WO2004079352A1

WO2004079352A1 - 透明基板端面部の検査装置およびその検査方法

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Publication number: WO2004079352A1
Application number: PCT/JP2004/002668
Authority: WO
Inventors: Junichi Matsumoto
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co. Ltd.
Priority date: 2003-03-04
Filing date: 2004-03-03
Publication date: 2004-09-16
Also published as: US7289201B2; TWI317422B; CN1784596B; EP1617209A4; US20060221333A1; KR20050113634A; JP3967759B2; JPWO2004079352A1; EP1617209A1; TW200427980A; CN1784596A

Abstract

本発明の透明基板端面部の検査装置および透明基板端面部の検査方法は、透明基板の端面部における欠陥を、確実に、しかも、高精度で検出する。透明基板である表示パネル基板１０が回転テーブル２１に載置されると、表示パネル基板１０の端面部に対向して配置された端面照明部３９から光が間欠的に照射される。表示パネル基板１０の表面に沿って照射される光は、下部反射鏡４２によって、表示パネル基板１０の端面部に向かって反射される。その端面部およびその近傍部分は、ＣＣＤカメラ３６によって撮像され、得られる画像データの各画素の画像の濃度に基づいて、表示パネル基板１０の端面部における欠陥が検出される。

Description

明細書透明基板端面部の検査装置およびその検査方法 ' 技術分野

本発明は、所定の大きさに分断された透明ガラス基板等の透明基板の端面部における欠陥の有無等を検査する装置および方法に関する。なお、透明基板には、一対のガラス基板等を

基板も含まれる。

液晶表示装置に使用される液晶表示パネル基板は、一対のガラス基板の間に液晶が封入されて構成されている。一方のガラス基板には、配線、 T FT等が設けられており、通常 T FT基板と称されている。他方の基板には、カラ一フィルタ

(CF) が設けられており、通常 CF基板と称せられている。このような表示パネル基板は、例えば、一対のマザ一ガラス基板同士を貼り合わせた後に、表示パネル基板の大きさになるように分断されることによって形成される。 T F T基板となるマザ一ガラス基板には、表示パネル基板毎に所定の TFT、配線等が予め設けられている。

図 13は、分断された表示パネル基板の概略斜視図である。表示パネル基板 1 0を構成する TFT基板 11 (図 13において下側に配置されている）には、 T FT、配線等が設けられており、一方の側部上には、各配線にそれぞれ接続された複数の端子 11 bが設けられた端子部 11 aが形成されている。他方の CF基板 12は、液晶が封入される所定の間隔を設けた状態で、端子部 11 aが露出するように、 TFT基板 11と貼り合わせられている。

このような構成の表示パネル基板 10を製造する場合には、図 14 (a) に示すように、貼り合わせガラス基板 1 OAの TFT基板 11 Aに設けられた端子部

1 1 aの各端子 11 b同士が、 TFT基板11 Aにおける端子部 11 aの側縁に設けられたショートリンク 11 cによって、相互に電気的に接続されている。ショ一トリンク 11 cは、各端子 11 bおよび各配線に電荷が蓄積することを防止し、各配線等が静電破壊することを防いでいる。そして、マザ一 CF基板とマザ — T F T基板を貼り合わせた貼り合わせマザ一ガラス基板から複数の貼り合わせガラス基板 1 OAがそれぞれ分断された後に、図 14 (b) に示す分断ライン 1

1 dに沿って TFT基板 11 Aを分断することによって、ショートリンク 11 c による各端子部 11 b同士の連結が解除される（図 13参照）。丁丁基板11 Aが分断ライン 11 dに沿って分断されると、分断ライン 1 I dに沿った端面 1

1 eが研磨されるとともに、その端面 11 eにおける両側のエツジ部がそれぞれ面取りされる。なお、この場合、丁丁基板11における端子部 11 aに沿った端面 11 eのみならず、表示パネル基板 10の端子部が形成されていない端面において、 CF基板 12の上部エッジと T FT基板 11の下部エッジが面取りされる _D

貼り合わせガラス基板 1 OAは、相互に貼り合わせられた一対のマザ一ガラス基板をそれぞれ分断することによって形成される。図 15は貼り合わせマザ一基板から分断された貼り合わせガラス基板 1 OAの断面図である。この場合、 TF T基板 1 1 Aに設けられた端子部 11 aが露出するように、 CF基板 12 Aが分断されるために、 CF基板 12 Aの分断位置が、 T FT基板 1 1 Aの分断位置とは異なり、図 15に示すように、 CF基板 12 Aの分断位置は、 TFT基板 11 Aと CF基板 12 Aとが相互に貼り合わせるために設けられたシール材 13の近傍になる。このために、 CF基板 12 Aを分断する際には、シール材 13による引っ張り力が、分断される CF基板 12 Aの端面 12 eに加わり、分断される端面 12 eが、図 15に破線で示されるように、シール材 13に接近するにつれて順次シール材 13に接近する方向に傾斜した状態（えぐれ）になるおそれがある。また、相互に貼り合わされた一対のマザ一ガラス基板から貼り合わせガラス基板 1 OAを分断する際および貼り合わせガラス基板 1 OAからショートリンク 1 1 cを切除するために T FT基板 11Aの端子部 11 aを分断する際には、分断された表示パネル基板 10の TFT基板 11の端面あるいは CF基板 12の端面に欠けが生じるおそれがある。 TFT基板 11の端子部 11 aに隣接する端面 1 l eに、比較的大きな貝殻状の欠けが生じると、その欠けが T FT基板 11の内部に経時的に伸展することによって、端子部 11 aに設けられた端子 11 bが断線するおそれがある。

このように、相互に貼り合わされた一対のマザ一ガラス基板から分断された T FT基板 1 1の端面部または CF基板 12の端面部に欠け等の欠陥が生じた表示パネル基板 10が、次工程に搬送されて液晶表示装置とされると、製造された液晶表示装置が正常に動作せず、不良製品が発生するおそれがある。

液晶表示装置の最終製造段階で不良品が発見されると、液晶表示装置の製造に際しての歩留まりが著しく低下するという問題がある。特に、前述したように、 CF基板 12の端面 12 eが、傾斜した状態となっている場合には、その後の洗浄工程において、傾斜した端面 12 eと TFT基板 11との間に水分が浸入し、 TFT基板1 1における端子部 11 aの端子 1 1 bを腐食させるおそれがあり、製品不良となる可能性が高い。

このような問題を解決するためには、マザ一貼り合わせ基板から分断された表示パネル基板 10の T F T基板 11の端面部または C F基板 12の端面部を、次工程に搬送する前に検査して、端面傾斜、端面部の欠け等の欠陥を検出することが好ましい。しかしながら、表示パネル基板 10における端面傾斜、欠け等の欠陥部分を、効率よく正確に検出することは容易でないという問題がある。

さらには、表示パネル基板 10の TFT基板 11の端面部および CF基板 12 の端面部は、通常、 T FT基板 11および CF基板 12の間に液晶が注入された後に、各端面部のエッジ部が、それぞれ、砥石による湿式研削加工によって面取りされるが、所定量だけ確実に面取りされていることを確認することが容易でないという問題もある。

本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、透明基板の端面部における欠け等の欠陥の検出を効率よく、正確におこなうことができ、端面における面取り部分の状態の検査等を容易に行うことができる透明基板端面部の検査装置およびその検査方法を提供することにある。発明の開示

本発明の透明基板端面部の検査装置は、透明基板を支持するテーブルと、該テ —ブルに載置された透明基板の端面部に対向して配置されており、該端面部に向かって光を間欠的に照射する第 1の照明手段と、前記端面部およびその近傍部分を撮像領域とし、前記透明基板の表面に対して少なくとも 1つの方向に配置された撮像手段と、該撮像手段によって撮像される画像データの画像の濃度に基づいて前記端面部における欠陥を検出する画像処理手段とを具備することを特徴とし、これにより、上記目的が達成される。

前記透明基板に沿って照射される光を、前記端面部に向かって反射させる第 1 の反射手段をさらに具備し、前記撮像手段は、該第 1の反射手段によって反射された光が照射される前記端面部およびその近傍部分を撮像領域とするように配置されれもよい。

前記撮像手段は、前記反射手段とは前記透明基板に対して反対側に配置されてもよい。

前記テーブルは、前記透明基板を水平状態で支持するようになっており、前記第 1の反射手段が、前記透明基板の下方に設けられてもよい。

前記テーブルは、前記透明基板を水平状態で支持するようになっており、前記透明基板の上方に第 2の反射手段が設けられてもよい。

前記テ一ブルは、水平方向に移動可能でよい。前記テーブルは、テーブルの表面に対して垂直な軸周りに回転可能でよい。前記第 1の反射手段および前記撮像手段は、一体となって、前記テーブルに対して移動可能でよい。

前記第 1の反射手段は、前記第 1の照明手段に対して一体的に移動可能に設けられてもよい。

前記第 1の反射手段は、前記透明基板の端面部に対する反射方向が調整可能でよい。

前記第 2の反射手段および前記撮像手段は、一体となって、前記テーブルに対して移動可能でよい。

前記第 2の反射手段は、前記第 1の照明手段に対して一体的に移動可能に設けられてもよい。

前記第 2の反射手段は、前記透明基板の端面部に対する反射方向が調整可能でよい。

前記第 1の照明手段の消灯時間中に前記透明基板の端面部へ光を間欠的に照射させる第 2の照明手段をさらに具備してもよい。 ·

前記第 1の照明手段が、前記透明基板の端面部に平行に長く延びる線状光源でよい。

前記線状光源が L E Dアレイでよい。

前記撮像手段が C C Dカメラでよい。

前記第 1の照明手段と前記第 1の反射手段とが、前記透明基板の両側縁部の端面側にそれぞれ設けられてもよい。

前記第 1の照明手段と前記第 2の反射手段とが、前記透明基板の両側縁部の端面側にそれぞれ設けられてもよい。

前記画像処理手段は、前記撮像手段において撮像された画像データにおける各画素毎に画像の濃度を求めて、その画素の画像の濃度に基づいて、前記透明基板の端面を特定してもよい。前記画像処理手段は、特定された前記透明基板の端面部と画素の画像の濃度に基づいて欠陥を検出してもよい。

前記端面部のエツジ部が面取り加工されてもよい。

前記画像処理手段は、前記透明基板の端面部における乱反射を光の強度の高い欠陥部分として検出してもよい。

前記透明基板が、液晶が封入される所定の間隔を設けた状態で、端子部が露出するように二枚のガラス基板が貼り合わされた貼り合わせガラス基板でよい。前記画像処理手段は、端子部が露出するように貼り合わされた貼り合わせガラス基板のそれぞれの端面部の一方または両方を検査対象とするように切り換え可能でよい。

本発明の透明基板端面部の検査方法は、透明基板の端面部に第 1の照明手段により間欠的に光を照射する工程と、前記端面部およびその近傍部分を撮像手段によって撮像する工程と、該撮像手段によって撮像される画像データの画像の濃度に基づいて前記端面部における欠陥を検出する工程とを包含することを特徴とし、これにより、上記目的が達成される。

前記光の照射工程および前記撮像工程おいて前記透明基板に沿つて間欠的に照射される光が、反射手段によって前記端面部に向かって反射されてもよい。前記端面部に間欠的に光を照射させる第 1の照明手段の消灯時間中に、第 2の照明手段によつて前記端面部へ間欠的に光が照射されてもよい。

前記欠陥を検出する工程は、前記撮像手段において撮像された画像データにおける各画素毎に画像の濃度を求めて、その画像の濃度に基づいて、前記透明基板の端面を特定し、特定された前記透明基板の端面と画素の画像の濃度に基づいて欠陥を検出してもよい。

前記端面のエツジ部が面取り加工されてもよい。

前記欠陥を検出する工程は、前記透明基板の端面部における乱反射を光の強度の高い欠陥部分として検出してもよい。前記透明基板が、液晶が封入される所定の間隔を設けた状態で、端子部が露出するように二枚のガラス基板が貼り合わされた貼り合わせガラス基板でよい。前記欠陥を検出する工程は、端子部が露出するように貼り合わされた貼り合わせガラス基板のそれぞれの端面部の一方または両方を検査対象とするように切り換え可能でよい。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の透明基板端面部の検査装置の実施形態における概略構成図でめる。

図 2は、本発明の透明基板端面部の検査装置における制御系のブロック図である。

図 3は、本発明の透明基板端面部の検査装置の動作手順を示すフローチヤ一ト図 4は、本発明の透明基板端面部の検査装置の動作手順を示すフロ一チヤ一トである。

図 5は、本発明の透明基板端面部の検査装置の動作説明のための画像の一例である。

図 6 ( a ) は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の説明図である。図 6 ( b ) は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の説明図である。図 7 ( a ) は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の説明図である。図 7 ( b ) は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の説明図である。図 8は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理を説明するための画像の一例である。

図 9は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の手順を示すフローチヤー卜である。

図 1 0は、本発明の透明基板端面部の検査装置の画像処理の説明図である。図 1 1は、端面照射部の照明と落射照明が点灯、消灯される様子を説明する図である。

図 1 2は、面取り量を検査する透明基板端面部の検査装置の光学系の概略構成図である。

図 1 3は、表示パネル基板の概略構成を示す斜視図である。

図 1 4 ( a ) は、その表示パネル基板の製造手順を示す概略斜視図である。図 1 4 ( b ) は、その表示パネル基板の製造手順を示す概略斜視図である。図 1 5は、表示パネル基板の要部の断面図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施形態について説明する。

図 1は、本発明の透明基板端面部の検査装置の一例を示す概略構成図である。この透明基板端面部の検査装置 1は、例えば、図 1 3に示された表示パネル基板 1 0の T F T基板 1 1および C F基板 1 2の各端面部をそれぞれ検査するために使用される。

この透明基板端面部の検査装置 1は、基台 2 4上に所定の Y軸方向にスライド可能に設けられたスライドテーブル 2 3と、このスライドテーブル 2 3上に設けられた D Dモータ (ダイレクトドライブモータ） 2 2と、 D Dモータ 2 2によつて回転されるように設けられた回転テーブル 2 1とを有し、この回転テーブル 2 1上に、表示パネル基板 1 0が水平状態で載置されるようになっている。

回転テーブル 2 1は、載置される表示パネル基板 1 0を真空吸着によって水平状態で固定するようになっている。スライドテーブル 2 3上に設けられた D Dモ一夕 2 2は、回転軸が垂直方向になっており、この D Dモー夕.2 2によって、回転テーブル 2 1は、垂直軸周りに回転させられる。回転テーブル 2 1は、載置される表示パネル基板 1 0の周縁部が、回転テーブル 2 1の外方の周囲に突出した状態で表示パネル基板 1 0を支持するように構成されている。 D Dモー夕 2 2が設けられたスライドテーブル 2 3は、基台 2 4上に相互に平行に設けられた一対の Y軸用ガイドレール 2 5に沿ってスライド可能になっている。一対の Y軸用ガイドレール 2 5の間には、各 Y軸用ガイドレール 2 5と平行に Y軸用ポールネジ 2 6が回転可能に設けられており、この Y軸用ポールネジ 2 6には、スライドテーブル 2 3の下面に取り付けられた Y軸用ポールナツト 2 7 が螺合している。 Y軸用ポールネジ 2 6の一方の端部には、 Y軸用サーポモータ 2 8が連結されており、 Y軸用サーポモ一夕 2 8によって、 Y軸用ポールネジ 2 6は正転および逆転される。そして、 Y軸用ポールネジ 2 6の正転および逆転によって、スライドテ一ブル 2 3は、一対の Y軸用ガイドレール 2 5に沿って Y軸の両方向（図 1の紙面に垂直な前後方向）にスライドされる。

基台 2 4には、回転テーブル 2 1の上方に、 Y軸用ボ一ルネジ 2 6および各 Y 軸用ガイドレール 2 5とは直交する X軸方向に沿って水平状態になるように架設された支持台 3 1が設けられている。この支持台 3 1には、基台 2 4上に設けられた Y軸用ポールネジ 2 6および各 Y軸用ガイドレ一ル 2 5とは直交する方向に沿った一対の X軸用ガイドレール 3 2が、一直線に並ぶように設けられている。そして、各 X軸用ガイドレール 3 2に、スライドブロック 3 4が、それぞれスラィド可能に係合している。

また、支持台 3 1上には、各 X軸用ガイドレール 3 2とはそれぞれ平行に X軸用ポールネジ 3 3が、水平状態で架設されており、各 X軸用ボールネジ 3 3には、各スライドブロック 3 4に取り付けられた X軸用ポールナツト (図示せず) が、それぞれ螺合している。各 X軸用ポールネジ 3 3それぞれにおける相互に離れて位置する各端部には、光学系移動用サーポモータ 3 5が、それぞれ連結されており、各光学系移動用サ一ポモータ 3 5によって、各 X軸用ポ一ルネジ 3 3がそれぞれ正転および逆転される。従って、各 X軸用ポールネジ 3 3がそれぞれ正転および逆転されることによって、スライドブロック 3 4が、 X軸方向に沿って X軸の両方方向（図 1の左右方向）に往復移動する。各スライドブロック 3 4は、支持台 3 1の下方にまで延出しており、それぞれの下端部が、回転テーブル 2 1上に載置された表示パネル基板 1 0に近接した状態になっている。各スライドブロック 3 4には、回転テーブル 2 1上に載置された表示パネル基板 1 0を構成する T F T基板 1 1および C F基板 1 2の両側に位置する各端面部をそれぞれ撮像する C C Dカメラ 3 6が、光軸を垂直状態としてそれぞれ設けられている。

各 C C Dカメラ 3 6の撮像領域は、表示パネル基板 1 0における端子部 1 1 a の T F T基板 1 1の端面 l i eおよび C F基板 1 2の端面 1 2 eをそれぞれ撮像することができるように、光軸に対して 1 5 mm程度の範囲になっている。各 C C Dカメラ 3 6によって撮像された画像データは、画像処理装置 5 1 (図 2参照）に与えられて、所定の画像処理が実施される。

また、各 C C Dカメラ 3 6の下側には、各 C C Dカメラ 3 6によって撮像される領域に対して、表示パネル基板 1 0の両側の側縁部をそれぞれ位置合わせする際に使用される落射照明 3 7が、その光軸を各 C C Dカメラ 3 6の光軸と一致させた垂直状態で配置されている。

また、各スライドプロック 3 4には、他方のスライドブロック 3 4の遠方側において上下方向に沿つて延びる連結プロック 3 8がそれぞれ取り付けられており、各連結ブロック 3 8の下端部には、回転テーブル 2 1上に載置された表示パネル基板 1 0の両側に位置する各端面部に対して光をそれぞれ照射する端面照明部 3 9が、各端面に対向するように、それぞれ設けられている。

各端面照明部 3 9は、例えば、水平方向に沿って延びる線状光源によってそれぞれ構成されており、本実施の形態では、複数の L E Dを水平方向に並べて配置した L E Dアレイによってそれぞれ構成されている。

回転テーブル 2 1上に載置された表示パネル基板 1 0の両側の各側緣部の上方域には、各端面照明部 3 9によって照射される光を、その下方に位置する端面に向かって反射させる上部反射鏡 4 1がそれぞれ設けられている。各上部反射鏡 4 1は、例えば、 C C Dカメラ 3 6の垂直状態となった光軸に対して、 1 0〜6 0 mm程度の距離をあけて、それぞれ配置されている。

また、各端面の下方域にも、各端面照明部 3 9から照射される光を、その上方に位置する端面に向かって反射させる下部反射鏡 4 2がそれぞれ設けられている _c 各下部反射鏡 4 2は、例えば、 C C Dカメラ 3 6の垂直状態となった光軸に対して、 5〜 3 0 mm程度の距離をあけて、また、表示パネル基板 1 0の上面に対して、 5〜2 5 mm程度の間隔をあけて、それぞれ配置されている。

各上部反射鏡 4 1は、各端面照明部 3 9から照射される光を反射させて、その下方に位置する表示パネル基板 1 0の端面部に照射させる。各下部反射鏡 4 2も同様に、各端面照明部 3 9から照射される光を反射させて、その上方に位置する表示パネル基板 1 0の端面部に照射させる。各上部反射鏡 4 1は、図 1に示す傾斜状態における傾斜方向に沿った長さが、それぞれ 3 0 mmになっており、また、各下部反射鏡 4 2は、図 1に示す傾斜状態における傾斜方向に沿った長さが、それぞれ 1 0 mmになっている。

各上部反射鏡 4 1の一方の端部には、表示パネル基板 1 0の端面に沿った水平な軸回りに沿って各上部反射鏡 4 1を回動させる上部反射鏡回動モータ 4 3がそれぞれ連結されており、各上部反射鏡回動モータ 4 3によって、各上部反射鏡 4 1が、垂直方向に対して 1 0 °〜4 0 °の角度で回動され、これにより、各上部反射鏡 4 1による光の反射方向がそれぞれ微調整される。

各下部反射鏡 4 2の一方の端部にも、同様に、表示パネル基板 1 0の端面に沿つた水平な軸回りに沿って各下部反射鏡 4 2を回動させる下部反射鏡回動モータ 4 4がそれぞれ連結されており、各下部反射鏡回動モ一夕 4 4によって、各下部反射鏡 4 2が、垂直方向に対して 1 0 °〜4 0 °の角度で回動され、これにより、各下部反射鏡 4 2による光の反射方向が微調整されるようになっている。

各上部反射鏡回動モータ 4 3は、それぞれ、上部反射鏡スライド用シリンダ 4

5によって、 X軸方向に沿って水平にスライドさせられ、位置調整ができるようになっている。さらに、各上部反射鏡スライド用シリンダ 4 5は、上部反射鏡昇降用シリンダ 4 6によって、上下方向に昇降させられ、位置調整ができるようにそれぞれ構成されている。そして、各上部反射鏡昇降用シリンダ 4 6は、対応する上部反射鏡 4 1の上方に位置するスライドブロック 3 4に、それぞれ取り付けられている。従って、各上部反射鏡昇降用シリンダ 4 6によって、対応する上部反射鏡 4 1が、上部反射鏡スライド用シリンダ 4 5とともに昇降する。

各下部反射鏡回動モータ 4 4は、それぞれ、下部反射鏡スライド用シリンダ 4 7によって、 X軸方向に沿って水平にスライドさせられ、位置調整ができるようになっている。さらに、各下部反射鏡スライド用シリンダ 4 7は、下部反射鏡昇降用シリンダ 4 8によって、上下方向に昇降させられ、位置調整ができるようにそれぞれ構成されている。そして、各下部反射鏡昇降用シリンダ 4 8は、対応する表示パネル基板 1 0の端面部に光をそれぞれ照射する端面照明部 3 9がそれぞれ取り付けられた連結プロック 3 8にそれぞれ取り付けられている。従って、各下部反射鏡昇降用シリンダ 4 8によって、対応する下部反射鏡 4 2が、下部反射鏡スライド用シリンダ 4 7とともに昇降する。

図 2は、本発明の透明基板端面部の検査装置 1の制御系のプロック図である。各 C C Dカメラ 3 6によって撮像される画像データは、画像処理部 5 1に入力されるようになっており、各 C C Dカメラ 3 6によって撮像された画像デ一タが画像処理部 5 1で画像処理される。そして、画像処理部 5 1の出力が、制御部 5 2 に出力され、制御部 5 2によって、 D Dモー夕 2 2、 Y軸用サーポモー夕 2 8、各光学系移動用モー夕 3 5、各落射照明 3 7、各上部反射鏡回動モータ 4 3、各下部反射鏡回動モ一夕 4 4、各上部反射鏡スライド用シリンダ 4 5、各上部反射鏡昇降用シリンダ 4 6、各下部反射鏡スライド用シリンダ 4 7、各下部反射鏡昇降用シリンダ 4 8が、それぞれ制御される。

このような構成の透明基板端面部の検査装置 1では、表示パネル基板 1 0の両側に位置するそれぞれの端面部を同時に検査することができる。本発明の透明基板端面部の検査装置 1では、まず、検査対象である表示パネル基板 1 0が、回転テーブル 2 1上に載置される。回転テーブル 2 1上に載置表示パネル基板 1 0は、その外周縁部が、回転テーブル 2 1の周縁から突出した水平状態で、真空吸着によって回転テ一ブル 2 1上に固定される。

表示パネル基板 1 0が回転テ一ブル 2 1上に固定されると、制御部 5 2は、 Y 軸用サ一ポモータ 2 8および D Dモータ 2 2を制御して、回転テーブル 2 1の位置を調整する。回転テーブル 2 1は、固定された表示パネル基板 1 0における一対のコーナー部が、上方に配置された各 C C Dカメラ 3 6のそれぞれの撮像領域内に位置するように調整される。

このような状態になると、制御部 5 2は、各落射照明 3 7をそれぞれ点灯して、各落射照明 3 7によって、対応する各 C C Dカメラ 3 6の下方の撮像領域付近に光をそれぞれ照射する。そして、各 C C Dカメラ 3 6によって撮像された各コ一ナ一部の画像データが画像処理部 5 1に与えられて、その画像データが処理される。画像処理部 5 1による画像処理結果に基づいて、制御部 5 2は、支持台 3 1 上に設けられた各光学系移動用サ一ボモ一夕 3 5、 Y軸用サ一ボモー夕 2 8および D Dモータ 2 2を駆動し、各 C C Dカメラ 3 6の撮像領域における中心位置に、回転テーブル 2 1上に固定された表示パネル基板 1 0の一対のコーナー部がそれぞれ一致するように、回転テーブル 2 1の位置を調整する。

C C Dカメラ 3 6の撮像領域における中心位置に表示パネル基板 1 0の一対のコーナ一部がそれぞれ一致した状態になると、各スライドブロック 3 4に連結ブロック 3 8を介してそれぞれ一体的に取り付けられた各端面照明部 3 9が、回転テーブル 2 1上に固定された表示パネル基板 1 0の各端面部にそれぞれ対向した状態になる。

このような状態になると、制御部 5 2は、 Y軸用サーボモータ 2 8を駆動して、表示パネル基板 1 0を支持する回転テーブル 2 1を、 Y軸方向に沿って移動させるとともに、その移動の間に、各端面照明部 3 9が、所定の時間間隔でそれぞれ間欠的に点灯される。そして、各端面照明部 3 9が点灯される間に、各 C C D力メラ 3 6によって撮像される画像に基づいて、表示パネル基板 1 0の両側の各端面部の状態がそれぞれ検査される。

本発明の透明基板端面部の検査装置 1では、図 1 3に示すように、表示パネル基板 1 0における T F T基板 1 1の端子部 1 1 aに隣接した端面 1 1 eと、 C F 基板 1 2における端子部 1 1 aに隣接する端面 1 2 eとの両方と、端子部 1 1 a が設けられた表示パネル基板 1 0の側緣部とは反対側の側縁部における T F T基板 1 1の端面および C F基板 1 2の端面とを同時に検査することができる。

この場合、制御部 5 2は、各 C C Dカメラ 3 6によって撮像された画像デ一夕に基づいて、各スライドブロック 3 4にそれぞれ取り付けられた上部反射鏡昇降用シリンダ 4 6と、各上部反射鏡昇降用シリンダ 4 6にそれぞれ取り付けられた各上部反射鏡スライド用シリンダ 4 5を制御して、各上部反射鏡 4 1の上下方向位置おょぴ Y軸方向位置をそれぞれ調整するとともに、各上部反射鏡回動モー夕 4 3をそれぞれ Y軸方向に沿った水平な軸に沿って回動させて、反射させる光の方向を調整する。これにより、各端面照明部 3 9によって照射されて、各上部反射鏡 4 1によって反射された光が、表示パネル基板 1 0の両側の各端面部およびその近傍を含む C C Dカメラ 3 6の撮像領域にそれぞれ照射される。

さらに、制御部 5 2は、各 C C Dカメラ 3 6によつて撮像された画像データに基づいて、各スライドブロック 3 4に連結ブロック 3 8を介してそれぞれ取り付けられた各下部反射鏡昇降用シリンダ 4 8および各下部反射鏡スライド用シリンダ 4 7を駆動させて、各下部反射鏡 4 2の上下方向位置および Y軸方向位置をそれぞれ調整するとともに、各下部反射鏡回動モータ 4 4をそれぞれ Y軸方向に沿つた水平な軸に沿って回動させて、反射させる光の方向を調節する。これにより、各端面照明部 3 9によって照射されて、各下部反射鏡 4 1によって反射された光が、表示パネル基板 1 0の両側の各端面部およびその近傍を含む各 C C Dカメラ 3 6の撮像領域にそれぞれ照射される。各端面照明部 39がそれぞれ点灯されると、各端面照明部 39から照射されて、対応する各下部反射鏡 42によって反射された光は、表示パネル基板 10の各端面部にそれぞれ照射されて、各端面部で反射した光が、対応する各 CCDカメラ 36に取り込まれる。また、各上部反射鏡 41によってそれぞれ反射される光は、表示パネル基板 10の各端面部に照射されて、各端面部で反射した光が対応する各 CCDカメラ 36に撮像される。

各上部反射鏡 41および各下部反射鏡 42によって反射されて、表示パネル基板 10の各端面部で反射した光は、各端面部に欠け等の欠陥が生じていない場合には、各 C C Dカメラにて受光される光の強度は一定であるが、各端面部に欠け等の欠陥が生じている場合には、その欠陥部分で光が乱反射することになり、各 CCDカメラ 36にて受光される光の強度が高くなる。

表示パネル基板 10の端子部を検査する際、各 CCDカメラ 36の撮像領域は、表示パネル基板 10における TFT基板 11の端子部 11 aに近接した端面 11 eと、 CF基板 12における端子部 1 1 aに隣接する端面 12 eとの両方を含むようになつており、これらの端面 1 1 eおよび 12 eの両方を検出する場合と、これらの端面 11 eおよび 12 eのいずれか一方のみをそれぞれ検出する場合とによって、画像処理部 51による画像処理が切り換えられるようになつている。図 3および図 4は、画像処理部 51による画像処理の手順を示すフローチヤ一トである。なお、各 CCDカメラ 36による撮像画像の画像処理は、それぞれ同様になっているので、以下に、一方の CCDカメラ 36による画像処理について説明する。図 3および図 4に示すフローチャートでは、表示パネル基板 10における T FT基板 1 1の端子部 11 aに近接した端面と、 CF基板 12における端子部 11 aに隣接する端面との両方を検查することが予め設定されており、この場合には、 1つの CCDカメラ 36によって撮像される画像領域に、各端面に対応する 2つの画像処理領域 Aが設定される（ステップ 1) 。

図 5は、この場合の CDDカメラ 36によって撮像される画像の一例である。表示パネル基板 1 0における T F T基板 1 1の端子部 1 1 aに近接した端面 1 1 eおよび 1 2 eに、端面照明部 3 9の点灯によって、上部反射鏡 4 1および下部反射鏡 4 2による反射光がそれぞれ照射されると、各端面 1 1 eおよび 1 2 eに欠け等の欠陥が存在しない場合には、各端面 1 1 eおよび 1 2 eによるそれぞれの反射光が、一定の強度で、 C C Dカメラ 3 6によって撮像される。そして、各端面 1 1 eおよび 1 2 eを中心とした一定幅の領域が各端面 1 1 eおよび 1 2 e に沿って、画像処理領域 A 1および A 2としてそれぞれ設定される。

なお、表示パネル基板 1 0における端子部 1 1 aの両側に位置する各端面 1 1 eおよび 1 2 eの両方を検査対象とせずに、いずれか一方のみを検査対象とする場合には、画像処理領域 A 1および A 2の対応するいずれか一方が設定されることになる。以下、設定された画像処理領域を Aとする。

画像処理領域 Aが設定されると、図 6 ( a ) に示すように、この設定された画像処理領域 A内において、所定の光強度以上の光を受光した画素をそれぞれ抽出して、抽出された画素の総数を計数する（ステップ S 2 ) 。すなわち、 C C D力メラ 3 6の画像データなる画素の画像の濃度を求めて、所定の濃度以上画素を抽出して抽出された画素の総数を計数する。なお、図 6 ( a ) では、所定の光強度以上の光を受光した画素を黒く塗りつぶして示している。この所定の光強度以上の光を受光した画素の抽出は、端面照明部 3 9が間欠的に点灯する度に繰り返されることになる。

画像処理領域 A内の所定の光強度以上の光を受光した画素の総数が計数されると、所定の濃度以上になっている画素の XY座標が特定される (ステップ S 3 ) 所定の濃度以上の画素の XY座標が特定されると、特定された所定の濃度以上の画素の XY座標から、画像処理領域 A内における所定の濃度以上の Y軸方向に沿つた画素数を、 X座標毎に集計する（ステップ S 4 ) 。そして、その集計結果に基づいて、図 6 ( b ) に示すようにヒストグラムを作成する。

このようにしてヒストグラムが作成されると、図 7 ( a ) に示すように、所定の濃度以上の Y軸方向に沿った画素数が最大となる X座標を求めて、その X座標における所定の濃度以上の画素数（最大画素数 η) に対して、予め設定された割合（例えば 60%) を乗じて、閾値画素数（0. 6η) とする（ステップ S 5) _c そして、図 7 (b) に示すように、所定の濃度以上の画素数が閾値画素数よりも多い X座標を抽出する（ステップ S 6) 。図 7 (b) では、 X座標が 100、 1 01、 110の 3箇所において、所定の濃度以上の画素数が閾値画素数よりも多くなつている。 '

このようにして、所定の濃度以上の画素数が閾値画素数よりも多くなつている X座標位置が抽出されると、抽出された各 X座標位置における所定の濃度以上の画素数 n lと、隣接する X座標位置（X— 1) における画素数 n 2との差（n 1 -n 2) の絶対値を演算し（図 4のステップ S 7参照）、演算された画素数の差が大きい 2つの X座標位置を抽出する。図 7 (b) では、 X座標位置として、 1 00および 110が抽出される (ステップ S 8) 抽出された各 X座標が、検査対象の端面が位置する座標の候補とされる。そして、端面位置の候補とされた 2 つの X座標の距離が演算される。

このような処理が、所定の時間間隔で端面照明部 39が点灯される毎に、順次、実施される。そして、端面照明部 39の点灯毎に、検査対象の端面の候補とされる X座標位置と、候補とされた 2つの X座標の距離とが、順次演算されると、その演算結果を、順次得られるそれぞれの平均値（移動平均値）とそれぞれ比較される（ステップ S 9) 。

検査対象の端面の候補とされる X座標と、候補とされた 2つの X座標の距離とが、それぞれ移動平均値に対して、予め設定された範囲内になっていて、検査対象の端面の候補とされる演算された X座標が、その直前に演算された端面の候補とされる X座標と比較して、両者の差が、予め設定された所定の範囲内となっている場合には、得られた X座標を検査対象の端面の位置と判定する（ステップ 1 0) 。検査対象の端面の候補とされる X座標位置と、候補とされた 2つの X座標の距離とが、移動平均値に対して、予め設定された範囲内になっていない場合には、その端面に欠け等の欠陥が発生して、画像がその影響を受けているものとして、得られた X座標を端面位置として採用せずに、すでに得られている X座標の平均値もしくは前回め検査で求めた端面位置を採用して、欠陥の検査が実施される。このようにして、 X座標が特定されて、その特定された X座標が検查対象の端面の位置とされると、欠陥検査が実施される。この場合、まず、例えば、図 8に示すように、設定された端面に対して、欠陥検査領域が設定される。図 8では、欠陥検査領域は、表示パネル基板 1 0における T F T基板 1 1の端子部に隣接する端面 l i eと、その端子部に隣接する C F基板 1 2の端面 1 2 eとの両方を検查対象とする場合を示しており、この場合には、欠陥検査領域 D 1〜D 4は、設定された各端面の両側にそれぞれ沿って設定される。

T F T基板 1 1の端面 1 1 eの外側に設定される欠陥検査領域 D 1は、 T F T 基板 1 1の端面 1 1 eから突出する凸状の欠陥部分を検出するために設定され、 T F T基板 1 1の端面 1 1 eの内側に設定される欠陥検査領域 D 2は、 T F T基板 1 1の端面 1 1 eに対して凹状になった欠陥部分を検出するために設定される。同様に、 C F基板 1 2の端面 1 2 eの外側に設定される欠陥検査領域 D 3は、 C F基板 1 2の端面 1 2 eから突出する凸状の欠陥部分を検出するために設定され、 C F基板 1 2の端面 1 2 eの内側に設定される欠陥検査領域 D 4は、 C F基板 1 2の端面 1 2 eに対して凹状になった欠陥部分を検出するために設定される。なお、欠陥検出領域は、このように、各端面の両側にそれぞれ設定する構成に限らず、例えば、 T F T基板 1 1の端面 1 1 eに対して面取りが実施される場合のように、凹状の欠陥部分を検査する必要がなければ、 T F T基板 1 1の端面 1 1 eの内側に欠陥検出領域 D 2を設定する必要はない。さらには、各端面の両側に欠陥検査領域をそれぞれ設ける構成に限らず、各端面に対して端面が欠陥検査領域の中央に位置するように 1つの欠陥検査領域を設定するようにしてもよい。このようにして、欠陥検査領域が設定されると、各端面における欠陥の検出処理が実施される。図 9は、欠陥検出の処理手順を示すフロ一チャートである。この欠陥検出処理では、まず、所定の時間間隔で各端面照明部 3 9が点灯される毎に、設定された欠陥検査領域において、濃度が高い島状部分（ランド部）が存在するかを検査する。そして、各欠陥検査領域毎に、ランド部の総数、各ランド部の面積、各ランド部における X座標の最大値と最小値および Y座標の最大値と最小値について演算する（図 9のステップ S 3 1参照、以下同様）。

この場合、各欠陥検査領域におけるランド部の面積が、予め設定された所定の閾値面積よりも小さい場合には、そのランド部は、ランド部として認定せず、従つて、以後の処理の対象とはしない (ステップ S 3 2 ) 。

そして、各欠陥検査領域に、所定の大きさ以上のランド部が存在する場合には (ステップ S 3 3 ) 、欠陥検査領域においてランド部の存在が検出されると、端面に対するランド部の距離が演算される (ステップ S 3 4 ) 図 1 0 ( a ) 〜 ( c ) は、丁丁基板1 1における端面 1 1 eと、その端面 1 1 eの両側に設けられた欠陥検査領域 D 1および D 2において検出されるランド部 Lとの位置関係を示している。端面 1 1 eとランド部 Lとの関係は、図 1 0に示すように、ランド部における X座標の最大値および最小値と、端面 1 1 eの X座標とに基づいて演算される。

図 1 0 ( a ) および（c ) は、それぞれ、端面 1 1 eの X座標が、ランド部 L における X座標の最大値および最小値の間にある場合であり、図 1 0 ( b ) は、ランド部 Lにおける X座標の最大値および最小値の両方が、端面 1 1 eの X座標よりも大きい場合であり、それぞれの場合に、ランド部 Lにおける X座標の最大値と端面 1 1 eとの距離 L Aと、ランド部 Lにおける X座標の最小値と端面 1 1 eとの距離 L Bとが演算されて、演算された各距離 L Aおよび L Bと、端面 1 1 eの X座標とランド部 Lにおける X座標の最大値および最小値との関係から端面 1 1 eに対するランド部 Lの位置が特定される。このようにして、各ランド部と端面との位置関係が特定されると、各ランド部が検出される欠陥検査領域に基づいて、各ランド部毎に、欠陥の種類、すなわち、凹状または凸状の欠陥のいずれであるかがそれぞれ特定される。さらには、各ランド部の面積に基づいて欠陥の大きさが特定されるとともに、各ランド部と端面との距離に基づいて、凹状欠陥の深さまたは凸状欠陥の突出量が、それぞれ特定される（ステップ S 3 5 ) 。

その後、存在する欠陥の種類と、欠陥の大きさと、深さまたは突出量とに基づいて、その欠陥が許容できる範囲内であるか、すなわち、欠陥の種類に対して予め設定されている欠陥の大きさと、深さまたは突出量とが比較されて、検出された欠陥が許容できるか判定される (ステップ S 3 6 ) 。そして、存在する欠陥が許容できる範囲でなければ、検査対象である表示パネル基板 1 0が不良品と判定され（ステップ S 3 7 ) 、存在する欠陥が許容できる範囲であれば、検査対象である表示パネル基板 1 0が良品と判定される（ステップ S 3 8 ) 。

このようにして、表示パネル基板 1 0の 2辺に相当する一対の各端面部の検査が終了すると、表示パネル基板 1 0が載置され固定されている回転テーブル 2 1 が再び検査開始位置へ復帰するために移動させられるとともに、 D Dモー夕 2 1 によって垂直軸回りに 9 0 ° 回転させられ、各スライドブロック 3 4が表示パネル基板 1 0のサイズ等のデータに基づき移動し、上述した検査方法と同様の検査方法により表示パネル基板 1 0の残りの 2辺に相当する一対の各端面部の検査が実施される。

- なお、表示パネル基板 1 0の 4辺に相当する端面の検査には、上述のように本発明の透明基板端面部の検査装置を一台用いる構成に限らず、検査処理時間の短縮のために 2台の検査装置を用いる構成とすることも可能である。

また、図 1 1に示すように端面部の検査中に所定の時間間隔で点灯される端面照明部 3 9の照明の消灯時間に間欠的に落射照明 3 7を点灯させた光を、表示パネル基板 1 0の端面部に照射させ、反射した光の光強度を各 C C Dカメラ 3 6で検出し、上述した画像処理方法と同様の方法により透明基板の端面部の検査を実施することで表示パネル基板の端面部に対して照射される光の方向が増えるため、表示パネル基板の端面部に発生した欠け、エグレなど欠陥を検出する精度が向上する。

なお、表示パネル基板 1 0の端面部の検査を行う場合には、落射照明 3 7で検出しやすい欠陥と端面照明部 3 9の照明で検出しやすい欠陥が異なり、また、ガラス基板の材質などにより発生する欠陥が異なるため、落射照明 3 7と端面照明部 3 9の両方の照明を使用した検査と落射照明 3 7または端面照明部 3 9の照明のいずれかを使用した検査が選択できるようになつている。

また端面照明部 3 9の照明を表示パネル基板 1 0の端面部へ照射して得られる画像と落射照明 3 7を表示パネル基板 1 0の端面部へ照射して得られる画像とは、画像の濃淡が逆転したものとなり、両者の画像処理は若干異なるものとなる。さらには、 T F T基板 1 1の端面部および C F基板 1 2の端面部は、通常、 T F T基板 1 1および C F基板 1 2の間に液晶が注入された後に、各端面部のそれぞれのエッジ部が、例えば、砥石による湿式研削加工やレーザビームを各端面部のエツジ部に照射させることによって面取りされ、特に., 前述のショ一トリンクを取り除くとともに端子部 1 1 aのエッジ部を面取りする場合には、ショートリンクが完全に取り除かれるとともにエツジ部の強度を高めるために、所定量だけ確実に面取りされていることの確認が必要となる。

図 1 2は表示パネル基板 1 0の端面部のエツジ部が面取り加工された後に面取り量を検査する透明基板端面部の検査装置の光学系の概略構成図である。図 1から各落斜照明、各上部反射鏡及び各下部反射鏡と各上部反射鏡及び各下部反射鏡の位置や角度を調整する駆動装置が省かれ下部 C C Dカメラ 3 6 Bが追加された構成となっている。

この装置を使用した面取り量の検査では、各端面照明部 3 9 Aからの光が貼り合わせ基板 1 O Aの端面部に照射され、その端面部を上部 C C Dカメラ 3 6 Aと下部 C C Dカメラ 3 6 Bで撮影し、上述の画像処理方法と同様の方法が用いられて検査が実施され面取り量が適切かどうかを確認することができる。

このように、本発明の透明基板端面部の検査装置では、回転テーブル 2 1上に載置された検査対象である表示パネル基板 1 0の両側の各側縁部が、それぞれ、回転テーブル 2 1の側方に延出した状態になっており、各端面照明部 3 9から照射される光を、表示パネル基板 1 0の下方に設けられた下部反射鏡 4 2によって反射させて、表示パネル基板 1 0における各端面部にそれぞれ照射するようになつているために、表示パネル基板 1 0の各端面部に対して光が確実に照射される。そして、表示パネル基板 1 0の各端面部に照射された光が照射される各端面部およびその近傍部分を、表示パネル基板 1 0の上方にそれぞれ設けられた C C D カメラ 3 6によって撮像して、 C C Dカメラ 3 6によって受光される光の強度に基づいて、端面の欠陥を検出しているために、欠陥の検出を高精度で、確実に検出することができる。さらには、欠陥の種類、欠陥位置および欠陥の大きさ等も検出することができる。

例えば、端面部に光を照射して、端面部の画像パターンに基づいて欠陥を検出する方法の場合には、光が照射される表示パネル基板 1 0の各端面部の近傍に端子部 1 1 aが存在することによって、画像パターンを正確に認識することができずに、欠陥を正確に検出することができないおそれがあるが、本発明の透明基板端面部の検査装置では、このようなおそれがない。

表示パネル基板 1 0の各端面部にそれぞれ光を照射する端面照明部 3 9は、間欠的に点灯されるために、各端面部に照射される光の輝度のバラツキを抑制することができ、しかも、長期にわたって安定的に使用することができる。

また、本発明の透明基板端面部の検査装置及びその検査方法は例えば、フラットパネルディスプレイの一種である液晶表示パネル、有機 E Lパネル、無機 E L パネル、プラズマディスプレイパネル等の端面部の検査に適用され、石英基板を貼り合わせた透過型プロジェクタ一基板等の端面部の検査にも有効に適用することができる。

さらには、本発明の透明基板端面部の検査装置は、検査対象が、表示パネル基板 1 0のような貼り合わせガラス基板に限らず、 1枚のガラス基板おょぴプラスチック基板等の透明基板の端面部の検査にも適用することができる。産業上の利用可能性

本発明の透明基板端面部の検査装置およびその検査方法は、このように、簡易で安価な光学系と画像処理装置を用いて透明基板の端面部における欠陥を、確実に、しかも、高精度で検出することができ、また透明基板の端面部のエッジ部の面取り後の面取り量を正確に検出することができる。

Claims

請求の範囲

1 . 透明基板を支持するテーブルと、

該テ一ブルに載置された透明基板の端面部に対向して配置されており、該端面部に向かって光を間欠的に照射する第 1の照明手段と、

該端面部およびその近傍部分を撮像領域とし、該透明基板の表面に対して少なくとも 1つの方向に配置された撮像手段と、

該撮像手段によって撮像される画像データの画像の濃度に基づいて該端面部における欠陥を検出する画像処理手段と、

を具備することを特徴とする透明基板端面部の検査装置。

2 . 前記第 1の照明手段から照射される光を、前記端面部に向かって反射させる第 1の反射手段をさらに具備し、

前記撮像手段は、該第 1の反射手段によって反射された光が照射される該端面部およびその近傍部分を撮像領域とするように配置されることを特徴とする請求の範囲第 1項に記載の透明基板端面部の検査装置。

3 . 前記撮像手段は、前記第 1の反射手段とは前記透明基板に対して反対側に配置されることを特徴とする請求の範囲第 2項に記載の透明基板端面部の検査装

4. 前記テ一ブルは、前記透明基板を水平状態で支持するようになっており、前記第 1の反射手段および前記撮像手段が、前記透明基板の一方の面上またはこの面からわずかに離れた位置に設けられていることを特徴とする請求の範囲第 2 項または請求の範囲第 3項に記載の透明基板端面部の検査装置。

5 . 前記テーブルは、前記透明基板を水平状態で支持するようになっており、前記透明基板の他方の面上またはこの面からわずかに離れた位置に第 2の反射手段および前記撮像手段が設けられていることを特徴とする請求の範囲第 4項に記載の透明基板端面部の検査装置。

6 . 前記テーブルは、水平方向に移動可能になっていることを特徴とする請求の範囲第 1項から請求の範囲第 4項のいずれかに記載の透明基板端面部の検査装

7 . 前記テーブルは、該テ一ブルの表面に対して垂直な軸周りに回転可能になつていることを特徴とする請求の範囲第 6項に記載の透明基板端面部の検査装置。

8 . 前記第 1の反射手段および前記撮像手段は、一体となって、前記テーブルに対して移動可能になっていることを特徴とする請求の範囲第 4項に記載の透明基板端面部の検査装置。

9 . 前記第 1の反射手段は、前記第 1の照明手段に対して一体的に移動可能に設けられていることを特徴とする請求の範囲第 8項に記載の透明基板端面部の検

1 0 . 前記第 1の反射手段は、前記透明基板の端面部に対する反射方向が調整可能になっていることを特徴とする請求の範囲第 9項に記載の透明基板端面部の

1 . 前記第 2の反射手段および前記撮像手段は、一体となって、前記テープルに対して移動可能になっていることを特徴とする請求の範囲第 5項に記載の透明基板端面部の検査装置。

1 2 . 前記第 2の反射手段は、前記第 1の照明手段に対して一体的に移動可能に設けられていることを特徴とする請求の範囲第 1 1項に記載の透明基板端面部

1 3 . 前記第 2の反射手段は、前記透明基板の端面部に対する反射方向が調整可能になっていることを特徴とする請求の範囲第 1 2項に記載の透明基板端面部

1 4. 前記第 1の照明手段の消灯時間中に前記透明基板の端面部へ光を間欠的に照射させる第 2の照明手段をさらに具備することを特徴とする請求の範囲第 1 項から請求の範囲第 5項のいずれかに記載の透明基板端面部の検査装置。

1 5 . 前記第 1の照明手段が、前記透明基板の端面部に平行に長く延びる線状光源であることを特徴とする請求の範囲第 1項に記載の透明基板端面部の検査装

1 6 . 前記線状光源が L E Dアレイであることを特徴とする請求の範囲第 1 5 項に記載の透明基板端面部の検査装置。

1 7 . 前記撮像手段が C C Dカメラであることを特徴とする請求の範囲第 1項に記載の透明基板端面部の検査装置。

1 8 . 前記第 1の照明手段と前記第 1の反射手段とが、前記透明基板の両側縁部の端面側にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求の範囲第 4項に記載の透明基板端面部の検査装置。

1 9 . 前記第 1の照明手段と前記第 2の反射手段とが、前記透明基板の両側縁部の端面側にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求の範囲第 5項に記載の透明基板端面部の検査装置。

2 0 . 前記画像処理手段は、前記撮像手段において撮像された画像デ一夕における各画素毎に画像の濃度を求めて、その画素の画像の濃度に基づいて、前記透明基板の端面を特定することを特徴とする請求の範囲第 1項に記載の透明基板端面部の検査装置。

2 1 . 前記画像処理手段は、特定された前記透明基板の端面部と画素の画像の濃度に基づいて欠陥を検出することを特徴とする請求の範囲第 2 0項に記載の透明基板端面部の検査装置。

2 2 . 前記端面部のエツジ部が面取り加工されていることを特徵とする請求の範囲第 1項に記載の透明基板端面部の検査装置。

2 3 . 前記画像処理手段は、前記透明基板の端面部における乱反射を光の強度の高い欠陥部分として検出する請求の範囲第 1項に記載の透明基板端面部の検査

2 4. 前記透明基板が、液晶が封入される所定の間隔を設けた状態で、端子部が露出するように二枚のガラス基板が貼り合わされた貼り合わせガラス基板である請求の範囲第 1項に記載の透明基板端面部の検査装置。

2 5 . 前記画像処理手段は、端子部が露出するように貼り合わされた貼り合わせガラス基板のそれぞれの端面部の一方または両方を検査対象とするよう切り換え可能に構成された請求の範囲第 1項から請求の範囲第 2 4項のいずれか 1つに記載の透明基板端面部の検査装置。

2 6 . 透明基板の端面部に第 1の照明手段により間欠的に光を照射する工程と、該端面部およびその近傍部分を撮像手段によつて撮像する工程と、

該撮像手段によって撮像される画像データの画像の濃度に基づいて該端面部における欠陥を検出する工程と、

を包含することを特徴とする透明基板端面部の検査方法。

2 7 . 前記光の照射工程および前記撮像工程おいて、前記透明基板に沿って間欠的に照射される光が、反射手段によって前記端面部に向かって反射されることを特徴とする請求の範囲第 2 6項に記載の透明基板端面部の検査方法。

2 8 . 前記端面部に間欠的に光を照射させる前記第 1の照明手段の消灯時間中に、第 2の照明手段によって該端面部へ間欠的に光が照射されることを特徴とする請求の範囲第 2 6項または請求の範囲第 2 7項に記載の透明基板端面部の検査方法。

2 9 . 前記欠陥を検出する工程は、前記撮像手段において撮像された画像デ一夕における各画素毎に画像の濃度を求めて、その画像の濃度に基づいて、前記透明基板の端面を特定し、該特定された該透明基板の該端面と画素の画像の濃度に基づいて欠陥を検出することを特徴とする請求の範囲第 2 6項から請求の範囲第 2 8項のいずれかに記載の透明基板端面部の検査方法。

3 0 . 前記端面のエッジ部が面取り加工されていることを特徴とする請求の範囲第 2 6項に記載の透明基板端面部の検査方法。

3 1 . 前記欠陥を検出する工程は、前記透明基板の前記端面部における乱反射を光の強度の高い欠陥部分として検出する請求の範囲第 2 6項に記載の透明基板端面部の検査方法。

3 2 . 前記透明基板が、液晶が封入される所定の間隔を設けた状態で、端子部が露出するように二枚のガラス基板が貼り合わされた貼り合わせガラス基板である請求の範囲第 2 6項に記載の透明基板端面部の検査方法。

3 3 . 前記欠陥を検出する工程は、端子部が露出するように貼り合わされた貼り合わせガラス基板のそれぞれの端面部の一方または両方を検査対象とするように切り換え可能である請求の範囲第 2 6項から請求の範囲第 3 2項のいずれか 1 つに記載の透明基板端面部の検査方法。