JP2013114259A - アクチュエータの製造方法及びアクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。
【選択図】図2
Description
本実施形態のアクチュエータの製造方法は、(i)反射膜が形成される可動部と、(ii)当該可動部を取り囲む支持部と、(iii)前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記支持部とを接続するトーションバーとを備えるアクチュエータの製造方法であって、基板上に、前記可動部、前記支持部及び前記トーションバーを形成する第1工程と、前記可動部上に、前記反射膜を形成する第2工程と、前記可動部のうち前記反射膜が形成される側に、(i)前記反射膜の表面から突き出る高さを有する突起部であって、且つ(ii)前記基板のうち前記反射膜が形成される側の表面が他の構造物に対向している場合であっても、前記他の構造物に接触することで前記他の構造物が前記反射膜に接触することを抑制する突起部を形成する第3工程とを備える。
本実施形態のアクチュエータは、反射膜が形成される可動部と、当該可動部を取り囲む支持部と、前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記支持部とを接続するトーションバーとを備え、前記可動部のうち前記反射膜が形成される側に、(i)前記反射膜の表面から突き出る高さを有する突起部であって、且つ(ii)対向する他の構造物に前記反射膜が接触する前に前記他の構造物に接触することで前記他の構造物が前記反射膜に接触することを抑制する突起部を備える。
はじめに、図1から図12を参照して、第1実施例のアクチュエータ101及び当該アクチュエータ101の製造方法について説明する。
はじめに、図1を参照して、第1実施例のアクチュエータ101の構成について説明する。図1は、第1実施例のアクチュエータ101の構成の一例を示す平面図及び断面図である。
続いて、図5から図11を参照して、第1実施例のアクチュエータ101を製造するための製造方法について説明する。図5は、第1実施例のアクチュエータ101を製造するための製造方法の流れを示すフローチャートである。図6から図11は、夫々、第1実施例のアクチュエータ101を製造するための製造方法の各工程が行われた場合のアクチュエータ101の状態を示す断面図及び平面図である。尚、図6から図11では、各図(a)は、各図(b)の平面図の一点鎖線での断面図を示す。
続いて、図13を参照して、第2実施例のアクチュエータ102について説明する。図13は、第2実施例のアクチュエータ102の構成の一例を示す平面図である。尚、第1実施例のアクチュエータ101と同様の構成要素については同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
110 支持部
120 可動部
130 トーションバー
140 駆動コイル
150 電源端子
160 永久磁石
170 反射ミラー
180 突起部
213 基礎部材
214 保護膜
215 金属膜
Claims (18)
- (i)反射膜が形成される可動部と、(ii)当該可動部を取り囲む支持部と、(iii)前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記支持部とを接続するトーションバーとを備えるアクチュエータの製造方法であって、
基板上に、前記可動部、前記支持部及び前記トーションバーを形成する第1工程と、
前記可動部上に、前記反射膜を形成する第2工程と、
前記可動部のうち前記反射膜が形成される側に、(i)前記反射膜の表面から突き出る高さを有する突起部であって、且つ(ii)前記基板のうち前記反射膜が形成される側の表面が他の構造物に対向している場合であっても、前記他の構造物に接触することで前記他の構造物が前記反射膜に接触することを抑制する突起部を形成する第3工程と
を備えることを特徴とするアクチュエータの製造方法。 - 前記突起部は、前記基板のうち前記反射膜が形成される側の表面が前記他の構造物の表面に対して傾いた状態で対向している場合であっても、前記突起部が前記他の構造物に接触することで前記反射膜が前記他の構造物に接触することを抑制することができる程度の高さを有することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記第3工程は、前記突起部を複数形成することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記複数の突起部の少なくとも一つは、前記反射膜の表面が湾曲した状態で前記基板のうち前記反射膜が形成される側の表面が前記他の構造物に対向している場合であっても、前記複数の突起部の少なくとも一つが前記他の構造物の表面に接触することで前記反射膜が前記他の構造物に接触しなくなる程度の高さを有することを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記突起部の高さは、前記可動部及び前記反射膜の少なくとも一方の表面粗さよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記突起部の高さは、前記反射膜に対して照射される光の波長の長さ以下であることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記突起部の前記反射膜の表面に沿った方向の幅は、前記反射膜に対して照射される光の波長の長さ以下であることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記第3工程は、前記可動部内で離散的に分布する前記複数の突起部を形成することを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記第3工程は、前記反射膜の表面が湾曲した状態で前記基板のうち前記反射膜が形成される側の表面が前記他の構造物に対向している場合であっても、前記突起部が前記他の構造物に接触することで前記反射膜が前記他の構造物に接触しなくなるような配置位置に前記複数の突起部を形成することを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記第3工程は、3つ以上の前記突起部が同一直線上に配置される配置位置に前記3つ以上の突起部を形成する場合には、前記3つ以上の突起部が等間隔に配置されなくなる配置位置に前記3つ以上の突起部を形成することを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記第3工程は、前記可動部及び前記反射膜の少なくとも一方の中心付近又は中央付近に前記突起部を形成することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記第3工程は、前記反射膜上において光を反射する領域に対する前記反射膜上において前記突起部の影に起因して生ずる前記光を反射しない領域の割合が、所定の割合以下となるように、前記突起部を形成することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記所定の割合は1%であることを特徴とする請求項13に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記第3工程は、前記突起部の形成と同時に又は並行して、前記アクチュエータの動作に関連する所定の回路を前記基板上に形成することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記突起部の表面の反射率は、前記反射膜の表面の反射率よりも低いことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの製造方法。
- 前記突起部の光吸収率は、前記反射膜の光吸収率よりも高いことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの製造方法。
- 反射膜が形成される可動部と、
当該可動部を取り囲む支持部と、
前記可動部が揺動可能なように前記可動部と前記支持部とを接続するトーションバーと
を備え、
前記可動部のうち前記反射膜が形成される側に、(i)前記反射膜の表面から突き出る高さを有する突起部であって、且つ(ii)対向する他の構造物に接触することで前記他の構造物が前記反射膜に接触することを抑制する突起部を備えることを特徴とするアクチュエータ。
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