JP2004133035A - ガラス板のアライメントマーク形成法、及び該形成法により形成されたアライメントマーク - Google Patents
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Abstract
【課題】ガラス板に対する他のガラス板の位置合わせ精度を向上させることができるアライメントマークの形成法、及び該形成法により形成されたアライメントマークを提供することにある。
【解決手段】ＥＬディスプレイ１０は、ガラス基板１１と、ガラス基板１１に接着された封止板１２とから成り、封止板１２は、略円筒凹状の凹部３１の底面中心部に形成され、その頂面の高さが封止部１７と等しい略円柱凸状の凸部であるアライメントマーク１８を有し、アライメントマーク１８は、封止板１２の母材であるガラス素板４０の一方の表面４１上にマスキング４２と、マスキング４２と同心にエッチング部４３を形成すべく表面４１全面にマスキング４４を貼着し、このマスキング４２，４４が貼着されたガラス素板４０をエッチングすることにより形成される。
【選択図】 図３
【解決手段】ＥＬディスプレイ１０は、ガラス基板１１と、ガラス基板１１に接着された封止板１２とから成り、封止板１２は、略円筒凹状の凹部３１の底面中心部に形成され、その頂面の高さが封止部１７と等しい略円柱凸状の凸部であるアライメントマーク１８を有し、アライメントマーク１８は、封止板１２の母材であるガラス素板４０の一方の表面４１上にマスキング４２と、マスキング４２と同心にエッチング部４３を形成すべく表面４１全面にマスキング４４を貼着し、このマスキング４２，４４が貼着されたガラス素板４０をエッチングすることにより形成される。
【選択図】 図３
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス板のアライメントマークの形成法、及び該形成法により形成されたアライメントマークに関する。
【０００２】
【従来の技術】
フラットタイプの表示素子を用いた電子機器の表示装置は、表面に表示素子体が形成されたガラス板であるガラス基板と該ガラス基板上の表示素子体を覆うように他のガラス板であるガラス基板に接着された封止板とから成る。
【０００３】
フラットタイプの表示素子としては、例えば、ＬＣＤ、ＦＥＤ、ＰＤＰ、ＥＣＤ、ＥＬ（エレクトロ・ルミネッセンス）素子があり、これらの中でもＥＬ素子は、携帯電話やカーナビゲーションシステム等の表示部として用いられ、ＥＬディスプレイを構成する。
【０００４】
ＥＬディスプレイは、矩形のガラス基板と、ガラス基板上に形成されたＥＬ積層体と、中央部に凹部を規定するように周囲に周辺突条部を備え、ＥＬ積層体を覆うように周辺突条部の頂部の封止部において接着剤により矩形ガラス基板に接着された矩形のガラス製封止板とを備える。ガラス基板と封止板の各隅角部の対角線上には、２対のアライメントマークが設けられており、これらのアライメントマークの各々は略円筒凹状に形成されている（図７）。
【０００５】
封止板をガラス基板に接着する際は、概略の位置合わせの後、カメラ等で読み取った２対のアライメントマークの位置を画像認識等で処理することにより正確な位置合わせを行う。
【０００６】
封止板の材質としては、ガラス以外に金属、樹脂等があり、表示素子の構造や用途によりこれらは使い分けられている。ガラスはその耐湿性、耐候性、防湿性、透湿性、及び絶縁性から最も好適に用いられている。
【０００７】
封止板を凹状に加工する方法としては、プレス法、サンドブラスト法、エッチング法がある。これらの中で、プレス法は、封止部の平坦性が不十分であり、サンドブラスト法は、封止部の平坦性は十分であるが、加工面に生じるマイクロクラックにより封止板の強度が低くなる。これに対して、エッチング法は、封止部の平坦性と封止板の強度を共に確保することができる。
【０００８】
エッチング法には、ドライエッチング法とウェットエッチング法があり、通常バッチ式で用いられるウェットエッチング法は、通常枚葉式で用いられるドライエッチング法に比べて生産性が高い。
【０００９】
また、ガラス基板と封止板上の上記略円筒凹状のアライメントマークは、通常、エッチング法により形成される。
【００１０】
図６は、ガラス基板上にアライメントマークを形成する従来の方法を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）の線ＶＩｂ−ＶＩｂに関する断面図である。
【００１１】
図６において、まず、図示しないガラス基板の母材であるガラス素板１００の一方の表面上に直径５０μｍのエッチング部１０１を残して、マスキング１０２を貼着する。次いで、マスキング１０２が貼着されたガラス素板１００に対して所定時間エッチングを行い、このガラス素板１００を洗浄してマスキング１０２を剥離する。これにより、直径６５０μｍ、深さ３００μｍの略円筒凹状のアライメントマーク１０３を形成することができる（図７）（例えば、特許文献１参照。）。
【００１２】
【特許文献１】
特開平１０−３０１１４３号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、アライメントマーク１０３は、エッチング法の等方性からアライメントマーク１０３の横断面の直径（６５０μｍ）がアライメントマークの深さ（３００μｍ）の２倍よりも大きくなってしまい、アライメントマーク１０３を読取るべき範囲が広くなり、ガラス基板に対する封止板の位置合わせ精度が低下する。エッチング法により形成されたアライメントマークの横断面寸法を該アライメントマークの深さの２倍より小さくする方法としては、エッチングの途中で加工途中のアライメントマークを耐エッチング性の高い材料で封止する方法、また、最初にアライメントマーク形成位置を耐エッチング性の高い材質で封止しておき、適当量のエッチングが進んだ後にこの封止部分を取り除く方法等があるが、これらの方法は工程が煩雑である。
【００１４】
本発明の目的は、ガラス板に対する他のガラス板の位置合わせ精度を向上させることができるアライメントマークの形成法、及び該形成法により形成されたアライメントマークを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載のガラス板のアライメントマーク形成法は、アライメントマークを有する矩形のガラス板に取付けられる矩形の他のガラス板の一方の表面に前記ガラス板との位置合わせのための他のアライメントマークを形成するアライメントマーク形成法において、前記アライメントマークの所定の対応位置において前記他のガラス板の一方の表面に、所定の円周上に形成された孔を有するマスキングを貼着し、前記マスキングを介して前記他のガラス板の一方の表面をエッチングすることを特徴とする。
【００１６】
請求項２記載のアライメントマーク形成法は、請求項１記載のアライメントマーク形成法において、前記孔は円環状であることを特徴とする。
【００１７】
請求項３記載のアライメントマーク形成法は、請求項１記載のアライメントマーク形成法において、前記孔は少なくとも３つの孔から成ることを特徴とする。
【００１８】
請求項４記載のアライメントマーク形成法は、請求項３記載のアライメントマーク形成法において、前記孔は互いに等角度間隔に配列された４つの孔から成ることを特徴とする。
【００１９】
請求項５記載のアライメントマーク形成法は、請求項１乃至４いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法において、前記ガラス板は、フラットタイプ表示素子用ガラス基板であり、前記他のガラス板は、フラットタイプ表示素子用封止板であることを特徴とする。
【００２０】
請求項６記載のアライメントマーク形成法は、請求項１乃至４いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法において、前記ガラス板は、フラットタイプ表示素子用ガラス基板多面取り用マザーガラス基板であり、前記他のガラス板は、フラットタイプ表示素子用封止板多面取り用マザーガラス基板であることを特徴とする。
【００２１】
請求項７記載のアライメントマーク形成法は、請求項５又は６記載のアライメントマーク形成法において、前記アライメントマークは、パターニング法により形成することを特徴とする。
【００２２】
請求項８記載のアライメントマーク形成法は、請求項７記載のアライメントマーク形成法において、前記パターニング法は、前記ガラス板の一方の表面にＩＴＯ膜を貼着することを特徴とする。
【００２３】
請求項９記載のアライメントマーク形成法は、請求項５乃至８いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法において、前記フラットタイプ表示素子はＥＬ素子であることを特徴とする。
【００２４】
請求項１０記載のアライメントマーク形成法は、請求項１乃至９いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法において、前記エッチングはウェットエッチングであることを特徴とする。
【００２５】
請求項１１記載のアライメントマークは、請求項１乃至１０いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法により形成された前記他のアライメントマークであることを特徴とする。
【００２６】
請求項１２記載のアライメントマークは、アライメントマークを有する矩形のガラス板に取付けられる矩形の他のガラス板の一方の表面に形成された前記ガラス板との位置合わせのための他のアライメントマークであるアライメントマークであって、該アライメントマークは、前記他のガラス板の一方の表面に形成された凹状部内に形成された突起部であることを特徴とする。
【００２７】
請求項１３記載のアライメントマークは、請求項１２記載のアライメントマークにおいて、前記突起部の横断面の幅は、前記突起部の高さの２倍より小さいことを特徴とする。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係るアライメントマークが形成されたフラットタイプ表示素子用封止板及び該ガラス基板を図面を参照しながら詳述する。
【００２９】
図１は、本発明の実施の形態に係るアライメントマークが形成されたフラットタイプ表示素子用封止板及び該ガラス基板を備えるＥＬディスプレイの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の線Ｉｂ−Ｉｂに関する断面図ある。
【００３０】
図１において、ＥＬディスプレイ１０は、無アルカリガラス製の大きさ５ｃｍ角、厚さ１．１ｍｍのガラス基板１１と、ガラス基板１１の上に形成されたＥＬ積層体１４と、中央部に凹部１５を規定するように周囲に周辺突条部１６を備え、ＥＬ積層体１４を覆うように周辺突条部１６の頂部の封止部１７において接着剤１３によりガラス基板１１に接着された無アルカリガラス製の大きさ５ｃｍ角、厚さ０．８ｍｍの封止板１２とから成る。
【００３１】
封止板１２は、封止部１７上の隅角部において対角線上に後述する図２の略円筒凹状の凹部の底面中心部に形成された略円柱凸状の２つのアライメントマーク１８，１９を有し、ガラス基板１１は、封止板１２の封止部１７との接着部上においてアライメントマーク１８，１９の対応位置に対し所定の間隔でずらした位置に、同一サイズの円筒形アライメントマーク２１，２２を有する。
【００３２】
ＥＬ積層体１４は、ＩＴＯ膜から成るアノード電極２３と、該アノード電極２３の上面に積層され、後述する発光層を含むＥＬ積層膜２４と、ＥＬ積層膜２４の上面に積層されたＭｇ−Ａｇ合金製のカソード電極２５と、ＥＬ積層膜２４の側面においてカソード電極２５に接続されたＩＴＯ製の引出し電極２６とを備える。ＥＬ積層膜２４は、アノード電極２３側から順に、トリフェニルジアミンから成る正孔輸送層と、次いでキノリノールアルミ錯体から成る発光層と、カソード電極２５と発光層との間にトリアゾールやオキサジアゾールから成る透明な電子輸送層とから成る。
【００３３】
アライメントマーク２１，２２は、円筒状に形成されたＩＴＯ膜をガラス基板１１上に貼着することにより形成され、その高さはアノード電極２３と同じである。
【００３４】
封止板１２の凹部１５及び周辺突条部１６は、ウェットエッチング法を含むエッチング法、又はサンドブラスト法とによりガラス素板の所定部分を凹状に取り除くことにより形成される。
【００３５】
例えば、ウェットエッチング法は、まず、大きさ５ｃｍ角で厚みが０．８ｍｍの無アルカリガラス製ガラス素板に封止板１２の封止部１７に対応する位置にマスキング処理を施し、このマスキング処理が施されたガラス素板を、硫酸、塩酸、硝酸、及びリン酸からなる無機酸の群から選択された少なくとも１つの酸を適量含有するフッ化水素酸５〜５０質量％から成るエッチング液中に１０〜１８０分間程度静置して、ガラス素板から周辺突条部１６を残して凹状に取り除いて凹部１５を形成するものである。次いで、このガラス素板を純水で十分洗浄した後にマスキングを剥離する。なお、無機酸の群から選択される強酸は単体でも２種類以上混合したものであってもよい。また、上記エッチング液にはカルボン酸類、ジカルボン酸類、アミン類、及びアミノ酸類からなる群から選択された１種又は２種以上の有機の酸や塩基を適量含有させることが好ましく、界面活性剤も適量添加される場合もある。
【００３６】
封止板１２は、ガラス基板１１のＥＬディスプレイ１０内部側表面上をＥＬ積層体１４の発光する光が外部に透過する発光範囲、及び封止板１２が接着剤１３によって接着される接着範囲とが重ならないように、アライメントマーク１８とアライメントマーク２１、アライメントマーク１９とアライメントマーク２２とが夫々ＥＬディスプレイ１０の上面に垂直上方から見て予め決められた所定の位置関係となるように、ガラス基板１１に対して移動することにより位置合わせを行う。
【００３７】
アライメントマーク１８とアライメントマーク２１、アライメントマーク１９とアライメントマーク２２とを夫々上記位置関係にさせることは、まず、カメラ等でアライメントマーク１８、１９、２１、及び２２を読取り、読取った画像データを画像認識処理等を用いて画面に表示して画面上においてアライメントマーク１８とアライメントマーク２１、アライメントマーク１９とアライメントマーク２２とを夫々上記位置関係にさせる方法により行う。
【００３８】
以下、アライメントマーク１８，１９に関して詳細に説明する。アライメントマーク１８，１９は同一形状、同一サイズであるので、アライメントマーク１８に着目して説明を行う。この説明は、アライメントマーク１９に適宜適用される。
【００３９】
図２は、図１（ｂ）のアライメントマーク１８の形状を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の線ＩＩｂ−ＩＩｂに関する断面図である。
【００４０】
図２において、アライメントマーク１８は、横断面の直径が２２００μｍで深さが３００μｍの略円筒凹状の凹部３１の底面中心部に形成され、その頂面の高さが封止部１７と等しい横断面の直径が２００μｍの略円柱凸状の凸部である。アライメントマーク１８の横断面の寸法（２００μｍ）は、高さ（３００μｍ）の２倍より小さい。
【００４１】
アライメントマーク１８は、ウェットエッチング法を含むエッチング法を用いて下記の図３の方法により形成される。
【００４２】
図３は、図２のアライメントマーク１８の形成方法を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線ＩＩＩｃ−ＩＩＩｃに関する断面図である。
【００４３】
図３において、大きさ５ｃｍ角で厚さが０．８ｍｍの封止板１２の母材である無アルカリガラス製ガラス素板４０の一方の表面４１上で封止板１２のアライメントマーク１８，１９に対応する位置に直径８００μｍのマスキング４２と、マスキング４２と同心に直径１６００μｍの範囲を残して内径８００μｍで外径１６００μｍのエッチング部４３を形成すべく表面４１全面にマスキング４４を貼着する。
【００４４】
マスキング４２，４４は、マスキングする箇所にＣｒやＴｉ等の耐ＨＦ性の高い金属膜を成膜し、その上にフォトリソ用のレジストを配設してこのレジストを露光し現像して形成された金属膜である。なお、マスキング４２，４４は、フォトレジストとＣｒで形成されているものに限らず、例えば、耐ＨＦ性の高いインクで覆うものとしてもよく、フォトリソ等で耐ＨＦの高いレジストで覆うものとしてもよい。
【００４５】
アライメントマーク１８は、マスキング４２，４４が貼着されたガラス素板４０を硫酸、塩酸、硝酸、及びリン酸からなる無機酸の群から選択された少なくとも１つの酸を適量含有するフッ化水素酸５〜５０質量％から成るエッチング液中に６０分間程度静置して、ガラス素板４０から凸部３２を残して凹部３１を取除くことにより形成される。次いで、このガラス素板４０を純水で十分洗浄した後にマスキングを剥離する。なお、無機酸の群から選択される強酸は単体でも２種類以上混合したものであってもよい。また、上記エッチング液にはカルボン酸類、ジカルボン酸類、アミン類、及びアミノ酸類からなる群から選択された１種又は２種以上の有機の酸や塩基を適量含有させることが好ましく、界面活性剤も適量添加される場合もある。
【００４６】
上記方法により、ガラス素板４０は、エッチング部４３において表面４１から３００μｍの深さまで除去され、同時にエッチングの等方性により、ガラス素板４０は、エッチング部４３の内周（直径８００μｍ）から内側に３００μｍ除去され、また、エッチング部４３の外周（直径１６００μｍ）から外側に３００μｍ除去される。
【００４７】
その結果、ガラス素板４０の表面４１上には、横断面の直径が２２００μｍで深さが３００μｍの略円筒状の凹部３１と、凹部３１の底面中心に形成されてその頂面の高さが面４１と等しい横断面の直径が２００μｍの略円柱状の凸部であるアライメントマーク１８が形成される（図２）。
【００４８】
上記方法によりアライメントマーク１８，１９が形成されたガラス素板４０に対し、前述の方法により凹部１５及び周辺突条部１６を形成することにより、封止板１２が作製される。
【００４９】
本発明の実施の形態においては、ＥＬディスプレイ１０を形成すべく、封止板１２のガラス基板１１に対する位置合わせは、封止板１２のアライメントマーク１８，１９と、ガラス基板１１のアライメントマーク２１，２２とをカメラ等により読取り、読取った画像データを画像認識処理等を用いて画面に表示して画面上においてアライメントマーク１８とアライメントマーク２１、アライメントマーク１９とアライメントマーク２２とを夫々ＥＬディスプレイ１０の上面に垂直上方から見て上述の所定の位置関係にさせる方法により行うものであり、アライメントマーク１８，１９の横断面の直径が高さ３００μｍの２倍より小さい２００μｍと小さく、アライメントマーク２１，２２は任意の大きさにでき、このアライメントマーク１８，１９，２１，及び２２のカメラ等による読取りにおいて、比較的高倍率でアライメントマーク１８，１９，２１，及び２２を画面内に収めることができるため、ガラス基板１１に対する封止板１２の位置合わせを高精度で行うことができる。
【００５０】
本発明の実施の形態において、アライメントマーク１８，１９は、同一サイズであるが、アライメントマーク１８，１９のサイズはこれに限るものではなく、アライメントマーク１８，１９が互いに異なるサイズであってもよく、また、アライメントマーク２１，２２は、同一形状且つ同一サイズであるが、これに限るものではなく、例えば、夫々異なるサイズであってもよい。
【００５１】
本発明の実施の形態において、アライメントマーク１８，１９は、封止板１２の封止部１７上の隅角部において対角線上に形成されており、アライメントマーク２１，２２は、封止板１２の封止部１７との接着部上においてアライメントマーク１８，１９の対応位置に対し所定の間隔でずらした位置に形成されているが、アライメントマーク１８，１９，２１，及び２２の形成位置はこれに限るものではなく、例えば、アライメントマーク２１，２２をガラス基板１１の封止板１２のアライメントマーク１８，１９の対応位置に形成してもよい。
【００５２】
本発明の実施の形態においては、ガラス素板４０にアライメントマーク１８，１９を形成した後に凹部１５及び周辺突条部１６を形成するが、これに限るものではなく、例えば、ガラス素板４０にアライメントマーク１８，１９、凹部１５、及び周辺突条部１６を同時に形成してもよい。
【００５３】
本発明の実施の形態においては、アライメントマーク２１，２２はＩＴＯ膜により形成したが、これに限るものではない。
【００５４】
本発明の実施の形態においては、ガラス基板１１及び封止板１２の材質を無アルカリガラス製ガラスとしたが、これに限るものではなく、他のガラスでもよい。また、ガラス基板１１及び封止板１２形状も上記に限るものではない。
【００５５】
本発明の実施の形態においては、アライメントマーク１８，１９は封止板１２単体に、アライメントマーク２１，２２はガラス基板１１単体に設けられているが、アライメントマーク１８，１９を封止板１２多面取り用マザーガラス基板に形成してもよく、アライメントマーク２１，２２をガラス基板１１多面取り用マザーガラス基板に形成してもよい。
【００５６】
本発明の実施の形態においては、ガラス基板１１及び封止板１２はＥＬディスプレイ用としたがこれに限るものではなく、電子機器の表示装置に用いられるフラットタイプの表示素子、例えば、ＬＣＤ、ＦＥＤ、ＰＤＰ、及びＥＣＤのガラス基板及び封止板であってもよく、当該ガラス基板多面取り用マザーガラス基板及び当該封止板多面取り用マザーガラス基板であってもよい。
【００５７】
図４は、本発明の他の実施の形態に係るアライメントマークが形成されたフラットタイプ表示素子用封止板及び該ガラス基板に形成されたアライメントマークの形状を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線ＩＶｃ−ＩＶｃに関する断面図である。
【００５８】
本発明の他の実施の形態に係るアライメントマークが形成された封止板及びガラス基板は、図１における封止板１２に対してアライメントマーク１８，１９のみが異なるものであり、本発明の実施の形態に係るガラス基板１１及び封止板１２と同一の構成に対しては同一番号を付し、説明を省略する。本発明の他の実施の形態に係るアライメントマークは、すべて同一形状、同一サイズであるので、以下に本発明の他の実施の形態に係るアライメントマークに関してのみ説明する。
【００５９】
図４において、封止板１２の封止部１７上において、図１における封止板１２のアライメントマーク１８，１９に対応する位置に形成されたアライメントマーク５１は、１７００μｍ四方の正方形の４つの端部を夫々形成する２辺に夫々接し、この正方形を４つの等しい正方形に分割する軸線５２及び５３（図４（ｂ））に軸線５２及び５３の交点から１００μｍの点で夫々交わる４つの略円筒凹状の凹部５４により形成され、その頂面の高さが封止部１７と等しく横断面の対角間距離が夫々２００μｍの略矩形凸状の凸部である。アライメントマーク５１は、後述する図５の方法により形成される。
【００６０】
図５は、図４のアライメントマーク５１の形成方法を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線Ｖｃ−Ｖｃに関する断面図である。
【００６１】
図５において、封止板１２の母材であるガラス素板４０の一方の表面４１上に、図４（ｂ）の軸線５２に対応する軸線６３及び図４（ｂ）の軸線５３に対応する軸線６４から夫々５５０μｍの点を中心として直径７００μｍの４つのエッチング部６１を残して表面４１全面にマスキング６２が貼着する。
【００６２】
マスキング６２が貼着されたガラス素板４０が、上述の図３のエッチング法によりエッチング処理され、ガラス素板４０は、エッチング部６１において面４１から３００μｍの深さまで除去され、同時にエッチングの等方性によりエッチング部６１の円周（直径７００μｍ）から外側３００μｍが除去される。
【００６３】
その結果、ガラス素板４０の表面４１上には、上述の４つの深さ３００μｍの略円筒凹状の凹部５４と、凹部５４により形成され、横断面の対角間距離が２００μｍの略矩形凸状の凸部であるアライメントマーク５１が形成される（図４）。
【００６４】
本発明の他の実施の形態においては、アライメントマーク５１の横断面の対角間距離が高さ３００μｍの２倍より小さい２００μｍと小さいため、このアライメントマーク５１のカメラ等による読取りにおいて、比較的高倍率でアライメントマーク５１を画面内に収めることができるため、ガラス基板１１に対する封止板１２の位置合わせを高精度で行うことができる。
【００６５】
本発明の他の実施の形態において、封止板１２には、同一サイズのアライメントマーク５１が形成されているが、アライメントマーク５１のサイズはこれに限るものではなく、封止板１２に形成されたアライメントマーク５１が互いに異なるサイズであってもよい。
【００６６】
本発明の他の実施の形態において、アライメントマーク５１は、封止板１２の封止部１７上の隅角部において対角線上に形成されているが、アライメントマーク５１の形成位置はこれに限るものではない。
【００６７】
本発明の実施の形態においては、封止板１２にアライメントマーク１８，１９が、本発明の他の実施の形態においては、封止板１２にアライメントマーク５１が夫々形成されているが、封止板１２にアライメントマーク１８，５１を夫々形成してもよい。また、アライメントマーク１８，１９，５１は上記の形状に限るものではなく、上述の方法のように、周囲を削ることにより形成される凸部であってもよい。
【００６８】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１記載の板ガラス体のアライメントマーク形成法によれば、他のガラス板を、その一方の表面に貼着された所定の円周上に形成された孔を有するマスキングを介してエッチングするので、他のガラス板に形成された凹部の底面に形成された凸部として他のアライメントマークが形成され、その横断面幅は高さの２倍より小さくなり、他のアライメントマークをカメラ等により比較的高倍率で読取りることができ、読取った画像データを画像認識処理等を用いて画面に表示して画面上においてアライメントマークと他のアライメントマークとを高精度で一致させることができるため、ガラス板に対する他のガラス板の位置合わせ精度を向上させることができる。
【００６９】
請求項７記載のアライメントマーク形成法によれば、アライメントマークをパターニング法により形成するので、フラットタイプ表示素子をフラットタイプ表示素子用ガラス基板に形成する際に、アライメントマークを形成することができ、もってアライメントマークを効率的に形成することができる。
【００７０】
請求項１１記載のアライメントマークによれば、他のアライメントマークは、他のガラス板に形成された凹部の底面に形成された横断面幅が高さの２倍より小さい凸部であるので、他のアライメントマークをカメラ等により比較的高倍率で読取りることができ、読取った画像データを画像認識処理等を用いて画面に表示して画面上においてアライメントマークと他のアライメントマークとを高精度で一致させることができるため、ガラス板に対する他のガラス板の位置合わせ精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るアライメントマークが形成されたフラットタイプ表示素子用封止板及び該ガラス基板を備えるＥＬディスプレイの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の線Ｉｂ−Ｉｂに関する断面図ある。
【図２】図１（ｂ）のアライメントマーク１８の形状を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の線ＩＩｂ−ＩＩｂに関する断面図である。
【図３】図２のアライメントマーク１８の形成方法を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線ＩＩＩｃ−ＩＩＩｃに関する断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態に係るアライメントマークが形成されたフラットタイプ表示素子用封止板及び該ガラス基板に形成されたアライメントマークの形状を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線ＩＶｃ−ＩＶｃに関する断面図である。
【図５】図４のアライメントマーク５１の形成方法を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線Ｖｃ−Ｖｃに関する断面図である。
【図６】ガラス基板上にアライメントマークを形成する従来の方法を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）の線ＶＩｂ−ＶＩｂに関する断面図である。
【図７】図６の従来のアライメントマークの形成方法により形成さたアライメントマークの形状を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）の線ＶＩＩｂ−ＶＩＩｂに関する断面図である。
【符号の説明】
１０ ＥＬディスプレイ
１１ ガラス基板
１２ 封止板
１８，１９，２１，２２，５１ アライメントマーク
４０ ガラス素板
４２，４４，６２ マスキング
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス板のアライメントマークの形成法、及び該形成法により形成されたアライメントマークに関する。
【０００２】
【従来の技術】
フラットタイプの表示素子を用いた電子機器の表示装置は、表面に表示素子体が形成されたガラス板であるガラス基板と該ガラス基板上の表示素子体を覆うように他のガラス板であるガラス基板に接着された封止板とから成る。
【０００３】
フラットタイプの表示素子としては、例えば、ＬＣＤ、ＦＥＤ、ＰＤＰ、ＥＣＤ、ＥＬ（エレクトロ・ルミネッセンス）素子があり、これらの中でもＥＬ素子は、携帯電話やカーナビゲーションシステム等の表示部として用いられ、ＥＬディスプレイを構成する。
【０００４】
ＥＬディスプレイは、矩形のガラス基板と、ガラス基板上に形成されたＥＬ積層体と、中央部に凹部を規定するように周囲に周辺突条部を備え、ＥＬ積層体を覆うように周辺突条部の頂部の封止部において接着剤により矩形ガラス基板に接着された矩形のガラス製封止板とを備える。ガラス基板と封止板の各隅角部の対角線上には、２対のアライメントマークが設けられており、これらのアライメントマークの各々は略円筒凹状に形成されている（図７）。
【０００５】
封止板をガラス基板に接着する際は、概略の位置合わせの後、カメラ等で読み取った２対のアライメントマークの位置を画像認識等で処理することにより正確な位置合わせを行う。
【０００６】
封止板の材質としては、ガラス以外に金属、樹脂等があり、表示素子の構造や用途によりこれらは使い分けられている。ガラスはその耐湿性、耐候性、防湿性、透湿性、及び絶縁性から最も好適に用いられている。
【０００７】
封止板を凹状に加工する方法としては、プレス法、サンドブラスト法、エッチング法がある。これらの中で、プレス法は、封止部の平坦性が不十分であり、サンドブラスト法は、封止部の平坦性は十分であるが、加工面に生じるマイクロクラックにより封止板の強度が低くなる。これに対して、エッチング法は、封止部の平坦性と封止板の強度を共に確保することができる。
【０００８】
エッチング法には、ドライエッチング法とウェットエッチング法があり、通常バッチ式で用いられるウェットエッチング法は、通常枚葉式で用いられるドライエッチング法に比べて生産性が高い。
【０００９】
また、ガラス基板と封止板上の上記略円筒凹状のアライメントマークは、通常、エッチング法により形成される。
【００１０】
図６は、ガラス基板上にアライメントマークを形成する従来の方法を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）の線ＶＩｂ−ＶＩｂに関する断面図である。
【００１１】
図６において、まず、図示しないガラス基板の母材であるガラス素板１００の一方の表面上に直径５０μｍのエッチング部１０１を残して、マスキング１０２を貼着する。次いで、マスキング１０２が貼着されたガラス素板１００に対して所定時間エッチングを行い、このガラス素板１００を洗浄してマスキング１０２を剥離する。これにより、直径６５０μｍ、深さ３００μｍの略円筒凹状のアライメントマーク１０３を形成することができる（図７）（例えば、特許文献１参照。）。
【００１２】
【特許文献１】
特開平１０−３０１１４３号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、アライメントマーク１０３は、エッチング法の等方性からアライメントマーク１０３の横断面の直径（６５０μｍ）がアライメントマークの深さ（３００μｍ）の２倍よりも大きくなってしまい、アライメントマーク１０３を読取るべき範囲が広くなり、ガラス基板に対する封止板の位置合わせ精度が低下する。エッチング法により形成されたアライメントマークの横断面寸法を該アライメントマークの深さの２倍より小さくする方法としては、エッチングの途中で加工途中のアライメントマークを耐エッチング性の高い材料で封止する方法、また、最初にアライメントマーク形成位置を耐エッチング性の高い材質で封止しておき、適当量のエッチングが進んだ後にこの封止部分を取り除く方法等があるが、これらの方法は工程が煩雑である。
【００１４】
本発明の目的は、ガラス板に対する他のガラス板の位置合わせ精度を向上させることができるアライメントマークの形成法、及び該形成法により形成されたアライメントマークを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載のガラス板のアライメントマーク形成法は、アライメントマークを有する矩形のガラス板に取付けられる矩形の他のガラス板の一方の表面に前記ガラス板との位置合わせのための他のアライメントマークを形成するアライメントマーク形成法において、前記アライメントマークの所定の対応位置において前記他のガラス板の一方の表面に、所定の円周上に形成された孔を有するマスキングを貼着し、前記マスキングを介して前記他のガラス板の一方の表面をエッチングすることを特徴とする。
【００１６】
請求項２記載のアライメントマーク形成法は、請求項１記載のアライメントマーク形成法において、前記孔は円環状であることを特徴とする。
【００１７】
請求項３記載のアライメントマーク形成法は、請求項１記載のアライメントマーク形成法において、前記孔は少なくとも３つの孔から成ることを特徴とする。
【００１８】
請求項４記載のアライメントマーク形成法は、請求項３記載のアライメントマーク形成法において、前記孔は互いに等角度間隔に配列された４つの孔から成ることを特徴とする。
【００１９】
請求項５記載のアライメントマーク形成法は、請求項１乃至４いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法において、前記ガラス板は、フラットタイプ表示素子用ガラス基板であり、前記他のガラス板は、フラットタイプ表示素子用封止板であることを特徴とする。
【００２０】
請求項６記載のアライメントマーク形成法は、請求項１乃至４いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法において、前記ガラス板は、フラットタイプ表示素子用ガラス基板多面取り用マザーガラス基板であり、前記他のガラス板は、フラットタイプ表示素子用封止板多面取り用マザーガラス基板であることを特徴とする。
【００２１】
請求項７記載のアライメントマーク形成法は、請求項５又は６記載のアライメントマーク形成法において、前記アライメントマークは、パターニング法により形成することを特徴とする。
【００２２】
請求項８記載のアライメントマーク形成法は、請求項７記載のアライメントマーク形成法において、前記パターニング法は、前記ガラス板の一方の表面にＩＴＯ膜を貼着することを特徴とする。
【００２３】
請求項９記載のアライメントマーク形成法は、請求項５乃至８いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法において、前記フラットタイプ表示素子はＥＬ素子であることを特徴とする。
【００２４】
請求項１０記載のアライメントマーク形成法は、請求項１乃至９いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法において、前記エッチングはウェットエッチングであることを特徴とする。
【００２５】
請求項１１記載のアライメントマークは、請求項１乃至１０いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法により形成された前記他のアライメントマークであることを特徴とする。
【００２６】
請求項１２記載のアライメントマークは、アライメントマークを有する矩形のガラス板に取付けられる矩形の他のガラス板の一方の表面に形成された前記ガラス板との位置合わせのための他のアライメントマークであるアライメントマークであって、該アライメントマークは、前記他のガラス板の一方の表面に形成された凹状部内に形成された突起部であることを特徴とする。
【００２７】
請求項１３記載のアライメントマークは、請求項１２記載のアライメントマークにおいて、前記突起部の横断面の幅は、前記突起部の高さの２倍より小さいことを特徴とする。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係るアライメントマークが形成されたフラットタイプ表示素子用封止板及び該ガラス基板を図面を参照しながら詳述する。
【００２９】
図１は、本発明の実施の形態に係るアライメントマークが形成されたフラットタイプ表示素子用封止板及び該ガラス基板を備えるＥＬディスプレイの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の線Ｉｂ−Ｉｂに関する断面図ある。
【００３０】
図１において、ＥＬディスプレイ１０は、無アルカリガラス製の大きさ５ｃｍ角、厚さ１．１ｍｍのガラス基板１１と、ガラス基板１１の上に形成されたＥＬ積層体１４と、中央部に凹部１５を規定するように周囲に周辺突条部１６を備え、ＥＬ積層体１４を覆うように周辺突条部１６の頂部の封止部１７において接着剤１３によりガラス基板１１に接着された無アルカリガラス製の大きさ５ｃｍ角、厚さ０．８ｍｍの封止板１２とから成る。
【００３１】
封止板１２は、封止部１７上の隅角部において対角線上に後述する図２の略円筒凹状の凹部の底面中心部に形成された略円柱凸状の２つのアライメントマーク１８，１９を有し、ガラス基板１１は、封止板１２の封止部１７との接着部上においてアライメントマーク１８，１９の対応位置に対し所定の間隔でずらした位置に、同一サイズの円筒形アライメントマーク２１，２２を有する。
【００３２】
ＥＬ積層体１４は、ＩＴＯ膜から成るアノード電極２３と、該アノード電極２３の上面に積層され、後述する発光層を含むＥＬ積層膜２４と、ＥＬ積層膜２４の上面に積層されたＭｇ−Ａｇ合金製のカソード電極２５と、ＥＬ積層膜２４の側面においてカソード電極２５に接続されたＩＴＯ製の引出し電極２６とを備える。ＥＬ積層膜２４は、アノード電極２３側から順に、トリフェニルジアミンから成る正孔輸送層と、次いでキノリノールアルミ錯体から成る発光層と、カソード電極２５と発光層との間にトリアゾールやオキサジアゾールから成る透明な電子輸送層とから成る。
【００３３】
アライメントマーク２１，２２は、円筒状に形成されたＩＴＯ膜をガラス基板１１上に貼着することにより形成され、その高さはアノード電極２３と同じである。
【００３４】
封止板１２の凹部１５及び周辺突条部１６は、ウェットエッチング法を含むエッチング法、又はサンドブラスト法とによりガラス素板の所定部分を凹状に取り除くことにより形成される。
【００３５】
例えば、ウェットエッチング法は、まず、大きさ５ｃｍ角で厚みが０．８ｍｍの無アルカリガラス製ガラス素板に封止板１２の封止部１７に対応する位置にマスキング処理を施し、このマスキング処理が施されたガラス素板を、硫酸、塩酸、硝酸、及びリン酸からなる無機酸の群から選択された少なくとも１つの酸を適量含有するフッ化水素酸５〜５０質量％から成るエッチング液中に１０〜１８０分間程度静置して、ガラス素板から周辺突条部１６を残して凹状に取り除いて凹部１５を形成するものである。次いで、このガラス素板を純水で十分洗浄した後にマスキングを剥離する。なお、無機酸の群から選択される強酸は単体でも２種類以上混合したものであってもよい。また、上記エッチング液にはカルボン酸類、ジカルボン酸類、アミン類、及びアミノ酸類からなる群から選択された１種又は２種以上の有機の酸や塩基を適量含有させることが好ましく、界面活性剤も適量添加される場合もある。
【００３６】
封止板１２は、ガラス基板１１のＥＬディスプレイ１０内部側表面上をＥＬ積層体１４の発光する光が外部に透過する発光範囲、及び封止板１２が接着剤１３によって接着される接着範囲とが重ならないように、アライメントマーク１８とアライメントマーク２１、アライメントマーク１９とアライメントマーク２２とが夫々ＥＬディスプレイ１０の上面に垂直上方から見て予め決められた所定の位置関係となるように、ガラス基板１１に対して移動することにより位置合わせを行う。
【００３７】
アライメントマーク１８とアライメントマーク２１、アライメントマーク１９とアライメントマーク２２とを夫々上記位置関係にさせることは、まず、カメラ等でアライメントマーク１８、１９、２１、及び２２を読取り、読取った画像データを画像認識処理等を用いて画面に表示して画面上においてアライメントマーク１８とアライメントマーク２１、アライメントマーク１９とアライメントマーク２２とを夫々上記位置関係にさせる方法により行う。
【００３８】
以下、アライメントマーク１８，１９に関して詳細に説明する。アライメントマーク１８，１９は同一形状、同一サイズであるので、アライメントマーク１８に着目して説明を行う。この説明は、アライメントマーク１９に適宜適用される。
【００３９】
図２は、図１（ｂ）のアライメントマーク１８の形状を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の線ＩＩｂ−ＩＩｂに関する断面図である。
【００４０】
図２において、アライメントマーク１８は、横断面の直径が２２００μｍで深さが３００μｍの略円筒凹状の凹部３１の底面中心部に形成され、その頂面の高さが封止部１７と等しい横断面の直径が２００μｍの略円柱凸状の凸部である。アライメントマーク１８の横断面の寸法（２００μｍ）は、高さ（３００μｍ）の２倍より小さい。
【００４１】
アライメントマーク１８は、ウェットエッチング法を含むエッチング法を用いて下記の図３の方法により形成される。
【００４２】
図３は、図２のアライメントマーク１８の形成方法を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線ＩＩＩｃ−ＩＩＩｃに関する断面図である。
【００４３】
図３において、大きさ５ｃｍ角で厚さが０．８ｍｍの封止板１２の母材である無アルカリガラス製ガラス素板４０の一方の表面４１上で封止板１２のアライメントマーク１８，１９に対応する位置に直径８００μｍのマスキング４２と、マスキング４２と同心に直径１６００μｍの範囲を残して内径８００μｍで外径１６００μｍのエッチング部４３を形成すべく表面４１全面にマスキング４４を貼着する。
【００４４】
マスキング４２，４４は、マスキングする箇所にＣｒやＴｉ等の耐ＨＦ性の高い金属膜を成膜し、その上にフォトリソ用のレジストを配設してこのレジストを露光し現像して形成された金属膜である。なお、マスキング４２，４４は、フォトレジストとＣｒで形成されているものに限らず、例えば、耐ＨＦ性の高いインクで覆うものとしてもよく、フォトリソ等で耐ＨＦの高いレジストで覆うものとしてもよい。
【００４５】
アライメントマーク１８は、マスキング４２，４４が貼着されたガラス素板４０を硫酸、塩酸、硝酸、及びリン酸からなる無機酸の群から選択された少なくとも１つの酸を適量含有するフッ化水素酸５〜５０質量％から成るエッチング液中に６０分間程度静置して、ガラス素板４０から凸部３２を残して凹部３１を取除くことにより形成される。次いで、このガラス素板４０を純水で十分洗浄した後にマスキングを剥離する。なお、無機酸の群から選択される強酸は単体でも２種類以上混合したものであってもよい。また、上記エッチング液にはカルボン酸類、ジカルボン酸類、アミン類、及びアミノ酸類からなる群から選択された１種又は２種以上の有機の酸や塩基を適量含有させることが好ましく、界面活性剤も適量添加される場合もある。
【００４６】
上記方法により、ガラス素板４０は、エッチング部４３において表面４１から３００μｍの深さまで除去され、同時にエッチングの等方性により、ガラス素板４０は、エッチング部４３の内周（直径８００μｍ）から内側に３００μｍ除去され、また、エッチング部４３の外周（直径１６００μｍ）から外側に３００μｍ除去される。
【００４７】
その結果、ガラス素板４０の表面４１上には、横断面の直径が２２００μｍで深さが３００μｍの略円筒状の凹部３１と、凹部３１の底面中心に形成されてその頂面の高さが面４１と等しい横断面の直径が２００μｍの略円柱状の凸部であるアライメントマーク１８が形成される（図２）。
【００４８】
上記方法によりアライメントマーク１８，１９が形成されたガラス素板４０に対し、前述の方法により凹部１５及び周辺突条部１６を形成することにより、封止板１２が作製される。
【００４９】
本発明の実施の形態においては、ＥＬディスプレイ１０を形成すべく、封止板１２のガラス基板１１に対する位置合わせは、封止板１２のアライメントマーク１８，１９と、ガラス基板１１のアライメントマーク２１，２２とをカメラ等により読取り、読取った画像データを画像認識処理等を用いて画面に表示して画面上においてアライメントマーク１８とアライメントマーク２１、アライメントマーク１９とアライメントマーク２２とを夫々ＥＬディスプレイ１０の上面に垂直上方から見て上述の所定の位置関係にさせる方法により行うものであり、アライメントマーク１８，１９の横断面の直径が高さ３００μｍの２倍より小さい２００μｍと小さく、アライメントマーク２１，２２は任意の大きさにでき、このアライメントマーク１８，１９，２１，及び２２のカメラ等による読取りにおいて、比較的高倍率でアライメントマーク１８，１９，２１，及び２２を画面内に収めることができるため、ガラス基板１１に対する封止板１２の位置合わせを高精度で行うことができる。
【００５０】
本発明の実施の形態において、アライメントマーク１８，１９は、同一サイズであるが、アライメントマーク１８，１９のサイズはこれに限るものではなく、アライメントマーク１８，１９が互いに異なるサイズであってもよく、また、アライメントマーク２１，２２は、同一形状且つ同一サイズであるが、これに限るものではなく、例えば、夫々異なるサイズであってもよい。
【００５１】
本発明の実施の形態において、アライメントマーク１８，１９は、封止板１２の封止部１７上の隅角部において対角線上に形成されており、アライメントマーク２１，２２は、封止板１２の封止部１７との接着部上においてアライメントマーク１８，１９の対応位置に対し所定の間隔でずらした位置に形成されているが、アライメントマーク１８，１９，２１，及び２２の形成位置はこれに限るものではなく、例えば、アライメントマーク２１，２２をガラス基板１１の封止板１２のアライメントマーク１８，１９の対応位置に形成してもよい。
【００５２】
本発明の実施の形態においては、ガラス素板４０にアライメントマーク１８，１９を形成した後に凹部１５及び周辺突条部１６を形成するが、これに限るものではなく、例えば、ガラス素板４０にアライメントマーク１８，１９、凹部１５、及び周辺突条部１６を同時に形成してもよい。
【００５３】
本発明の実施の形態においては、アライメントマーク２１，２２はＩＴＯ膜により形成したが、これに限るものではない。
【００５４】
本発明の実施の形態においては、ガラス基板１１及び封止板１２の材質を無アルカリガラス製ガラスとしたが、これに限るものではなく、他のガラスでもよい。また、ガラス基板１１及び封止板１２形状も上記に限るものではない。
【００５５】
本発明の実施の形態においては、アライメントマーク１８，１９は封止板１２単体に、アライメントマーク２１，２２はガラス基板１１単体に設けられているが、アライメントマーク１８，１９を封止板１２多面取り用マザーガラス基板に形成してもよく、アライメントマーク２１，２２をガラス基板１１多面取り用マザーガラス基板に形成してもよい。
【００５６】
本発明の実施の形態においては、ガラス基板１１及び封止板１２はＥＬディスプレイ用としたがこれに限るものではなく、電子機器の表示装置に用いられるフラットタイプの表示素子、例えば、ＬＣＤ、ＦＥＤ、ＰＤＰ、及びＥＣＤのガラス基板及び封止板であってもよく、当該ガラス基板多面取り用マザーガラス基板及び当該封止板多面取り用マザーガラス基板であってもよい。
【００５７】
図４は、本発明の他の実施の形態に係るアライメントマークが形成されたフラットタイプ表示素子用封止板及び該ガラス基板に形成されたアライメントマークの形状を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線ＩＶｃ−ＩＶｃに関する断面図である。
【００５８】
本発明の他の実施の形態に係るアライメントマークが形成された封止板及びガラス基板は、図１における封止板１２に対してアライメントマーク１８，１９のみが異なるものであり、本発明の実施の形態に係るガラス基板１１及び封止板１２と同一の構成に対しては同一番号を付し、説明を省略する。本発明の他の実施の形態に係るアライメントマークは、すべて同一形状、同一サイズであるので、以下に本発明の他の実施の形態に係るアライメントマークに関してのみ説明する。
【００５９】
図４において、封止板１２の封止部１７上において、図１における封止板１２のアライメントマーク１８，１９に対応する位置に形成されたアライメントマーク５１は、１７００μｍ四方の正方形の４つの端部を夫々形成する２辺に夫々接し、この正方形を４つの等しい正方形に分割する軸線５２及び５３（図４（ｂ））に軸線５２及び５３の交点から１００μｍの点で夫々交わる４つの略円筒凹状の凹部５４により形成され、その頂面の高さが封止部１７と等しく横断面の対角間距離が夫々２００μｍの略矩形凸状の凸部である。アライメントマーク５１は、後述する図５の方法により形成される。
【００６０】
図５は、図４のアライメントマーク５１の形成方法を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線Ｖｃ−Ｖｃに関する断面図である。
【００６１】
図５において、封止板１２の母材であるガラス素板４０の一方の表面４１上に、図４（ｂ）の軸線５２に対応する軸線６３及び図４（ｂ）の軸線５３に対応する軸線６４から夫々５５０μｍの点を中心として直径７００μｍの４つのエッチング部６１を残して表面４１全面にマスキング６２が貼着する。
【００６２】
マスキング６２が貼着されたガラス素板４０が、上述の図３のエッチング法によりエッチング処理され、ガラス素板４０は、エッチング部６１において面４１から３００μｍの深さまで除去され、同時にエッチングの等方性によりエッチング部６１の円周（直径７００μｍ）から外側３００μｍが除去される。
【００６３】
その結果、ガラス素板４０の表面４１上には、上述の４つの深さ３００μｍの略円筒凹状の凹部５４と、凹部５４により形成され、横断面の対角間距離が２００μｍの略矩形凸状の凸部であるアライメントマーク５１が形成される（図４）。
【００６４】
本発明の他の実施の形態においては、アライメントマーク５１の横断面の対角間距離が高さ３００μｍの２倍より小さい２００μｍと小さいため、このアライメントマーク５１のカメラ等による読取りにおいて、比較的高倍率でアライメントマーク５１を画面内に収めることができるため、ガラス基板１１に対する封止板１２の位置合わせを高精度で行うことができる。
【００６５】
本発明の他の実施の形態において、封止板１２には、同一サイズのアライメントマーク５１が形成されているが、アライメントマーク５１のサイズはこれに限るものではなく、封止板１２に形成されたアライメントマーク５１が互いに異なるサイズであってもよい。
【００６６】
本発明の他の実施の形態において、アライメントマーク５１は、封止板１２の封止部１７上の隅角部において対角線上に形成されているが、アライメントマーク５１の形成位置はこれに限るものではない。
【００６７】
本発明の実施の形態においては、封止板１２にアライメントマーク１８，１９が、本発明の他の実施の形態においては、封止板１２にアライメントマーク５１が夫々形成されているが、封止板１２にアライメントマーク１８，５１を夫々形成してもよい。また、アライメントマーク１８，１９，５１は上記の形状に限るものではなく、上述の方法のように、周囲を削ることにより形成される凸部であってもよい。
【００６８】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１記載の板ガラス体のアライメントマーク形成法によれば、他のガラス板を、その一方の表面に貼着された所定の円周上に形成された孔を有するマスキングを介してエッチングするので、他のガラス板に形成された凹部の底面に形成された凸部として他のアライメントマークが形成され、その横断面幅は高さの２倍より小さくなり、他のアライメントマークをカメラ等により比較的高倍率で読取りることができ、読取った画像データを画像認識処理等を用いて画面に表示して画面上においてアライメントマークと他のアライメントマークとを高精度で一致させることができるため、ガラス板に対する他のガラス板の位置合わせ精度を向上させることができる。
【００６９】
請求項７記載のアライメントマーク形成法によれば、アライメントマークをパターニング法により形成するので、フラットタイプ表示素子をフラットタイプ表示素子用ガラス基板に形成する際に、アライメントマークを形成することができ、もってアライメントマークを効率的に形成することができる。
【００７０】
請求項１１記載のアライメントマークによれば、他のアライメントマークは、他のガラス板に形成された凹部の底面に形成された横断面幅が高さの２倍より小さい凸部であるので、他のアライメントマークをカメラ等により比較的高倍率で読取りることができ、読取った画像データを画像認識処理等を用いて画面に表示して画面上においてアライメントマークと他のアライメントマークとを高精度で一致させることができるため、ガラス板に対する他のガラス板の位置合わせ精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るアライメントマークが形成されたフラットタイプ表示素子用封止板及び該ガラス基板を備えるＥＬディスプレイの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の線Ｉｂ−Ｉｂに関する断面図ある。
【図２】図１（ｂ）のアライメントマーク１８の形状を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の線ＩＩｂ−ＩＩｂに関する断面図である。
【図３】図２のアライメントマーク１８の形成方法を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線ＩＩＩｃ−ＩＩＩｃに関する断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態に係るアライメントマークが形成されたフラットタイプ表示素子用封止板及び該ガラス基板に形成されたアライメントマークの形状を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線ＩＶｃ−ＩＶｃに関する断面図である。
【図５】図４のアライメントマーク５１の形成方法を示す図であり、（ａ）は部分斜視図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は（ｂ）の線Ｖｃ−Ｖｃに関する断面図である。
【図６】ガラス基板上にアライメントマークを形成する従来の方法を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）の線ＶＩｂ−ＶＩｂに関する断面図である。
【図７】図６の従来のアライメントマークの形成方法により形成さたアライメントマークの形状を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）の線ＶＩＩｂ−ＶＩＩｂに関する断面図である。
【符号の説明】
１０ ＥＬディスプレイ
１１ ガラス基板
１２ 封止板
１８，１９，２１，２２，５１ アライメントマーク
４０ ガラス素板
４２，４４，６２ マスキング
Claims (13)
- アライメントマークを有する矩形のガラス板に取付けられる矩形の他のガラス板の一方の表面に前記ガラス板との位置合わせのための他のアライメントマークを形成するアライメントマーク形成法において、前記アライメントマークの所定の対応位置において前記他のガラス板の一方の表面に、所定の円周上に形成された孔を有するマスキングを貼着し、前記マスキングを介して前記他のガラス板の一方の表面をエッチングすることを特徴とするガラス板のアライメントマーク形成法。
- 前記孔は円環状であることを特徴とする請求項１記載のアライメントマーク形成法。
- 前記孔は少なくとも３つの孔から成ることを特徴とする請求項１記載のアライメントマーク形成法。
- 前記孔は互いに等角度間隔に配列された４つの孔から成ることを特徴とする請求項３記載のアライメントマーク形成法。
- 前記ガラス板は、フラットタイプ表示素子用ガラス基板であり、前記他のガラス板は、フラットタイプ表示素子用封止板であることを特徴とする請求項１乃至４いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法。
- 前記ガラス板は、フラットタイプ表示素子用ガラス基板多面取り用マザーガラス基板であり、前記他のガラス板は、フラットタイプ表示素子用封止板多面取り用マザーガラス基板であることを特徴とする請求項１乃至４いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法。
- 前記アライメントマークは、パターニング法により形成することを特徴とする請求項５又は６記載のアライメントマーク形成法。
- 前記パターニング法は、前記ガラス板の一方の表面にＩＴＯ膜を貼着することを特徴とする請求項７記載のアライメントマーク形成法。
- 前記フラットタイプ表示素子はＥＬ素子であることを特徴とする請求項５乃至８いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法。
- 前記エッチングはウェットエッチングであることを特徴とする請求項１乃至９いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法。
- 請求項１乃至１０いずれか１項に記載のアライメントマーク形成法により形成された前記他のアライメントマークであることを特徴とするアライメントマーク。
- アライメントマークを有する矩形のガラス板に取付けられる矩形の他のガラス板の一方の表面に形成された前記ガラス板との位置合わせのための他のアライメントマークであるアライメントマークであって、該アライメントマークは、前記他のガラス板の一方の表面に形成された凹状部内に形成された突起部であることを特徴とするアライメントマーク。
- 前記突起部の横断面の幅は、前記突起部の高さの２倍より小さいことを特徴とする請求項１２記載のアライメントマーク。
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