KR100684831B1 - 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은, 홈이 패터닝되는 유전층을 미세한 선 폭과 갭으로 형성하기 위한 것으로서, 서로 대향 배치되는 제1 기판과 제2 기판, 상기 제1 기판에 나란하게 신장 형성되는 어드레스전극, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 배치되어 방전셀을 형성하는 격벽, 상기 각 방전셀 내에 형성되는 형광체층, 상기 제2 기판에 상기 어드레스전극과 교차하는 방향으로 나란하게 형성되는 표시전극, 및 상기 표시전극을 덮는 유전층을 포함하며, 상기 유전층은 표시전극 사이에 패터닝된 홈을 구비하며, 상기 홈의 패터닝 단면은 제2 기판의 평면에 대하여 수직면으로 형성된다.

플라즈마, 디스플레이, 유전층, 에지컬, 홈

Description

플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법 {PLASMA DISPLAY PANEL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 일부를 개략적으로 도시한 부분 분해 사시도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 따른 유전층의 제조 공정도이다.

도 3은 도 2의 제조방법에 의하여 제조된 도 1의 플라즈마 디스플레이 패널을 조립한 상태의 A-A 선에 따른 단면도이다.

도 4는 도 3의 다른 실시예이다.

도 5는 도 3의 또 다른 실시예이다.

본 발명은 레이저 식각(laser ablation)으로 유전층을 패터닝하는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.

통상적으로 PDP는 가스방전현상을 이용하여 화상을 표시하는 장치로서, 표시용량, 휘도, 콘트라스트, 잔상, 및 시야각 등의 각종 표시능력이 우수하다. 이 PDP 는 전면기판에 표시전극을 구비하고, 배면기판에 어드레스전극, 방전셀을 형성하는 격벽 및 형광체층을 구비하며, 이러한 전면기판과 배면기판을 서로 봉착하는 구조로 이루어진다.

이 PDP는 전면기판에 면 방전으로 리셋 방전 및 유지 방전을 일으키는 표시전극을 구비하고, 배면기판에 이 표시전극과 교차되어 어드레스방전을 일으키는 어드레스전극을 구비하고 있다. 이 PDP는 벽전하를 이용하여, 리셋 방전 후, 어드레스 방전으로 켜질 방전셀을 선택하고, 유지 방전으로 선택된 방전셀을 발광시키도록 표시전극과 어드레스전극을 각각의 유전층으로 덮고 있다.

또한, 이 PDP는 방전셀 내에 대응하는 표시전극 사이에서 전기장의 경로를 짧게 하여 방전 전압을 낮추면서 강한 방전을 유도하여 발광 효율을 향상시키기 위하여, 방전셀의 중심에 대응하는 표시전극 사이의 유전층을 패터닝한 홈을 구비하고 있다. 이 홈의 패터닝에 인쇄 공법 및 노광/현상 공법이 이용될 수 있다.

즉, 전면기판에 표시전극을 형성한 후, 인쇄 공법으로 이 위에 유전체 패이스트를 인쇄하여 건조하고, 노광/현상 공법으로 이 유전체 패이스트층을 노광하고 현상액으로 현상하여 패터닝하며, 이를 소성함으로써 홈이 패터닝된 유전층이 완성된다.

이 노광/현상 공법은 현상 공정에 의하여 유전층에 에지-컬(edge-curl)을 발생시키게 되어, 홈이 패터닝된 유전층을 미세한 선폭 및 갭으로 패터닝하기 어렵고, 노광/현상 공정을 필요로 하여 PDP의 제조공정을 복잡하게 하며, 노광 공정에서 노광기 및 큰 마스크를 사용함에 따라 코스트를 상승시키는 문제점을 가진다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 제조 공정을 단순하게 하고, 홈이 패터닝된 유전층을 미세한 선 폭과 미세한 갭으로 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공한다.

본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 서로 대향 배치되는 제1 기판과 제2 기판, 상기 제1 기판에 나란하게 신장 형성되는 어드레스전극, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 배치되어 방전셀을 형성하는 격벽, 상기 각 방전셀 내에 형성되는 형광체층, 상기 제2 기판에 상기 어드레스전극과 교차하는 방향으로 나란하게 형성되는 표시전극, 및 상기 표시전극을 덮는 유전층을 포함하며, 상기 유전층은 표시전극 사이에 패터닝된 홈을 구비하며, 상기 홈의 패터닝 단면은 제2 기판의 평면에 대하여 수직면으로 형성된다.

상기 유전층은 홈의 패터닝 단면을 동일 선상의 수직면으로 형성하거나 계단 구조로 형성할 수 있다. 상기 유전층이 제1 유전층과 제2 유전층으로 형성되는 경우, 제1 유전층과 제2 유전층은 계단 구조로 형성되고, 제2 유전층의 홈 내측 거리가 제1 유전층의 홈 내측 거리보다 길게 형성될 수도 있다.

또한, 상기 유전층은 홈을 형성하는 패터닝 단면의 선단을 라운드로 형성하여, 유전층의 터짐을 방지할 수 있다. 상기 유전층은 표시전극을 덮는 제1 유전층과, 이 제1 유전층 상에 구비되는 제2 유전층을 포함할 수 있으며, 이 경우 홈을 형성하는 제2 유전층의 패터닝 단면의 선단을 라운드로 형성하여, 제2 유전층의 터 짐을 방지할 수도 있다.

본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 제1 기판에 어드레스전극과 격벽을 형성하는 단계, 제2 기판에 표시전극과 유전층을 형성하는 단계, 상기 제1 기판 측 제1판과 제2 기판 측 제2판을 상호 봉착하는 단계, 상기 제1판과 제2판 사이를 배기하는 단계, 및 상기 제1판과 제2판 사이에 방전가스를 주입하는 단계를 포함하며, 상기 유전층을 형성하는 단계는 상기 표시전극이 형성된 제2 기판 상에 유전체 패이스트를 인쇄 및 건조하여 유전체 패이스트층을 형성하는 단계와, 상기 유전체 패이스트층에 패터닝 단면이 제2 기판의 평면에 대하여 수직면으로 형성되도록 레이저 빔으로 홈을 패터닝하는 단계를 포함한다.

상기 레이저 빔으로 패터닝하는 단계는 레이저 빔의 출력량을 조절하여 유전층의 홈 내측 거리를 동일하게 형성하거나, 유전층이 제2 기판 상에 제1 유전층과 제2 유전층으로 형성되는 경우, 제2 유전층의 홈 내측 거리를 제1 유전층의 홈 내측 거리보다 길게 형성할 수 있다.

또한, 상기 레이저 빔으로 패터닝하는 단계는 레이저 빔의 출력량을 조절하여 유전층의 홈 선단을 라운드로 형성하거나, 유전층이 제2 기판 상에 제1 유전층과 제2 유전층으로 형성되는 경우, 제2 유전층의 홈 선단을 라운드로 형성할 수도 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 일부를 개 략적으로 도시한 부분 분해 사시도이다.

이 도면을 참조하여 PDP를 설명하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 PDP는 제1 기판(1, 이하 '배면기판'이라 한다)과 제2 기판(3, 이하 '전면기판'이라 한다)의 면 대향 봉착 구조로 형성된다. 이 배면기판(1)과 전면기판(3)의 사이에는 격벽(5)들이 구비되어, 플라즈마 방전을 일으킬 수 있도록 복수의 방전셀(7)을 구획하여 형성한다. 이 방전셀(7)에는 진공자외선에 의하여 여기되어 적, 녹, 청색의 가시광을 발생시키는 형광체층(9)이 형성되어 있다.

상기 배면기판(1) 상에는 어드레스전극(11)이 형성되며, 이 어드레스전극(11)은 배면기판(1)의 일 방향(y 축 방향)을 따라 신장되고 x 축 방향으로 방전셀(7)에 대응하는 간격으로 배치된다.

이 배면기판(1)에 대향하는 전면기판(3) 상에는 표시전극(13, 15)이 형성되며, 이 표시전극(13, 15)은 상기 어드레스전극(11)과 교차하도록 일 방향(x 축 방향)을 따라 신장되고 y 축 방향으로 방전셀(7)에 대응하는 간격으로 배치된다. 이 표시전극(13, 15)은 각 방전셀(7)에 쌍으로 대응된다.

상기 어드레스전극(11)은 벽전하를 축적하는 유전층(17)으로 덮여지며, 표시전극(13, 15)은 벽전하를 축적하는 유전층(19)과 이 유전층(19)을 보호하는 MgO 보호막(21)에 의한 적층 구조로 덮여진다. 상기 배면기판(1)의 유전층(17)은 가시광의 효과적인 반사를 위하여 백색 유전체로 형성되는 것이 좋고, 전면기판(3)의 유전층(19)은 가시광의 효과적인 투과를 위하여 투명 유전체로 형성되는 것이 바람직하다.

이와 같은 PDP를 제조하는 방법을 개략적으로 설명하면, 그 제조방법은 배면기판(1)에 어드레스전극(11)과 격벽(7)을 형성하고, 이와 별도로 전면기판(3)에 표시전극(13, 15) 및 유전층(19)을 형성한 후, 이 배면기판(1)을 포함하여 배면기판(1) 측에 형성되는 배면판과 전면기판(3)을 포함하여 전면기판(3) 측에 형성되는 전면판을 상호 봉착하고, 이 전면판과 배면판 사이를 배기시키고, 이 전면판과 배면판 사이에 방전가스를 주입 및 밀봉하는 공정을 포함하여, PDP를 완성하게 된다.

이 PDP 제조방법에서 공지의 기술을 적용할 수 있는 공정에 대해서는 상세 설명을 생략하고, 전면기판(3)에 유전층(19)을 형성하고 이 유전층(19)에 홈(23)을 형성하는 공정을 중심으로 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 따른 유전층의 제조 공정도이다.

이 도면을 참조하여 유전층(19)의 제조 공정을 설명하면, 이 공정은 유전체 패이스트층을 형성하는 단계와, 이 유전체 패이스트층에 레이저 빔으로 패터닝하는 단계를 포함한다. 이 유전체 패이스트층 형성 단계는 표시전극(13, 15)이 형성된 전면기판(3) 상에 유전체 패이스트를 인쇄하고 건조하여 유전체 패이스트층을 형성한다. 그리고 레이저 빔으로 패터닝하는 단계는 패터닝 단면이 전면기판(3)의 평면에 대하여 수직면으로 형성되도록 레이저 빔으로 식각하여 유전체 패이스트층에 홈(23)을 패터닝한다.

인쇄 공법으로 유전층(19)의 형성 단계를 보다 구체적으로 설명하면, 이 단계는 표시전극(13, 15)이 패터닝 된(미도시) 전면기판(3)에 유전체 패이스트(dep) 를 인쇄하고(a), 이 유전체 패이스트(dep)를 건조시켜 유전체 패이스트층(dep)을 형성한다(b). 이 유전체 패이스트(dep) 건조 시, 적외선 램프로부터 조사되는 적외선이 사용될 수 있다. 상기 유전체 패이스트층(dep)은 코터 공법으로 형성할 수도 있다.

이어서, 레이저 빔(lb)으로 패터닝하는 단계는 전면기판(3)에 형성된 유전체 패이스트층(dep)을 레이저 헤드로부터 조사되는 레이저 빔(lb)으로 식각하여 홈(23)을 패터닝한다(c). 이와 같이 레이저 빔(lb)으로 유전체 패이스트층(dep)에 홈(23)을 패터닝함에 따라 노광 및 현상 공정을 제거할 수 있게 되어, 결론적으로 PDP의 제조 공정을 보다 단순하게 한다.

이어서, 이 홈(23)이 패터닝된 유전체 패이스트층(dep)을 소성하여 유전층(19)을 완성하고(d), 패턴 검사기를 사용하여 유전층(19)에 형성된 홈(23)의 패턴을 검사한다(e).

한편, 레이저 빔(lb)으로 패터닝하는 단계는 레이저 빔(lb)으로 유전체 패이스트층(dep)을 식각하여 홈(23)을 패터닝함에 있어서, 레이저 빔(lb)의 출력량을 일정하게 할 수도 있고, 그 출력량을 조절할 수 있다.

이와 같이 레이저 빔(lb)의 출력량을 동일하게 하면, 유전체 패이스트층(dep)에 형성되는 홈(23)은 그 내측 거리(L, 도 3 참조)를 홈(23) 전체에 걸쳐 동일하게 형성하고, 레이저 빔(lb)의 출력량을 조절하게 되면, 유전체 패이스트층(dep)에 형성되는 홈(23)은 그 내측 거리를 홈(23) 전체에 걸쳐 동일하지 않게 형성한다(L1≠L2, 도 4 참조).

홈(23)의 내측 거리가 동일하지 않는 예들로써, 유전체 패이스트층(dep)의 홈(23)을 계단 구조로 형성하는 구조(도 4 참조) 또는 홈(23) 선단을 라운드로 형성하는 구조가 있다(도 5참조). 즉 레이저 빔(lb)의 출력량이 크면 유전층(19)의 많은 부분이 식각되어 홈(23)의 내측 거리(L2, 도 4에서)가 길어지고, 그 출력량이 적으면 유전층(19)의 적은 부분이 식각되어 홈(23)의 내측 거리(L1, 도 4에서)가 짧아진다.

이와 같은 제조방법으로 제조된 PDP는 도 3, 도 4 및 도 5에 도시되어 있다. 도 3은 도 2의 제조방법에 의하여 제조된 도 1의 플라즈마 디스플레이 패널을 조립한 상태의 A-A 선에 따른 단면도이고, 도 4는 도 3의 다른 실시예이며, 도 5는 도 3의 또 다른 실시예이다.

상기와 같은 제조방법에 의하여 본 실시예의 PDP는 유전층(19)의 표시전극(13, 15) 사이에 패터닝된 홈(23)을 구비한다. 여기서의 유전층(19)은 도 2의 공정도에서 유전체 패이스트 또는 유전체 패이스트층(dep)을 소성하여 형성된 것을 의미한다. 이 홈(23)은 레이저 공법에 의한 레이저 빔(lb)에 의하여 유전체 패이스트층(dep)을 식각하여 패터닝되므로 그 패터닝 단면이 전면기판(3)의 평면에 대하여 수직하는 수직면으로 형성된다. 즉 이 홈(23)은 에지-컬(edge-curl)을 형성하지 않기 때문에 유전층(19)에 홈(23)을 패터닝함에 있어서, 미세한 선폭 및 미세한 갭으로 패터닝할 수 있게 한다.

도 3의 실시예는 레이저 빔(lb)으로 유전층(19)을 패터닝할 때, 상기한 바와 같이, 레이저 빔(lb)의 출력량을 동일하게 함으로써 유전층(19)에 홈(23)을 형성하 는 패터닝 단면이 동일 선상의 수직면으로 형성되는 것을 예시한다. 즉 홈(23)의 전 영역에 걸쳐 그 내측 거리(L)는 동일한 길이를 가진다. 또한, 유전층(19)이 제1, 제2 유전층(19a, 19b)의 적층 구조로 형성되는 경우, 제1, 제2 유전층(19a, 19b)에 형성되는 홈(23)의 내측 거리는 동일한 길이를 가진다.

도 4 및 도 5의 실시예는 레이저 빔(lb)으로 유전층(19)을 패터닝할 때, 상기한 바와 같이, 레이저 빔(lb)의 출력량을 조절함으로써 유전층(19)에 홈(23)을 형성하는 패터닝 단면이 서로 다른 선상에 형성된 것을 예시한다.

먼저, 도 4의 실시예는 홈(23)을 형성하는 패터닝 단면이 계단 구조로 형성된 것을 예시한다. 이 계단 구조는 유전층(19)을 원하는 다양하게 패터닝할 수 있다. 유전층(19)이 제1, 제2 유전층(19a, 19b)의 적층 구조로 형성되는 경우, 제2 유전층(19b)에 형성되는 홈(23)의 내측 거리(L2)가 제1 유전층(19a)에 형성되는 홈(23)의 내측 거리(L1)보다 길게 형성된다. 제2 유전층(19b)의 내측 거리(L2)가 제1 유전층(19a)의 내측 거리(L1)보다 길게 형성되므로 표시전극(13, 15) 사이에서 형성되는 전기장의 경로는 상기 거리의 차이(L2-L1)에 상응하는 만큼 더 짧아질 수 있게 된다.

도 5의 실시예는 홈(23)을 형성하는 패터닝 단면의 선단이 라운드로 형성된 것을 예시한다. 유전층(19)이 제1, 제2 유전층(19a, 19b)의 적층 구조로 형성되는 경우, 제2 유전층(19b)의 패터닝 단면 선단을 라운드로 형성된다. 이와 같이 홈(23)을 형성하는 유전층(19) 또는 제2 유전층(19b)의 라운드 구조는 강한 방전을 일으키는 유지 방전시에도 응력 집중에 의하여 홈(23)의 패터닝 선단이 터지는 것 을 방지한다.

이와 같이 형성되는 홈(23)은 표시전극(13, 15) 사이에 형성되는 전기장 경로를 짧게 한다. 즉 이 표시전극(13, 15) 사이의 전기장 경로는 이 표시전극(13, 15)과 이 표시전극(13, 15)들 주위에 형성되는 유전층(19)(제1 유전층) 및 홈(23)을 통하여 형성된다. 따라서, 이 전기장의 경로는 홈(23)이 없는 경우에 형성되는 전기장의 경로보다 짧게 형성된다. 즉, 홈(23)이 없는 경우에 전기장의 경로는 홈(23) 부분에 대응하는 제1, 제2 유전층(19a, 19b)을 통하여 형성된다. 이와 같이 유지 방전을 일으키는 표시전극(13, 15) 사이에서 보다 짧게 형성되는 전기장의 경로는 표시전극(13, 15) 사이에 인가되는 방전 전압을 낮출 수 있다. 또한, 이 홈(23)은 표시전극(13, 15) 측 제1, 제2 유전층(19a, 19b)의 단면 사이에서 강한 방전을 유도하여 발광 효율을 향상시킨다.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 전면기판의 표시전극 상에 유전층 또는 제1, 제2 유전층을 적층 구조로 형성하고, 이를 레이저 빔으로 식각하여 홈을 패터닝 함으로써 유전층 형성 공정을 단순하게 할 수 있고, 또한 레이저 빔으로 유전층 또는 제1, 제2 유전층을 에지-컬 없이 식각함으로써 그 식각 단면들을 전면기판에 대하여 수직면으로 일치 형성하여 미세 선 폭 및 미세 갭의 유전층을 형성하는 효과가 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 노광 마스크와 같이 큰 마스크를 요구하지 않고 레이저 빔을 통과시키는 작은 마스크를 필요로 함으로써 코스트를 절감시키는 효과가 있다.

Claims (11)

1. 삭제
2. 삭제
3. 서로 대향 배치되는 제1 기판과 제2 기판,

   상기 제1 기판에 나란하게 신장 형성되는 어드레스전극,

   상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 배치되어 방전셀을 형성하는 격벽,

   상기 각 방전셀 내에 형성되는 형광체층,

   상기 제2 기판에 상기 어드레스전극과 교차하는 방향으로 나란하게 형성되는 표시전극,

   상기 표시전극을 덮는 유전층, 및

   상기 유전층은 상기 표시전극 사이에 패터닝된 홈을 구비하며,

   상기 홈의 패터닝 단면은 상기 제2 기판의 평면에 대하여 수직면으로 형성되고,

   상기 유전층은 홈을 형성하는 패터닝 단면을 계단 구조로 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널.
4. 서로 대향 배치되는 제1 기판과 제2 기판,

   상기 제1 기판에 나란하게 신장 형성되는 어드레스전극,

   상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 배치되어 방전셀을 형성하는 격벽,

   상기 각 방전셀 내에 형성되는 형광체층,

   상기 제2 기판에 상기 어드레스전극과 교차하는 방향으로 나란하게 형성되는 표시전극,

   상기 표시전극을 덮는 유전층, 및

   상기 유전층은 상기 표시전극 사이에 패터닝된 홈을 구비하며,

   상기 홈의 패터닝 단면은 상기 제2 기판의 평면에 대하여 수직면으로 형성되고,

   상기 유전층은 제1 유전층과 제2 유전층의 적층 구조로 형성되고, 상기 제1 유전층과 제2 유전층은 계단 구조로 형성되는 플라즈마 디스플레이 패널.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 제2 유전층의 홈 내측 거리는 제1 유전층의 홈 내측 거리보다 길게 형성되는 플라즈마 디스플레이 패널.
6. 서로 대향 배치되는 제1 기판과 제2 기판,

   상기 제1 기판에 나란하게 신장 형성되는 어드레스전극,

   상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 배치되어 방전셀을 형성하는 격벽,

   상기 각 방전셀 내에 형성되는 형광체층,

   상기 제2 기판에 상기 어드레스전극과 교차하는 방향으로 나란하게 형성되는 표시전극,

   상기 표시전극을 덮는 유전층, 및

   상기 유전층은 상기 표시전극 사이에 패터닝된 홈을 구비하며,

   상기 홈의 패터닝 단면은 상기 제2 기판의 평면에 대하여 수직면으로 형성되고,

   상기 유전층은 홈을 형성하는 패터닝 단면의 선단을 라운드로 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널.
7. 서로 대향 배치되는 제1 기판과 제2 기판,

   상기 제1 기판에 나란하게 신장 형성되는 어드레스전극,

   상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 배치되어 방전셀을 형성하는 격벽,

   상기 각 방전셀 내에 형성되는 형광체층,

   상기 제2 기판에 상기 어드레스전극과 교차하는 방향으로 나란하게 형성되는 표시전극,

   상기 표시전극을 덮는 유전층, 및

   상기 유전층은 상기 표시전극 사이에 패터닝된 홈을 구비하며,

   상기 홈의 패터닝 단면은 상기 제2 기판의 평면에 대하여 수직면으로 형성되고,

   상기 유전층은 표시전극을 덮는 제1 유전층과, 이 제1 유전층 상에 구비되는 제2 유전층을 포함하며, 상기 제2 유전층의 패터닝 단면 선단을 라운드로 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널.
8. 제1 기판에 어드레스전극과 격벽을 형성하는 단계,

   제2 기판에 표시전극과 유전층을 형성하는 단계,

   상기 제1 기판 측 제1판과 제2 기판 측 제2판을 상호 봉착하는 단계,

   상기 제1판과 제2판 사이를 배기하는 단계, 및

   상기 제1판과 제2판 사이에 방전가스를 주입하는 단계를 포함하며,

   상기 유전층을 형성하는 단계는 상기 표시전극이 형성된 제2 기판 상에 유전체 패이스트를 인쇄 및 건조하여 유전체 패이스트층을 형성하는 단계와,

   상기 유전체 패이스트층에 패터닝 단면이 제2 기판의 평면에 대하여 수직면으로 형성되도록 레이저 빔으로 홈을 패터닝하는 단계를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 레이저 빔으로 패터닝하는 단계는 레이저 빔의 출력량을 조절하여 유전층의 홈 내측 거리를 동일하게 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
10. 제 8 항에 있어서,

    상기 레이저 빔으로 패터닝하는 단계는 레이저 빔의 출력량을 조절하여 상기 유전층의 홈을 계단구조로 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
11. 제 8 항에 있어서,

    상기 레이저 빔으로 패터닝하는 단계는 레이저 빔의 출력량을 조절하여 상기 유전층의 홈 선단을 라운드로 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.

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