WO2004003094A1

WO2004003094A1 - 耐熱性一時接着剤

Info

Publication number: WO2004003094A1
Application number: PCT/JP2003/008021
Authority: WO
Inventors: Mahito Fujita
Original assignee: Sumitomo Chemical Company, Limited
Priority date: 2002-06-28
Filing date: 2003-06-25
Publication date: 2004-01-08
Also published as: TW200402455A; AU2003244186A1

Description

明細書

耐熱性一時接着剤技術分野

本発明は、 1 5 0〜2 0 0 °C程度の高温における被着体への接着性に優れ、かつ被着体回収時には容易に剥離することが可能な耐熱性一時接着剤（Heat- Resisting Temporary Adhesive) に関する。背景技術

半導体などの電子部品を製造するプロセスでは、電子部品などの被着体に対し加工前に接着させて、被着体を加工する際には十分に接着性を有しており、加工終了後に被着体から容易に剥離できる一時接着性を備えた接着成分が用いられている。かかる接着成分として、感圧性接着剤を有効成分とするものが知られている（工業材料 2 0 0 2年 5月号、第 4 4〜4 7頁）。

最近、半導体の製造プロセスにおいて、通常の感圧性接着剤軟ィヒ点を上回る 1 5 0〜2 0 0 °C程度の高温で処理するプロセスも検討されるようになってきた力 S、感圧性接着剤を接着成分の有効成分とすると、感圧性接着剤が高温処理時に溶融してしまうという問題が発生するため、一時接着性の接着成分に耐熱性の向上が求められている。発明の開示

本発明の目的は、接着前には取扱いが容易で、被着体との接着後の接着剤層が耐熱性に優れ、室温は勿論、 1 5 0〜2 0 0 °C程度の高温においても接着性を有するのみならず、被着体回収時には容易に被着体から剥離し得るという性能をも兼ね備えた耐熱性一時接着剤、該接着剤から得られる層と被着体とからなる積層体および該積層体から被着体を回収する方法を提供することである。

本発明は、以下の発明からなる。

< 1 > 下記成分（A) および成分（B ) の 2成分を混合してなる光硬化性樹脂成分と光重合開始剤成分とを含有する耐熱'性一時接着剤。

成分（A) ： 4 0 0以上で 1 0 0 0以下の平均分子量を有するポリアルキレンダリコ一ルのジ（メタ）アクリル酸エステル成分（B) ：下記（bj 〜（b₃) 力らなる群から選ばれる少なくとも一種の（メタ）アタリレート

(bi) ： 200以上で 400未満の平均分子量を有するポリアルキレングリコールのジ（メタ）アクリル酸エステル

(b₂) ：ジペンタエリスリトール 1分子内の水酸基 3〜 6個が（メタ）アクリル酸によってエステル化された化合物； ε—力プロラタトン変性ジペンタエリスリトールの (メタ）アタリレート；及びアルキル変性ジペンタエリスリトールのアタリレートからなる群から選ばれる少なくとも一種のジペンタエリスリトール誘導体

(b₃) ：高級脂肪族アルコールの（メタ）アクリル酸エステル

< 2> 光硬化性樹脂成分における成分（B) ) であり、成分（A) 100重量部に対する成分（B) の量が 80〜400重量部である < 1〉に記載の耐熱性一時

<3> 光硬化性樹脂成分における成分（B) 力 S (b₂) であり、成分（A) 100重量部に対する成分（B) の量が 20〜200重量部であるく 1〉に記載の耐熱性一時接着剤。

<4> 光硬化性樹脂成分における成分（B) 力 S (b₃) であり、成分（A) 100重量部に対する成分（B) の量が 50〜 50重量部であるく 1 >に記載の耐熱性一時接く 5 > 光硬化性樹脂成分 100重量部に対し、光重合開始剤成分を 0. 5〜 20重量部含有する < 1 >〜< 4〉のいずれかに記載の耐熱性一時接着剤。

< 6 > さらに発泡剤を含有する < 1 >〜< 5 >のいずれかに記載の耐熱性一時接

< 7> 耐熱性一時接着剤が、これを光硬化させて硬化物としたときに、示差熱重量分析方法により測定されるガラス転移温度（Tg)における重量をもとに下記式（1) で算出される減量率が 2%以上となる硬化物を与えるものであるく 1 >〜く 6 >のレヽずれかに記載の耐熱性一時接着剤。

減量率（％) = (M-Mi ) /MX 100 (1)

M：耐熱性一時接着剤を光硬化させて得られる硬化物を加熱する前の重量

M_x ：該硬化物を加熱して T gとしたときの重量

<8> 下記成分（A) および成分（B) の 2成分を混合してなる光硬化性樹脂成分と光重合開始剤成分とを含有する耐熱性一時接着剤を硬化させることにより得られる層と、被着体からなる積層体。

成分（A) ： 400以上で 1000以下の平均分子量を有するポリアルキレングリコ一ルのジ（メタ）アクリル酸エステル

成分（B) ：下記（bj 〜（b₃) カ^なる群から選ばれる少なくとも一種の（メタ）アタリレート

( ）： 200以上で 400未満の平均分子量を有するポリアルキレングリコールのジ（メタ）アタリノレ酸エステル

(b₂)：ジペンタエリスリトール 1分子内の水酸基 3〜6個が（メタ）アクリル酸によってエステル化された化合物； ε一力プロラタトン変性ジペンタエリスリトールの (メタ）アタリレート；及ぴアルキル変性ジペンタエリスリトールのァクリレートからなる群から選ばれる少なくとも一種のジペンタエリスリトール誘導体

< 9 > < 8〉に記載の積層体を 220°C以上に加熱することを特徴とする積層体から被着体を回収する方法。図面の簡単な説明

(図 1)

本発明の耐熱性一時接着剤を硬化して得られる硬化物を試料として示差熱重量分析（TG - DTA) 測定して得られるグラフの模式図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明について詳細に説明する。

本接着剤は、下記成分（A) および成分（B) を混合してなる光硬化性樹脂成分と光重合開始剤成分とを有効成分として含有する。

成分（B) ：下記（b 〜（b₃) からなる群から選ばれる少なくとも一種の（メタ）アタリレート

(b , ) ： 200以上で 400未満の平均分子量を有するポリアルキレングリコー/レのジ（メタ）アタリノレ酸エステル

(b₂) ：ジペンタエリスリトール 1分子内の水酸基 3~6個が（メタ）アクリル酸によってエステノレイ匕された化合物； ε一力プロラタトン変性ジペンタエリスリトールの (メタ）ァクリレート；及びアルキノレ変性ジペンタエリスリトールのアタリレートからなる群から選ばれる少なくとも一種のジペンタエリスリトール誘導体

(b ₃) ：高級脂肪族アルコールの（メタ）アクリル酸エステル

本接着剤を光硬化して得られる硬化物は、通常、 200°C程度までの、好ましくは 150〜180°C程度の温度条件においても、十分な接着性を維持することができる。さらに、それよりも高い温度条件、例えば、 220°C以上に加熱されると、接着性が低下する。

本接着剤は、該接着剤の硬化物が、通常、 1 50°CX 2時間程度、好ましくは 18 0°CX 1時間程度加熱されても接着性を有し、 240°CX 1時間以内、好ましくは、 240°CX 30分間以内加熱されると、接着剤層から容易に被着体が剥離される硬化物を与える性能を有している。

本接着剤に用いられる光硬ィ匕†生樹脂成分における（A) 成分は、 400以上で 10 00以下、好ましくは 4⁵0〜 6 00程度の平均分子量を有するポリアルキレンダリコールのジ（メタ）アクリル酸エステルであり、具体的には、エチレングリコール、プロピレングリコールなどの炭素数 2〜 4程度のアルキレンエーテルを繰り返し単位とするポリアルキレンダリコールの末端水酸基がアクリル酸及び/又はメタクリル酸によってエステル化されたものである。

(A) 成分として「NKエステル A—400」（商品名、新中村化学製、平均分子量 508) をそのまま用いてもよい。

また、（B) 成分における（bj 成分は、 200以上で 400未満の平均分子量を有するポリアルキレングリコーノレのジ（メタ）アクリル酸エステルである。

(b_x) 成分として、「NKエステル A— 200」（商品名、新中村化学製、平均分子量 308) をそのまま用いてもよい。

(b₂) 成分は、ジペンタエリスリトールの誘導体であり、具体的には、ジペンタエリスリトール 1分子内の水酸基 3〜 6個が、アタリル酸及び/又はメタクリル酸でエステル化された化合物が挙げられる。このような誘導体としては、ジペンタエリスリトールのテトラ（メタ）ァクリノレ酸エステル、ジペンタエリスリトールのへキサ（メタ）アクリル酸エステルなどが挙げられる。また、このような誘導体として、 KAY ARAD D—310、同 D— 320、同 D—330 (登録商標、日本化薬製）、ァ口ニックス M—400 (登録商標、東亜合成化学製）などの市販品をそのまま使用さらに、ジペンタエリスリトールの誘導体として、 ε—力プロラクトン変性ジペンタエリスリトールの（メタ）アタリレート及び、アルキル変性ジペンタエリスリトールのァクリレートからなる群から選ばれる少なくとも一種のジペンタエリスリトール誘導体が挙げられる。 ε—力プロラクトン変性ジペンタエリスリトールの（メタ）ァクリレートとしては、例えば、ジペンタエリスリトールの 1〜4個程度の水酸基が ε— 力プロラクトンで変性され、かつジペンタエリスリトール由来及ぴ ε—力プロラクトン由来の水酸基のうち 4〜 6個が（メタ）アクリル酸残基でエステル化された化合物が挙げられ、具体的には、力プロラクトン変性ジペンタエリスリトールのへキサ（メタ）アクリル酸エステルを挙げることができる。これらは市販されており、 ΚΑΥΑ RAD DCPA— 20、同 DCPA— 30、同 DCPA— 60、同 DCPA— 12 0 (登録商標、日本化薬製）などの市販品ををそのまま使用してもよい。

また、アルキル変性ジペンタエリスリトールのアタリレートとしては、例えば、ジペンタエリスリトールの 1〜4個程度の水酸基がアルキルエーテル化され、、かつジペンタエリスリトール由来の水酸基のうち 2〜 5個程度が（メタ）アクリル酸残基でエステル化された化合物が挙げられる。これらは市販されており、 KAYARAD D— 310、同 D— 330 (登録商標、日本化薬製）などの市販品をそのまま使用してもよい。

(b₃) 成分の高級脂肪族アルコールの（メタ）アクリル酸エステルは、炭素数 8 〜22程度の高級脂肪族アルコールと、ァクリル酸及ぴノ又はメタクリル酸とのエステル化物であり、具体的には、 (メタ) アリル酸 2—ェチルへキシル、（メタ）ァクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸ステアリルなどが挙げられる。 · 光硬化性樹脂成分における（A) 成分と（B) 成分のそれぞれの混合量としては、例えば、（B)成分が（）成分である場合には、（A)成分 100重量部に対し、（）成分を 80〜400重量部程度含有することが好ましい。（B) 成分が（b₂) 成分である場合には、（A) 成分 100重量部に対し、（b₂) 成分を 2〜200重量部程度含有することが好ましい。（B) 成分が（b₃) 成分である場合には、（A) 成分 100重量部に対し、（b₃) 成分を 5〜50重量部程度含有することが好ましい。

混合量が上記の範囲であると、加熱した際の剥離性に優れる傾向にある。本発明に用いられる光重合開始剤成分としては、例えば、カルボニル化合物、硫黄化合物、ァゾ化合物、過酸ィヒ物等の光重合開始剤が挙げられる。中でも、カルボニル化合物が好適であり、具体的にはべンゾフエノン、ベンジル、ミヒラーズケトン、 2 一クロ口チォキサントン、 2 , 4 _ジェチノレチ才キサントン、ベンゾインェチノレエ一テル、ジエトキシァセトフエノン、 2， 2—ジメトキシー 1 , 2—ジフエニルェタン一 1一オン、 2—メチルー 1— 〔4一（メチルチオ）フエニル〕一2—モルホリノプ口パン一 1一オン、 2 _ヒドロキシー 2—メチノレー 1—フエニルプロパン一 1一オン、オリゴ [ 2—ヒドロキシー 2—メチルー 1—[ 4一 ( 1—メチルビュル) フエニル] プ口パン一 1一オン]、 1— ( 4一イソプロピルフエ-ル）一2—ヒドロキシー 2—メチルプロパン一 1一オン、 1一（4ードデシルフェ-ル）一2—ヒドロキシー 2—メチルプロパン一 1—オン、 4— ( 2—ヒドロキシェトキシ) 一フエ二ルー ( 2—ヒド口キシー 2—プロノノレ）ケトン、 1ーヒドロキシシク口へキシルフェ二ルケトンぉよび 2 , 4—ビス (トリクロロメチノレ) _ 6— ( 4—メトキシフエニル) - 1， 3 , 5 一トリァジン等の紫外光を吸収するカルボニル化合物ならびにカンファーキノンぉよび 3—ケトクマリン等の可視光を吸収するカルボ二ルイヒ合物等が例示される。

光重合開始剤成分としては、光重合開始剤を単独で使用しても、 2種類以上を組み合わせて使用してもよレ、。また、必要に応じて、 N， N-ジメチルァミノァセトフエノン、 p - N, N-ジメチルァミノ安息香酸ェチル等の光重合開始助剤；光増感剤等を併用してもよい。

光重合開始剤成分の使用量としては、光硬化性樹脂成分を硬ィ匕させるために十分な量であり、硬化条件、光硬化性樹脂成分の種類と混合量によっても変わるが、光硬化性樹脂成分 1 0 0重量部に対し、通常、 0 . 5〜2 0重量部程度である。本接着剤は、 2 2 0 °C以上に加熱した際に剥離しやすいよう、加熱により体積膨張したり、気体を発生する発泡剤を含有させてもよレ、。具体的には、有機発泡剤などの化学発泡剤等が例示される。

また、有機発泡剤としては、ァゾジカルボンアミド、ァゾビスィソプチ口-トリル等のァゾ化合物などが挙げられる。

発泡剤として、 2種類以上の発泡剤を使用してもよレ、。また、発泡剤の中でも有機発泡剤が好ましく、とりわけ、ァゾジカルボンアミドが好適である。

発泡剤を使用する場合、その使用量としては、本接着剤の硬化物が十分な接着力を有し、かつ該硬化物を加熱によって剥離させるために十分な量である。具体的には、組成物の配合量、硬化条件、剥離時の加熱条件、発泡剤の種類によっても変わるが、発泡剤がァゾジカルボンアミドの場合には、光硬化性樹脂成分と光重合開始剤との合計重量 1 00部に対し、通常、発泡剤は 0. 5〜80部程度使用される。

本接着剤には、必要に応じて、光硬化性樹脂に使用される他の配合剤、例えば重合禁止剤、密着付与剤、表面調整剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤等を含有させることができる。

本接着剤としては、耐熱性一時接着剤を光硬化させて硬化物としたときに、示差熱重量分析方法により測定したガラス転移温度（T g) における減量率が 2%以上となる硬化物を与える耐熱性一時接着剤であることが好ましい。

T gは、耐熱性一時接着剤を光硬化して得られる硬化物を検悴として、示差熱重量分析 (TG-DTA) による方法によって求めればよく、具体的 ίこは、 TG- DTAにより得られるグラフの模式図である図 1により説明する。

図 1は、縦軸に TG-DTAの試料の重量、すなわち、本接着斉 ljから光硬化して得られる硬化物の重量を表し、横軸は試料への加熱温度を表す。.,加熱する前（2 5°C) の重量（M) を有する該硬化物は、 TG- DTAにおいて加熱することにより、通常、ほぼ直線的に重量が減少する。そして、さらに加熱すると、該硬匕物の重量が急速な直線で減少する。

ガラス転移温度（Tg) は、これら 2つの直線を延長した破線の交点が示す温度であり、交点の縦軸の値（T gにおける重量）を Mi として求めることができる。

そして、減量率とは、加熱前の硬化物の重量 Mと Tgにおける重量 Mi との差の重量 Mに対する比率、すなわち、下記式（1) で定義される。

減量率（。/。） = (M-M /MX 1 00 (1)

減量率は、 2%以上であることが好ましく、とりわけ、 2〜3ヅ。であることが好ましい。例えば本接着剤における成分（B) の比率を高くすると、本接着剤の減量率は増加する傾向が認められるので、この比率を適宜調整することにより所望の減量率とすることができる。本発明の積層体は、本接着剤からなる層を硬化して得られる層と被着体とが積層してなる。本発明の積層体は、例えば、本接着剤を被着体に塗布したのち、硬化することにより得ることができる。被着体に本接着剤を塗布したのち、異なる被着体を更に積層し、硬化して得られる積層体も本発明の積層体に含まれる。

本接着剤を塗布して得られる接着剤層（以下、本接着剤層と記す。）の厚さとしては、通常、 0 . 5 At m程度以上であり、好ましくは 1〜3 0 0 /i m程度、とりわけ好ましくは 3〜 1 0 Ο μ πι程度である。厚さが 0 . 5 m以上であると、接着性に優れる傾向にあることから好ましい。

積層体に用いられる被着体の材料は、光硬化性樹脂と接着し得る材料である。具体的には、例えば、金、銀、銅、鉄、錫、鉛、アルミニウム、シリコンなどの金属、ガラス、水晶、セラミックスなどの無機材料；メラミン系榭脂、アクリル ' ウレタン系樹脂、ウレタン系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、スチレン 'アクリロニトリル系共重合体、ポリカーボネート系樹脂、フエノール樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂、イミド樹脂、シリコーン樹脂などの合成高分子材料等が挙げられる。

被着体の材料として、異なる 2種類以上の材料を混合、複合してもよい。また、積層体が、本接着斉 ϋ層を硬化させて得られる層（以下、本硬化接着剤層と記す。）を介して、異なる 2つの被着体が接着してなるものである場合、 2つの被着体を構成する材料は、同じ種類の材料でも異なる種類の材料のいずれでもよい。 '

被着体の性状としては特に限定されないが、例えば、フィルム状、シート状、板状、繊維状などが挙げられる。

また、被着体 ίこは、必要に応じて、離型剤、メツキなどの被膜、塗料による塗膜、ブラズャゃレーザーなどによる表面改質、表面酸化、エッチングなどの表面処理等を実施してもよレヽ。

被着体の製品例としては、半導体封止材料、太陽電池、 E L (エレクト口ルミネセンス）ランプ、 I Cカード、メモリーカードなどの電子部品封止材料、集積回路と基板との接着用ダイボンデイングシート、シリコンウェハー（チップ）、液晶パネル、水晶ウェハー（チップ）などの電気 ·電子部品などが挙げられる。

積層体を製造する際の本接着剤層の硬化方法としては、例えば、紫外線、可視光レ一ザ一等の光線を照射して硬化する方法等が挙げられる。該光線の光源としては、例えば低圧または高圧水銀灯、メタノレハライドランプ、キセノンランプ等が使用される。光線の照射方法としては、本発明の積層体が、任意な被着体と本硬化接着剤層とからなる積層体であれば、硬化させるための光線を本接着剤層に照射すればよレ、。また、積層体力 S 「被着体」ノ「本硬化接着剤層」 / 「（ガラス、ポリカーボネート系樹脂などの）透明な被着体」である場合、「透明な被着体」から光線を照射すればよい。

また、予め支持基材平面上に本接着剤層を塗布し、硬化させた本硬化接着剤層上に、液状のエポキシ樹脂原料（プレボリマー）や液状のイミ卞、樹脂原料（プレボリマー）などの被着体原料を塗布し、硬化させて被着体層とすることにより本発明の積層体を得ることもできる。得られた積層体を 2 2 0 °C以上に加熱することにより例えばシート状、フィルム状となった被着体を回収できる。かかる積層体においては、本硬化接着剤層と被着体層とを、例えば交互に形成させて多層積層体とすることもでき、'これにより複数枚のシート状或いはフィルム状の被着体を回収できることとなる。本発明における積層体から被着体を回収する方法は、積層体を 2 2 0 °C以上、好ましくは 2 2 0〜 3 0 0 °C程度に加熱する工程を含む方法であり、具体的には、オーブン、油槽などに積層体を入れ、前記温度に加熱することにより本硬化接着剤層の接着力を低下させ被着体を回収する方法；火炎、赤外線、スチーム、超音波、電磁波などを積層体に照射して本硬化接着剤層の接着力を低下させ被着体を回収する方法；焼きコテなどの加熱体を直接、被着体に接触させることにより、本硬化接着剤層の接着力を低下させ、被着体を回収する方法などが例示される。

かくして回収される被着体には、本接着剤層に由来する残留物がほとんど付着していないか、付着していても被着体から容易に剥離し得る程度であり、回収された被着体は、再利用することができる。 .

また、回収された被着体が、金属、熱可塑性プラスチックなどの場合には、溶融成形して再利用することもできる。以下に実施例を示して本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではなレ、。例中の部および％は、特に断らないかぎり重量基準を意味する。

(A) 成分としては、ポリエチレングリコールのジアクリル酸エステル（平均分子量 = 5 0 8、商品名「NKエステル A— 4 0 0」新中村化学製）を使用した。

(B ) 成分としては下記を使用した。

(b ：ポリエチレングリコールのジァクリル酸エステル（平均分子量 = 3 0 8、商品名「NKエステル A— 2 0 0」新中村化学製）

(b₂ ) ：ジペンタエリスリトールのペンタ及びへキサアクリル酸エステル (「ァ口ニックス M— 400」、登録商標、東亞合成製）

(b₃) ：ラウリルアタリレート（商品名「NKエステル LA」'新中村化学製）光重合開始剤成分として下記を使用した。

1ーヒドロキシシクロへキシルフエ-ルケトン（商品名「ィルガキュア 1 84」、チパ ·スペシャルティ ·ケミカルズ製）

(実施例：！〜 5 )

(A)成分、 (B)成分および光重合開始剤成分を表 1に記載の重量比率で混合し、耐熱性一時接着剤を得た。尚、光重合開始剤成分の量は（A) 成分と（B) 成分との合計重量 1 00部に対して 5部とした。

次に、シリコンウェハー（4インチ円盤、直径 100mm、厚さ 525mm、エレクト口-タスエンドマテリアルズコーポレーション社製）に、スピンコートにて 1 0 μπιの厚みになるように該接着剤を塗布したのち、塗布面にガラス板（MATSUNAMI MICRO SLIDE GLASS, 76 mmX 5 2mm、厚さ 1. 3 mm、松浪硝

子工業社製）を重ねてから、指で空気が入らないように圧しながら貼り合せた。続いて、ガラス板の上からメタルハライドランプにて 600 m / c m²の紫外線照射を行い、（シリコンウェハー） / (硬化耐熱性一時接着剤層） / (ガラス板）からなる積層体を得た。

該積層体を 200°Cのオーブンにて 1時間静置したのち、冷却したが、積層体の（シリコンウェハー）および（ガラス板）の上下を逆転してもいずれの被着体もはずれることはなかった。

さらに、該積層体を 26 0°Cのオーブンで 20分間静置したのち、冷却したところ、 (シリコンウェハー）と（硬化耐熱性一時接着剤層）の界面で容易に剥離していた。実施例 1〜 5の結果を表 1にまとめた。

*

<減量率>

フッ素樹脂シートの上に、実施例 1〜5の接着剤を厚さ 0. 5mmとなるように塗布したのち、実施例と同様に光硬化して、硬化物（重量 M) を得た。 TG- DTA 装置（「TG— DTA2 20」セイコーインスツルメンッ製）を用いて、該硬化物のガラス転移温度（T g、 °C) を求めたのち、 T gにおける縦軸の重量値 (M₁ ) を求め、式（1) に従い、減量率を求めた。結果を表 1にまとめた。

剥離性：（シリコンウェハー）および（ガラス板）の上下を逆転してもいずれの被着体もはずれることがなかったら〇、いずれか一方がはずれたら X

(比較例 1 )

実施例で使用したシリコンウェハーとガラス板をアクリル系両面粘着テープ（「ナイスタック NW— 1 5 S」登録商標、 -チバン製）で貼り合せて積層体を得た。該積層体を 1 8 0 ^DCのオーブンに 1時間静置したところ、粘着テープが膨張し浮き剥がれが発生していた。

(比較例 2 )

実施例で使用したシリコンウェハーとガラス板をエポキシ樹脂接着剤（商品名「ァラルダイトラピッド」チバ ·スペシャルティ ·ケミカルズ製）で貼り合せて積層体を得た。

該積層体を 2 0 0 °Cのオープンに 1時間静置した場合と、 2 6 Q °Cのオープンに 1 時間静置した場合のレ、ずれもシリコンウェハーとガラス板が剥離することはなかつた（剥離性いずれも X )。被着体と、本発明の耐熱性一時接着剤を硬化して得られた層と力らなる積層体は、室温はもとより、 1 5 0〜 2 0 0 °C程度の高温においても、被着体と硬化耐熱性一時接着剤層とは高い接着力で積層されている。しカゝも、該硬化耐熱性一時接着剤層を 2 2 0 °C以上に加熱すると，接着性が低下するので容易に被着体を剥離することが可能となる。

このような優れた特性から、被着体の回収が求められる、冷蔵庫、テレビ、ェアコンなどの家電製品、自動車用部品、電子 ·電気部品などの工程剥離紙などに使用し得る。

Claims

1.3

請求の範囲

1. 下記成分（A) および成分（B) の 2成分を混合してなる光硬化性樹脂成分と光重合開始剤成分とを含有する耐熱性一時接着剤。

成分（A) ： 400以上で 1000以下の平均分子量を有するポリアルキレンダリコ一ルのジ（メタ）アクリル酸エステル

成分（B) ：下記（b ) 〜（b₃) 力らなる群から選ばれる少なくとも一種の（メタ）アタリレート

(bj) ： 200以上で 400未満の平均分子量を有するポリアルキレングリコールのジ（メタ）アクリル酸エステル

(b₂)：ジペンタエリスリトール 1分子内の水酸基 3〜 6個が（メタ）アクリル酸によってエステル化された化合物； _ε—力プロラタトン変性ジペンタエリスリトールの (メタ）ァクリレート；及びアルキル変性ジペンタエリスリトールのァクリレートからなる群から選ばれる少なくとも一種のジペンタエリスリトール誘導体

2. 光硬化性樹脂成分における成分（B) 力 S (b であり、成分（A) 100重量部に対する成分（B) の量が 80〜400重量部である請求項 1に記載の耐熱性一時

3. 光硬化性樹脂成分における成分（B) 力 S (b₂) であり、成分（A) 1 00重量部に対する成分（B) の量が 2〜 200重量部である請求項 1に記載の耐熱性一時接着剤。

4. 光硬化性樹脂成分における成分（B) 力 S (b₃) であり、成分（A) 100重量部に対する成分（B) の量が 50〜 50重量部である請求項 1に記載の耐熱性一時接

5. 光硬化性樹脂成分 100重量部に対し、光重合開始剤成分を 0. 5〜 20重量部含有する請求項 1に記載の耐熱性一時接着剤。

6. さらに発泡剤を含有する請求項 1に記載の耐熱性一時接着剤。

7. 耐熱性一日寺接着剤が、これを光硬化させて硬化物としたときに、示差熱重量分析方法により測定されるガラス転移温度 (Tg) における重量をもとに下記式（1) で算出される減量率が 2 %以上となる硬化物を与えるものである請求項 1に記載の耐熱性一時接着剤。減量率（％) = (M— M /MX 100 (1)

M_x ：該硬化物を加熱して T gとしたときの重量

8. 下記成分（A) および成分（B) の 2成分を混合してなる光硬化性樹脂成分と光重合開始剤成分とを含有する耐熱性一時接着剤を硬化させることにより得られる層と、被着体からなる積層体。

成分（A) ： 400以上で 1000以下の平均分子量を有するポリアルキレングリコ一ノレのジ（メタ）アクリル酸エステル

成分（B) ：下記（）〜（b₃) カ^なる群から選ばれる少なくとも一種の（メタ）アタリレート

(1^) ： 200以上で 400未満の平均分子量を有するポリアルキレングリコールのジ（メタ）アクリル酸エステル

(b₂) ：ジペンタエリスリトール 1分子内の水酸基 3〜 6個が（メタ）アクリル酸によってエステル化された化合物； £—力プロラクトン変性ジペンタエリスリトールの

(メタ）ァクリレート；及ぴアルキル変性ジペンタエリスリトールのァクリレートからなる群から選ばれる少なくとも一種のジペンタエリスリトール誘導体

9. 請求項 8に記載の積層体を 220°C以上に加熱することを特徴とする積層体から被着体を回収する方法。