KR20100130511A - 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 신뢰성을 향상시킴과 아울러 비용을 절감할 수 있는 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치는 하부 기판 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이부와, 상기 박막 트랜지스터 어레이부 위에 위치하며 유기발광셀들이 매트릭스 형태로 배열된 구조를 가지는 유기전계발광어레이부 및 상기 하부 기판과 상기 하부 기판의 가장자리에 형성된 실런트를 통해 합착되어 상기 유기전계발광어레이부를 보호하는 글래스 캡을 포함하여 이루어진 유기전계발광표시장치에 있어서, 상기 글래스 캡은 상기 실런트를 통해 하부 기판과 접착되는 수직부;와, 상기 수직부와 연결되어 상기 유기전계발광어레이부와 마주보며, 제 1 영역과, 상기 제 1 영역에 비해 상대적으로 작은 두께의 평면상 사각형의 홈들을 구비한 제 2 영역을 갖는 수평부; 및 상기 홈들 내에 위치하는 흡습제를 포함하는 것을 특징으로 한다.
글래스 캡, 수평부, 수직부, 홈

Description

유기전계발광표시장치 및 그 제조방법{Organic Electro-luminescence Display Device and Method For Fabricating Thereof}
본 발명은 유기전계발광표시장치에 관한 것으로 특히, 신뢰성을 향상시킴과 아울러 비용을 절감할 수 있는 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 들어, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 "LCD"라 함), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 PDP"라 함) 및 유기전계발광표시소자{일렉트로 루미네센스 디바이스(Electro-luminescence Display Device):이하 "유기EL표시소자"이라 함)}를 이용하는 EL발광표시장치(Electro-luminescence Display Device) 등이 있다. 이와 같은 평판표시장치의 표시품질을 높이고 대화면화를 시도하는 연구들이 활발히 진행되고 있다.
이들 중 유기EL표시소자는 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 이러한, 유기EL표시장치는 투명 한 기판 상에 형성된 박막트랜지스터 어레이부와, 상기 박막트랜지스터 어레이부 상에 위치하는 유기EL어레이부, 유기EL어레이부를 외부환경으로부터 격리시키기 위한 글래스(glass) 캡을 포함한다.
박막 트랜지스터 어레이부는 게이트 라인, 데이터 라인, 셀구동부 등 유기EL셀을 구동하기 위한 구동 소자들로 구성된다.
유기EL어레이부는 박막 트랜지스터 어레이부의 구동용 박막 트랜지스터와 접속되는 유기EL셀들이 매트릭스 형태로 배열된다.
유기EL어레이부의 유기EL셀들은 수분 및 산소에 쉽게 열화되는 특성을 가지고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 유기EL어레이부가 형성된 기판과 글래스 캡이 실런트를 통해 합착된다. 글래스 캡은 발광시 발생하는 열을 방출함과 아울러 외력이나 대기중의 산소 및 수분으로부터 유기EL어레이를 보호하게 된다.
글래스 캡에는 유기EL어레이부와 마주보는 면에 다수의 흡습제들이 부착되어 있다. 이러한, 흡습제는 글래스 캡에 의해 패키징된 유기EL어레이부에서의 수분 및 산소를 흡수하는 역할을 한다. 흡습제는 게터(getter) 라고도 한다.
그러나, 점차 유기EL표시장치가 대형화됨에 따라 글래스 캡이 쳐지게 되거나 흡습제가 부착된 부분이 외부의 압력에 의해 눌려지는 경우 흡습제에 의해 유기EL셀에 스크래치 등이 발생되어 다크 스팟(dark spot) 등의 화상불량이 발생된다. 그 결과, 유기EL어레이부 전체의 신뢰성이 저하된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 신뢰성을 향상시킴과 아울러 비용을 절감할 수 있는 유기EL표시장치 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치는 하부 기판 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이부와, 상기 박막 트랜지스터 어레이부 위에 위치하며 유기발광셀들이 매트릭스 형태로 배열된 구조를 가지는 유기전계발광어레이부 및 상기 하부 기판과 상기 하부 기판의 가장자리에 형성된 실런트를 통해 합착되어 상기 유기전계발광어레이부를 보호하는 글래스 캡을 포함하여 이루어진 유기전계발광표시장치에 있어서, 상기 글래스 캡은 상기 실런트를 통해 하부 기판과 접착되는 수직부;와, 상기 수직부와 연결되어 상기 유기전계발광어레이부와 마주보며, 제 1 영역과, 상기 제 1 영역에 비해 상대적으로 작은 두께의 평면상 사각형의 홈들을 구비한 제 2 영역을 갖는 수평부; 및 상기 홈들 내에 위치하는 흡습제를 포함하는 것이 그 특징이 있다.
상기 홈들은 상기 유기전계발광어레이부에 마주보는 면에 상기 수평부의 가장자리에 인접하여 형성된다.
이 때, 상기 제 1 영역 상에, 플라스틱 필름이 더 형성될 수도 있다. 상기 플라스틱 필름은 상기 제 1 영역과의 사이에 양면 테이프를 개재하여 부착되어 형 성될 수 있다. 혹은 상기 제 1 영역 및 상기 플라스틱 필름의 측벽에 금속 배선이 더 형성될 수도 있다. 상기 플라스틱 필름은, PET(Polyethylene Terephthalate), PET (Polyethylene Naphthalate), PC(Polycarbonate), PES(Polyethersulfone), PAR(Polyarylate), PCO(Photocatalytic oxidation) 및 PI(Polyimide) 중 어느 하나로 한다.
한편, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 두께 차는 상기 흡습제의 두께보다 높게 설정한다.
혹은 경우에 따라, 상기 홈들은 상기 유기전계발광어레이부에 마주보는 면에 상기 수평부 전체에 대응되어 각각 일정 간격 이격되어 형성될 수도 있다. 이 때, 상기 홈들을 그 사이사이의 영역에 정의하는 제 1 영역은 상기 수평부 상에서 평면상 격자 형상으로 형성된다. 상기 홈들을 갖는 수평부 상의 제 1 영역 상부에 놓여지는 플라스틱 필름을 더 포함할 수 있다. 이 경우에는, 상기 흡습제 상부에 대응되는 상기 플라스틱 필름에 홀을 더 구비한다. 상기 플라스틱 필름은 상기 제 1 영역과의 사이에 양면 테이프를 개재하여 부착될 수 있다.
한편, 상기 글래스 캡에 의해 보호되는 유기전계발광표시장치의 내부 공간은 대기압보다 높은 압력을 갖는다.
또한, 동일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유기전계발광표시장치의 제조방법은, 하부 기판 상에 박막 트랜지스터 어레이부 및 유기전계발광어레이부를 순차적으로 형성하는 단계, 상기 유기전계발광어레이부를 보호하는 글래스 캡을 형성하는 단계 및 상기 글래스 캡과 상기 하부 기판의 가장자리의 실런트를 통해 상기 하 부기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어지는 유기전계발광표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 글래스 캡을 형성하는 단계는 상기 실런트를 통해 하부 기판과 접착되는 수직부 및 상기 수직부와 연결되어 유기전계발광어레이부와 마주보며, 제 1 영역과, 상기 제 1 영역에 비해 상대적으로 작은 두께의 평면상 사각형의 홈들을 구비한 제 2 영역을 갖는 수평부를 형성하는 단계; 및 상기 홈들 내에 흡습제를 위치시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것에 또 다른 특징이 있다.
상기 수직부 및 수평부를 형성하는 단계는 글래스를 마련하는 단계;와, 제1 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정에 의해 상기 글래스를 패터닝하여 상기 수직부 및 상기 수직부 내에 수평부를 형성하는 단계; 및 제2 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정에 의해 상기 수평부에 상기 홈들을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
그 밖의 상기 수직부 및 수평부를 형성하는 단계는 글래스를 마련하는 단계;와, 반투과 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정에 의해 상기 글래스를 패터닝하여 상기 수직부 및 상기 홈들을 포함하는 수평부를 형성하는 단계를 포함하여 이루어질 수도 있다.
이러한 상기 수직부 및 상기 홈들을 포함하는 수평부를 형성하는 단계에 있어서, 상기 홈들에서 상기 수직부 방향으로 신장되어 상기 홈들과 수직부 사이에 마련되는 통로부를 형성하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
또한, 상기 홈들을 상기 수평부의 외곽에 정의할 때, 상기 수평부의 중심에 해당되는 제 1 영역 상에, 양면 테이프를 개재하여, 플라스틱 필름을 형성할 수도 있다. 이 때, 상기 제 1 영역 및 상기 플라스틱 필름의 측벽에 금속 배선을 형성하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
혹은 상기 홈들을 수평부 전면에 형성할 때, 상기 홈들 사이사이의 영역에 정의하는 제 1 영역은 상기 수평부 상에서 평면상 격자 형상으로 형성한다. 이 때, 상기 홈들을 갖는 수평부 상의 제 1 영역 상부에, 상기 흡습제 상부의 대응 부위에 홀을 구비한 플라스틱 필름을 더 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이 때, 상기 플라스틱 필름은 상기 제 1 영역과의 사이에 양면 테이프를 개재하여 부착한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은, 본 발명에 따른 유기EL표시장치 및 그 제조방법은 흡습제의 위치를 글래스 캡의 외곽에 마련된 홈 내에만 위치시킴에 따라 글래스 캡이 쳐지게 되거나 글래스 캡이 외부의 압력에 의해 눌려지더라도 흡습제는 유기EL셀과 접촉될 수 없게 된다. 그 결과, 스크래치 등에 의한 다크 스팟(dark spot) 등의 화상불량이 방지되어 유기EL표시장치의 신뢰성이 향상된다. 그리고, 외곽에만 흡습제가 위치하게 됨에 따라 재료비를 절감할 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기EL표시장치를 나타내는 도면이다.
도 1에 도시된 유기EL표시장치는 하부 기판(2) 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이부(15)와, 상기 박막 트랜지스터 어레이부(15) 상에 위치하는 유기EL어레이 부(20), 유기EL어레이부(20)를 외부환경으로부터 격리시키는 글래스 캡(50)을 포함한다.
박막 트랜지스터 어레이부(15)는 도 2에 도시된 바와 같은 회로 구성을 갖는다. 도 2를 참조하면, 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)의 교차로 정의된 영역에 각각 마련되는 화소(P)들이 매트릭스 형태로 배열된 구조를 가진다. 각각의 화소(P)들은 게이트 라인(GL)에 게이트 펄스가 공급될 때 데이터 라인(DL)으로부터의 데이터 신호를 공급받아 그 데이터신호에 상응하는 빛을 발생하게 된다.
이를 위하여, 화소(P)들 각각은 기저 전압원(GND)에 음극이 접속된 유기EL셀(EL)과, 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)과 공급 전압원(VDD)에 접속되고 유기EL셀(EL)의 양극에 접속되어 그 유기EL셀(EL)을 구동하기 위한 셀 구동부(60)를 구비한다. 셀구동부(152)는 스위칭용 박막 트랜지스터(T1), 구동용 박막 트랜지스터(T2) 및 캐패시터(C)를 구비한다.
스위칭용 박막 트랜지스터(T1)는 게이트 라인(GL)에 스캔 펄스가 공급되면 턴-온되어 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 신호를 제1 노드(N1)에 공급한다. 제1 노드(N1)에 공급된 데이터 신호는 캐패시터(C)에 충전됨과 아울러 구동용 박막 트랜지스터(T2)의 게이트 단자로 공급된다. 구동용 박막 트랜지스터(T2)는 게이트 단자로 공급되는 데이터 신호에 응답하여 공급 전압원(VDD)으로부터 유기EL셀(EL)로 공급되는 전류량(I)을 제어함으로써 유기EL셀(EL)의 발광량을 조절하게 된다. 그리고, 스위칭용 박막 트랜지스터(T1)가 턴-오프되더라도 캐패시터(C)에서 데이터 신호가 방전되므로 구동용 박막 트랜지스터(T2)는 다음 프레임의 데이터 신호가 공급 될 때까지 공급 전압원(VDD)으로부터의 전류(I)를 유기EL셀(EL)에 공급하여 유기EL셀(EL)이 발광을 유지하게 한다.
유기EL어레이부(20)는 유기EL셀(EL)들이 매트릭스 형태로 배열될 구조를 갖으며, 각각의 유기EL셀(EL)들은 유기발광층(10), 유기발광층(10)을 사이에 두고 위치하는 애노드 전극(4)과 캐소드 전극(12)을 포함한다. 유기EL셀(EL)은 박막 트랜지스터 어레이부(15)의 구동에 의해 발광하여 글래스 캡(50) 또는 하부 기판(2) 방향으로 출사시킨다. 여기서, 글래스 캡(50) 방향으로 광을 출사시켜 화상을 구현하는 상부 발광 유기전계발광표시장치의 경우에는 유기EL셀(EL)들과 박막 트랜지스터 어레이부(20) 사이에는 반사판이 위치할 수도 있다.
글래스 캡(50)은 유기EL어레이부(20)와 마주보는 면에 다수의 흡습제(52)들이 부착됨에 따라 유기EL어레이부에서의 수분 및 산소를 흡수하는 역할을 한다. 여기서, 상기 흡습제(52)는 게터(getter)제라고도 하며, 예를 들어, 산화칼슘(CaO)을 이용하여 형성할 수 있다.
이하, 도 1 및 3을 참조하여, 글래스 캡(50)에 대하여 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 도 1에서의 글래스 캡(50)의 내부 구조를 구체적으로 나타내는 평면도이다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 글래스 캡(50)은 실런트(26)를 통해 하부기판(2)과 접착되는 수직부(50a), 수직부(50a)와 수평을 이루며 유기EL어레이부(20)와 마주보는 면에 홈(54)들이 형성된 수평부(50b)로 구성된다.
수평부(50b)는 수평부(50b)의 중심영역이며 다른 영역에 비하여 두꺼운 두께를 갖는 제1 영역(A1), 제1 영역(A1)보다 얇은 두께를 갖으며 제1 영역(A1)의 바깥쪽으로 위치하며 사각형 공간의 홈(54)과 중첩되는 제2 영역(A2)들로 구분된다. 즉, 제2 영역(A2)은 제1 영역(A1)과는 비중첩되고 홈(54)들과는 중첩되는 영역이다.
흡습제(52)는 사각형 구조의 홈(54)들 내에만 위치하고 제1 영역(A1)과 중첩되는 영역에는 위치하지 않는다. 그리고, 흡습제(52)의 높이는 제1 영역(A1)과 제2 영역(A2) 간의 단차(d1), 즉, 제1 영역(A1)과 제2 영역(A2)의 두께 차보다 작은 두께를 갖는다. 이에 따라, 흡습제(52)는 제2 영역(A2)에 의해 구획되는 홈(54) 내에 둘러싸여짐에 됨에 따라 글래스 캡(50)이 쳐지게 되거나 글래스 캡(50)이 외부의 압력에 의해 눌려지더라도 흡습제(52)는 유기EL셀과 접촉될 수 없게 된다. 그 결과, 스크래치 등에 의한 다크 스팟(dark spot) 등의 화상불량이 방지되어 유기EL표시장치의 신뢰성이 향상된다.
이하, 도 4a 내지 도 4d를 참조하여, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기EL표시장치의 제조방법에 대하여 설명한다.
먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이 하부 기판(2) 위에 박막 트랜지스터 어레이부(15) 및 유기EL어레이부(20)를 순차적으로 형성한다. 여기서, 박막 트랜지스터 어레이부(15)에는 게이트라인(GL) 및 데이터 라인(DL), 스위칭용 박막트랜지스터(T1), 구동용 박막트랜지스터(T2) 및 캐패시터(C) 등을 포함한다.
다음으로, 도 4b에 도시된 바와 같은 글래스(51)를 마련한다.
이후, 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정을 이용하여 도 4c와 같이 수평부(50b)가 제1 영역(A1) 및 제2 영역(A2)으로 구분됨과 아울러 제1 영역(A1) 외곽에 위치하는 홈(54)들을 갖는 글래스 캡(52)을 형성한다. 여기서, 도 4c와 같은 구조의 글래스 캡(52)을 형성하기 위한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정은 여러 가지 방법을 이용하여 형성할 수 있다.
이하에서는 2가지 방법을 예를 들어 설명한다.
첫 번째는 2번의 마스크 공정에 의해 형성하는 방법으로써 제1 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정에 의해 글래스(51)를 패터닝하여 글래스 캡(52)의 수직부(50a) 및 제1 영역(A1)으로만 구성되는 수평부(50b) 까지 형성한다. 이후, 제2 마스크 공정을 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정에 의해 수평부(50b)의 외곽영역을 패터닝함에 따라 제1 영역(A1)보다 낮은 두께를 갖으며 제1 영역(A1)의 바깥쪽으로 위치하는 제2 영역(A2)을 형성함과 아울러 제1 영역(A1)과 제2 영역(A2)의 두께차로 형성되는 사각형 구조의 홈(54)들이 형성된다.
이에 따라, 제1 영역(A1), 제1 영역(A1) 낮은 두께를 갖는 제2 영역(A2), 사각형 형상의 홈(54)들을 포함하는 수평부(50b)가 완성된다.
한편, 제1 마스크 공정에서 제1 영역(A1)을 형성하고 제2 마스크 공정에 의해 제2 영역(A2)을 형성하는 방법을 소개하였지만 이에 한정되지 않고 제1 마스크에서 제2 영역(A2)을 형성하고 제2 마스크 공정에서 제2 영역(A2)보다 높은 두께를 갖는 제1 영역(A1)을 형성할 수도 있다.
두 번째는 반투과 마스크를 이용한 한 번의 포토리쏘그래피 공정에 의해 제1 영역(A1), 제1 영역(A1) 낮은 두께를 갖는 제2 영역(A2) 및 홈(54)들을 포함하는 수평부(50b)를 형성할 수도 있다. 이를 도 5a 및 도 5b를 참조하여 설명하면, 반투과 마스크를 이용한 노광 공정 및 현상 공정에 의해 도 5a에 도시된 바와 같이 제2 영역(A2) 또는 홈(54)이 형성될 영역과 대응되는 영역은 노출시키고, 수직부(50a)가 형성될 영역과 대응되는 영역에서는 상대적으로 높은 높이를 갖고 제1 영역(A1)이 형성될 영역과 대응되는 영역에서는 상대적으로 낮은 높이를 갖는 포토레지스트 패턴(60)을 형성한다.
이후, 식각 공정이 실시됨에 따라 글래스(51)에서 제2 영역(A2) 또는 홈(54)들이 형성될 영역이 일부 식각된다. 이어서, 애싱 공정을 실시함에 따라 도 5b에 도시된 바와 같이 제1 영역(A2) 즉, 홈(54)들이 형성될 영역과 비중첩되는 영역에서의 포토레지스트 패턴(60)은 제거되고 수직부(50a)가 형성될 영역에만 포토레지스트 패턴(60)이 잔류하게 된다. 이후, 다시 식각 공정을 실시함에 따라 도 4c에 도시된 바와 같이 수직부(50a), 제1 영역(A1), 제2 영역(A2) 및 홈(54)들을 포함하는 수평부(50b)로 구성되는 글래스 캡(50)이 형성된다.
이후, 도 4d에 도시된 바와 같이 제2 영역(A2)과 중첩되는 사각형 구조의 홈(54)의 저면에만 흡습제(52)를 부착시킨다. 여기서, 흡습제(52)의 높이는 제1 영역(A1)과 제2 영역(A2) 간의 단차(d1), 즉, 제1 영역(A1)과 제2 영역(A2)의 두께차, 또는 홈(54)의 깊이보다 작은 두께를 갖는다.
이후, 유기EL어레이부(20)부를 외부환경으로부터 보호하는 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 유기EL어레이부(20)가 형성된 기판(2)과 글래스 캡(50)이 실런트(26)를 통해 합착 된다. 여기서, 봉지(Encapsulation) 공정의 실시될 때의 환경을 대기압력 보다 크게 설정함으로써 봉지(Encapsulation) 공정이 실시된 후 글래스 캡(50)에 의해 봉지된 유기EL표시장치의 내부의 압력은 대기압보다 높게 된다. 종래 봉지(Encapsulation) 공정은 대기압보다 낮은 환경에서 실시되었다. 그러면, 봉지(Encapsulation) 공정이 완료되고 소정 시간이 경과 되면 유기EL표시장치 내의 저압력으로 인하여 글래스 캡(50)의 수평면이 유기EL어레이부 방향으로 쳐지는 일이 발생 됨에 따라 흡습제로 인한 스크래치를 더욱 가중되었다.
그러나, 본원 발명에서는 봉지(Encapsulation) 공정의 실시될 때의 환경을 대기압력보다 크게 설정함으로써 봉지공정이 완료된 후 유기EL표시장치의 내부 압력은 대기압력보다 높다. 그 결과, 글래스 캡(50)의 수평부(50b)가 유기EL어레이부 방향으로 쳐지는 일을 방지할 수 있게 된다.
이와 같은 봉지공정까지 종료되면 도 1에 도시된 바와 같은 유기EL표시장치가 형성되게 된다.
이와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기EL표시장치 및 그 제조방법은 글래스 캡(50)의 수평부(50b)를 다른 영역에 비하여 두꺼운 두께를 갖는 제1 영역(A1), 제1 영역(A1)보다 낮은 두께를 갖으며 제1 영역(A1)의 바깥쪽으로 위치하며 사각형 구조의 제2 영역(A2)들로 구분되도록 형성한다. 그리고, 흡습제(52)의 위치를 사각형 구조의 홈(54)들 내에만 부착시킴에 따라 글래스 캡(50)이 쳐지게 되거나 글래스 캡(50)이 외부의 압력에 의해 눌려지더라도 흡습제(52)는 유기EL셀과 접촉될 수 없게 된다. 그 결과, 스크래치 등에 의한 다크 스팟(dark spot) 등의 화상불량이 방지되어 유기EL표시장치의 신뢰성이 향상된다.
뿐만 아니라, 종래와 달리 봉지 공정을 대기압보다 높은 환경에서 실시함에 따라 글래스 캡(50)의 수평부(50b)가 유기EL어레이부(20) 방향으로 쳐지는 일을 방지할 수 있게 된다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 글래스 캡(50)의 내부 구조를 나타내는 배면도이고, 도 7은 도 6에서의 Ⅰ-Ⅰ'선을 절취하여 도시한 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 글래스 캡(50)의 수평부(50b)는 수평부(50b)의 중심영역이며 다른 영역에 비하여 두꺼운 두께를 갖는 제1 영역(A1), 제1 영역(A1)보다 낮은 두께를 갖으며 제1 영역(A1)의 바깥쪽으로 위치하는 제2 영역(A2)들, 제1 영역(A1)과 제2 영역(A2)에 의해 구획되는 사각형 구조의 홈(64)들 뿐만 아니라, 제2 영역(A2)과 동일한 두께를 갖으며 제2 영역(A2)에서 수직부(50a) 사이의 공간인 제3 영역(A3)을 더 포함한다. 그리고, 사각형 구조의 홈(52)들에서 수직부(50a) 방향으로 신장되며 수직부(50a)와 홈(64)들 사이에 마련됨과 아울러 제3 영역(A3)와 중첩되는 통로부(56)를 더 포함한다.
이를 제외하고는 제2 실시예에서의 글래스 캡(50)은 제1 실시예에서의 글래스 캡(50)과 동일한 구성을 가지므로 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 6 및 도 7에서의 제3 영역(A3)은 제1 및 제2 영역(A1, A2)을 둘러싸며 제2 영역(A2)과는 동일 평면에 위치한다. 그리고, 통로부(56)는 모든 홈(64)들을 둘 러싸며 홈(64)들과 연결됨에 따라 모든 홈(64)들이 고립되지 않고 서로 연결될 수 있도록 하는 통로 역할을 한다. 그 결과, 산소 및 수분이 어느 한쪽으로 집중되더라도 통로부(56)를 통해 산소 및 수분이 골고루 모든 흡습제(52) 들로 흡수될 수 있게 된다.
도 6 및 도 7에서의 글래스 캡(50)의 제조방법은 도 4a 내지 도 5b에 도시된 방법과 동일한 방법으로 형성될 수 있게 된다. 즉, 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정시 제2 영역(A2)을 형성함과 동시에 제3 영역(A3)을 동시에 형성함으로써 홈(43)들을 형성함과 동시에 통로부(56)을 마련할 수 있게 된다. 기타, 공정은 실시예 1에서의 도 4a 내지 도 5b 및 관련과 동일하다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법은 흡습제(52)를 수평부(50b)의 외곽에 마련된 홈(64) 내에만 부착시킴에 따라 글래스 캡(50)이 쳐지게 되거나 글래스 캡(50)이 외부의 압력에 의해 눌려지더라도 흡습제(52)는 유기EL셀과 접촉될 수 없게 된다. 그 결과, 스크래치 등에 의한 다크 스팟(dark spot) 등의 화상불량이 방지되어 유기EL표시장치의 신뢰성이 향상된다. 그리고, 최 외곽에만 흡습제가 위치하게 됨에 따라 재료비를 절감할 수 있게 된다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치를 나타낸 단면도이다.
도 8과 같이, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계발광 표시 장치에 있어서, 글래스 캡(50)이 갖는 구조는 앞서 설명한 도 1 및 도 3의 구조와 동일하다. 즉, 상기 글래스 캡(50)은, 유기EL어레이부(20)의 측부 상측으로 대응되며 수직 방 향의 수직부(50a)와, 상기 유기 EL 어레이부(20)를 덮는 형상으로 수평 방향의 수평부(50b)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 수평부(50b)는 중앙부의 제 1 영역(A1)과 외곽부의 상기 유기EL어레이부(20)와 마주보는 면에 홈(54)들이 형성된 제 2 영역(A2)으로 구분된다. 그리고, 상기 수직부(50a)는 실런트(26)를 통해 하부기판(2)과 접착된다.
여기서, 상기 제 1 영역(A1)은 제 2 영역(A2)보다 상대적으로 두꺼운 두께를 가지며, 상기 제 2 영역(A2)은 상기 제 1 영역(A1)과 비교하여 적어도 흡습제(52)의 두께 이상의 단차를 갖는 홈(54)을 구비하여 형성한다. 즉, 상기 홈(54)의 구비에 의해, 상기 글래스 캡(50)이 유기 EL 어레이부(20)를 덮을 때 외곽의 제 2 영역(A2)의 흡습제(52)가 유기 EL 어레이부(20)와 닿지 않게 한다. 이 때, 상기 홈(54)이 제 1 영역(A1)에 비해 상대적으로 갖는 단차는 약 100~200㎛에 상당하며, 상기 제 1 영역(A1)이 갖는 두께는 500~1000㎛의 두께에 상당한다.
여기서, 상기 제 1, 제 2 영역(A1, A2)을 포함한 수평부(50b)와 수직부(50a)를 포함한 글래스 캡(50)은 앞서 설명한 방식과 같이 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정을 이용하여 형성하거나, 혹은 샌딩(sanding) 혹은 몰딩(molding) 공정으로 형성할 수도 있다. 즉, 상대적으로 상기 홈(54)에 해당하는 상기 제 2 영역(A2)을 식각하거나 갈아내어 형성할 수 있다.
상기 흡습제(52)는 제2 영역(A2)에 의해 구획되는 홈(54) 내에 둘러싸여짐에 따라 글래스 캡(50)이 쳐지게 되거나 글래스 캡(50)이 외부의 압력에 의해 눌려지더라도 흡습제(52)는 유기EL어레이부(20)과 접촉될 수 없게 된다. 그 결과, 스크래 치 등에 의한 다크 스팟(dark spot) 등의 화상불량이 방지되어 유기EL표시장치의 신뢰성이 향상된다. 이 경우, 상기 흡습제(54)는 예를 들어, 산화칼슘(CaO) 를 이용할 수 있다.
더불어, 제 3 실시예에 있어서는, 상기 제 1 영역(A1) 상에 양면 테이프(165)을 개재하여 플라스틱 필름(160)을 더 형성함으로써, 실질적으로 상기 제 1 영역(A1)이 상기 유기 EL어레이부(20)과 접촉시, 상대적으로 글래스 캡(50)을 이루는 글래스(glass)보다 연성의 플라스틱 필름(60)이 유기EL어레이부(20)와 대응되게 되어, 유기EL어레이부(20)의 접촉 부위에서 손상이 최소화된다.
여기서, 상기 플라스틱 필름(160)은 PET(Polyethylene Terephthalate), PET (Polyethylene Naphthalate), PC(Polycarbonate), PES(Polyethersulfone), PAR(Polyarylate), PCO(Photocatalytic oxidation) 및 PI(Polyimide) 중 어느 하나를 이용하여 형성한다. 상기 플라스틱 필름(160)으로 이용하는 재료는 상술한 예 외에, 열에 의한 아웃 개싱(out-gassing)이 적고 외부의 물리적인 충격에 파손이 적은 성질을 갖는 재료 중에서 선택할 수 있을 것이다.
상기 플라스틱 필름(160)의 표면 거칠기는 최소가 되어야 좋으며, 이 때, 상기 플라스틱 필름(160) 자체는 전혀 접착성이 없는 성분으로 하고, 유기 EL 어레이부(20)에 접촉시 손상을 방지토록 한다. 상기 플라스틱 필름(160)을 상기 제 1 영역(A1)에 부착은 상술한 양쪽 면 방향으로 접착성을 갖는 양면 테이프(165)의 개재에 의하여 가능하다.
그리고, 상기 플라스틱 필름(160)의 에지에서 발생할 수 있는 끝말림(burr) 은 도면상에서 위의 방향으로 하여 도포가 이루어지게 하여, 이로 인한 유기 EL 어레이부(20)의 손상을 방지한다.
실질적으로 상기 유기 EL 어레이부(20)에 접촉되는 것은 수평부((50b)의 제 1 영역(A1)에 형성된 플라스틱 필름(60)으로, 접촉은 면접촉으로 이루어지고, 보다 유기 EL 어레이부(20)측의 손상을 막기 위해서는, 상기 유기 EL 어레이부 (20)의 상부측에 추가적으로 유기막 혹은 무기막을 더 코팅하여 형성할 수 있다.
이 경우, 상기 양면 테이프(165) 및 플라스틱 필름(160)의 형성 공정은 필름 부착 공정을 통해 이루어질 수 있다.
도 9는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치를 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제 4 실시예를 나타낸 것으로, 상술한 본 발명의 제 3 실시예에, 상대적으로 두꺼운 상기 제 1 영역(A1)과, 상기 플라스틱 필름(160)의 측면에 대응하여, 금속 배선(170)을 더 형성하는 것이다.
여기서, 상기 금속 배선(170)은 은, 금, 구리, 알루미늄 등의 금속으로, 기능은 상기 플라스틱 필름(160)에 의한 정전기를 차폐하기 위함이다.
이 때, 상기 금속 배선(170)의 형성은, 스퍼터링(sputtering) 또는 페이스팅(pasting)의 방법으로 이루어질 수 있다.
도 10은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치를 나타낸 단면도이며, 도 11은 도 10의 제 5 실시예에 따른 유기전계발광 표시 장치를 나타낸 평면도이다.
도 10 및 도 11과 같이, 본 발명의 제 5 실시예에 따른 유기 전계발광 표시 장치는 앞선 실시예들과 비교하여, 전 영역에 걸쳐 흡습제(182)를 형성한 예를 나타낸다.
본 발명의 제 5 실시예에 따른 유기 전계발광 표시 장치의, 글래스 캡(180)은, 상기 하부 기판(2)의 상부 가장자리에 대응되는 수직부(180a)와, 이와 연결되며, 일정 두께로 수평 방향을 가지고, 유기 EL 어레이부(20) 상에 대응되는 수평부(180b)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 수평부(180b)는 상대적으로 낮은 두께로 홈(184)이 구비된 제 1 영역(A4)과, 홈(184)들 사이에 영역들을 격자 형상을 구분해주는 제 2 영역(A5)로 나뉜다. 이들 상기 수평부(180b) 및 수직부(180a)는 일체형의 글래스이며, 상기 수평부(180b)의 홈(184)을 정의하고자 상술한 도 5a, 5b의 포토리쏘그래피 및 식각 공정 혹은 샌딩 혹은 몰딩 공정을 적용한다.
여기서, 본 발명의 제 5 실시예에 따른 유기 전계발광 표시장치의 형성 과정은 다음과 같다.
도 12a 내지 도 12c는 본 발명의 제 5 실시예의 글래스 캡 제조 공정을 나타낸 공정 단면도이며, 도 13a 내지 도 13c는 본 발명의 제 5 실시예의 글래스 캡 제조 공정을 나타낸 공정 평면도이다.
먼저, 도 12a 및 도 13a와 같이, 홈(184)을 복수개 이격하여 형성한 상기 글래스 캡(180)을 준비한다. 상술한 바와 같이, 상기 글래스 캡(180)은, 상대적으로 낮은 두께의 제 1 영역(A4)과, 상대적으로 높은 두께의 제 2 영역(A5)를 갖는 수평 부(180b)와, 이의 가장자리에 수직으로 연결된 수직부(180a)를 포함하여 이루어진다. 이 때, 상기 제 1 영역(A4)과 상기 제 2 영역(A5) 사이의 단차, 즉, 홈(184)의 두께는, 약 100~200㎛로, 이어 형성할 흡습제의 두께보다는 높은 두께로 형성한다.
이어, 도 12b 및 도 13b과 같이, 상기 수평부(180b) 상의 각 홈(184)에 대응하여, 흡습제(182)를 형성한다. 이 때, 상기 흡습제 (182) 사이사이는, 격자 형상을 이루는 제 2 영역(A5)이 대응된다.
이어, 도 12c 및 도 13c과 같이, 상기 제 2 영역(A5) 상에 양면 테이프(미도시)를 형성한 후, 상기 흡습제(182)가 형성된 제 1 영역(A4) 및 제 2 영역(A5)를 포함한 수평부(180b) 상에 상기 흡습제(182) 상부를 노출시키는 홀(185a)을 구비한 플라스틱 필름(180)을 형성한다.
여기서, 설명하는 플라스틱 필름(185)은 앞서 제 3 실시예에서 언급한 재료의 필름을 이용한다.
그리고, 제 5 실시예에 따른 구조는 앞서 실시예들에 비해, 상대적으로 글래스 캡(180)의 수평부(180b)의 홈의 형성이 수평부(180b)의 외곽을 포함하여 그 중앙에 더 형성된 것이다.
상기 홀(185a)은 도시된 바와 같이 원형으로 형성될 수 있고, 여러가지 형태의 다각형으로 형성될 수도 있다. 그 형상은 흡습제(182)의 기능을 저하하지 않는 수준에서 정하며, 그 크기는 0.1mm~5mm 의 직경을 갖는 형태로 형성한다. 상기 홀(185a)은 도시된 바와 같이, 흡습제(182)가 형성된 전 영역에 각각 형성될 수도 있고, 경우에 따라 하나의 영역 혹은 일부분에만 형성될 수도 있다.
도 14a 및 도 14b는 각각 종래의 구조에서의 불량과 본 발명의 구조의 불량 개선 정도를 나타낸 화소 확대사진이다.
도 14a 와 같이, 종래 구조에서는 글래스 캡에 형성된 흡습제 혹은 그 외의 구성물이 유기 EL어레이부에 접촉시 발생된 화소의 손상을 나타낸 것으로, 이 부분으로 사용자에게 시인되는 것으로, 시감을 저하시킴을 알 수 있다.
도 14b는 제 3 실시예에 따른 구조를 적용시 화소의 확대 구조를 나타낸 것으로, 화소가 손상없이 무결함 상태로 관찰되는 것을 알 수 있다. 이 경우, 종래 구조에서 글래스 캡의 구성물과 하부 유기 EL어레이부간의 접촉시 발생되는 손상에 의한 불량이 개선됨을 알 수 있다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치를 나타내는 단면도
도 2는 도 1의 박막 트랜지스터 어레이부를 나타내는 회로 구성도
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 캡의 내부 구조를 나타내는 평면도
도 4a 내지 도 4d는 도 1에 도시된 유기전계발광 표시장치의 제조방법을 나타내는 단면도
도 5a 및 도 4b는 도 4c공정을 구체적으로 설명하기 위한 단면도
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 캡의 내부 구조를 나타내는 평면도
도 7은 도 6에서의 Ⅰ-Ⅰ'선을 절취하여 도시한 단면도
도 8은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치를 나타낸 단면도
도 9는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치를 나타낸 단면도
도 10은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치를 나타낸 단면도
도 11은 도 10의 제 5 실시예에 따른 유기전계발광 표시 장치를 나타낸 평면도
도 12a 내지 도 12c는 본 발명의 제 5 실시예의 글래스 캡 제조 공정을 나타 낸 공정 단면도
도 13a 내지 도 13c는 본 발명의 제 5 실시예의 글래스 캡 제조 공정을 나타낸 공정 평면도
도 14a 및 도 14b는 각각 종래의 구조에서의 불량과 본 발명의 구조의 불량 개선 정도를 나타낸 화소 확대사진
＊도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명＊
2 : 하부 기판 50 : 글래스 캡
26 : 실런트 60 : 셀구동부
20 : 유기전계발광어레이부 15 : 박막 트랜지스터 어레이부
4 : 제1 전극 10 : 유기발광층
12 : 제2 전극 52 : 흡습제
54, 64 : 홈 56 : 통로부
160 : 플라스틱 필름 165 : 양면 테이프
170 : 금속 배선 180 : 글래스캡
180a : 수평부 180b : 수직부
182 : 흡습제 184 : 홈
185 : 플라스틱 필름 185a : 홀

Claims (26)

  1. 하부 기판 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이부와, 상기 박막 트랜지스터 어레이부 위에 위치하며 유기발광셀들이 매트릭스 형태로 배열된 구조를 가지는 유기전계발광어레이부 및 상기 하부 기판과 상기 하부 기판의 가장자리에 형성된 실런트를 통해 합착되어 상기 유기전계발광어레이부를 보호하는 글래스 캡을 포함하여 이루어진 유기전계발광표시장치에 있어서,
    상기 글래스 캡은
    상기 실런트를 통해 하부 기판과 접착되는 수직부;
    상기 수직부와 연결되어 상기 유기전계발광어레이부와 마주보며, 제 1 영역과, 상기 제 1 영역에 비해 상대적으로 작은 두께의 평면상 사각형의 홈들을 구비한 제 2 영역을 갖는 수평부; 및
    상기 홈들 내에 위치하는 흡습제를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 홈들은 상기 유기전계발광어레이부에 마주보는 면에 상기 수평부의 가장자리에 인접하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 홈들은 상기 유기전계발광어레이부에 마주보는 면에 상기 수평부 전체에 대응되어 각각 일정 간격 이격되어 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 두께 차는 상기 흡습제의 두께보다 높은 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 영역 상에, 플라스틱 필름이 더 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 플라스틱 필름은 상기 제 1 영역과의 사이에 양면 테이프를 개재하여 부착되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시 장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 플라스틱 필름은, PET(Polyethylene Terephthalate), PET (Polyethylene Naphthalate), PC(Polycarbonate), PES(Polyethersulfone), PAR(Polyarylate), PCO(Photocatalytic oxidation) 및 PI(Polyimide) 중 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 제 1 영역 및 상기 플라스틱 필름의 측벽에 금속 배선이 더 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치.
  9. 제 3항에 있어서,
    상기 홈들을 그 사이사이의 영역에 정의하는 제 1 영역은 상기 수평부 상에서 평면상 격자 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 홈들을 갖는 수평부 상의 제 1 영역 상부에 놓여지는 플라스틱 필름을 더 포함하는 것을 특징을 하는 유기전계발광표시장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 흡습제 상부에 대응되는 상기 플라스틱 필름에 홀을 더 구비한 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 플라스틱 필름은 상기 제 1 영역과의 사이에 양면 테이프를 개재하여 부착되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시 장치.
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 플라스틱 필름은, PET(Polyethylene Terephthalate), PET (Polyethylene Naphthalate), PC(Polycarbonate), PES(Polyethersulfone), PAR(Polyarylate), PCO(Photocatalytic oxidation) 및 PI(Polyimide) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 글래스 캡에 의해 보호되는 유기전계발광표시장치의 내부 공간은 대기압보다 높은 압력을 갖는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  15. 하부 기판 상에 박막 트랜지스터 어레이부 및 유기전계발광어레이부를 순차적으로 형성하는 단계, 상기 유기전계발광어레이부를 보호하는 글래스 캡을 형성하는 단계 및 상기 글래스 캡과 상기 하부 기판의 가장자리의 실런트를 통해 상기 하부기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어지는 유기전계발광표시장치의 제조방법에 있어서,
    상기 글래스 캡을 형성하는 단계는
    상기 실런트를 통해 하부 기판과 접착되는 수직부 및 상기 수직부와 연결되어 유기전계발광어레이부와 마주보며, 제 1 영역과, 상기 제 1 영역에 비해 상대적 으로 작은 두께의 평면상 사각형의 홈들을 구비한 제 2 영역을 갖는 수평부를 형성하는 단계; 및
    상기 홈들 내에 흡습제를 위치시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 홈들은 상기 유기전계발광어레이부에 마주보는 면에 상기 수평부의 가장자리에 인접하여 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  17. 제 15항에 있어서,
    상기 홈들은 상기 유기전계발광어레이부에 마주보는 면에 상기 수평부 전체에 대응되어 각각 일정 간격 이격하여 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치의 제조방법.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 수직부 및 수평부를 형성하는 단계는
    글래스를 마련하는 단계;
    제1 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정에 의해 상기 글래스를 패터닝하여 상기 수직부 및 상기 수직부 내에 수평부를 형성하는 단계; 및
    제2 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정에 의해 상기 수평부에 상기 홈들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  19. 제 15 항에 있어서,
    상기 수직부 및 수평부를 형성하는 단계는
    글래스를 마련하는 단계; 및
    반투과 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정에 의해 상기 글래스를 패터닝하여 상기 수직부 및 상기 홈들을 포함하는 수평부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  20. 제 18항 또는 제 19 항에 있어서,
    상기 수직부 및 상기 홈들을 포함하는 수평부를 형성하는 단계는
    상기 홈들에서 상기 수직부 방향으로 신장되어 상기 홈들과 수직부 사이에 마련되는 통로부를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  21. 제 15 항에 있어서,
    상기 홈의 깊이는 상기 흡습제의 두께보다 크게하여 설정하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법.
  22. 제 16항에 있어서,
    상기 제 1 영역 상에, 양면 테이프를 개재하여, 플라스틱 필름을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시 장치의 제조방법.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 제 1 영역 및 상기 플라스틱 필름의 측벽에 금속 배선을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치의 제조방법.
  24. 제 17항에 있어서,
    상기 홈들 사이사이의 영역에 정의하는 제 1 영역은 상기 수평부 상에서 평면상 격자 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  25. 제 24항에 있어서,
    상기 홈들을 갖는 수평부 상의 제 1 영역 상부에, 상기 흡습제 상부의 대응 부위에 홀을 구비한 플라스틱 필름을 더 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징을 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  26. 제 25항에 있어서,
    상기 플라스틱 필름은 상기 제 1 영역과의 사이에 양면 테이프를 개재하여 부착되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시 장치의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8362698B2 (en) * 2008-02-26 2013-01-29 Tohoku Pioneer Corporation Organic EL panel and its manufacturing method
KR20110007654A (ko) * 2009-07-17 2011-01-25 엘지디스플레이 주식회사 유기전계 발광소자 및 그 제조 방법
US11889713B2 (en) * 2018-10-02 2024-01-30 Sony Semiconductor Solutions Corporation Display device and electronic apparatus including seal part outside recess
CN110265565A (zh) * 2019-06-03 2019-09-20 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种显示装置及其封装方法
CN115799184B (zh) * 2023-02-13 2023-04-28 江西萨瑞半导体技术有限公司 一种半导体封装方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100477745B1 (ko) * 2002-05-23 2005-03-18 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계발광 소자의 봉지방법 및 이를 이용하는 유기전계발광 패널
KR100675625B1 (ko) * 2002-08-08 2007-02-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 유기전계발광소자 및 그 제조방법
JP2004227792A (ja) * 2003-01-20 2004-08-12 Renesas Technology Corp 有機エレクトロルミネッセンス表示装置
KR100611226B1 (ko) * 2003-11-25 2006-08-09 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시 장치
JP4837471B2 (ja) * 2006-02-20 2011-12-14 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100784012B1 (ko) * 2006-02-20 2007-12-07 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광표시장치 및 그의 제조방법
DE102006061943B4 (de) * 2006-12-29 2023-03-30 Pictiva Displays International Limited Lichtemittierende Vorrichtung
JP5257362B2 (ja) * 2007-09-07 2013-08-07 凸版印刷株式会社 パターン形成基板及びカラーフィルタそれを用いた液晶表示装置
JP2009070597A (ja) * 2007-09-11 2009-04-02 Seiko Epson Corp 発光装置

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