JP2014173989A - 熱画像観察装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定対象物1から放射される光を平行な光束とするレンズユニット4と、該レンズユニットを透して測定対象物から入射する前記光束を第1分割光束、第2分割光束に分割する光束分割手段6と、前記第1分割光束、前記第2分割光束のそれぞれの光路に設けられた選択波長の異なる第1波長フィルタ7、第2波長フィルタ12と、前記第1波長フィルタ、前記第2波長フィルタを透過した前記第1分割光束、前記第2分割光束を受光する1つの受光素子8と、前記2つの光路の少なくとも一方に光路長調整光学部材13を設け、前記2つの光路の光学長を等しくし、前記受光素子が受光した前記第1分割光束、前記第2分割光束の信号に基づき2色測温法により測定対象物の温度状態を演算する演算装置3とを具備した。
【選択図】図1
Description
尚、図2、図3中、図1中で示したものと同等のものには同符号を付してある。
2 観察ユニット
3 演算装置
5 光軸
6 ハーフミラー
7 第1波長フィルタ
8 受光素子
9 光軸
11 ミラー
12 第2波長フィルタ
13 光路長調整光学部材
24 第1光楔部材
28 菱形プリズム
Claims (7)
- 測定対象物から放射される光を平行な光束とするレンズユニットと、該レンズユニットを透して測定対象物から入射する前記光束を第1分割光束、第2分割光束に分割する光束分割手段と、前記第1分割光束、前記第2分割光束のそれぞれの光路に設けられた選択波長の異なる第1波長フィルタ、第2波長フィルタと、前記第1波長フィルタ、前記第2波長フィルタを透過した前記第1分割光束、前記第2分割光束を受光する1つの受光素子と、前記2つの光路の少なくとも一方に光路長調整光学部材を設け、前記2つの光路の光学長を等しくし、前記受光素子が受光した前記第1分割光束、前記第2分割光束の信号に基づき2色測温法により測定対象物の温度状態を演算する演算装置とを具備したことを特徴とする熱画像観察装置。
- 前記光束分割手段は、入射される光束を前記第1分割光束、前記第2分割光束に分割するハーフミラーと、該ハーフミラーによって反射された前記第2分割光束の光軸を前記ハーフミラーを透過した前記第1分割光束の光軸と平行に偏向するミラーとを有し、前記第1分割光束、前記第2分割光束は前記受光素子上で重ならない様に前記ハーフミラー、前記ミラーが構成された請求項1の熱画像観察装置。
- 前記ハーフミラー、前記ミラーのいずれか一方を回転可能として前記第1分割光束、前記第2分割光束間の光軸の傾斜を調整可能とし、前記受光素子上に於ける前記第1分割光束の投影位置、前記第2分割光束の投影位置を所望の関係に設定可能とした請求項2の熱画像観察装置。
- 前記光路長調整光学部材は、前記2つの光路の光学長が等しくなる様に、屈折率と光束が透過する光路長が選択された請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の熱画像観察装置。
- 前記光路長調整光学部材は、複数の反射面を有し、該光路長調整光学部材を光束が透過することで光路長が長くなる様に構成された請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の熱画像観察装置。
- 前記第2分割光束の光軸、前記第1分割光束の光軸の少なくとも一方の、前記受光素子と対峙した位置に光楔部材を設けた請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の熱画像観察装置。
- 前記光路長調整光学部材の前記受光素子と対峙する端面を傾斜させ、前記光路長調整光学部材を光楔部材として機能させた請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の熱画像観察装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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2013
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