JP5803813B2 - 偏向器 - Google Patents
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Claims (7)
- 基板部と、
基板部に下端を固定された支持部と、
支持部の上端に揺動可能に載置された揺動部と、
揺動部に形成された反射部と、
揺動部に設けられた磁石と、
支持部に設けられた磁性体と、
揺動部に揺動軸周りのトルクを印加する駆動機構と、
を備えており、
磁力を利用して揺動部が支持部に向けて付勢されている、偏向器。 - 基板部と、
基板部に下端を固定された支持部と、
支持部の上端に揺動可能に載置された揺動部と、
揺動部に形成された反射部と、
支持部および揺動部の少なくとも一方に設けられた絶縁体と、
支持部および揺動部の間に電圧を印加する電圧印加手段と、
揺動部に揺動軸周りのトルクを印加する駆動機構と、
を備えており、
静電力を利用して揺動部が支持部に向けて付勢されている、偏向器。 - 支持部の揺動部と当接する部分に凸部が形成されており、
揺動部の支持部と当接する部分に凹部が形成されている、請求項1または2の偏向器。 - 基板部と、
基板部に揺動可能に載置された支持部と、
支持部の上端に固定された揺動部と、
揺動部に形成された反射部と、
支持部に設けられた磁石と、
基板部に設けられた磁性体と、
揺動部に揺動軸周りのトルクを印加する駆動機構と、
を備えており、
磁力を利用して支持部が基板部に向けて付勢されている、偏向器。 - 基板部と、
基板部に揺動可能に載置された支持部と、
支持部の上端に固定された揺動部と、
揺動部に形成された反射部と、
基板部および支持部の少なくとも一方に設けられた絶縁体と、
基板部および支持部の間に電圧を印加する電圧印加手段と、
揺動部に揺動軸周りのトルクを印加する駆動機構と、
を備えており、
静電力を利用して支持部が基板部に向けて付勢されている、偏向器。 - 基板部と、
基板部に揺動可能に載置された支持部と、
支持部の上端に固定された揺動部と、
揺動部に形成された反射部と、
基板部と支持部の当接部分を接着する接着剤と、
揺動部に揺動軸周りのトルクを印加する駆動機構と、
を備えており、
支持部を基板部から引き離す力が作用する場合に、接着剤の復元力を利用して支持部が基板部に向けて付勢される、偏向器。 - 支持部の基板部と当接する部分に凸部が形成されており、
基板部の支持部と当接する部分に凹部が形成されている、請求項4から6の何れか一項の偏向器。
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