WO2003006971A1 - Dispositif de support de substrat - Google Patents

Description

明 細 書

基板保持装置

技術分野

本発明は、 例えば液晶ディ スプレイや有機 E Lディスプレ ィなどのフラ ッ トパネルディ スプレイ （ F P D ) の大型のガ ラス基板を保持する基板保持装置に関する。

背景技術

特開 2 0 0 0 - 7 1 4 6公報には、 例えば液晶ディスプ レイや有機 E Lディ スプレイなどのフラ ッ トパネルディ スプ レイ （ F P D ) のガラス基板 （プラスチック基板も含む半導 体デバイ ス基板） を保持するガラス基板保持具が記載されて いる。 このガラス基板保持具は、 ガラス基板を吸着保持する 保持枠と、 この保持枠の透過照明用開口を閉塞する透明部材 と、 ごの透明部材の上面に複数立設されてガラス基板を支持 する支持ピン とからなるガラス基板保持具が記載されている このガラス基板保持具では、 薄いガラス基板を複数の支 持ピンに載せ、 そのガラス基板の周縁のみを保持枠に吸着保 持しているため、 ク リーン/レームのダウンフローやグレーチ ング床等からの振動によ り ガラス基板の中央部分が橈んだり 振動してしま う。

又、 ガラス基板の大型化に伴い図 1 0 に示す基板保持装 置が提案された。 基板ホルダ 1 は、 枠状に形成されている。 この基板ホルダ 1 の開口部には、 角柱の複数の保持台 2が架 設されている。 これら保持台 2 の上面には、 所定間隔で複数 の支持ピン 3 がそれぞれ一列に配置されて固定されている。 基板ホルダ 1 の枠部周縁には、 ガラス基板 4 を吸着保持す るための複数の吸引部材 （吸着パ ッ ド） 5 が設け られている これら吸引部材 5 は、 図示 しない吸引チューブに接続され、 吸引ポンプの吸引動作を受けて吸引作用を行な う。 又、 基板 ホルダ 1 の枠部周縁には、 複数の基準ピン 6 及び複数の押付 けピ ン 7 が設け られている。

ガラス基板 4 の表面検査を行な う と きは、 ガラス基板 4 が 基板ホルダ 1 上に載置され、 複数の押付けピン 7 によ り複数 の基準ピン 6 に押 し付けられて、 基準位置にセ ッティ ングさ れる。 こ の後、 ガラス基板 4 は、 複数の吸引部材 5 によ り 基 板ホルダ 1 上に吸着固定される。

しかしなが ら、 薄いガラス基板 4 を押付けピン 7 によ り 基 準ピン 6 に押し付けた と こに、 ガラス基板 4 の中央部に浮き が生 じる こ と がある。 又、 マク ロ検査のために基板ホルダ 1 を揺動させる こ と によ り ガラス基板 4 の中央部が上下方向に 煽られて大き く 振動した り 、 ク リ ーンルームのダウンフロー 等に よ ってガラ ス基板 4 の中央部に振動が生 じる こ と がある このよ う に、 ガラス基板 4 の中央部が上下方向に煽られて 大き く 振動する と、 欠陥が揺れ動いて しまい観察 し難く なる 又、 顕微鏡を用いてガラス基板 4 を観察する場合、 ガラス基 板 4 が浮き上がっている と顕微鏡の観察位置を振動せた際に 対物 レンズと ガラス基板 4 の表面と の間隔が変化し、 焦点ず れが生じる。 又、 顕微鏡で観察する場合、 ガラス基板 4 に振 動が生じる と、 振動が治ま るまでオー ト フ ォーカスができな く なる問題が生 じる。 又、 上下方向の振動を受ける と、 ガラス基板 4の裏面が 支持ピン 3 に当た り傷が付く おそれがある。 さ らにダウンフ ローの風圧の変化によ り 、 ガラス基板 4の中央部が上下方向 に大き く振れた り 、 ガラス基板 4が薄く なる と、 ガラス基板 4 自体の自動ダウンフローの風圧によ り支持ピン 3 との間で 微少な橈みが生じ、 ガラス基板 4が波打つこ とがある。 この ため、 ガラス基板 4 の水平度を維持する こ と ができな く な り 顕微鏡等による ミ ク 口観察の際に焦点位置がずれて しま う。 一方、 保持台 2の強度を上げるために金属製の角柱を用いる と、 透過検鏡法による透過照明光が複数の保持台 2 によ り遮 られ、 ガラス基板 4上に影と なって投影され検査に支障をき たす。

本発明は、 基板中央部分の浮きや振動を防止できる基板保 持装置を提供する こ とを目的とする。

本発明は、 基板ホルダ枠に架設された保持台による透過照 明光の光量の減少による影響を抑え、 良好な透過検鏡を実現 でき、 かつ支持ピンの高さ調整が簡単な基板保持装置を提供 するこ と を目的とする。

発明の開示

本発明の主要な観点によれば、 開口部を有する枠状に形 成され、 基板の周縁部を吸着保持する基板ホルダと、 基板ホ ルダの開口部内における所定の位置に設けられ、 基板を吸着 保持する基板吸引部材と を具備した基板保持装置が提供され る。

図面の簡単な説明. 図 1 は本発明の第 1 の実施の形態を示す基板保持装置の構 成図。

図 2 Aは保持台に対する基板吸引部材及び支持ピンの取付 上面図。

図 2 Bは保持台に対する基板吸引部材及び支持ピンの取付 側面図。

図 3 Aは保持台に対する支持ピンの取付上面図。

図 3 Bは保持台に対する支持ピンの取付側面図。

図 4は基板吸引部材の断面構成図。

図 5 は支持ピンの断面構成図。

図 6 は複数の基板吸引部材及ぴ支持ピンの高さ調整方法を 説明するための図。

図 7 は本発明の第 2の実施の形態を示す光学レンズの構成 図。

図 8 Aは光学レンズの製造方法の一例を示す図。

図 8 Bは光学レンズの製造方法の一例を示す図。

図 8 Cは光学レンズの製造方法の一例を示す図。

図 9 は基板吸引部材の変形例を示す構成図。

図 1 0 は従来の基板保持装置の概略構成図。

発明を実施するための最良の形態

以下、 本発明の一実施の形態について図面を参照して説明 する。 なお、 図 1 0 と同一部分には同一符号を付してその詳 しい説明は省略する。

図 1 は基板保持装置の構成図である。 こ の基板保持装置は ブラ ッ トパネルディ スプレイのガラス基板 4 の表面を検査す る表面検査装置に適用 される。 基板ホルダ 1 の開 口部内には 複数の保持台 1 0 が架設されている。 これら保持台 1 0 は、 桟状に形成され、 基板ホルダ 1 の開口部内の互いに対向する 2辺間に所定の間隔で並設されている。 これら保持台 1 0 は 互いの板面が向かい合って配置された帯状の 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b とカゝら構成される。 これら保持板 1 0 a 、 1 0 b の間には、 透過照明光が通過するための空間部 1 1 が形成 されている。 保持板 1 0 a 、 1 0 b は、 板厚に対して充分に 長い幅寸法を有し、 剛性の高い金属からなる。 又、 保持板 1 0 a _s 1 0 b は、 振動を抑える 目的でその板面に防振材 （高 減衰材料） をコーティ ングした り 、 保持板 1 0 a 、 1 0 b を 粒界腐食ス テ ン レス等の制振金属で作製する。 防振材と して は、 高分子のゴム、 樹脂や、 振動吸収塗料、 ゲル状物質を用 いる と よい。 振動吸収塗料と しては、 ウ レタ ン、 ア ク リ ル、 シ リ コ ン系樹脂塗料がある。 又、 ゲル状物質と しては、 オル ガノ ゲノレ、 ポリ マー系ゲノレ 、 シリ コン系ゲノレ、 フ ッ素イオン 交換樹脂な どがある。 又、 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b の間 に透明な防止材を挟んでも よい。 又、 各保持台 1 0 が振動 し ないよ う に保持板 1 0 a 、 1 0 b の板厚を変えた り 、 防振材 の厚みや量を変えるな ど各保持台 1 0 の共振周波数を異な ら せ、 保持台 1 0 同士間の共振をなく すこ とが好ま しい。

基板ホルダ 1 の開口部内における所定位置、 例えば中央部 分に対応する各保持台 1 0には、 複数の基板吸引部材 2 0が 設けられている。 又、 各保持台 1 0 には、 複数の支持ピン 3 0が設けられている。 図 2 A及ぴ図 2 B は保持台 1 0 に対する基板吸引部材 2 0 及ぴ支持ピン 3 0 の取り 付けを示す構成図であって、 図 2 A は上方から見た構成図、 図 2 B は側面図である。 これら基板 吸引部材 2 0及ぴ支持ピン 3 0 は、 2枚の保持扳 1 0 a 、 1 0 b の間に所定間隔に挟持されている。 各基板吸引部材 2 0 には、 吸引チューブ 2 1 が接続されている。 この吸引チュー プ 2 1 は、 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b の間に配置されてい る。 この吸引チューブ 2 1 は、 例えば光透過性の材料によ り 形成されている。 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b の底面は、 光 透過性の部材によ り形成されているのが好ま しい。

図 3 A及び図 3 B は保持台 1 0 に対して支持ピン 3 0 のみ を取り 付けた構成図であって、 図 3 Aは上方から見た構成図 図 3 Bは側面図である。 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b の間に は、 複数の支持ピン 3 0が所定間隔毎に挟持されている。

図 4 は基板吸引部材 2 0 の断面構成図である。 基板吸引部 材 2 0 には、 基板保持軸 2 2が設け られている。 この基板保 持軸 2 2 には、 吸引通路 2 3 が軸方向に形成されている。 基 板保持軸 2 2 の先端部には、 弾性材によ り形成された吸着部 材 2 4が抜けでないよ う に取り 付けられている。 この吸着部 材 2 4 には、 吸引通路 2 3 と連通するための吸引孔 2 5 が形 成されている。 吸着部材 2 4 は、 抜け防止リ ング 2 6 によつ て基板保持軸 2 2 の先端部に保持されている。 又、 基板吸引 部材 2 0 の下部には、 取り 付け端部 2 7 によって吸引チュー プ 2 1 が取り 付け られている。 こ の吸引チューブ 2 1 は、 基 板吸引部材 2 0 に取り 付け られる こ と によ り 吸引通路 2 3 に 連通する。 なお、 吸引チューブ 2 1 は、 基板ホルダ 1 の外部 に設けられた吸引ポンプ Pに接続されている。

図 5 は支持ピン 3 0 の断面構成図である。 支持ピン 3 0 に は、 円柱状の保持軸 3 1 が設け られている。 この保持軸 3 1 の先端部には、 凹部 3 2 が形成され、 この凹部 3 2内にボー ル 3 3が回転可能に設け られている。 保持軸 3 1 の元側には 固定ネジ 3 4 のネジ締めを受けるための当付け溝 3 5 と 、 固 定ネジ 3 6 が当接しないよ う にするための逃げ溝 3 7 と が形 成されている。 さ らに、 逃げ溝 3 7の下方の保持軸 3 1 には ネジ 3 1 a が形成され、 保持軸 3 1 3 1 は保持軸受け 3 8 の 下部に形成されたネジ孔 3 8 a に螺合 し、 上下方向 （矢印ィ 方向） に移動可能に設けられている。

従って、 支持ピン 3 0 の高さ調整は、 保持軸受け 3 8 の底 部開 口カゝら ドライバを用いて保持軸 3 1 を回転させなが ら矢 印ィ方向に移動させて、 高さ位置を調整した後、 固定ネジ 3 4 を締めて保持軸 3 1 を保持軸受け 3 8 に固定する こ と によ り行われる。

保持軸受け 3 8 の下部には、 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b を受けるための各平面部 3 9 、 4 0が両側に形成されている 又、 保持軸受け 3 8 には、 各固定ネジ 3 4、 3 6 を通すため の各ネジ穴 4 1 、 4 2が形成されている。

こ のよ う な構造の支持ピン 3 0 であれば、 固定ネジ 3 6 を 緩める こ と によ り 、 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b の間に対し て取 り付け、 取り 外しが可能で、 かつ保持軸 3 1 を回転させ るだけで支持ピン 3 0 の高さを調整でき る。 次に、 基板ホルダ 1 に設け られる複数の基板吸引部材 2 0 及び複数の支持ピン 3 0 の高さ調整について図 6 を参照 して 説明する。

基準平面 4 4 が形成された基準プロ ック 4 3 が用意される この基準平面 4 4 は、 歪みや凹凸の無い平面である。 この基 準平面 4 4 上の両端には、 それぞれ各基準台 4 5 が設け られ ている。 これら基準台 4 5 は、 複数の基板吸引部材 2 0及び 複数の支持ピン 3 0 の各高さ を調整するための基準高さ Hに 形成されている。 これら基準台 4 5 は、 基板ホルダ 1 のサイ ズに適合した間隔に配置され、 この基準台 4 5 、 4 5 間に保 持台 1 0 を逆さまに載置する。

又、 基板吸引部材 2 0及び支持ピン 3 0 の高さ調整は、 基 板ホルダ 1 を基準平面 4 4上に载置してもよい。

基板吸引部材 2 0 の高さ調整は、 図 4 に示す基板保持軸 2 2 の先端部の吸着部材 2 4 が弹性材によ り 形成されているの で、 この吸着部材 3 4 が基準平面 4 4 に当接される と、 基準 平面 4 4 の高さ に従って伸縮する。 この状態に、 基板吸引部 材 2 0 は、 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b に対 して固定ネジ等 によ り 固定される。

一方、 支持ピン 3 0 の高さ調整は、 図 5 に示す保持軸受け 3 8 を底部開口 よ り ドライバを差し込み、 保持軸 3 1 の先端 部のポール 3 3 が基準平面 4 4 に当接するまで回転させる。 この保持軸 3 1 の高さ を調整した後、 固定ネジ 3 4 を締め付 け、 保持軸 3 1 を保持軸受け 3 8 に固定する。

この結果、 全ての基板吸引部材 2 0及び支持ピン 3 0 の高 さ位置が基準平面 4 4 に揃い、 これら基板吸引部材 2 0及び 支持ピン 3 0 の高さ調整が終了する。

なお、 複数の支持ピン 3 0 のみの高さ調整は、 上記同様に 各支持ピン 3 0 の各保持軸 3 1 がそれぞれ上下移動させる こ と によ り行われる。

次に、 上記の如く 構成された装置の作用について説明する ガラス基板 4 の表面検査を行な う と き、 ガラス基板 4 は、 各押付けピン 7 によ り 各基準ピン 6 に押し付けられて基準位 置にセ ッティ ングされた後、 先ず、 ガラス基板 4 の中央部分 が基板吸引部材 2 0 によ り 吸着固定される。 続いて、 各吸引 パッ ド 5 によ り ガラス基板 4 の周縁が基板ホルダ 1 上に吸着 固定される。

吸引ポンプ Pが吸引動作する と、 複数の基板吸引部材 2 0 は、 それぞれ吸着動作を行い、 ガラス基板 4 をその中央部に おいて吸着保持する。 これと共に、 ガラス基板 4は、 複数の 支持ピン 3 0 によ り支持される。

この結果、 ガラス基板 4 は、 周縁部と 中央部と において吸 着保持されるので、 水平度が常に維持される。 従って、 マク 口検査時に基板ホルダ 1 を揺動したと しても、 又ダウンフロ 一等の影響を受けたと しても、 ガラス基板 4の中央部に浮き は生じない。

表面検査は、 ガラス基板 4 に対して透過照明又は落射照明 を用いた検鏡方式によって行われる。 透過照明の検鏡方式で は、 透過照明光は、 ガラス基板 4の下方から照射される。 保 持台 1 0 の架設位置では、 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b の間 の空間部 1 3 を通って透過照明光がガラス基板 4 に照射され る。 これと共に各保持板 1 0 a 、 1 0 b の回 り から透過照明 光が回 り 込み、 この回 り 込んだ透過照明光がガラス基板 4 に 照射される。 又、 吸引チューブ 2 1 が設け られている位置で も、 透過照明光は、 光透過性の吸引チューブ 2 1 によ り 拡散 されてガラス基板 4 に照射される。

従って、 透過照明検鏡方式であって も、 ガラス基板 4 に照 射される透過照明光の光量が保持台 1 0 の架設位置でも光量 の減少を少な く 抑える こ と ができ 、 ガラス基板 4 の表面検査 を良好に行なえる。

このよ う に上記一実施の形態においては、 ガラ ス基板 4 を 基板ホルダ 1 上に載置 した と きのガラ ス基板 4 の中央部に対 応する と こ ろに複数の基板吸引部材 2 0 を取 り 付けたので、 ガラ ス基板 4 は、 基板ホルダ 1 周辺部の各吸引部材 5 に よ り 周辺部が固定吸着される と共に、 中央部が固定吸着される。 この結果、 ガラス基板 4 を高い水平度で確実に保持でき る。 これによ り 、 ガラ ス基板 4 のマク ロ検査に誤検査が生 じる こ と な く 、 正確にガラ ス基板 4 の表面検査を行な う こ と ができ る。 顕微鏡等によ る高倍率での ミ ク ロ観察時でも、 対物 レン ズと ガラ ス基板 4表面 と の距離が一定に保たれて焦点ずれが 生ぜず、 ガラス基板 4 の全面において合焦点の画像で検査が でき る。

複数の基板吸引部材 2 0 を 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 の 間に挟み、 複数の支持ピン 3 0 も 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b の間に挟み込む構成と したので、 透過照明光は、 2枚の保 持板 1 0 a 、 1 0 b の間の空間部 1 3 を通ってガラス基板 4 に照射され、 かつこれら保持板 1 0 a 、 1 0 bの回 り から回 り込んだ透過照明光がガラス基板 4 に照射される。 さ らに、 透過照明光は、 光透過性の吸引チューブ 2 1 によ り 拡散され てガラス基板 4 に照射される。 これによ り 、 ガラス基板 4 に 照射される透過照明光の光量の減少を最小限に抑えるこ とが でき、 良好な透過検鏡を実現する こ とができ る。

各保持板 1 0 a 、 1 0 b は、 加工が容易であ り 、 製造時間 を短縮でき、 コス トダウンが図れる。

複数の基板吸引部材 2 0 は、 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b の間に対して取り 付け、 取り 外しが可能なので、 2枚の保持 板 1 0 a 、 1 0 b の直線上における所望の位置に取り 付け、 取り 外しでき る。 これら基板吸引部材 2 0 は、 配置間隔をガ ラ ス基板 4 のサイズや重量に応じて任意に調整できる。

複数の基板吸引部材 2 0及び複数の支持ピン 3 0 は、 基準 プロ ック 4 3 及び各基準台 4 5 を用いて全ての高さ を同一に 調整でき る。 この場合、 基板吸引部材 2 0 は、 吸着部材 2 4 が基準平面 4 4 に倣う こ と によ り 高さ調整し、 支持ピ ン 3 0 は、 保持軸 3 1 を上下移動させる こ と によ り 高さ調整でき る 従って、 ガラス基板 4 を高い水平度で確実に保持できる。

保持板 1 0 a 、 1 0 b を防振材でコーテ ィ ング、 若 し く は制振金属で作製し、 又保持板 1 0 a 、 1 0 b の隙間に防振 材を挟むこ と で、 保持台 1 0 の振動を低減でき る。 従って、 支持ピン 3 0 上に載置されるガラス基板 4 の振動を抑える こ とができる。 次に、 本発明の第 2 の実施の形態について図面を参照 して 説明する。 なお、 図 1 乃至図 6 と 同一部分には同一符号を付 してその詳 しい説明は省略する。 この第 2 の実施の形態の上 記第 1 の実施の形態と相違する と ころは、 図 7 に示すよ う に 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b の間に、 光散乱又は拡散用の光 学部品と しての光学レンズ 5 0 を設けたこ とである。

こ の光学 レ ンズ 5 0 は、 かま ぼこ レ ンズ状に形成され、 かつ各係止部 5 0 a が形成されている。 これによ り 光学レン ズ 5 0 は、 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b に対して係止され、 各保持板 1 0 a 、 1 0 b に対して取り 付け、 取り 外し自在で かつ各保持板 1 0 a 、 1 0 b の間から落下しない。 なお、 光 学レ ンズ 5 0 は、 かまぼこ レンズ状に限らず、 拡散板を設け た り 、 プリ ズム、 フルネルレンズなどを設けても良い。

2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b の下部には、 互い内側を向い て各切欠き部 5 1 a 、 5 1 b が形成されている。 各切欠き部 5 1 a 、 5 1 b は、 下方からの透過照明光の一部をそれぞれ 各保持板 1 0 a 、 1 0 b の間に反射させ、 光学レンズ 5 0 に よ り 拡散される透過照明光の光量を増加させる作用を持つ。 次に、 光学レ ンズ 5 0 の製造方法の一例を説明する。 先ず 図 8 Aに示すよ う な光透過性の樹脂 （例えばプラスチッ ク） によ り形成 した円柱部材 （ロ ッ ト） 5 2 を図 8 B に示すよ う にそ の長手方向に 2分割して、 2 つの レ ンズ部材 5 2 a 、 5 2 b を作成する。

次に、 各レンズ部材 5 2 a 、 5 2 b の両側をそれぞれカ ツ ト し、 2本のかまぼこ レンズ状の光学レ ンズ 5 0 を製造する なお、 レンズ部材 5 2 a 、 5 2 b の両側をそれぞれカ ッ ト せずに、 レンズ部材 5 2 a 、 5 2 b のままで 2枚の保持板 1 0 a 、 1 0 b の間に揷入できれば、 これら レンズ部材 5 2 a 5 2 b を光学レンズ 5 0 と して用いても良い。

次に、 上記の如く 構成された装置の作用について説明する 透過照明の検鏡方式でガラス基板 4 の表面検査を行 う と き ガラス基板 4の下方から照射される透過照明光は、 2枚の保 持板 1 0 a 、 1 0 b の間に設け られた光学レンズ 4 0 によ り 拡散されてガラス基板 4 に照射される。 これと共に 2枚の保 持板 1 0 a 、 1 0 b の各切欠き部 5 1 a 、 5 1 b に当たった 透過照明光は、 これら切欠き部 5 1 a 、 5 1 b で 2枚の保持 板 1 ◦ a 、 1 0 b 間に向けて反射し、 光学レンズ 4 0 を通つ て拡散されてガラス基板 4 に照射される。

従って、 透過照明の検鏡方式であっても、 ガラス基板 4 に 照射される透過照明光の光量が保持台 1 0 の架設位置でも、 その光量の減少を少な く 抑える こ とができ、 透過照明の検鏡 方式でのガラス基板 4 の表面検査が可能になる。 その う え透 過照明光の一部が各切欠き部 5 1 a 、 5 1 b で反射して 2枚 の保持板 1 0 a 、 1 0 b の間に入射するので、 ガラス基板 4 に照射される透過照明光の光量を上記第 1 の実施の形態よ り も増加でき る。

このよ う に上記第 2 の実施の形態においては、 2枚の保持 板 1 0 a 、 1 0 b の間に、 光散乱又は拡散用の光学部品 と し ての光学レンズ 5 0 を設けたので、 この光学レンズ 5 0 によ り透過照明光を拡散してガラス基板 4 に照射する こ とができ ガラス基板 4 に照射される透過照明光の光量の減少を少なく 抑え、 透過照明の検鏡方式でのガラス基板 4 の表面検査の範 囲を拡大でき る。

さ らに、 各切欠き部 5 1 a 、 5 l b を形成する こ と によ り . ガラス基板 4 に照射される透過照明光の光量を上記第 1 の実 施の形態よ り も増加できる。

なお、 本発明は、 上記第 1及び第 2の実施の形態に限定さ れる ものでなく 、 種々 に変形する こ とが可能である。

例えば、 上記第 1及び第 2の実施の形態では、 液晶デイ ス プレイ などのフラ ッ トパネノレディ スプレイ のガラス基板 4 の 表面を検査する表面検査装置に適用される ものについて説明 したが、 これに限らず、 フラ ッ トパネルディ スプレイのガラ ス基板 4の製造ライ ンに配備されるステッパーなどの各種製 造の基板ホルダにも適用できる。

又、 基板吸引部材 2 0 は、 基板ホルダ 1 の開口部内の任意 の位置に設ける こ と ができ、 各保持台の全てに設けても よい さ らに基板吸引部材 2 0 は、 基板ボルダ 1 の支持ピン 3 0 の 全てを基板吸引部材 2 0 に代えてもよい。

又、 透過照明が可能なので、 基板ホルダ 1 の下面開口部を 透明な保持体 （例えばガラス板） で閉鎖し、 この透明な保持 体上に基板吸引部材 2 0 を配置してもよい。

又、 基板吸引部材 2 0 は、 図 9 に示すよ う に基板吸引部 材本体 6 0 に対して基板保持軸 6 1 を螺合して設け、 この基 板保持軸 6 1 b を回転させなが ら上下移動させる こ と によ り 高さ調整可能に しても よい。 基板吸引部材本体 6 0 a の内面 にはネジ溝 6 2 が形成され、 かつ基板保持軸 6 1 の先端部に はネジ山 6 3 が形成されている。 基板吸引部材本体 6 0 と基 板保持軸 6 1 と の間には、 吸引漏れ防止用の O リ ング 6 4 が 設け られている。 吸引通路 2 3 は、 基板吸引部材本体 6 0 の 空間部 6 5 を介して吸引チューブ 2 1 に連通している。

基板吸引部材 2 0 の高 さ調整は、 基板保持軸 6 1 が回転 させなが ら上下移動され、 この基板保持軸 6 1 の先端部の吸 着部材 2 4 が基準平面 4 4 に当接される。 こ の後、 固定ネジ 6 6 が締め付けら、 基板保持軸 6 1 が固定される。

産業上の利用可能性

本発明は、 例えば液晶ディ スプレイや有機 E Lディスプレ ィなどのフラ ッ トパネルディ スプレイ （ F P D ) に用いられ るガラス基板などの半導体ガラス基板の表面欠陥検査に用い られる。

Claims

求 の 範 囲

1 . 開口部を有する枠状に形成され、 基板の周縁部を吸着保 持する基板ホルダと、

前記基板ホルダの前記開口部内における所定の位置に設 けられ、 前記基板を吸言着保持する基板吸引部材と、

を具備したこ とを特徴とする基板保持装置。

2 . 前記基板ホルダの前記開口部内に設けられ、 前記基板を 支持する複数の支持ピンを備えたこ と を特徴とする請求項 1 記載の基板保持装置。

3 . 前記基板吸引部材は、 前記基板の少なく と も中央部に対 応する位置に設けられたこ とを特徴とする請求項 1記載の基 板保持装置。

4 . 前記基板吸引部材又は前記支持ピンは、 前記基板ホルダ の前記開口部の互いに対向する 2辺間に架設される桟状の保 持体に設けられたこ と を特徴とする請求項 1又は 2記載の基 板保持装置。

5 . 前記保持体は、 前記基板吸引部材又は前記支持ピンを挟 持する帯状の 2枚の保持板からなる こ とを特徴とする請求項 4記載の基板保持装置。

6 . 前記保持板は、 その板面に防振材をコーティ ングしたこ とを特徴とする請求項 5記載の基板保持装置。

7 . 前記保持板は、 制振金属で作られているこ と を特徴とす る請求項 5記載の基板保持装置。

8 . 前記保持板は、 帯状の 2枚の保持板からな り 、 この 2枚 の保持板の間に透明な防振材を設けたこと を特徴とする請求 項 5記載の基板保持装置。

9 . 前記基板吸引部材又は前記支持ピンは、 高さ調整可能で ある こ と を特徴とする請求項 1又は 2記載の基板保持装置。

1 0 . 前記基板吸引部材は、 前記基板ホルダにおける前記開 口部の下面を閉塞する透明な保持体上に設けたこ と を特徴と する請求項 1 記載の基板保持装置。

1 1 . 前記基板吸引部材は、 内部に空間が形成された基板吸 引部材本体と、

この基板吸引部材本体に対して移動可能で、 前記空間に 連通する吸引通路が形成された基板保持軸と、

この基板保持軸の先端部に設けられた弾性材によ り形成さ れた吸着部材と、

前記基板吸引部材本体に接続され、 前記空間を介して前 記吸引通路に連通した吸引チューブと、

から成る こ と を特徴とする請求項 1項記載の基板保持装置。

1 2 . 前記吸引チューブは、 光透過性の材料によ り形成され 前記基板吸引部材を挟持する 2枚の保持板間に沿って配置さ れる こ と を特徴とする請求項 1 1項記載の基板保持装置。

1 3 . 前記 2枚の保持板の空間には、 透過照明光を散乱又は 拡散させる光学部材が配置されたこ と を特徴とする請求項 5 記載の基板保持装置。

1 4 . 前記支持部材は、 先端部にポールが設けられた保持軸 と、

この保持軸を移動可能に受ける保持軸受けと、

前記保持軸を前記保持軸受けに対して固定する固定ネジと から成る こ と を特徴とする請求項 2記載の基板保持装置。