JPH06214179A - 共振スキャナの防音装置 - Google Patents
共振スキャナの防音装置Info
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- JPH06214179A JPH06214179A JP5021749A JP2174993A JPH06214179A JP H06214179 A JPH06214179 A JP H06214179A JP 5021749 A JP5021749 A JP 5021749A JP 2174993 A JP2174993 A JP 2174993A JP H06214179 A JPH06214179 A JP H06214179A
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- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/16—Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 共振スキャナの振動による音を外部に漏らさ
ないようにする。 【構成】 共振スキャナ１をスキャナ保持ブロック２を
介してベークライト製の板状部材３に固定し、板状部材
３をデルリン又は合成樹脂等でできた４本の支柱４でレ
−ザ走査顕微鏡等の基台５に連結し、共振スキャナ１及
び板状部材３を箱状の遮音部材内に収容した。支柱４
は、共振スキャナ１の共振周波数での板状部材３の振幅
が最も小さくなる位置で、板状部材３を支持している。
ないようにする。 【構成】 共振スキャナ１をスキャナ保持ブロック２を
介してベークライト製の板状部材３に固定し、板状部材
３をデルリン又は合成樹脂等でできた４本の支柱４でレ
−ザ走査顕微鏡等の基台５に連結し、共振スキャナ１及
び板状部材３を箱状の遮音部材内に収容した。支柱４
は、共振スキャナ１の共振周波数での板状部材３の振幅
が最も小さくなる位置で、板状部材３を支持している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は共振スキャナの防音装
置に関し、特にレ−ザ走査顕微鏡、レ−ザプリンタ及び
バ−コ−ドリ−ダ等に使用されるレ−ザ偏向手段として
の共振スキャナの振動による音を外部に漏らさないよう
にするための共振スキャナの防音装置に関する。
置に関し、特にレ−ザ走査顕微鏡、レ−ザプリンタ及び
バ−コ−ドリ−ダ等に使用されるレ−ザ偏向手段として
の共振スキャナの振動による音を外部に漏らさないよう
にするための共振スキャナの防音装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レ−ザ走査顕微鏡、レ−ザプリンタ及び
バ−コ−ドリ−ダ等のレ−ザ偏向手段としては、一般
に、ガルバノメ−タスキャナやポリゴンミラ−や音響光
学偏向素子等が使用されている。しかし、ガルバノメ−
タスキャナにはスキャンのスピ−ドが遅いという欠点が
あり、ポリゴンミラ−にはベアリングなどの磨耗品を使
っているので耐久性が低い上に外形が大きいという欠点
があり、音響光学偏向素子には偏向角度が小さいという
欠点があった。このような欠点を解決するためのレ−ザ
偏向手段としては共振スキャナ（レゾナントスキャナ）
がある。この共振スキャナはガルバノメ−タスキャナ等
の前記レ−ザ偏向手段に較べ、スキャンのスピ−ド、耐
久性及び偏向角度などの点において総合的に優れてお
り、レ−ザ偏向手段として共振スキャナを使用した公知
例もある（米国特許５０４８９０４号）。
バ−コ−ドリ−ダ等のレ−ザ偏向手段としては、一般
に、ガルバノメ−タスキャナやポリゴンミラ−や音響光
学偏向素子等が使用されている。しかし、ガルバノメ−
タスキャナにはスキャンのスピ−ドが遅いという欠点が
あり、ポリゴンミラ−にはベアリングなどの磨耗品を使
っているので耐久性が低い上に外形が大きいという欠点
があり、音響光学偏向素子には偏向角度が小さいという
欠点があった。このような欠点を解決するためのレ−ザ
偏向手段としては共振スキャナ（レゾナントスキャナ）
がある。この共振スキャナはガルバノメ−タスキャナ等
の前記レ−ザ偏向手段に較べ、スキャンのスピ−ド、耐
久性及び偏向角度などの点において総合的に優れてお
り、レ−ザ偏向手段として共振スキャナを使用した公知
例もある（米国特許５０４８９０４号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、共振スキャ
ナには数百ＨZ から数ＫＨZ までさまざまな共振周波数
のものがあるが、高速のものは２〜８ＫＨZ である。こ
のような周波数は周囲の金属（例えば筐体）の固有振動
数に非常に近いので、金属を共振させることになり、し
かも空気を伝播すると人間の聴覚が最も敏感で不快に感
じる帯域の音になる。このような理由により共振スキャ
ナを使用した装置は共振スキャナの振動による非常に不
快な音（共振音）を発し、そのため人間が近くで作業す
るような装置に共振スキャナを使うことができなかっ
た。
ナには数百ＨZ から数ＫＨZ までさまざまな共振周波数
のものがあるが、高速のものは２〜８ＫＨZ である。こ
のような周波数は周囲の金属（例えば筐体）の固有振動
数に非常に近いので、金属を共振させることになり、し
かも空気を伝播すると人間の聴覚が最も敏感で不快に感
じる帯域の音になる。このような理由により共振スキャ
ナを使用した装置は共振スキャナの振動による非常に不
快な音（共振音）を発し、そのため人間が近くで作業す
るような装置に共振スキャナを使うことができなかっ
た。
【０００４】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は共振スキャナの振動による音を外
部に漏らさないようにするための共振スキャナの防音装
置を提供することである。
たもので、その課題は共振スキャナの振動による音を外
部に漏らさないようにするための共振スキャナの防音装
置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めこの発明の共振スキャナの防音装置は、レ−ザ光を偏
向するための共振スキャナの防音装置において、前記共
振スキャナを固定する板状部材と、この板状部材を基台
に連結する複数の支柱と、前記共振スキャナ及び前記板
状部材を包み込む遮音部材とを備え、前記支柱は、前記
共振スキャナの共振周波数での前記板状部材の振幅が最
も小さくなる位置で、前記板状部材を支持している。
めこの発明の共振スキャナの防音装置は、レ−ザ光を偏
向するための共振スキャナの防音装置において、前記共
振スキャナを固定する板状部材と、この板状部材を基台
に連結する複数の支柱と、前記共振スキャナ及び前記板
状部材を包み込む遮音部材とを備え、前記支柱は、前記
共振スキャナの共振周波数での前記板状部材の振幅が最
も小さくなる位置で、前記板状部材を支持している。
【０００６】
【作用】前述のように共振スキャナの共振周波数での板
状部材の振幅が最も小さくなる位置で、板状部材と基台
とを支柱により連結したので、共振スキャナの振動は基
台へはほとんど伝わらず、共振スキャナの共振音は外部
へほとんど漏れない。
状部材の振幅が最も小さくなる位置で、板状部材と基台
とを支柱により連結したので、共振スキャナの振動は基
台へはほとんど伝わらず、共振スキャナの共振音は外部
へほとんど漏れない。
【０００７】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【０００８】図１はこの発明の一実施例に係る共振スキ
ャナの防音装置の分解斜視図である。共振スキャナ１は
スキャナ保持ブロック２で保持され、このスキャナ保持
ブロック２を介してベークライトでできた板状部材３に
固定されている。板状部材３はデルリンでできた４本の
支柱４でレ−ザ走査顕微鏡等の基台５に連結されてい
る。ベークライト製の板状部材３を適当な形状にすれ
ば、板状部材３は１次の固有振動モ−ドになる。板状部
材３の振動モ−ドは板状部材３の材質や形状により変わ
り、板状部材３としてはベークライト板以外の非金属板
でもよいし、アルミニウムなどの金属板でもよい。板状
部材３をアルミニウムで形成した場合、形状を例えば１
００mm×４０mm×１０mmとすれば１次の固有振動モード
になる。
ャナの防音装置の分解斜視図である。共振スキャナ１は
スキャナ保持ブロック２で保持され、このスキャナ保持
ブロック２を介してベークライトでできた板状部材３に
固定されている。板状部材３はデルリンでできた４本の
支柱４でレ−ザ走査顕微鏡等の基台５に連結されてい
る。ベークライト製の板状部材３を適当な形状にすれ
ば、板状部材３は１次の固有振動モ−ドになる。板状部
材３の振動モ−ドは板状部材３の材質や形状により変わ
り、板状部材３としてはベークライト板以外の非金属板
でもよいし、アルミニウムなどの金属板でもよい。板状
部材３をアルミニウムで形成した場合、形状を例えば１
００mm×４０mm×１０mmとすれば１次の固有振動モード
になる。
【０００９】図２は１次の固有振動モ−ドで振動する板
状部材３に対する支柱４の位置を説明するための概念図
である。板状部材３を強制振動させた場合ある特定の振
動モ−ド（この実施例では１次の固有振動モ−ド）で振
動するので、共振スキャナ１の共振周波数での板状部材
３の振幅が最も小さくなる位置（振動モ−ドの節）で、
支柱４を板状部材３に固定するようにした。このように
予め共振スキャナ１の共振周波数で板状部材３の振動モ
−ドを求めておき、その板状部材３の振幅が最も小さく
なる箇所を支柱４で連結する方法の他に、予め支柱４の
固定位置を決めておき、その位置が振動モ−ドの節にな
るように板状部材３の材質や形状を選ぶ方法がある。ま
た、振動モ−ドの節については例えば加速度ピックアッ
プで探す方法がある。
状部材３に対する支柱４の位置を説明するための概念図
である。板状部材３を強制振動させた場合ある特定の振
動モ−ド（この実施例では１次の固有振動モ−ド）で振
動するので、共振スキャナ１の共振周波数での板状部材
３の振幅が最も小さくなる位置（振動モ−ドの節）で、
支柱４を板状部材３に固定するようにした。このように
予め共振スキャナ１の共振周波数で板状部材３の振動モ
−ドを求めておき、その板状部材３の振幅が最も小さく
なる箇所を支柱４で連結する方法の他に、予め支柱４の
固定位置を決めておき、その位置が振動モ−ドの節にな
るように板状部材３の材質や形状を選ぶ方法がある。ま
た、振動モ−ドの節については例えば加速度ピックアッ
プで探す方法がある。
【００１０】共振スキャナ１及び板状部材３は箱状の遮
音部材内に収容されている。この箱状の遮音部材は上面
板６ａ、下面板６ｂ及び側面板６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ
で構成され、遮音部材の材質としてはガラスウ−ル等が
用いられている。下面板６ｂは基台５上に載置され、支
柱４を挿通するための孔１２が設けられている。上面板
６ａ及び側面板６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆの外壁面には薄
い金属板７ａ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆが貼着されてい
る。側面板６ｃ及び金属板７ｃにはレ−ザ光Ｌを内部に
導き入れる窓８が設けられ、側面板６ｆ及び金属板７ｆ
にはレ−ザ光Ｌを外部へ送り出す窓９が設けられてい
る。窓８，９にはそれぞれ透明板１０，１１が装着され
ている。
音部材内に収容されている。この箱状の遮音部材は上面
板６ａ、下面板６ｂ及び側面板６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ
で構成され、遮音部材の材質としてはガラスウ−ル等が
用いられている。下面板６ｂは基台５上に載置され、支
柱４を挿通するための孔１２が設けられている。上面板
６ａ及び側面板６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆの外壁面には薄
い金属板７ａ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆが貼着されてい
る。側面板６ｃ及び金属板７ｃにはレ−ザ光Ｌを内部に
導き入れる窓８が設けられ、側面板６ｆ及び金属板７ｆ
にはレ−ザ光Ｌを外部へ送り出す窓９が設けられてい
る。窓８，９にはそれぞれ透明板１０，１１が装着され
ている。
【００１１】レ−ザ光Ｌは窓８を透過して遮音部材内へ
入り、共振スキャナ１で偏向され、窓９を透過して外部
へ送り出される。遮音部材内の空気を伝播する共振スキ
ャナ１の音は遮音部材６で吸収される。このとき遮音部
材６を通過した共振スキャナ１の音は金属板７ａ，７
ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆで反射され、再び遮音部材６を通
過するときに吸音されるので更に音は小さくなる。
入り、共振スキャナ１で偏向され、窓９を透過して外部
へ送り出される。遮音部材内の空気を伝播する共振スキ
ャナ１の音は遮音部材６で吸収される。このとき遮音部
材６を通過した共振スキャナ１の音は金属板７ａ，７
ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆで反射され、再び遮音部材６を通
過するときに吸音されるので更に音は小さくなる。
【００１２】また、共振スキャナ１が振動すると、板状
部材３は１次の固有振動モ−ドで振動する。しかし前述
のように支柱４は共振スキャナ１の共振周波数での板状
部材３の振幅が最も小さくなる位置で板状部材３を支持
しているので、板状部材３の振動は支柱４を通じて基台
５へはほとんど伝わらない。その結果共振スキャナ１の
共振音は外部へ漏れにくくなる。また、共振スキャナ１
の振動エネルギ−は板状部材３により吸収される。
部材３は１次の固有振動モ−ドで振動する。しかし前述
のように支柱４は共振スキャナ１の共振周波数での板状
部材３の振幅が最も小さくなる位置で板状部材３を支持
しているので、板状部材３の振動は支柱４を通じて基台
５へはほとんど伝わらない。その結果共振スキャナ１の
共振音は外部へ漏れにくくなる。また、共振スキャナ１
の振動エネルギ−は板状部材３により吸収される。
【００１３】図３及び図４はこの発明の他の実施例を示
し、板状部材を支持する支柱の位置を説明するための概
念図である。前述の実施例と共通する部分には同一符号
を付して説明を省略する。前述の実施例では図２で１次
の固有振動モ−ドで振動する板状部材３に対する支柱４
の固定位置を示したが、３次の固有振動モ−ドで振動す
る板状部材１３，２３に対する支柱４の固定位置は、図
３及び図４に示す位置である。図３の共振スキャナの防
音装置では、左端の節と中央の節とに支柱４を配置し、
右端の節に共振スキャナ１を配置した。これに対し、図
４の共振スキャナの防音装置では、左端の節と右端の節
とに支柱４を配置し、中央の節に共振スキャナ１を配置
した。図３及び図４の実施例によれば、図２の実施例と
同様の効果を得ることができる。
し、板状部材を支持する支柱の位置を説明するための概
念図である。前述の実施例と共通する部分には同一符号
を付して説明を省略する。前述の実施例では図２で１次
の固有振動モ−ドで振動する板状部材３に対する支柱４
の固定位置を示したが、３次の固有振動モ−ドで振動す
る板状部材１３，２３に対する支柱４の固定位置は、図
３及び図４に示す位置である。図３の共振スキャナの防
音装置では、左端の節と中央の節とに支柱４を配置し、
右端の節に共振スキャナ１を配置した。これに対し、図
４の共振スキャナの防音装置では、左端の節と右端の節
とに支柱４を配置し、中央の節に共振スキャナ１を配置
した。図３及び図４の実施例によれば、図２の実施例と
同様の効果を得ることができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の共振スキ
ャナの防音装置によれば、共振スキャナの振動は基台へ
はほとんど伝わらず、共振スキャナの共振音は外部へ漏
れにくくなり、人間が近くで作業するような装置にも共
振スキャナを使用することができる。
ャナの防音装置によれば、共振スキャナの振動は基台へ
はほとんど伝わらず、共振スキャナの共振音は外部へ漏
れにくくなり、人間が近くで作業するような装置にも共
振スキャナを使用することができる。
【図１】図１はこの発明の一実施例に係る共振スキャナ
の防音装置の分解斜視図である。
の防音装置の分解斜視図である。
【図２】図２は１次の固有振動モ−ドで振動する板状部
材に対する支柱の位置を説明するための概念図である。
材に対する支柱の位置を説明するための概念図である。
【図３】図３は３次の固有振動モ−ドで振動する板状部
材に対する支柱の位置を説明するための概念図である。
材に対する支柱の位置を説明するための概念図である。
【図４】図４は３次の固有振動モ−ドで振動する板状部
材に対する支柱の位置を説明するための概念図である。
材に対する支柱の位置を説明するための概念図である。
１ 共振スキャナ ３ 板状部材 ４ 支柱 ５ 基台
Claims (1)
- 【請求項１】 レ−ザ光を偏向するための共振スキャナ
の防音装置において、 前記共振スキャナを固定する板状部材と、 この板状部材を基台に連結する複数の支柱と、 前記共振スキャナ及び前記板状部材を包み込む遮音部材
とを備え、 前記支柱は、前記共振スキャナの共振周波数での前記板
状部材の振幅が最も小さくなる位置で、前記板状部材を
支持していることを特徴とする共振スキャナの防音装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5021749A JPH06214179A (ja) | 1993-01-14 | 1993-01-14 | 共振スキャナの防音装置 |
| US08/181,459 US5477013A (en) | 1993-01-14 | 1994-01-14 | Soundproofing device for a resonant scanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5021749A JPH06214179A (ja) | 1993-01-14 | 1993-01-14 | 共振スキャナの防音装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06214179A true JPH06214179A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=12063720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5021749A Pending JPH06214179A (ja) | 1993-01-14 | 1993-01-14 | 共振スキャナの防音装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5477013A (ja) |
| JP (1) | JPH06214179A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7589879B2 (en) | 2003-11-07 | 2009-09-15 | Ricoh Company, Ltd. | Method and apparatus for attaching part, light scanning apparatus and image forming apparatus |
| WO2017026811A1 (ko) * | 2015-08-11 | 2017-02-16 | 엘지전자 주식회사 | 멤스 스캐너 패키지 |
| CN109817194A (zh) * | 2017-11-22 | 2019-05-28 | 江苏文心古籍数字产业有限公司 | 一种古籍影像去噪装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6232994B1 (en) * | 1998-09-29 | 2001-05-15 | Intermec Ip Corp. | Noise cancellation system for a thermal printer |
| US20070171502A1 (en) * | 2004-10-19 | 2007-07-26 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Beam deflector and scanning microscope |
| DE102012208250A1 (de) * | 2012-05-16 | 2013-11-21 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Vorrichtung zur Dämmung von Schall im optischen Strahlengang eines Mikroskops und Mikroskop mit einer entsprechenden Vorrichtung |
| DE102016201439A1 (de) | 2016-02-01 | 2017-08-03 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Gehäuse zur Aufnahme einer schwingenden Vorrichtung, Scanvorrichtung, Mikroskop und Verfahren |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4215763A (en) * | 1978-08-21 | 1980-08-05 | General Electric Company | Resonant sound attenuator for transformers |
| US5048904A (en) * | 1990-07-06 | 1991-09-17 | General Scanning, Inc. | Two-mirror scanner with pincushion error correction |
-
1993
- 1993-01-14 JP JP5021749A patent/JPH06214179A/ja active Pending
-
1994
- 1994-01-14 US US08/181,459 patent/US5477013A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7589879B2 (en) | 2003-11-07 | 2009-09-15 | Ricoh Company, Ltd. | Method and apparatus for attaching part, light scanning apparatus and image forming apparatus |
| WO2017026811A1 (ko) * | 2015-08-11 | 2017-02-16 | 엘지전자 주식회사 | 멤스 스캐너 패키지 |
| CN109817194A (zh) * | 2017-11-22 | 2019-05-28 | 江苏文心古籍数字产业有限公司 | 一种古籍影像去噪装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5477013A (en) | 1995-12-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020709 |