JP2009053633A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 共振振動により揺動してレーザビームを偏向走査する偏向面を有する可動子と、前記可動子を揺動可能に支持するねじりバネと、前記ねじりバネの前記可動子を支持している側とは反対側の端部を支持する支持枠と、を一体的に具備した片持梁形状の振動素子と、
   前記振動素子の前記可動子の初期静止状態において前記偏向面と垂直な方向で前記振動素子が当接し、固定される固定部材と、を有する光偏向装置において、
   前記固定部材は、前記振動素子が当接することで、前記可動子の初期静止状態での前記偏向面と垂直な方向における前記振動素子の位置が決まる基準面部と、前記可動子の初期静止状態における前記偏向面と垂直な方向において前記基準面部よりも前記振動素子から離れた位置にある接着面部であって、前記振動素子を前記固定部材に固定するための接着剤が前記振動素子との間に塗布された接着面部と、を有し、
   前記支持枠の前記ねじりバネの前記可動子を支持する側とは反対側の端部を支持する部分を根元部とすると、
   前記振動素子と前記接着面部との間の接着剤が前記振動素子に当接する位置は、前記支持枠から前記ねじりバネが延設された方向において前記支持枠の前記根元部と略同一位置で、且つ前記根元部には当接しない位置であることを特徴とする光偏向装置。
2. 前記支持枠は、前記根元部を中心として前記ねじりバネの前記可動子を支持している側とは反対側に延在した第一支持枠部と、前記ねじりバネの前記可動子を支持している側に延在する第二支持枠部であって、前記第一支持枠部から前記ねじりバネが延設された方向に沿って延在する第二支持枠部と、を具備し、前記基準面部は前記第一支持枠部及び前記第二支持枠部に当接することを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
3. レーザビームを出射する光源装置を有し、
   請求項１又は２に記載の光偏向装置を用いて前記光源装置から出射されたレーザビームを偏向走査することを特徴とする光学走査装置。