JPWO2005083399A1 - 多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法および多方向同時観察光学系複合体 - Google Patents
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Abstract
Description
図12は、被検物体の多方向からの観察方法の従来例を示す説明図である。図示するように、面1b、1c、1e等を備えてなる被検物体を観察する場合、その正面・背面・左右側面・平面・底面すなわち六面方向からの観察により、その外観を把握することができるが、ここでは、読み取り装置407を適宜移動させて被検物体観察の方向を変えることで、多方向(表裏・左右・上下など)からの観察がなされる。多方向からの観察を1台の読み取り装置407の移動により行う場合は、読み取り装置407の位置決定には、相当複雑かつ高度な移動機構が必要であり、その設定には労力と時間を要する。
(I)検索調査1
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検索式:(六面+多面)*測定*同時*(像+画+図+撮)
資料:特許公開公報
検索月日:平成15年12月18日
ヒット件数:28件
メニュー:公報テキスト検索
検索式:(六面+多面)*観察*同時*(光学+プリズム)
資料:特許公開公報、特許公報
検索月日:平成16年2月19日
ヒット件数:4件
(2) 被検物体の一または二以上の側面について各側面画像を得るための一または二以上の側面画像取得用プリズム系と、底面画像を得るための底面画像取得用プリズム系とからなる多方向同時観察光学系であって、該側面画像取得用プリズム系および該底面画像取得用プリズム系はそれぞれ、光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能を有しており、該各プリズム系は、被検物体の真上方向にはその上面画像を取得するための開放空間が確保されるとともに被検物体載置空間部が確保されるように該空間の側方周囲および一部は下方位置を占めて設けられ、該各プリズム系は、それぞれにより出される光の光路が被検物体の上方へ向うようにもしくは相互に平行かつ同一方向となるように、かつ他のプリズム系により光路を遮られないように配置されていることを特徴とする、多方向同時観察光学系。
(3) 前記側面画像取得用プリズム系および底面画像取得用プリズム系にはそれぞれ、前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能の上方に、被検物体の上面を除く各面のワーキングディスタンスを上面のワーキングディスタンスと同一にするための光路長補正用プリズムまたは光路長補正用プリズム機能が設けられていることを特徴とする、(1)または(2)に記載の多方向同時観察光学系。
(4) 前記光路長補正用プリズムまたは光路長補正用プリズム機能は、被検物体の形状や大きさに応じた光路長補正がなされるよう、交換または光路長調整可能に形成されていることを特徴とする、(3)に記載の多方向同時観察光学系。
(5) 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、前記側面画像取得用プリズム系においては45°ミラープリズムまたはその機能を有するプリズムが用いられ、前記底面画像取得用プリズム系においては二度の方向転換を得ることのできる台形プリズムもしくは三角プリズムまたはこれらのいずれかの機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、(3)または(4)に記載の多方向同時観察光学系。
(6) 前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、正立像を得ることのできるペンタプリズムまたはその機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、(3)ないし(5)のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(7) 前記各プリズム系には、前記光路方向転換用プリズムの上方に、光路をシフトさせるための光路シフトプリズムまたは光路シフトプリズム機能が設けられていることを特徴とする、(1)ないし(6)のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(8) 前記光路シフトプリズムまたは光路シフトプリズム機能は、レンズ等への入射光面積を縮小して解像度を高めるべく、被検物体各面からの光出力の光路断面を縮小させるように形成されていることを特徴とする、(7)に記載の多方向同時観察光学系。
(9) 二以上の被検物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由して搬送することのできる被検物体搬送手段が設けられ、前記各プリズム系は該被検物体搬送手段の経路が確保されるように配置されることを特徴とする、(3)ないし(8)のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(11) 前記4系統の側面画像取得用プリズム系は、前記被検物体載置空間部を挟んで対向する2系統による組が2組配置されていて、各組は相互に直交しているか、または任意の角度でもって配置されていることを特徴とする、(10)に記載の多方向同時観察光学系。
(12) 前記側面画像取得用プリズム系および前記底面画像取得用プリズム系の光出力方向に設けられたレンズまたは被検物体側をテレセントリックとすることができるテレセントリックレンズをさらに含んでなることを特徴とする、(3)ないし(10)のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(13) 前記レンズは、形状に球体や超多面体などを有する複雑な被検物体であっても各面同時に合焦面を合わせられるのに充分な被写界深度を備えていることを特徴とする、(12)に記載の多方向同時観察光学系。
(15) (11)ないし(13)のいずれかに記載の多方向同時観察光学系により被検物体の各面の画像情報を光として取得し、前記レンズを介して得られる該光をCCD、CMOSもしくはラインCCDを含む電子撮像素子により光電変換処理することによって電気的に処理の可能な画像情報を取得し、これにより画像計測を含む画像解析に用いることができることを特徴とする、画像読み取り方法。
(17) 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、前記側面画像取得用プリズム系においては三角ミラープリズムまたはその機能を有するプリズムが用いられ、前記底面画像取得用プリズム系においては二度の方向転換を得ることのできる台形プリズムもしくは三角プリズムまたはその機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、(16)に記載の多方向同時観察光学系。
(18) 前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、正立像を得ることのできる五角形プリズムまたはその機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、(16)または(17)に記載の多方向同時観察光学系。
(19) 前記台形プリズムもしくは三角プリズムまたはその機能の上方には、反射防止用プリズムまたはその機能が設けられていることを特徴とする、(16)ないし(18)のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(20) 二以上の被検物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由して搬送することのできる被検物体搬送手段が設けられ、前記各プリズム系は該被検物体搬送手段の経路が確保されるように配置されることを特徴とする、(16)ないし(19)のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
(22) 前記4系統の側面画像取得用プリズム系は、前記被検物体載置空間部を挟んで対向する2系統による組が2組配置されていて、各組は相互に直交しているか、または任意の角度でもって配置されていることを特徴とする、(21)に記載の多方向同時観察光学系。
(23) (1)または(2)に記載の多方向同時観察光学系を二以上用いてなり、それによる被検物体の多方向同時観察が可能であることを特徴とする、多方向同時観察光学系複合体。
(I)被検物体の形状が、概略立方体的に把握できるか直方体的かに関わらず、六面方向全てにおいて同時に合焦面を合わせることができ、かつ、いわゆるケラレのない画像を同時に提供でき、外観欠陥検査等の画像解析を正確に行うことができ、検査等の時間を短縮し、検査等の効率を高め、コストを抑制できる(上記(1)、(4)、(12)、(14)、(16)などの多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法、多方向同時観察光学系複合体)。
(II)被検物体が上下面のある七面体以上の多面体であっても、側面画像取得用プリズム系のセット数を増やすことで、全ての面において同時に合焦面が合い、、かつ、ケラレのない画像を同時に提供することができる(上記(4)などの多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法、多方向同時観察光学系複合体)。
(IV)側面画像取得用プリズム系の45°ミラープリズムをペンタプリズムに、あるいは三角ミラープリズムを5角形プリズムに置き換えることで、正立した像を同時に提供できる(上記(6)、(18)などの多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法、多方向同時観察光学系複合体)。
2a、2b、2e、2f…WD、 213…CCDあるいはCMOS等の電子撮像素子、 2145A、2145B、2145C…側面画像取得用プリズム系、 215…レンズ、 218…台形プリズム、 2185F…底面画像取得用プリズム系、 3…結像される像面
40a、40b、40c、40d…45°ミラープリズム、 41a〜41d…光路方向転換用プリズム(三角ミラープリズム)
5…レンズ、 50a〜50f…光路長補正用プリズム
6…レンズ端面、 60a〜60d…ペンタプリズム、 61a〜61d…五角形プリズム
70a、70b…光路シフトプリズム
8a、8b…台形プリズム、 80a、80b…光路シフト用平面ミラー
9…被検物体搬送手段(被検物体載置部)、 90…反射防止用プリズム
A−A、A’−A’、B−B…説明のための切断線
401…披検物体面、 402…ワーキングディスタンス(WD)、 402a〜402f…WD、 403…像面、 4030a〜4030f…平面ミラー、 404…撮像素子、 405…レンズ、 406…レンズの端部位置、 407…読み取り装置
35…底面画像取得専用観察光学系の光路長補正用プリズム
38F…底面画像取得専用観察光学系の光路方向転換用プリズム(部分)
39…被検物体の載置される部位(被検物体載置部)
P1、P2、P3、P4、P5、P6、P7、P8…側面画像取得用プリズム系
図1は、本発明の説明に用いる被検物体のモデルを示す斜視説明図、
図2は、本発明の多方向同時観察光学系の基本構成を概念的に示す説明図である。
かかる構成により本多方向同時観察光学系では、該光路長補正用プリズム15A、15B、15F等により、被検物体11の上面を除く各面のWDが上面のWDと同一となるように補正される、つまりかかる補正により、各面からの像についてWDが等しくなり、合焦面(ピント面)が合い、読み取り装置においては鮮明な映像の出力を得ることができる。
ここで該光路長補正用プリズム15A、15B、15F等は、被検物体の形状や大きさに応じた光路長補正がなされるように、これらを適宜交換することにより、またはその他適宜の手段により、光路長調整可能に形成する構成をとることができる。
図2−3は、図2−2の底面画像取得専用観察光学系の構成例を示す斜視図である。上述のように本発明は、被検物体の一または二以上の側面について各側面画像を得るための一または二以上の側面画像取得用プリズム系、もしくは底面画像を得るための底面画像取得用プリズム系の少なくともいずれかを有してなる多方向同時観察光学系であるから、これらの図に示すように、光路長補正用プリズム35および光路方向転換用プリズムもしくは光路方向転換用プリズム機能部分たる38Fとから基本的に構成される、底面画像取得専用観察光学系も、本発明の範囲内である。本観察光学系では、プリズム系からは底面画像のみが得られ、被検物体載置部39上方からは平面(上面)画像が得られ、計2画像が得られる。側面画像の取得が不要で、底面画像は必要な場合においては、この底面画像取得専用観察光学系が必要充分な構成である。なお、図2−4ないし2−7は図2−2の構成例の正面、背面、底面、平面の各図である。
図4(A)は、図3のA−A切断線またはA’−A’切断線による縦断面ならびに結像の得られる状況を示す説明図、
図4(B)は、図3のB−B切断線による縦断面ならびに結像の得られる状況を示す説明図である。
光は、空気中を伝達する速度よりも、ガラスの中を伝達する速度の方が速くなる。すなわち、ガラス中の光路長は、これを空気中の光路長に換算すると短くなる。したがって、側面の被検物体面1aからレンズ端面6までのWD 2aと、上面の被検物体面1eからレンズ端面6までのWD 2eとは異なったものとなる。
二つの反射面を持つ台形プリズム(または三角プリズム)8aを被検物体と被検物体搬送用ガラス板9の下方に配置し、二回光路を反射させることにより、光路をレンズ5の方向に折り曲げる。
図6(B)は、図6(A)に別の構成を付加した本発明多方向同時観察光学系の縦断面ならびに結像の得られる状況を示す説明図であり、本図中の(B−1)は、また別の本発明多方向同時観察光学系の縦断面図である。
各図における例示に用いたように、本発明の多方向同時観察光学系は、前記側面画像取得用プリズム系は4系統設けられ、前記各プリズム系なしに光出力の得られる上面を含めて被検物体の正六面の各画像情報を光として取得可能なものとして構成することができる。産業財産権手続における意匠の特定に常用されているように、被検物体の外観を六面により把握することは、検査等における外観特定のための条件を満たす場合が多いため、かかる構成には相当の利用価値がある。
本発明では、前記対向する2系統は、3組以上配置するように構成することもできる。たとえばこれを3組配置すれば、側面が5つある7面体以上の多面体の多方向同時観察も可能である。
(ア)光路長補正用プリズム50a等の大きさを適当なものに変える
(イ)光路長補正用プリズム50a等と45°ミラープリズム40a等のセット数を、側面の面数分だけ増やす
(ウ)レンズの被写界深度を深くする
の各方法を適宜組み合わせたり、あるいは単独で採用することにより、対応することができる。
図において本画像読み取り装置は、側面画像取得用プリズム系2145A、2145B等および底面画像取得用プリズム系2185Fとから主として構成される、上述したいずれかの多方向同時観察光学系と、前記レンズ215を介して得られる光を光電変換処理するためのCCDあるいはCMOS、もしくはラインCCD等の電子撮像素子213とを備えることを原理構成とする。ラインCCDを用いることにより、線状物等、長尺の被検物体を移動させながら連続的に多方向同時観察することができる。
図9(A)は、図8のA−A切断線またはA’−A’切断線による縦断面ならびに肉眼による結像の得られる状況を示す説明図、
図9(B)は、図8のB−B切断線による縦断面ならびに肉眼による結像の得られる状況を示す説明図である。
図11(A)は、図10のA−A切断線またはA’−A’切断線による縦断面ならびに肉眼による結像の得られる状況を示す説明図、
図11(B)は、図10のB−B切断線による縦断面ならびに肉眼による結像の得られる状況を示す説明図である。
Claims (23)
- 被検物体の一または二以上の側面について各側面画像を得るための一または二以上の側面画像取得用プリズム系、もしくは底面画像を得るための底面画像取得用プリズム系の少なくともいずれかを有してなる多方向同時観察光学系であって、該側面画像取得用プリズム系は、光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能を有しており、該プリズム系は、被検物体の真上方向にはその上面画像を取得するための開放空間が確保されるとともに被検物体載置空間部が確保されるように該空間の側方に設けられ、該プリズム系は、それぞれにより出される光の光路が被検物体の上方へ向うようにもしくは相互に平行かつ同一方向となるように、かつ光路を遮られないように配置されていることを特徴とする、多方向同時観察光学系。
- 被検物体の一または二以上の側面について各側面画像を得るための一または二以上の側面画像取得用プリズム系と、底面画像を得るための底面画像取得用プリズム系とからなる多方向同時観察光学系であって、該側面画像取得用プリズム系および該底面画像取得用プリズム系はそれぞれ、光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能を有しており、該各プリズム系は、被検物体の真上方向にはその上面画像を取得するための開放空間が確保されるとともに被検物体載置空間部が確保されるように該空間の側方周囲および一部は下方位置を占めて設けられ、該各プリズム系は、それぞれにより出される光の光路が被検物体の上方へ向うようにもしくは相互に平行かつ同一方向となるように、かつ他のプリズム系により光路を遮られないように配置されていることを特徴とする、多方向同時観察光学系。
- 前記側面画像取得用プリズム系および底面画像取得用プリズム系にはそれぞれ、前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能の上方に、被検物体の上面を除く各面のワーキングディスタンスを上面のワーキングディスタンスと同一にするための光路長補正用プリズムまたは光路長補正用プリズム機能が設けられていることを特徴とする、請求項1または2に記載の多方向同時観察光学系。
- 前記光路長補正用プリズムまたは光路長補正用プリズム機能は、被検物体の形状や大きさに応じた光路長補正がなされるよう、交換または光路長調整可能に形成されていることを特徴とする、請求項3に記載の多方向同時観察光学系。
- 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、前記側面画像取得用プリズム系においては45°ミラープリズムまたはその機能を有するプリズムが用いられ、前記底面画像取得用プリズム系においては二度の方向転換を得ることのできる台形プリズムもしくは三角プリズムまたはこれらのいずれかの機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、請求項3または4に記載の多方向同時観察光学系。
- 前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、正立像を得ることのできるペンタプリズムまたはその機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、請求項3ないし5のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
- 前記各プリズム系には、前記光路方向転換用プリズムの上方に、光路をシフトさせるための光路シフトプリズムまたは光路シフトプリズム機能が設けられていることを特徴とする、請求項1ないし6のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
- 前記光路シフトプリズムまたは光路シフトプリズム機能は、レンズ等への入射光面積を縮小して解像度を高めるべく、被検物体各面からの光出力の光路断面を縮小させるように形成されていることを特徴とする、請求項7に記載の多方向同時観察光学系。
- 二以上の被検物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由して搬送することのできる被検物体搬送手段が設けられ、前記各プリズム系は該被検物体搬送手段の経路が確保されるように配置されることを特徴とする、請求項3ないし8のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
- 前記側面画像取得用プリズム系は4系統設けられ、前記各プリズム系なしに光出力の得られる上面方向を含めて被検物体の六方向からの各画像情報を光として取得可能であることを特徴とする、請求項3ないし9のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
- 前記4系統の側面画像取得用プリズム系は、前記被検物体載置空間部を挟んで対向する2系統による組が2組配置されていて、各組は相互に直交しているか、または任意の角度でもって配置されていることを特徴とする、請求項10に記載の多方向同時観察光学系。
- 前記側面画像取得用プリズム系および前記底面画像取得用プリズム系の光出力方向に設けられたレンズまたは被検物体側をテレセントリックとすることができるテレセントリックレンズをさらに含んでなることを特徴とする、請求項3ないし10のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
- 前記レンズは、形状に球体や超多面体などを有する複雑な被検物体であっても各面同時に合焦面を合わせられるのに充分な被写界深度を備えていることを特徴とする、請求項12に記載の多方向同時観察光学系。
- 請求項11ないし13のいずれかに記載の多方向同時観察光学系と、前記レンズを介して得られる光を光電変換処理するためのCCD、CMOSもしくはラインCCDを含む電子撮像素子とを備えてなり、画像計測を含む画像解析に用いることができることを特徴とする、画像読み取り装置。
- 請求項11ないし13のいずれかに記載の多方向同時観察光学系により被検物体の各面の画像情報を光として取得し、前記レンズを介して得られる該光をCCD、CMOSもしくはラインCCDを含む電子撮像素子により光電変換処理することによって電気的に処理の可能な画像情報を取得し、これにより画像計測を含む画像解析に用いることができることを特徴とする、画像読み取り方法。
- 前記側面画像取得用プリズム系および底面画像取得用プリズム系はそれぞれ、肉眼による目視観察を容易に行えるように、前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能の上方に開放空間が形成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の多方向同時観察光学系。
- 前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、前記側面画像取得用プリズム系においては三角ミラープリズムまたはその機能を有するプリズムが用いられ、前記底面画像取得用プリズム系においては二度の方向転換を得ることのできる台形プリズムもしくは三角プリズムまたはその機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、請求項16に記載の多方向同時観察光学系。
- 前記側面画像取得用プリズム系における前記光路方向転換用プリズムまたは光路方向転換用プリズム機能には、正立像を得ることのできる五角形プリズムまたはその機能を有するプリズムが用いられることを特徴とする、請求項16または17に記載の多方向同時観察光学系。
- 前記台形プリズムもしくは三角プリズムまたはその機能の上方には、反射防止用プリズムまたはその機能が設けられていることを特徴とする、請求項16ないし18のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
- 二以上の被検物体を載置し、これらを前記被検物体載置空間部を経由して搬送することのできる被検物体搬送手段が設けられ、前記各プリズム系は該被検物体搬送手段の経路が確保されるように配置されることを特徴とする、請求項16ないし19のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
- 前記側面画像取得用プリズム系は4系統設けられ、前記各プリズム系なしに光出力の得られる上面方向を含めて被検物体の六方向からの各画像情報を光として取得可能であることを特徴とする、請求項16ないし20のいずれかに記載の多方向同時観察光学系。
- 前記4系統の側面画像取得用プリズム系は、前記被検物体載置空間部を挟んで対向する2系統による組が2組配置されていて、各組は相互に直交しているか、または任意の角度でもって配置されていることを特徴とする、請求項21に記載の多方向同時観察光学系。
- 請求項1または2に記載の多方向同時観察光学系を二以上用いてなり、それによる被検物体の多方向同時観察が可能であることを特徴とする、多方向同時観察光学系複合体。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013101118A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-23 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 目視検査治具及びこれを用いた目視検査システム |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005083398A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Technical Co.,Ltd. | 多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法および多方向同時観察光学系複合体 |
WO2009122765A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | マイクロ・スクェア株式会社 | 側視用光学部材及び画像処理システム |
JPWO2012039298A1 (ja) * | 2010-09-21 | 2014-02-03 | 東レ株式会社 | 糸状製品の検査装置および検査方法 |
US10921256B2 (en) * | 2016-03-31 | 2021-02-16 | Hirosaki University | Multi-surface image acquisition system, observation device, observation method, screening method, and stereoscopic reconstruction method of subject |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63257880A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-25 | Seiko Epson Corp | 多方向画像一括取り込み方法 |
JPH0560538A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-03-09 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 光学測定機 |
JPH06273339A (ja) * | 1993-03-19 | 1994-09-30 | N T T Data Tsushin Kk | 外観検査装置 |
JPH0798216A (ja) * | 1993-01-26 | 1995-04-11 | Sony Corp | 半導体装置の外観検査装置とその検査方法 |
JPH07110305A (ja) * | 1993-10-08 | 1995-04-25 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 光沢のある金属面の画像処理検査方法 |
JPH0876052A (ja) * | 1994-09-07 | 1996-03-22 | Mitsutoyo Corp | 画像重ね合わせ光学装置 |
JPH08226902A (ja) * | 1994-10-19 | 1996-09-03 | Emhart Glass Mach Investments Inc | 容器検査機械 |
JPH11230728A (ja) * | 1998-02-10 | 1999-08-27 | Ntt Fanet Systems Kk | 検査対象物の外観検査方法とその装置 |
JPH11304721A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-05 | Sony Corp | 外観検査装置 |
JP2000171224A (ja) * | 1998-12-09 | 2000-06-23 | Sony Corp | 外観検査装置 |
JP2000241363A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 物品の外観検査装置及び外観検査方法 |
JP2003254726A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 半導体素子の外観検査装置 |
WO2005083398A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Technical Co.,Ltd. | 多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法および多方向同時観察光学系複合体 |
-
2004
- 2004-09-22 WO PCT/JP2004/013849 patent/WO2005083398A1/ja active Application Filing
- 2004-12-27 JP JP2006510376A patent/JPWO2005083399A1/ja active Pending
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63257880A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-25 | Seiko Epson Corp | 多方向画像一括取り込み方法 |
JPH0560538A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-03-09 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 光学測定機 |
JPH0798216A (ja) * | 1993-01-26 | 1995-04-11 | Sony Corp | 半導体装置の外観検査装置とその検査方法 |
JPH06273339A (ja) * | 1993-03-19 | 1994-09-30 | N T T Data Tsushin Kk | 外観検査装置 |
JPH07110305A (ja) * | 1993-10-08 | 1995-04-25 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 光沢のある金属面の画像処理検査方法 |
JPH0876052A (ja) * | 1994-09-07 | 1996-03-22 | Mitsutoyo Corp | 画像重ね合わせ光学装置 |
JPH08226902A (ja) * | 1994-10-19 | 1996-09-03 | Emhart Glass Mach Investments Inc | 容器検査機械 |
JPH11230728A (ja) * | 1998-02-10 | 1999-08-27 | Ntt Fanet Systems Kk | 検査対象物の外観検査方法とその装置 |
JPH11304721A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-05 | Sony Corp | 外観検査装置 |
JP2000171224A (ja) * | 1998-12-09 | 2000-06-23 | Sony Corp | 外観検査装置 |
JP2000241363A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 物品の外観検査装置及び外観検査方法 |
JP2003254726A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 半導体素子の外観検査装置 |
WO2005083398A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Technical Co.,Ltd. | 多方向同時観察光学系、画像読み取り装置、画像読み取り方法および多方向同時観察光学系複合体 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013101118A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-23 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 目視検査治具及びこれを用いた目視検査システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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WO2005083398A1 (ja) | 2005-09-09 |
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