WO2004112081A1 - 電子増倍管 - Google Patents

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WO2004112081A1
WO2004112081A1 PCT/JP2004/008442 JP2004008442W WO2004112081A1 WO 2004112081 A1 WO2004112081 A1 WO 2004112081A1 JP 2004008442 W JP2004008442 W JP 2004008442W WO 2004112081 A1 WO2004112081 A1 WO 2004112081A1
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WO
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dynode
insulating
dynodes
electron multiplier
venetian blind
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PCT/JP2004/008442
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English (en)
French (fr)
Inventor
Hiroyuki Hanai
Nobuharu Suzuki
Original Assignee
Hamamatsu Photonics K.K.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamamatsu Photonics K.K. filed Critical Hamamatsu Photonics K.K.
Priority to US10/560,785 priority Critical patent/US7741758B2/en
Priority to EP04745983.9A priority patent/EP1632981B1/en
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
    • H01J43/04—Electron multipliers
    • H01J43/06—Electrode arrangements
    • H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
    • H01J43/22—Dynodes consisting of electron-permeable material, e.g. foil, grid, tube, venetian blind

Definitions

  • the present invention relates to an electron multiplier including a dynode section in which a plurality of dynodes are arranged in a multi-stage in a stacked state.
  • a dynode part of an electron multiplier As a dynode part of an electron multiplier, a dynode part in which a plurality of dynodes are arranged in multiple layers in a stacked state is generally known (for example, see Patent Document 1).
  • a plurality of stem pins for supplying a control voltage to each dynode are fixed to the stem plate constituting the vacuum vessel in a penetrating state.
  • a plurality of dynodes are supported in multiple stages in parallel with each other by fixing the tips of the dynodes to the periphery of each dynode (for example, see Patent Document 2).
  • Patent Document 1 JP-A-2000-3693 (Fig. 1)
  • Patent Document 2 Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-7825 (FIG. 1)
  • an object of the present invention is to provide an electron multiplier including a dynode part having excellent vibration resistance.
  • An electron multiplier is an electron multiplier including a plurality of dynodes arranged in multiple layers in a stacked state in which a plurality of dynodes are insulated from each other in a vacuum vessel.
  • the respective insulating plates are alternately stacked in a state of being fitted or engaged with the column, and a locking member is fixed to the tip of the column, and each dynode and each insulating spacer are integrally supported by the column. It is characterized by the following.
  • each dynode and each insulating plate of the dynode portion are fitted or engaged with a support provided on the stem plate constituting the vacuum vessel. Since the dynode and each insulating plate are integrally and firmly supported by the pillar, each dynode and each insulating plate do not inadvertently shift laterally due to acceleration or impact, and the dynode part exhibits excellent vibration resistance. .
  • each dynode and each insulating plate of the dynode part are fitted or engaged with the support provided on the stem plate constituting the vacuum vessel.
  • each dynode and each insulating plate are integrally and firmly supported by the pillars, so that the dynodes that do not inadvertently slide sideways due to vibration or shock are excellent in vibration resistance. Can be demonstrated.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional end view showing an internal structure of an electron multiplier according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view of main constituent members of a dynode unit shown in FIG. 1.
  • FIG. 1 is a longitudinal end view showing an internal structure of an electron multiplier according to one embodiment
  • FIG. 2 is a perspective view of main components of a dynode part shown in FIG.
  • a light-receiving surface plate 2 is hermetically fixed to an opening at one end of a cylindrical side tube 1, and is provided at an opening at the other end. It is configured as a head-on type PMT (photomultiplier tube) containing a focus electrode 4, a dynode part 5, an anode 6, etc. in a vacuum vessel with a stem plate 3 fixed in an airtight manner. .
  • PMT photomultiplier tube
  • the side tube 1 is composed of a Kovar metal tube having flanges formed at both ends, a peripheral portion of the light receiving surface plate 2 is thermally fused to one end flange, and a stem plate is mounted to the other end flange.
  • the flange 3 is welded.
  • the light receiving surface plate 2 is made of, for example, circular Kovar glass having a thickness of about 0.7 mm, and a photoelectric surface (not shown) is formed on an inner surface of a portion facing the light incident window. .
  • the material of the light receiving face plate 2 can be appropriately changed to synthetic quartz, UV glass, borosilicate glass, or the like according to required light transmission characteristics.
  • the stem plate 3 is made of Kovar metal, and is formed in a dish shape in which an insulating sealing material 3A made of borosilicate glass is filled.
  • a plurality of stem pins penetrate the stem plate 3 airtightly and are connected to the dynodes of the dynode unit 5.
  • An exhaust pipe 8 for evacuating the inside of the vacuum vessel is airtightly fitted and fixed to the center of the stem plate 3, and its outer end is closed.
  • each support 9 is air-tightly mounted on the insulating sealing material 3A with its base end portion penetrating through the stem plate 3.
  • An insulating pipe 10 is fitted to each of the columns 9.
  • the focus electrode 4 is formed in a rectangular cylindrical shape having a flange portion 4B in which a mounting hole 4A to be fitted to each column 9 is formed. It is located inside the side tube 1 for
  • the dynode unit 5 is configured such that, for example, the first dynode is a Venetian blind dynode.
  • the dynodes of the second and subsequent stages, for example, the fourteenth stage, are formed of metal channel dynodes 5B.
  • the Venetian blind dynode 5A is cut at an angle of approximately 45 degrees from a substrate 5A2 in which mounting holes 5A1 to be fitted into each insulating pipe 10 (see FIG. 1) are formed at four corners. It has a plurality of raised louver-shaped electrode elements 5A3. Each of the electrode elements 5A3 is adjacent to each other in parallel and inclined in the same direction, and has a blind appearance as a whole.
  • each electrode element 5A3 facing the light-receiving surface plate 2 receives photoelectrons emitted from the photocathode of the light-receiving surface plate 2 and converged by the focus electrode 4, and emits secondary electrons obtained by multiplying the photoelectrons.
  • the secondary electron emission surface is formed.
  • the collection efficiency of the photons is high.
  • the second-stage Venetian blind dynode 5A can emit more secondary electrons.
  • the metal channel dynode 5B has a plurality of through-holes 5B3 that are opened in a slit shape in a substrate 5B2 in which mounting holes 5B1 to be fitted to each insulating pipe 10 (see FIG. 1) are formed at four corners. You. Each through hole 5B3 extends parallel to each other along each electrode element 5A3 of the Venetian blind dynode 5A.
  • Each through-hole 5B3 has an inner wall surface having a cross-sectional shape that is inclined so that the opening width on the emission side is wider than the opening width on the collection side of secondary electrons (see Fig. 1). Has a secondary electron emission surface that multiplies and emits secondary electrons incident from the collection side.
  • the first-stage Venetian blind dynode 5 A and the twelfth-stage metal channel dynode 5 B of the dynode part 5 are stacked in an insulated state with the anode 6 and the anode 6. It is supported in multiple stages with the final stage dynode 5C.
  • mounting holes 6A and 5C1 to be fitted to each insulating pipe 10 are provided at the four corners of the anode 6 and the final stage dynode 5C. Each is formed.
  • a plurality of washer-shaped insulating spacers (insulating plates) 11 to be fitted to each insulating pipe 10 and a plurality of insulating rings 12 and 13 are provided.
  • a plurality of nuts 14 are provided which are screwed into a male screw portion 9A formed at the tip of each support 9.
  • an insulating ring 12 for each insulating pipe 10, an insulating ring 12, a mounting hole 5Cl for the final dynode 5C, an insulating spacer 11, a mounting hole 6A for the anode 6, and an insulating spacer (insulating plate) 11 are provided.
  • the mounting holes 5B1 and insulating spacers (insulating plates) 11 of the metal channel dynode 5B are alternately fitted to each insulating pipe 10 in this order, and the Venetian blind dynode 5A is mounted.
  • the holes 5A1 and the insulating rings 13 are fitted into the insulating pipes 10, so that the first Venetian blind dynodes 5A and the 2-14th metal channel dynodes 5B are insulated from each other in the stacked state. And it is arranged in multiple stages together with the final die node 5C.
  • each mounting hole 4A formed in the flange portion 4B of the focus electrode 4 is fitted to the distal end of each support 9 and is engaged with the male screw portion 9A at the distal end of each support 9.
  • Each nut 14 screwed as a member presses the insulating ring 13 through the flange portion 4B of the focus electrode 4, thereby forming the focus electrode 4, the first-stage Venetian blind dynode 5A, and the second-fourth metal.
  • the channel dynode 5B, the anode 6, and the final dynode 5C are firmly supported integrally with each support 9 together with each insulating spacer (insulating plate) 11.
  • the photoelectric surface on the back surface emits photoelectrons, and the emitted photoelectrons are focused.
  • the electrode 4 converges on the first-stage Venetian blind dynode 5A.
  • the focus electrode 4 Since the secondary electron emission surfaces of the electrode elements 5A3 are adjacent to each other and a large area is secured as a whole, the focus electrode 4 The converged photoelectrons are efficiently collected and multiplied, and the multiplied secondary electrons are emitted toward the second-stage metal channel dynode 5B.
  • the 2-14th metal channel dynode 5B efficiently multiplies the secondary electrons efficiently collected and multiplied by the first-stage Venetian blind dynode 5A.
  • the secondary electrons multiplied by the metal channel dynode 5B of the 214th stage are efficiently detected by the anode 6 as an electric signal.
  • the dynodes of the dynode unit 5 up to the 2nd to 14th stages are provided. Since it is composed of the metal channel dynode 5B that can make the lamination state thin, the total length of the dynode part 5 in the lamination direction can be made short and compact.
  • the insulating pipes 10 are fitted to the plurality of columns 9 erected on the stem plate 3 constituting the vacuum vessel, respectively.
  • Each mounting hole 5A1 of the Venetian blind dynode 5A constituting the dynode part 5, each mounting hole 5B1 of each metal channel dynode 5B, and each insulating spacer (insulating plate) 11 are fitted.
  • the Venetian blind dynode 5A, the metal channel dynodes 5B, and the insulating spacers (insulating plates) 11 are integrally and firmly supported on the support 9.
  • the Venetian blind dynode 5A, each metal channel dynode 5B, and each insulating spacer (insulating plate) 11 of the dynode unit 5 are inadvertently caused by vibration or impact.
  • the vibration resistance of the conventional electron multiplier was 1000 m / s 2 , but the vibration resistance of the electron multiplier of the embodiment was increased to 3000 m / s 2 , which is three times that of the conventional example. .
  • the electron multiplier according to the present invention is not limited to one embodiment.
  • the dynode unit 5 may be configured such that all the dynodes are configured by metal channel dynodes.
  • the insulating spacer (insulating plate) 11 is not limited to a washer shape, and may be formed in a square ring shape having mounting holes formed at four corners.
  • an appropriate locking member may be adhered or welded to the tip of each column 9, and the like.
  • the electron multiplier of the present invention may be an electron multiplier without a photocathode.
  • each dynode and each insulating plate of the dynode part are fitted or engaged with a support standing upright on the stem plate constituting the vacuum vessel, and in this state, each dynode and each insulating plate are fitted. Since the insulating plate is integrally and firmly supported by the pillars, the dynode part where each dynode and each insulating plate do not inadvertently shift sideways due to vibration or impact is An electron multiplier that exhibits excellent vibration resistance can be provided.

Landscapes

  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

明 細 書
電子增倍管
技術分野
[0001] 本発明は、複数のダイノードが積層状態で多段に配置されるダイノード部を備えた 電子増倍管に関するものである。
背景技術
[0002] 電子増倍管のダイノード部として、複数のダイノードが積層状態で多段に配置され たものが一般に知られている（例えば特許文献 1参照）。この種のダイノード部を備え る電子増倍管において、その真空容器を構成するステム板には、各ダイノードに制 御電圧を供給するための複数のステムピンが貫通状態で固定されており、各ステムピ ンの先端部が各ダイノードの周縁部に固着されることで、複数のダイノードが相互に 平行に多段に支持されている (例えば特許文献 2参照）。
[0003] ここで、特許文献 2に記載の電子増倍管では、多段に支持される複数のダイノード の相互間隔を均一に保っため、各ダイノードの対向面間に微細な絶縁ボールが介 設されている。この絶縁ボールは、各ダイノードの対向面に形成されたテーパ穴状の 凹部に嵌め込まれて脱落が防止されている。
特許文献 1 :特開 2000—3693号公報（図 1)
特許文献 2：特開平 8-7825号公報 (図 1)
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] ところで、特許文献 1または特許文献 2に記載された従来例の電子増倍管では、ダ ィノード部に強レ、振動や衝撃が加わった場合、ステムピンが橈んで各ダイノードが相 互に横ずれを起こす懸念がある。このため、使用環境によっては耐振性能が不足す る場合がある。
[0005] そこで、本発明は、耐振性能に優れたダイノード部を備える電子増倍管を提供する ことを課題とする。
課題を解決するための手段 [0006] 本発明に係る電子増倍管は、複数のダイノードが相互に絶縁された積層状態で多 段に配置されるダイノード部を真空容器内に備える電子増倍管であって、各ダイノー ドを相互に絶縁するための複数の絶縁板と、各ダイノードおよび各絶縁板を嵌合また は係合させるように真空容器を構成するステム板に立設された支柱とを備え、各ダイ ノードおよび各絶縁板が支柱に嵌合または係合された状態で交互に積み重ねられ、 支柱の先端部に係止部材が固定されて各ダイノードおよび各絶縁スぺーサが支柱 に一体的に支持されていることを特徴とする。
[0007] 本発明に係る電子増倍管では、真空容器を構成するステム板に立設された支柱に 対してダイノード部の各ダイノードおよび各絶縁板が嵌合または係合され、この状態 で各ダイノードおよび各絶縁板が支柱により一体的に堅固に支持されているため、各 ダイノードおよび各絶縁板が加速度や衝撃により不用意に横ずれを起こすことがなく 、ダイノード部は優れた耐振性能を発揮する。
発明の効果
[0008] 本発明に係る電子増倍管によれば、真空容器を構成するステム板に立設された支 柱に対してダイノード部の各ダイノードおよび各絶縁板が嵌合または係合され、この 状態で各ダイノードおよび各絶縁板が支柱により一体的に堅固に支持されているた め、各ダイノードおよび各絶縁板が振動や衝撃により不用意に横ずれを起こすことが なぐダイノード部は優れた耐振性能を発揮することができる。
図面の簡単な説明
[0009] [図 1]本発明の一実施形態に係る電子増倍管の内部構造を示す縦断端面図である。
[図 2]図 2は図 1に示したダイノード部の主要構成部材の斜視図である。
符号の説明
[0010] 1…側管、 2…受光面板、 3…ステム板、 4…フォーカス電極、 5…ダイノード部、 5A …ベネシアンブラインドダイノード、 5A1…装着孔、 5B…メタルチャンネルダイノード 、 5B1…装着孔、 6…アノード、 6A…装着孔、 7…シールリング、 8…排気管、 9…支 柱、 10…絶縁カラー、 11…絶縁スぺーサ（絶縁板）、 12…絶縁リング、 13…絶縁リン グ、 14…ナット。 発明を実施するための最良の形態
[0011] 以下、図面を参照して本発明に係る電子増倍管の実施の形態を説明する。参照す る図面において、図 1は一実施形態に係る電子増倍管の内部構造を示す縦断端面 図、図 2は図 1に示したダイノード部の主要構成部材の斜視図である。
[0012] 図 1に示すように、一実施形態に係る電子増倍管は、例えば円筒状の側管 1の一 端の開口部に受光面板 2が気密に固定され、他端の開口部にステム板 3が気密に固 定された構造の真空容器内にフォーカス電極 4、ダイノード部 5、アノード 6などが収 容されたヘッドオン型の PMT (光電子増倍管）として構成されてレ、る。
[0013] 側管 1は、両端部にフランジが形成されたコバール金属管で構成されており、一端 のフランジには受光面板 2の周縁部が熱融着され、他端のフランジにはステム板 3の フランジが溶接にて接合されてレ、る。
[0014] 受光面板 2は、例えば厚さが 0. 7mm程度の円形のコバールガラスで構成されてお り、光入射窓に対面する部分の内面には光電面（図示省略）が形成されている。
[0015] なお、受光面板 2の材質は、必要とする光の透過特性に応じて合成石英、 UVガラ ス、硼珪酸ガラスなどに適宜変更することができる。
[0016] ステム板 3は、コバール金属製であり、内部に硼硅酸ガラスからなる絶縁シール材 3 Aが充填される皿状に形成されている。このステム板 3には、図示しない複数のステム ピンが気密に貫通してダイノード部 5の各ダイノードに接続されている。このステム板 3 の中心部には、真空容器内を真空引きするための排気管 8が気密に嵌合して固定さ れており、その外端部は閉塞されている。
[0017] ここで、ステム板 3には、フォーカス電極 4、ダイノード部 5の各段のダイノードおよび アノード 6を堅固に支持するための支柱 9が例えば 4本立設されている。各支柱 9は、 基端部がステム板 3を貫通した状態で絶縁シール材 3Aに気密に坦設されてレ、る。そ して、各支柱 9には、それぞれ絶縁パイプ 10が嵌合されている。
[0018] フォーカス電極 4は、各支柱 9に嵌合する装着孔 4Aが形成されたフランジ部 4Bを 有する短い円筒状ほたは角筒状）に形成されており、その開口部を受光面板 2に向 けて側管 1の内側に配置されてレ、る。
[0019] ここで、ダイノード部 5は、例えば 1段目のダイノードがベネシアンブラインドダイノー ド 5Aで構成され、 2段目以降、例えば 14段目までのダイノードがメタルチャンネルダ ィノード 5Bで構成されてレ、る。
[0020] ベネシアンブラインドダイノード 5Aは、図 2に示すように、各絶縁パイプ 10 (図 1参 照）に嵌合する装着孔 5A1が 4隅に形成された基板 5A2から略 45度の角度で切り 起こされたルーバ状の複数の電極エレメント 5A3を有する。各電極エレメント 5A3は 、相互に平行に隣接して同方向に傾斜しており、全体としてブラインド状の外観を呈 する。
[0021] 各電極エレメント 5A3の受光面板 2側に向く外面には、受光面板 2の光電面から放 出されてフォーカス電極 4により収束される光電子を受け、これを増倍した 2次電子を 放出する 2次電子放出面が形成されてレ、る。
[0022] このような構造のベネシアンブラインドダイノード 5Aは、各電極エレメント 5A3の 2次 電子放出面が相互に隣接しており、全体として広い面積を確保しているため、光電 子の収集効率が高ぐ 2段目のベネシアンブラインドダイノード 5Aに対し、より多くの 2 次電子を放出することができる。
[0023] メタルチャンネルダイノード 5Bは、各絶縁パイプ 10 (図 1参照）に嵌合する装着孔 5 B1が 4隅に形成された基板 5B2にスリット状に開口された複数の貫通孔 5B3を有す る。各貫通孔 5B3は、ベネシアンブラインドダイノード 5Aの各電極エレメント 5A3に 沿って相互に平行に延びている。
[0024] 各貫通孔 5B3は、 2次電子の収集側の開口幅に較べて放出側の開口幅が広くなる ように傾斜した断面形状の内壁面を有し（図 1参照）、その内壁面には、収集側から 入射された 2次電子を増倍して放出する 2次電子放出面が形成されている。
[0025] ここで、図 1に示すように、ダイノード部 5の 1段目のベネシアンブラインドダイノード 5 Aおよび 2 14段目のメタルチャンネルダイノード 5Bは、相互に絶縁された積層状 態でアノード 6および最終段のダイノード 5Cと共に多段に支持される。
[0026] そのための構造として、アノード 6および最終段のダイノード 5Cの 4隅には、図 2に 示すように、各絶縁パイプ 10 (図 1参照）に嵌合する装着孔 6Aおよび装着孔 5C1が それぞれ形成されている。また、図 1に示すように、各絶縁パイプ 10に嵌合される複 数のヮッシャ状の絶縁スぺーサ（絶縁板） 11および複数の絶縁リング 12， 13が設け られると共に、各支柱 9の先端部に形成されたォネジ部 9Aに螺合される複数のナット 14が設けられている。
[0027] そして、各絶縁パイプ 10に対し、絶縁リング 12、最終段のダイノード 5Cの装着孔 5 Cl、絶縁スぺーサ 11、アノード 6の装着孔 6A、絶縁スぺーサ（絶縁板） 11がこれら の順序で嵌合され、続レ、てメタルチャンネルダイノード 5Bの装着孔 5B1および絶縁 スぺーサ（絶縁板） 11が交互に各絶縁パイプ 10に嵌合され、さらにベネシアンブライ ンドダイノード 5Aの装着孔 5A1および絶縁リング 13が各絶縁パイプ 10に嵌合される ことにより、 1段目のベネシアンブラインドダイノード 5Aおよび 2— 14段目のメタルチ ヤンネルダイノード 5Bが相互に絶縁された積層状態でアノード 6および最終段のダイ ノード 5Cと共に多段に配置されてレ、る。
[0028] ここで、各支柱 9の先端部にはフォーカス電極 4のフランジ部 4Bに形成された各装 着孔 4Aが嵌合されており、各支柱 9の先端部のォネジ部 9Aに係止部材として螺合 された各ナット 14がフォーカス電極 4のフランジ部 4Bを介して絶縁リング 13を押圧す ることにより、フォーカス電極 4、 1段目のベネシアンブラインドダイノード 5A、 2— 14 段目のメタルチャンネルダイノード 5B、アノード 6および最終段のダイノード 5Cが各 絶縁スぺーサ（絶縁板） 11と共に各支柱 9に一体的に堅固に支持されている。
[0029] 以上のように構成された一実施形態の電子増倍管では、被測定光が受光面板 2に 照射されると、その裏面の光電面が光電子を放出し、放出された光電子がフォーカス 電極 4の作用により 1段目のベネシアンブラインドダイノード 5Aに収束される。
[0030] ここで、 1段目のベネシアンブラインドダイノード 5Aは、各電極エレメント 5A3の 2次 電子放出面が相互に隣接しており、全体として広い面積を確保しているため、フォー カス電極 4により収束された光電子を効率良く収集して増倍し、増倍した 2次電子を 2 段目のメタルチャンネルダイノード 5Bに向けて放出する。
[0031] 2— 14段目のメタルチャンネルダイノード 5Bは、 1段目のベネシアンブラインドダイ ノード 5Aが効率良く収集して増倍した 2次電子を効率良く順次増倍する。
[0032] そして、 2 14段目のメタルチャンネルダイノード 5Bにより増倍された 2次電子は、 アノード 6により電気信号として効率良く検出される。
[0033] また、一実施形態の電子増倍管は、ダイノード部 5の 2— 14段目までのダイノードが 積層状態を薄くできるメタルチャンネルダイノード 5Bで構成されてレ、るため、ダイノー ド部 5の積層方向の全長を短くコンパクトに構成することができる。
[0034] ここで、一実施形態の電子増倍管では、真空容器を構成するステム板 3に立設され た複数の支柱 9にそれぞれ絶縁パイプ 10が嵌合され、各絶縁パイプ 10に対し、ダイ ノード部 5を構成するベネシアンブラインドダイノード 5Aの各装着孔 5A1、各メタルチ ヤンネルダイノード 5Bの各装着孔 5B1および各絶縁スぺーサ（絶縁板） 11が嵌合さ れている。そして、この状態でベネシアンブラインドダイノード 5A、各メタルチャンネ ルダイノード 5Bおよび各絶縁スぺーサ（絶縁板） 11が支柱 9に対し一体的に堅固に 支持されている。
[0035] 従って、一実施形態の電子増倍管によれば、ダイノード部 5のベネシアンブラインド ダイノード 5A、各メタルチャンネルダイノード 5Bおよび各絶縁スぺーサ（絶縁板） 11 が振動や衝撃により不用意に横ずれを起こすことがなぐダイノード部 5は優れた耐 振性能を発揮する。
[0036] ちなみに、従来例の電子増倍管では耐振性能が 1000m/s2であった力 一実施 形態の電子増倍管では、耐振性能が従来例の 3倍の 3000m/s2に上昇した。
[0037] 本発明に係る電子増倍管は、一実施形態に限定されるものではない。例えばダイノ ード部 5は、全段のダイノードがメタルチャンネルダイノードで構成されていてもよいし
、ベネシアンブラインドダイノードで構成されてレ、てもよレ、。
[0038] また、絶縁スぺーサ（絶縁板） 11は、ヮッシャ状に限らず、 4隅に装着孔が形成され た角型リング状に形成されていてもよい。
[0039] さらに、各支柱 9の先端部に螺合されるナット 14に代えて各支柱 9の先端部に適宜 の係止部材が接着または溶着されてレ、てもよレ、。
[0040] また、本発明の電子増倍管は、光電面を有しない電子増倍管としてもよい。
産業上の利用可能性
[0041] 本発明によれば、真空容器を構成するステム板に立設された支柱に対してダイノー ド部の各ダイノードおよび各絶縁板が嵌合または係合され、この状態で各ダイノード および各絶縁板が支柱により一体的に堅固に支持されているため、各ダイノードおよ び各絶縁板が振動や衝撃により不用意に横ずれを起こすことがなぐダイノード部は 優れた耐振性能を発揮する電子増倍管を提供することができる。

Claims

請求の範囲
複数のダイノードが相互に絶縁された積層状態で多段に配置されるダイノード部を真 空容器内に備える電子増倍管であって、
前記各ダイノードを相互に絶縁するための複数の絶縁板と、
前記各ダイノードおよび各絶縁板を嵌合または係合させるように前記真空容器を構 成するステム板に立設された支柱とを備え、
前記各ダイノードおよび各絶縁板が前記支柱に嵌合または係合された状態で交互 に積み重ねられ、前記支柱の先端部に係止部材が固定されて各ダイノードおよび各 絶縁スぺーサが前記支柱に一体的に支持されていることを特徴とする電子増倍管。
PCT/JP2004/008442 2003-06-17 2004-06-16 電子増倍管 WO2004112081A1 (ja)

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