WO2004030415A1 - Ｅｌ素子用封止板多面取り用マザーガラス基板、及びｅｌ素子用ガラス基板多面取り用マザーガラス基板 - Google Patents

Ｅｌ素子用封止板多面取り用マザーガラス基板、及びｅｌ素子用ガラス基板多面取り用マザーガラス基板 Download PDF

Info

Publication number
WO2004030415A1
WO2004030415A1 PCT/JP2003/012216 JP0312216W WO2004030415A1 WO 2004030415 A1 WO2004030415 A1 WO 2004030415A1 JP 0312216 W JP0312216 W JP 0312216W WO 2004030415 A1 WO2004030415 A1 WO 2004030415A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
glass substrate
mother
alignment mark
mother glass
sealing plate
Prior art date
Application number
PCT/JP2003/012216
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Masahiro Miura
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Sheet Glass Co., Ltd. filed Critical Nippon Sheet Glass Co., Ltd.
Publication of WO2004030415A1 publication Critical patent/WO2004030415A1/ja

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/02—Details
    • H05B33/04—Sealing arrangements, e.g. against humidity
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/14—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of the electroluminescent material, or by the simultaneous addition of the electroluminescent material in or onto the light source
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/851—Division of substrate

Definitions

  • the present invention relates to an electro-luminescence (Electro-Luminescence: hereinafter, referred to as “EL”) element-sealing plate, a multi-faced mother-to-glass substrate, and an EL element glass substrate.
  • EL electro-luminescence
  • the present invention relates to a mother-glass substrate for multi-panning.
  • the EL element is used as a light source of an EL display, which is a display unit of a mobile phone or a car navigation system.
  • FIG. 9A and 9B are views showing a schematic configuration of a conventional EL display, FIG. 9A is a cross-sectional view, and FIG. 9B is a plan view of the glass substrate in FIG. 9A.
  • the bottom emission type EL display 50 has a passive structure, a transparent rectangular glass substrate 51, and an EL laminate formed on the glass substrate 51. 5 2 and a rectangular sealing plate 53 formed so as to cover the EL laminate 52.
  • the sealing plate 53 is made of a transparent glass-containing rectangular glass plate, and a concave portion 55 is formed (processed into a concave shape) in the center of the glass plate using a wet etching method or the like.
  • a peripheral ridge 5 is formed around it.
  • a desiccant 59 is applied to the bottom surface 58 of the concave portion 55 of the sealing plate 53 in order to adsorb moisture in the concave portion 55.
  • the sealing plate 53 is bonded at the sealing portion 56 which is the top of the peripheral ridge 54. It is adhered on the glass substrate 51 by the agent 57.
  • the adhesive 57 is made of, for example, an ultraviolet-curable epoxy resin.
  • the EL laminate 52 is placed on a glass substrate 51, and includes an anode electrode 60 made of an ITO film, and a light emitting layer to be described later, which is stacked on the upper surface of the anode electrode 60.
  • the EL laminated film 61, a force electrode 62 made of a Mg—Ag alloy laminated on the upper surface of the EL laminated film 61, and the cathode electrode 62 on the side of the EL laminated film 61 And an extraction electrode 63 made of a connected IT0 film.
  • the EL laminated film 61 is composed of, in order from the anode electrode 60 side, a hole transport layer composed of triphenyldiamin, a light-emitting layer composed of a quinolinol aluminum complex, and a triazoledioxazole. And a transparent electron transport layer.
  • the light emitting layer emits light, and the light passes through the hole transport layer and the glass substrate 51 to emit light.
  • the glass substrate 51 On the inner surface of the EL display 50 of the glass substrate 51 (FIG. 9B), the glass substrate 51 is in a range where the EL laminate 52 is placed, and the light emission of the EL laminate 52 is small.
  • the light emission range 71 is arranged at the center of the glass substrate 51, and the bonding range 72 is arranged at the outer periphery of the glass substrate 51.
  • one side of the glass substrate 51 is so set that the sealing portion 56 of the sealing plate 53 does not overlap the light emission range 71.
  • Positioning is performed with one side of the sealing portion 57 corresponding to this (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-36384).
  • the general tolerance of the glass processing is ⁇ 0.2 mm
  • the tolerance ⁇ of the dimension A between one side of the glass substrate 51 and the corresponding side of the emission range 71 is ⁇ 0.2 mm.
  • the width B of the sealing portion 56 of the sealing plate 53 Since the tolerance /? Is ⁇ 0.2 mm, the above alignment has an accuracy of A—B ⁇ 0.4 mm. With this accuracy, the positioning of the sealing portion 56 of the sealing plate 53 with respect to the glass substrate 51 was not easy, and the light emitting range 71 and the bonding range 72 sometimes overlapped.
  • the purpose is to provide a mother glass substrate for chamfering. Disclosure of the invention
  • a rectangular EL element glass substrate having a first alignment mark is attached to a mother-glass substrate for multi-face removal.
  • a mother-glass substrate for multi-panel removal of an EL element sealing plate wherein an alignment mark is provided at a position corresponding to the first alignment mark.
  • the sealing plate multi-chamfering mother glass substrate and the glass are provided.
  • the alignment between the glass substrate for the EL display and the sealing plate for the EL display can be easily performed.
  • the second alignment mark is composed of a plurality of alignment marks arranged on a peripheral portion of the mother glass substrate for forming a plurality of EL element sealing plates.
  • the second alignment mark has many sealing plates.
  • the mother glass substrate for multi-chamfering the sealing plate and the mother glass substrate for multi-chamfering the glass substrate are sealed.
  • the positioning in the vertical, horizontal, and rotational directions on the mounting surface of the mother plate and the glass substrate for multi-cut stop plate and glass substrate can be accurately performed, and the sealing part. And the emission range can be prevented from overlapping.
  • the second alignment mark has a hemispherical concave shape.
  • the second alignment mark has a semi-elliptical spherical concave shape.
  • the second alignment mark has a cross-shaped concave shape.
  • the second alignment mark is a protrusion formed in the concave portion.
  • a rectangular EL element sealing plate having a first alignment mark is attached to a mother-glass substrate for multi-face removal.
  • a mother-glass substrate for a multi-panel glass substrate for an EL element wherein a mark is provided at a position corresponding to the first alignment mark.
  • the sealing plate since the sealing plate has the second alignment mark for alignment with the mother glass substrate for multi-face sealing, the mother-glass substrate for multi-sealing sealing plate is provided.
  • the alignment between the glass substrate for the EL display and the sealing plate for the EL display can be easily performed.
  • the second alignment mark includes a plurality of alignment marks arranged on a peripheral portion of the mother glass substrate for forming a plurality of EL substrate glass substrates. Consists of a number mark.
  • the second alignment mark is composed of a plurality of alignment marks arranged on the periphery of the glass substrate and the sealing substrate.
  • the mother glass substrate and the glass substrate multi-paneling mother glass substrate are mounted on the mounting surface of the sealing plate multi-paneling mother glass substrate and the glass substrate multi-paneling mother glass plate.
  • the positioning in the rotation direction can be accurately performed, and it is possible to prevent the sealing portion from overlapping with the shining area.
  • the second alignment mark has a hemispherical concave shape.
  • said second alignment mark is semi-elliptical spherical concave.
  • said second alignment mark is cross-shaped concave.
  • the second alignment mark is a protrusion formed in the concave portion.
  • FIG. 1 is a plan view of a mother-glass substrate for forming a multi-panel sealing plate for an EL element according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view of a mother glass substrate for multi-panel glass substrates for EL elements according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a perspective view of a bonded body obtained by bonding the sealing plate mother glass of FIG. 1 and the glass substrate mother glass of FIG.
  • FIG. 4A and 4B are diagrams showing a schematic configuration of the bonded body of FIG. 3, FIG. 4A is a cross-sectional view taken along line IVa—IVa of FIG. 3, and FIG. FIG. 4B is a partial plan view of the glass substrate mother glass in FIG. 4A.
  • FIG. 5A and 5B are diagrams showing the shape of a first modification of the alignment mark according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 5A is a perspective view
  • FIG. It is a top view.
  • FIG. 6 is a perspective view showing a shape of a second modification of the alignment mark according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 7A and 7B are diagrams showing the shape of a third modification of the alignment mark according to the embodiment of the present invention, FIG. 7A is a perspective view, and FIG. 7B is a plan view. FIG.
  • FIG. 8 is a view used to describe a method of manufacturing the third modification of the alignment mark according to the embodiment of the present invention.
  • FIGS. 9A and 9B are diagrams showing a schematic configuration of a conventional EL display, FIG. 9A is a cross-sectional view, and FIG. 9B is a plan view of the glass substrate in FIG. 9A.
  • FIG. 1 is a plan view of a mother-glass substrate for multi-panel sealing of an EL element sealing plate according to an embodiment of the present invention.
  • the mother glass substrate for sealing the EL device encapsulating board (sealing plate mother glass) 10 is a rectangle made of non-alkali glass with a length of 550 mm and a width of 650 mm. , A 5 ⁇ 6 matrix having 30 recesses 11, and a grid-like ridge 12 defining these recesses 11.
  • two hemispherical concave marks 1 mm in radius of 0.01 mm for alignment with the motherboard for multi-paneling the EL element glass substrate shown in Fig. 2 to be described later There are three and fourteen.
  • the concave portion 11 and the ridge portion 12 are formed by removing a predetermined portion of the glass plate in a concave shape by an etching method including a wet etching method, a sand blast method, or the like.
  • an etching method including a wet etching method, a sand blast method, or the like.
  • the wet etching method first, an exposed portion should be formed in a matrix of 5 ⁇ 6 matrix on a glass substrate made of non-alkali glass, and a masking process using a tape-shaped resist is performed. Then, the masked glass substrate is treated with a hydrofluoric acid containing an appropriate amount of at least one acid selected from the group consisting of inorganic acids consisting of sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, and phosphoric acid.
  • the glass substrate is left standing for about 10 to 180 minutes in an etching solution containing up to 50% by mass, and is removed from the glass base plate in a concave shape leaving the ridges 12 to form the concaves 11. .
  • the glass plate is sufficiently washed with pure water, and then the resist is peeled off.
  • the etching solution one or more organic acids or bases selected from the group consisting of carboxylic acids, dicarboxylic acids, amines, and amino acids are used as surfactants. And an appropriate amount is added.
  • the alignment marks 13 and 14 are formed by an etching method including a jet etching method as in the case of the concave portion 11 and the ridge portion 12. That is, after the alignment marks 13 and 14 are formed, the masking process is performed while leaving the alignment marks 13 and 14 on the sealing plate mother glass 10 at the positions where the alignment marks 13 and 4 are formed. It is formed by performing an etching process on the substrate.
  • the formation of the alignment marks 13 and 14 is not limited to the etching method, and may be performed by, for example, a printing method or a photolithography method.
  • the position of the concave portion 11 is determined with reference to the short side 15 and the long side 16 of the sealing plate mother glass 10, and is formed, for example, in the immediate vicinity of the alignment mark 13.
  • FIG. 2 is a plan view of a mother glass substrate for multi-panel glass substrates for EL elements according to an embodiment of the present invention.
  • a mother glass-glass substrate 20 for multi-panel production of a glass substrate for an EL element (glass substrate mother-glass) 20 is a non-alkali glass vertical glass plate, similar to the sealing plate mother-glass 10 in FIG. It is a rectangle having a size of 550 cm and a width of 650 cm, and has a radius of 0.0 for diagonally aligning with the sealing plate mother glass 10 of FIG. 1 at one corner of the surface. It has two alignment marks 21 and 22 of a 1 mm hemispherical concave shape.
  • the alignment marks 21 and 22 are formed in the same manner as in the case of the alignment marks 13 and 14.
  • the glass substrate mother-to-glass 20 has an area where the EL laminate described later with reference to FIG. 3 is placed on one surface thereof, and the light emitted from the EL laminate transmits light to the outside.
  • the range (screen part) 23 is in a matrix.
  • the emission range 23 corresponds to the short side 15 of the sealing plate mother glass 10 when the sealing plate mother glass 10 of FIG. 1 is bonded to the glass substrate mother glass 20 of FIG.
  • the short side 24 and the long side 25 corresponding to the long side 16 of the sealing plate mother glass 10 are positioned as references.
  • the position of the light-emitting range 23 a which is one of the light-emitting ranges 23 immediately adjacent to the alignment mark 21, is the position when the EL laminate is placed on the glass substrate mother glass 20.
  • the position of the light-emitting range 23 b which is one of the light-emitting ranges 23 closest to the ment mark 22, is the placement error soil when the EL laminate is mounted on the glass substrate mother glass 20.
  • the short side 24 and the dimension M (M 6 15 ⁇ 0.2 mm) up to the short side of the emission range 23 b corresponding to the short side 24 and the long side 25
  • the position of the light emitting range 23, that is, the mounting position of the EL laminate is such that rows and columns are formed in a matrix at predetermined intervals on the glass substrate mother glass 20. That is.
  • the sealing plate mother glass 10 of FIG. 1 is adhered to the glass substrate mother glass 20 of FIG. 2 by an adhesive at the protruding ridges 12, and the both adhered together form an adhesive body 30.
  • Eggplant (Fig. 3).
  • the alignment between the sealing plate mother glass 10 and the glass substrate mother glass 20 is performed when the sealing plate mother glass 20 is viewed from the Z direction perpendicular to the surface of the glass substrate mother glass 20 (FIG. 3).
  • the center point of the alignment mark 13 on 10 and the center point of the alignment mark 21 on the glass substrate mother glass 20 are aligned with each other, and the sealing plate mother This is performed by making the center point of the alignment mark 14 on the glass 10 coincide with the center point of the alignment mark 22 on the glass substrate mother glass 20.
  • the center points of alignment mark 13 and alignment mark 21 and the center points of alignment mark 14 and alignment mark 22 are In order to make them coincide when viewed from the Z direction, the center points of the alignment marks 13, 14, 21, and 22 are detected using a measuring instrument such as a laser, and the detected alignment marks are detected.
  • the center point of alignment mark 13 is at the center point of alignment mark 21 and the center point of detected alignment mark 14 is at the center point of alignment mark 22.
  • the sealing plate mother glass 10 is moved with respect to the glass substrate mother glass 20 by a known method so that they match when viewed from the Z direction.
  • Center point of alignment mark 13 and center point of alignment mark 21 1 and center point of alignment mark 14 and center point of alignment mark 22 The method of matching is not limited to the above method.
  • FIG. 4A and 4B are diagrams showing a schematic configuration of the adhesive body 30 of FIG. 3, and FIG. 4A is a cross-sectional view taken along line IVa—IVa of FIG. 4 is a partial plan view of the glass substrate mother glass 20 in FIG. 4A.
  • an EL laminated body 41 is formed on a glass substrate mother glass 20 corresponding to the light emission range 23 of FIG.
  • the EL laminate 41 is placed on a glass substrate mother glass 20 and is stacked on an anode electrode 42 made of an IT0 film and an upper surface of the anode electrode 42 to emit light.
  • EL multilayer film 43 including a layer, a force source electrode 44 made of an Mg—Ag alloy laminated on the upper surface of the EL multilayer film 43, and a side electrode of the EL multilayer film 43.
  • An extraction electrode 45 made of an IT0 film connected to the source electrode 44 is provided.
  • the sealing plate mother glass 10 is adhered on the glass substrate mother glass 20 by an adhesive 31 at a sealing portion 46 at the top of the ridge 12 by the above-described positioning method. ing.
  • the adhesive 31 is made of, for example, an ultraviolet-curable epoxy resin.
  • a desiccant 48 is applied to the bottom surface 47 of the concave portion 11 of the sealing plate mother glass 10 to adsorb the moisture in the concave portion 11.
  • the adhesive body 30 of FIG. 3 is cut at a predetermined position of the ridge 12 of the sealing plate mother glass 10 to form an individual EL display.
  • the glass substrate mother-to-glass 20 is positioned within the range where the EL laminate 41 is placed.
  • the emission range 23 in FIG. 2 which is a range in which the light emitted from the EL laminate 41 is transmitted to the outside, and the sealing plate mother glass 10 are bonded to the adhesive 31 at the sealing portion 46.
  • the sealing plate mother glass 10 and the glass substrate mother glass 20 are bonded so that the bonding areas 49 to be bonded are not overlapped with each other.
  • the adhesive 30 is formed between the center point of the alignment mark 13 on the sealing plate mother glass 10 and the alignment mark 2 on the glass substrate mother glass 20.
  • the center point of 1 and the center point of the alignment mark 14 on the sealing plate mother glass 10 are aligned with the center point of the alignment mark 22 on the glass substrate mother glass 20. Since they are positioned and bonded so that they match when viewed from the Z direction in FIG. 3, the sealing plate mother-to-glass 10, the glass substrate mother-to-glass 20, and the sealing plate of the EL laminate 41 are provided. Positioning on the bonding surface between the mother glass substrate and the glass substrate mother glass 20 in the vertical direction, the horizontal direction, and the rotation direction can be accurately performed, and the bonding range 49 and the light emission range 23 Can be prevented from overlapping, for example, the luminous area 23 and the adhesive area
  • the distance X (FIG. 4B) from the gap 49 (the sealing section 46) can be maintained at 5 ⁇ 0.04 mm.
  • the alignment marks 13, 14, 21, 22 have a hemispherical concave shape with a radius of 0.01 mm, but the radius is not limited to this. It is sufficient that the radius is not less than 0.01 mm, and the shape is not limited to this.
  • the alignment marks 13, 14, 21, and 22 are replaced with semi-elliptical spherical concave shapes (Fig.
  • the center of the ellipse is the same as the alignment described above when the sealing plate mother glass 10 and the glass substrate mother glass 20 are bonded. This is done by detecting and matching the center points.
  • the alignment marks 13, 14, 21, of the concave semi-elliptical spheres in FIGS. 5A and 5B The size of 22 is such that the depth d is at least 0.01 mm and the short side dimension b of the ellipse is at least 0.01 mm (Fig. 5B).
  • the alignment marks 13, 14, 21, and 22 are formed in a cross-shaped concave shape (FIG. 6).
  • the alignment is performed by detecting the four ends of the cross, detecting the intersections of the lines connecting the opposite ends, and making the intersections coincide with each other in the same manner as the alignment described above.
  • the sealing plate mother glass 10 and the glass substrate mother glass 20 are not connected.
  • the alignment at the time of bonding is performed by detecting the mark centers f of the alignment marks 13, 14, 21, and 22, and matching the mark centers f facing each other in the same manner as the above-described alignment. And.
  • the alignment marks 13, 14, 21, and 22 correspond to the corners of the sealing plate mother glass 10 and the glass substrate mother glass 2.
  • the alignment marks 13, 14, 21, and 22 are not limited to these, but are formed at the corners of 0. It suffices if it is within the bonding range 49, which is the periphery of the glass substrate mother glass 20 and the periphery of the glass substrate mother glass 20.
  • the sealing plate mother glass 10 and the glass substrate mother glass 20 according to the embodiment of the present invention have two alignment marks 13, 14, or 21, 22, respectively.
  • the number of alignment marks included in the sealing plate mother glass 10 and the glass substrate mother glass 20 is not limited to this, and may be plural. You may do it.
  • sealing plate mother glass 10 and the glass substrate mother glass 20 according to the embodiment of the present invention are not limited to the shapes described above. Industrial applicability
  • the second aligner for alignment with the mother glass for multi-faced glass substrate is provided. Alignment of the EL display glass substrate and the EL display encapsulation plate when attaching the mother glass substrate for multiple encapsulation and the mother glass substrate for multiple glass substrates Can be easily performed.
  • the second alignment mark includes a plurality of alignment marks arranged on a peripheral portion of the multi-faced sealing plate glass substrate. Since it is made of a tom, a mother-glass substrate for multiple sealing plate and a mother-glass substrate for multiple glass substrate, a mother-glass substrate for multiple sealing plate and a mother-glass substrate for multiple glass substrate. The positioning in the vertical direction, the horizontal direction, and the rotation direction on the mounting surface of the and can be accurately performed, and it is possible to prevent the sealing portion and the light emitting range from overlapping. .
  • the mother glass substrate for multiple glass substrates since the second alignment mark for alignment with the mother glass substrate for multiple glass substrates for sealing is provided, the number of sealing plates can be increased. In mounting the mother glass substrate for chamfering and the glass substrate for multi-chamfering glass substrate, the alignment between the glass substrate for EL display and the sealing plate for EL display can be easily performed.
  • the second The alignment mark consists of multiple alignment marks arranged on the periphery of the glass substrate and the glass substrate.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

ELディスプレイ用ガラス基板とELディスプレイ用封止板との位置合わせを容易に行い得るEL素子用封止板多面取り用マザーガラス基板が提供される。EL素子用封止板多面取り用マザーガラス基板は、第1アライメントマークを有する矩形のEL素子用ガラス基板多面取り用マザーガラス基板に取付けられて、複数のELディスプレイを構成し、前記EL素子用ガラス基板多面取り用マザーガラス基板との位置合わせのための第2のアライメントマークを前記第1のアライメントマークの対応位置に有する。

Description

3012216
E L素子用封止板多面取り用マザ一ガラス基板、 及び E L素子用ガラス 基板多面取り用マザ一ガラス基板 技術分野
本発明は、 エ レク ト 口ルミ 明ネ ッ セ ンス (Electro-Luminescence： 電界 発光、 以下 「E L」 という。 ） 素子細用封止板多面取り用マザ一ガラス基 板、 及び E L素子用ガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板に関する。 背景技術
E L素子は、 携帯電話やカーナビゲーショ ンシステム等の表示部であ る E Lディ スプレイの発光源と して使用されている。
図 9 A, 図 9 Bは、 従来の E Lディ スプレイの概略構成を示す図であ り、 図 9 Aは断面図であり、 図 9 Bは図 9 Aにおけるガラス基板の平面 図である。
図 9 Aにおいて、 ボ ト ムェミ ッ シ ョ ン型 E Lディ スプレイ 5 0は、 パ ッ シブ構造を と り 、 透明な長方形ガラス基板 5 1 と、 ガラス基板 5 1 の 上に形成された E L積層体 5 2 と、 この E L積層体 5 2 を覆う よう に形 成された長方形封止板 5 3 とから成る。 封止板 5 3は、 透明なアルカ リ 含有ガラス製の長方形ガラス素板から成り、 当該ガラス素板の中央部に ウエッ トエッチング法等を用いて凹部 5 5が形成 （凹状に加工） され、 その周囲に周辺突条部 5 が形成されている。
封止板 5 3の凹部 5 5の底部表面 5 8 には、 凹部 5 5内の水分を吸着 させるために乾燥剤 5 9が塗布されている。
封止板 5 3 は、 周辺突条部 5 4の頂部である封止部 5 6 において接着 剤 5 7 によ り ガラス基板 5 1 上に接着されている。 接着剤 5 7 は、 例え ば紫外線硬化型エポキシ樹脂製のものがある。
E L積層体 5 2 は、 ガラス基板 5 1 上に載置され、 I T O膜から成る ァノ ー ド電極 6 0 と、 該ァノ ー ド電極 6 0 の上面に積層され、 後述する 発光層を含む E L積層膜 6 1 と、 E L積層膜 6 1 の上面に積層 された M g — A g合金製の力 ソー ド電極 6 2 と、 E L積層膜 6 1 の側方において カ ソ ド電極 6 2 に接続された I T 0膜から成る引出し電極 6 3 と を備 える。 E L積層膜 6 1 は、 アノ ー ド電極 6 0側から順に、 ト リ フエニル ジア ミ ンから成る正孔輸送層 と、 次いでキノ リ ノ ールアルミ錯体から成 る発光層 と、 ト リ ァゾールゃォキサジァゾールから成る透明な電子輸送 層 とから成る。
E Lディ スプレイ 5 0 は、 上記発光層が光を発光して、 この光が正孔 輸送層及びガラス基板 5 1 を透過する こ と によ り光を発光する。
ガラ ス基板 5 1 の E Lディ ス プレイ 5 0 内側の表面において （図 9 B ) 、 ガラス基板 5 1 は、 E L積層体 5 2 が載置される範囲であって、 E L積層体 5 2 の発光する光を外部に透過する発光範囲 （画面部） 7 1 と、封止板 5 3 が接着剤 5 7 によ り接着される接着範囲 7 2 と を有する。 発光範囲 7 1 はガラス基板 5 1 の中央部に配される と共に、 接着範囲 7 2 はガラス基板 5 1 の外周部に配されている。
ガラス基板 5 1 と封止板 5 3 との接着の際には、 封止板 5 3 の封止部 5 6 が発光範囲 7 1 と重な らないよ う に、 ガラス基板 5 1 の一辺と これ に対応する封止部 5 7 の一辺とで位置合わせを行っている （例えば、 特 開 2 0 0 0 — 3 6 3 8 4号公報参照） 。
しかしながら、 ガラス加工の一般公差は ± 0 . 2 m mであ り 、 ガラス 基板 5 1 の一辺からこれに対応する発光範囲 7 1 の一辺間の寸法 Aの公 差 α は ± 0 . 2 mmであ り 、 また封止板 5 3 の封止部 5 6 の幅寸法 Bの 公差 /?は ± 0 . 2 m mであるため、 上記位置合わせは A— B ± 0 . 4 m mの精度となる。 この精度では、 ガラス基板 5 1 に対する封止板 5 3 の 封止部 5 6 の位置合わせは容易では ¾ く 、 発光範囲 7 1 に接着範囲 7 2 が重なる場合があつた。
本発明の目的は、 E Lディ スプレイ用ガラス基板と E Lディ スプレイ 用封止板との位置合わせを容易に行い得る E L素子用封止板多面取り用 マザ一ガラス基板、 及び E L素子用ガラス基板多面取り用マザ一ガラス 基板を提供する こ とにある。 発明の開示
上述の目的を達成するために、 本発明の第 1 の態様によれば、 第 1 の ァラ イ メ ン トマーク を有する矩形の E L素子用ガラス基板多面取り 用マ ザ一ガラス基板に取付けられて、 複数の E Lディ スプレイ を構成する矩 形の E L素子用封止板多面取り用マザ一ガラス基板において、 前記 E L 素子用ガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板との位置合わせのための 第 2 のァライ メ ン トマーク を前記第 1 のァラ イ メ ン トマークの対応位置 に有する こ と を特徴とする E L素子用封止板多面取り用マザ一ガラス基 板が提供される。
本第 1 の態様によれば、 ガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板との 位置合わせのための第 2 のァライ メ ン トマ一ク を有するので、 封止板多 面取り用マザ一ガラス基板とガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板と の取付けにおいて、 E Lディ スプレイ用ガラス基板と E Lディ スプレイ 用封止板との位置合わせを容易に行う こ とができ る。
好ま し く は、 前記第 2 のァライ メ ン トマークは、 前記 E L素子用封止 板多面取り用マザ一ガラス基板の周縁部に配された複数のァラ ィ メ ン ト マークから成る。 これによ り 、 第 2 のァライ メ ン トマ一クは、 封止板多 -4-
面取り用マザ一ガラス基板の周縁部に配された複数のァライ メ ン ト マ— クから成るので、 封止板多面取り用マザ一ガラス基板と ガラス基板多面 取り 用マザ一ガラス基板と を、 封止板多面取り用マザ一ガラス基板と ガ ラス基板多面取り用マザ一ガラス基板との取付け面上の上下方向、 左右 方向、 及び回転方向での位置決めを正確に行う こ とができ、 封止部と発 光範囲とが重なる こ と を防止する こ とができ る。
好ま し く は、 前記第 2 のァライ メ ン トマークは半球凹状である。
好ま し く は、 前記第 2 のァライ メ ン トマークは半楕円球凹状である。 好ま し く は、 前記第 2 のァライ メ ン トマークは十字型凹状である。 好ま し く は、 前記第 2 のァライ メ ン トマ一クは凹状部内に形成された 突起部である。
上述の目的を達成するために、 本発明の第 2 の態様によれば、 第 1 の ァラ イ メ ン トマーク を有する矩形の E L素子用封止板多面取り用マザ一 ガラス基板に取付けられて、 複数の E Lディ スプレイ を構成する矩形の E L素子用ガラス基板多面取り用マザ—ガラス基板において、 前記 E L 素子用封止板多面取り用マザ—ガラス基板との位置合わせのための第 2 のァライ メ ン ト マーク を前記第 1 のァライメ ン ト マークの対応位置に有 する こ と を特徴とする E L素子用ガラス基板多面取り用マザ一ガラス基 板が提供される。
本第 2 の態様によれば、 封止板多面取り用マザ—ガラス基板との位置 合わせのための第 2 のァラ イ メ ン トマーク を有するので、 封止板多面取 り用マザ一ガラス基板とガラス基板多面取り 用マザ一ガラス基板との取 付けにおいて、 E Lディスプレイ用ガラス基板と E Lディ スプレイ用封 止板との位置合わせを容易に行う こ とができ る。
好ま し く は、 前記第 2 のァライ メ ン トマークは、 前記 E L素子用ガラ ス基板多面取り用マザ一ガラス基板の周縁部に配された複数のァラ ィ メ ン ト マークから成る。 これによ り 、 第 2 のァライ メ ン トマーク は、 ガラ ス基板多面取り用マザ一ガラス基板の周縁部に配された複数のァラ イ メ ン ト マークから成るので、 封止板多面取り用マザ一ガラス基板と ガラス 基板多面取り用マザ一ガラス基板と を、 封止板多面取り用マザ一ガラス 基板とガラス基板多面取り 用マザ一ガラス基板との取付け面上の上下方 向、 左右方向、 及び回転方向での位置決めを正確に行う こ とができ、 封 止部と癸光範囲とが重なる こ と を防止する こ とができ る。
好ま し く は、 前記第 2 のァライ メ ン トマークは半球凹状である。
好ま し く は、 前記第 2 のァライ メ ン トマ—クは半楕円球凹状である。 好ま し く は、 前記第 2 のァライ メ ン トマ一クは十字型凹状である。 好ま し く は、 前記第 2 のァライ メ ン トマークは凹状部内に形成された 突起部である。 図面の簡単な説明
図 1 は、 本発明の実施の形態に係る E L素子用封止板多面取り用マザ 一ガラス基板の平面図である。
図 2 は、 本発明の実施の形態に係る E L素子用ガラス基板多面取り用 マザ一ガラス基板の平面図である。
図 3 は、 図 1 の封止板マザ一ガラス と図 2 のガラス基板マザ一ガラス と を接着した接着体の斜視図である。
図 4 A , 図 4 B は、 図 3 の接着体の概略構成を示す図であ り 、 図 4 A は図 3 の線 IV a— IV a に沿う 断面図であ り 、 図 4 B は、 図 4 Aにおけ るガラス基板マザ一ガラスの部分平面図である。
図 5 A， 図 5 Bは、 本発明の実施の形態に係るァライ メ ン トマークの 第 1 の変形例の形状を示す図であ り 、 図 5 Aは斜視図であ り 、 図 5 B は 平面図である。 図 6 は、 本発明の実施の形態に係るァライメ ン トマークの第 2の変形 例の形状を示す斜視図である。
図 7 A, 図 7 Bは、 本発明の実施の形態に係るァライメ ン トマ一クの 第 3の変形例の形状を示す図であり、 図 7 Aは斜視図であり、 図 7 Bは 平面図である。
図 8 は、 本発明の実施の形態に係るァライメ ン トマー クの第 3の変形 例の作製方法の説明に用いる図である。
図 9 A， 図 9 Bは、 従来の E Lディスプレイの概略構成を示す図であ り、 図 9 Aは断面図であり、 図 9 Bは図 9 Aにおけるガラス基板の平面 図である。 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図 1 は、 本発明の実施の形態に係る E L素子用封止板多面取り用マザ —ガラス基板の平面図である。
図 1 において、 E L素子用封止板多面取り用マザ一ガラス基板 （封止 板マザ一ガラス） 1 0は、 無アルカ リ ガラス製の縦 5 5 0 mm、 横 6 5 0 mmの長方形であり、 5 X 6のマ ト リ ックス状に 3 0個の凹部 1 1 と、 これらの凹部 1 1 を画成する格子状の突条部 1 2 とを有し、 また、 その 一方の面上の隅角部において対角線上に、 後述する図 2の E L素子用ガ ラス基板多面取り用マザ一ガラス基板との位置合わせを行う ための半径 0. 0 1 mmの半球凹状の 2つのァライメ ン トマーク 1 3及ぴ 1 4 を有 する。
凹部 1 1及び突条部 1 2は、 ウエッ トエッチング法を含むエ ッ チング 法、 又はサン ドブラス ト法等によ り ガラス素板の所定部分を凹状に取り 除く ことによ り形成される。 例えば、 ウエッ トエッチング法は、 まず、 無アルカ リ ガラス製のガラ ス素板に、 露出部を 5 X 6 のマ ト リ ッ クス状に形成すべ く 、 テープ状の レジス ト によ り マスキング処理し、 このマスキング処理されたガラス素 板を、 硫酸、 塩酸、 硝酸、 及ぴリ ン酸からなる無機酸の群から選択され た少な く と も 1 つの酸を適量含有する フ ッ化水素酸 5 〜 5 0質量％から 成るエツチング液中に 1 0 〜 1 8 0分間程度静置して、 ガラス素板から 突条部 1 2 を残して凹状に取り 除いて凹部 1 1 を形成する ものである。 次いで、このガラス素板を純水で十分洗浄した後にレジス ト を剥離する。 なお、 上記エッチング液にはカルボン酸類、 ジカルボン酸類、 アミ ン類、 及ぴァ ミ ノ酸類からなる群から選択された 1種又は 2種以上の有機の酸 や塩基の類が界面活性剤と して適量添加される。
ァラ イ メ ン トマーク 1 3及び 1 4 は、 上記凹部 1 1 及び突条部 1 2 の 場合と同様にゥエツ トエッチング法を含むエッチング法によ り形成され る。 即ち、 ァラ イ メ ン トマーク 1 3及ぴ 4 の形成位置において封止板 マザ一ガラス 1 0上にァラ イ メ ン トマーク 1 3及ぴ 1 4 の部分を残して マスキング処理を行った上でエッチング処理を行う こ と によ り 形成され る。 ァライ メ ン トマーク 1 3及び 1 4の形成は、 エッチング法に限らず、 例えば印刷法やフ ォ ト リ ソグラフ ィ法によ り行っても よい。
凹部 1 1 の位置は、 封止板マザ一ガラス 1 0 の短辺 1 5及び長辺 1 6 を基準と して決められてお り 、 例えばァライ メ ン トマ一ク 1 3 の直近に 形成された凹部 1 1 の 1 つである凹部 1 1 a の位置はガラス加工の一般 公差土 0 . 2 m mを考慮して、 短辺 1 5 と この短辺 1 5 に対応する凹部 1 1 aの短辺までの寸法 C ( C = 3 0 ± 0 . 2 m m ) と、 長辺 1 6 と こ の長辺 1 6 に対応する凹部 1 1 a の長辺までの寸法 D ( D = 3 0 ± 0 . 2 m m ) とで決定されてお り、 また、 ァライ メ ン トマーク 1 4 の直近に 形成された凹部 1 1 の 1 つである凹部 1 1 b の位置はガラス加工の一般 公差士 0. 2 mmを考慮して、 短辺 1 5 と この短辺 1 5 に対応する凹部 l i bの短辺までの寸法 E (E = 6 2 0 ± 0. 2 mm) と、 長辺 1 6 と この長辺 1 6 に対応する凹部 1 1 bの長辺までの寸法 F ( F = 5 2 0土 0. 2 mm) とで決定されている。 このよ う に して、 凹部 1 1 は、 封止 板マザ一ガラス 1 0上に行及び列が夫々所定の間隔でマ ト リ ッ クス状に 形成される こ と となる。
ァラ イ メ ン トマーク 1 3の位置は、 凹部 1 1 aの短辺からァライ メ ン トマーク 1 3の中心までの長辺方向寸法 G ( G = 1 5 ± 0. 0 2 mm) と、 凹部 1 1 aの長辺からァライ メ ン トマーク 1 3の中心までの短辺方 向寸法 H (H = 1 5 ± 0. 0 2 mm) とで決定されてお り、 ァライ メ ン トマ一ク 1 4の位置は、 凹部 1 1 bの短辺からァライ メ ン トマーク 1 4 の中心までの長辺方向寸法 I ( I = 1 5 ± 0. 0 2 mm) と、 凹部 1 1 bの長辺からァライ メ ン トマーク 1 4の中心までの短辺方向寸法 J ( J = 1 5 ± 0. 0 2 mm) とで決定されている。
図 2 は、 本発明の実施の形態に係る E L素子用ガラス基板多面取り用 マザ一ガラス基板の平面図である。
図 2 において、 E L素子用ガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板（ガ ラス基板マザ一ガラス） 2 0は、 図 1 の封止板マザ一ガラス 1 0 と 同様 に、 無アルカ リ ガラス製の縦 5 5 0 c m、 横 6 5 0 c mの長方形であ り 、 その一方の面上の隅角部において対角線上に図 1 の封止板マザ一ガラス 1 0 との位置合わせを行う半径 0. 0 1 mmの半球凹状の 2つのァライ メ ン トマーク 2 1及び 2 2 を有する。
ァライ メ ン トマーク 2 1及ぴ 2 2は、 ァライ メ ン トマ一ク 1 3及ぴ 1 4の場合と同様の方法で形成される。
ガラス基板マザ一ガラス 2 0上には、 E Lディ ス プレイ を形成すべく 後述する図 3の E Lディ スプレイの構成部品が載置される。 図 2 において、 ガラス基板マザ一ガラス 2 0は、 その一方の面に、 図 3で後述する E L積層体が載置される範囲であつて、 E L積層体の発光 する光を外部に透過する発光範囲 （画面部） 2 3 をマ ト リ ッ クス状に有 する。 、 発光範囲 2 3 は、 図 1の封止板マザ一ガラス 1 0 を図 2のガラス基板 マザ一ガラス 2 0 に接合した際に、 封止板マザ一ガラス 1 0の短辺 1 5 に対応する短辺 2 4及び、 封止板マザーガラス 1 0の長辺 1 6 に対応す る長辺 2 5 を基準に位置決めされる。
例えば、 ァライ メ ン トマ一ク 2 1の直近の発光範囲 2 3の 1 つである 発光範囲 2 3 aの位置は、 E L積層体をガラス基板マザ—ガラス 2 0上 に載置する際の載置誤差 ± 0. 2 mmを考慮して、 短辺 2 4 と この短辺 2 4 に対応する発光範囲 2 3 aの短辺までの寸法 K ( K = 3 5 ± 0. 2 mm) と、 長辺 2 5 と この長辺 2 5 に対応する発光範囲 2 3 aの長辺ま での寸法 L (L = 3 5 ± 0. 2 mm) とで決定されてお り、 また、 ァラ ィ メ ン トマーク 2 2の直近の発光範囲 2 3の 1つである発光範囲 2 3 b の位置は E L積層体をガラス基板マザ一ガラス 2 0上に載置する際の載 置誤差土 0. 2 mmを考慮して、 短辺 2 4 と この短辺 2 4に対応する発 光範囲 2 3 bの短辺までの寸法 M (M= 6 1 5 ± 0. 2 mm) と、 長辺 2 5 と この長辺 2 5に対応する発光範囲 2 3 bの長辺までの寸法 N (N = 5 1 5 ± 0. 2 ram) とで決定されている。
このよ う にして発光範囲 2 3の位置、 即ち E L積層体の載置位置は、 ガラス基板マザ一ガラス 2 0上に行及び列が夫々所定の間隔でマ ト リ ッ クス状に形成されるこ と となる。
ァライ メ ン トマーク 2 1の位置は、 発光範囲 2 3 aの短辺からァライ メ ン トマーク 2 1の中心までの長辺方向寸法 P ( P = 2 0 ± 0. 0 2 m m) と、 発光範囲 2 3 aの長辺からァライ メ ン トマ一ク 2 1の中心まで の短辺方向寸法 Q (Q = 2 0 ± 0. 0 2 mm) とで決定されてお り 、 ァ ライ メ ン トマーク 2 2の位置は、 発光範囲 2 3 bの短辺からァライ メ ン トマーク 2 2の中心までの長辺方向寸法 R (R = 2 0 ± 0. 0 2 mm) と、 発光範囲 2 3 bの長辺からァライ メ ン ト マーク 2 2の中心までの短 辺方向寸法 S ( S = 2 0 ± 0. 0 2 mm) とで決定されている。
図 1 の封止板マザーガラス 1 0は、 その突条部 1 2 において接着剤に よ っ て図 2のガラス基板マザ一ガラス 2 0に接着され、 当該接着された 双方は接着体 3 0 をなす （図 3 ) 。
封止板マザ一ガラス 1 0 とガラス基板マザ一ガラス 2 0 との位置合わ せは、 ガラス基板マザ一ガラス 2 0の表面に垂直な Z方向 （図 3 ) から 見て封止板マザ一ガラス 1 0上のァラ イ メ ン トマーク 1 3の中心点とガ ラス基板マザ一ガラス 2 0上のァライ メ ン ト マーク 2 1 の中心点と を互 いに一致させ、 且つ、 封止板マザ一ガラス 1 0上のァライ メ ン ト マーク 1 4の中心点と ガラス基板マザ一ガラス 2 0上のァライ メ ン トマーク 2 2の中心点と を互いに一致させるこ と によ り行われる。
ァラ イ メ ン ト マー ク 1 3 と ァラ イ メ ン ト マ一 ク 2 1 の各中心点、及ぴ、 ァラ イ メ ン トマーク 1 4 と ァライ メ ン トマーク 2 2の各中心点を Z方向 から見て一致させるために、 ァ'ラ イ メ ン トマーク 1 3， 1 4， 2 1， 2 2の各中心点を レーザ一等の測定器を用いて検出 し、 この検出されたァ ラ イ メ ン ト マーク 1 3の中心点がァラ イ メ ン ト マーク 2 1 の中心点に、 検出されたァライ メ ン トマーク 1 4の中心点がァライ メ ン トマーク 2 2 の中心点に夫々 Z方向から見て一致する よ う に、 公知の方法によ り ガラ ス基板マザ一ガラス 2 0に対して封止板マザ一ガラス 1 0を移動させる。 ァライ メ ン トマーク 1 3の中心点とァライ メ ン トマーク 2 1の中心点、 及ぴァラ イ メ ン ト マー ク 1 4の中心点とァラ イ メ ン ト マ一ク 2 2の中心 点を夫々一致させる方法は上述の方法に限る も のではない。 図 4 A， 図 4 B は、 図 3 の接着体 3 0 の概略構成を示す図であ り 、 図 4 Aは図 3 の線 IV a— IV a に沿う 断面図であ り 、 図 4 Bは、 図 4 Aに おけるガラス基板マザ一ガラス 2 0 の部分平面図である。
図 4 Aにおいて、 ガラス基板マザ一ガラス 2 0上には、 図 2 の発光範 囲 2 3 に対応して E L積層体 4 1 が形成されている。
E L積層体 4 1 は、 ガラス基板マザ一ガラス 2 0上に載置され、 I T 0膜から成るァノ ー ド電極 4 2 と、 該ァノ ー ド電極 4 2 の上面に積層さ れ、 発光層を含む E L積層膜 4 3 と、 E L積層膜 4 3 の上面に積層され た M g— A g合金製の力ソ一ド電極 4 4 と、 E L積層膜 4 3 の側方にお いてカ ソ一 ド電極 4 4 に接続された I T 0膜から成る引出 し電極 4 5 と を備える。
封止板マザ一ガラス 1 0 は、 ガラス基板マザ一ガラス 2 0上に上述の 位置決め法によ り突条部 1 2 の頂部である封止部 4 6 において接着剤 3 1 によ り接着されている。 接着剤 3 1 は、 例えば紫外線硬化型ェポキシ 樹脂製のものがある。
封止板マザ一ガラス 1 0 の凹部 1 1 の底部表面 4 7 には、 凹部 1 1 内 の水分を吸着させるために乾燥剤 4 8が塗布されている。
図 3 の接着体 3 0 は、 封止板マザ一ガラス 1 0の突条部 1 2 の所定の 位置において切断されて、 個々の E Lディ スプレイ となる。
接着体 3 0 のガラス基板マザ一ガラス 2 0 の接着体 3 0 内側の表面に おいて （図 4 B ) 、 ガラス基板マザ一ガラス 2 0 は、 E L積層体 4 1 が 載置される範囲であって、 E L積層体 4 1 の発光する光を外部に透過す る範囲である図 2 における発光範囲 2 3 と、 封止板マザ一ガラス 1 0が 封止部 4 6 において接着剤 3 1 によ り接着される接着範囲 4 9 とが互い に重ならないよ う に、 封止板マザ一ガラス 1 0 とガラス基板マザーガラ ス 2 0 とが接着される。 上述のよ う に、 接着体 3 0 は、 封止板マザ一ガラス 1 0上のァライ メ ン トマ一ク 1 3の中心点とガラス基板マザ—ガラス 2 0上のァライ メ ン トマ一ク 2 1 の中心点、 封止板マザ一ガラス 1 0上のァラィ メ ン トマ一 ク 1 4の中心点とガラス基板マザ一ガラス 2 0上のァラ イ メ ン トマーク 2 2の中心点とが夫々図 3の Z方向から見て一致する よ う に位置決めさ れて接着されているので、 封止板マザ一ガラス 1 0、 ガラス基板マザ一 ガラス 2 0、 及び E L積層体 4 1 の封止板マザ一ガラス基板と ガラス基 板マザ一ガラス 2 0 との接着面上の上下方向、 左右方向、 及ぴ回転方向 での位置決めを正確に行う こ とができ、 接着範囲 4 9 と発光範囲 2 3 と が重なる こ と を防止する こ とができ、 例えば、 発光範囲 2 3 と接着範囲
4 9 (封止部 4 6 ) との間隔 X (図 4 B ) を 5 ± 0. 0 4 mmに維持す る こ とができ る。
本発明の実施の形態においては、 ァライ メ ン トマーク 1 3 , 1 4 , 2 1， 2 2 は半径 0. 0 1 m mの半球凹状の形状と したが、 半径はこれに 限る ものではな く 、 半径が 0. 0 1 m m以上であればよ く 、 また、 形状 も これに限らず、 例えば、 第 1の変形例と しての所定の大き さの半楕円 球凹状の形状 （図 5 A, 図 5 B) や、 第 2の変形例と しての十字型凹状 の形状 （図 6 ) や、 第 3の変形例と しての円 e (図 7 B ) の円周上に 9 0 ° の等角度間隔に.互いに重な り合う所定の半径の 4つの球面状凹部を 形成する こ と に よ り 円 eの中心にマーク中心 f が Z方向 （図 3 ) から見 て形成された形状 （図 7 A及び図 7 B) と しても よい。
ァライ メ ン トマーク 1 3， 1 4 , 2 1 , 2 2 を半楕円球凹状の形状 （図
5 A , 図 5 B ) と した場合は、 封止板マザ一ガラス 1 0 とガラス基板マ ザ一ガラス 2 0 との接着の際の位置合わせは、 上述の位置合わせと同様 に楕円の中心点を検出 して中心点を夫々一致させる こ と によ り行う 。 図 5 A , 図 5 Bの半楕円球凹状のァライ メ ン ト マーク 1 3 , 1 4 , 2 1 , 2 2 の大き さは、 深さ dが 0. 0 1 m m以上、 楕円の短辺寸法 bが 0. 0 1 mm以上とする （図 5 B) 。
ァライ メ ン トマーク 1 3 , 1 4， 2 1 , 2 2 を十字型凹状の形状 （図 6 ) と した場合は、 封止板マザ一ガラス 1 0 とガラス基板マザ一ガラス 2 0 との接着の際の位置合わせは、 十字端 4点を検出 してその互いに向 かい合う端点を結ぶ線の交点を検出して、 この交点を上述の位置合わせ と同様に夫々一致させる こ とによ り行う。
ァ ラ イ メ ン トマーク 1 3， 1 4 , 2 1 , 2 2 を図 7 A, 図 7 Bの形状 と した場合は、 封止板マザ一ガラス 1 0 とガラス基板マザ一ガラス 2 0 との接着の際の位置合わせは、 ァライ メ ン トマーク 1 3 , 1 4， 2 1 , 2 2各々のマーク 中心 f を検出し、 その互いに向かい合う マーク 中心 f を上述の位置合わせと同様に夫々一致させる こ と によ り行う 。
ァライ メ ン トマーク 1 3， 1 4， 2 1， 2 2 を図 7 A, 図 7 Bの形状 にするには、 図 8 に示すよ う に円 eの周上に 9 0 ° 等角度間隔に所定の 半径の 4つの円を残してマスキングし、 上述のエッチングを行う こ と に よ り マーク中心 f を形成して行う 。
本発明の実施の形態に係るァライ メ ン トマーク 1 3， 1 4， 2 1 , 2 2は、 上述のよ う に、 封止板マザーガラス 1 0の隅角部及ぴガラス基板 マザ一ガラス 2 0の隅角部に夫々形成されているが、 ァライ メ ン ト マー ク 1 3， 1 4 , 2 1 , 2 2の位置はこれに限る も のではな く 、 封止板マ ザ一ガラス 1 0の周縁部及ぴガラス基板マザ一ガラス 2 0の周縁部であ る接着範囲 4 9内であれば良い。
本発明の実施の形態に係る封止板マザ一ガラス 1 0及びガラス基板マ ザ ガラス 2 0は、 夫々 2個のァライ メ ン トマーク 1 3 , 1 4、 または 2 1， 2 2 を有するが、 封止板マザ一ガラス 1 0及ぴガラス基板マザ一 ガラス 2 0の有するァライ メ ン トマークの数はこれに限らず、 複数個有 する ものであっても よい。
また、 本発明の実施の形態に係る封止板マザ一ガラス 1 0及びガラス 基板マザ一ガラス 2 0 は、 上述の形状に限られる ものではない。 産業上の利用可能性
以上詳細に説明 したよ う に、 本発明に係る封止板多面取り用マザ一ガ ラス基板によれば、 ガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板との位置合 わせのための第 2 のァライ メ ン トマーク を有するので、 封止板多面取り 用マザ一ガラス基板と ガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板との取付 けにおいて、 E Lディ スプレイ用ガラス基板と E Lディ スプレイ用封止 板との位置合わせを容易に行う こ とができ る。
本発明に係る封止板多面取り用マザ一ガラス基板によれば、 第 2 のァ ライ メ ン トマークは、 封止板多面取り用マザ一ガラス基板の周縁部に配 された複数のァライ メ ン トマ一クから成るので、 封止板多面取り用マザ 一ガラス基板と ガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板と を、 封止板多 面取り用マザ一ガラス基板とガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板と の取付け面上の上下方向、 左右方向、 及び回転方向での位置決めを正確 に行う こ とができ、 封止部と発光範囲とが重なる こ と を防止する こ とが でき る。 .
本発明に係るガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板によれば、 封止 板多面取り用マザ一ガラス基板との位置合わせのための第 2 のァライ メ ン ト マーク を有するので、 封止板多面取り用マザ一ガラス基板とガラス 基板多面取り用マザ一ガラス基板との取付けにおいて、 E Lディスプレ ィ用ガラス基板と E Lディ スプレィ用封止板との位置合わせを容易に行 う こ とができる。
本発明に係るガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板によれば、 第 2 のァライ メ ン トマーク は、 ガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板の周 縁部に配された複数のァラ イ メ ン トマークから成るので、 封止板多面取 り用マザ一ガラス基板とガラス基板多面取り 用マザ一ガラス基板と を、 封止板多面取り用マザ—ガラス基板と ガラス基板多面取り用マザーガラ ス基板との取付け面上の上下方向、 左右方向、 及び回転方向での位置決 めを正確に行う こ とができ、 封止部と発光範囲とが重なるこ と を防止す る こ とができ る。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 第 1 のァラ イ メ ン トマーク を有する矩形の E L素子用ガラス基板多 面取り用マザ一ガラス基板に取付けられて、 複数の E Lディ スプレイ を 構成する矩形の E L素子用封止板多面取り用マザ一ガラス基板において、 前記 E L素子用ガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板との位置合わせ のための第 2 のァライ メ ン トマ一ク を前記第 1 のァライ メ ン トマークの 対応位置に有する こ と を特徴とする E L素子用封止板多面取り用マザ一 ガラス基板。
2 . 前記第 2 のァライ メ ン トマークは、 前記 E L素子用封止板多面取り 用マザ一ガラス基板の周縁部に配された複数のァライ メ ン トマークから 成る こ と を特徴とする請求項 1 記載のマザ一ガラス基板。
3 . 前記第 2 のァライ メ ン トマークは半球凹状である こ と を特徴とする 請求項 1記載のマザ一ガラス基板。
4 . 前記第 2 のァライ メ ン トマークは半楕円球凹状である こ と を特徴と する請求項 1記載のマザ一ガラス基板。
5 . 前記第 2 のァライ メ ン トマークは十字型凹状である こ と を特徴とす る請求項 1記載のマザ一ガラス基板。
6 . 前記第 2 のァライ メ ン トマ一ク は凹状部内に形成された突起部であ る こ と を特徴とする請求項 1 記載のマザ一ガラス基板。
7 . 第 1 のァラ イ メ ン トマーク を有する矩形の E L素子用封止板多面取 り用マザ一ガラス基板に取付けられて、 複数の E Lディ スプレイ を構成 する矩形の E L素子用ガラス基板多面取り用マザ一ガラス基板において、 前記 E L素子用封止板多面取り用マザ一ガラス基板との位置合わせのた めの第 2 のァラ イ メ ン トマーク を前記第 1 のァライ メ ン トマークの対応 位置に有する こ と を特徴とする E L素子用ガラス基板多面取り用マザ一 ガラス基板。
8 . 前記第 2 のァラ イ メ ン トマークは、 前記 E L素子用ガラス基板多面 取り 用マザ一ガラス基板の周縁部に配された複数のァラ イ メ ン トマーク から成る こ と を特徴とする請求項 7記載のマザ一ガラス基板。
9 . 前記第 2 のァライ メ ン トマークは半球凹状である こ と を特徴とする 請求項 7記載のマザ一ガラス基板。
1 0 . 前記第 2 のァライ メ ン トマーク は半楕円球凹状である こ と を特徴 とする請求項 7記載のマザ ガラス基板。
1 1 . 前記第 2 のァライ メ ン トマーク は十字型凹状であるこ と を特徴と する請求項 7記載のマザ一ガラス基板。
1 2 . 前記第 2 のァラ イ メ ン トマーク は凹状部内に形成された突起部で ある こ と を特徴とする請求項 7記載のマザ一ガラス基板。
PCT/JP2003/012216 2002-09-27 2003-09-25 Ｅｌ素子用封止板多面取り用マザーガラス基板、及びｅｌ素子用ガラス基板多面取り用マザーガラス基板 WO2004030415A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002283590A JP2004119281A (ja) 2002-09-27 2002-09-27 Ｅｌ素子用封止板多面取り用マザーガラス基板、及びｅｌ素子用ガラス基板多面取り用マザーガラス基板
JP2002-283590 2002-09-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2004030415A1 true WO2004030415A1 (ja) 2004-04-08

Family

ID=32040562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2003/012216 WO2004030415A1 (ja) 2002-09-27 2003-09-25 Ｅｌ素子用封止板多面取り用マザーガラス基板、及びｅｌ素子用ガラス基板多面取り用マザーガラス基板

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2004119281A (ja)
TW (1) TW200421915A (ja)
WO (1) WO2004030415A1 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100608888B1 (ko) 2004-05-07 2006-08-03 엘지전자 주식회사 모 기판 및 이를 이용한 유기 전계발광표시소자의 제조방법
JP4605499B2 (ja) * 2004-10-28 2011-01-05 富士電機ホールディングス株式会社 有機ｅｌディスプレイの封止構造
JP4600084B2 (ja) * 2005-02-28 2010-12-15 セイコーエプソン株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法、並びに電子機器
KR100853539B1 (ko) * 2006-02-14 2008-08-21 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치
JP2007234331A (ja) * 2006-02-28 2007-09-13 Tohoku Pioneer Corp 自発光パネルの封止用部材、自発光パネルの製造方法、および自発光パネル
JP4916973B2 (ja) * 2007-08-02 2012-04-18 株式会社 日立ディスプレイズ 有機エレクトロルミネッセンス表示装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06150384A (ja) * 1992-11-11 1994-05-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学式情報記録媒体及びその製造方法
JPH09205255A (ja) * 1995-11-21 1997-08-05 Mitsubishi Electric Corp 光半導体装置及びその製造方法
JP2000315576A (ja) * 1999-03-01 2000-11-14 Toray Ind Inc 有機電界発光素子およびその製造方法
WO2001091520A1 (fr) * 2000-05-23 2001-11-29 Nagase & Co., Ltd. Ecran electroluminescent organique et procede de fabrication de celui-ci
JP2002221916A (ja) * 2001-01-26 2002-08-09 Sony Corp 表示装置及び表示装置の製造方法
JP2003015552A (ja) * 2001-06-29 2003-01-17 Sanyo Electric Co Ltd 表示用パネルの製造方法
JP2003243156A (ja) * 2002-02-21 2003-08-29 Seiko Epson Corp 封止用基板及びその製造方法、表示装置並びに電子機器

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06150384A (ja) * 1992-11-11 1994-05-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学式情報記録媒体及びその製造方法
JPH09205255A (ja) * 1995-11-21 1997-08-05 Mitsubishi Electric Corp 光半導体装置及びその製造方法
JP2000315576A (ja) * 1999-03-01 2000-11-14 Toray Ind Inc 有機電界発光素子およびその製造方法
WO2001091520A1 (fr) * 2000-05-23 2001-11-29 Nagase & Co., Ltd. Ecran electroluminescent organique et procede de fabrication de celui-ci
JP2002221916A (ja) * 2001-01-26 2002-08-09 Sony Corp 表示装置及び表示装置の製造方法
JP2003015552A (ja) * 2001-06-29 2003-01-17 Sanyo Electric Co Ltd 表示用パネルの製造方法
JP2003243156A (ja) * 2002-02-21 2003-08-29 Seiko Epson Corp 封止用基板及びその製造方法、表示装置並びに電子機器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004119281A (ja) 2004-04-15
TW200421915A (en) 2004-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110085632B (zh) 有机发光显示装置
KR100484109B1 (ko) 기판 제조방법, 이 기판제조방법을 이용한 유기 전계발광표시장치의 제조방법 및 유기 전계 발광 표시장치
TWI733146B (zh) 可撓式顯示裝置
TWI481299B (zh) Organic electroluminescent display and its manufacturing method
WO2016119315A1 (zh) Oled面板及其制备方法和显示装置
KR101368725B1 (ko) 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조방법
JP2003059664A (ja) 基板の補強方法
CN113287198B (zh) 显示面板及其制作方法和对位方法
KR101600482B1 (ko) 터치 스크린 및 그 제조 방법
KR102344277B1 (ko) 측면 배선이 형성된 글라스 기판을 구비한 디스플레이 모듈 및 디스플레이 모듈 제조 방법
US11335879B2 (en) Substrate and preparation method thereof, display panel and preparation method thereof, and display device
WO2020062730A1 (zh) 有机发光显示设备及其制备方法、制备支撑柱的掩膜板
US9385344B2 (en) Organic light emitting diode device and method of manufacturing the same
US8668541B2 (en) Method for manufacturing image display element
KR100652039B1 (ko) 전계발광소자
WO2004030415A1 (ja) Ｅｌ素子用封止板多面取り用マザーガラス基板、及びｅｌ素子用ガラス基板多面取り用マザーガラス基板
KR20100130511A (ko) 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
CN113299856B (zh) 显示基板及显示装置
KR20150070544A (ko) 유기 발광 표시장치 및 그 제조방법
CN113707029A (zh) 柔性显示模组及其制作方法
KR100508948B1 (ko) 유기 전계 발광 표시 장치
JP2004133035A (ja) ガラス板のアライメントマーク形成法、及び該形成法により形成されたアライメントマーク
KR102627283B1 (ko) 측변 구부림 구조를 갖는 유기발광 다이오드 표시 장치
US11903292B2 (en) Organic light emitting display device and method for manufacturing the same
KR102580436B1 (ko) 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CN KR US