KR101955530B1 - 액정표시장치용 검사장비 및 이를 이용한 검사방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 액정표시장치용 검사장비는 일면에 제1진공홀을 갖는 제1패드와; 상기 제1패드의 중앙에 위치하고, 상기 제1진공홀에 의해 둘러싸이며 일면에 제2진공홀을 갖는 제2패드와; 상기 제1패드 일면에 상기 제1진공홀을 둘러싸는 오링을 포함한다.

Description

액정표시장치용 검사장비 및 이를 이용한 검사방법{testing apparatus for liquid crystal display device and testing method using the same}

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정표시장치용 검사장비 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것이다.

액정표시장치는 콘트라스트 비(contrast ratio)가 크고 동화상 표시에 적합하며 소비전력이 적다는 특징을 보여 노트북, 모니터, TV 등의 다양한 분야에서 활용되고 있다. 액정은 분자구조가 가늘고 길며 배열에 방향성을 갖는 광학적 이방성과, 전기장 내에 놓일 경우 그 크기에 따라 분자배열 방향이 변화되는 분극성질을 띠며, 액정표시장치는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용하여 화상을 구현한다.

일반적으로, 액정표시장치는 제1기판과 제2기판 사이로 액정층을 개재해서 합착시킨 액정패널을 포함하며, 제1기판과 제2기판의 내면에는 전극이 형성되어, 두 전극에 인가되는 전기장에 의해 액정분자의 배열방향을 변화시켜 투과율 차이를 발생시키게 된다.

이러한 액정패널의 투과율 차이는 그 배면에 놓이는 백라이트(backlight)로부터 공급되는 빛이 컬러필터를 통과하면서 색 조합이 반영되어 컬러화상의 형태로 표시된다.

일반적인 액정표시장치 제조공정은 어레이기판 및 컬러필터기판을 각각 형성하기 위한 기판제조공정과, 액정패널을 완성하는 셀(cell)공정, 그리고 액정패널과 백라이트를 일체화시키는 모듈(module)공정으로 구분될 수 있다.

이중 기판제조공정에서는 박막증착(thin film deposition), 포토리소그라피(photo-lithography), 식각(etching) 등의 과정을 수 차례 반복해서 각 기판에 어레이층과 컬러필터층을 구현하고, 셀 공정에서는 어레이기판 및 컬러필터기판 중 어느 하나에 합착을 위한 씰패턴(seal pattern)을 형성한 후 액정층을 사이에 두고 두 기판을 대면 합착시켜 액정패널을 완성하며, 이렇게 완성된 액정패널은 모듈공정에서 편광판과 구동회로 등이 부착된 후 백라이트와 일체화되어 액정표시장치를 이룬다.

한편, 어레이기판과 컬러필터기판 사이에는 두 기판 사이의 간격을 일정하게 유지하기 위한 스페이서가 위치한다. 스페이서는 형상 및 배치방법에 따라 볼 스페이서(ball spacer)와 컬럼 스페이서(column spacer)로 구분된다. 볼 스페이서는 어레이기판 또는 컬러필터기판 상에 산포시켜 형성하고, 컬럼 스페이서는 어레이기판 또는 컬러필터기판 상에 패터닝을 통해 형성한다. 최근에는 특정 위치에 원하는 형태로 형성 가능한 컬럼 스페이서가 널리 사용되며, 상대적으로 공정수가 적은 컬러필터기판 상에 주로 형성된다.

그런데, 외력(external force)가 가해질 경우, 컬럼 스페이서가 이동하게 되며, 이로 인해 배향막이 손상되어 불량이 발생한다. 이에 대해, 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 종래의 액정표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 제1기판(10)과 제2기판(20)이 이격되어 마주대하고 있으며, 제1기판(10)과 제2기판(20) 상에는 영상을 표시하는 개구영역(aperture area: AA)과 영상이 표시되지 않는 차광영역(shielding area: SA)이 정의된다.

제1기판(10)의 내면에는 차광영역(SA)에 대응하여 게이트 배선 또는 데이터 배선과 같은 신호 배선(12)이 형성되고, 신호 배선(12) 상부에 절연막(14)이 형성되며, 절연막(14) 상부에 제1배향막(16)이 형성된다. 도시하지 않았지만, 제1기판(10) 상의 개구영역(AA)에는 화소전극이 형성된다.

제2기판(20)의 내면에는 차광영역(SA)에 대응하여 블랙매트릭스(22)가 형성되고, 블랙매트릭스(22) 상에는 컬러필터층(24)이 형성되며, 컬러필터층(24) 상에는 제2배향막(26)이 형성된다. 도시하지 않았지만, 제2기판(20) 상에는 전면에 공통전극이 형성된다. 또한, 블랙매트릭스(22)에 대응하는 제2배향막(26) 상에는 컬럼 스페이서(32)가 형성되는데, 하나의 화소(pixel) 당 적어도 하나의 컬럼 스페이서(32)가 형성된다.

한편, 제1배향막(16)과 제2배향막(26) 사이에는 액정층(도시하지 않음)이 위치한다.

도 2a와 도 2b는 종래의 액정표시장치에 외력이 가해진 경우와 가해진 외력이 제거된 후를 개략적으로 도시한 단면도이다.

도 2a에 도시한 바와 같이, 종래의 액정표시장치에 화살표 방향으로 외력이 가해질 경우, 상부의 제2기판(20)은 하부의 제1기판(10)에 대해 상대적으로 우측으로 이동하게 된다. 이때, 제2기판(20) 상의 컬럼 스페이서(32)도 우측으로 이동하게 되며, 컬럼 스페이서(32)는 개구영역(AA)의 제1배향막(16)과 접촉하게 된다. 제1 및 제2배향막(16, 26)은 일정 방향으로 러빙되거나 광배향되는데, 컬럼 스페이서(32)와의 접촉에 의해 제1배향막(16)의 접촉영역(A1)은 그 배향성이 달라지게 되어 다른 영역과 다른 배향성을 가진다.

이어, 도 2b에 도시한 바와 같이, 외력이 제거된 후 상부의 제2기판(20)은 하부의 제1기판(10)에 대해 상대적으로 좌측으로 이동하여 다시 원상태가 된다. 그러나, 제1배향막(16)의 접촉영역(A1)은 다른 영역과 다른 배향성을 가지므로, 접촉영역(A1) 상부의 액정분자들은 다른 영역의 액정분자들과 다르게 배열하게 되어, 빛의 투과율이 달라진다. 그런데, 이러한 접촉영역(A1)은 블랙매트릭스(22)로 덮이지 않으므로, 블랙 영상을 표시할 때 접촉영역(A1)에 대응하여 빛이 투과되어 외부에서 인지되는 불량이 발생한다.

따라서, 외력에 의한 불량 발생 위치 및 정도를 평가하여 이에 대한 해결책을 모색하기 위한 검사공정이 필요하다.

종래의 외력에 의한 불량 검사장비 및 공정에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

도 3a와 도 3b는 종래의 검사장비를 이용한 액정표시장치의 검사공정을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 3a에 도시한 바와 같이, 이격되어 있는 한 쌍의 받침대(62) 상에 그 양끝이 위치하도록 액정표시장치(50)를 배치한다. 액정표시장치(50)는 합착된 어레이기판(52)과 컬러필터기판(54)을 포함하며, 컬러필터기판(54)의 내면에는 컬럼 스페이서(도시하지 않음)가 위치한다.

이어, 도 3b에 도시한 바와 같이, 누름바(push bar, 64)를 이용하여 컬러필터기판(54) 상부에서 받침대(62) 사이의 액정표시장치(50)에 힘을 가한다. 이때, 컬러필터기판(54)과 어레이기판(52)은 아래로 휘게 되는데, 컬러필터기판(54)과 어레이기판(52)은 받는 힘이 달라 휘는 정도가 다르며, 이에 따라 컬러필터기판(54)과 어레이기판(52)의 위치가 어긋나게 되고, 컬럼 스페이서가 이동되어 배향막을 손상시킨다.

따라서, 검사공정을 통해 빛샘 불량을 확인할 수 있다.

이러한 불량 발생의 요인으로는 공정 진행 중 진공 흡착 패드나 서포트 핀(support pin) 또는 롤러(roller) 등의 장비와의 접촉이 있으며, 각 요인별로 가해지는 압력의 크기 및 위치가 다르므로, 각각에 대응하는 검사 결과가 필요하다.

그러나, 종래의 검사장비를 이용할 경우, 두 기판이 동시에 눌리게 되기 때문에 일정 이하의 힘이 인가되면 눌리는 정도의 차이를 발생시키지 못하여 불량이 발생하지 않으므로, 두 기판 간의 위치 이동 차이를 유도하는데 한계가 있다. 반면, 불량 발생을 유도하기 위해서는, 두 기판의 휘는 정도의 차이를 최대한으로 발생시켜야 하므로 누르는 힘을 최대로 해야 하는데, 일정 이상의 힘이 인가될 경우 패널이 파손되므로, 빛샘 불량을 개선하기 위한 정량적 평가가 불가능하다.

또한, 종래의 검사장비를 이용할 경우, 컬럼 스페이서의 이동 방향이 누르는 방향에 의해 미세한 영향을 받아 누르는 위치를 중심으로 빛샘 불량이 발생하는 위치가 일정하지 않다.

도 4a와 도 4b는 종래의 검사장비를 이용하여 압력에 대한 X축 방향 및 Y축 방향의 배향막 손상 길이를 검사한 결과를 각각 도시한 그래프이다. 여기서, 여러 점을 잇는 각 선은 하나의 샘플에 대한 결과를 나타낸다.

도 4a와 도 4b에 도시한 바와 같이, 압력이 증가함에 따라 배향막 손상 길이가 증가하거나 감소하는 특정 경향성을 보이지 않고, 배향막의 손상 길이가 무작위로(randomly) 나타나므로, 개선 방안의 모색이 쉽지 않다.

본 발명은, 기판 파손 없이 컬럼 스페이서의 이동에 의해 발생하는 불량을 정량적으로 평가할 수 있는 액정표시장치용 검사장비 및 이를 이용한 검사방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 액정표시장치용 검사장비는 일면에 제1진공홀을 갖는 제1패드와; 상기 제1패드의 중앙에 위치하고, 상기 제1진공홀에 의해 둘러싸이며 일면에 제2진공홀을 갖는 제2패드와; 상기 제1패드 일면에 상기 제1진공홀을 둘러싸는 오링을 포함한다.

상기 제2패드는 상기 제1패드에 대하여 상대적으로 높이 조절이 가능하다.

상기 오링은 상기 제1패드의 일면보다 부분적으로 돌출된다.

상기 제1패드는 알루미늄 합금으로 형성되고, 싱기 제2패드는 불소고무로 형성된다.

본 발명의 검사장비는 상기 제1패드 및 제2패드의 일면과 이격되어 배치되고, 상기 제1패드 및 제2패드의 일면과 마주대하는 면에 제3진공홀을 갖는 진공판을 더 포함한다.

본 발명의 검사장비는 상기 제1패드의 타면과 이격되어 배치되는 고정판을 더 포함하고, 상기 제1패드는 타면에 부착된 지지대를 통해 상기 고정판에 고정 및 지지되고, 상기 진공판은 상기 진공판을 관통하는 받침대를 통해 상기 고정판에 결합 및 고정된다.

본 발명에 따른 액정표시장치용 검사장비를 이용한 액정표시장치의 검사방법은 합착된 어레이기판과 컬러필터기판을 포함하는 액정표시장치를 상기 컬러필터기판이 상기 제1패드 및 상기 제2패드와 접촉하도록 배치하는 단계와; 상기 제1진공홀과 상기 제2진공홀을 통해 상기 액정표시장치에 진공압력을 가하는 단계와; 상기 진공압력을 제거하고 상기 액정표시장치의 불량 발생을 측정하는 단계를 포함한다.

또는, 본 발명에 따른 액정표시장치용 검사장비를 이용한 액정표시장치의 검사방법은 합착된 어레이기판과 컬러필터기판을 포함하는 액정표시장치를 상기 컬러필터기판이 상기 제1패드 및 상기 제2패드와 마주대하며 상기 어레이기판이 상기 진공판과 마주대하도록 배치하는 단계와; 상기 제1진공홀과 상기 제2진공홀 및 상기 제3진공홀을 통해 상기 액정표시장치에 진공압력을 가하는 단계와; 상기 진공압력을 제거하고 상기 액정표시장치의 불량 발생을 측정하는 단계를 포함한다.

본 발명에 따른 액정표시장치의 검사방법은 상기 진공압력을 가하는 단계 이전에 상기 제1패드에 대해 상대적으로 상기 제2패드의 높이를 조절하는 단계를 더 포함한다.

본 발명에 따른 액정표시장치용 검사장비는 진공흡착을 통해 액정표시장치의 불량 발생을 유도하여 불량 발생의 위치 및 정도를 정량적으로 평가할 수 있으며, 이에 따른 결과를 이용하여 개선 방안을 모색할 수 있다. 또한, 흡착력을 조절함으로써 다양한 불량 발생 요인에 대한 평가가 가능하며, 기판 파손을 방지할 수 있다.

도 1은 종래의 액정표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2a와 도 2b는 종래의 액정표시장치에 외력이 가해진 경우와 가해진 외력이 제거된 후를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3a와 도 3b는 종래의 검사장비를 이용한 액정표시장치의 검사공정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4a와 도 4b는 종래의 검사장비를 이용하여 압력에 대한 X축 방향 및 Y축 방향의 배향막 손상 길이를 검사한 결과를 각각 도시한 그래프이다.
도 5a와 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 외력에 의한 배향막의 위치별 손상 정도를 시뮬레이션한 결과를 도시한 도면이다.
도 6a와 도 6b 및 도 6c는 각각 본 발명의 실시예에 따른 검사장비를 개략적으로 도시한 사시도와 평면도 및 단면도이다.
도 7a와 도 7b는 본 발명의 실시예에 따른 검사장비를 이용한 액정표시장치의 검사공정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치용 검사장비를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 8b는 도 8a의 진공판을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장비를 이용한 액정표시장치의 검사공정을 개략적으로 도시한 도면이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.

도 5a와 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 외력에 의한 배향막의 위치별 손상 정도를 시뮬레이션한 결과를 도시한 도면이다.

도 5a에 도시한 바와 같이, 외력이 가해졌을 때, 배향막의 손상 정도는 외력의 중심을 기준으로 외력의 중심으로부터 멀어지는 동심원에 대응하는 제1 내지 제5영역(A1, A2, A3, A4, A5)으로 정의된다.

도 5b에 도시한 바와 같이, 이러한 제1 내지 제5영역(A1, A2, A3, A4, A5) 중 제3영역(A3)에서 배향막의 손상이 가장 크고, 제2영역(A2)과 제4영역(A4)에서 배향막의 손상은 중간이며, 제1영역(A1)과 제5영역(A5)에서 배향막의 손상은 가장 작다.

따라서, 도 5a와 도 5b의 결과를 고려하여 본 발명의 실시예에 따른 검사장비를 제안한다.

도 6a와 도 6b 및 도 6c는 각각 본 발명의 실시예에 따른 검사장비를 개략적으로 도시한 사시도와 평면도 및 단면도로, 본 발명의 실시예에 따른 검사장비는 패드 어셈블리의 형태를 가진다.

도 6a와 도 6b 및 도 6c에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 검사장비는 원형의 제1패드(110)와 제1패드(110) 중앙에 위치하는 제2패드(120)를 포함한다. 제1패드(110)와 제2패드(120)의 모양은 원형으로 제한되지 않으며, 사각형이나 오각형 등의 다각형일 수 있다.

제1패드(110)의 상면에는 제2패드(120)와 일정간격 이격되어 제2패드(120)를 둘러싸는 제1진공홀(112)이 형성되고, 제1패드(110) 하부의 중앙에는 제1샤프트(114)가 결합되며, 제1진공홀(112)은 제1패드(110) 내부를 관통하여 제1샤프트(114)를 통해 외부의 진공연결관(도시하지 않음)과 연결된다. 제2패드(120)의 상면 중앙에는 제2진공홀(122)이 형성되고, 제2패드(120)의 하부에는 제2샤프트(124)가 결합되며, 제2진공홀(122)은 제2패드(120) 내부를 관통하여 제2샤프트(124)를 통해 외부의 진공연결관과 연결된다. 한편, 제2샤프트(124)는 제1패드(110) 및 제1샤프트(114)를 관통하여 하단이 외부로 노출될 수 있다.

또한, 제1패드(110)의 상면에는 제1진공홀(112)과 일정간격 이격되어 제1진공홀(112)을 둘러싸는 오링(O-ring, 130)이 위치하며, 제1패드(110)의 하면에는 적어도 한 쌍의 지지대(116)가 부착된다. 이때, 오링(130)은 부드러운 고무재질로 형성되어 충격을 완화하고, 부분적으로 제1패드(110)의 상면보다 돌출되어 검사되는 표시장치의 파손 및 진공압력의 누설을 방지한다.

여기서, 제2패드(120)는 너트(nut) 구조(도시하지 않음)를 통해 높낮이 조절이 가능하여 제1패드(110)에 대해 상대적으로 상하 이동된다.

제1패드(110)는 알루미늄 합금으로 형성되며, 일례로, 알루미늄(Al)에 마그네슘(Mg)과 실리콘(Si)을 주첨가 성분으로 한 열처리 합금인 Al6061로 형성될 수 있다. 제2패드(120)는 불소고무로 형성되며, 일례로, 기계적 강도와 내열성 및 전기절연특성이 우수한 다기능 폴리머 중의 하나인 폴리테트라플루오르에틸렌 (polytetrafluoroethylene: PTFE)으로 형성될 수 있고, 너트 구조는 오스테나이트계 스테인리스강(Austenitic stainless steel)으로 형성될 수 있다.

제1패드(110)와 제2패드(120), 제1진공홀(112) 및 오링(130)의 크기는 검사되는 표시장치의 크기에 맞게 조절될 수 있는데, 제1진공홀(112)의 위치는 도 5a의 제3영역(A3)에 대응하는 것이 바람직하다. 또한, 별도의 오링이 추가되어 오링(130)을 둘러싸도록 위치할 수도 있다.

이러한 검사장비에 압력조절기(pressure regulator)를 연결하여 기판 크기에 따른 진공압력의 온/오프(on/off) 및 세기를 조절하며, 압력 센서(pressure sensor)를 설치함으로써 진공압력을 모니터링(monitoring)할 수 있다.

도 7a와 도 7b는 본 발명의 실시예에 따른 검사장비를 이용한 액정표시장치의 검사공정을 개략적으로 도시한 도면으로, 제1패드에 대한 제2패드의 높이에 따라 액정표시장치에 가해지는 압력이 달라진다.

도 7a와 도 7b에 도시한 바와 같이, 합착된 어레이기판(102)과 컬러필터기판(104)을 포함하는 액정표시장치(100)를 컬러필터기판(104)이 제1 및 제2패드(110, 120)와 접촉하도록 검사장비 상에 배치한다. 여기서, 컬러필터기판(104)의 내면에는 컬럼 스페이서(도시하지 않음)가 위치한다. 이어, 제1패드(110)의 제1진공홀(112)과 제2패드(120)의 제2진공홀(122)을 통해 액정표시장치(100)에 진공압력을 가하여 컬러필터기판(104)과 어레이기판(102) 사이에 이동 거리 변동을 유발한다. 이때, 컬러필터기판(104)이 제1 및 제2패드(110, 120) 쪽으로 당겨지게 되므로, 컬러필터기판(104)의 컬럼 스페이서는 제2패드(120)의 중심 방향으로 이동하여 차광영역을 벗어나게 되고, 개구영역에 위치하는 어레이기판(102)의 배향막에 손상을 준 후, 진공압력이 제거되면 원래의 위치로 복귀한다. 따라서, 개구영역의 손상된 배향막은 액정의 배열 방향을 변화시켜 빛샘을 유발한다.

여기서, 도 7a은 제1패드(110)와 제2패드(120)가 동일한 높이인 경우이고, 도 7b는 제1패드(110)에 비해 제2패드(120)가 더 높이 위치한 경우로, 도 7b에서 제1진공홀(112)을 통한 진공압력은 도 7a에서의 진공압력보다 낮다. 이때, 도 7a에 도시한 바와 같이, 제1패드(110)와 제2패드(120)가 동일한 높이일 경우, 오링(130)은 액정표시장치(100)와 접촉한다.

한편, 제2패드(120)의 높이를 제1패드(110)보다 낮게 할 수도 있으며, 이 경우 제2패드(120)의 중앙에 대응하는 기판의 영역은 제2패드(120) 쪽으로 더 큰 힘을 받게 된다.

이와 같이, 압력조절기를 통해 진공압력을 조절하거나, 제2패드(120)의 높이 변화를 통해 진공압력을 조절함으로써, 다양한 진공압력 세기에 따른 불량 발생 정도를 검사할 수 있다.

일례로, 진공압력을 -22KPa, -53KPa, -86KPa로 변화시켰을 때, 9.7인치 액정표시장치의 상하좌우측 영역에서 나타나는 불량 발생 길이를 각각 측정한 결과를 표 1에 도시한다. 여기서, 불량 발생 길이는 컬럼 스페이서의 하단을 기준으로 측정된 결과이다. 또한, 진공압력을 -86KPa로 하고, 제2패드(120)를 하강하여 제2패드(120)의 높이를 제1패드(110)에 비해 낮게 하였을 때의 불량 발생 위치를 표 1에 도시한다.

압력(KPa)	상측 영역	하측 영역	좌측 영역	우측 영역
-22	무	무	7.53 ㎛	7.25 ㎛
-53	11.15 ㎛	무	14.78 ㎛	13.66 ㎛
-86	15.61 ㎛	17.84 ㎛	16.45 ㎛	17.57 ㎛
-86 패드 하강	16.45 ㎛	16.17 ㎛	17.01 ㎛	19.80 ㎛

표 1에 나타난 것처럼, 진공압력이 증가함에 따라, 불량 발생의 길이가 증가하여 불량 발생 정도가 커지는 것을 알 수 있다.

한편, 진공판(vacuum plate)을 이용하여 어레이기판을 고정함으로써 어레이기판과 컬러필터기판 간의 위치 변형을 더 크게 유발할 수도 있다.

도 8a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치용 검사장비를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 8b는 도 8a의 진공판을 개략적으로 도시한 사시도이다.

도 8a와 도 8b에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치용 검사장비는 도 6a 내지 도 6c와 동일한 구조의 패드 어셈블리를 포함하는데, 패드 어셈블리는 일면에 제1진공홀(212)을 갖는 제1패드(210)와, 일면에 제2진공홀(222)을 갖는 제2패드(220), 제1패드(210) 일면의 오링(230), 그리고 제1패드(210) 타면의 제1샤프트(214) 및 한 쌍의 지지대(216)을 포함한다. 이러한 패드 어셈블리는 지지대(216)를 통해 고정판(250)의 하면에 고정 및 지지된다. 제1패드(210) 및 제2패드(220)의 일면과 이격되어 진공판(260)이 배치되고, 제1패드(210) 및 제2패드(220)의 일면과 마주대하는 진공판(260)의 상면에는 다수의 제3진공홀(262)이 형성된다. 제3진공홀(262) 각각은 바모양(bar shape)으로 부분적으로 분리되어 있을 수 있으나, 그 모양은 변경 가능하며 하나로 연결된 형태일 수도 있다. 또한, 다수의 받침대(264)가 진공판(260)을 관통하여 진공판(260)을 고정판(250)에 결합 및 고정한다.

여기서, 진공판(260)은 알루미늄 합금으로 형성되며, 일례로, Al6061로 형성될 수 있다.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장비를 이용한 액정표시장치의 검사공정을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 9에 도시한 바와 같이, 합착된 어레이기판(202)과 컬러필터기판(204)을 포함하는 액정표시장치(200)를 컬러필터기판(204)이 제1 및 제2패드(210, 220)와 마주대하고, 어레이기판(202)이 진공판(260)과 마주대하도록 검사장비 상에 배치한다. 여기서, 컬러필터기판(104)의 내면에는 컬럼 스페이서(도시하지 않음)가 위치한다. 이어, 제1패드(210)의 제1진공홀(212)과 제2패드(220)의 제2진공홀(222) 및 진공판(260)의 제3진공홀(262)을 통해 액정표시장치(200)에 진공압력을 가하여 컬러필터기판(204)과 어레이기판(202) 사이에 이동 거리 변동을 유발한다. 이때, 어레이기판(202)은 제3진공홀(262)을 통한 진공압력에 의해 도면 상의 하부 방향으로 고정되고, 컬러필터기판(204)은 제1진공홀(212) 및 제2진공홀(222)을 통한 진공압력에 의해 도면 상의 상부 방향으로 당겨지게 되므로, 보다 정량적인 어레이기판(202)과 컬러필터기판(204) 간의 위치 변동 차이를 유발하여 불량 위치 및 정도를 파악할 수 있다.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.

110: 제1패드 112: 제1진공홀
114: 제1샤프트 116: 지지대
120: 제2패드 122: 제2진공홀
124: 제2샤프트 130: 오링

Claims (11)

1. 일면에 제1진공홀을 갖는 제1패드와;
   상기 제1패드의 중앙에 위치하고, 상기 제1진공홀에 의해 둘러싸이며 일면에 제2진공홀을 갖는 제2패드와;
   상기 제1패드의 일면에 위치하며 상기 제1진공홀을 둘러싸는 오링
   을 포함하고,
   상기 제2패드는 상기 제1패드와 중첩하며,
   액정표시장치를 상기 제1패드와 상기 제2패드 상에 배치하였을 때, 상기 제1패드와 상기 제2패드가 동일한 높이일 경우 상기 오링은 상기 액정표시장치와 접촉하고,
   상기 제1패드 및 제2패드의 일면과 이격되어 배치되고, 상기 제1패드 및 제2패드의 일면과 마주대하는 면에 제3진공홀을 갖는 진공판을 더 포함하는 액정표시장치용 검사장비.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 제2패드는 상기 제1패드에 대하여 상대적으로 높이 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 검사장비.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 오링은 상기 제1패드의 일면보다 부분적으로 돌출되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 검사장비.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 제1패드는 알루미늄 합금으로 형성되고, 상기 제2패드는 불소고무로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 검사장비.
   
5. 삭제
6. 제1항에 있어서,
   상기 제1패드의 타면과 이격되어 배치되는 고정판을 더 포함하고, 상기 제1패드는 타면에 부착된 지지대를 통해 상기 고정판에 고정 및 지지되고, 상기 진공판은 상기 진공판을 관통하는 받침대를 통해 상기 고정판에 결합 및 고정되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 검사장비.
   
7. 제1항 내지 제4항과 제6항 중 어느 한 항에 따른 액정표시장치용 검사장비를 이용한 검사방법에 있어서,
   합착된 어레이기판과 컬러필터기판을 포함하는 액정표시장치를 상기 컬러필터기판이 상기 제1패드 및 상기 제2패드와 마주대하며 상기 어레이기판이 상기 진공판과 마주대하도록 배치하는 단계와;
   상기 제1진공홀과 상기 제2진공홀 및 상기 제3진공홀을 통해 상기 액정표시장치에 진공압력을 가하여 상기 어레이기판은 상기 제3진공홀을 통한 진공압력에 의해 하부 방향으로 고정되고, 상기 컬러필터기판은 상기 제1진공홀 및 상기 제2진공홀을 통한 진공압력에 의해 상부 방향으로 당겨지게 됨으로써, 상기 컬러필터기판과 상기 어레이기판 사이에 이동 거리 변동을 유발하는 단계와;
   상기 진공압력을 제거하고 상기 액정표시장치의 불량 발생을 측정하는 단계
   를 포함하는 액정표시장치의 검사방법.
   
8. 제7항에 있어서,
   상기 진공압력을 가하기 이전에 상기 제1패드에 대해 상대적으로 상기 제2패드의 높이를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사방법.
   
9. 삭제
10. 삭제
11. 제1항에 있어서,
    상기 제1진공홀과 상기 제2진공홀 및 상기 오링은 동심원을 구성하는 액정표시장치용 검사장비.

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