 光路が相互に平行かつ同一方向となり、他のプリズム系により光路を遮られないよう に酉己置されるものとすることができる。
[0031] 力かる構成をとることにより、光学系において絞りの中心を通る光線である主光線が 、レンズの被検物体側において平行となるため、本発明多方向同時観察光学系では 、被検物体の遠近に関わらず倍率変化のない光学系であるテレセントリック光学系が 実現する。したがって、ピント合わせ誤差による倍率変動が発生せず、さらに、画像 中心と周辺との間で被検物体に対する視覚差が生じない
ため、視野全般に亘つて遠近感が発生せず、歪みのない画像が取得され、画像処 理 ·計測においても高い精度を得ることができる。
[0032] 図において本発明多方向同時観察光学系は、上述の構成に加え、前記側面画像 取得用プリズム系 145A等および底面画像取得用プリズム系 185Fにはそれぞれ、 前記光路方向転換用プリズム 14A等の上方に、被検物体 11の上面を除く各面の W Dを上面の WDと同一にするための光路長補正用プリズム 15A、 15B、 15F等または 光路長補正用プリズム機能 (以下、まとめて「光路長補正用用プリズム」ともいう。)が
設けられた構成とすることができる。
力かる構成により本多方向同時観察光学系では、該光路長補正用プリズム 15 A、 1 5B、 15F等〖こより、被検物体 11の上面を除く各面の WDが上面の WDと同一となる ように補正される、つまりかかる補正により、各面からの像について WDが等しくなり、 合焦面 (ピント面)が合い、読み取り装置においては鮮明な映像の出力を得ることが できる。
ここで該光路長補正用プリズム 15 A、 15B、 15F等は、被検物体の形状や大きさに 応じた光路長補正がなされるように、これらを適宜交換することにより、またはその他 適宜の手段により、光路長調整可能に形成する構成をとることができる。
[0033] 図 2— 2は、本発明の多方向同時観察光学系の構成例を示す斜視の説明図である 。図示するように本多方向同時観察光学系によれば、特に線状もしくは棒状の被検 物体 lspを前記被検物体搬送手段 9上にて搬送しつつ、その側面、底面画像を同時 に取得することができる。該被検物体搬送手段 9としては、ベルトコンベアの利用等、 適宜のものを用いることができる。
[0034] 図 3— 1は、本発明の多方向同時観察光学系のうち、底面画像取得専用観察光学 系の構成例を示す説明図である。また、
図 3— 2は、図 3— 1の底面画像取得専用観察光学系の構成例を示す斜視図である 。上述のように本発明は、被検物体の一または二以上の側面について各側面画像を 得るための一または二以上の側面画像取得用プリズム系、もしくは底面画像を得るた めの底面画像取得用プリズム系の少なくとも!/ヽずれかを有してなる多方向同時観察 光学系であるから、これらの図に示すように、光路長補正用プリズム 35および光路方 向転換用プリズム 38Fとから基本的に構成される、底面画像取得専用観察光学系も 、本発明の範囲内である。本観察光学系では、プリズム系からは底面画像のみが得 られ、被検物体載置部 39上方からは平面(上面)画像が得られ、計 2画像が得られる 。側面画像の取得が不要で、底面画像は必要な場合においては、この底面画像取 得専用観察光学系が必要充分な構成である。
[0035] 本発明の多方向同時観察光学系では、これを構成する側面画像取得用プリズム系 の数は限定されない。たとえばその系統数は、 2、 3、 4、 5、 6、もしくは 7のいずれかと
することができるが、 8以上でもよい。
[0036] 図 4 1は、本発明の多方向同時観察光学系の別の構成例を示す側面視の説明図 である。また、
図 4 2は、図 4 1の多方向同時観察光学系の斜視図、
図 4 3は、同正面図、
図 4 4は、同背面図、
図 4 5は、同平面(上面)図、そして、
図 4 6は、同底面図である。なお、図 4 2以下では、図 4 1に示した被検物体は省 略してある。
[0037] これらに図示するように、本多方向同時観察光学系は、前記側面画像取得用プリ ズム系 65A、 65B、前記底面画像取得用プリズム系 65Fおよび搬送路 69は一体に 形成されていることを、主たる構成とする。
[0038] 力かる構成により、図 2— 2等に示した例とは異なり、線状もしくは棒状の被検物体 6 1の側面画像について、側面に対して斜め方向力 ではなく真正面方向力 の像を 得ることができ、線状もしくは棒状の被検物体 61の多方向同時観察に、極めて便利 である。
[0039] また、製造 ·取り扱いが一層簡易ィ匕 '容易化され、線状もしくは棒状の被検物体 61 の多方向同時観察を行うことが、より便宜かつ効率的となる。
[0040] 図 4 1に示すように、各側面画像取得用プリズム系 65A等は、光路方向転換用プリ ズムまたは光路方向転換用プリズム機能たる 64B等を、連続的にもしくは不連続的に 一体に備えたものとすることができる。また同様に、該底面画像取得用プリズム系 65 Fのための光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能たる 68Fを、 連続的もしくは不連続的に一体に備えたものとすることができる。これらの場合にお いて、「連続的に」一体に備えられた構成とは、一体に形成された同一部品としての 場合を含む。
[0041] これらの図において、本多方向同時観察光学系は、前記側面画像取得用プリズム 系 65A、 65Bと前記底面画像取得用プリズム系 65Fとは、取得される各画像が前記 線状もしくは棒状の被検物体 61の長手方向上の同一領域のものとなるように、前記
被検物体載置空間部 69の開放端部方向長さと同一の長さに形成された構成とする ことができる。もっとも、これらの長さが同一でない場合も、本発明の範囲内に該当す ることはもちろんである。
[0042] 同一の長さとする構成によれば、線状もしくは棒状の被検物体 61の長手方向上の 同一領域について、その平面 ·側面 ·底面の各画像を同時に観察することができ、検 查等具体的用途において便宜である。
[0043] 図 4 7は、本発明の多方向同時観察光学系の、さらに別の構成例を示す側面視 の説明図である。このように、該底面画像取得用プリズム系は該側面画像取得用プリ ズム系と同じまたは同等の高さに形成することも、可能である。その場合、該底面画 像取得用プリズム系を該側面画像取得用プリズム系とは異なる材料を用 Vヽる等して、 同一サイズの画像が得られるよう、光路長補正の調整されたものとすることができる。
[0044] 図 5 (A)は、図 2— 2に示したような本発明多方向同時観察光学系の、 A— A切断線 または A'— A'切断線による縦断面ならびに結像の得られる状況を示す概略説明図 図 5 (B)は、図 2— 2に示したような本発明多方向同時観察光学系の、 B— B切断線 による縦断面ならびに結像の得られる状況を示す概略説明図である。ここでは図 2— 2の例で示している力 図 4 1等、図 3—1等の例においても、下記の説明は同様に 該当するものである。
[0045] これらの図において、本多方向同時観察光学系は、前記光路方向転換用プリズム 等として、前記側面画像取得用プリズム系においては 45° ミラープリズム 40a、 40b 、 40c、 40dまたはその機能を有するプリズム(以下、まとめて「45° ミラープリズム」と もいう。)を、一方、前記底面画像取得用プリズム系においては二度の方向転換を得 ることのできる台形プリズム 8aもしくは三角プリズムまたはこれらのいずれかの機能を 有するプリズム(以下、まとめて「台形プリズム」ともいう。)を、それぞれ用いることがで きる。
[0046] これらの図中、 50a、 50b、 · · ·、 50fは光路長補正用プリズムである。また、 5はレン ズ、 6はレンズ端面、 3は結像される像面である。
[0047] 図 5 (A)により、本発明多方向同時観察光学系における線状もしくは棒状の被検物
体の側面および上面画像の取得について、さらに説明する。
光は、空気中を伝達する速度よりも、ガラスの中を伝達する速度の方が速くなる。す なわち、ガラス中の光路長は、これを空気中の光路長に換算すると短くなる。したが つて、側面の被検物体面 laからレンズ端面 6までの WD 2aと、上面の被検物体面 1 eからレンズ端面 6までの WD 2eとは異なったものとなる。
[0048] そこで、より距離の長い 2aにおいて、 2aと 2eの距離が空気中の光路長に換算して 同じ値になるように、側面の被検物体面 laからレンズまでの光路間に光路長補正用 プリズム 50aを配置することにより、被検物体面の側面 laと上面 leの合焦面を、共通 の読み取り装置にぉ 、て合わせることが可能となる。
[0049] 被検物体面の側面 laと lbの WDは、それぞれの方向は違うものの、距離 2a、 2bは 等しいため、被検物体面の同時観察のためには、光路長補正用プリズム 50aと 50b は同じ仕様のものを配置すればよい。
[0050] また、前出図 11の従来例で説明したような平面ミラー 4030a— 4030fではなく 45 ° ミラープリズム 40a等を使用することにより、光路長補正用プリズム 50a等のサイズ を小型化することができる。
[0051] 後述するように本多方向同時観察光学系では、被検物体を保持しこれを移動でき るようにするために、被検物体搬送手段 9を被検物体の下方に配置するように設ける ことができる。該被検物体搬送手段 9は、これを透して被検物体の底面画像を取得で きるよう〖こ、ガラス等の透明材料を用いて構成することができる。ガラスを用いる場合、 以下、被検物体搬送手段を「被検物体搬送用ガラス板」ということがある。該被検物 体搬送用ガラス板 9をその長手方向に適宜の手段によって移動させることにより、こ れに載置された複数の被検物体を、連続的に効率よく観察、検査することができる。
[0052] 図 5 (B)より、本発明多方向同時観察光学系における被検物体の上面および底面
(下面)画像の取得について、さらに説明する。
二つの反射面を持つ台形プリズム (または三角プリズム) 8aを被検物体と被検物体 搬送用ガラス板 9の下方に配置し、二回光路を反射させることにより、光路をレンズ 5 の方向に折り曲げる。
[0053] 上述した側面の被検物体面の場合と同様に、下面の被検物体面 Ifからレンズ 5ま
での WD 2fと、上面の被検物体面 leからレンズ 5までの WD 2eの距離力 空気中 の光路長に換算して同じに値になるように光路長補正用プリズム 50fならびに 50e、 および二つの反射面を持つ台形プリズム (または三角プリズム) 8aを配置する。それ により、被検物体の合焦面が合い、共通の読み取り装置で下面の被検物体面 Ifと上 面の被検物体面 leを同時に観察できる。つまり、被検物体面の下面 Ifと上面 leの 合焦面を、共通の読み取り装置にぉ 、て合わせることが可能となる。
[0054] これらの図において、光路長補正用プリズム 50aと 50b間の間隔等を調整すること により、上述の被検物体を搬送するスペース(9)を確保することができる。
[0055] 図 5 (A)、図 5 (B)を用いて説明したように、本発明の多方向同時観察光学系によ れば、線状もしくは棒状の被検物体の上下面と両側面をあわせた合計四面の被検物 体面を同時に一つの読み取り装置、撮影装置で観察することができる。各部品 (プリ ズム)は相互に干渉しないように配置することができるため、各光路が相互に遮られる ことがなぐ像のケラレも発生しない。
[0056] 本発明多方向同時観察光学系には、前記側面画像取得用プリズム系における前 記光路方向転換用プリズム等として、正立像を得ることのできるペンタブリズム等、ま たはその機能を有するプリズム(以下、まとめて「ペンタプリズム」ともいう。)を用いるこ とがでさる。
[0057] ここで、ペンタプリズムとは五角形プリズムの一種であり、特に、入射光をプリズム内 部で二回反射させることにより、像反転の発生せず、正立像のまま 90° 折り曲げて反 射することができる五角形プリズムをいう。力かるペンタブリズムの利用により、取得さ れるすべての画像を正立像とすることができる。
[0058] つまり該ペンタブリズムは、 45° ミラープリズムに替えて光路方向転換用プリズムと して用いることができる。
[0059] ミラープリズムでは、ミラー反射面の一回の反射により 90° 折り曲げて反射される。
ここでの像生成を前出図 11を参照して確認すると、一回反射した 402a、 402b, 402 cおよび 402dの各像と、二回反射した 402fの像とでは、像の向きが異なることとなる 。したがって、 45° ミラープリズムをペンタブリズムに替えることにより、被検物体の各 側面の像を下面の像と同じ二回反射にすることができ、全被検物体面について、方
向のそろった像、つまり正立像を得ることができる。
[0060] 図 6は、本発明の簡易型多方向同時観察光学系の構成例として五角形プリズムを 用いた側面視構成ならびに肉眼による結像の得られる状況を示す説明図である。
[0061] 図において、前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換用プリズ ムには、正立像を得ることのできる五角形プリズム 6 la等、またはその機能を有するプ リズムを用いることができる。
[0062] 力かる構成による作用効果は、ペンタブリズムにおける作用効果と基本的に同様で ある。すなわち、ミラープリズムでは、ミラー反射面の一回の反射によって折り曲げると ころ、図 6に示した五角形プリズム利用の構成では、各五角形プリズム 61a等は、台 形プリズムと同じく二回反射するため、被検物体各面の像を同方向の像にすることが できる。
[0063] 図 7は、本発明の画像読み取り装置の原理構成を示す説明図であり、 (A)は側面 画像取得用プリズム系主体に、(B)は側面画像取得用プリズム系主体に、それぞれ 示したものである。
図において本画像読み取り装置は、側面画像取得用プリズム系 2145A、 2145B 等および底面画像取得用プリズム系 2185Fとから主として構成される、上述した ヽず れかの多方向同時観察光学系と、前記レンズ 215を介して得られる光を光電変換処 理するための CCDあるいは CMOS、もしくはライン CCD等の電子撮像素子 213とを 備えることを原理構成とする。ライン CCDを用いることにより、線状物等、長尺の被検 物体を移動させながら連続的に多方向同時観察することができる。
[0064] 力かる構成により本画像読み取り装置は、適宜の画像解析ソフトなどのソフトウェア との組み合わせで、画像計測を含む画像解析に用いることができる。
[0065] 図 7 (A)、 (B)に示した原理構成を用いて、 2145A、 2185F等力もなる該多方向 同時観察光学系により被検物体の各面の画像情報を光として取得し、前記レンズ 21 5を介して得られる該光を CCDある!/、は CMOS、もしくはライン CCD等の電子撮像 素子 213により光電変換処理することによって電気的に処理の可能な画像情報を取 得し、これにより画像計測を含む画像解析を行うことができる。
[0066] 図 8は、別の構成を付加した本発明多方向同時観察光学系の縦断面ならびに結
像の得られる状況を示す説明図であり、本図中の(B— 1)は、また別の本発明多方向 同時観察光学系の縦断面図である。
[0067] 図示するように、本多方向同時観察光学系の各プリズム系には、前記光路方向転 換用プリズム 40a等の上方に、光路をシフトさせるための光路シフトプリズム 70a、 70 b、 80a等、または光路シフトプリズム機能(以下、まとめて「光路シフトプリズム」ともい う。)を設けることができる。ここで「シフト」は、各プリズム 70a、 70b等、あるいはまた 8 Oa、 80b等からの光の進行方向の断面方向における移動を指す。
[0068] 図 8において、該光路シフトプリズム 70a等は、レンズ等への入射光面積を縮小して 解像度を高めるベぐ被検物体各面力 の光出力の光路断面を縮小させるように配 置構成することができる。つまり、各プリズム 50a等中を上方に進行してきた光を、光 軸中央寄りに収束させるように、光路シフトプリズム 70a等を配置構成する。
[0069] これらの図でさらに説明すれば、光路方向転換用プリズム 40a等の上方、かつ、側 面の光路長補正用プリズム 50a— 50dの上方もしくは下方に、光路シフトプリズム 70 a、 70b等力、または光路シフト用ミラー 80a、 80b等を配置することにより、側面画像 の光軸を平行シフトすることができる。上述のようにレンズへの入射光面積を小さくす るように配置すれば、結果的には、被検物体から取得すべき像全体のサイズを小さく することができる。撮像素子の一画素当たりに取り込む物体サイズを小さくすることが でき、分解能を向上させることができる。したがって、同じ撮像素子を使用した場合、 より解像力を高めての観察が可能となる。
[0070] 本発明の多方向同時観察光学系には、二以上の被検物体を載置し、これらを前記 被検物体載置空間部を経由して搬送することのできる被検物体搬送手段を設けるこ とができ、前記各プリズム系は、該被検物体搬送手段の搬送経路が確保されるように 配置する構成をとることができる。
[0071] 各図において説明したように、本発明の多方向同時観察光学系は、前記側面画像 取得用プリズム系および前記底面画像取得用プリズム系の光出力方向に設けられた レンズを含んだものとしてこれを特定することも、あるいはまたレンズは除外したものと してこれを特定することちでさる。
[0072] また、前記レンズには、被検物体側をテレセントリックとすることができるテレセントリ
ックレンズを用いることによって、その特性により、寸法計測等の画像計測を正確に行 うことのできるシステムを構成することができる。また、テレセントリックレンズの使用は
、本光学系を構成する各プリズムの寸法を小型化することを可能とし、さらに、各プリ ズム構成力もなる光学系全体の小型化も可能とする。
[0073] 前記レンズとしては、形状に球体や超多面体などを有する複雑な被検物体であつ ても各面同時に合焦面を合わせられるのに充分な被写界深度を備えたものを、特に 用!/、ることができる。
[0074] 本発明多方向同時観察光学系は、前記側面画像取得用プリズム系および底面画 像取得用プリズム系においてそれぞれ、光路長補正用プリズムを設けず、前記光路 方向転換用プリズムの上方に開放空間が形成されている構成でとすることができる。
[0075] 敢えて光路長補正用プリズムを設けないこととした力かる構成によっても、肉眼によ る目視観察であれば、被検物体の多方向同時観察を充分に、かつ容易に行うことが できる。構成を簡便化できるためコスト上有利であり、廉価版観察光学系として提供 することができる。
[0076] 力かる簡易構成の本発明多方向同時観察光学系は、前記光路方向転換用プリズ ムとしては、前記側面画像取得用プリズム系にお 、ては三角ミラープリズムを用い、 前記底面画像取得用プリズム系においては二度の方向転換を得ることのできる台形 プリズムもしくは三角プリズム等を用いることができる。
[0077] さらに詳しくこれを説明すれば、光路長補正用プリズムを削除し、前記読み取り装 置を人の目に置き換え、 45° ミラープリズムを、三角ミラープリズムに置き換え、また、 光路長補正用プリズムの位置に反射防止用プリズムを配置することにより、本多方向 同時観察光学系を構成できる。
[0078] これにより、本発明光学系を小型化し、またその構成を簡素化することができる。各 被検物体面に同時に合焦面 (ピント面)が合い、前記多方向同時観察光学系を構成 する各プリズムを、それぞれの光路が相互に遮られることのないように配置することに より、ケラレのない被検物体面全ての画像を、同時に提供することができる。
[0079] 本構成は、光路長補正用プリズムと読み取り装置を備えることを不要とするため、た とえば目視検査用途に、簡易型の観察光学系として充分な機能を発揮することがで
きる。
産業上の利用可能性
本発明の多方向同時観察光学系および画像読み取り装置は上述のように構成さ れているため、被検物体を各面力も高精度に同時観察することができ、検査等の効 率を高めることができ、殊に、線状もしくは棒状の被検物体の観察を効率的に行うこと ができ、産業上利用価値が極めて高 、発明である。
Claims
[1] 線状もしくは棒状の被検物体の一または二以上の側面について各側面画像を得る ための一または二以上の側面画像取得用プリズム系、もしくは底面画像を得るため の底面画像取得用プリズム系の少なくとも!/ヽずれかを有してなる多方向同時観察光 学系であって、該側面画像取得用プリズム系、該底面画像取得用プリズム系は、光 路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能を有しており、該プリズム 系は、該線状もしくは棒状の被検物体の真上方向にはその上面画像を取得するた めの開放空間が確保されるとともに被検物体載置空間部が確保されるように該空間 の側方に設けられ、該プリズム系は、それぞれにより出される光の光路が被検物体の 上方へ向うようにもしくは相互に平行かつ同一方向となるように、かつ光路を遮られな いように配置されており、各側面画像取得用プリズム系は、取得される各画像が平行 となるように相互に平行に配置されており、該被検物体載置空間部は載置される該 線状もしくは棒状の被検物体が長手方向に移動できるよう開放端部を有して該被検 物体の搬送路をなしていることを特徴とする、多方向同時観察光学系。
[2] 線状もしくは棒状の被検物体の一または二以上の側面にっ 、て各側面画像を得る ための一または二以上の側面画像取得用プリズム系と、底面画像を得るための底面 画像取得用プリズム系とからなる多方向同時観察光学系であって、該側面画像取得 用プリズム系および該底面画像取得用プリズム系はそれぞれ、光路方向転換用プリ ズムまたは光路方向転換用プリズム機能を有しており、該各プリズム系は、該線状も しくは棒状の被検物体の真上方向にはその上面画像を取得するための開放空間が 確保されるとともに被検物体載置空間部が確保されるように該開放空間の側方周囲 および一部は下方位置を占めて設けられ、該各プリズム系は、それぞれにより出され る光の光路が被検物体の上方へ向うようにもしくは相互に平行かつ同一方向となるよ うに、かつ他のプリズム系により光路を遮られないように配置されており、各側面画像 取得用プリズム系ならびに該底面画像取得用プリズム系は、取得される各画像が平 行となるように相互に平行に配置されており、該被検物体載置空間部は載置される 該線状もしくは棒状の被検物体が長手方向に移動できるよう開放端部を有して該被 検物体の搬送路をなしていることを特徴とする、多方向同時観察光学系。
[3] 前記側面画像取得用プリズム系、前記底面画像取得用プリズム系および搬送路は 一体に形成されていることを特徴とする、請求項 1または 2に記載の多方向同時観察 光学系。
[4] 前記側面画像取得用プリズム系と該底面画像取得用プリズム系とは、取得される各 画像が前記線状もしくは棒状の被検物体の同一領域のものとなるように、前記被検 物体載置空間部の開放端部方向長さと同一の長さに形成されていることを特徴とす る、請求項 1ないし 3のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
[5] 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、前記側面画 像取得用プリズム系においては 45° ミラープリズム、正立像を得ることのできるペンタ プリズムもしくはそのいずれかの機能を有するプリズムが用いられ、前記底面画像取 得用プリズム系においては二度の方向転換を得ることのできる台形プリズム、三角プ リズムもしくはそのいずれかの機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、 請求項 3または 4に記載の多方向同時観察光学系。
[6] 前記側面画像取得用プリズム系および前記底面画像取得用プリズム系の光出力方 向に設けられたレンズまたは被検物体側をテレセントリックとすることができるテレセン トリックレンズをさらに有してなることを特徴とする、請求項 3ないし 5のいずれかに記 載の多方向同時観察光学系。
[7] 前記レンズは、前記被検物体の各面同時に合焦面を合わせられるのに充分な被写 界深度を備えていることを特徴とする、請求項 6に記載の多方向同時観察光学系。
[8] 請求項 6または 7に記載の多方向同時観察光学系と、前記レンズを介して得られる光 を光電変換処理するための CCD、 CMOSもしくはライン CCDを含む電子撮像素子 とを備えてなり、画像計測を含む画像解析に用いることができることを特徴とする、画 像読み取り装置。
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PCT/JP2004/019580 WO2006070444A1 (ja) | 2004-12-27 | 2004-12-27 | 多方向同時観察光学系および画像読み取り装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017187485A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | 国立大学法人弘前大学 | 多面画像取得システム、観察装置、観察方法、スクリーニング方法、および被写体の立体再構成方法 |
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2004
- 2004-12-27 WO PCT/JP2004/019580 patent/WO2006070444A1/ja not_active Application Discontinuation
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