JP2005227677A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 可動ミラーと、該可動ミラーを揺動中心の周りで揺動可能に支持する弾性支持部と、該弾性支持部を支持する支持基板と、該可動ミラーを揺動させる揺動手段とを備えた走査デバイスと、該走査デバイスを取付けるための取付け部を有した固定部材を備えた光走査装置において、
   該取付け部の一面が該可動ミラーの面と同一面で形成されており、
   該取付け部の該面とは別の一面が、揺動中心Ｒ_１を含む該可動ミラーの面に垂直な面と同一面で形成されており、
   該取付け部の別の一面とは別の一面が、可動ミラー面内における揺動中心Ｒ_１に垂直な方向の中心線を含む可動ミラー面に垂直な平面と同一面で形成されていることを特徴とする光走査装置。
2. 可動ミラーと、該可動ミラーを揺動中心の周りで揺動可能に支持する弾性支持部と、該弾性支持部を支持する支持基板と、該可動ミラーを揺動させる揺動手段と備えた走査デバイスと、該走査デバイスを取付けるための取付け部を有した固定部材を備えた光走査装置において、
   該取付け部もしくは固定部材の一面が可動ミラー面と平行な面で形成されており、
   取付け部もしくは固定部材の前記面とは別の一面が、揺動中心Ｒ_１を含む可動ミラー面に対して垂直な面に平行に形成されており、
   取付け部もしくは固定部材の別の一面とは別の一面が、可動ミラー面内における揺動中心Ｒ_１に垂直な方向の中心線を含む面と平行な面で形成されていることを特徴とする光走査装置。
3. 前記走査デバイスは前記可動ミラーの面内における揺動中心Ｒ_１に垂直な方向の中心線に一致させて、該可動ミラーの他の揺動中心Ｒ _２を設けることを特徴とする請求項１又は２の光走査装置。
4. 前記走査デバイスは固定部材に対して位置決めを行うための切り欠き部を有していることを特徴とする請求項１、２又は３の光走査装置。
5. 前記走査デバイスは、半導体プロセスを用いて製作されたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項の光走査装置。
6. 前記走査デバイスには、前記固定部材に対して位置決めを行う半導体製造プロセスで形成された位置合わせ部が形成されていることを特徴とする請求項１又は２の光走査装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１項の光走査装置を用いて、光源手段から画像情報に基づいて変調され出射した光束で、被走査面上を２次元的に走査し、該被走査面上に形成される画像を光学系を介して観察することを特徴とする画像表示装置。
8. 請求項１〜６のいずれか１項の光走査装置を用いて、光源手段から画像情報に基づいて変調され出射した光束で、２次元走査した光束に基づく画像を観察することを特徴とする画像表示装置。