WO2003075301A1 - Ecran a plasma - Google Patents

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WO2003075301A1
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Inventor
Morio Fujitani
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Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20Constructional details
    • H01J11/34Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
    • H01J11/38Dielectric or insulating layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/10AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
    • H01J11/12AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma with main electrodes provided on both sides of the discharge space

Definitions

  • FIG. 6 is a plan view showing a configuration of a discharge cell portion of a conventional PDP.
  • the display electrode 6 has the scan electrode 4 and the sustain electrode 5 arranged with a discharge gap 14 interposed therebetween, and a region surrounded by the display electrode 6 and the partition 12 is a luminescent pixel region 15. Then, the area of the adjacent gap 16 between the adjacent display electrodes 6 becomes the non-emission pixel area.
  • FIG. 4 is a schematic configuration diagram for explaining the state of discharge of a conventional plasma display device.
  • FIG. 6 is a plan view showing a configuration of a discharge cell portion of the plasma display device.
  • FIG. 1 shows an example of a panel structure of a PDP used in a plasma display device according to an embodiment of the present invention.
  • the PDP includes a front panel 21 and a rear panel 22. Have been.
  • FIGS. 2 and 3 show one discharge cell portion of the front plate 21 in an enlarged manner.
  • the dielectric layer 27 covers the display electrode 26, and covers the lower dielectric layer 27a formed on the substrate 23 on the front side.
  • the lower dielectric layer 27a and the upper dielectric layer 27b having different softening points are formed on the discharge space side.
  • a concave portion 27c is formed on the surface of the dielectric layer 27b of the dielectric layer 27 for each discharge cell.
  • the concave portion 27c may be formed by hollowing out only the upper dielectric layer 27b for each discharge cell, and may be formed such that the bottom surface of the concave portion 27c becomes the lower dielectric layer 27a. .
  • the softening point of the upper dielectric layer 27 b is lower than the softening point of the lower dielectric layer 27 a, and the softening point of the protective film 28 after the upper dielectric layer 27 b is formed. It is preferable that the temperature be higher than the temperature or the temperature during sealing or exhaust baking. This is to prevent the formed upper dielectric layer 27 from being softened again by a subsequent thermal process.
  • the softening point of the upper dielectric layer 7b is 400 or more.
  • the temperature difference of the softening point between the upper dielectric layer 27b and the lower dielectric layer 27a can be increased, which is advantageous for obtaining the effects of the present invention.
  • the softening point of the upper dielectric layer 27b is set to 500 from 400 and the softening point of the lower dielectric layer 27a is set to 500: from 600 t to 600 :.
  • a softening point of 40 0 from 5 0 0 t The components of the glass powder, increasing the composition ratio of P b 0, or, can be manufactured by lowering the composition ratio of S i 0 2, for example, whole as 1 0 0 wt%, lead oxide (P b O) 5 5% to 8 5% by weight, oxide boric element (B 2 0 3) 1 0 wt% to 3 0% by weight, silicon oxide (S i 0 2) 1% to 2 0 wt%, calcium oxide (C aO-) 1% to 1 0% by weight of aluminum oxide (A 1 2 ⁇ 3), etc. 0% to 3 wt% is found mentioned as additives .
  • FIG. 4 is a schematic configuration diagram for explaining the state of discharge of the conventional plasma display device.
  • the capacitance is constant on the surface of the dielectric layer, and discharge occurs near the electrode as shown in B. spread. This causes the phosphor to emit light in the area where light is blocked from transmitting to the front side, resulting in reduced efficiency.
  • a problem that discharge easily occurs may occur.
  • the dielectric layer 27 is formed into two lower dielectrics 27 a and an upper dielectric 27 b, and the lower dielectric 27 b is formed.
  • the dielectric film thickness on the metal row electrode is increased to mask the metal row electrode.
  • a method of suppressing light emission at a certain portion In the above-described conventional structure, light emission in the direction perpendicular to the electrode is suppressed, but discharge in the direction parallel to the electrode is not suppressed, and the discharge spreads to the vicinity of the partition. In this case, the efficiency may be reduced because the electron temperature is lowered by the partition walls.
  • the partition is negatively charged. This attracts positive ions, and is known to be etched by being subjected to ion bombardment. As a result, the etched partition walls may be deposited on the phosphor, and the characteristics may be degraded.

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Description

明 細 書
プラズマディスプレイ装置 技術分野
本発明は、 文字または画像表示用のカラ一テレビジョン受像機やディ スプレイ等に使用するガス放電発光を利用したプラズマディスプレイ装 置に関するものである。 背景技術
近年、 双方向情報端末として大画面、 壁掛けテレビへの期待が高まつ ている。 そのための表示デバイスとして、 液晶表示パネル、 フィールド ェミッションディスプレイ、 エレクト口ルミネッセンスディスプレイ等 の数多くのものがあり、 そのうちの一部は市販され、 一部は開発中であ る。 これらの表示デバイスの中でもプラズマディスプレイパネル(以下、 P D Pまたはパネルという) は、 自発光型で美しい画像表示ができる、 大画面化が容易である等の理由から、 視認性に優れた薄型表示デバイス として注目されており、 高精細化および大画面化が進められている。
P D Pは、 駆動方式として A C型と D C型があり、 放電形式として面 放電型と対向放電型があり、 高精細化、 大画面化および製造の簡便性か ら、 現状では A C型で面放電型の P D Pが主流を占めるようになってき ている。
図 5は従来のプラズマディスプレイ装置のパネル構造を示す斜視図で ある。 図 5に示すように P D Pは、 前面パネル 1と背面パネル 2とから 構成されている。 前面パネル 1は、 フロート法により作製された硼珪素 ナトリゥム系ガラス等からなるガラス基板などの透明な前面側の基板 3 上に、 走査電極 4と維持電極 5とで対をなすストライプ状の表示電極 6 を複数対配列して形成し、 表示電極 6群を覆うように誘電体層 7を形成 し、 その誘電体層 7上に M g Oからなる保護膜 8を形成することにより 構成されている。 なお、 走査電極 4および維持電極 5は、 それぞれ透明 電極 4 a、 5 aとこの透明電極 4 a、 5 aに電気的に接続された C rノ C u / C rまたは A g等からなるバス電極 4 b、 5 bとから構成されて いる。 また、 図示していないが、 表示電極 6同士の間には、 遮光膜とし てのブラックス卜ライプが表示電極 6と平行に複数列形成されている。 また、 背面パネル 2は、 前面側の基板 3に対向配置される背面側の基 板 9上に、 表示電極 6と直交する方向にァドレス電極 1 0を形成すると ともに、 そのアドレス電極 1 0を覆うように誘電体層 1 1を形成してい る。 そして隣接するァドレス電極 1 0間の誘電体層 1 1上にアドレス電 極 1 0と平行にストライプ状の複数の隔壁 1 2を形成し、 隔壁 1 2の側 面および誘電体層 1 1の表面に蛍光体層 1 3を形成している。 なお、 力 ラー表示のために蛍光体層 1 3は、 通常、 赤、 緑、 青の 3色が順に配置 されている。
そして、 これらの前面パネル 1と背面パネル 2とは、 表示電極 6とァ ドレス電極 1 0とが直交するように、 微小な放電空間を挟んで基板 3、 9を対向配置して周囲を封着部材により封止している。 そして放電空間 にネオン (N e ) およびキセノン (X e ) などを混合してなる放電ガス を 6 6 5 0 0 P a ( 5 0 0 T o r r ) 程度の圧力で封入することにより P D Pが構成されている。 したがって、 P D Pの放電空間は、 隔壁 1 2によって複数の区画に仕 切られ、 直交して配置された表示電極 6とアドレス電極 1 0と隔壁 1 2 とによって発光画素領域となる複数の放電セルが形成される。
図 6は従来の P D Pの放電セル部分の構成を示す平面図である。 図 6 に示すように、 表示電極 6は走査電極 4と維持電極 5とを放電ギャップ 1 4を挟んで配列され、 この表示電極 6と隔壁 1 2とで囲まれた領域が 発光画素領域 1 5となり、 そして隣接する表示電極 6間の隣接ギャップ 1 6の領域が非発光画素領域となる。
P D Pは、 アドレス電極 1 0、 表示電極 6に印加される周期的な電圧 によって放電を発生させ、 この放電による紫外線を蛍光体層 1 3に照射 して可視光に変換させることにより、 画像表示が行われる。
一方、 P D Pの発展のためには、 更なる高輝度化、 高効率化、 低消費 電力化、 低コスト化が不可欠となっている。 高効率化を達成するために は、 放電を制御して、 前面側への光透過が遮蔽される部分での放電を極 力抑制することが必要である。 この効率向上の手法の一つとして、 例え ば特開平 8— 2 5 0 0 2 9号公報に記載されているように、 金属行電極 上の誘電体層膜厚を厚くして金属行電極でマスクされる部分の発光を抑 制する方法が知られている。
しかしながら、 このような従来の構造では、 電極に対して垂直な方向 の発光は抑制されるが、 電極と平行方向の放電は抑制されず、 放電が隔 壁近傍まで広がるために、 隔壁により電子温度が低下し効率が低下する という課題があった。 さらに、 誘電体層の膜厚を部分的に変えるために 凹部を形成する方法としては、 例えば誘電体層を 2層構造とし、 下層を 形成した後、 その上に孔部を有する上層を積層することで形成するとい う方法が挙げられる。 しかしながら、 上層の誘電体層の焼成温度が下層 の誘電体層の焼成温度と同じ温度であると、 上層の誘電体層の焼成時に 下層の誘電体層が軟化してしまい、 上層の誘電体層に形成した孔部の形 状が保持されにくくなり、 誘電体層の凹部の形状が悪化してしまうとい つた課題もある。
本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、 効率の向 上と歩留りよく安定に誘電体層に凹部などを形成できるようにすること を目的とする。 発明の開示
上記目的を達成するために本発明のプラズマディスプレイ装置は、 基 板間に隔壁により仕切られた放電空間が形成されるように対向配置した 一対の前面側および背面側の基板と、 隔壁間に放電セルが形成されるよ うに前面側の基板に配列して形成した複数の表示電極と、 この表示電極 を覆うように前面側の基板に形成した誘電体層と、 表示電極間での放電 により発光する蛍光体層とを有し、 誘電体層を軟化点の異なる少なくと も 2層構造とし、 かつ誘電体層の放電空間側の表面に放電セル毎に凹部 を形成した構成としている。
この構成によって、 前面側への光透過が抑制される領域への放電の広 がりを制御することで、 効率の高い放電が可能となるとともに、 放電の 広がりを抑制するための誘電体層凹部を歩留まりよく安定的に形成する ことが可能となるものである。 図面の簡単な説明
図 1は本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイ装置のパネ ル構造を示す斜視図である。 図 2は同プラズマディスプレイ装置のパネルにおける放電セル部分の 構造を示す斜視図である。
図 3は同プラズマディスプレイ装置の効果を説明するための概略構成 図である。
図 4は従来のプラズマディスプレイ装置の放電の状況を説明するため の概略構成図である。
図 5は従来のプラズマディスプレイ装置のパネル構造を示す斜視図で ある。
図 6は同プラズマディスプレイ装置の放電セル部分の構成を示す平面 図である。 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイ装置につい て、 図 1〜図 4の図面を用いて説明する。
図 1に本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイ装置に用い る P D Pのパネル構造の一例を示しており、 この図 1に示すように P D Pは、 前面パネル 2 1と背面パネル 2 2とから構成されている。
前面パネル 2 1は、 フロート法により作製された硼珪素ナトリウム系 ガラス等からなるガラス基板などの透明な前面側の基板 2 3上に、 走査 電極 2 4と維持電極 2 5とで対をなすストライプ状の表示電極 2 6を複 数対配列して形成し、 そしてその表示電極 2 6群を覆うように誘電体層 2 7を形成し、 その誘電体層 2 7上に M g Oからなる保護膜 2 8を形成 することにより構成されている。 誘電体層 2 7は、 例えば 2層の誘電体 層 2 7 a、 2 7 bを有している。 なお、 走査電極 2 4および維持電極 2 5は、 それぞれ透明電極 2 4 a、 2 5 aおよびこの透明電極 2 4 a、 2 5 aに電気的に接続された C r / C u / C rまたは A g等からなるバス 電極 2 4 b、 2 5 bとから構成されている。 また、 図示していないが、 表示電極 2 6間には、 遮光膜としてのブラックストライプが表示電極 2 6と平行に複数列形成されている。
また、 背面パネル 2 2は、 前面側の基板 2 3に対向配置される背面側 の基板 2 9上に、 表示電極 2 6と直交する方向にァドレス電極 3 0を形 成するとともに、 そのアドレス電極 3 0を覆うように誘電体層 3 1を形 成している。 そしてアドレス電極 3 0間の誘電体層 3 1上にアドレス電 極 3 0と平行にストライプ状の複数の隔壁 3 2を形成するとともに、 こ の隔壁 3 2間の側面および誘電体層 3 1の表面に蛍光体層 3 3を形成し ている。 なお、 カラ一表示のために蛍光体層 3 3は、 通常、 赤、 緑、 青 の 3色が順に配置されている。
前面パネル 2 1と背面パネル 2 2とは、 表示電極 2 6とアドレス電極 3 0とが直交するように、 微小な放電空間を挟んで基板 2 3 、 2 9を対 向配置するとともに、 周囲を封着部材により封止している。 て放電空間 には放電ガスとして、 ネオン (N e ) およびキセノン (X e ) などを混 合して 6 6 5 0 0 P a ( 5 0 0 T o r r ) 程度の圧力で封入することに より P D Pが構成されている。
したが て、 P D Pの放電空間は、 隔壁 3 2によって複数の区画に仕 切られており、 そしてこの隔壁 3 2間に発光画素領域となる複数の放電 セルが形成されるように表示電極 2 6が設けられるとともに、 表示電極 2 6とアドレス電極 3 0とが直交して配置されている。
図 2、図 3に前面板 2 1の一つの放電セル部分を拡大して示している。 図 2、 図 3に示すように、 誘電体層 2 7は、 表示電極 2 6を覆うように 前面側の基板 2 3上に形成した下層の誘電体層 2 7 aと、 その上を覆う ように放電空間側に形成され、 下層の誘電体層 2 7 aと軟化点が異なる 上層の誘電体層 2 7 bとから形成されている。 そして、 誘電体層 2 7の 誘電体層 2 7 bの表面には、放電セル毎に凹部 2 7 cが形成されている。 この凹部 2 7 cは、 上層の誘電体層 2 7 bのみを放電セル毎にくりぬい て形成し、 凹部 2 7 cの底面が下層の誘電体層 2 7 aとなるように形成 してもよい。 また、 好ましくは下層の誘電体層 2 7 aより上層の誘電体 層 2 7 bの軟化点が低くなるように形成した方がよい。 また、 凹部 2 7 cは隔壁 3 2 (図 1 )よりも内側に位置するように、例えば隔壁 3 2 (図 1 ) から少なくとも 2 0 m離れた位置に形成されている。
ここで、 この誘電体層 2 7は、焼成することによってガラス焼結体(誘 電体層) となるもので、 含有されるガラス粉末としては、 例えば Z n O - B203- S i 02系の混合物、 P b O— B203— S i O2系の混合物、 P b O - B203- S i 02- A 1203系の混合物、 P bO— Z n〇— B203 - S i 02系の混合物、 B i 203- B203- S i 02系の混合物などを挙げ ることができる。
また、 上層の誘電体層 2 7 bの軟化点は、 下層の誘電体層 2 7 aの軟 化点より低く、 上層の誘電体層 2 7 b形成後の、 保護膜 2 8の形成時の 温度や、 封着、 排気べ一キング時の温度より、 高いことが好ましい。 こ れは、 形成した上層の誘電体層 2 7 が、 後の熱プロセスにより再軟化 することを防止するためである。
例えば、 保護膜 2 8の形成時の温度や、 封着、 排気べ一キング時の温 度が 5 0 0 程度というような高温の場合、 上層の誘電体層 2 7 bの軟 化点はそれよりも高いことが要求され、 そのような場合には、 例えば、 下層の誘電体層 2 7 aの軟化点を 5 7 0から 6 0 0でとし、 上層の誘電 体層 2 7 bの軟化点を 54 O :から 5 7 0 とする。 ここで、 軟化点の 調整は、 P b Oの組成比や S i O 2の組成比を変更することで行う。 一 般的に、 P bOの組成比を高くすると軟化点が低下し、 また、 S i 〇 2 の組成比を下げると、 同様に軟化点が低下する。 軟化点が 60 0 付近 のガラス粉末としては、例えば、全体を 1 00重量%として、酸化鉛(P bO) 4 5重量%〜6 5重量%、 酸化硼素 (B 203) 1 0重量%〜 3 0 重量%、 酸化硅素 (S i 02) 1 0重量%〜 3 0重量%、 添加物として 酸化カルシウム(C aO) 1重量%〜 1 0重量%、酸化アルミニウム (A 1 203) 0重量%〜3重量%という組成のものが挙げられ、 これに対し て軟化点を 3 0 下げるためには、 P b Oの重量%を 5〜 1 0 %下げる ことで実現できる。
また、 保護膜 2 8の形成時の温度や、 封着、 排気べ一キング時の温度 が例えば 40 0で程度というような場合、 上層の誘電体層 7 bの軟化点 としては、 40 0 以上であればよく、 上層の誘電体層 2 7 bと下層の 誘電体層 2 7 aとの軟化点の温度差を大きくすることができるため、 本 発明の効果を得るためには有利となる。 この場合、 例えば、 上層の誘電 体層 2 7 bの軟化点を 40 0でから 5 0 0 とし、 下層の誘電体層 2 7 aとの軟化点を 5 00 t から 6 0 0 :とする。ここで、軟化点が 40 0 から 5 0 0 t:のガラス粉末の成分としては、 P b 0の組成比を高める、 または、 S i 02の組成比を下げることで作製でき、 例えば、 全体を 1 0 0重量%として、 酸化鉛 (P b O) 5 5重量%〜 8 5重量%、 酸化硼 素 (B 203) 1 0重量%〜 3 0重量%、 酸化硅素 (S i 02) 1重量% 〜2 0重量%、 添加物として酸化カルシウム (C aO) 1重量%〜 1 0 重量%、 酸化アルミニウム (A 1 23) 0重量%〜 3重量%等が挙げら れる。 また、 軟化点が 5 0 0 から 6 0 0 のガラス粉末の成分として は、 前述とは逆に、 P b Oの組成比を下げる、 または S i 〇2の組成比 を上げることにより作製でき、 例えば、 全体を 1 0 0重量%として、 酸 化鉛(P b〇) 4 5重量%〜6 5重量%、酸化硼素(B 2 0 3 ) 1 0重量% 〜 3 0重量%、 酸化硅素 (S i 〇2 ) 1 0重量%〜 3 0重量%、 添加物 として酸化カルシウム (C a O ) 1重量%〜 1 0重量%、 酸化アルミ二 ゥム (A 1 2 0 3 ) 0重量%〜 3重量%等が挙げられる。 本発明において は、 以上のような、 軟化点の異なるガラス粉末を使用して軟化点の異な る誘電体層を形成するものである。
すなわち、 本発明においては、 誘電体層 2 7の放電空間側の表面に、 発光画素領域を形成する放電セル毎に凹部 2 7 cを形成したものである, 図 3に本発明におけるプラズマディスプレイ装置の効果を説明するため の概略構成図を示す。 図 3に示すように、 誘電体層 2 7の膜厚の薄くな つた凹部 2 7 cの底面は容量が大きくなるため、 放電のための電荷は凹 部 2 7 cの底面に集中的に形成されることとなり、 図 3の Aのように放 電領域を制限することができる。
図 4に従来のプラズマディスプレイ装置の放電の状況を説明するため の概略構成図を示している。 図 4に示すように、 凹部のない従来の構造 では、 誘電体層 2 7の膜厚が一定であるため、 容量が誘電体層の面上で 一定となり、 Bのように放電が電極付近に広がる。 そのため、 前面側に 光が透過するのを遮蔽される部分の蛍光体を発光させるため、 効率が低 下するという問題や、 隣接セルに近い部分まで電荷が形成されるため、 隣接セルとの誤放電が発生しやすいという問題が生じる場合がある。 さらに、 誘電体層 2 7に凹部 2 7 cを形成する方法としては、 例えば 誘電体層 2 7を 2層の下層の誘電体 2 7 aと上層の誘電体 2 7 bとし、 下層の誘電体層 2 7 aを形成した後、 その上に孔部を有する上層の誘電 体層 2 7 bを積層することで形成するという方法が挙げられる。 この場 合、 上層の誘電体層 2 7 bの焼成温度が下層の誘電体層 2 7 aの焼成温 度と同じ温度であると、 上層の誘電体層 2 7 bの焼成時に下層の誘電体 層 2 7 aも再軟化してしまい、 上層の誘電体層 2 7 bに形成した孔部の 形状が保持されにくくなり、 誘電体層 2 7の凹部 2 7 cの形状が悪化し てしまうという問題が生じる場合がある。
しかしながら、 本発明によれば、 表示電極を覆う下層の誘電体層 2 7 aより放電空間側の上層にある誘電体層 2 7 bの方の軟化点を低く構成 しているため、 下層の誘電体 2 7 aを焼成した後に上層の誘電体 2 7 b を塗布、 乾燥し焼成する段階において、 下層の誘電体 2 7 aが再軟化す ることがなく、安定した形状の凹部 2 7 cを形成することが可能となる。 ところで、 P D Pの高効率化を達成するためには、 放電を制御し前面 側への光透過が遮蔽される部分での放電を極力抑制することが必要であ る。 この効率向上の手法の一つとして、 例えば特開平 8— 2 5 0 0 2 9 号公報に記載されているように、 金属行電極上の誘電体膜厚を厚くして 金属行電極でマスクされる部分の発光を抑制する方法が知られている。 しかし、 上述の従来の構造では、 電極に対して垂直な方向の発光は抑制 されるが、 電極と平行方向の放電は抑制されず、 隔壁近傍まで放電が広 がる。 この場合は、 隔壁により電子温度が低下するため効率が低下する 恐れがある。 さらに、 隔壁付近で放電を行うと隔壁が負に帯電すること が知られており、 これにより正イオンをひきつけるため、 イオン爆撃を 受けてエッチングされることが知られている。 これらにより、 エツチン グされた隔壁が蛍光体に降り積もるなどして、 特性を劣化させる恐れが ある。
しかしながら、 本発明によれば、 放電セル毎に凹部 2 7 cを形成し、 かつ隔壁 3 2よりも内側に凹部 2 7 cを形成することで、 凹部 2 7 じ の 底面のみに放電を制御することができ、 隔壁 3 2付近での放電を抑制す ることができる。
すなわち、 本発明によれば、 非発光領域において膜厚が厚くなる上層 の誘電体層 2 7 bの誘電率を下層の誘電体層 2 7 aよりも小さくするこ とで、 その領域の容量を小さくすることができ、 そこに溜まる電荷を抑 制することができる。 また、 容量を小さくすると、 その部分での放電開 始電圧もそれに伴って上昇するため、 その部分での放電がさらに抑制さ れる、 すなわち、 放電が凹部 2 7 cの底面に制限されることとなり、 隣 接セルとのクロストークを大幅に抑制することができる。
また、 本発明に適用可能な凹部 2 7 cの形状としては、 上記の形状以 外に、 円柱、 円錐、 三角柱、 三角錐などの形状でもよく、 上記実施の形 態に限るものではない。
次に、 P D Pの製造方法について説明する。
まず、 前面パネル 2 1の前面側の基板 2 3としてのガラス基板上に、 I T Oや S n 02等からなる走査電極 2 4、維持電極 2 5となる透明電極 材料膜をスパッタ法により一様に成膜する工程である。 このとき透明電 極材料膜の膜厚は約 1 0 0 n mである。 次に、 透明電極材料膜上に、 ノ ポラック樹脂を主成分とするポジ型レジストを 1 . 5 〜 2 . O mの膜 厚で塗布し、 所望のパターンの露光乾板を介して紫外線を露光しレジス トを硬化させる。 次に、 アルカリ水溶液で現像を行い、 レジストパ夕一 ンを形成する。 その後、 塩酸を主成分とする溶液に基板を浸漬させてェ ツチングを行い、 不要部分の除去を行い、 最後にレジストを剥離して透 明電極を形成しする。
次に、 バス電極 2 4 b、 2 5 bを形成する工程である。 R u 02等から なる黒色顔料、 ガラスフリッ ト (P b〇— B 203— S i 〇2系や B i 2〇。 - B 203 - S i 02系等) を含有する黒色電極材料膜と、 A g等の導電性 材料、 ガラスフリット (P b O— B 203— S i 02系や B i 203— B 203 一 S i 02系等)を含有する金属電極材料膜とからなる電極材料膜を塗布、 乾燥させる。 その後、 所望のパターンの露光乾板を介して紫外線を照射 し露光部を硬化させ、 その後、 アルカリ性現像液 (0 . 3 w t %の炭酸 ナトリウム水溶液) を用いて現像して所望のパターンを形成する。 その 後空気中でガラス材料の軟化点以上の温度で焼成を行い、 バス電極 2 4 a , 2 5 a電極を走査電極 2 4、維持電極 2 5となる透明電極上に固着さ せる。 このように透明電極上にバス電極を形成することにより、 前面パ ネル 2 1の表示電極 2 6を形成することができる。
次に、 誘電体層 2 7を形成する工程である。 ガラス粉末、 結着樹脂、 および溶剤を含有するペースト状のガラス粉末含有組成物 (ガラスべ一 ス卜組成物) を、 例えばダイコート法を用いて表示電極 2 6が形成され たガラス基板の表面に塗布、 乾燥し焼成することにより、 ガラス基板の 表面に誘電体層 2 7を形成する。 なお、 ガラスペースト組成物を支持フ イルム上に塗布し、 塗膜を乾燥して膜形成材料層を形成し、 支持フィル ム上に形成された膜形成材料層 (シート状誘電体材料) を用いて 2層か らなる誘電体層を形成してもよい。 この場合、 誘電体層 2 7はシート状 誘電体材料のカバーフィルムを剥離した後、 誘電体材料層の表面がガラ ス基板に接するようにシート状誘電体材料を重ね合わせながら、 支持フ ィルム側から加熱口一ラーで圧着してガラス基板に固着する。 その後、 ガラス基板上に固着された誘電体材料層から支持フィルムを剥離除去す る。 このとき、 圧着に使用する手段としては、 加熱ローラー以外に加熱 しない単なるローラーでもよい。 また、 誘電体層 2 7の放電空間側の表 面に凹部 2 7 cを形成する方法としては、 誘電体層 2 7を例えば 2層構 造とし、 まず下層の誘電体層 2 7 aを形成した後、 上層の誘電体層 2 7 bとして、 ガラスペースト組成物に感光性材料を添加して作製した感光 性ガラスペースト組成物を下層の誘電体層 2 7 a上に塗布し、 この上層 の誘電体層 2 7 bに孔部が形成されるように、 露光、 現像し、 その後、 焼成することで、 誘電体層 2 7として凹部を有したものとするという方 法が挙げられる。 ここで、 上層の誘電体層 2 7 aと下層の誘電体層 2 7 bに含有されるガラス粉末の軟化点は、 それぞれ異なるものとすること で、 上層の誘電体層 2 7 bの焼成時に、 下層の誘電体層 2 7 aが軟化し ないようにしている。
次に保護膜 2 8を形成する工程である。 M g O (酸化マグネシウム) を電子ビーム蒸着法を用いて誘電体層 2 7上に一様に成膜して、 膜厚約 6 0 0 n mの保護膜 2 8を形成することにより、 上層の誘電体 2 7 aの 軟化点と下層の誘電体 2 7 bの軟化点とが異なる所望の立体構造の誘電 体層 2 7を有する P D Pの前面パネル 2 1が得られる。
次に、 P D Pの背面パネル 2 2の製造方法について説明する。 フロー ト法により製造された背面パネル 2 2の基板 2 9としてのガラス基板に 対し、前面パネル 2 1のバス電極 2 4 b 、 2 5 bと同様にしてァドレス電 極 3 0を形成する。 その上に前面パネル 2 1と同様にして誘電体層 3 1 を形成し、 その上に隔壁 3 2を形成する。
この誘電体層 3 1の形成に利用する材料としては、 ガラス粉末、 結着 樹脂および溶剤を含有するペースト状のガラス粉末含有組成物 (ガラス ペースト組成物) を調製し、 このガラスペースト組成物を支持フィルム 上に塗布した後、 塗膜を乾燥して膜形成材料層を形成したものを用いる ことができる。 支持フィルム上に形成された膜形成材料層を、 アドレス 電極 3 0が形成されたガラス基板の表面に前面パネル 2 1と同様の手法 で転写法により固着し、 この転写法で固着された膜形成材料層を焼成す ることにより、 ガラス基板の表面に誘電体層 3 1を形成することができ る。また同様に、隔壁 3 2の形成に際してもこれらの材料と転写法による 膜形成材料層の形成に用いることができる。
また、 隔壁 3 2をパターンニングする方法としては、 フォトリソダラ フィ一法やサンドプラスト法を用いて形成することができる。
次に、 R、 G、 Bに対応する蛍光体を塗布し焼成を行って隔壁 3 2間 に蛍光体層 3 3を形成することにより、 背面パネル 2 2を得ることがで さる。
そして、 このようにして作製した前面パネル 2 3と背面パネル 2 2と を、 それぞれの表示電極 2 6とアドレス電極 3 0とがほぼ直角に交差す るように位置合わせをして対向配置し、 その周辺部をシール材によって 封着して貼り合わせ、 その後、 隔壁 3 2で仕切られた空間のガスの排気 を行い、 次に N e、 X e等の放電ガスを封入してガス空間を封止するこ とにより、 図 1に示すような構成の P D Pを完成させることができる。 産業上の利用可能性
以上のように本発明のプラズマディスプレイ装置によれば、 誘電体層 を軟化点の異なる少なくとも 2層構造とし、 かつ前記誘電体層の放電空 間側の表面に前記放電セル毎に凹部を形成することにより、 放電を制御 することができ、 効率の向上と画質の向上を達成できる。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 基板間に隔壁により仕切られた放電空間が形成されるように対向 配置した一対の前面側および背面側の基板と、 前記隔壁間に放電セルが 形成されるように前記前面側の基板に配列して形成した複数の表示電極 と、 この表示電極を覆うように前面側の基板に形成した誘電体層と、 前 記表示電極間での放電により発光する蛍光体層とを有し、 前記誘電体層 を軟化点の異なる少なくとも 2層構造とし、 かつ前記誘電体層の放電空 間側の表面に前記放電セル毎に凹部を形成したことを特徴とするプラズ マディスプレイ装置。
2 . 誘電体層は、 表示電極を覆うように前面側の基板上に形成した下 層の誘電体層と、 その上を覆うように放電空間側に形成され、 かつ下層 の誘電体層と軟化点が異なる上層の誘電体層とから構成し、 誘電体層の 凹部は、 上層の誘電体層のみを放電セル毎にくりぬいて形成したことを 特徴とする請求項 1に記載のプラズマディスプレイ装置。
3 . 凹部の底面が下層の誘電体層となるように上層の誘電体層を放電 セル毎にく りぬいて形成したことを特徴とする請求項 2に記載のプラズ マディスプレイ装置。
4 . 誘電体層の軟化点が、 表示電極を覆う下層の誘電体層より放電空 間側の上層にある誘電体層の方が低いことを特徴とする請求項 1に記載 のプラズマディスプレイ装置。
5 . 基板間に隔壁により仕切られた放電空間が形成されるように対向 配置した一対の前面側および背面側の基板と、 前記隔壁間に放電セルが 形成されるように前記前面側の基板に配列して形成した複数の表示電極 と、 この表示電極を覆うように前面側の基板に形成した誘電体層と、 前 記表示電極間での放電により発光する蛍光体層とを有し、 前記誘電体層 は、表示電極を覆うように前面側の基板上に形成した下層の誘電体層と、 その上を覆うように放電空間側に形成されかつ下層の誘電体層より軟化 点が低い上層の誘電体層とから構成し、 かつ前記上層の誘電体層の表面 に前記放電セル毎に凹部を形成したことを特徴とするプラズマディスプ レイ装置。
6. 誘電体層は、 Z n O— B203_ S i 02系の混合物、 P b O— B2 03- S i 02系の混合物、 P bO - B203- S i 02_ A 1203系の混合 物、 P b〇— Z n O— B203— S i 02系の混合物、 B i 23— B23— S i〇2系の混合物の中から選ばれるガラス粉末により構成したことを 特徴とする請求項 1または 5に記載のプラズマディスプレイ装置。
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