JPS6378448A - 光電子増倍管 - Google Patents
光電子増倍管Info
- Publication number
- JPS6378448A JPS6378448A JP22084986A JP22084986A JPS6378448A JP S6378448 A JPS6378448 A JP S6378448A JP 22084986 A JP22084986 A JP 22084986A JP 22084986 A JP22084986 A JP 22084986A JP S6378448 A JPS6378448 A JP S6378448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dynode
- annular
- glass tube
- photomultiplier tube
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の４既要〕
本発明は、光電子増倍管に関し、環状の真空ガラス管の
内周内面に複数の光電子面を設け、この光電子面に続い
て渦巻状に配されたダイノード列の最終段に対向し、且
つ環状のガラス管の外周の内面に複数のコレクタ電極を
設けて、光電子増倍管を小型化したものである。
内周内面に複数の光電子面を設け、この光電子面に続い
て渦巻状に配されたダイノード列の最終段に対向し、且
つ環状のガラス管の外周の内面に複数のコレクタ電極を
設けて、光電子増倍管を小型化したものである。
本発明は光電子増倍管に係り、特に環状の真空ガラス管
内に複数の光電子面（陰極）と複数のダイノード列及び
複数のコレクタ電極（陽極）を設けた光電子増倍管に関
する。
内に複数の光電子面（陰極）と複数のダイノード列及び
複数のコレクタ電極（陽極）を設けた光電子増倍管に関
する。
従来の光電子増倍管としては、光を光電面に入射させ、
この光電面より放出した光電子を集束電極で集束させて
ダイノード列に次々と入射させ二次電子を放出するたび
に増倍させる様にしたもので、種々のものが提案されて
いるが、ヘッドオン型と呼ばれ、円筒状のガラス管の頭
部から光を入射させるものが一般的である。
この光電面より放出した光電子を集束電極で集束させて
ダイノード列に次々と入射させ二次電子を放出するたび
に増倍させる様にしたもので、種々のものが提案されて
いるが、ヘッドオン型と呼ばれ、円筒状のガラス管の頭
部から光を入射させるものが一般的である。
最近では電子ビーム装置などでは二次電子を検出する手
段として二次電子を光変換するシンチレータと光電子増
倍管が用いられる。
段として二次電子を光変換するシンチレータと光電子増
倍管が用いられる。
特に、電子ビーム装置で試料の線幅測長や、電子ビーム
（ＥＢ）テスタ等の応用分野では第９図や第１０図に示
す様な複数の検出手段を設ける方法が多用されている。
（ＥＢ）テスタ等の応用分野では第９図や第１０図に示
す様な複数の検出手段を設ける方法が多用されている。
第９図は従来の電子ビーム装置の二次電子検出装置の模
式的側面図、第１０図はその平面図であり、第９図及び
第１０図に於いて、電子ビーム装置１のチャンバ２内に
は電子銃３、走査偏向器５、対物レンズ偏向器６等を有
し、電子銃３から放出された電子ビーム４は試料７に照
射され、この試料７から放出された二次電子８は複数の
シンチレータ９ａ〜９ｄに当って光変換される、コレク
タ電極１０ａ〜１０ｄは二次電子８を加速してシンチレ
ータに当てるために所定電圧が印加されている。
式的側面図、第１０図はその平面図であり、第９図及び
第１０図に於いて、電子ビーム装置１のチャンバ２内に
は電子銃３、走査偏向器５、対物レンズ偏向器６等を有
し、電子銃３から放出された電子ビーム４は試料７に照
射され、この試料７から放出された二次電子８は複数の
シンチレータ９ａ〜９ｄに当って光変換される、コレク
タ電極１０ａ〜１０ｄは二次電子８を加速してシンチレ
ータに当てるために所定電圧が印加されている。
シンチレータ９ａ〜９ｄの後端には光パイプ１１ａ〜ｌ
ｉｄを介して二次電子を光に変換した光が二次電子増倍
管１２ａ〜１２ｄの光電面ｋに伝達されて、光電子ＬＥ
を加速してダイノードＤＮにて再び二次電子として増倍
して陽極から取り出す様にしたものである。
ｉｄを介して二次電子を光に変換した光が二次電子増倍
管１２ａ〜１２ｄの光電面ｋに伝達されて、光電子ＬＥ
を加速してダイノードＤＮにて再び二次電子として増倍
して陽極から取り出す様にしたものである。
前述の従来構成によると、第１０図に示す平面図で解る
様に試料７を中心に放射方向にかつ軸対称に、筒状のシ
ンチレータ９ａ〜９ｄ、光パイプ１１ａ〜１１ｄ、二次
電子増倍管１２ａ 〜１２ｄが複数本延設されるために
全体が大きくなるだけでな（、電源供給、信号増幅、合
成等の周辺の回路が非常に多く、大きくなる等の欠点が
あった。
様に試料７を中心に放射方向にかつ軸対称に、筒状のシ
ンチレータ９ａ〜９ｄ、光パイプ１１ａ〜１１ｄ、二次
電子増倍管１２ａ 〜１２ｄが複数本延設されるために
全体が大きくなるだけでな（、電源供給、信号増幅、合
成等の周辺の回路が非常に多く、大きくなる等の欠点が
あった。
本発明は前述の欠点に鑑みなされたものであり、その目
的とするところは筒状の二次電子増倍管でなく環状とな
し、複数の光電陰極とダイノード列を渦巻状に配置して
、試料を中心に極めてコンパクトな光電子増倍管を得よ
うとするものである。
的とするところは筒状の二次電子増倍管でなく環状とな
し、複数の光電陰極とダイノード列を渦巻状に配置して
、試料を中心に極めてコンパクトな光電子増倍管を得よ
うとするものである。
本発明の光電子増倍管１３は第１図に示す様に環状の真
空にされたガラス管１４の内周内面に複数の光電面Ｋ
ｌ−Ｋ ａからなる陰極を円周ｎ等分位置に配し、これ
に続いて複数のダイノード列１５ａ〜１５ｄを渦巻状に
配し、このダイノード列の終端に陽極となる複数のコレ
クタ電極Ｐ、〜Ｐ４を環状ガラス管の外周内面に配設し
たものである。
空にされたガラス管１４の内周内面に複数の光電面Ｋ
ｌ−Ｋ ａからなる陰極を円周ｎ等分位置に配し、これ
に続いて複数のダイノード列１５ａ〜１５ｄを渦巻状に
配し、このダイノード列の終端に陽極となる複数のコレ
クタ電極Ｐ、〜Ｐ４を環状ガラス管の外周内面に配設し
たものである。
本発明の電子増倍管は複数の陽極、ダイノード並に陰極
を環状のガラス真空管の中に封入し、且つ複数の陽極、
ダイノード並に陰極が共通接続されているために配線が
楽なだけでなく取出端子数も少く、増幅回路や電源回路
等の周辺回路を少く出来る。
を環状のガラス真空管の中に封入し、且つ複数の陽極、
ダイノード並に陰極が共通接続されているために配線が
楽なだけでなく取出端子数も少く、増幅回路や電源回路
等の周辺回路を少く出来る。
Ｃ実 施 例〕
以下、本発明の環状電子増倍管を第１図乃至第５図につ
いて詳記する。
いて詳記する。
第１図は本発明の電子増倍管の模式的平面図、第２図は
第１図のＡ−Ａ線に沿った断面図、第３図は陽極となる
コレクタ電極の斜視図、第４図はダイノードの斜視図、
第５図は陰極となる光電面の斜視図である。第１図及び
第２図でドーナツ型の環状ガラス管１４は真空状態と成
され、ガラス管内面１４ａのガラス管内壁にはこの例で
は円周４等配位置に第５図に示す様な光電面に、〜に４
が配置されている。
第１図のＡ−Ａ線に沿った断面図、第３図は陽極となる
コレクタ電極の斜視図、第４図はダイノードの斜視図、
第５図は陰極となる光電面の斜視図である。第１図及び
第２図でドーナツ型の環状ガラス管１４は真空状態と成
され、ガラス管内面１４ａのガラス管内壁にはこの例で
は円周４等配位置に第５図に示す様な光電面に、〜に４
が配置されている。
光電面に、−に４は陰極電極ＣＰと窓Ｗを有する三角形
状となされ、光電面に１〜に４と対向する面には窓Ｗが
穿たれ、陰極電極ＣＰとなる部分は所定のカソード電圧
を加えるために金属構成となされている。
状となされ、光電面に１〜に４と対向する面には窓Ｗが
穿たれ、陰極電極ＣＰとなる部分は所定のカソード電圧
を加えるために金属構成となされている。
光電面に１〜に４の陰極電極ｃｐから実施例では陰極端
子ＫＴＩ、ＫＴ２、ＫＴ３、ＫＴ４から個々に取り出し
た例を示しているが１つにまとめて１つの陰極端子から
取り出す様にしてもよい。
子ＫＴＩ、ＫＴ２、ＫＴ３、ＫＴ４から個々に取り出し
た例を示しているが１つにまとめて１つの陰極端子から
取り出す様にしてもよい。
複数の光電面Ｋ Ｉ”’ Ｋ ａと対向して複数のダイ
ノード列１５ａ−１５ｄを渦巻状に４列配置しである。
ノード列１５ａ−１５ｄを渦巻状に４列配置しである。
例えば１つのダイノード列は第１図では１０個のダイノ
ードＤＮ、−ＤＮ、、からなり、その形状は第４図に示
す様に、円筒状部材を軸方向に半分に切断し、１０個の
ダイノードの内の最初のダイノード列 Ｎ ＋ は光電
面に１〜に４の窓Ｗ、−Ｗ４から放出された光電子ＬＥ
、−ＬＥ、を受は入れる様に対向配置され、次のダイノ
ードＤＮ２は第１及び第３のダイノードＤＮ、 、ＤＮ
４と対向し、次の第３のダイノードＤＮ３は第２と第４
のダイノードＤＮ２とＤＮ４に対向配置され、この様に
次々に対向配置させ、第９番目のダイノードＤＮ。
ードＤＮ、−ＤＮ、、からなり、その形状は第４図に示
す様に、円筒状部材を軸方向に半分に切断し、１０個の
ダイノードの内の最初のダイノード列 Ｎ ＋ は光電
面に１〜に４の窓Ｗ、−Ｗ４から放出された光電子ＬＥ
、−ＬＥ、を受は入れる様に対向配置され、次のダイノ
ードＤＮ２は第１及び第３のダイノードＤＮ、 、ＤＮ
４と対向し、次の第３のダイノードＤＮ３は第２と第４
のダイノードＤＮ２とＤＮ４に対向配置され、この様に
次々に対向配置させ、第９番目のダイノードＤＮ。
は第８と第１０のダイノードＤＮ８とＤ Ｎ Ｉｏに対
向配置され、第１０番目のダイノードＤＮ、０は陽極と
なるコレクタ電極Ｐ、 と対向配置され、これらダイノ
ードの配置は略環状のガラスの内壁内（ガラス管の内周
と外周間）に内周から外周に向って１組のダイノード列
が配置され、これら１０ケのダイノード列１５ａ、１５
ｂ、１５ｃ、１５ｄは円周状に全体として渦巻状に形成
される。
向配置され、第１０番目のダイノードＤＮ、０は陽極と
なるコレクタ電極Ｐ、 と対向配置され、これらダイノ
ードの配置は略環状のガラスの内壁内（ガラス管の内周
と外周間）に内周から外周に向って１組のダイノード列
が配置され、これら１０ケのダイノード列１５ａ、１５
ｂ、１５ｃ、１５ｄは円周状に全体として渦巻状に形成
される。
陽極、即ちコレクタ電極Ｐ１〜Ｐ４は第３図の如く、略
升型の金属よりなりガラス管１４の外周１４ｂの内面に
４等分位置に配されリング１６ａはコレクタ電極ＰＩ−
Ｐ４に共通接続され環状ガラス１４の外周又は底部に配
したコレクタ端子ＰＴに導出される。各ダイノード列１
５ａ、１５ｂ、１５Ｃ，１５ｄのダイノードＤ Ｎ＋
、 Ｄ Ｎｚ 、ＤＮ３ ・・・ＤＮ、。同志は各々リ
ング１６２〜１６にで共通接続され、Ｔ、〜Ｔ、。で示
すダイノード端子に接続されている。
升型の金属よりなりガラス管１４の外周１４ｂの内面に
４等分位置に配されリング１６ａはコレクタ電極ＰＩ−
Ｐ４に共通接続され環状ガラス１４の外周又は底部に配
したコレクタ端子ＰＴに導出される。各ダイノード列１
５ａ、１５ｂ、１５Ｃ，１５ｄのダイノードＤ Ｎ＋
、 Ｄ Ｎｚ 、ＤＮ３ ・・・ＤＮ、。同志は各々リ
ング１６２〜１６にで共通接続され、Ｔ、〜Ｔ、。で示
すダイノード端子に接続されている。
上述の構成で光電面に、〜に４に入射した入射光は光電
子ＬＥとなったダイノードＤＮ、〜ＤＮ１゜で二次電子
に変換増倍され、コレクタ電極Ｐに集められ共通の陽極
の電極となるコレクタ端子ＰＴに導出され、各ダイノー
ド列のダイノード同志もリング１６３〜１６にで共通接
続されているために環状ガラス管内の配線は極めて簡単
であり、ダイノード列１５ａ〜１５ｄも環状ガラス管１
４内で渦巻状にコンパクトに納めることが可能となる。
子ＬＥとなったダイノードＤＮ、〜ＤＮ１゜で二次電子
に変換増倍され、コレクタ電極Ｐに集められ共通の陽極
の電極となるコレクタ端子ＰＴに導出され、各ダイノー
ド列のダイノード同志もリング１６３〜１６にで共通接
続されているために環状ガラス管内の配線は極めて簡単
であり、ダイノード列１５ａ〜１５ｄも環状ガラス管１
４内で渦巻状にコンパクトに納めることが可能となる。
この様な光電子増倍管を二次電子検出器に利用する場合
の一実施例を第６図乃至第８図について説明する。
の一実施例を第６図乃至第８図について説明する。
第６図は本発明の二次電子検出器の一部を断面とする平
面図、第７図は第６図のＢ−Ｂ線に沿った断面図、第７
図はシンチレータの斜視図である。
面図、第７図は第６図のＢ−Ｂ線に沿った断面図、第７
図はシンチレータの斜視図である。
前述の環状の光電子増倍管１３のガラス管内周の外壁に
沿って円筒状のシンチレータ保持枠２１を嵌着する。
沿って円筒状のシンチレータ保持枠２１を嵌着する。
このシンチレータ保持枠２１は円周４等配位置にシンチ
レータ１７ｂ−１７ｄが埋め込まれている。
レータ１７ｂ−１７ｄが埋め込まれている。
シンチレータ保持枠はテフロン等の樹脂２０で構成され
、シンチレータ１７３〜ｌ ７ ｄ ハ第８図に示す様
にシンチレータ保持枠２１の内外周半径を有する曲面を
有している。コレクタ電極は第１０図の様に４つに分か
れていすに第７図に示す様に巻枠状の金属で構成され、
シンチレータ１７ａ〜１７ｄと対向する位置にアパチャ
１９ａ〜１９ｄが穿たれていて、試料７に電子ビーム装
置から照射された電子ビームにより生ずる二次電子８を
コレクタ電極で集束してシンチレータ１７ａ〜１７ｄに
入射させる。シンチレータ１７ａ〜１７ｄで光変換され
た光電子は光電子増倍管１３の光電面に、−に４に入射
し、ダイノードで再び二次電子に変換されてコレクタ端
子ＰＴから取り出される。
、シンチレータ１７３〜ｌ ７ ｄ ハ第８図に示す様
にシンチレータ保持枠２１の内外周半径を有する曲面を
有している。コレクタ電極は第１０図の様に４つに分か
れていすに第７図に示す様に巻枠状の金属で構成され、
シンチレータ１７ａ〜１７ｄと対向する位置にアパチャ
１９ａ〜１９ｄが穿たれていて、試料７に電子ビーム装
置から照射された電子ビームにより生ずる二次電子８を
コレクタ電極で集束してシンチレータ１７ａ〜１７ｄに
入射させる。シンチレータ１７ａ〜１７ｄで光変換され
た光電子は光電子増倍管１３の光電面に、−に４に入射
し、ダイノードで再び二次電子に変換されてコレクタ端
子ＰＴから取り出される。
上記実施例ではシンチレータ、光電面、ダイノード列、
及びコレクタ電極を４ケ用いた場合について述べたがこ
れらの数は２個以上の′４５１数個であれば何個でもよ
い。
及びコレクタ電極を４ケ用いた場合について述べたがこ
れらの数は２個以上の′４５１数個であれば何個でもよ
い。
本発明は前述の如く構成させたので、複数のシンチレー
タ、シンチレータ用コレクタ電極及び二次電子増倍管を
極めてコンパクトにまとめることが可能となり、二次電
子検出或は光電子増倍管を小さく、高感度に構成出来る
特長を有する。 ・
タ、シンチレータ用コレクタ電極及び二次電子増倍管を
極めてコンパクトにまとめることが可能となり、二次電
子検出或は光電子増倍管を小さく、高感度に構成出来る
特長を有する。 ・
第１図は本発明の電子増倍管の模式的平面図、第２図は
第１図のＡ−Ａ線に沿った断面図、第３図は本発明の電
子増倍管に用いるコレクタの１列を示す斜視図、 第４図は本発明の電子増倍管を用いるダイノードの１例
を示す斜視図、 第５図は本発明の電子増倍管に用いられる光電面（陰極
）の斜視図、 第６図は本発明の光電子増倍管を二次電子検出器に用い
た場合の平面図、 第７図は第６図のＢ−Ｂ線に沿った断面図、第８図は第
６図及び第７図の二次電子検出器に用いるシンチレータ
の１例を示す斜視図、第９図及び第１０図は従来の二次
電子検出装置の模式的側面及び平面図である。 １・・・電子ビーム装置、 ２・・・チャンバ、 ３・・・電子銃、 ４・・・電子ビーム、 ５・・・走査偏向器、 ７・・・試料、 ９ａ 〜９ｄ、 １７ａ 〜１７ｄ ・・・シンチレータ、 １０ａ〜１０ｄ、１８・・・コレクタ電極、１２ａ〜１
２ｄ・・・二次電子増倍管、１３・・・環状光電子増倍
管 １４・・・ガラス管、 １５ａ〜１５ｄ・・・ダイノード列、 １６３〜１６ｄ・・・リング、 Ｋ Ｉ”” Ｋ ａ ・・・光電面、Ｄ Ｎ １
” Ｄ Ｎ Ｉｏ・ ・ ・ダイノード、Ｐ、〜Ｐ４
・・・コレクタ電極。
第１図のＡ−Ａ線に沿った断面図、第３図は本発明の電
子増倍管に用いるコレクタの１列を示す斜視図、 第４図は本発明の電子増倍管を用いるダイノードの１例
を示す斜視図、 第５図は本発明の電子増倍管に用いられる光電面（陰極
）の斜視図、 第６図は本発明の光電子増倍管を二次電子検出器に用い
た場合の平面図、 第７図は第６図のＢ−Ｂ線に沿った断面図、第８図は第
６図及び第７図の二次電子検出器に用いるシンチレータ
の１例を示す斜視図、第９図及び第１０図は従来の二次
電子検出装置の模式的側面及び平面図である。 １・・・電子ビーム装置、 ２・・・チャンバ、 ３・・・電子銃、 ４・・・電子ビーム、 ５・・・走査偏向器、 ７・・・試料、 ９ａ 〜９ｄ、 １７ａ 〜１７ｄ ・・・シンチレータ、 １０ａ〜１０ｄ、１８・・・コレクタ電極、１２ａ〜１
２ｄ・・・二次電子増倍管、１３・・・環状光電子増倍
管 １４・・・ガラス管、 １５ａ〜１５ｄ・・・ダイノード列、 １６３〜１６ｄ・・・リング、 Ｋ Ｉ”” Ｋ ａ ・・・光電面、Ｄ Ｎ １
” Ｄ Ｎ Ｉｏ・ ・ ・ダイノード、Ｐ、〜Ｐ４
・・・コレクタ電極。
Claims (3)
- （１）環状の真空になされたガラス管（１４）と、該環
状のガラス管の内周の内面に配された複数の光電子面（
Ｋ＿１〜Ｋ＿４）と、 該複数の光電子面に続いて渦巻状に配されたダイノード
列（１５ａ〜１５ｄ）と、 該ダイノード列の最終段に対向して上記環状のガラス管
の外周の内面に配された複数のコレクタ電極（Ｐ＿１〜
Ｐ＿４）とよりなることを特徴とする光電子増倍管。 - （２）前記複数のコレクタ電極はリング状の共通電極に
接続されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の光電子増倍管。 - （３）前記複数のダイノード列の第１番目同志、第２番
目同志・・・第ｎ番目同志をリング状に共通接続してな
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光電子
増倍管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22084986A JPS6378448A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | 光電子増倍管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22084986A JPS6378448A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | 光電子増倍管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6378448A true JPS6378448A (ja) | 1988-04-08 |
Family
ID=16757503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22084986A Pending JPS6378448A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | 光電子増倍管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6378448A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997011479A1 (en) * | 1995-09-22 | 1997-03-27 | Packard Lyle E | Annular multi-section photomultiplier with cylindrical photocathode |
| US6989632B2 (en) * | 2000-12-01 | 2006-01-24 | Electron Tubes Limited | Photomultiplier |
| JP2010040384A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Hamamatsu Photonics Kk | 光電陰極およびその製造方法並びに光電子増倍管 |
-
1986
- 1986-09-20 JP JP22084986A patent/JPS6378448A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997011479A1 (en) * | 1995-09-22 | 1997-03-27 | Packard Lyle E | Annular multi-section photomultiplier with cylindrical photocathode |
| US6989632B2 (en) * | 2000-12-01 | 2006-01-24 | Electron Tubes Limited | Photomultiplier |
| JP2010040384A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Hamamatsu Photonics Kk | 光電陰極およびその製造方法並びに光電子増倍管 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4881008A (en) | Photomultiplier with plural photocathodes | |
| US8507838B2 (en) | Microstructure photomultiplier assembly | |
| JPS63276862A (ja) | 正負イオン用質量分析計 | |
| US6538399B1 (en) | Electron tube | |
| US4431943A (en) | Electron discharge device having a high speed cage | |
| US4306171A (en) | Focusing structure for photomultiplier tubes | |
| JPS6378448A (ja) | 光電子増倍管 | |
| KR102103577B1 (ko) | 광 센서 | |
| US4623785A (en) | Photomultiplier tube which is insensitive to high magnetic fields | |
| JPS5923609B2 (ja) | 二次電子増倍管 | |
| US6232715B1 (en) | Photoelectric multiplier tube of reduced length | |
| US4079282A (en) | Phototube having apertured electrode recessed in cup-shaped electrode | |
| JP3312771B2 (ja) | 電子増倍管 | |
| JP4249548B2 (ja) | 電子増倍管 | |
| US4001618A (en) | Electron discharge image tube with electrostatic field shaping electrode | |
| EP1109197B1 (en) | Photomultiplier tube with an improved dynode aperture mesh design | |
| JPS59108254A (ja) | 光電子増倍管 | |
| Persyk et al. | The quadrant photomultiplier | |
| CN113299536B (zh) | 一种倍增簇集式光电倍增管 | |
| JP3312772B2 (ja) | 光電子増倍管 | |
| JPS59167946A (ja) | 光電子増倍管 | |
| GB2106708A (en) | Focusing structure for photomultiplier tubes | |
| JP3352491B2 (ja) | 放射線検出器 | |
| CN115602520A (zh) | 一种拥有分段施压式支撑系统的大面积光电倍增管 | |
| JPH02304316A (ja) | 超高感度光計測装置 |