WO2004040595A1

WO2004040595A1 - ソレノイド

Info

Publication number: WO2004040595A1
Application number: PCT/JP2003/013393
Authority: WO
Inventors: Masashi Okubo
Original assignee: Shinano Kenshi Kabushiki Kaisha
Priority date: 2002-10-31
Filing date: 2003-10-20
Publication date: 2004-05-13
Also published as: EP1560230A1; JP4090845B2; CN100409378C; US20060001513A1; CN1720594A; EP1560230A4; AU2003273060A1; US7091808B2; JP2004153063A

Abstract

　小型で且つ制御可能な範囲での推力を大きくすることができるソレノイドを提供する。　非磁性体により形成された軸受４０が設けられ、第１のヨーク部５４ａの対向面５２に、ｎ個（ｎは０以上の正の整数）の溝部５６と、溝部５６に隣接して磁極として機能するｎ＋１個の歯部５８とが設けられ、第２のヨーク部５４ｂの対向面５５に、ｍ個（ｍは０以上の正の整数）の溝部７０と、溝部７０に隣接して磁極として機能するｍ＋１個の歯部７２，７４とが設けられ、可動子３６の第１のヨーク部５４ａとの対向面５２に、ｎ＋１個の溝部５６と、溝部５６に隣接して磁極として機能するｎ＋１個の歯部５８，５９とが設けられ、可動子３６の第２のヨーク５４ｂとの対向面５５に、ｍ個の溝部７６と、溝部７６に隣接して磁極として機能するｍ個の歯部７８とが設けられていることを特徴とする。

Description

明細書

ソレノィド技術分野

本発明は、ァクチユエ一タとしてのソレノィドに関する。背景技術

従来から一般的に知られているソレノイドの構成を図 5および図 6に示す。ソレノイド 1 0は、励磁コイル 1 2と、励磁コイル 1 2を囲んで組付けられたヨーク 1 4と、励磁コイル 1 2の中心部分に配置された軸受 1 5と、軸受 1 5によって搢動自在に保持される可動子 1 6 (可動鉄心：プランジャ）とを具備している。（特開平 5— 2 1 1 7 4 4号公報第 1図、第 2図等参照）

ヨーク 1 4は、少なくとも上ヨーク 1 4 aと下ヨーク 1 4 bの 2つの部材から構成されており、上ヨーク 1 4 aがー方側に配置され、下ヨーク 1 4 bは可動子 1 6の他方方向 Aへの移動を規制するように、可動子 1 6の収納部 1 9の他方側端部を閉塞して設けられている。

この下ヨーク 1 4 bの中でも、可動子 1 6の他方側端部 1 6 aに対向する面 1 4 cが固定鉄心として機能する。

図 5のソレノイド 1 0において励磁コイル 1 2に通電すると、例えば破線で示すような磁路 aが形成される。なお、ここで示される磁路 aの向きはあくまで一例である。

磁路 aは、ヨーク 1 4の内部を通り、上ヨーク 1 4 aから可動子 1 6内に入り、可動子 1 6を軸線方向に沿って下ヨーク 1 4 b側へ移動し、可動子 1 6の一方側の端面 1 6 aから空気中を介して下ヨーク 1 4 bの固定鉄心部分 1 4 cへ抜ける。そして、下ヨーク 1 4 bから上ヨーク 1 4 aへ抜けて環流するように形成される。可動子 1 6は、可動子 1 6の他方側端面 1 6 aと下ヨークの固定鉄心部分 1 4 cとの間のギャップ Bによって生じる磁気力によって固定鉄心部分 1 4 cに引きつけられる。これがソレノイドとしての推力となる。

このソレノィド 1 0における推力は、ギャップ Bの距離（すなわちストロ一ク）に対して指数関数的に減少する。

従来の他のソレノィドとして図 6に示したような構造のものもある。ここで、図 5で示したソレノィドの構造と同一の構成要素については同じ符号を付し、説明を省略する。

このソレノイド 2 0でも下ヨーク 1 4 bが可動子 1 6の収納部 1 9の他方側端部を閉塞するように設けられている。この下ヨーク 1 4 bにおける固定鉄心 1 4 cは、可動子 1 6の収納部 1 9内方に突出するように設けられており、さらにこの固定鉄心 1 4 cの先端部が可動子 1 6の他方側端面 1 6 aの形状に合わせて凹設された凹部 1 7に形成されている。

また、可動子 1 6の他方側端面 1 6 aは、固定鉄心 1 4 cの先端部に形成された凹部 1 7に収納可能となるよう、他方側に向かつて徐々に小径となるような先端尖鋭状に形成されている（特開平 7— 3 3 6 9 4 3号公報第 1図参照)。このようなソレノィド 2 0における磁路も図 5に示したソレノィド 1 0における磁路と同一のルートを形成するので、ここでは図示しないが、ソレノイド 2 0 の推力は、固定鉄心 1 4 cと可動子 1 6の他方側端面 1 6 aとのギャップによつて生じる。また、ソレノイド 2 0の可動子 1 6の他方側端面 1 6 aのテーパ角度によって、推力劫変位特性が変化することが知られている。

上述したように、ソレノィドの推力は固定鉄心を可動子との間に生じているギヤップに蓄えられる磁気エネルギーの大きさで決まる。すなわち、推力は固定鉄心と可動子の距離によって決まる。

ここで、従来のソレノイドにける可動子のストローク（変位量）と発生する推力との関係を図 7に示す。ここに示されているように、従来のソレノイドにおいては、可動子が最も固定鉄心から離れた位置で推力が最小となり、可動子が固定鉄心に近づくにつれて推力が増大することとなる。

ところで、ソレノィドの実可動範囲と制御範囲とが図 7に示すような関係にある場合には、実際に制御したい制御範囲では大きな推力を得ることができない。また、推力特性も非線形であるため制御性も悪い。

このように従来のソレノィドでは、可動子の移動範囲の端面と固定鉄心間で推力を発生させているため、可動範囲が広くなるにつれ制御範囲をソレノィドの推力特性の最適範囲へ設定することができないという課題があった。

また、実可動範囲が広く、且つ制御範囲における要求推力が大きい場合には、ソレノィド自体を大型にして推力を発生せざるを得ないという課題もあった。そこで、本発明は上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、小型で且つ制御可能な範囲での推力を大きくすることができるソレノイドを提供することにある。発明の開示

すなわち、本発明にかかるソレノイドによれば、励磁コイルと、該励磁コイルの中心部分に配置される可動子と、前記励磁コイルの一方の端面側を覆い、可動子外周面と対向する対向面を有する第 1のヨーク部、前記励磁コイルの他方の端面側を覆い、可動子外周面と対向する対向面を有する第 2のヨーク部、該第 1および第 2のヨーク部を連結してコィルの外周部を覆う連結部とを有し、前記可動子との間で閉磁路を形成するヨークとを具備するソレノィドにおいて、前記第 1 のヨーク部の対向面と、前記第 2のヨーク部の対向面とによって挟み込まれるようにして前記可動子の外周に配置されて可動子を移動自在に支持し、非磁性体により形成された軸受が設けられ、前記第 1のヨーク部の対向面に、内周に沿って凹設された n個（nは 0以上の正の整数）の溝部と、該溝部に隣接して磁極として機能する n + 1個の歯部とが設けられ、前記第 2のヨーク部の対向面に、内周に沿って凹設された m個（mは 0以上の正の整数）の溝部と、該溝部に隣接して磁極として機能する m+ 1個の歯部とが設けられ、前記可動子の前記第 1のョ一ク部との対向面に、外周に沿って凹設された n + 1個の溝部と、該溝部に隣接して磁極として機能する n + 1個の歯部とが設けられ、前記可動子の前記第 2のョーク部との対向面に、外周に沿って凹設された m個の溝部と、該溝部に隣接して磁極として機能する m個の歯部とが設けられていることを特徴としている。この構成による作用は以下の通りである。

すなわち、可動子の外周面に対向する第 1のヨーク部と第 2のヨーク部を通して可動子内に磁路が形成され、従来のように可動子の端面と、該端面に対向する固定鉄心との間で推力を生じさせないので、従来よりも全体を小型ィ匕できる。また、推力の発生に、可動子の移動方向の端面と、この端面に対向する位置に固定鉄心とを設ける必要がないため、移動方向に関して可動子の動きは制限されない。これにより、可動子の実可動範囲の広さとは関係無く、制御範囲を推力特性の最適範囲に合わせるようにソレノイドが設計できる。

また、第 1のヨーク部と第 2のヨーク部の 2箇所で推力を生じさせているので、単純にストロークが徐々に 0に近づいている場合であっても従来のように推力が指数関数的に減少するのではなく、推力の安定領域を広げて制御性を良くすることができる。

またこのとき、たとえヨークに磁極としての対向面を設けたとしても、可動子側に溝部が無いと（すなわち磁極として形成される歯部が無いと）、可動子と対向面との間での磁路は、可動子の外周面に垂直な方向になるので、これでは何ら推力に寄与する磁路が得られない。なお、推力は d P / d xに比例することが知られている（Pはパーミアンス（磁気抵抗の逆数）、 Xは可動子の変位である）ので、推力を得るためには、可動子の移動に対してパーミアンスが変化するような構造を設けることが必要となる。そこで可動子に溝部を設け、可動子の移動に対してパ一ミアンスが変化するようにして推力を得るようにしたのである。

さらに、軸受を基準として第 1のヨーク部と第 2のヨーク部の組付けを行なうことにより、第 1のヨーク部の対向面および第 2のヨーク部の対向面と、可動子との間の空隙を高い精度で極めて小さくすることができる。このため、励磁コィルへ通電した電気エネルギーの磁気エネルギーへの変換効率を上げることとなり、より高い推力を得ることができる。

また、前記第 1のヨーク部および前記第 2のヨーク部に形成された対向面は、同一の内径を有することにより、上記のように、励磁コイルへ通電した電気エネルギ一の磁気エネルギーへの変換効率を上げることとなり、より高い推力を得ることができる。

また、前記溝部.および前記歯部の形状は断面視矩形または台形に形成されていることを特徵としてもよい。

なお、前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、前記可動子の可動範囲において軸受と接触しない位置に形成されていることを特徴とする。

この構成によれば、溝部の上端縁部が軸受に当接して軸受を傷つけるのを防止している。このためソレノィドの長寿命化を図ることができる。

さらに、前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、前記可動子の可動範囲において軸受と接触しないように、前記軸受には、逃げ部が形成されていることを特徴としても、溝部の上端縁部が軸受に当接して軸受を傷つけるのを防止できる。このためソレノィドの長寿命化を図ることができる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明にかかるソレノィドの第 1の実施形態を示す側面から見た断面図であり、図 2は、本発明にかかるソレノイドの第 2の実施形態を示す側面から見た断面図であり、図 3は、本発明にかかるソレノイドの第 3の実施形態を示す側面から見た断面図であり、図 4は、第 2の実施形態におけるソレノイドの推力 ¾位特性を示すグラフであり、図 5は、従来のソレノィドを示す側面から見た断面図であり、図 6は、従来のソレノイドの他の形態を示す側面から見た断面図であり、図 7は、従来のソレノイドの推力: «位特性を示すグラフである。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。 (第 1の実施形態）

本実施形態は特許請求の範囲でのパラメ一夕 n , mが、 n = 0 , m= 0の場合である。この実施形態を図 1に基づいて説明する。

ソレノイド 3 0は、励磁コイル 3 2と、ヨーク 3 4と、可動子 3 6を具備している。

励磁コイル 3 2は、ボピン 3 1にコイルが巻き付けられて筒状に形成されている。筒状の励磁コイル 3 2の中心には、可動子 3 6を収納可能な収納部 3 3が形成されている。

ヨーク 3 4は、磁性体材料から構成され、励磁コイル 3 2の周囲を覆って形成される。ヨーク 3 4は、励磁コイル 3 2の一方側に配置された上ヨーク 3 4 aと、他方側に配置された下ヨーク 3 4 bとから構成されている。

なお、特許請求の範囲で言う第 1のヨーク部が上ヨーク 3 4 a、第 2のヨーク部が下ヨーク 3 4 bに該当する。なお、特許請求の範囲の連結部は、本実施形態中の下ヨーク 3 4 bが該当し、第 2のヨーク部と一体となった構成である。可動子 3 6は、磁性体から構成された部材であって、励磁コイル 3 2の中心部分の収納部 3 3内に配置される。可動子 3 6は、励磁コイル 3 2が生じる磁気ェネルギ一によって吸引される方向に動作する。

なお、可動子 3 6の突出方向への移動はバネ（図示せず）等によって行なわれる。 '

励磁コイル 3 2の中心部分に形成される収納部 3 3の内壁には、可動子 3 6の外周面を囲むように軸受 4 0が配置されている。軸受 4 0は非磁性体によって構成されている。軸受 4 0は、軸線方向の両端部において上ヨーク 3 4 aおよび下ヨーク 3 4 bによって挟み込まれている。

なお、下ヨーク 3 4 bには、収納部 3 3の他方側の開口端部を閉塞するようにカバー 3 7が設けられている。

上ヨーク 3 4 aの収納部 3 3の内方へ突出する内壁面側が対向面 4 2である。対向面 4 2は、可動子 3 6の外周面に対向して配置され、可動子 3 6の外周面 3 6 bおよび端面 3 6 aに対して磁極となるように配置されている。

すなわち、本実施形態では、この対向面 4 2が歯部である。

対向面 4 2は、可動子 3 6の外周面 3 6 bに対して接触しない程度のわずかな隙間を空けて配置される。

下ヨーク 3 4 bの収納部 3 3の内方へ突出する内壁面側が対向面 4 4である。この対向面 4 4も、上記対向面 4 2と同様に可動子 3 6の外周面 3 6 bに対向して配置され、可動子 3 6の外周面 3 6 bおよび端面 3 6 aに対して磁極となるように配置されている。

すなわち、本実施形態では、この対向面 4 4も歯部である。

対向面 4 4は、可動子 3 6の外周面 3 6 bに対して接触しない程度のわずかな隙間を空けて配置される。なお、この隙間の幅は、対向面 4 2と可動子 3 6の外周面 3 6 bとの間に生じている隙間の幅と同一である。

そして、このように各対向面 4 2 , 4 4における隙間が同一であって且つ極めて微小な幅となるように製造できるのは、ソレノィド 3 0の製造段階において、軸受 4 0を基準に上ヨーク 3 4 aと下ヨーク 3 4 bとを組付けることによって、正確な組付けが達成できたためである。

本実施形態における可動子 3 6の外周面 3 6 bにおいて、上ヨーク 3 4 aの対向面 4 2に対向する部分には溝部 4 6が形成されている。

溝部 4 6は、対向面 4 2に対して凹む方向に凹設されており、可動子 3 6の外周に沿つて環状に形成されている。

溝部 4 6の一方側（軸受 4 0から離間する側）が、歯部 4 8として上ヨーク 3 4 aの対向面 4 2に対向する位置にあり、磁極としての機能を果たす。

また、ここに示す溝部 4 6の形成位置は、可動子 3 6の他方側の端部から対向面 4 2の幅と同じ長さだけ一方側に移動した位置に形成される。すなわち、対向する対向面 4 2の幅とほぼ同じ幅に歯部 4 8が形成される。

軸受 4 0の上ヨーク 3 4 a側の端部には、可動子 3 6の可動範囲において、溝部 4 6の軸受 4 0から離間する方向側の上端縁部 4 5 (すなわち歯部 4 8の端部）が当接しないように、他の部分よりも大径に形成された逃げ部 4 9が形成されている。

なお、可動子 3 6の可動範囲は、軸受 4 0に、溝部 4 6の軸受 4 0から離間する方向側の上端縁部 4 5 (すなわち歯部 4 8の端部）が当接しないように設定してもよい。

すなわち、図 1に示すように、可動子 3 6の可動範囲として、可動子 3 6が最もソレノィド内部に吸引された状態で上端縁部 4 5の位置が、軸受 4 0の端部の位置 Xよりも一方方向側に位置するように設けるのである。

このように構成しても軸受 4 0の破損を防止できるので、かかる構成の場合には、軸受 4 0に逃げ部 4 9を形成しなくともよい。

続いて、本実施形態のソレノィドの磁路について説明する。

ド 3 0において励磁コイル 3 2に所定の電流を通電すると、破線に示すような磁路 bが生ずる。なお、この磁路 bの磁界の方向については、一例として示している。また、図 1では上側に図示されている励磁コイル 3 2の周囲の磁路は省略して図示している。

磁路 bは、ヨーク 3 4と可動子 3 6の間を環流して閉磁路として構成される。つまり、磁路 bは、下ヨーク 3 4 bから下ヨーク 3 4 bの対向面 4 4の内周面 4 4 aから空気中を経て可動子 3 6の端面 3 6 aから可動子 3 6内に至り（矢印 D)、可動子 3 6内を軸線方向に沿って上ヨーク 3 4 aの対向面 4 2へ至る。そして、可動子 3 6の外周面 3 6 bから空気中を経て対向面 4 2の端面 4 2 aへ至り (矢印 E)、さらに上ヨーク 3 4 aから下ヨーク 3 4 bへ到達することで環流される。

また、推力に関係する磁路としては、可動子 3 6の歯部 4 8から溝部 4 6内を経て対向面 4 2の内周面 4 2 bへ至る磁路（矢印 F ) や、対向面 4 4から軸受 4 0を介して可動子 3 6の外周面 3 6 bに至る磁路（矢印 G) も形成される。このように、可動子 3 6に溝部 4 6を設けたことにより、可動子 3 6に磁極となる歯部が形成され、推力に寄与する磁路の形成を図ることができる。

言い換えると、推力は可動子の移動量に対するパ一ミアンスの変化量の大きさによって決定される（上述した式 d PZ d xに基づく）ので、可動子 3 6に溝部 4 6を設けたことによって、可動子 3 6が移動すれば、移動に伴ってパーミアンスを変化させることができ、推力を発生させることができるのである。

(第 2の実施形態）

次に、溝部および歯部の形成箇所を、上述した第 1の実施形態とは変えた第 2 の実施形態について、図 2に基づいて説明する。なお、上述した実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。

本実施形態は、特許請求の範囲でのパラメ一夕 n , mが、 n = l , m= 0の場合である。

ヨーク 5 4は、上ヨーク 5 4 aと下ヨーク 5 4 bを有している。

上ヨーク 5 4 aの収納部 3 3の内方へ突出する内壁面側の対向面 5 2には、溝部 5 6が形成される。

溝部 5 6は、可動子 3 6の外周面 3 6 bに対して凹む方向に凹設されており、対向面 5 2の内周に沿つて環状に形成されている。

そして溝部 5 6の両端部力歯部 5 8および歯部 5 9として形成される。両歯部 5 8 , 5 9は可動子 3 6の外周面 3 6 bの溝部および歯部（後述する）に対して対向する位置にあり、磁極としての機能を果たす。

上ヨーク 5 4 aの対向面 5 2は、可動子 3 6の外周面 3 6 bに対して接触しない程度のわずかな隙間を空けて配置される。

下ヨーク 5 4 bの収納部 3 3の内方へ突出する内壁面側が対向面 5 5である。この対向面 5 5も、上記対向面 5 2と同様に可動子 3 6の外周面 3 6 bに対向して配置され、可動子 3 6の外周面 3 6 bおよび端面 3 6 aに対して磁極となるように配置されている。すなわち、この対向面 5 5も歯部である。

対向面 5 5は、可動子 3 6の外周面 3 6 bに対して接触しない程度のわずかな隙間を空けて配置される。

なお、可動子 3 6の外周面 3 6 bにおいて、上ヨーク 3 4 aの対向面 4 2に対向する部分には 2個の溝部 6 0と溝部 6 2とが形成されている。

両溝部 6 0 , 6 2は、対向面 5 2に対して凹む方向に凹設されており、可動子

3 6の外周に沿って環状に形成されている。

溝部 6 2の一方側（軸受 4 0から離間する側）が、歯部 6 6として上ヨーク 5

4 aの対向面 5 2に対向する位置にあり、磁極としての機能を果たす。

さらに、溝部 6 0と溝部 6 2に挟まれた部位も、磁極としての機能を有する歯部 6 4として形成される。

すなわち、本実施形態では、上ヨーク 5 4 aに 1個の溝部 5 6と 2個の歯部 5 8， 5 9が設けられ、可動子 3 6の上ヨーク 5 4 aに対向する位置に 2個の溝部 6 0 , 6 2と 2個の歯部 6 4 , 6 6が設けられている点が特徴である。

このように第 1の実施形態よりも磁極となる歯部の数を増やしたことにより、第 1の実施形態よりもパ一ミアンスは増加するので、さらに高い推力を実現できる。

(第 3の実施形態）

次に、溝部および歯部の形成箇所を、上述した第 1および第 2の実施形態とは変えた第 3の実施形態について、図 3に基づいて説明する。なお、上述した実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。本実施形態は、特許請求の範囲でのパラメータ n , mが、 n = l， m= 1の場合である。

本実施形態は、第 2の実施形態に加え、さらに下ヨーク 5 4 bの対向面 5 5にも溝部 7 0を形成し、溝部 7 0の両端部を磁極として機能する歯部 7 2および歯部 7 4として設けている。

また、可動子 3 6の外周面 3 6 bにおいて、下ヨーク 5 4 bの対向面 5 5に対向する位置に溝部 7 6が形成されている。

溝部 7 6の他方側には、歯部 7 8が設けられている。歯部 7 8は、下ヨーク 5 4 bの対向面 5 5の歯部 7 2に対向する位置にあり、磁極としての機能を果たす。本実施形態では、第 2の実施形態よりも磁極となる歯部の数を増やしたことにより、第 2の実施形態よりもさらにパーミアンスは増加するので、さらに高い推力を実現できる。

なお、溝部および歯部の形成箇所は、上述してきた各実施形態に限定されることはなく、形成箇所や形成数を特許請求の範囲に記載したような状態を満たす範囲内で様々に変更することができる。

また、上述してきた実施形態では、各溝部および各歯部の断面形状が矩形のものを図示してきた。しかし、溝部および歯部の断面形状としてはこのようなものに限定されることはなく、台形状であってもよい。台形状とすることで矩形状の場合とは異なる推力を大きさとすることができる。

実施例

図 4に、上述した第 2の実施形態のソレノィドの可動子のストローク（変位量）と発生する推力との関係を示す。なお、本グラフには比較のため図 7で示した従来のソレノイドの推力废位特性も一緒に図示している。

これによると、本発明のソレノイドによれば、励磁コイル 3 2へ通電する電流量によって決まる制御範囲では、推力をほぼフラッ卜な特性とすることができ、且つ従来のソレノイドと比較して平均して 2倍以上の推力を得ることができた。このため極めて制御性の良好なソレノィドを提供可能である。

以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのはもちろんである。発明の効果

本発明に係るソレノイドによれば、従来よりも全体を小型化でき、推力の安定領域を広げて制御性を良くすることができる。さらに従来よりも高い推力を得ることができる。

Claims

請求の範囲

1 . 励磁コイルと、

該励磁コイルの中心部分に配置される可動子と、

前記励磁コイルの一方の端面側を覆い、可動子外周面と対向する対向面を有する第 1のヨーク部、前記励磁コイルの他方の端面側を覆い、可動子外周面と対向する対向面を有する第 2のヨーク部、該第 1および第 2のヨーク部を連結してコィルの外周部を覆う連結部とを有し、前記可動子との間で閉磁路を形成するョークとを具備するソレノィドにおいて、

前記第 1のヨーク部と、前記第 2のヨーク部とによって挟み込まれるようにして前記可動子の外周に配置されて可動子を移動自在に支持し、非磁性体により形成された軸受が設けられ、

前記第 1のヨーク部の対向面に、内周に沿って凹設された n個（nは 0以上の正の整数）の溝部と、該溝部に隣接して磁極として機能する n + 1個の歯部とが設けられ、

前記第 2のヨーク部の対向面に、内周に沿って凹設された m個（mは 0以上の正の整数）の溝部と、該溝部に隣接して磁極として機能する m+ 1個の歯部とが設けられ、

前記可動子の前記第 1のヨーク部との対向面に、外周に沿って凹設された n + 1個の溝部と、該溝部に隣接して磁極として機能する n + 1個の歯部とが設けられ、

前記可動子の前記第 2のヨーク部との対向面に、外周に沿って凹設された m個の溝部と、該溝部に隣接して磁極として機能する m個の歯部とが設けられていることを特徴とするソレノィド。

2 . 前記第 1のヨーク部および前記第 2のヨーク部に形成された対向面は、同一の内径を有することを特徴とする請求項 1記載のソレノィド。

3 . 前記溝部および前記歯部の形状は断面視矩形または台形に形成されていることを特徴とする請求項 1記載のソレノイド。

4. 前記溝部および前記歯部の形状は断面視矩形または台形に形成されていることを特徴とする請求項 2記載のソレノィド。

5 . 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、

前記可動子の可動範囲において軸受と接触しない位置に形成されていることを特徴とする請求項 1記載のソレノィド。

6 . 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、

前記可動子の可動範囲において軸受と接触しない位置に形成されていることを特徴とする請求項 2記載のソレノィド。

7 . 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、

前記可動子の可動範囲において軸受と接触しない位置に形成されていることを特徴とする請求項 3記載のソレノィド。

8 . 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、

前記可動子の可動範囲において軸受と接触しない位置に形成されていることを特徴とする請求項 4記載のソレノィド。

9 . 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、前記可動子の可動範囲において軸受と接触しないように、

前記軸受には、逃げ部が形成されていることを特徴とする請求項 1記載のソレノィド。

1 0 . 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、前記可動子の可動範囲において軸受と接触しないように、

前記軸受には、逃げ部が形成されていることを特徴とする請求項 2記載のソレノィド。

1 1 . 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、前記可動子の可動範囲において軸受と接触しないように、

前記軸受には、逃げ部が形成されていることを特徴とする請求項 3記載のソレノィド。

1 2 . 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、前記可動子の可動範囲において軸受と接触しないように、

前記軸受には、逃げ部が形成されていることを特徴とする請求項 4記載のソレノィド。

1 3 . 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、前記可動子の可動範囲において軸受と接触しないように、

前記軸受には、逃げ部が形成されていることを特徴とする請求項 5記載のソレノィド。

1 4. 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、前記可動子の可動範囲において軸受と接触しないように、

前記軸受には、逃げ部が形成されていることを特徴とする請求項 6記載のソレノィド。

1 5 . 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、前記可動子の可動範囲において軸受と接触しないように、

前記軸受には、逃げ部が形成されていることを特徴とする請求項 7記載のソレノイド。

1 6 . 前記可動子に設けられた溝部の上端縁部であって、前記軸受に対して軸線方向に離間する方向側に位置する部位が、前記可動子の可動範囲において軸受と接触しないように、

前記軸受には、逃げ部が形成されていることを特徴とする請求項 8記載のソレド。