WO2004083879A1 - 試験装置及び設定方法 - Google Patents

Abstract

　電子デバイスを試験する試験装置であって、電子デバイスが有する端子に対して試験信号を入力又は出力する信号入出力部と、チャネル選択情報を格納するチャネル選択メモリと、設定条件とチャネル選択メモリのアドレスとを対応づけて格納する設定条件メモリと、設定条件メモリから設定条件及びチャネル選択メモリのアドレスを抽出する設定条件抽出部と、抽出したチャネル選択メモリのアドレスに基づいて、チャネル選択メモリからチャネル選択情報を抽出する選択情報抽出部と、設定条件及びチャネル選択情報を信号入出力部に供給する設定条件供給部とを備え、信号入出力部は、供給されたチャネル選択情報によって当該信号入出力部が選択されている場合に、供給された設定条件に基づいて当該信号入出力部を設定する。

Description

明 細 書 試験装置及び設定方法 技術分野

本発明は、 試験装置及び設定方法に関する。 特に本発明は、 電子デバイスを 試験する試験装置、 及び試験装置が備える信号入出力部を設定する設定方法に 関する。 また本出願は、 下記の日本特許出願に関連する。 文献の参照による組 み込みが認められる指定国については、 下記の出願に記載された内容を参照に より本出願に組み込み、 本出願の記載の一部とする。

特願 2 0 0 3— 7 4 8 9 8 出願日 平成 1 5年 3月 1 9日 背景技術

従来の試験装置では、 試験制御ュニットが試験項目に対応する設定条件をデイス ク装置から読み出し、 電子デバイスに接続されたチャネルに設定条件を転送して設 定させている。 このような試験装置では、 同一種類の電子デバイスを多数繰り返し 試験する場合であっても、 その都度ディスク装置から設定条件を読み出し、 システ ムパスを介してチャネルに設定条件を転送するので、 ディスク装置からデータの読 み出し、 及ぴデータの転送に多くの時間を要している。

そこで、 試験時間を短縮することを目的として、 試験制御ユニットからの命令を 解析してチャネルに条件を設定する命令解析ユニットを備える試験装置が提案され ている （例えば、 特開平 7— 2 1 8 6 0 2号公報参照。）。 特許文献 1に開示された 試験装置では、 試験に先立ってディスク装置の設定条件を、 システムバスを介して 命令解析ュニットが有するメモリに転送して格納しておく。 そして、 試験制御ュニ ットは、 システムバスを介して設定条件を命令解析ユニットに転送することにより、 チャネルに設定条件を転送して設定させる。

しかしながら、 特許文献 1に開示された試験装置では、 1つの命令解析ュニ ットに複数のチャネルを接続して設定する場合に、 複数のチャネルに同一の設 定条件を転送して設定させることしかできず、 複数のチャネルに異なる設定条 件を設定することができない。 また、 特許文献 1に開示された試験装置では、 試験項目に対する条件データの数を設定、 変更することができない。

そこで本発明は、 上記の課題を解決することができる試験装置を提供するこ とを目的とする。 この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合 わせにより達成される。 また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。 発明の開示

このような目的を達成するために、 本発明の第 1の形態によれば、 電子デバイス を試験する試験装置であって、 電子デバイスが有する複数の端子のそれぞれに対し て試験信号を入力又は出力する複数の信号入出力部と、 複数の信号入出力部のそれ ぞれが設定条件に基づいて設定を行うべきか否かを示すチャネル選択情報を複数格 納するチャネル選択メモリと、 信号入出力部の設定条件を格納する設定条件メモリ と、 複数の信号入出力部に設定条件を設定する設定指示を受けた場合に、 設定指示 に基づいて、 設定条件メモリに格納された設定条件、 及びチャネル選択メモリに格 納されたチャネル選択情報を抽出し、 複数の信号入出力部に供給する制御手段とを 備え、 複数の信号入出力部のそれぞれは、 制御手段から供給されたチャネル選択情 報によって当該信号入出力部が選択されている場合に、 制御手段から供給された設 定条件に基づいて当該信号入出力部を設定する。

設定条件メモリは、 信号入出力部の設定条件とチャネル選択メモリのアドレスと を対応づけて格納し、 制御手段は、 設定条件メモリから設定条件及びチャネル選択 メモリのァドレスを抽出する設定条件抽出部と、 設定条件抽出部が抽出したチヤネ ル選択メモリのァドレスに基づいて、 チャネル選択メモリからチヤネル選択情報を 抽出する選択情報抽出部と、 設定条件抽出部が抽出した設定条件、 及び選択情報抽 出部が抽出したチャネル選択情報を複数の信号入出力部に供給する設定条件供給部 とを有してもよレ、。 設定条件抽出部は、 設定条件メモリから複数の設定データを含む設定条件、 及び 複数の設定データ毎の複数のチャネル選択メモリのアドレスを抽出し、 選択情報抽 出部は、 設定条件抽出部が抽出した複数のチャネル選択メモリのァドレスに基づい て、 チャネル選択メモリから複数のチャネル選択情報を抽出し、 設定条件供給部は、 設定条件抽出部が抽出した複数の設定データ、 及び選択情報抽出部が抽出した複数 のチャネル選択情報を複数の信号入出力部に供給してもよい。

設定条件メモリは、 当該設定条件メモリのアドレスとサイズとを対応づけてさら に格納し、 設定条件抽出部は、 設定条件メモリから設定条件メモリのアドレス及ぴ サイズを抽出し、 抽出した設定条件メモリのアドレスから、 抽出したサイズで示さ れる数の設定データ及ぴチャネル選択メモリのァドレスを抽出してもよい。

チャネル選択メモリは、 設定を行うべき信号入出力部に対応づけてフラグ 「1」 が保持され、 設定を行うべきでない信号入出力部に対応づけてフラグ 「0」 が保持 されたチャネル選択情報を格納し、 設定条件供給部は、 選択情報抽出部が抽出した チャネル選択情報が保持する複数のフラグの論理和が 「o」 の場合、 設定条件抽出 部が抽出した設定条件を複数の信号入出力部に供給しなくてもよい。

複数の信号入出力部、 チャネル選択メモリ、 設定条件メモリ、 設定条件抽出部、 選択情報抽出部、 及び設定条件供給部をそれぞれ有する複数のテストモジュールと、 複数の信号入出力部に設定条件を設定する設定指示を複数のテストモジュールに提 供するテストプロセッサとをさらに備え、 複数のテストモジュールがそれぞれ有す る複数の設定条件メモリは、 同一のアドレスの領域に異なる設定条件を格納してお り、 複数の設定条件抽出部は、 テストプロセッサから提供された設定指示が含む設 定条件メモリのァドレスに基づいて、 複数の設定条件メモリのそれぞれから異なる 複数の設定条件をそれぞれ抽出し、 複数の設定条件供給部は、 複数の設定条件抽出 部がそれぞれ抽出した複数の設定条件を複数の信号入出力部にそれぞれ供給しても よい。

本発明の第 2の形態によれば、 電子デバイスが有する複数の端子のそれぞれに対 して試験信号を入力又は出力する複数の信号入出力部を備える試験装置において信 号入出力部の設定条件を設定する設定方法であって、 信号入出力部の設定条件を設 定条件メモリから抽出する段階と、 複数の信号入出力部のそれぞれが設定条件に基 づいて設定を行うべき力否かを示すチャネル選択情報をチャネル選択メモリから抽 出する段階と、 設定条件メモリから抽出した設定条件、 及びチャネル選択メモリか ら抽出したチャネル選択情報を、 複数の信号入出力部に供給する段階と、 複数の信 号入出力部のそれぞれが、 供給されたチヤネル選択情報によって当該信号入出力部 が選択されている場合に、 供給された設定条件に基づいて当該信号入出力部を設定 する段階とを備える。 .

なお上記の発明の概要は、 本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではな く、 これらの特徴群のサブコンビネーションもまた発明となりうる。 図面の簡単な説明

図 1は、 本 明の一実施形態に係る試験装置 1 0 0の構成の一例を示す図であ る。

図 2は、 設定条件メモリ 1 1 8及ぴチャネル選択メモリ 1 1 6のデータ構成の 一例を示す図である。

図 3は、 チャネル選択メモリ 1 1 6が格納する選択ビット列の一例を示す図で ある。

図 4は、 テストプロセッサ 1 0 2が発生する設定条件メモリ 1 1 8の共通条件 記録部へ書込命令のデータ構成の一例を示す図である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 発明の実施形態を通じて本発明を説明するが、 以下の実施形態は請求 の範囲に係る発明を限定するものではなく、 また実施形態の中で説明されてい る特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 図 1は、 本発明の一実施形態に係る試験装置 1 0 0の構成の一例を示す。 試験装 置 1 0 0は、 電子デバイスに試験信号を入力して電子デバイスの良否を判定するこ とにより試験する。 試験装置 1 0 0は、 複数の種類の試験を行うために、 それぞれ の試験条件に合わせて波形発生器や波形比較器の環境設定を変更する必要がある。 そこで、 本実施形態の試験装置 1 0 0は、 試験条件の設定時間を短縮することを目 的とする。

試験装置 1 0 0は、 所定の設定条件に設定する旨の設定指示を発生するテストプ 口セッサ 1 0 2と、 テストプロセッサ 1 0 2が発生した設定指示に基づいて設定条 件の設定を行う複数のテストモジュール 1 0 4とを'備える。 テストプロセッサ 1 0 2は、 同報機能を有するシステムバス 1 0 6を介して複数のテストモジュール 1 0 4に設定指示を提供する。

テストモジュール 1 0 4は、 電子デバイスが有する複数の端子のそれぞれに対し て試験信号を入力又は出力する複数の信号入出力部 1 0 8と、 複数の信号入出力部 1 0 8のそれぞれが設定条件に基づいて設定を行うべきか否かを示すチャネル選択 情報を複数格納するチャネル選択メモリ 1 1 6と、 信号入出力部 1 0 8の設定条件 とチャネル選択メモリ 1 1 6の論理ァドレスとを対応づけて格納する設定条件メモ リ 1 1 8と、 テストプロセッサ 1 0 2から供給された設定指示に基づいてチャネル 選択情報及ぴ設定条件を抽出して信号入出力部 1 0 8に供給する制御回路 1 2 0と を備える。 制御回路 1 2 0は、 本発明の制御手段の一例であり、 複数の信号入出力 部 1 0 8に設定条件を設定する設定指示を受けた場合に、 設定指示に基づいて、 設 定条件メモリ 1 1 8に格納された設定条件、 及びチャネル選択メモリ 1 1 6に格納 されたチャネル選択情報を抽出し、 内部バス 1 0 9を介して複数の信号入出力部 1 0 8に供給する。

信号 Λ出力部 1 0 8は、 電子デバイスに入力する試験信号を発生する波形発生部 1 1 0と、 入力した試験信号に対応して電子デバィスから出力された信号を期待値 と比較する波形比較器 1 1 2と、 電子デバイスに印加する D C電圧、 又は電子デバ イスが出力する D C電圧を測定する D C印加測定器 1 1 4とを備える。 また、 制御 回路 1 2 0は、 設定条件メモリ 1 1 ₈から設定条件を抽出する設定条件抽出部ェ 2 2と、 チャネル選択メモリ 1 1 6からチャネル選択情報を抽出する選択情報抽出部 1 2 4と、 設定条件抽出部 1 2 2が抽出した設定条件、 及び選択情報抽出部 1 2 4 が抽出したチャネル選択情報を複数の信号入出力部 1 0 8に供給する設定条件供給 部 1 2 6とを備える。

テストプロセッサ 1 0 2は、 複数の信号入出力部 1 0 8に設定条件を設定する設 定指示を複数のテストモジュール 1 0 4に提供する。 設定条件抽出部 1 2 2は、 設 定条件メモリ 1 1 8の論理ァドレスを含む設定指示をテストプロセッサ 1 0 2から 受ける。 設定条件抽出部 1 2 2は、 設定指示を受けた場合に、 テストプロセッサ 1 0 2から提供された設定条件メモリ 1 1 8の論理アドレスに基づいて、 設定条件メ モリ 1 1 8から設定条件及びチャネル選択メモリ 1 1 6の論理ァドレスを抽出する。 そして、 選択情報抽出部 1 2 4は、 設定条件抽出部 1 2 2が抽出したチャネル選択 メモリ 1 1 6の論理アドレスに基づいて、 チャネル選択メモリ 1 1 6からチャネル ' 選択情報を抽出する。 そして、 設定条件供給部 1 2 6は、 設定条件抽出部 1 2 2が 抽出した設定条件、 及ぴ選択情報抽出部 1 2 4が抽出したチャネル選択情報を複数 の信号入出力部 1 0 8に供給する。

複数の信号入出力部 1 0 8のそれぞれは、 設定条件供給部 1 2 6から供給された チャネル選択情報によって当該信号入出力部 1 0 8が選択されている力否かを判断 する。 そして、 複数の信号入出力部 1 0 8のそれぞれは、 当該信号入出力部 1 0 8 がチャネル選択情報によって選択されている場合に、 設定条件供給部 1 2 6から供 給された設定条件に基づいて当該信号入出力部 1 0 8を設定する。 具体的には、 印 加電圧値、 試験モード設定、 試験環境設定等を行う。 図 2は、 設定条件メモリ 1 1 8及ぴチャネル選択メモリ 1 1 6のデータ構成の一 例を示す。 設定条件メモリ 1 1 8は、 設定条件の格納位置を規定する条件グループ 指定部 （b l、 b 2、 b 3、 b 4 · · · ) と、 複数のテストモジュール 1 0 4に対 して共通の設定条件を格納する共通条件記録部 ( b 2 1、 b 2 2、 b 2 3、 b 2 4 • · · ) と、 複数のテストモジュール 1 0 4に対して異なる設定条件を格納する固 有条件記録部 （b 4 1、 b 4 2、 b 4 3、 b 4 4 · . · ) とを有する。

設定条件メモリ 1 1 8は、 条件グループ指定部に、 設定条件メモリ 1 1 8の論理 アドレスとデータサイズとを対応づけて格納する。 論理ァドレスとデータサイズと の組み合わせは、 設定条件毎に用意されている。 具体的には、 設定条件メモリ 1 1 8は、 「条件 1一論理ァドレス」 と 「条件 1—データサイズ」 とを対で、 また 「条 件 2—論理アドレス」 と 「条件 2—データサイズ」 とを対で格納する。

また、 設定条件メモリ 1 1 8は、 共通条件記録部に、 「実アドレス」 と 「実デ一 タ」 とを対応づけて格納する。 「実ァドレス」 は、 チャネル選択メモリ 1 1 6の論 理アドレス、 及び信号入出力部 1 0 8内の設定箇所の設定アドレスを含み、 「実デ ータ」 は、 設定条件を示す設定データである。 信号入出力部 1 0 8内の設定箇所の 設定アドレスとは、 例えば D C印加測定器の識別情報であり、 設定条件を示す設定 データとは、 例えば印加電圧値である。 複数のテストモジュール 1 0 4がそれぞれ 有する複数の設定条件メモリ 1 1 8は、 同一の論理アドレスの領域に、 共通の設定 条件を 「実アドレス」 及ぴ 「実データ」 として格納する。

また、 設定条件メモリ 1 1 8は、 固有条件記録部に、 「補正用実アドレス」 と 「 補正用実データ」 とを対応づけて格納する。 「補正用実アドレス」 は、 チャネル選 択メモリ 1 1 6の論理ァドレス、 及ぴ信号入出力部 1 0 8内の設定箇所の設定ァド レスを含み、 「補正用実データ」 は、 設定条件を示す設定データである。 複数のテ ストモジュール 1 0 4がそれぞれ有する複数の設定条件メモリ 1 1 8は、 同一の論 理ァドレスの領域に、 複数のテストモジュール 1 0 4が有する信号入出力部 1 0 8 の個々の特性等によって異なる個別の設定条件を 「補正用実アドレス」 及び 「捕正 用実データ」 として格納する。

設定条件抽出部 1 2 2は、 設定条件メモリ 1 1 8から設定条件メモリ 1 1 8の論 理アドレス及ぴデータサイズを抽出する。 例えば、 「条件 1一論理アドレス」 及ぴ 「条件 1一データサイズ J を抽出する。 そして、 設定条件抽出部 1 2 2は、 設定条 件メモリ 1 1 8から複数の設定データを含む設定条件、 及ぴ複数の設定データ毎の 複数のチャネル選択メモリ 1 1 6の論理アドレスを抽出する。 具体的には、 設定条 件抽出部 1 2 2は、 抽出した設定条件メモリ 1 1 8の論理ァドレス力 ら、 抽出した データサイズで示される数の 「実アドレス」 及び 「実データ」 を抽出する。 例えば、 「条件 1一データサイズ J 力 S 「4」 である場合、 「実アドレス （1— 1 )」、 「実デ一 タ ( 1— 1 )」、 「実アドレス ( 1一 2 )」、 及び 「実データ ( 1— 2 )」 を抽出する。 次に、 選択情報抽出部 1 2 4は、 設定条件抽出部 1 2 2が抽出した複数の実ァド レスにそれぞれ含まれる複数のチャネル選択メモリ 1 1 6の論理アドレスに基づい て、 チャネル選択メモリ 1 1 6から複数のチャネル選択情報を抽出する。 例えば、 「実ァドレス ( 1一 1 )」 が含むチャネル選択メモリ 1 1 6の論理ァドレスが 「a 1」 の場合、 チャネル選択情報である 「選択ビッ ト列 1」 を抽出し、 「実アドレス ( 1一 2 ) J が含むチャネル選択メモリ 1 1 6の論理アドレスが 「a 2」 の場合、 チャネル選択情報である 「選択ビット列 2」 を抽出する。 ·

次に、 設定条件供給部 1 2 6は、 設定条件抽出部 1 2 2が抽出した複数の設定デ ータ、 及び選択情報抽出部 1 2 4が抽出した複数のチャネル選択情報を複数の信号 入出力部 1 0 8に供給する。 例えば、 「実アドレス （1一 1 )」、 「実データ （1一 1 )」、 及ぴ 「選択ビット列 1」、 並びに 「実アドレス （1一 2 )」、 「実データ （1— 2 )」、 及び 「選択ビット列 2」 を信号入出力部 1 0 8に供給する。 複数の信号入出力 部 1 0 8は、 「選択ビット歹 1」 によって当該信号入出力部 1 0 8が選択されてい る場合に、 「実アドレス （1— 1 )」 が含む設定アドレスで指定される設定箇所を、 「実データ （1一 1 )」 に基づいて設定する。

なお、 複数の設定条件抽出部 1 2 2は、 テストプロセッサ 1 0 2から提供された 設定指示が含む設定条件メモリ 1 1 8の論理アドレスに基づいて、 複数の設定条件 メモリ 1 1 8のそれぞれから異なる複数の設定条件である 「補正用実アドレス」 及 び 「補正用実データ」 をそれぞれ抽出してもよい。 そして、 複数の設定条件供給部 1 2 6は、 複数の設定条件抽出部 1 2 2がそれぞれ抽出した複数の設定条件である 「補正用実アドレス」 及び 「補正用実データ」 を複数の信号入出力部 1 0 8にそれ ぞれ供給してもよい。 このように、 複数の設定条件メモリ 1 1 8が信号入出力部 1 0 8の特定毎に異なる設定条件を格納することができるので、 メモリの使用効率を 改善することができる 図 3は、 チャネル選択メモリ 1 1 6が格納する選択ビッ I、列の一例を示す。 チヤ ネル選択情報メモリ 1 1 6は、 複数の信号入出力部 1 0 8のそれぞれに対応づけて、 それぞれの信号入出力部 1 0 8の設定を行うべきか否かを示す情報を格納する。 具 体的には、 チャネル選択メモリ 1 1 6は、 設定を行うべき信号入出力部 1 0 8に対 応づけてフラグ Γ 1」 が保持され、 設定を行うべきでない信号入出力部 1 0 8に対 応づけてフラグ 「0」 が保持されたチヤネル選択情報を格納する。

設定条件供給部 1 2 6は、 選択情報抽出部 1 2 4が抽出したチャネル選択情報が 保持する複数のフラグの論理和を算出する。 そして、 設定条件供給部 1 2 6は、 算 出した論理和が 「1」 の場合、 設定条件及ぴチャネル選択情報を複数の信号入出力 部 1 0 8に供給する。 また、 設定条件供給部 1 2 6は、 算出した論理和が 「0」 の 場合、 設定条件及びチャネル選択情報を複数の信号入出力部 1 0 8に供給しない。 このように、 信号入出力部 1 0 8において使用されずに破棄される設定条件を設定 条件供給部 1 2 6において予め破棄することによって、 内部パス 1 0 9におけるデ ータ伝送量を低減させることができる。 図 4は、 テストプロセッサ 1 0 2が発生する設定条件メモリ 1 1 8の共通条件記 録部への書込命令のデータ構成の一例を示す。 テストプロセッサ 1 0 2は、 電子デ パイスの試験を開始する前に、 複数のテストモジュール 1 0 4の設定条件メモリ 1 1 8に対して書込命令を発生し、 ハードディスク等のディスク装置に格納された設 定条件を、 複数のテストモジュール 1 0 4がそれぞれ有する設定条件メモリ 1 1 8 の共通条件記録部に書き込む。

テストプロセッサ 1 0 2は、 図 4 ( a ) に示すような、 テストモジュール 1 0 4 の物理ァドレス及び設定条件メモリ 1 1 8の論理ァドレスがァドレス部に、 チヤネ ル選択メモリ 1 1 6の論理ァドレス及び信号入出力部 1 0 8内の設定箇所の設定ァ ドレスを含む実アドレスがデータ部に保持された書込命令を、 設定条件抽出部ェ 2 2を介して設定条件メモリ 1 1 8に供給する。 また、 テストプロセッサ 1 0 2は、 図 4 ( b ) に示すような、 テストモジュール 1 0 4の物理アドレス及ぴ設定条件メ モリ 1 1 8の論理アドレスがアドレス部に、 設定条件を示す設定データである実デ ータがデータ部に保持された書込命令を、 設定条件抽出部 1 2 2を介して設定条件 メモリ 1 1 8に供給する。 設定条件メモリ 1 1 8は、 図 4 ( a ) に示すアドレス部 において指定されたテストモジュール 1 0 4の設定条件メモリ 1 1 8の論理ァドレ スの領域に、 チャネル選択メモリ 1 1 6の論理ァドレス及ぴ信号入出力部 1 0 8内 の設定箇所の設定アドレスを含む 「実アドレス」 を保持する。 また、 設定条件メモ リ 1 1 8は、 図 4 ( b ) に示すアドレス部において指定されたテストモジュール 1 0 4の設定条件メモリ 1 1 8の論理ァドレスの領域に、 設定条件を示す設定データ である 「実データ」 を保持する。

以上のように、 複数のテス トモジュール 1 0 4がそれぞれ有する複数の設定条件 メモリ 1 1 8に設定条件を予め格納しておくことにより、 テストプロセッサ 1 0 2 が書込命令を発生する時間、 及び設定条件の書込によるシステムバス 1 0 6におけ る伝送時間のオーバ一^ ^ッドを削減できる。 そのため、 全体の試験時間を短縮する ことができる。

また、 設定条件メモリ 1 1 8から信号入出力部 1 0 8に設定条件を供給して 信号入出力部 1 0 8を設定している間、 テス トプロセッサ 1 0 2には試験結果 の解析等の他のタスクを実行することができる。 そのため、 試験における処理 の並列度が上がり、 全体の試験時間を短縮することができる。 以上発明の実施形態を説明したが、 本出願に係る発明の技術的範囲は上記の 実施形態に限定されるものではない。 上記実施形態に種々の変更を加えて、 請 求の範囲に記載の発明を実施することができる。 そのような発明が本出願に係 る発明の技術的範囲に属することもまた請求の範囲の記載から明らかである。 産業上の利用可能性 以上の説明から明らかなように、 本発明に係る試験装置によれば、 試験時間 を短縮でき、 かつチャネル毎に異なる設定条件に設定することができる。

Claims

請 求 の 範 囲

1 . 電子デバイスを試験する試験装置であって、

前記電子デバイスが有する複数の端子のそれぞれに対して試験信号を入力又は出 力する複数の信号入出力部と、

前記複数の信号入出力部のそれぞれが設定条件に基づいて設定を行うべきか否か を示すチヤネル選択情報を複数格納するチヤネル選択メモリと、

前記信号入出力部の前記設定条件を格納する設定条件メモリと、

前記複数の信号入出.力部に設定条件を設定する設定指示を受けた場合に、 前記設 定指示に基づいて、 前記設定条件メモリに格納された前記設定条件、 及び前記チヤ ネル選択メモリに格納された前記チャネル選択情報を抽出し、 前記複数の信号入出 力部に供給する制御手段と

を備え、

前記複数の信号入出力部のそれぞれは、 前記制御手段から供給された前記チヤネ ル選択情報によつて当該信号入出力部が選択されている場合に、 前記制御手段から 供給された前記設定条件に基づいて当該信号入出力部を設定することを特徴とする 試験装置。

2 . 前記設定条件メモリは、 前記信号入出力部の前記設定条件と前記チャネル選 択メモリのァドレスとを対応づけて格納し、

前記制御手段は、

前記設定条件メモリから前記設定条件及び前記チャネル選択メモリの前記ァドレ スを抽出する設定条件抽出部と、

前記設定条件抽出部が抽出した前記チャネル選択メモリの前記ァドレスに基づい て、 前記チャネル選択メモリから前記チャネル選択情報を抽出する選択情報抽出部 と、

前記設定条件抽出部が抽出した前記設定条件、 及び前記選択情報抽出部が抽出し た前記チヤネル選択情報を前記複数の信号入出力部に供給する設定条件供給部と を有することを特徴とする請求項 1に記載の試験装置。

3 . 前記設定条件抽出部は、 前記設定条件メモリから複数の設定データを含む前 記設定条件、 及び前記複数の設定データ毎の複数の前記チャネル選択メモリの前記 了ドレスを抽出し、

前記選択情報抽出部は、 前記設定条件抽出部が抽出した前記複数のチャネル選択 メモリの前記ァドレスに基づいて、 前記チャネル選択メモリから複数の前記チヤネ ル選択情報を抽出し、

前記設定条件供給部は、 前記設定条件抽出部が抽出した前記複数の設定データ、 及び前記選択情報抽出部が抽出した前記複数のチャネル選択情報を前記複数の信号 入出力部に供給することを特徴とする請求項 2に記載の試験装置。

4 . 前記設定条件メモリは、 当該設定条件メモリのアドレスとサイズとを対応づ けてさらに格納し、

前記設定条件抽出部は、 前記設定条件メモリから前記設定条件メモリの前記ァド レス及ぴ前記サイズを抽出し、 抽出した前記設定条件メモリの前記ァドレス力 ら、 抽出した前記サイズで示される数の前記設定データ及ぴ前記チャネル選択メモリの 前記アドレスを抽出することを特徴とする請求項 3に記載の試験装置。

5 . 前記チャネル選択メモリは、 設定を行うべき前記信号入出力部に対応づけて フラグ 「1」 が保持され、 設定を行うべきでない前記信号入出力部に対応づけてフ ラグ 「0」 が保持された前記チャネル選択情報を格納し、

前記設定条件供給部は、 前記選択情報抽出部が抽出した前記チャネル選択情報が 保持する複数のフラグの論理和が 「0」 の場合、 前記設定条件抽出部が抽出した前 記設定条件を前記複数の信号入出力部に供給しないことを特徴とする請求項 2に記 載の試験装置。

6 . 前記複数の信号入出力部、 前記チャネル選択メモリ、 前記設定条件メモリ、 前記設定条件抽出部、 前記選択情報抽出部、 及び前記設定条件供給部をそれぞれ有 する複数のテストモジュールと、

前記複数の信号入出力部に設定条件を設定する前記設定指示を前記複数のテスト モジュールに提供するテストプロセッサと

をさらに備え、

前記複数のテストモジュールがそれぞれ有する前記複数の前記設定条件メモリは、 同一の前記ァドレスの領域に異なる前記設定条件を格納しており、

前記複数の設定条件抽出部は、 前記テストプロセッサから提供された前記設定指 示が含む前記設定条件メモリの前記ァドレスに基づいて、 前記複数の設定条件メモ リのそれぞれから異なる複数の前記設定条件をそれぞれ抽出し、

前記複数の設定条件供給部は、 前記複数の設定条件抽出部がそれぞれ抽出し た前記複数の設定条件を前記複数の信号入出力部にそれぞれ供給することを特 徵とする請求項 2に記載の試験装置。

7 . 電子デバイスが有する複数の端子のそれぞれに対して試験信号を入力又 は出力する複数の信号入出力部を備える試験装置において前記信号入出力部の 設定条件を設定する設定方法であって、

前記信号入出力部の前記設定条件を設定条件メモリから抽出する段階と、 前記複数の信号入出力部のそれぞれが前記設定条件に基づいて設定を行うべきか 否かを示すチャネル選択情報をチャネル選択メモリから抽出する段階と、

前記設定条件メモリから抽出した前記設定条件、 及び前記チャネル選択メモリか ら抽出した前記チャネル選択情報を、 前記複数の信号入出力部に供給する段階と、 前記複数の信号入出力部のそれぞれが、 供給された前記チャネル選択情報に よって当該信号入出力部が選択されている場合に、 供給された前記設定条件に 基づいて当該信号入出力部を設定する段階と

を備えることを特徴とする設定方法。