RU2003123599A - Компактный инерциальный датчик - Google Patents

Компактный инерциальный датчик Download PDF

Info

Publication number
RU2003123599A
RU2003123599A RU2003123599/28A RU2003123599A RU2003123599A RU 2003123599 A RU2003123599 A RU 2003123599A RU 2003123599/28 A RU2003123599/28 A RU 2003123599/28A RU 2003123599 A RU2003123599 A RU 2003123599A RU 2003123599 A RU2003123599 A RU 2003123599A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
connecting elements
sensor according
vibrating element
vibrating
sensor
Prior art date
Application number
RU2003123599/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2258937C2 (ru
Inventor
Эрве БОДРИ (FR)
Эрве БОДРИ
Поль ФЕАТОНБИ (FR)
Поль ФЕАТОНБИ
РУА Жан-Клод ЛЕ (FR)
РУА Жан-Клод ЛЕ
Original Assignee
Сажем Са (Fr)
Сажем Са
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сажем Са (Fr), Сажем Са filed Critical Сажем Са (Fr)
Publication of RU2003123599A publication Critical patent/RU2003123599A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2258937C2 publication Critical patent/RU2258937C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0808—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
    • G01P2015/0811—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0814—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass for translational movement of the mass, e.g. shuttle type

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Claims (7)

1. Инерциальный датчик, содержащий по меньшей мере один вибрирующий элемент (2; 12), один конец (3) которого соединен с опорным элементом (4; 13), а противоположный конец (5) соединен с блоком-вибратором (6; 14), шарнирно соединенным с опорным элементом при помощи по меньшей мере двух соединительных элементов (7; 18) и содержащим полость (8; 19), в которой расположен вибрирующий элемент и часть опорного элемента, смежная с вибрирующим элементом, отличающийся тем, что соединительные элементы установлены в полости, окружающей часть (9; 17) опорного элемента, с которой соединяются соединительные элементы.
2. Датчик по п.1, отличающийся тем, что опорный элемент (2; 13) содержит полость (10, 20), в которой находится часть вибрирующего элемента (2; 12).
3. Датчик по п.1, отличающийся тем, что соединительные элементы (7; 18) и вибрирующий элемент (2; 12) выполнены таким образом, что ось чувствительности датчика практически перпендикулярна оси возбуждения первого типа колебаний всей конструкции датчика.
4. Датчик по п.3, отличающийся тем, что соединительные элементы (7; 18) перпендикулярны вибрирующему элементу (2; 12).
5. Датчик по п.1, отличающийся тем, что содержит две пары параллельных соединительных элементов (7; 18), расположенных по обе стороны от части (9; 17) опорного элемента (4; 13), с которой они соединяются.
6. Датчик по п.1, отличающийся тем, что содержит пластину (1; 11), в которой выполнены вибрирующий элемент (2; 12), опорный элемент (4; 13), блок-вибратор (6; 14) и соединительные элементы (7; 18).
7. Датчик по п.1, отличающийся тем, что опорный элемент (13) содержит часть, образующую основание (15), соединенное через разделительную рамку (16) с частью (17) опорного элемента (13), с которой соединен вибрирующий элемент (12).
RU2003123599/28A 2002-07-26 2003-07-25 Компактный инерциальный датчик RU2258937C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0209496 2002-07-26
FR0209496A FR2842914B1 (fr) 2002-07-26 2002-07-26 Capteur inertiel compact

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2003123599A true RU2003123599A (ru) 2005-01-27
RU2258937C2 RU2258937C2 (ru) 2005-08-20

Family

ID=29797671

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2003123599/28A RU2258937C2 (ru) 2002-07-26 2003-07-25 Компактный инерциальный датчик

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6904803B2 (ru)
EP (1) EP1385009B1 (ru)
DE (1) DE60335232D1 (ru)
FR (1) FR2842914B1 (ru)
RU (1) RU2258937C2 (ru)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2887989B1 (fr) * 2005-07-04 2007-09-07 Sagem Defense Securite Capteur inertiel a courant perturbateur reduit par branches de compensation
FR2887990B1 (fr) * 2005-07-04 2007-09-07 Sagem Defense Securite Capteur inertiel a courant perturbateur reduit par reduction de la largeur et de l'ecartement des pistes dans les zones critiques
US8584524B2 (en) * 2008-10-21 2013-11-19 ISC8 Inc. Nano-resonator inertial sensor assembly
JP2011117944A (ja) * 2009-10-29 2011-06-16 Seiko Epson Corp 加速度センサー
FR2957414B1 (fr) 2010-03-15 2012-09-28 Commissariat Energie Atomique Capteur de force a bruit reduit
US20140090471A1 (en) * 2011-12-13 2014-04-03 Ying Wen Hsu Three-Axis Nano-Resonator Accelerometer Device and Method
US11112246B2 (en) 2019-06-14 2021-09-07 United States Government As Represented By The Secretary Of The Army Torsional oscillator micro electro mechanical systems accelerometer
FR3126777B1 (fr) * 2021-09-09 2023-09-08 Commissariat Energie Atomique Capteur microélectromécanique résonant a fonctionnement amelioré

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2627592B1 (fr) * 1988-02-22 1990-07-27 Sagem Accelerometre pendulaire non asservi a poutre resonante
US5165279A (en) * 1989-07-06 1992-11-24 Sundstrand Corporation Monolithic accelerometer with flexurally mounted force transducer
US6282959B1 (en) * 1996-06-11 2001-09-04 Alliedsignal Compensation of second-order non-linearity in sensors employing double-ended tuning forks
US6041655A (en) * 1997-04-22 2000-03-28 Alliedsignal, Inc. Active cover accelerometer
US6393913B1 (en) * 2000-02-08 2002-05-28 Sandia Corporation Microelectromechanical dual-mass resonator structure
FR2813122B1 (fr) * 2000-08-17 2002-11-15 Sagem Accelerometre miniature non asservi

Also Published As

Publication number Publication date
EP1385009B1 (fr) 2010-12-08
US6904803B2 (en) 2005-06-14
FR2842914A1 (fr) 2004-01-30
US20040226371A1 (en) 2004-11-18
DE60335232D1 (de) 2011-01-20
EP1385009A1 (fr) 2004-01-28
FR2842914B1 (fr) 2004-08-27
RU2258937C2 (ru) 2005-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100447587C (zh) 惯性驱动扫描装置及方法
RU2002114350A (ru) Система отсчета времени, содержащая интегрированный микромеханический кольцевой резонатор
DE50202232D1 (de) Piezoelektrische resonatorvorrichtung mit akustischem reflektor
EP1503177A3 (en) Piezoelectric vibrating element, supporting structure therefor, piezoelectric vibrator and piezoelectric vibrating gyroscope
RU2005136423A (ru) Устройство для определения и/или контроля, по меньшей мере, одного физического или химического параметра процесса среды в емкости
RU2003123599A (ru) Компактный инерциальный датчик
KR960042014A (ko) 진동형 자이로스코프
JP4144495B2 (ja) 角速度センサ
DE50108877D1 (de) Ansaugvorrichtung mit Schwingrohren und längenverstellbaren Resonanzrohren
JP2004144699A (ja) 振動ジャイロ及び角速度センサー
RU96114928A (ru) Вибростенд
KR970070959A (ko) 진동 자이로스코프
RU2217767C1 (ru) Датчик резонаторный
JP2003166828A5 (ru)
BR9707901A (pt) Montagem de crivos
RU2002133538A (ru) Чувствительный элемент интегрального акселерометра
RU2004116244A (ru) Виброизолятор рессорного типа
RU96113885A (ru) Микромеханический вибрационный гироскоп
RU2002132222A (ru) Виброисточник
ATE479084T1 (de) Doppelresonanzbalkenkraftwandler mit verringertem longitudinalem pumpen
JPH03291011A (ja) 短辺水晶振動子
RU96101897A (ru) Измерительное устройство
JPH0310506A (ja) 短辺水晶振動子
JPH04242310A (ja) 長辺水晶振動子
RU2001134449A (ru) Пьезоэлектрический гравитационный генератор

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20120726