JP2008304667A - アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アクチュエータ1は、回動可能な可動板21と、可動板21の板面と対向するように設けられ、可動板21または可動板21と接合された付属物(永久磁石71〜74)との衝突により可動板21の挙動を規制する規制部材61〜64とを有し、規制部材61〜64は、可動板21が衝突する部分に緩衝部612〜642を備えており、可動板21が緩衝部612〜642に衝突することで、緩衝部612〜642が可動板21の慣性力を吸収しつつ、可動板21の挙動を規制するように構成されている。
【選択図】図2
Description
例えば、レーザープリンタ等にて光走査により描画を行うための光スキャナとして、捩り振動子で構成されたアクチュエータを用いたものが知られている(例えば、特許文献1参照。)。
例えば、特許文献1にかかるアクチュエータ(光走査装置)は、1自由度振動系の捩り振動子で構成されている。すなわち、かかるアクチュエータは、可動板(磁石つきミラー)を軸部材(超弾性合金ワイヤ)を介して支持部(ハウジング)に対し回動可能に支持して構成されている。
しかしながら、特許文献1にかかるアクチュエータにあっては、磁界の向きが切り換わっても、その磁界により発生する磁気力に反発するような可動板の慣性力が発生しているため、可動板が磁界の変化に追従できず、これが原因となって、可動板の挙動が乱れてしまう場合がある(例えば、微小な振動が発生してしまう)。つまり、特許文献1にかかるアクチュエータでは、可動板の挙動を規制することができず、所望の回動特性(走査特性)を発揮することが難しい。
本発明のアクチュエータは、回動可能な可動板と、
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも1つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成されていることを特徴とする。
これにより、簡単な構成でかつ確実に可動板の挙動を規制することができる。
これにより、緩衝部によって、より効率的に可動板の慣性力を吸収することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部の表面は、前記可動板に対する離型性を有していることが好ましい。
これにより、可動板が衝突部に貼り付くことで、可動板の挙動が乱れたり、可動板や緩衝部が破損してしまったりすることを防止することができる。
これにより、規制部材の取付けを高精度に行わなくても、可動板の回動角を所望角度に規制することができる。つまり、アクチュエータの製造の簡易化を図りつつ、可動板の挙動を所望のものに規制することができる。
これにより、アクチュエータの小型化を図りつつ、確実に可動板の挙動を規制することができる。
これにより、1対の緩衝部によって可動板の慣性力を吸収することができ、より効率的に可動板の慣性力を吸収することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記各規制部材と前記可動板の回動中心軸との離間距離は、互いにほぼ等しいことが好ましい。
これにより、規制部材の配置を簡単なものとしつつ、可動板の回動角を所望角度に規制することができる。
これにより、大きい駆動力を得ることができる。
これにより、垂直走査に適したアクチュエータを提供することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記可動板の一方の板面には、光反射性を有する光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエータを光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに用いることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記規制部材は、前記可動板の前記光反射部と反対の面側に位置するように少なくとも1対設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエータの光走査を妨害してしまうことを防止することができる。
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも1つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成されていることを特徴とする。
これにより、簡単な構成でかつ確実に可動板の挙動を規制することができる光スキャナを提供することができる。
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも1つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成された光スキャナを備えていることを特徴とする。
これにより、簡単な構成でかつ確実に可動板の挙動を規制することができる画像形成装置を提供することができる。
<第1実施形態>
まず、本発明のアクチュエータの第1実施形態について説明する。
図1は、本発明のアクチュエータの第1実施形態を示す模式的斜視図、図2は、図1中のA−A線断面図、図3は、図1中のB−B線断面図、図4は、図1に示すアクチュエータの駆動電圧の電圧波形の一例を示す図、図5は、図1に示すアクチュエータの作動を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図1中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図2、3、5中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
各図に示すように、アクチュエータ1は、図1に示すような基体2と、スペーサ部材31を介して基体2を支持する支持基板4と、スペーサ部材32を介して基体2と接合する蓋体5と、基体2が備える可動板21の挙動を規制する4つの規制部材61〜64とを有している。
図1に示すように、基体2は、可動板21と、可動板21を両持ち支持する1対の軸部材22、23と、1対の軸部材22、23を介して可動板21を支持する支持部24とで構成されている。
可動板21は、その平面視にて長方形状をなしている。そして、この可動板21は、後述する回動中心軸Xと直交する方向に沿って延在している。
このような可動板21の上面(つまり、蓋体5側の面)であって、長手方向の中央部には、光反射性を有する光反射部211が設けられており、両端部(つまり、回動中心軸Xから遠位に位置する部位)には、永久磁石71、72が設けられている。
なお、可動板21の平面視形状としては、特に限定されず、例えば、円状であってもよいし、正方形状であってもよい。
以上のような可動板21は、1対の軸部材22、23によって両側から支持されている。
同様に、軸部材23は、棒状をなしている。この軸部材23は、その長手方向での一端(図1中左側の端)が可動板21に、他端(図1中右側の端)が支持部24にそれぞれ接続している。
支持部24は、可動板21の平面視にて、可動板21および1対の軸部材22、23の外周を囲むように形成されている。つまり、支持部24は、枠状をなしている。
以上説明した基体2は、下側にてスペーサ部材31を介して支持基板4と接合しているとともに、上側にてスペーサ部材32を介して蓋体5と接合している。
スペーサ部材31の内壁によって空間311が画成されている。この空間311は、可動板21の回動を許容するための空間である。
また、例えば、基体2をSOI基板の一方のSi層から形成した場合には、SiO2層および他方のSi層からスペーサ部材31を形成してもよい。これにより、基体2とスペーサ部材31とを一体的に形成することができるため、アクチュエータの製造工程の簡易化を図ることができる。
支持基板4は板状をなし、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。
図2に示すように、支持基板4の上面であって、永久磁石73と対向する部位には、規制部材63が設けられており、永久磁石74と対向する部位には、規制部材64が設けられている。このような規制部材63、64については、後に詳述する。
一方、基体2の上側に位置するスペーサ部材32は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。このスペーサ部材32は、支持部24の平面視形状と一致するように形成されていて(つまり、枠状をなしていて)、スペーサ部材32の下面が支持部24の上面に接合している。
本実施形態では、スペーサ部材32は、スペーサ部材31と同一形状かつ同一寸法となっている。なお、このようなスペーサ部材32の形状としては、可動板21の回動を許容する空間を形成することができれば特に限定されず、例えば、枠状をなしていなくてもよいし、スペーサ部材31と同一寸法かつ同一形状でなくてもよい。
蓋体5は板状をなしており、スペーサ部材32の開口を覆うように設けられている。つまり、支持部24と、スペーサ部材31、32と、支持基板4と、蓋体5とで密閉された空間(つまり、空間311と空間321とを合わせた空間)が画成されている。これにより、例えば、この空間内にアルゴンなどの不活性ガスを充填することができ、可動板21の回動特性を向上させることができる。
このような蓋体5は、光透過性を有する材料で構成されている。光透過性を有する材料としては、特に限定されず、例えば、ガラスなどを好適に用いることができる。光透過性を有する材料で蓋体5を構成することにより、アクチュエータ1の外部に設けられた光源(図示せず)から光反射部211に向けて照出された光を光反射部211で反射させ、対象物に走査することができる。
なお、蓋体5の構成としては、特に限定されず、例えば、光透過性を有しない材料で構成されるとともに、光反射部211に対向する部分に開口が設けられているものであってもよいし、光透過性を有しない材料と光透過性を有する材料とを組み合わせてもよい。
図2に示すように、可動板21の上面に設けられている1対の永久磁石71、72は、可動板21の平面視にて回動中心軸Xに対して互いに反対側に位置し、かつ、回動中心軸Xに対して対称的に設けられている。
同様に、可動板21の下面に設けられている1対の永久磁石73、74は、可動板21の平面視にて回動中心軸Xに対して互いに反対側に位置し、かつ、回動中心軸Xに対して対称的に設けられている。
永久磁石71は、長手形状をなしていて、回動中心軸Xと平行な方向を長手とするように設けられている。また、永久磁石71の長さは、可動板21の幅(つまり、回動中心軸Xと平行な方向での長さ)とほぼ等しくなっている。また、永久磁石71の横断面形状は、四角形状をなしている。ただし、永久磁石71の形状としては、特に限定されず、例えば、永久磁石71の長さが、可動板21の幅よりも短くてもよい。
このような永久磁石71〜74は、それぞれ、可動板21の厚さ方向(つまり、図2の上下方向)へ磁化している。さらに、永久磁石71、73は、対向する面側同士が互いに異極となっている。同様に、永久磁石72、74は、対向する面側同士が互いに異極となっている。
このような永久磁石71〜74としては、特に限定されず、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石などを好適に用いることができる。
図2に示すように、規制部材61、62は、可動板21の上面側に設けられている。このような規制部材61、62は、可動板21の平面視にて回動中心軸Xに対して互いに反対側に位置するように、かつ、回動中心軸Xに対して対称的に設けられている。
規制部材61は、永久磁石71と図2の上下方向にて所定距離離間して設けられている。また、規制部材61は、可動板21の平面視にて、その外周で囲まれる領域内に永久磁石71を含むように設けられている。
一方、規制部材63、64は、可動板21の下面側に設けられている。このような規制部材63、64は、可動板21の平面視にて回動中心軸Xに対して互いに反対側に位置するように、かつ、回動中心軸Xに対して対称的に設けられている。
同様に、規制部材64は、永久磁石74と図2の上下方向にて所定距離離間して設けられている。また、規制部材64は、可動板21の平面視にて、その外周で囲まれる領域内に永久磁石74を含むように設けられている。
本実施形態では、規制部材61と永久磁石71との離間距離と、規制部材62と永久磁石72との離間距離と、規制部材63と永久磁石73との離間距離と、規制部材64と永久磁石74との離間距離とが、互いに等しくなっている。言い換えれば、各規制部材61〜64と回動中心軸Xとの離間距離が、互いにほぼ等しくなっている。これにより、規制部材61〜64の配置を簡単なものとしつつ、可動板21の回動角を所望角度に規制することができる。
規制部材64は、円筒状をなしている。このような規制部材64は、図3に示すように、円筒状のコイル(磁界発生部)641と、コイル641の上端に接合された緩衝部642とで構成されている。そして、このような規制部材64は、アクチュエータ1の駆動の際、可動板21が永久磁石74を介して緩衝部642に衝突することで、緩衝部642で可動板21の慣性力を吸収しつつ、可動板21の挙動を規制するように構成されている。また、このような規制部材64は、可動板21を回動させる駆動手段としての機能も有している。
緩衝部642は、可動板21の慣性力を吸収する機能を有している。このような緩衝部642は、弾性変形可能に形成されていて、可動板21が衝突することで弾性変形し、この弾性変形により可動板21の慣性力を吸収する。
また、緩衝部642は、優れた復元性を有していることが好ましい。これにより、可動板21が緩衝部642に衝突する度に、緩衝部642によって可動板21の慣性力を吸収することができる。その結果、アクチュエータ1を所望の挙動で長時間連続的に駆動させることができる。
以上、アクチュエータ1の構成について説明した。
規制部材64がコイル641を備えているのと同様に、規制部材61は、コイル611を備えており、規制部材62は、コイル621を備えており、規制部材63は、コイル631を備えている。そして、このような4つのコイル611、621、631、641は、それぞれ、前記電圧印加手段に接続されている。
そして、例えば、前記電圧印加手段によって、図4に示すようなノコギリ波状の交流電圧を各コイル611、621、631、641に印加すると、各コイル611、621、631、641付近に、可動板21の厚さ方向の磁力線を有する磁界が発生し、かつ、その磁界の向きが周期的に切り替わる。
つまり、コイル611、621のそれぞれの下面付近がS極となっている場合には、コイル631、641のそれぞれの上面付近もS極となり、コイル611、621のそれぞれの下面付近がN極となっている場合には、コイル631、641のそれぞれの上面付近もN極となるように構成されている。
第1の状態では、図5(a)に示すように、可動板21の回動中心軸Xに対して右側の部分が上方へ向けて変位するとともに、左側の部分が下方へ向けて変位する。つまり、可動板21が図5にて反時計回りに回動する。このときの可動板21の回動速度(角速度)は、ほぼ一定である。
このような第1の状態では、コイル611と永久磁石71との間およびコイル641と永久磁石74との間のそれぞれに働く磁気反発力と、コイル621と永久磁石72との間およびコイル631と永久磁石73との間のそれぞれに働く磁気吸着力とで、可動板21を回動させる。そのため、大きい駆動力で可動板21を回動させることができる。
第2の状態では、図5(b)に示すように、可動板21の回動中心軸Xに対して右側の部分が下方へ向けて変位するとともに、左側の部分が上方へ向けて変位する。つまり、可動板21が図5にて時計回りに回動する。このときの可動板21の回動速度(角速度)は、ほぼ一定であり、かつ、第1の状態での可動板21の回動速度と異なっている。
そして、可動板21が緩衝部612、642に衝突するとほぼ同時に、第2の状態から前述した第1の状態に切り換わる。このように、第1の状態と第2の状態とを交互に繰り返すことで、1対の軸部材22、23を捩り変形させながら可動板21を回動中心軸Xまわりに回動させることができる。
次に、本発明の画像形成装置の第2実施形態について説明する。
図6は、本発明のアクチュエータの第2実施形態を示す模式的断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図6中の紙面上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言いう。
本発明の第2実施形態にかかるアクチュエータ1Aは、可動板の下面に永久磁石が設けられていない以外は、第1実施形態のアクチュエータ1とほぼ同様である。
本実施形態では、永久磁石71と規制部材61のギャップと、可動板21と規制部材64のギャップとをほぼ等しくするために、所望の厚さのスペーサ42を介して規制部材64を支持基板4に接合している。同様に、永久磁石72と規制部材62のギャップと、可動板21と規制部材63のギャップとをほぼ等しくするために、所望の厚さのスペーサ41を介して規制部材63を支持基板4に接合している。
また、永久磁石71、72は、可動板21の下面に設けられていてもよい。
以上説明したような第2実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
次に、本発明の画像形成装置の第2実施形態について説明する。
図7は、本発明のアクチュエータの第3実施形態を示す模式的断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図7中の紙面上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
本発明の第3実施形態にかかるアクチュエータ1Bは、可動板21の下面側にのみ、永久磁石と、永久磁石に対応する規制部材とが配設されている以外は、第1実施形態のアクチュエータ1とほぼ同様である。
可動板21の上面には、光反射部211が設けられている。また、可動板21の下面であって、回動中心軸Xに対して左側に永久磁石73が設けられており、右側に永久磁石74が設けられている。このような永久磁石73、74は、可動板21の平面視にて、回動中心軸Xに対して対称的に設けられている。
また、可動板21の上面に光反射部211のみを設ければよいため、光反射部211を大きくすることができる。
以上説明したような第3実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
次に、本発明の画像形成装置の第4実施形態について説明する。
図8は、本発明のアクチュエータの第4実施形態を示す模式的平面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図8中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
本発明の第4実施形態にかかるアクチュエータ1Cは、可動板の形状、永久磁石および規制部材の配置が異なる以外は、第3実施形態のアクチュエータ1Bとほぼ同様である。
突出部21a、21cは、回動中心軸Xに対して対称的に設けられている。同様に、突出部21b、21dは、回動中心軸Xに対して対称的に設けられている。このような突出部21a〜21dは、可動板21の平面視して、略正方形状をなしている。また、突出部21a〜21dは、互いに同一寸法かつ同一形状となっている。
さらに、支持基板4の上面であって、永久磁石71Cに対向する部位には、規制部材61Cが設けられており、永久磁石72Cに対向する部位には、規制部材62Cが設けられており、永久磁石73Cに対向する部位には、規制部材63Cが設けられており、永久磁石74Cに対向する部位には、規制部材64Cが設けられている。
また、本実施形態では、4つの永久磁石71C〜74Cと、それぞれに対応する4つの規制部材61C〜64Cとで、可動板21を回動させるため、例えば、第3実施形態のアクチュエータ1Bと比べて、より大きい駆動力で可動板21を回動させることができる。
以上説明したようなアクチュエータ1〜1Cは、例えば、光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに適用することができる。
アクチュエータ1を光スキャナとして用いた場合、アクチュエータ1(本発明にかかる光スキャナ)は、光反射部211で反射した光を走査する。
プロジェクタ100は、レーザーなどの光を照出する光源装置101と、複数のダイクロイックミラー102と、水平走査用アクチュエータ103と、垂直走査用のアクチュエータ1とを有している。
ダイクロイックミラー102は、赤色光源装置101a、青色光源装置101b、緑色光源装置101cのそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
このようなプロジェクタ100は、図示しないホストコンピュータからの画像情報に基づいて、赤色光源装置101a、青色光源装置101b、緑色光源装置101cのそれぞれから照出された光をダイクロイックミラー102で合成し、この合成された光が、水平走査用アクチュエータ103およびアクチュエータ1によって走査され、スクリーンS上でカラー画像を形成するように構成されている。
まず、ダイクロイックミラー102で合成された光は、水平走査用アクチュエータ103によってスクリーンSの横方向に走査される(水平走査)。このとき、水平走査用アクチュエータ103は、例えば10〜30kHz程度の駆動周波数で駆動する。一般に、水平走査用アクチュエータ103は、その共振周波数が駆動周波数と等しくなるように設計されていて、水平走査用アクチュエータ103を共振駆動するように構成されている。
アクチュエータ1は、例えば、可動板21が緩衝部612、642に衝突する位置(つまり図5(b)の状態)において、光反射部211で反射した光がスクリーンSの上端に走査されるように、かつ、可動板21が緩衝部622、632に衝突する位置(つまり図5(a)の状態)において、光反射部211で反射した光がスクリーンSの下端に走査されるように構成されている。
そして、アクチュエータ1は、スクリーンSの下端まで光を走査し終えると(つまり、図5(a)の状態となると)同時に、可動板21を図5(b)の状態とすべく、可動板21をすばやく回動させる。
そして、アクチュエータ1は、再度、可動板21を図5(b)の状態から図5(a)の状態へ向けて一定速度で回動させつつ、水平走査用アクチュエータ103で走査された光を光反射部211で反射させ、反射した光をスクリーンSの上端から下端に向けて走査する。
ここで、可動板21を前述したような挙動で回動させるためには、例えば、図4に示すようなノコギリ波状の交流電圧を各コイル611〜641に印加する。また、可動板21を前述したような挙動で回動させるためには、可動板21を非共振で駆動させる必要もある。
以上の様にして、2次元的なカラー画像をスクリーンS上に形成することができる。
また、前述した実施形態では、可動板と1対の軸部材と支持部とが一体的に形成された基体を用いているものについて説明したが、これに限定されず、別体として形成されていてもよい。例えば、可動板と1対の軸部材とを一体的に形成するとともに、支持部を別体として形成し、支持部が各軸部材を介して可動板を回転自在に支持するように構成されていてもよい。
また、可動板を駆動させる駆動源としてコイルと永久磁石を使用した電磁駆動を用いたものについて説明したが、これに限定されず、例えば、いわゆる静電駆動であってもよいし、いわゆる圧電駆動であってもよい。
Claims (13)
- 回動可能な可動板と、
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも1つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 前記緩衝部は、弾性材料を主材料として構成されている請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記緩衝部の表面は、前記可動板に対する離型性を有している請求項1または2に記載のアクチュエータ。
- 前記規制部材は、前記可動板の回動中心軸から遠位に位置する部位と衝突するように設けられている請求項1ないし3のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記規制部材は、前記可動板の平面視にて前記可動板の回動中心軸に対して互いに反対側に位置するように少なくとも1対設けられている請求項1ないし4のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記規制部材は、前記可動板に対して互いに反対側に位置するように少なくとも1対設けられている請求項1ないし5のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記各規制部材と前記可動板の回動中心軸との離間距離は、互いにほぼ等しい請求項5または6に記載のアクチュエータ。
- 前記付属物は、前記可動板の厚さ方向に着磁された少なくとも1つの永久磁石であり、前記規制部材は、前記永久磁石に作用する磁界を発生させる磁界発生部を備え、前記磁界発生部の作動により、前記可動板を回動させるように構成されている請求項1ないし7のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記磁界発生部にノコギリ波状の交流電圧を印加する電圧印加手段を有している請求項8に記載のアクチュエータ。
- 前記可動板の一方の板面には、光反射性を有する光反射部が設けられている請求項1ないし9のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記規制部材は、前記可動板の前記光反射部と反対の面側に位置するように少なくとも1対設けられている請求項10に記載のアクチュエータ。
- 光反射性を有する光反射部が設けられた回動可能な可動板と、
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも1つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成されていることを特徴とする光スキャナ。 - 光反射性を有する光反射部が設けられた回動可能な可動板と、
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも1つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成された光スキャナを備えていることを特徴とする画像形成装置。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013076845A1 (ja) * | 2011-11-24 | 2013-05-30 | パイオニア株式会社 | アクチュエータの製造方法及びアクチュエータ |
JP2013114259A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-06-10 | Pioneer Electronic Corp | アクチュエータの製造方法及びアクチュエータ |
JP2013114258A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-06-10 | Pioneer Electronic Corp | アクチュエータの製造方法及びアクチュエータ |
JP2013114257A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-06-10 | Pioneer Electronic Corp | アクチュエータの製造方法及びアクチュエータ |
US9519134B2 (en) | 2014-03-27 | 2016-12-13 | Seiko Epson Corporation | Optical device and image display apparatus |
CN106249401A (zh) * | 2015-06-09 | 2016-12-21 | 精工爱普生株式会社 | 光学器件以及图像显示装置 |
JP2017138589A (ja) * | 2016-01-19 | 2017-08-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh | Mems装置及びmems装置の動作方法 |
WO2018179041A1 (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-04 | オリンパス株式会社 | 光偏向器 |
JP2020003629A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | パイオニア株式会社 | 光走査装置 |
JPWO2019172307A1 (ja) * | 2018-03-09 | 2021-03-11 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ付き反射板、光走査装置、及びミラーアクチュエータ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006323001A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Canon Inc | 揺動体装置、およびそれを用いた光偏向器 |
JP2007052256A (ja) * | 2005-08-18 | 2007-03-01 | Fujifilm Corp | 回転変位型光変調素子及びこれを用いた光学装置 |
-
2007
- 2007-06-07 JP JP2007151223A patent/JP5040452B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006323001A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Canon Inc | 揺動体装置、およびそれを用いた光偏向器 |
JP2007052256A (ja) * | 2005-08-18 | 2007-03-01 | Fujifilm Corp | 回転変位型光変調素子及びこれを用いた光学装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013076845A1 (ja) * | 2011-11-24 | 2013-05-30 | パイオニア株式会社 | アクチュエータの製造方法及びアクチュエータ |
JP2013114259A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-06-10 | Pioneer Electronic Corp | アクチュエータの製造方法及びアクチュエータ |
JP2013114258A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-06-10 | Pioneer Electronic Corp | アクチュエータの製造方法及びアクチュエータ |
JP2013114257A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-06-10 | Pioneer Electronic Corp | アクチュエータの製造方法及びアクチュエータ |
US9519134B2 (en) | 2014-03-27 | 2016-12-13 | Seiko Epson Corporation | Optical device and image display apparatus |
CN106249401A (zh) * | 2015-06-09 | 2016-12-21 | 精工爱普生株式会社 | 光学器件以及图像显示装置 |
JP2017003744A (ja) * | 2015-06-09 | 2017-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイスおよび画像表示装置 |
JP2017138589A (ja) * | 2016-01-19 | 2017-08-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh | Mems装置及びmems装置の動作方法 |
WO2018179041A1 (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-04 | オリンパス株式会社 | 光偏向器 |
JPWO2019172307A1 (ja) * | 2018-03-09 | 2021-03-11 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ付き反射板、光走査装置、及びミラーアクチュエータ |
JP2020003629A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | パイオニア株式会社 | 光走査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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