JP5112432B2 - 被測定物の検査測定装置 - Google Patents
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Description
本発明は、上述した事情を考慮してなされたもので、被測定物の欠陥や損傷の寸法測定からその位置測定までのワイドレンジの3次元寸法・形状測定を簡単かつ正確に測定可能とした被測定物の検査測定装置を提供することを目的とする。
図1は、本発明に係る被測定物の検査測定装置の第1実施形態を示す構成例のブロック図である。この被測定物の検査測定装置は、原子力発電プラントにおける、例えば原子炉の炉内寸法測定装置に適用した例を示す。
本発明に係る被測定物の検査測定装置の第2実施形態について図6を参照して説明する。
本発明に係る被測定物の検査測定装置の第3実施形態について図7および図8を参照して説明する。
本発明に係る被測定物の検査測定装置の第4実施形態について図9および図10を参照して説明する。
図11は、本発明に係る被測定物の検査測定装置10Dの第5実施形態を示す構成例のブロック図である。
図12は本発明に係る被測定物の検査測定装置の第6実施形態を示す構成例のブロック図である。
図13および図14は、本発明に係る被測定物の検査測定装置の第7実施形態を示す構成例のブロック図である。
Claims (11)
- 被測定物の測定対象に2次元の光パターンを投影する光投影手段と、前記被測定物の測定対象を撮影するステレオ配置の複数台の撮影手段と、前記撮影手段の少なくとも一方の姿勢を回転させて前記撮影手段間の視差角を制御する駆動手段とを有する距離測定装置と、
前記駆動手段を制御し、前記撮影手段間の視差角に応じて前記撮影手段間の視差角と前記撮影手段が有するレンズの焦点距離との相関データから前記レンズの焦点距離を制御して前記撮影手段の光軸が交差する位置を調整するワークディスタンス制御装置と、
前記ステレオ配置の撮影手段の画像間で同一領域を撮影した対応位置を求める対応位置演算手段と、前記撮影手段間の視差角とこの視差角に応じて制御された前記レンズの焦点距離を基に、前記対応位置演算手段の演算結果から被測定物の測定対象までの距離を演算する距離演算手段を有する距離演算装置とを備えたことを特徴とする被測定物の検査測定装置。 - 前記撮影手段の被測定物側に、前記光投影手段から投影された光の波長に応じて透過波長が選択されるバンドパスフィルタが備えられた請求項1に記載の被測定物の検査測定装置。
- 前記ワークディスタンス制御装置は、前記撮影手段の光軸が前記被測定物の測定対象の表面で交差するように駆動手段を制御し、前記被測定物の測定対象と前記距離測定装置との距離により、前記撮影手段の視野範囲が調整される請求項1に記載の被測定物の検査測定装置。
- 前記距離測定装置は、前記被測定物の測定対象と前記距離測定装置との距離を点測定するワークディスタンスセンサを備え、前記ワークディスタンス制御装置は、前記ワークディスタンスセンサで測定した距離により前記駆動手段を自動制御する請求項1に記載の被測定物の検査測定装置。
- 前記撮影手段が有するレンズは、電気的特性により焦点位置を調整できる液体レンズを備え、前記ステレオ配置された2台の撮影手段が有する前記液体レンズを単一の電気信号で調整する液体レンズ調整手段を備えた請求項1に記載の被測定物の検査測定装置。
- 前記距離演算装置の演算結果を基に前記被測定物の測定対象の表面に沿って寸法を測定する寸法測定装置を備えた請求項1に記載の被測定物の検査測定装置。
- 前記距離測定装置は、その位置と角度を測定する姿勢測定手段を備え、前記距離測定装置は異なる位置で測定した結果を、前記姿勢測定手段で測定した前記距離測定装置の位置と角度を基に相対座標に変換し、前記距離測定装置の1視野内に収まらない前記被測定物の測定対象の寸法を測定するようにした請求項6に記載の被測定物の検査測定装置。
- 被測定物の測定対象に2次元の光パターンを投影する光投影手段と、前記被測定物の測定対象を撮影する1台の撮影手段と、前記被測定物の測定対象からの光を複数の走査光路に沿って案内する光走査手段と、前記光走査手段の各走査光路に備えられた反射ミラーを駆動制御する駆動手段とを有する距離測定装置と、
前記駆動手段を制御し、前記反射ミラーの姿勢を回転させて前記走査光路間の視差角を任意に調整するとともに前記走査光路間の視差角に応じて前記走査光路間の視差角と前記撮影手段が有するレンズの焦点距離との相関データから前記レンズの焦点距離を制御するワークディスタンス制御装置と、
前記各走査光路からの撮影手段の画像間で同一領域を撮影した対応位置を求める対応位置演算手段と、前記走査光路間の視差角とこの視差角に応じて制御された前記レンズの焦点距離を基に、前記対応位置演算手段の演算結果から被測定物の測定対象までの距離を演算する距離演算手段を有する距離演算装置とを備えたことを特徴とする被測定物の検査測定装置。 - 前記光学走査手段は、各走査光路上に光の透過と遮蔽を制御する遮蔽手段を備え、前記遮蔽手段により前記撮影手段に入力される光を各走査光路上で切り換えるように設定された請求項8に記載の被測定物の検査測定装置。
- 前記撮影手段の被測定物側に、前記光投影手段から投影された光の波長に応じて透過波長が選択されるバンドパスフィルタが備えられた請求項8に記載の被測定物の検査測定装置。
- 前記ワークディスタンス制御装置は、前記撮影手段の光軸が前記被測定物の測定対象の表面で交差するように駆動手段を制御し、前記被測定物の測定対象と前記距離測定装置との距離により、前記撮影手段の視野範囲が調整される請求項8に記載の被測定物の検査測定装置。
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