KR200400646Y1 - 평판디스플레이용 유리기판 검사 장치의 글라스 지지핀 - Google Patents

Abstract

본 고안은 투명 재질로 제작되고, 마이크로 검사를 위하여 놓이는 유리기판을 지지하는 면이 최소화할 수 있는 헤드 구조를 가지며, 높이 조절이 가능하도록 개선시킨 평판 디스플레이용 유리기판 검사 장치의 검사대에 설치되는 지지핀을 개시한다. 본 고안의 지지핀은, 마이크로 검사를 위하여 유리기판이 놓이는 검사대의 중심부에 일정한 패턴을 가지고 복수 개 수직되게 설치되어 상기 유리기판의 중심부를 지지하고, 상기 유리기판과 정점에서 접하는 둥근 면이 상부에 형성되고, 제 1 나사부가 하부에 형성된 헤드; 상기 제 1 나사부와 결합되는 제 2 나사부가 상부에 형성되고, 하부에 상기 검사대에 접하여 고정되는 베이스가 형성되며, 상기 제 2 나사부와 상기 베이스는 원기둥에 의하여 연결되는 몸체; 및 상기 헤드와 상기 몸체가 나사결합되는 사이에 삽입되는 와셔;를 구비하며, 상기 헤드, 상기 몸체 및 상기 와셔는 투명 재질로 구성된다.

Description

평판디스플레이용 유리기판 검사 장치의 글라스 지지핀{GLASS SUPPROT PIN OF INSPECTION APPARATUS FOR FLAT PANEL DISPLAY}

본 고안은 평판디스플레이용 유리기판 검사 장치의 검사대에 설치되는 글라스 지지핀에 관한 것으로서, 특히 투명 재질로 제작되고, 마이크로 검사를 위하여 놓이는 유리기판과 접촉하는 면이 최소화할 수 있는 헤드 구조를 가지며, 높이 조절이 가능하도록 개선시킨 평판 디스플레이용 유리기판 검사 장치의 검사대에 설치되는 글라스 지지핀에 관한 것이다.

최근 디스플레이 기술이 발전함에 따라 액정표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이 검사대(PDP) 또는 유기전계발광소자(유기 EL)등을 기본 표시 소자로 채용한 다양한 평판디스플레이(flat panel display; 이하 "FPD"라 함) 장치가 제품으로 개발되어 시판되고 있다.

이들 FPD는 제조 공정 중에 1회 이상의 매크로 검사 및 마이크로 검사를 거친다.

이 중 매크로 검사는 작업자가 육안으로 유리기판 전체에 얼룩이나 이물질이 부착된 상태를 검사하는 과정이다. 그리고, 마이크로 검사는 국소부위의 얼룩이나 이물질을 고배율 현미경과 같은 마이크로 장치를 이용하여 수십 배 이상으로 확대하여 정밀 검사하는 과정이다.

특히, 마이크로 검사에서는 유리기판에 다양한 각도 및 방향으로 광을 조사하여 검사를 실시한다. 이를 위하여 마이크로 검사를 실시하기 위한 검사대 상에 유리기판이 로딩되며, 유리기판은 검사대에 마련된 복수개의 지지핀에 의하여 지지된다. 즉, 마이크로 검사장치의 검사대에는 지지구조가 설치되어서 유리기판의 중심부가 처짐을 방지한다. 또한, 유리기판은 클램퍼에 의하여 테두리가 클램핑됨으로써 검사대에 고정될 수도 있다.

마이크로 검사에 관련된 장치는 아니지만, 유리기판을 지지하는 지지핀의 일예가 대한민국 등록실용신안 제311,510호에 개시되어 있다. 이 문헌의 도 5에는 에는 액정 디스플레이 검사대의 리패어 장치에서 유리기판을 지지하는 지지핀의 구조가 도시되어 있는데, 지지핀은 원통형의 형상을 갖고, 매트릭스 형태로 배열되어 있다. 종래에는 이러한 지지핀의 재질로서 아크릴이 많이 이용되었다.

이와 같이, 종래에 유리기판의 검사, 보수 등의 작업에서 일반적으로 이용되는 글라스 지지핀은 유리기판의 일면을 평평한 상면으로 지지하는 구조를 가지며, 그 재질이 아크릴로써 불투명이었다.

그러나, 이러한 종래의 지지핀이 검사대에 채용된 경우, 지지핀에 의하여 닿는 유리기판 면은 검사시 지지핀에 의하여 조명이 가려지게 되므로 정상적으로 마이크로 검사가 수행되기 어렵다. 게다가 지지핀은 검사대에 일정한 배열을 가지면서 상당히 많은 수량이 설치된다. 그러므로, 지지핀의 수량에 비례하여 마이크로 검사가 어려운 영역이 증가된다. 더욱이, 지지핀이 불투명재질이므로 마이크로 검사를 위한 조명의 효율성이 저하되는 문제점이 있었다.

전술한 문제점을 해결하기 위하여, 본 고안은 마이크로 검사장치의 검사대에 놓인 유리기판을 최소한의 면적으로 지지하고 검사용 조명의 투과율을 향상시킬 수 있는 글라스 지지핀을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 지지핀은, 마이크로 검사를 위하여 유리기판이 놓이는 검사대의 중심부에 일정한 패턴을 가지고 복수 개 수직되게 설치되어 상기 유리기판의 중심부를 지지하고, 상기 유리기판과 정점에서 접하는 둥근 면이 상부에 형성되고, 제 1 나사부가 하부에 형성된 헤드; 상기 제 1 나사부와 결합되는 제 2 나사부가 상부에 형성되고, 하부에 상기 검사대에 접하여 고정되는 베이스가 형성되며, 상기 제 2 나사부와 상기 베이스는 원기둥에 의하여 연결되는 몸체; 및 상기 헤드와 상기 몸체가 나사결합되는 사이에 삽입되는 와셔;를 구비하며, 상기 헤드, 상기 몸체 및 상기 와셔는 투명 재질로 구성된다.

여기에서 상기 와셔는 두께 조절을 위하여 복수 개로 구성될 수 있다.

이하, 본 고안에 따른 평판디스플레이용 유리기판 검사 장치의 검사대에 적용되는 지지핀의 바람직한 실시예에 대하여 첨부 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.

본 고안에 따른 글라스 지지핀은 도 1과 같이 마이크로 검사장치의 검사대(10)에 설치된다. 검사대(10)는 장방형의 프레임 구조체이며, 테두리를 이루는 프레임과 중심부에서 서로 마주하는 변을 연결하는 보조프레임으로 구성된다. 검사대(10)의 테두리 상면에 흡착 패드(12)가 구성되고, 검사대(10)의 보조 프레임 상에는 복수개의 글라스 지지핀(30)이 일정한 패턴으로 배치된다.

흡착 패드(12)는 공기 흡입/배출에 의하여 상부에 로딩되는 유리기판(20)을 흡착 또는 탈착하는데 이용되며, 지지핀(30)들은 동일한 높이를 가지면서 상부의 유리기판(20)의 중심부가 처지는 것을 방지하도록 지지한다.

검사대(10)에는 상술한 부품 이외에 클램프 등 다양한 부품이 설치될 수 있으나, 본 고안의 실시형태의 용이한 설명을 위하여 구체적인 도시를 생략한다.

지지핀(30)은 유리기판(20)이 안착될 높이를 갖도록 구성됨이 바람직하며, 구체적인 구성은 도 2를 참조하여 설명한다.

지지핀(30)은 베이스(302), 원기둥(304), 및 나사부(306)로 이루어진 몸체(300), 와셔(308) 및 헤드(310)를 포함한다.

여기에서, 몸체(300)는 원기둥(304)의 일단부에 베이스(302)가 일체로 구성되며, 베이스(302)는 원기둥(304)의 직경보다 크고 소정 높이를 갖는다. 그리고, 몸체(300)의 베이스(302)가 검사대(10)의 일면에 접하여 고정됨에 따라 지지핀(30)은 수직으로 세워진 상태가 지지되며, 이때 고정 방법으로써 접착 등 공지의 다양한 방법이 이용될 수 있다.

몸체(300)의 다른 일단부에는 원기둥(304)에 높이 방향으로 연장되게 나사부(306)가 일체로 구성된다. 나사부(306)는 헤드(310)와 결합을 위한 것이며, 헤드(310)에는 몸체의 나사부(306)와 대응되는 나사부(도시되지 않음)가 구성된다. 본 실시예에서는 몸체(300)에 형성된 나사부(306)는 수나사로 구성되고, 헤드(310)의 나사부는 암나사로 구성된 것이 예시되었으나, 이에 국한되지 않고 헤드(310)에 수나사를 구성하고 그에 대응되도록 몸체(300)에 암나사를 구성할 수 있다.

헤드(310)는 상부에 둥근 면을 가지면서 외경이 원기둥(304)의 직경과 동일하게 구성된다. 그리고, 헤드(310)가 몸체(300)의 나사부(306)와 나사결합되며, 나사부(306)에는 와셔(308)가 삽입된다. 와셔(308)는 헤드(310) 및 원기둥(304)의 외경과 동일한 외경을 가지면서 나사부(306)가 관통 가능한 관통구를 갖는다.

본 고안에 따른 지지핀(30)을 이루는 부품들, 바람직하게는, 적어도 헤드(310)는 투명한 재질로 제조되는 것이 좋다. 대표적인 재료로서 석영이 이용될 수 있다.

상기와 같이 지지핀(30)이 구성됨으로써, 검사대(10)에 지지핀(30)이 일정한 패턴을 가지면서 배열되어 고정 설치될 수 있으며, 상부로 로딩된 유리기판(20)이 처지지 않게 지지한다. 유리기판(20)은 중심부가 지지핀(30)에 의하여 지지됨으로써 처짐에 의한 휨 현상없이 마이크로 검사를 수행할 수 있는 평탄도를 유지할 수 있다.

본 고안에 따른 지지핀(30)은 헤드(310)에 둥근 면이 형성된다. 상부에 유리기판이 안착될 때, 유리기판은 헤드(310)의 둥근 면의 정점과 접하여 지지된다. 이에 따라, 본 고안에 따른 지지핀이 유리기판(20)과 접하는 영역은 종래의 원통형으로 형성된 지지핀에서 면으로 접하던 것에 비하여 최소화될 수 있다.

또한, 본 고안에 따른 지지핀(30)을 구성하는 부품은 투명한 재질의 석영으로 제작됨으로써 마이크로 조명이 투과될 수 있다. 그러므로, 조명의 투과율이 향상될 수 있다.

또한, 본 고안의 지지핀(30)은 와셔(308)로써 높이 조절이 가능하다. 구체적으로, 높이 조절이 필요한 경우, 지지핀(30)의 높이는 적절한 두께를 갖는 와셔(308)를 교체 결합하거나 또는 삽입되는 와셔(308)의 수량을 가변함으로써 조절될 수 있다.

이상에서 본 고안에 대한 기술사상을 첨부 도면과 함께 설명하였지만, 이는 본 고안의 가장 양호한 일 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한 이 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 기술 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.

본 고안에 의하면 지지핀이 유리기판에 접하는 면적(영역)이 최소화됨으로써 마이크로 검사 영역이 최대화될 수 있고, 지지핀이 투광성을 갖는 재질로 구성되어 마이크로 조명의 투과율이 향상될 수 있다. 그러므로 FPD용 유리기판의 전면 마이크로 검사가 가능하고, 그를 위한 조명 상태가 양호하게 제공될 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 고안은 필요한 경우 와셔의 교체 또는 수량 변경으로 유리기판을 지지하는 높이를 가변할 수 있으므로, 최적의 상태로 유리기판을 지지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 고안에 따른 글라스 지지핀이 적용된 상태의 평판디스플레이용 유리기판 검사 장치의 검사대를 개략적으로 도시한 단면도.

도 2는 본 고안에 따른 글라스 지지핀의 분해 사시도.

Claims (5)

1. 마이크로 검사를 위하여 유리기판이 놓이는 검사대에 복수개 설치되어 상기 유리기판을 지지하는 지지핀에 있어서,

   상기 유리기판과 정점에서 접하는 둥근 면이 상부에 형성되고, 제 1 나사부가 하부에 형성된 헤드;

   상기 제 1 나사부와 결합되는 제 2 나사부가 상부에 형성되고, 하부에 상기 검사대에 접하여 고정되는 베이스가 형성되며, 상기 제 2 나사부와 상기 베이스는 원기둥에 의하여 연결되는 몸체; 및

   상기 헤드와 상기 몸체가 나사결합되는 사이에 삽입되는 와셔를 구비하고,

   적어도 상기 헤드는 투명한 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판 검사 장치의 글라스 지지핀.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 헤드는 석영으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판 검사 장치의 글라스 지지핀.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 몸체는 투명한 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판 검사 장치의 글라스 지지핀.
4. 청구항 3에 있어서,

   상기 몸체는 석영으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판 검사 장치의 글라스 지지핀.
5. 청구항 1에 있어서,

   상기 와셔는 복수개로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판 검사 장치의 글라스 지지핀.