WO2003000395A1

WO2003000395A1 - Appareil de melange par vibrations, dispositif et procede de traitement faisant appel a cet appareil

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Publication number: WO2003000395A1
Application number: PCT/JP2002/006217
Authority: WO
Inventors: Ryushin Omasa
Original assignee: Japan Techno Co., Ltd.
Priority date: 2001-06-25
Filing date: 2002-06-21
Publication date: 2003-01-03
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Description

明細書振動撹拌装置及びこれを用いた処理装置及び処理方法技術分野

本発明は、電極としての機能や冷却手段としての機能を併せ持つ新規な振動撹拌装置、及び振動撹拌装置を用いて被処理液又は被処理品を処理する装置及び方法に関するものである。本発明は、例えば電解により各種被処理品の表面処理を行なうのに好適である。背景技術

振動撹拌装置は、振動棒に振動羽根を取り付け、振動棒を振動させることで、振動羽根を液体等の流体中にて羽ばたかせ、これにより流体に流動を生じさせるものであり、このような振動撹拌装置については、たとえば本発明者の発明に係る日本国特許出願に関する以下の特許文献に記載されている：

特開平 3 - 2 7 5 1 3 0号公報（特許第 1 9 4 1 4 9 8号），特開平 6 - 2 2 0 6 9 7号公報（特許第 2 7 0 7 5 3 0号），特開平 6— 3 1 2 1 2 4号公報（特許第 2 7 6 2 3 8 8号），特開平 8— 2 8 1 2 7 2号公報（特許第 2 7 6 7 7 7 1号），特開平 8— 1 7 3 7 8 5号公報（特許第 2 8 5 2 8 7 8号）特開平 7 - 1 2 6 8 9 6号公報（特許第 2 9 1 1 3 5 0号），特開平 1 1— 1 8 9 8 8 0号公報（特許第 2 9 8 8 6 2 4号），特開平 7— 5 4 1 9 2号公報（特許第 2 9 8 9 4 4 0号），特開平 6— 3 3 0 3 5号公報（特許第 2 9 9 2 1 7 7号），特開平 6— 2 8 7 7 9 9号公報（特許第 3 0 3 5 1 1 4号），特開平 6— 2 8 0 0 3 5号公報（特許第 3 2 4 4 3 3 4号），特開平 6— 3 0 4 4 6 1号公報（特許第 3 1 4 2 4 1 7号），特開平 1 0— 4 3 5 6 9号公報，

特開平 1 0— 3 6 9 4 5 3号公報，特開平 1 1 一 2 5 3 7 8 2号公報。

振動撹拌装置は、各種の処理に利用されるが、その基本的機能は、流体に振動流動を発生させることにある。しかして、近年、振動撹拌装置に上記基本的機能以外の機能を付与する試みがなされている。

例えば、特開平 8— 1 9 9 4 0 0号公報には、上下に振動させることにより電解液の振動を伴った液流動を発生させることができる羽根板を有するチタンまたはチタン合金製電極を用いることを特徴とするアルミニウム製部品の電解研磨方法に関する発明が開示されている。しかしながら、この公報には、振動している振動棒が電極として利用されるのか或は羽根板が電極として利用されるのか、また、電極として利用される部分とその他 •の部分との間の電気的絶縁性がどの様にして維持されているのかについての具体的記載は殆どない。この公報の記載の全体からみると、振動棒が電極として利用される様であるが、振動棒に電流を流すと振動モータとの絶縁性はどのように維持されているのか、安全性はどうなつているのかについて、全く記載及び示唆がない。

また、特開平 9一 1 2 5 2 9 4号公報には、振動撹拌機らしきものの支持棒を電極とした表面処理装置についての提案がなされているが、ここにも振動撹拌機本体と電極との電気的絶縁をどうするかについての記載及び示唆はない。また、この公報に記載の技術では、電流密度が通常のめっきにおける電流密度と同程度の 3 m A/ c m ² とされている。

また、振動撹拌装置により高温又は低温の流体を振動撹拌する際には振動棒を介して流体と振動モータ等の振動発生手段との間で熱伝達がなさ -れ、振動発生手段が流体の熱的影響を受けて性能低下が促進されるおそれがある。

そこで、本発明は、振動撹拌装置に基本的機能以外の機能を付与することにより、その適用領域の拡大を図り、しかも、当該適用領域に特有の性能の向上をも図ることを目的の 1つとするものである。

この様な適用領域の 1つとして、表面処理がある。この表面処理においては、以下の様な技術的課題がある。

今日の電気分解を利用する陽極酸化、めっき及び電着塗装等の技術分野においては、その電流密度は、処理液（電解液）の種類、目的あるいは付属機器等によって多少異なるが、通常 2〜3 AZ d m ² 程度である。電気めっきの析出速度は電流密度に比例する。そこで、高速にめっき行なうベく、強力なポンプなどを併用して、被処理品に電解液を噴射して電流密度を高める手段が知られているが、それでも電流密度はせいぜい 5〜6 AZ d m ² 程度が限度であり、しかも得られる製品に膜厚のばらつきが発生するため、殆ど実用化されていない。

通常、電流密度が低い領域では、ほぼ 1 0 0 %近い電流効率を示すが、ある程度以上の電流密度になると電流効率が急激に低下し、めっき面からの水素ガスの発生が認められる様になり、更に電流密度を高めると、電極界面の P Hが上昇し、電極面で望ましくない副反応が生ずる様になつすこり、泡が発生して電流が流れなくなり、反応が進まなくなったりすることがある。

このように、電流密度に上限、即ち限界電流密度があり、これ以上に電流密度を高めようとして、極間距離を小さくして処理の高速化を図っても、製品にャケゃコゲが発生して、平滑で均一な電着面が得られない。また、電铸の分野では、所謂高速電铸めっきといわれる方法でも、電流密度は 3 O A/ c m ² 程度が限界であり、しかも膜厚において ± 8〜1 0 μ m程度のバラツキが発生する。

いずれの表面処理においても、被処理物に余り近付けない方が処理液の均一な撹拌ができるという考えのもとに、撹拌機が配置されている。振動撹拌機を用いる場合にもこの考え方は踏襲されており、撹拌機と被処理品との間隔または撹拌機と電極との間隔を小さくするという考え方は存在していない。即ち、被処理品は振動撹拌機と向き合った位置には配置されておらず、また陽極の一方の端部は振動撹拌機から非常に離れた位置にあり、撹拌機は処理液全体の撹拌を均一にするという点のみを考慮した配置とされている。

また、特開平 9 - 8 7 8 9 3号公報には、振動撹拌機を用いた電着塗装装置及び電着塗装方法が開示されている。この公報に記載の発明においては、細長い電着塗装槽内を連続的に被塗物品を通過させて処理するのであるが、槽の入り口領域に振動撹拌機が配置されており、次の領域には側部電極板とそれを取り囲む隔膜装置よりなる電着塗装領域が存在する形式になっている。このように、電着塗装においても、従来は、被処理品や電極に対して撹拌機をできるだけ近付けて配置するという考え方は、存在していない。

また、特開 2 0 0 2 - 1 4 6 5 9 7号公報にも、振動撹拌機を用いた電着塗装装置及び電着塗装方法が開示されている。ここにも被処理品や電極に対して撹拌機をできるだけ近付けて配置するという考え方は、存在していない。

そこで、本発明の更なる目的は、電極と被処理品との間隔を小さくして、電流密度を従来の限界より大幅に引上げ、しかもャケゃコゲが発生せず、電極に泡が発生することがなく、且つ生成膜の厚さにばらつきの発生しない高速表面処理装置及び高速表面処理方法を提供することにある。発明の開示

本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、

振動発生手段と、該振動発生手段に連係して振動する少なくとも 1本の振動棒と、該振動棒に取り付けられた少なくとも 1枚の振動羽根とを含んでなり、前記振動棒と前記振動発生手段との連結部に又は前記振動棒の振動羽根を取り付けた部分より前記連結部に近い部分に電気的及びノ又は熱的な絶縁領域が設けられていることを特徴とする絶縁式振動撹拌装置、が提供される。

本発明の一態様においては、前記絶縁領域は、合成樹脂及び又はゴムを主成分とする材料からなる。

本発明の一態様においては、前記絶縁領域は電気的絶縁領域であり、前記振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に通電線が接続されている。本発明の一態様においては、前記絶縁式振動撹拌装置は前記通電線に接続された電源を備えている。

本発明の一態様においては、前記振動棒には、前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に、前記振動棒を介して前記通電線と電気的に接続された電極部材が取り付けられている。本発明の一態様においては、前記振動羽根のうちの少なくとも一枚が前記電極部材として機能する。

本発明の一態様においては、前記振動棒には、前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に、前記振動棒を介して前記通電線と電気的に接続された電極用補助羽根が取り付けられている。本発明の一態様においては、前記電極用補助羽根は前記振動羽根と交互に位置するように前記振動棒に取り付けられている。本発明の一態様においては、前記電極用補助羽根は前記振動羽根より大きな面積を持ち且つ前記振動羽根の先端縁よりも更に突出せしめられている。

• 本発明の一態様においては、前記電極部材としての対をなす第 1の電極部材及び第 2の電極部材のそれぞれが複数の前記振動棒に取り付けられており、前記第 1の電極部材は前記複数の振動棒のうちの少なくとも 1つを介して前記通電線と電気的に接続されており、前記第 2の電極部材は前記複数の振動棒のうちの他の少なくとも 1つを介して前記通電線と電気的に接続されている。

本発明の一態様においては、前記第 1の電極部材と前記第 2の電極部材との間隔が 2 0〜4 0 O m mに維持されている。本発明の一態様においては、前記振動羽根が前記複数の振動棒に取り付けられており、前記振動羽根の少なくとも一部が前記第 1の電極部材又は前記第 2の電極部材として機能する。

本発明の一態様においては、複数の前記振動羽根のそれぞれが前記複数 •の振動棒に取り付けられており、前記複数の振動羽根の一部が前記第 1の電極部材として機能し、前記複数の振動羽根の他の一部が前記第 2の電極部材として機能する。本発明の一態様においては、前記複数の振動棒には前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に電極用補助羽根が取り付けられており、該電極用補助羽根は前記第 1の電極部材又は前記第 2の電極部材として機能する。本発明の一態様においては、前記複数の振動棒には前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に複数の電極用補助羽根が取り付けられており、該複数の電極用補助羽根の一部が前記第 1の電極部材として機能し、前記複数の電極用補助羽根の他の一部が前記第 2の電極部材として機能する。

本発明の一態様においては、前記絶縁領域は熱的絶縁領域であり、前記 "振動棒の前記熱的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に熱交換媒体注入部及び熱交換媒体取出部が設けられている。

また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、振動発生手段と、該振動発生手段に連係して振動する少なくとも 1本の振動棒と、該振動棒に取り付けられた少なくとも 1枚の振動羽根とを含み、前記振動棒と前記振動発生手段との連結部に又は前記振動棒の振動羽根を取り付けた部分より前記連結部に近い部分に電気的絶縁領域が設けられている絶縁式振動撹拌装置；

被処理液が収容される処理槽；

対をなす第 1の電極部材及び第 2の電極部材；及び

前記第 1の電極部材と前記第 2の電極部材との間に直流、交流またはパルス状の電圧を印加する電源

' を備えていることを特徴とする液処理装置、

が提供される。

本発明の一態様においては、前記第 1の電極部材と前記第 2の電極部材との間の間隔が 2 0〜4 0 0 m mに維持されている。

本発明の一態様においては、前記振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に通電線が接続されており、前記第 1 の電極部材又は前記第 2の電極部材は前記振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に取り付けられ且つ前記振動棒及び前記通電線を介して前記電源と電気的に接続されている。

本発明の一態様においては、前記振動棒及び前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された前記振動羽根が前記第 1の電極部材又は前記第 2 の電極部材として機能する。本発明の一態様においては、前記振動棒に ' は、前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に、前記振動棒及び前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された電極用補助羽根が取り付けられており、該電極用補助羽根が前記第 1の電極部材又は前記第 2の電極部材として機能する。本発明の一態様においては、前記液処理装置は 2台の前記絶縁式振動撹拌装置を備えており、一方の前記絶縁式振動撹拌装置の前記第 1の電極部材と他方の前記絶縁式振動撹拌装置の前記第 2の電極部材との間に前記電源により電圧が印加される。本発明の一態様においては、前記振動羽根が複数の前記振動棒に取り付けられており、前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のそれぞれが前記複数の振動棒に取り付けられており、前記第 1の電極部材は前記複数の振動棒のうちの少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続されており、前記第 2の電極部材は前記複数の振動棒のうちの他の少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続されている。

本発明の一態様においては、前記複数の振動棒のうちの少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された前記振動羽根が前記第 1の電極部材として機能し、及び又は、前記複数の振動棒のうちの他の少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された前記振動羽根が前記第 2の電極部材として機能する。

本発明の一態様においては、前記複数の振動棒には前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に電極用補助羽根が取り付けられており、前記複数の振動棒のうちの少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された前記電極用補助羽根が前記第 1の電極部材として機能し、及び/又は、前記複数の振動棒のうちの他の少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された前記電極用補助羽根が前記第 2の電極部材として機能する。

また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、以上の様な液処理装置の前記処理槽内に被処理液を入れ、前記振動羽根を前記被処理液に浸漬し、前記第 1の電極部材と前記第 2の電極部材との間で前記被処理液を介して通電しながら前記振動羽根を振動させることを特徴とする液処理方法、が提供される。

本発明の一態様においては、前記第 1の電極部材と前記第 2の電極部材との間の間隔を 2 0〜4 0 0 m mに維持する。本発明の一態様においては、前記振動発生手段において 1 0〜5 0 0 H zの振動数の振動を発生させ、前記振動羽根を振幅 0 . 1〜3 O m m且つ振動数 2 0 0〜1 2 0 0 0 回/分で振動させる。

本発明の一態様においては、前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のうちの少なくとも一方として、前記絶縁式振動撹拌装置の振動棒の前 "記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に取り付けられたものを用いる。本発明の一態様においては、前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のうちの少なくとも一方として前記振動羽根を用いる。

本発明の一態様においては、前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のうちの少なくとも一方として、前記絶縁式振動撹拌装置の振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に取り付けられた電極用補助羽根を用いる。

本発明の一態様においては、前記絶縁式振動撹拌装置を 2台使用し、前記第 1の電極部材として第 1の前記絶縁式振動撹拌装置の前記振動棒に取り付けられたものを用い、前記第 2の電極部材として第 2の前記絶縁式振動撹拌装置の前記振動棒に取り付けられたものを用いる。

- 本発明の一態様においては、前記絶縁式振動撹拌装置として、前記振動羽根が複数の前記振動棒に取り付けられ、前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のそれぞれが前記複数の振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に取り付けられたものを使用し、前記第 1の電極部材として前記複数の振動棒のうちの少なくとも 1つを介して前記電源と電気的に接続されたものを用い、前記第 2の電極部材を前記複数の振動棒のうちの他の少なくとも 1つを介して前記電源と電気的に接続されたものを用いる。本発明の一態様においては、前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のうちの少なくとも一方として前記振動羽根を用いる。また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、処理槽；

振動発生手段と、該振動発生手段に連係して振動する少なくとも 1本の振動棒と、該振動棒に取り付けられた少なくとも 1枚の振動羽根とを含んでなる振動撹拌装置（A ) ；

電極部材（B ) ；及び

被処理品（C ) を通電可能に保持する保持手段

を備えており、

前記振動羽根、前記電極部材（B ) 及び前記被処理品（C ) がそれぞれの間隔を 2 0〜4 0 O m mに維持して前記処理槽内に配置されるよう構成されていることを特徴とする表面処理装置、

が提供される。

本発明において、被処理品（C ) を通電可能に保持する保持手段とは、保持手段が被処理品（C ) と電気的に接続されていて電源から該被処理品 ( C ) への通電経路を形成するようなものに限定されるものではなく、保持手段により保持された被処理品（C ) が保持手段とは別に配置された通電経路を介して電源と接続されるようなものも包含する。

本発明の一態様においては、前記電極部材（B ) 又は前記被処理品 ( C ) が前記振動羽根の先端縁と対向して配置されるよう構成されている。本発明の一態様においては、前記電極部材（B ) は、多孔質板状体、網状体、かご状体又は棒状体からなる。

また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、処理槽；

振動発生手段と、該振動発生手段に連係して振動する少なくとも 1本の振動棒と、該振動棒に取り付けられた少なくとも 1枚の振動羽根とを含んでなり、前記振動棒と前記振動発生手段との連結部に又は前記振動棒の振動羽根を取り付けた部分より前記連結部に近い部分に電気的絶縁領域が設けられている絶縁式振動撹拌装置（Α ' ) ；及び

被処理品（C ) を通電可能に保持する保持手段

を備えており、前記振動羽根及び前記被処理品（C ) がそれぞれの間隔を 2 0〜4 0 0 m mに維持して前記処理槽内に配置されるよう構成されていることを特徴とする表面処理装置、

が提供される。

本発明の一態様においては、前記被処理品（C ) が前記振動羽根の先端縁と対向して配置されるよう構成されている。本発明の一態様においては、表面処理装置は更に電極部材（B ) を備えており、該電極部材（B ) は前記振動羽根及び前記被処理品（C ) のそれぞれとの間隔を 2 0〜4 0 O m mに維持して前記処理槽内に配置されるよう構成されている。本発明の一態様においては、前記電極部材（B ) は、多孔質板状体、網状体、かご状体又は棒状体からなる。

本発明の一態様においては、前記絶縁式振動撹拌装置（Α ' ) の電気的絶縁領域は、合成樹脂及び Ζ又はゴムを主成分とする材料からなる。本発明の一態様においては、前記絶縁式振動撹拌装置（Α ' ) の振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側には通電線が接続されている。

本発明の一態様においては、前記振動棒には、前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に電極用補助羽根が取り付けられている。本発明の一態様においては、前記電極用補助羽根は前記振動羽根と交互に位置するように前記振動棒に取り付けられている。本発明の一態様においては、前記電極用補助羽根は前記振動羽根より大きな面積を持ち且つ前記振動羽根の先端縁よりも更に突出せしめられている。

また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、以上の様な表面処理装置の前記処理槽内に処理液を入れ、前記振動羽根、前記電極部材（Β ) 及び前記被処理品（C ) を前記処理液に浸漬し、前記電極部材（Β ) を一方の電極とし、且つ前記被処理品（C ) を他方の電極とし、前記一方の電極及び前記他方の電極の間で前記処理液を介して通電しながら前記振動羽根を振動させて、前記被処理品（C ) の表面処理を行なうことを特徴とする表面処理方法、

が提供される。本発明の一態様においては、前記表面処理は電着塗装、陽極酸化、電解研磨、電解脱脂、めっき又は電铸めっき、あるいはこれらの前処理または後処理である。本発明の一態様においては、前記電着塗装、陽極酸化、電解研磨、電解脱脂又はめつき、これらの前処理または後処理、あるいは電铸めっきの前処理または後処理を 1 OAZdm² 以上の電流密度で行なう。本発明の一態様においては、前記電铸めっきを 20 AZdm² 以上の電流密度で行なう。本発明の一態様においては、前記振動発生手段において 10〜500 Hzの振動数の振動を発生させ、前記振動羽根を振幅 0. 1〜3 Omm且つ振動数 200〜12000回分で振動させる。

また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、以上の様な表面処理装置の前記処理槽内に処理液を入れ、前記振動羽根及び前記被処理品（C) を前記被処理液に浸漬し、前記振動棒及びこれに電気的に接続された前記振動羽根を一方の電極とし、且つ前記被処理品 (C) を他方の電極とし、前記一方の電極及び前記他方の電極の間で前記処理液を介して通電しながら前記振動羽根を振動させて、前記被処理品 ( C ) の表面処理を行なうことを特徴とする表面処理方法、

が提供される。

本発明の一態様においては、前記処理槽内に前記振動羽根及び前記被処理品（C) のそれぞれと間隔 20〜40 Ommを維持するように電極部材 (B) を配置し、該電極部材（B) をも前記一方の電極として使用する。本発明の一態様においては、前記表面処理は電着塗装、陽極酸化、電解研磨、電解脱脂、めっき又は電铸めっき、あるいはこれらの前処理または後処理である。本発明の一態様においては、前記電着塗装、陽極酸化、電解研磨、電解脱脂又はめつき、これらの前処理または後処理、あるいは電铸めっきの前処理または後処理を 1 OAZdm² 以上の電流密度で行なう。本発明の一態様においては、前記電铸めっきを 20 AZdm² 以上の電流密度で行なう。本発明の一態様においては、前記振動発生手段において 1 0〜500 H zの振動数の振動を発生させ、前記振動羽根を振幅 0. 1〜 30 mm且つ振動数 200〜 12000回 Z分で振動させる。

本発明において、振動撹拌装置（A) のうちには、絶縁式振動撹拌装置 (A* ) の構成を有するものも包含される。

本発明において、処理槽内での振動撹拌装置（A) 、絶縁式振動撹拌装置（Α' ) 、電極部材（Β) 及び被処理品（C) の配列順序の例としては、例えば、

(Α) - (Β) - (C)

(Β) - (Α) 一 (C)

(Α) - (Β) - (C) - (Β) - (Α)

(Β) - (Α) - (C) 一 (Α) - (Β)

(Α) - (Β) - (C) - (Α) - (Β)

(Α' ) - （Β) - (C)

(Β) - (A' ) - (C)

(Α' ) - (Β) - (C) - (B) - (Α' )

(Β) - (Α' ) - (C) - (Α' ) - (Β)

(Α' ) - (Β) - (C) — (Α' ) - (Β)

(Α' ) — (Β) - (C) - (Β) - (A)

(Β) - (Α' ) - (C) - (Α) - (Β)

(Α' ) - (C) - (Β) - (A)

(Α' ) - (C)

(Α' ) - (C) - (Α' )

(Α' ) - (C) - (Β) - (Α' )

(Α' ) — (C) — (Α' ) - (Β)

などが挙げられる。

従来、撹拌機を被処理品や電極に近付けて配置するという考え方は存在しなかった。その理由は、被処理品や電極に対して撹拌機を近付けすぎると、処理槽内の液の撹拌に「むら」が発生し、被処理品に対する処理の均 —性が低下するおそれがあつたからである。この考え方は、振動撹拌装置に対しても同様に踏襲されてきた。

ところが、本発明者の知見によれば、今までの撹拌の常識とは異なり、振動撹拌装置における振動羽根または電極用補助羽根を被処理品（C) や電極部材（Β) に向き合って近接した状態に配置し、被処理品（C) ゃ電極部材（B) の振動羽根との対向面に強力な流動液を接触させると、不思議なことに、従来の撹拌法ではショ一トが起きる距離範囲に両者を近付けてもショー卜が起きないことが判明した。即ち、今までせいぜい 5 O Om m程度までであった両者の距離を、 400mm程度、好ましくは 3 O Om m程度、更に好ましくは 200 mm程度、とくに好ましくは 180 m m程度或はそれら以下としても、ショートを生ずることなく電流密度を増大させることができることが判明した。但し、振動羽根または電極用補助羽根と被処理品（C) や電極部材（B) との距離は 2 Omm以上であることが好ましく、それより小さすぎるとショートを生ずるおそれがある。

被処理品（C) と電極部材（B) とが向き合う様に配置するときの両者の距離は、好ましくは 200mm以下、更に好ましくは 1 8 Omm以下、特に好ましくは 100mm以下である。但し、この距離は 2 Omm以上であることが好ましい。

本発明において、振動撹拌装置（A) 又は絶縁式振動撹拌装置（Α' ) における振動羽根または電極用補助羽根と被処理品（C) 又は電極部材 (Β) との間隔（距離）とは、振動撹拌装置（Α) または絶縁式振動撹拌装置（Α' ) において最も被処理品（C) または電極部材（Β) のほうへと突出している振動羽根または電極用補助羽根の先端縁と被処理品（ C ) または電極部材（Β) との間の距離を意味している。

本発明において、被処理品は、振動撹拌装置（Α) または絶縁式振動撹拌装置（Α' ) の振動羽根または電極用補助羽根と向かい合った位置に配置することが極めて好ましい。ここで、「向かい合う」とは、振動撹拌装置（Α) または絶縁式振動撹拌装置（Α' ) の振動羽根により生ぜしめられる振動流動が直接被処理面に到達するような配置（即ち振動羽根の先端縁が被処理品（C) の特に被処理面と対向する様な配置）をいう。これは、例えば、被処理品が平らな被処理面を持つものである場合には、この被処理面が振動羽根または電極用補助羽根の先端縁と対向する様に配置されることを意味する。被処理品が振動撹拌装置の複数台分の被処理面を持つ場合には、該被処理面に対応して複数台の振動撹拌装置を並べて配置することができる。尚、被処理品が小物である場合には、小物全体が振動撹拌装置（A ) または絶縁式振動撹拌装置（Α ' ) の振動羽根または電極用補助羽根と向かい合うように配置する。小物をバレルに入れて処理する場合も同様である。

本発明において、振動棒に固定された振動羽根は、処理槽内の被処理液中または処理液中で振幅 0 . 1〜3 0 m m、好ましくは 0 . l〜2 0 m m、更に好ましくは 0 . 5〜1 5 m m、特に好ましくは 2〜1 5 m mで、振動数 2 0 0〜1 2 0 0 0回/分、好ましくは 2 0 0〜5 0 0 0回ノ分、更に好ましくは 2 0 0 - 1 0 0 0回分で振動する。

電極部材は、たとえば多孔質板状体、金属網状体（ネット状体）、かご状体（かご内に金属片または金属塊状物を含有する場合を含む）あるいは棒状体である。多孔質板状体は、例えば金網状または格子状のものであ - る。電極部材は、できるだけ液の流動を妨害しない様な形状であるのが好ましい。

本発明において、表面処理としては、電着塗装、陽極酸化、めっき、電解脱脂、電解研磨、電铸めっきなどを挙げることができる。被処理品は、電着塗装処理の場合には被塗装物品であり、陽極酸化処理の場合には被陽極酸化物品であり、めっき処理の場合には被めつき物であり、電解脱脂処理の場合には被脱脂物であり、電解研磨処理の場合には被研磨物であり、電铸めっき処理の場合には電铸めっきされる母型である。

電着塗装処理は、従来と同様に、脱脂 Z水洗ノ表面調整化成皮膜 Z水洗 Z湯洗（水切乾燥） /電着塗装/一次水洗二次水洗/エアブロー Z 焼付の工程に従い実施することができる。電着塗装工程において、本発明が実施される。電着塗装にはァニオン電着塗装とカチォン電着塗装がある力本発明は、このいずれにも適用することができ、所要時間を大幅に短縮し、且つ塗膜の均一性をも向上させることができる。

陽極酸化処理においては、陰極板（電極部材）として、従来と同様に、鉛、カーボンまたは被陽極酸化物品と同一の金属（例えば A 1の陽極酸化処理の場合には A 1 ) を用いることができる。更に、本発明においては、振動撹拌装置を電極部材に近付けて使用するので、陰極板としては、適宜の間隔で配置された穴を有する多孔質タイプ（棒状体を並べたものであつてもよい）のものや、網状のものを用いるのが好ましい、また、陰極板の材質としては、耐久性及び耐蝕性の点から純チタンやチタン合金を用いることが好ましい。また、被処理品としては、 A l、その合金（例えば、 A 1— S i、 A 1— Mg、 A l— Mg— S i、 A l— Znなど）、 Mg、その合金、 T a、その合金、 T i、その合金などを挙げることができる。陽極酸化に用いる処理浴（処理液）については、格別の制限はないが、硫酸アンモニゥム、硫酸アル力リまたはこれらの混合物を含有する電解液を用いるのが好ましい。具体的には、硫酸 0. 3〜5. 0モル/リットル、硫酸アンモニゥム 0. 16〜4. 0モル Zリットル及び/又は硫酸ァルカリ 0. 1〜2. 0モルリットルからなるものが例示される。

電気めつきにおいては、被処理品として金属からなるものや活性化処理したプラスチックからなるものを用いることができる。

電気めつきにおける金属析出速度は電流密度に比例するので、電流密度の増加はめつき速度の向上につながる。しかるに、従来のめっき方法では、電流密度はせいぜい 2〜4 A/dm² 程度が限界であり、それ以上に電流密度を増加させようとしても、電流効率が急激に低下し、被処理品の表面からの水素ガスの発生が著しくなり、電極界面の pHが上昇し、電極面に水酸化物が沈着する様になる。これへの対応策としては、めっき液を強制流動させる方法（平行流法、ジット流法、スプレー法など）や固体粒子（例えば砥粒ゃガラス球）をめつき面に衝突させる振動バレル法などが提案されているが、これらは十分に満足できるものではない。

しかるに、本発明をめつきに適用すると、電流密度を増加させても電極部材からの水素ガスの発生を抑制することができ、例えば 10〜30AZ dm² といった高い電流密度にしても、電流効率が低下することなく高効率でめっきを行なうことができる。特に、上記の振動撹拌装置（A) を用いる場合には、被処理品（C) の振動撹拌装置側またはその反対側において該被処理品（C) に近接して電極部材（B) を配置し、該電極部材 (B) として棒状、網状、網かご状などのものを用いることにより、電流密度を著しく向上させることができる。

本発明は、銅めつき、ニッケルめっき、カドミウムめっき、クロムめつき、亜鉛めつき、金めつき、スズめっきなどの全てのめっきに有効に適用することができ、短時間で膜厚の均一なめっき膜を形成することができる。

電解脱脂や電解研磨は、以上の様な各種の表面処理の前処理として重要なものであるが、この処理においても本発明による処理速度向上などの効率向上の効果が得られる。

電铸めっきでは、母型に対して C u、 N i、 F e等のめっきを行なう。従来の電铸めっきは、長時間かけて 1 0 0 μ πι程度の膜厚のめっき膜を得ているが、長時間を要する上に膜厚のバラツキが大きいという難点があつた。しかるに、本発明を適用することにより、上限電流密度を従来の 3 0 A/ d m ² 程度から 6 0 AZ d m ² 程度へと向上させることができる。これにより、生産効率が約 4 0 %向上し、膜厚の均一性も 3 0 0 mに対して ± 2 m程度という極めて高品質の製品を提供できる。本発明を適用した電铸めっきは、例えば光ディスク製造用型の作成に適用される。図面の簡単な説明

図 1は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の断面図である。

図 2は、振動部材への振動棒の取り付け部の拡大断面図である。

図 3は、振動部材への振動棒の取り付け部の拡大断面図である。

図 4は、振動羽根の長さとしなりの程度との関係を示す図である。図 5は、振動棒の電気的絶縁領域の近傍を示す部分拡大断面図である。

図 6は、振動棒の電気的絶縁領域の斜視図である。

図 7は、振動棒の電気的絶縁領域の平面図である。

図 8は、本発明による絶縁式振動撹拌装置の側面図である。

図 9は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の断面図である。

図 1 0は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の断面図である。図 1 1は、振動棒への振動羽根の取り付け部の拡大断面図である。図 1 2は、振動羽根の近傍を示す断面図である。

図 1 3は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の断面図である。

' 図 1 4は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の断面図である。

図 1 5は、本発明による絶縁式振動撹拌装置の部分拡大斜視図である。図 1 6は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の部分断面図である。

図 1 7は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の部分側面図である。

図 1 8は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の部分側面図である。

図 1 9は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の部分断面図である。

図 2 0は、電極用補助羽根を示す図である。

' 図 2 1は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の断面図である。

図 2 2は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の断面図である。

図 2 3は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の平面図である。

図 2 4は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の平面図である。

図 2 5は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の平面図である。

図 2 6は、電極部材の正面図である。

図 2 7は、振動撹拌装置を用いた表面処理装置の参考例の構成を示す平 '面図である。

図 2 8は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の断面図である。

図 2 9は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の断面図である。

- 図 3 0は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の断面図である。

図 3 1は、電極部材を構成する円柱状チタン網ケースの斜視図である。

図 3 2は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の断面図である。

図 3 3は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を示す部分断面図である。

図 3 4は、本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の部分斜視図である。発明を実施するための最良の形態

- 以下、図面を参照しながら本発明の具体的な実施の形態を説明する。尚、図面において、同様な機能を有する部材又は部分には同一の符号が付されている。

図 1は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の一実施形態の構成を示す断面図である。

図 1において、 1 O Aは処理槽（電解槽）であり、該処理槽には被処理液 1 4が収容されている。 1 6は振動撹拌装置である。該振動撹拌装置 1 6は、処理槽 1 O Aの上端縁に防振ゴム（振動吸収部材） 4 1を介して取り付けられた取り付け台 4 0上に固定された基台 1 6 a、該基台に下端を固定された振動吸収部材としてのコイルパネ 1 6 b、該コイルパネの上端に固定された振動部材 1 6 c、該振動部材に取り付けられた振動モータ 1 6 d、振動部材 1 6 cに上端を取り付けられた振動棒上部分 1 6 e ' 、該 .振動棒上部分の下方に絶縁領域 1 6 e " を介して取り付けられた振動棒下部分 1 6 e、該振動棒下部分において被処理液 1 4に浸漬する位置に回転不能に複数段に取り付けられた振動羽根 1 6 f を有する。振動棒上部分 1 6 e ' 、絶縁領域 1 6 e " 及び振動棒下部分 1 6 eにより振動棒が構成される。また、振動モータ 1 6 d及び振動部材 1 6 cを含んで振動発生手段が構成され、該振動発生手段が振動棒と連係している。コイルパネ 1 6 b 内には、基台 1 6 aに固定された上下方向の棒状ガイド部材 4 3が配置されている。

尚、本発明における振動撹拌装置の振動発生手段には、振動発生源として一般の機械式振動モータを用いたもの以外にマグネット振動モータゃェ ■ ァ一振動モータ等を用いたものも含まれる。

振動吸収部材としては、コイルパネ 1 6 bに代えて又はそれと併用してゴム等の弾性体を用いたものを使用することも可能である。ゴム等の弾性体を用いた振動吸収部材としては、ゴム板またはゴム板と金属板との積層体が例示される。この積層体は、それぞれの間を接着剤により接合してもよいが、単に重畳させるのみでもよい。このような積層体を用いる場合には、処理槽 1 O Aの上部開口を覆う様なものとすることができ、これにより処理槽 1 O Aを密閉することができる。但し、この場合には、積層体を貫通する振動棒が該積層体に対して上下方向に相対移動することが可能な様に、振動棒と積層体との間を適宜シールする。

振動モー夕 1 6 dとそれを駆動するための電源 1 3 6との間には、振動モータ 1 6 dの振動周波数を制御するためのトランジスタ ·ィンバ一夕 3 " 5が介在している。電源 1 3 6は、例えば 2 0 0 Vである。このような振動モータ 1 6 dの駆動手段は、その他の本発明の実施形態においても使用することができる。

振動モータ 1 6 dは、ィンバ一タ 3 5を用いた制御により 1 0〜5 0 0 H z、好ましくは 2 0〜 2 0 0 H z、特に好ましくは 2 0〜 6 0 H zで振動する。振動モータ 1 6 dで発生した振動は、振動部材 1 6 c及び振動棒 ( 1 6 e , 1 6 e ' ， 1 6 e " ) を介して振動羽根 1 6 f に伝達される。なお、以下の説明において、簡単化のために、振動棒の符号を 1 6 eのみで代表させて用いる。

図 2は振動部材 1 6 cへの振動棒 1 6 eの取り付け部 1 1 1の拡大断面図である。振動棒 1 6 eの上端に形成されたォネジ部に、振動部材 1 6 c の上側から振動応力分散部材 1 6 g 1及びヮッシャ 1 6 hを介してナツ卜 1 6 i 1 , 1 6 i 2を適合させており、振動部材 1 6 cの下側から振動応力分散部材 1 6 g 2を介してナツ卜 1 6 i 3， 1 6 i 4を適合させている。振動応力分散部材 1 6 g 1 , 1 6 g 2は、振動応力分散手段として用いられており、例えばゴムからなる。振動応力分散部材 1 6 g 1， 1 6 g 2は、例えば硬い天然ゴム、硬い合成ゴム、合成樹脂等のショァ一 A硬度 8 0〜1 2 0、好ましくは 9 0〜1 0 0の硬質弾性体により構成することができる。とくに、ショァ一 A硬度 9 0〜1 0 0の硬質ウレタンゴムが耐久性、耐薬品性の点で好ましい。振動応力分散手段を使用することにより、振動部材 1 6 cと振動棒 1 6 eとの接合部分の近辺への振動応力の集中が防止され、振動棒 1 6 eが折れにくくなる。とくに、振動モータ 1 6 dの振動周波数を 1 0 0 H z以上に高くした場合の振動棒 1 6 eの折れ発生防止の効果は顕著である。

図 3は振動部材 1 6 cへの振動棒 1 6 eの取り付け部 1 1 1の変形例を示す拡大断面図である。この変形例は、図 2の取り付け部とは、振動部材 1 6 cの上側に振動応力分散部材 1 6 g 1を配置しないこと、及び振動部材 1 6 cと振動応力分散部材 1 6 g 2との間に球面スぺ一サ 1 6 xを介在させたことが異なるのみであり、他は同様である。

図 1において、振動羽根 1 6 f は、振動棒下部 1 6 eに形成されたォネジに対し適合されるナツ卜からなる固定部材 1 6 jにより固定されている。振動羽根 1 6 f は、被処理液 1 4中で所要の振動数で先端縁が振動する。この振動は、振動羽根 1 6 f が振動棒 1 6 eへの取り付け部分から先端緣へと「しなる」ように発生する。この振動の振幅及び振動数は、振動モータ 1 6 dのものとは異なるが、振動伝達経路の力学的特性及び被処理液 1 4との相互作用の特性などに応じて決まり、本発明では振幅 0 . 1〜 3 O m mで振動数 2 0 0〜1 2 0 0 0回/分とするのが好ましい。

振動羽根 1 6 f としては、弾力性のある金属板、合成樹脂板（少なくとも表面を導電性にしたもの）などを用いることができる。振動羽根 1 6 f の厚みは、振動条件や被処理液 1 4の粘度などにより好ましい範囲は異なるが、振動撹拌手段 1 6の作動時に、振動羽根が折れることなく、振動撹拌の効率を高めるように振動羽根 1 6 f の先端部分が "フラック一現象" (波打つような状態）を呈するように設定される。振動羽根 1 6 f がステンレス鋼板などの金属板からなる場合には、その厚みは 0 . 2〜2 m mとすることができる。また、振動羽根 1 6 f が合成樹脂板からなる場合には、その厚みは 0 . 5〜1 O m mとすることができる。振動羽根 1 6 f と固定部材 1 6 j とを一体成形したものを使用することもできる。この場合は、振動羽根 1 6 f と固定部材 1 6 jとの接合部に被処理液 1 4が浸入し固形分が固着して洗浄に手間がかかるというような問題を回避することができる。

金属製の振動羽根 1 6 f の材質としては、チタン、アルミニウム、銅、鉄鋼、ステンレス鋼、磁性鋼などの磁性金属、これらの合金が挙げられる。合成樹脂製の振動羽根 1 6 fの材質としては、ポリカーボネー卜、塩化ビニル系樹脂、ポリプロピレンなどが挙げられる。

被処理液 1 4内での振動羽根 1 6 fの振動に伴って発生する振動羽根の "フラッター現象" の程度は、振動モータ 1 6 dの振動の周波数、振動羽根 1 6 f の長さ（固定部材 1 6 jの先端縁から振動羽根 1 6 f の先端縁までの寸法）と厚み、及び被処理液 1 4の粘度や比重などによって変化する。与えられた周波数においてもっともよく "しなる" 振動羽根 1 6 の長さと厚みとを選択することができる。振動モータ 1 6 dの振動の周波数と振動羽根 1 6 fの厚みとを一定にして、振動羽根 1 6 f の長さを変化させてゆくと、振動羽根のしなりの程度は図 4に示すようになる。即ち、長さ mが大きくなるに従って、ある段階までは大きくなる力それをすぎる - としなりの程度 Fは小さくなり、ある長さのときには殆どしなりがなくなり、さらに振動羽根を長くするとまたしなりが大きくなるという関係をくりかえすことが判った。

振動羽根 1 6 f の長さは、好ましくは、第 1回目のピークを示す長さ L , か、第 2回目のピークを示す長さ L ₂ を選択することが好ましい。

にするか L ₂ にするかは、系の振動を強くするか流動を強くするかに応じて適宜選択できる。第 3回目のピークを示す長さ L ₃ を選択した場合は、振幅が小さくなる傾向にあるが、振動羽根を電極として利用する場合には面積を大きくすることができるという利点がある。

振動羽根 1 6 f は一段または多段（例えば 2〜8段）に、振動棒 1 6 e ' に取り付けることができる。振動羽根の段数は、被処理液 1 4の量や振動モータの能力に応じて、所要の振動撹拌を実現すべく適宜定めることができる。

図 5は、振動棒の電気的絶縁領域 1 6 e " の近傍を示す部分拡大断面図である。また、図 6は電気的絶縁領域 1 6 e " の斜視図を示し、図 7はその平面図を示す。

電気的絶縁領域 1 6 e " は、例えば合成樹脂またはゴムで形成することができる。電気的絶縁領域 1 6 e " は、振動棒を構成するものであるから、振動により破損せず、振動モータの振動を効率よく伝達でき、十分な絶縁性を発揮する材料を選択するのが好ましい。この様な観点から硬質ゴムが最も好ましい。その一例としては、硬質ポリウレタンゴムを挙げることができる。なお、このような絶縁材料のみからなる部材では強度的に不 '十分である場合には、絶縁性を損なわない範囲で、絶縁部材のみからなる部材の周囲などを例えば金属などで補強して、所要の機械的強度を得ることができる。

絶縁領域 1 6 e " は、具体的には、例えば、図示される様な硬質ゴム製の円柱状絶縁部材（多角形状等形状は任意）よりなり、その中央の上部分及び下部分に、振動棒上部分 1 6 e ' 及び振動棒下部分 1 6 eをそれぞれ嵌合させるための嵌合用穴 1 2 4， 1 2 5が設けられている。これらの嵌合用穴は上下には貫通しておらず、そのため、これら嵌合用穴の間の非貫通部分は絶縁部として機能する。

上下の嵌合用穴を貫通させた場合には、振動棒上部分 1 6 e ' と振動棒下部分 1 6 eとが接触しないように、上記非貫通部分に対応する箇所に絶縁材料を充填するか、絶縁に十分な程度の空間を設ける。円柱状絶縁部材 ' の嵌合用穴 1 2 4， 1 2 5は、振動棒上部分 1 6 e ' と振動棒下部分 1 6 eの接合のために機能する。接合は、ネジ止め（たとえば、図示されている様に、振動棒上部分 1 6 e ' の下端部と振動棒下部分 1 6 eの上端部とに雄ネジを切り、嵌合用穴 1 2 4， 1 2 5に雌ネジを切って、両者を結合させ、必要に応じて更にその上にワッシャーリングを当て、ビス止めする）でもよいし、接着剤による接合でもよい。いずれにしても、これらの部分の構造は、本発明の目的を達成できれば、その他のいかなる構造であってもよい。

たとえば、振動棒の直径が 1 3 m mの場合には、絶縁領域 1 6 e " は、長さ（高さ） Lが例えば 1 0 O m mであり、外径 r ₂ が例えば 4 0 m mであり、嵌合用穴 1 2 4， 1 2 5の内径 r ₂ 力 1 3 m mである。

図 5及び図 1に示されている様に、振動棒下部分 1 6 eの上部には、絶縁領域 1 6 e " の直下にて通電線 1 2 7が接続されている。図 1に示されている様に、通電線 1 2 7は電源 1 2 6に接続されており、該電源 1 2 6 には処理槽 1 O Aと接続された通電線 1 2 7が接続されている。振動棒下部分 1 6 e、固定部材 1 6 j及び振動羽根 1 6 f は導電性部材例えば金属からなり、更に処理槽 1 O Aが導電性部材例えば金属からなる場合には、電源 1 2 6から通電線 1 2 7， 1 2 8を介して振動羽根下部分 1 6 eと処理槽 1 O Aとの間に印加された電圧に基づき、振動羽根下部分 1 6 e、固定部材 1 6 j及び振動羽根 1 6 f と処理槽 1 0 Aとの間で電流が流れる。これにより、振動撹拌下で被処理液 1 4に対する処理がなされる。電源電圧は、所望の処理に応じて、交流電圧、直流電圧及びパルス状電圧のいずれかを使用することができる。電源電圧値は、所望の処理に応じて異なり例えば 1〜1 5 Vである。また、通電電流値も、所望の処理に応じて異なり例えば 0 . 5〜 1 0 0 Aである。

なお、処理槽 1 O A内に、通電線 1 2 7と接続された電極部材を配置することも可能であり、これにより該電極と振動羽根下部分 1 6 e、固定部材 1 6 j及び振動羽根 1 6 との間で被処理液 1 4に対する一層高い電流密度での通電を実現することができる。また、処理槽 1 O A内に、本実施形態のものと同様なもう 1つの振動撹拌装置を配置し、その振動棒下部分に通電線 1 2 7を接続することで、 2つの振動撹拌装置の振動羽根下部分 1 6 e、固定部材 1 6 j及び振動羽根 1 6 f どうしの間で被処理液 1 4に対する通電を行なうことが可能である。被処理液 1 4内での通電のための電極として該被処理液と接触する様に配置される対をなす電極部材（例えば、一方の電極として利用される振動羽根 1 6 f と他方の電極として利用される処理槽 1 0 A、あるいは専用の陽極部材と陰極部材）間の距離を例えば 2 0〜4 0 O m mとしてもショートすることなく処理を行なうことができる。

この被処理液 1 4に対する処理として、例えば、通電による殺菌処理が挙げられる。即ち、めっきにおいてめつき液から塩素イオンが除去されると、菌が繁殖しやすくなり、めっき液の劣化が早められるのであるが、通電によりこの様な菌の繁殖を避けることができる。また、飲料例えば水や牛乳、あるいは食器や野菜や果物等の洗浄水の殺菌に利用することができる。また、被処理液 1 4に対する別の処理としては、例えば水を酸素と水素とに分解する電解処理が挙げられる。

この様な処理で使用される陽極材料としては、例えば、処理液が希薄塩化物（水溶液）等である場合には、 P t、 P t合金、 P t族金属、合金被覆を有するものが挙げられ、例えば、処理液が苛性アルカリ（水溶液）等である場合には、 N i、 N i合金、 F e、 F e合金、炭素鋼、ステンレス鋼等が挙げられる。

本実施形態においては、振動棒上部分 1 6 e ' は絶縁領域 1 6 e " により振動棒下部分 1 6 eとは電気的に絶縁されているので、振動棒下部分 1 6 eを介する通電の影響が振動モータ 1 6 dへと及ぶことはない。更に、本実施形態では、絶縁領域 1 6 e " が熱絶縁性をも有するので、振動棒上部分 1 6 e " は振動棒下部分 1 6 eとは熱的にも絶縁され、処理液 1 4の温度の影響が振動モ一夕 1 6 dへと及ぶことは少なく、処理液 1 4が高温または低温のものであっても振動モ一夕 1 6 dが熱的影響により劣化するようなことがない。

また、本実施形態の装置において、絶縁式振動撹拌装置の振動羽根を電極として用いずに、別途、電源 1 2 6に接続された電極部材を処理槽 1 0 A内に配置し、該電極部材を用いて被処理液 1 4に対する通電を行なう場合においても、絶縁領域 1 6 e " が存在するので、被処理液 1 4内の通電の影響が振動モータ 1 6 dへと及ぶことがないという利点がある。

図 8は、本発明による絶縁式振動撹拌装置の他の実施形態の構成を示す側面図である。この実施形態は、振動棒下部分 1 6 eに、振動羽根 1 6 f の他にこれと交互に配置された電極用補助羽根 1 6 f ' を取り付けたことのみ、図 1の実施形態と異なる。電極用補助羽根 1 6 f ' は、振動棒下部分 1 6 eと電気的に接続されていて、被処理液 1 4に対する通電の際の一方の電極として機能し、従って振動撹拌の機能は必須ではない。電極用補助羽根 1 6 f ' を使用する目的は電極面積の増加と当該電極と反対側の電極との間隔の低減とにあるので、電極用補助羽根 1 6 f ' の大きさ（面積）は振動羽根 1 6 f より大きいほうが好ましく、また図示されている様に、補助羽根 1 6 f ' の先端縁（右端縁）は振動羽根 1 6 fの先端縁（右 '端縁）より更に右方へと突出しているのが好ましい。

電極用補助羽根 1 6 f ' は、振動羽根と振動羽根との中間に位置する様に振動棒に取り付けるのが好ましいが、必ずしもこれに限定されることはなく、振動撹拌の効果を著しく低減させない限りは、上下一方の振動羽根に近接して配置することも可能である。振動棒下部分 1 6 eへの電極用補肋羽根 1 6 f ' の取り付けは、振動羽根 1 6 fの取り付けと同様にして行なうことができる。

電極用補助羽根 1 6 f ' の材質としては、電極として使用され得るものであればよいが、振動棒の振動に従って振動するものであるから、振動に耐え得ることが要求され、例えば振動羽根として使用可能な導電体例えば金属例えばチタン（表面に白金めつきを施すことができる）またはステンレス（表面に白金めつきを施すことができる）を使用することができる。 '尚、電極用補助羽根 1 6 f ' を使用する場合には、振動羽根 1 6 f は必ずしも導電性材料からなる必要はなく、合成樹脂製のものを使用することも可能である。

図 9及び図 1 0は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の他の実施形態の構成を示す断面図であり、図 1 1は振動棒 1 6 eへの振動羽根 1 6 fの取り付け部の拡大断面図である。

本実施形態では、 2つの振動棒にわたつて各振動羽根が取り付けられている。図 1 1に示されている様に、振動羽根 1 6 fの各々の上下両側には、振動羽根固定部材 1 6 jが配置されている。隣接する振動羽根 1 6 f どうしの間には固定部材 1 6 jを介して振動羽根 1 6 fの間隔設定のためのスぺーサリング 1 6 kが配置されている。尚、最上部の振動羽根 1 6 f の上側及び最下部の振動羽根 1 6 fの下側には、図 1 0に示されているように、スぺ一サリング 1 6 kを介して又は介することなく、振動棒下部分 1 6 eに形成されたォネジに適合するナツ卜 1 6 mが配置されている。図 1 1に示されているように、各振動羽根 1 6 f と固定部材 1 6 jとの間にフッ素系樹脂やフッ素系ゴムなどからなる振動応力分散手段としての弾性部材シート 1 6 pを介在させることで、振動羽根 1 6 fの破損を防止することができる。弾性部材シ一卜 1 6 pは、振動羽根 1 6 fの破損防止効果を一層高めるために、固定部材 1 6 jから若干はみ出すように配置するのが好ましい。この様な弾性部材シート 1 6 pは、他の実施形態においても同様に使用することができる。振動棒下部分 1 6 eと振動羽根 1 6とは電気的に接続されている。

図示されているように、上側の固定部材 1 6 jの下面（押圧面）は凸状面とされており、下側の固定部材 1 6 jの上面（押圧面）は対応する凹状面とされている。これにより、固定部材 1 6 jにより上下方向から押圧される振動羽根 1 6 fの部分は湾曲せしめられ、振動羽根 1 6 f の先端部は水平面に対して角度 αをなしている。この角度 αは、例えば— 3 0 ° 以上 3 0 ° 以下好ましくは— 2 0 ° 以上 2 0 ° 以下とすることができる。特に、角度 αは、一 3 0 ° 以上一 5 ° 以下または 5。以上 3 0 ° 以下、好ましくは— 2 0 ° 以上— 1 0 ° 以下または 1 0。以上 2 0。以下とするのが好ましい。固定部材 1 6 jの押圧面を平面とした場合には、角度 αは 0。である。角度 αは、全ての振動羽根 1 6 f について同一である必要はなく、例えば、下方の 1〜2枚の振動羽根 1 6 f については一の値（即ち下向き：図 1 1に示される向き）とし、それ以外の振動羽根 1 6 :Πこついては十の値（即ち上向き：図 1 1に示されるものと逆の向き）とすることができる。尚、電極用補助羽根を使用する場合には、該補助羽根も振動羽根 1 6 f と同様にして上向きまたは下向きに適宜の角度傾けることができる。

図 1 2は振動羽根 1 6 fの近傍を示す断面図である。振動羽根 1 6では -固定部材 1 6 jからはみ出した部分が振動流動の発生に寄与するのであり、このはみ出した部分は幅 D , で長さ D ₂ である。本実施形態では、複数の振動棒にわたって各振動羽根が取り付けられているので、各振動羽根の面積を十分大きくとることができる。かくして、大きな振動流動を得ることができ、また電極として使用される面積を大きくすることが可能である。

尚、本実施形態では、コイルパネ 1 6 b内に、基台 1 6 aに固定された下側棒状ガイド部材と振動部材 1 6 cに固定された上側棒状ガイド部材とが適宜の間隔をおいて配置されている。

本実施形態においては、図示はしないが、図 1に関し説明した様な処理用電源 1 2 6及び通電線 1 2 8が使用される。

本実施形態においても、図 8の実施形態と同様に、電極用補助羽根を使 .用することができる。

図 1 3は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の他の実施形態の構成を示す断面図である。本実施形態の振動撹拌装置 1 6においては、振動モ一夕 1 6 dは、処理槽 1 O A外に配置されていて、振動部材 1 6 cが処理槽 1 0 Aの方へと延びている。

本実施形態においても、図示はしないが、図 1に関し説明した様な処理用電源 1 2 6及び通電線 1 2 8が使用される。

図 1 4は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の他の実施形態の構成を示す断面図である。本実施形態では、図 1 3の実施形態と同様な振動モータ 1 6 d、振動部材 1 6 c、振動棒上部分 1 6 e ' 及び絶縁領域 1 6 e " の組が、処理槽 1 4の両側に配置されている。そして、振動棒下部分 1 6 eは、コの字形状をなしており、その 2つの垂直部分が 2 .つの絶縁領域 1 6 e " にそれぞれ対応して配置されている。これら 2つの垂直部分の上端がそれぞれ絶縁領域 1 6 e " を介して 2つの振動棒上部分 1 6 e ' にそれぞれ接続されている。振動羽根 1 6 f は、振動棒下部分 1 6 eの水平部分にほぼ垂直に取り付けられている。上記の様に、振動羽根 1 6 f は垂直方向に対して傾斜をもって配置されてもよいことは上記と同様である。本実施形態においても、図示はしないが、図 1に関し説明した様な処理 -用電源 1 2 6及び通電線 1 2 8が使用される。

図 1 3の実施形態及び図 1 4の実施形態においても、図 8の実施形態と同様に、電極用補助羽根を使用することができる。

図 1 5は本発明による絶縁式振動撹拌装置の変形例を示す部分拡大斜視図である。この変形例では、振動羽根 1 6 fのための固定部材 1 6 jとして光触媒活性を有する酸化チタン等からなる表面を有するものを用いており、しかも、その一部に強磁性体部材（磁石） 1 6 j ' がはめ込まれている。従って、紫外線ランプ 5 1から発せられる紫外光 U Vを固定部材 1 6 jに照射し、上記実施形態と同様にして振動棒 1 6 e、固定部材 1 6 j及び振動羽根 1 6 f を介して被処理液に通電しながら、該被処理液を振動撹拌する液処理装置を構成することで、強磁性体部材 1 6 j ' の発する磁力による殺菌効果と、固定部材 1 6 jの光触媒活性に基づく殺菌効果と、通' .電による殺菌効果とを同時に発揮させ、しかも振動撹拌により被処理液を振動棒 1 6 e、固定部材 1 6 j、強磁性体部材 1 6 j ' 及び振動羽根 1 6 ： f に対して十分に供給して、被処理液の殺菌を極めて高い効率で実現することができる。

上記酸化チタン等からなる表面を形成するための手段としては、 T i 0 ₂ などの微粒子（粒径 5 m以下）を含む複合電気めつき（コンポジッ卜めつき）が挙げられる。この様な光触媒活性を有する表面は、固定部材 1 6 jのみならず、同様な殺菌処理を行なうための部材（たとえば振動羽根 1 6 f や後述の図 3 4の実施形態における槽内配置部材 6 1 ) にも同様に形成することができる。

. 図 3 4はこの様な液処理装置の変形例を示す部分斜視図である。この変形例においては、処理槽内に、光触媒活性を有する酸化チタン等からなる表面を有する複数の槽内配置部材 6 1を保持部材 6 0により固定して互いに平行に配置し、これら槽内配置部材 6 1の隣接するもの同士により光ファイバ 5 3を挟持している。光ファイバ 5 3は、互いに平行に配置されており、その側面に粗面化などにより漏光部が形成されている。光フアイバ 5 3の一端側には不図示の紫外光源から発せられる紫外光が導入される。これにより、光ファイバ漏光部から紫外光を槽内配置部材 6 1に照射し、上記実施形態と同様にして振動棒 1 6 e、固定部材 1 6 j及び振動羽根 1 6 f を介して被処理液に通電し、槽内配置部材 6 1の光触媒活性に基づく殺菌効果と、通電による殺菌効果とを同時に発揮させ、しかも振動撹拌により被処理液を振動棒 1 6 e、固定部材 1 6 j、及び振動羽根 1 6 f 並びに槽内配置部材 6 1に対して十分に供給して、被処理液の殺菌を極めて高い効率で実現することができる。尚、図では絶縁領域 1 6 e " や振動棒下部分 1 6 eに接続された通電線 1 2 7や処理用電源 1 2 6が示されていないが、これらは上記実施形態のものと同様にして設けられている。この実施形態では、槽内配置部材 6 1への紫外光照射が極く近くからなされるので、被処理液の紫外線透過性が低い場合（例えば被処理液が牛乳の場合）であっても高い殺菌効果が得られる。

尚、本発明の絶縁式振動撹拌装置を用いてはいないが、類似の殺菌処理については、本発明者の発明に係る日本国特許出願に関する特開 2 0 0 1 - 2 7 1 1 8 9号公報及び特開 2 0 0 2 - 1 0 2 3 2 3号公報に記載がある。

図 1 6は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の他の実施形態の構成を示す部分断面図であり、図 1 7はその部分側面図である。

本実施形態では、 2つの振動棒下部分 1 6 eを機械的に接続する様に取り付けられている振動羽根 1 6 e及び固定部材 1 6 jを 2つの群に区分し、第 1の群を一方の振動棒下部分 1 6 eと電気的に接続させ、第 2の群を他方の振動棒下部分 1 6 eと電気的に接続させ、これら 2つの群の間で電圧を印加することで、被処理液 1 4に通電し所要の処理を行なう様にしている。

即ち、図 1 6において、上側から奇数番目の振動羽根 1 6 f及び固定部材 1 6 jは、右側の振動棒下部分 1 6とは電気的に接続されているが、左側の振動棒下部分 1 6とは絶縁ブッシュ 1 6 s及び絶縁座金 1 6 tを介して取り付けられることで電気的に絶縁されている。一方、上側から偶数番目の振動羽根 1 6 f及び固定部材 1 6 jは、左側の振動棒下部分 1 6とは電気的に接続されているが、右側の振動棒下部分 1 6とは絶縁ブッシュ 1 6 s及び絶縁座金 1 6 tを介して取り付けられることで電気的に絶縁されている。かくして、上側から奇数番目の振動羽根 1 6：及び固定部材 1 6 jを第 1の群とし、上側から偶数番目の振動羽根 1 6 f及び固定部材 1 6 jを第 2の群とし、左側の振動棒下部分 1 6に接続されている通電線 1 2 7と右側の振動棒下部分 1 6に接続されている通電線 1 2 7との間に不図示の処理用電源により所要の電圧を印加することで、第 1の群と第 2の群 ' との間で被処理液 1 4に通電することができる。尚、図 1 7では絶縁ブッシュ 1 6 s及び絶縁座金 1 6 tの図示が省略されている。

本実施形態においては、絶縁領域 1 6 e " は振動棒 1 6 eと振動発生手段を構成する振動部材 1 6 cとの間に設けられている。即ち、ここでは、絶縁領域 1 6 e " が、上記実施形態における振動部材 1 6 cへの振動棒 1 6 eの取り付け部 1 1 1の機能を兼ねている。

本実施形態においては、被処理液 1 4への通電に直流電圧を用いる場合には、陽極側となる振動羽根 1 6 f はチタンの表面に白金めつきを施したものが好ましく用いられ、陰極側となる振動羽根 1 6 f はチタンが好ましく用いられる。

本実施形態によれば、振動撹拌装置に対する給電のみで液処理が可能となるので、装置をコンパクトなものとすることができる。また、振動羽根 ' 1 6 f を 2種類の電極のそれぞれとして兼用しているので、この点からも装置のコンパクト化がなされている。

図 1 8は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の他の実施形態の構成を示す部分側面図である。

本実施形態では、図 1 6及び図 1 7の実施形態における上側から偶数番目の振動羽根 1 6 f に代えて陽極部材 1 6 f " を使用している。この陽極部材 1 6 f " は、振動撹拌には寄与せず、図の右側にのみ延びている。陽極部材 1 6 f " としては、例えばチタン製ラス網（表面に白金めつきを施したもの）が好ましく用いられる。一方、上側から奇数番目の振動羽根 1 6 f に対してスぺ一サ 1 6 uを介して陰極部材 1 6 f " ' を追加している。この陰極部材 1 6 f " ' も、振動撹拌には寄与せず、図の右側にのみ •延びている。陰極部材 1 6 f " ' としては、例えばチタン板が好ましく用いられる。

本実施形態では、振動羽根 1 6 f とは別に電極部材としての陽極部材 1 6 f " 及び陰極部材 1 6 f " ' を使用しているので、電極材料の選択の自由度が増加する。

図 1 9は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた液処理装置の他の実施形態の構成を示す部分断面図である。

本実施形態では、 2つの絶縁式振動撹拌装置が処理槽 1 0 A内に配置されており、一方の絶縁式振動撹拌装置の隣接する電極用補助羽根 1 6 f ' どうしの間に他方の絶縁式振動撹袢装置の電極用補助羽根 1 6 f ' が位置している。これにより、 2つの絶縁式振動撹拌装置の一方を陽極側として使用し且つ他方を陽極側として使用することで、大面積の陽極と陰極とを互いに近接して配置することができ、電流密度を著しく向上させることができる。

本実施形態においては、 2つの絶縁式振動撹拌装置の電極用補助羽根 1 6 f ' どうしが接触してショートするのを防止するために、図 2 0に示す様に、電極用補助羽根 1 6 f ' の両面の外周部等を絶縁テープ 1 6 f aなどの貼付により絶縁部とすることが好ましい。

図 3 3は本発明による絶縁式振動撹拌装置の他の実施形態を示す部分断面図である。本実施形態では、絶縁領域 1 6 e " は熱絶縁領域として使用されている。振動棒下部分 1 6 eには、絶縁領域 1 6 e " の下側（即ち、絶縁領域 1 6 e " を基準として不図示の振動羽根を取り付けた部分の側）において、熱交換媒体注入部 1 3 0及び熱交換媒体取出部 1 3 2が設けられており、振動棒下部分 1 6 eにはこれら熱交換媒体の注入部 1 3 0及び ■取出部 1 3 2と連通する熱交換媒体通路 1 3 1が形成されている。かくして、注入部 1 3 0から通路 1 3 1を通って取出部 1 3 2へと熱交換媒体を流通させることで、被処理液が高温または低温の場合であっても、絶縁領域 1 6 e " の熱絶縁効果と相まって、熱的影響が振動モータを含む振動発生手段の方へと及ぶのを防止することができる。

尚、本実施形態の様に絶縁領域 1 6 e " により熱的絶縁を行なう場合には、電気的絶縁の場合に比べて絶縁領域 1 6 e " の寸法を大きくすることが好ましい。また、絶縁領域 1 6 e " の外面にヒレ状の放熱板を形成しておくことも可能である。また、被処理液が低温の場合には、上記通路 1 3 - 1への熱交換媒体流通に代えて、振動棒下部分 1 6 eにヒーターを配置することも可能である。

次に、本発明による表面処理装置の実施形態を示すが、以下の具体的実施形態以外にも、以上の実施形態において液処理装置の被処理液を処理液とし且つ一方の電極部材を被処理品に置き換えることで、本発明の表面処理装置を構成することが可能である。

図 2 1及び図 2 2は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の一実施形態の構成を示す断面図である。

本実施形態では、処理槽 1 O Aの左右両端部にそれぞれ絶縁式振動撹拌装置が配置されている。該絶縁式振動撹拌装置としては、上記実施形態において説明したものが使用され、特に電極用補助羽根 1 6 f ' を備えたものが使用されている。処理槽 1 0 A内には、処理液 1 4が収容されてお - り、該処理液中に被処理品 A R Tが配置されている。該被処理品 A R T は、保持手段 8 0により吊下げられて保持されており、該保持手段 8 0からの通電が可能とされている。

陽極酸化処理等の様に被処理品が陽極側とされる場合には、図示されている様に、保持手段 8 0として陽極ブスバーが使用され、該陽極ブスバーは通電線 1 2 8を介して処理用電源の陽極に接続されている。一方、該電源の陰極は、通電線 1 2 7を介して上記 2つの振動撹拌機の振動棒下部分 1 6 eと接続される。これに対して、めっき処理等の様に被処理品が陰極側とされる場合には、保持手段 8 0として陰極ブスバーが使用され、該陰極ブスバーは通電線 1 2 8を介して処理用電源の陰極に接続され、該電源の陽極が通電線 1 2 7を介して上記 2つの振動撹拌機の振動棒下部分 1 6 eと接続される。

■ 処理用電源は、直流を発生するものであればよく、通常の平滑な直流でもよいが、その他の種々の波形の電流を使用することができる。例えば、エネルギー効率の向上の観点から、パルス波形のうちの矩形波パルス波形をのものを使用することが好ましい。この様な電源（電源装置）は、交流電圧から矩形波状電圧を作成することができるものであり、例えばトランジスタを用いた整流回路を有するものであり、パルス電源装置として知られている。このような電源装置または整流器としては、トランジスタ調整式電源、ドロツバ一方式の電源、スイッチング電源、シリコン整流器、 S C R型整流器、高周波型整流器、インバー夕デジタル制御方式の整流器 (例えば（株）中央製作所製の P owe r Ma s t e r) , (株）三社電機製作所製の KT Sシリーズ、四国電機株式会社製の RCV電源、スィツチングレギユレ一夕式電源とトランジスタスィッチとからなり卜ランジス夕スィッチが ON - O FFすることで矩形波状のパルス電流を供給するもの、高周波スイッチング電源（交流をダイオードにて直流に変換した後にパワートランドスタで 20〜30 KHzの高周波をトランスに加えて再度整流、平滑化し出力を取り出す）、 P R式整流器、高周波制御方式の高速パルス P R電源（例えば H i P Rシリーズ（（株）千代田）、サイリスタ逆並列接続方式のものなどが利用可能である。

ここで、電流波形について説明する。めっき或は陽極酸化の高速化とめっき被膜や陽極酸化膜の特性改良とを実現するためには、めっきや陽極酸化の電流波形の選択が重要である。電気めつき或は陽極酸化に必要な電圧 ·電流の条件は、めっきや陽極酸化の種類や処理液（浴）の組成や処理槽の寸法等によって異なり、一概には規定することができないが、例えばめっき電圧は直流の 2〜 1 5 Vであれば全体を十分にカバ一することができる。そこで、めっき用電源の定格出力は 6 V、 8V、 1 2V、 1 5Vの 4種類が業界の標準になっている。この定格電圧以下の電圧は調整可能となっているので、めっきに必要な所望の電圧値に対して若干の余裕を見た定格電圧の電源を選択するのが好ましい。業界において、定格出力電流は 500A、 1000A、 2000 A〜 1 0000 A程度まで標準化されており、その他は注文生産の形態をとつている。被めつき処理品の所要電流密度 X被めつき処理品のめっき面の表面積として、電源の所要電流容量を決定し、これに見合う適切な標準電源を選定することが得策である。

パルス波は、本来は幅が周期に比べて十分に短いものをいうが、この定義は厳密なものではない。また、パルス波には方形波以外のものも含む。パルス回路に用いる素子の動作速度が高くなり、パルス幅も n s ( 1 0 " ⁹ s ) 以下を扱える様になった。パルス幅が狭くなるにつれて前縁及び後縁の鋭い波形を維持するのが困難になる。これは、高い周波数成分を含んでいるからである。パルス波の種類としては、のこぎり波、ランプ波、三角波、複合波、矩形波（方形波）などがあるが、本発明の処理においては、特に電気の効率及び平滑性などから矩形波が好ましい。

パルスめつき処理用電源の一例としては、スイッチングレギユレ一夕式直流電源とトランジスタスィツチとを含み、トランジスタスィツチが高速で O N— O F Fすることにより、矩形波状のパルス電流を供給するものが挙げられる。

陽極酸化処理では、直流電解以外にパルス電解を使用することがある。電流反転法を利用したパルス電解は、高速化、膜質の向上、着色性の改良等多くの利点がある。

パルス電解用電源は、電流反転機能を有することが基本となるため、パルス電源 2組を相互に逆極性となる様に接続したものとなる。しかし、この方式は、使用条件により効率が低下するので、パルスめつきに比して電源容量が大きいパルス電解に適用するには工業的には難点があり、むしろ 3 P R式整流器を転用する方が効率、価格、小形軽量等の点で実用性が高レ^

サイリスタ逆並列接続方式のパルス電解波形は、サイリスタを逆並列接続した P R式整流器の原理を応用したもので、出力電圧波形は通常のサイリスタ整流器と同様となる。この場合の正常通電比は、波形のリップル周波数をパルス列にて電子制御するので、 5 0 H z地域では約 3 3 m s、 6 0 H z地域では約 2 . 8 m s単位で可変設定できる。

被処理品 A R Tは、電極用補助羽根 1 6 f ' の先端縁から 2 0〜4 0 0 m mの距離に維持され、その被処理面である主表面（板状部材の両面）が電極用補助羽根 1 6 f ' の先端縁と向かい合う様に配置されている。本実施形態では、処理に際して、被処理品 A R Tを一方の電極とし、絶縁式振動撹拌装置の振動棒下部分 1 6 eやそれに電気的に結合している振動羽根 1 6：や電極用補助羽根 1 6 f ' を他方の電極として利用するので、振動羽根 1 6 f による振動撹拌に基づく処理液 1 4の流動により、電極表面にて発生または付着する各種ガスに起因する気泡が迅速に除去される。このため、電流効率が向上し、処理液の電気化学的反応が十分に促進される。

本実施形態の変形例としては、上記他方の電極として、更に別の電極部材（例えばめつき処理の場合にはめつきすべき金属よりなるもの）を併用することができる。この場合には、併用される電極部材を絶縁式振動撹拌装置と同一の極性になる様に電源に接続する。これにより、所要の電流量を確保しつつ、振動羽根や電極用補助羽根の寿命を長くすることができる。更に、その変形例として、絶縁式振動撹拌装置に代えて通常の振動撹拌装置を使用し（あるいは絶縁式振動撹拌装置の振動棒を電源と接続することなく）、上記他方の電極として専用の電極部材のみを使用してもよレ、。この様な変形は、以下の実施形態においても同様に可能である。図 2 3は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の他の実施形態の構成を示す平面図である。本実施形態は、例えば電着塗装処理に適用される。

図 2 3において、処理槽 1 0 A内には、処理液 1 4として液状電着塗料が収容されている。処理槽 1 O A上には、吊下げコンベアからなる被処理品保持手段 8 0が配置されており、該保持手段 8 0を構成するハンガーには自動車部品等の被処理品 A R Tが吊下げられている。該被処理品 A R T は、処理槽 1 O A内で処理液 1 4中に浸潰される。処理槽 1 0 A内には、被処理品 A R Tの移動経路の両側に、上記実施形態で説明したものと同様な絶縁式振動撹拌装置 1 6が配置されている。本実施形態では、被処理品 A R Tの寸法に対応して、片側に 2台の絶縁式振動撹拌装置 1 6が配列されている。即ち、本実施形態は、上記図 2 1及び図 2 2の実施形態の装置が処理槽を共通にして 2台配置されたものと同等である。

電着塗装処理用の電源により、保持手段 8 0のハンガーと絶縁式振動撹拌装置 1 6との間に電圧を印加し、電着塗装を行なう。非処理品 A R T は、電極用補助羽根 1 6 f ' の先端縁から 2 0〜4 0 O m mの距離に維持される。

図 2 4は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の他の実施形態の構成を示す平面図である。本実施形態は、例えば電着塗装処理に適用される。本実施形態は、基本的には図 2 1及び図 2 2の実施形態のものと同様である（被処理品 A R Tに印加する電圧の極性のみ異なる様に図示されているが、この極性は処理の内容に応じて適宜設定されるものである）。電着塗装処理では、カチオン電着塗装及びァニオン電着塗装に応じて、被処理品 A R Tに印加する電圧の極性が異なる。本発明では、特に絶縁式振動撹拌装置 1 6を陽極側として使用するカチオン電着塗装に好適である。

図 2 5は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の他の実施形態の構成を示す平面図である。本実施形態は、例えば電着塗装処理に適用される。

本実施形態は、図 2 4の実施形態に、更に絶縁式振動撹拌装置 1 6と同一の極性の電圧が印加される電極部材 8 4の保持手段 8 2を追加したものに相当する。被処理品 A R Tの保持手段 8 0は例えば陰極ブスバーであり、電極部材 8 4の保持手段 8 2は例えば陽極ブスバーであり、電極部材 8 4は例えばチタン製ラス網電極部材（表面に白金めつきを施したものが好ましい）である。図 2 6にラス網電極部材の正面図を示す。上部に吊下げ用の孔が 2つ設けられており、中央部から下部にかけて網状部とされており、この網状部が処理液中に浸漬される。電極部材 8 4は、被処理品 A • R Tと平行に且つ該被処理品 A R Tと絶縁式振動撹拌装置 1 6との間に配置されている。

図 2 7は振動撹拌装置を用いた表面処理装置の参考例の構成を示す平面図である。この参考例では、振動撹拌装置 1 6は絶縁式のものではなく、被処理品 A R T及び電極部材 8 5は、互いに平行に配置されているが、振動撹拌装置 1 6に対して向き合う様には配置されていない。

図 2 8は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の他の実施形態の構成を示す断面図である。本実施形態は、例えば陽極酸化処理 'に適用される。本実施形態は、基本的には図 2 1及び図 2 2の実施形態のものに、更に絶縁式振動撹拌装置 1 6と同一の極性の電圧が印加される電極部材 8 4の保持手段 8 2を追加したものに相当する。但し、電極用補助羽根は使用されていない。被処理品 A R Tの保持手段 8 0は例えば陽極ブスバーであり、電極部材 8 4の保持手段 8 2は例えば陰極ブスバーであり、電極部材 8 4は例えばチタン製ラス網電極部材である。

図 2 9及び図 3 0は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の他の実施形態の構成を示す断面図である。本実施形態は、例えば電铸めっき処理に適用される。本実施形態は、基本的には図 2 5の実施形態の被処理品 A R Tの右側に位置する絶縁式振動撹拌装置及び電極部材を除去したものに相当する。但し、電極用補助羽根は使用されていない。そして、電極部材 8 6として、図 3 1に示される円柱状チタン網ケース内に複数の金属製ボール（ニッケルボール、銅ボールなど）を充填したものを使用し、これを水平方向に保持したものを用いている。

図 3 2は本発明による絶縁式振動撹拌装置を用いた表面処理装置の他の実施形態の構成を示す断面図である。本実施形態は、例えばめつき処理に適用される。本実施形態は、基本的には図 2 5の実施形態と同等である。但し、電極部材 8 6として、図 2 9及び図 3 0の実施形態と同様なものを用いている。

尚、上記の様に、図 1、図 9、図 1 3及び図 1 4のそれぞれに関し説明した液処理装置において、保持手段により保持された被処理品を通電線 1 2 8に接続し、該被処理品を一方の電極として利用し、これを処理液 1 4 内に浸漬することで、これら実施形態の液処理装置を被処理品の表面処理装置として使用することが可能である。

- 以下、実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれらにより何ら限定されるものではない。

[実施例 1 ] (牛乳殺菌）

図 3 4に関し説明した液処理装置を用いて、牛乳の殺菌処理を行なつた。処理条件は次のとおりであった：絶縁式振動撹拌装置：

図 1 6及び図 1 7に関し説明したものを図 34の槽内配置部材 6 1の両側に配置

振動モータ： 200V (3相） X 1 50W

振動周波数： 42 Hz

振動羽根：陰極側はチタン

陽極側はチタンの表面に白金めつきしたもの

処理用通電電源電圧： 4. 5V

処理用通電電流： 3. 5 A

処理槽： W300 x L 700 xH350mm

被処理液：

大腸菌をトリプチケースィソブロス培地にて、 35。Cで 24時間培養し、培養後の菌体懸濁液を処理槽内の 60リットルの牛乳に懸濁したもの [牛乳 1ミリリットル当たり 22， 000の大腸菌を含む]

紫外線照射、通電及び振動撹拌を行なったところ、次の表 1に示す様な結果が得られた。処理時間大腸菌生菌数ノリットル

3分 30Zミリリットル以下

5分 30Zミリリットル以下

10分検出せず

なお、生菌数の測定は、処理槽内の 4か所から処理牛乳を合計 40ミリリッ卜ルづっ各測定時に採取し、食品の生菌測定法による平板混釈法により行なった。

[実施例 2] (電着塗装）

図 23に関し説明した表面処理装置（電着塗装装置）における絶縁式振動撹拌装置 1 6として、図 21及び図 22に関し説明した絶縁式振動撹拌装置を使用して、自動車部品のカチ才ン電着塗装を行なつた。

処理槽（電着槽） 1 OAとして、鉄製で内面に合成樹脂ライニングの施されたタンクを使用し、その中に、合成樹脂水性ェマルジヨン、顔料べ一スト、水などを含む処理液（液状電着塗料） 1 4を入れ、電着槽中に電気 '的に絶縁された吊下げコンベア 80にマイナス極のハンガーを掛け、これに自動車部品（被処理品 A R T) を吊下げて、これらをもマイナス極とする。絶縁式振動撹拌装置は、図 2 1及び図 2 2に示す様に、 2本の振動棒と、白金めつきされたチタン製の振動羽根（厚さ 0. 5 mm、図 1 2に示す D , = 2 5 O mm/ O z = 5 5 mm, 図 1 1に示す傾き角 α = 1 5 ° ) 及び白金めつきされたチタン製の電極用補助羽根（厚さ 0. 5 mm、図 1 2に示す D , = 2 5 0 mm/D₂ = 1 5 O mmに相当、図 1 1に示す傾き角 α = 1 5 ° ) をプラス極に接続し、インバーターにより振動モ一夕を 4 5 H zで振動させ、振動羽根を振幅 2 mm、振動数 1 5 0 0回 Z分で振動させた。絶縁式振動撹拌装置 1 6の配置は、図 2 3に示す通りであり、被処理品 A R Tを挟んで 2台づっ向かい合つた形で 4台用いた。

絶縁式振動撹拌装置は、振動モータとして 2 0 0 V ( 3相） X 2 5 0W のものを用い、振動棒の電気的絶縁領域には、図 5〜図 7に関し説明したような硬質ポリウレタン製の円柱状絶縁部材を用いた。この円柱状絶縁部材の図 7に示す = 1 6 mm, r ₂ = 5 0 mmとし、図 6に示す L = l 0 0 mmとした。

振動棒への通電は、インバ一タを介して 2 5 0 V、電流密度 2 O A/ dm² とした。電極用補助羽根の先端縁と自動車部品との最短間隔を 1 0 0 mmとし、自動車部品の液状電着塗料への浸漬時間を 3分間とした。その結果、約 4 0 /u rnの電着塗膜が得られた。

これに対して、比較例として、振動棒に通電を行なわず、且つ自動車部品からの距離が振動棒までとほぼ同様となる位置に極板を 4組配置し、該極板を介して通電し、更に、振動撹拌装置を駆動させて電着塗装を行なつたところ、浸漬時間 6分間で、塗膜厚 2 0 mとなった。

• 従って、振動棒に通電することにより、電着時間が約 1 /4に短縮されたことが分かる。

[実施例 3 ] (電着塗装）

実施例 2の絶縁式振動撹拌装置として、電極用補助羽根のないものであって、振動羽根として厚さ 0. 5mm、図 1 2に示す = 250 mm ZD₂ = 1 70mm、図 1 1に示す傾き角 α= 1 5° のものを使用し、且つ全ての絶縁式振動撹拌装置と自動車部品との間に図 26に関し説明した様な白金めつきされたチタン製のラス網電極板（電極部材）を挿入し、該電極板を振動撹拌装置の振動棒及び振動羽根と同一極性の陽極とした。振動羽根の先端縁とラス網電極板との間の距離を 50 m mとし、ラス網電極板と自動車部品との最短距離を 1 00mmとした。即ち、絶縁式振動撹拌装置とラス網電極板と被処理品との位置関係は、図 28に示すものと同様であった。

このように、電極用補助羽根を設ける代わりに、同一極性とされる電極板を設けることで、実施例 2と類似の結果が得られた。

[実施例 4] (電着塗装）

実施例 3と同様の絶縁式振動撹拌装置を使用し、図 23に関し説明した表面処理装置（電着塗装装置）において、自動車部品のァニオン電着塗装を行なった。

鉄製タンクからなる電着槽内に、アマ二油とマレイン酸との共重合体をエタノールァミンで中和し、これに水、水溶性溶媒であるセロソルブァセテートブチレ一トを加え、不揮発分 1 0%に調整したァニオン電着塗料を入れ、自動車部品を陽極として吊下げコンベアに吊下げ、電着槽を陽極、絶縁式振動撹拌装置を陰極とし、陰極とされている絶縁式振動撹拌装置の振動羽根先端縁と陽極とされている自動車部品との間隔を 1 00 m mとした。更に、絶縁式振動撹拌装置の自動車部品とは反対の側にチタン製ラス網電極板（図 26参照：厚さ 3. Omm、網状部厚さ 1. 5mm、網目の一方の対角線長 1 0mm、他方の対角線長 20mm) を設け、絶縁式振動撹拌装置の振動羽根後端とラス網電極板との間隔を 50mmとし（即ち、自動車部品と向き合っている振動羽根先端とは反対側の端部とラス網電極板との距離を 5 Ommとし）、ラス網電極板と電着槽との間隔を 1 0 Om mとした。

振動撹拌装置の振動モータをィンバ一タ一により 45 H zで駆動させ、振動羽根を振幅 2mm、振動数 1 800回 Z分で振動させ、処理用電源により陽極と陰極との間に直流 200 Vを印加して常温で電着塗装を行なつた。この際、第 1段階は 1 OAZdm² の電流密度で 1分間、第 2段階は 1 5 A/dm² の電流密度で 1分間の電着塗装とした。こうして得られた電着塗装品を、水洗後、 1 60°Cで焼き付け処理したところ、厚さ 30 mの防鐫性に優れた電着塗膜が得られた。

[実施例 5] (電着塗装）

実施例 4では自動車部品一絶縁式振動撹拌装置 -チタン製ラス網電極板 -電着槽という配置であつたが、本実施例では、自動車部品 -ステンレス製金網電極板（電極部材） -絶縁式振動撹拌装置 -電解槽という配置とし、自動車部品とステンレス製金網電極板との間隔を 10 Ommとし、ステンレス製金網電極板と振動羽根前端縁との間隔を 5 Ommとし、振動羽根後端縁と電解槽との間隔を 100 m mとした。

その結果、実施例 4よりは僅かに劣るものの、ほぼ満足すべき結果が得られた。

[実施例 6] (電着塗装）

図 14に示す絶縁式振動撹拌装置を使用した。被処理品としての小物部品を細長い回転かご（合成樹脂バレル）に入れ、かごの細長い周面が振動羽根と向かい合うような配置とした。振動羽根と回転かごとの距離を 10 Ommとした。振動羽根としては、ステンレス製で、厚さ 0. 5mmで、図 1 2に示す D > = 250 mm/D₂ = 1 70 mmのものを用いた。電着槽に、アルキッド樹脂系水性樹脂ェマルジヨン、顔料ペースト、水などを含む液状電着塗料を入れ、回転かご内部の被処理品を陰極とし、振動羽根を陽極として、カチオン電着塗装を行なった。処理に当たっての電流密度は 15 A/ dm² であった。

これにより、小物部品に迅速且つ均一で不良のない電着塗装が達成できた。

[実施例 7] (電着塗装）

l m角の鋼板に対して、以下の（ 1 ) 〜（4) の工程よりなる前処理を行なった：

( 1 ) 脱脂：振動撹拌装置（振動モータ振動数 40 H z) を使用し、 5 0〜60°Cの弱アル力リ性脱脂剤液を用いて 2分間処理

(2) 水洗：振動撹抻装置（振動モータ振動数 40 Hz) を使用し、 4

0〜50°Cの水を用いて 2分間処理

(3) 純水洗： 5 X 10^s Ω以上の常温の脱イオン水を用いて 2分間処理

(4) 水切 ·空気乾燥： 130〜140°Cで 5分間処理

得られた前処理済の鋼板に対して、以下の電着塗装を行なった：電着槽：鉄製ライニング槽（液量 600リツトル）

電着塗料：エポキシァダク卜の第 4級ァミンで中和した水性プライマ一タイプェマルジヨン塗料

液温： 3 (TC

振動撹拌装置の種類と配置：

(ィ） 200V (3相） X 15 OWの絶縁式振動撹拌装置（振動羽根 [白金めつきされたチタン製] と電極用補助羽根 [白金めつきされたチタン製] ) と被処理品とを、図 25に示す配置とし、電極用補助羽根の先端縁と被処理品である鋼板との距離を 1 00 mmとした。被処理品を陰極とし、絶縁式振動撹拌装置の振動羽根と電極用補助羽根とを陽極とし、整流器を用いて 1 50 Vの電圧をかけ、電流密度を 30AZdm² とした。

(口）前記（ィ）の絶縁式振動撹拌装置と被処理品との間に、図 25 に示す様に、白金めつきされたチタン製ラス網電極板（図 26のもの）を配置した。被処理品である鋼板とラス網電極板との距離は 10 Omm、ラス網電極板と絶縁式振動撹拌装置の電極用補助羽根先端縁との距離は 50 mmとした。そして被処理品を陰極とし、ラス網電極板と振動羽根及び電極用補助羽根とを陽極とし、整流器を用いて 1 50 Vの電圧をかけ、電流密度を 30 A/dm² とした。

(ハ）比較のために示す。被処理品、電極部材及び振動撹拌装置を図 27の様に配置した。この配置では、被処理品である鋼板と電極部材とは互いに向き合っているが、振動撹拌装置の振動羽根に対しては被処理品と電極部材とはいずれも向き合つた関係にはなく、直角となるように配置されている。従来タイプの振動撹拌は、液体をできるだけ効率よく撹拌することが第 1 と考えられていたから、被処理品に振動羽根を近付けることや、振動羽根を被処理品と向き合った状態に置くという発想はなく、被処理品から出来るだけ離れた位置に振動撹拌装置を配置し、被処理品や電極部材は、液体の流れをできるだけ妨げない様に、振動羽根に対して直角に配置していたのである。この配置では、電極部材は（ィ）及び（口）と異なり金網状である必要はない。また、振動撹拌装置は、絶縁式である必要はない。ここでは、被処理品と電極部材との距離を 40 Ommとし、振動羽根として、ステンレス製で、厚さ 0. 4 mmで、図 1 2に示す = 1 80 mm/D₂ = 50 mm (図 4の第 1回目のピークを示す長さ）のものを用いた。被処理品を陰極とし、電極部材を陽極とし、 1 50 Vの電圧をかけ、電流密度を SA/dm² とした。

以上の（ィ）、（口）及び（ハ）の各システムを用いて液温 30。Cで電着塗装を行なった。得られた試験板の電着塗装結果を、以下の表 2に示す。尚、電着塗装の前処理及び後処理においても、振動撹拌機を使用した。

[表 2]

(ィ） (口）

塗装時間 [分] 1 1 3 電着膜厚 [Mm] 25 ± 1 25 ± 1 25 ± 3 外観良好良好ガスピン少し有塩水噴霧試験 200時間良好 200時間良好 96時間鲭発生耐候性試験 700時間異常無— 700時間異常無 96時間鑌—発生備考）

塩水噴霧試験： J I S— K - 5400

切断片を試験、周辺をシールし、 Xカットを入れた耐候性試験（ゥェザロメ一夕一による）： J I S— K— 5400 切断片を試験、周辺をシールした

[実施例 8] (陽極酸化）

一般に、陽極酸化処理は、その前処理工程や後処理工程に比較して時間がかかりすぎるという問題があつた。そこで、この実施例 8では、図 2 1及び図 22に示す装置を使用した。ここで使用した絶縁式振動撹拌装置は、下記のものである。

振動モータ： 200V (3相） X 1 50W

振動周波数： 50 H z

振動羽根：チタン製で、厚さ 0. 4 mmで、図 1 2に示す = 1

80 mm/D₂ = 1 50 mm (図 4の第 2回目のピークを示す長さ）のもの 6枚

電極用補助羽根：チタン製のもの 5枚

また、被処理品として、アルミニウム（#201 7) 製で、寸法 1 00 1 00 X 2 mmのものを用いた。使用薬として硫酸（200 gZリッ卜ル）を用いて処理液を調製し、一般アルマイト [実施例 7 - 1 ] 及び硬質アルマイ卜 [実施例 7— 2] を形成した。

比較例として、絶縁式ではない従来の振動撹拌装置を使用し、電極部材を別途配置して、図 27に示す様な配置を形成して、一般アルマイト及び硬質アルマイトを形成した。

以下の表 3及び表 4に、陽極酸化処理条件及び得られた結果を示す。

[表 3]

実施例 Ί一 1 比較例一電圧 [V] 19 19

温度 ra 2 1 2 1

電流密度

30 4

処理時間 [分] 3 30

膜厚 [ M m] 24 27

硬度 [HV] 350 250

外観マイクロポーラス無マイクロポーラス少し有防鑌試験 [ h] 86 48

光沢良好 ― 劣る

備考）

膜厚測定： J I S - H— 8680 うず電流式測定法

硬度判定： J I S - H - 8882 ピツカ一ス硬度計（HV) 防請試験：アルマイ卜 J I S - K— 5400

塩水噴霧試験（白さび）

硬質アルマイト J I S— H—8681

耐蝕性キャス試験

[表 4]

実施例 7 - 2 比較丄列_

電圧 [V] 2 1 2 1

温度 [で] 5 5

電流密度

30 3

処理時間 [分] 3 30

膜厚 m] 24 22

硬度 [HV] 820 400

外観マイクロポ一ラス無マイクロボーラス少し有防鑌試験 [h] 2000 1 200

光沢良好劣る

備考）

膜厚測定： J I S - H— 8680 うず電流式測定法

硬度判定： J I S— H— 8882 ピツカ一ス硬度計（H V) 防請試験：アルマイト J I S— K - 5400

塩水噴霧試験（白さび）

硬質アルマイト J I S - H—8681

耐蝕性キャス試験

[実施例 9] (陽極酸化）

本実施例では、図 28に示す装置を使用した。ここで、陽極酸化対象金属（被処理品）としては、寸法 100 X 1 00 X 2 mmのアルミニウム板 (# 20 1 7) を用い、これに向き合った形でその両側にチタン製ラス網電極板を配置し、更に、その両側に向かい合う様にして絶縁式振動撹拌装置を配置した。振動羽根は、チタン製で、厚さ 0. 4mmで、図 1 2に示す = 18 Omm/Da = 50 mm (図 4の第 1回目のピークを示す長さ）のもの 6枚とした。振動羽根とチタン製ラス網電極板との間隔は 50 mm、チタン製ラス網電極板とアルミニウム板との間隔を 10 Ommとした。

絶縁式振動撹拌装置を介する通電を行なわずに、振動モータを 40 H z で駆動し、振動羽根を振幅 1. 5mmで、振動数 2000回/分で振動させ、使用薬として硫酸（200 g/リツトル）を用いて処理液を調製し、 —般アルマイ卜及び硬質アルマイ卜を形成した。

その結果、実施例 7と比較するとやや劣るが、それでもマイクロポーラスがなく、ほぼ均一なアルマイトが得られた。

陽極酸化処理条件及び得られた結果は、次のとおりであった：

(その 1 ) 一般アルマイト

電圧： 19V

電流密度： 20 AZdm²

温度： 2 1 °C

処理時間： 3分

膜厚： 16 / m

(その 2) 硬質アルマイト

2 1 V

20 A/dm²

温度： 5 °C

処理時間： 3分

膜厚： 16 μ m

[実施例 10] (陽極酸化）

絶縁式振動撹拌装置を介する通電を行なうこと以外は、実施例 9と同様な処理を行なった。但し、振動羽根の振動数を 1800回/分とし、電流密度を 30 AZdm² とした。

その結果は、実施例 9とほぼ同一であった。

[実施例 1 1 ] (マグネシウムの陽極酸化）

陽極酸化対象物（被処理品）として、マグネシウム合金 AZ 9 1 Dからなるものを用い、予備処理 Zアルカリ浸漬洗浄ノ水洗（Zアルカリ陽極電解洗浄水洗）酸洗い（中和）水洗 Z酸処理 Z水洗陽極酸化処理/ 水洗ノ乾燥の工程を経て、製品とした。

酸処理に用いる処理浴は、 85%リン酸 50 gZリットルで、使用温度は 2 1 °Cであった。陽極酸化処理に用いる処理浴の組成は、

水酸化力リウム 200 g Zリットル

リン酸ナトリウム 50 g リットル

水酸化アルミニウム 50 gZリットル

であった。

実施例 8と同様に図 21及び図 22に示す装置を用いて陽極酸化処理を行なった。

比較例として、実施例 1 1と同一の陽極酸化対象物に対して、 250 V の火花放電により陽極酸化を行なつた。

以下の表 5に、陽極酸化処理条件及び得られた結果を示す。

5]

_ 実施例 1 1 比較例 ― 電圧 [V] 100 250

電流密度 [A/dm^∑ 20 2

処理時間 [分] 3 30

膜厚 [ m] 25 25

硬度 [HV] 450 350

外観マイクロポーラス無マイクロポーラス多数防鐫試験 1 50時間異常無 100時間で鲭発生備考）

硬度判定： J I S— H - 8882 ピツカ一ス硬度計（H V) 外観：顕微鏡で表面を 500倍に拡大して目視観察した

防鑌試験： J I S— K - 5400 塩水噴霧試験による

[実施例 1 2] (マグネシウムの陽極酸化）

陽極酸化処理浴の組成を、

水酸化力リウム 165 g リットル

フッ化カリウム 35 g/リットル

リン酸ナトリウム 35 g Zリットル水酸化アルミニウム 35 gZリットル過マンガン酸カリウム 20 g/リットル

としたこと以外は、実施例 1 1 と同様の工程を実施した。その結果、実施 •例 1 1 と同様な結果が得られた。

[実施例 1 3] (電铸めっき）

図 29〜30に関し説明した装置を用いて、直径 20 Ommで厚さ 2 m mの光ディスク用 S U S円板の電铸めっきを行なった。絶縁式振動撹拌装置は、振動モータが 200 V (3相） X 250Wで、振動羽根がチタン製で、厚さ 0. 5 mm、図 1 2に示す = 2 50 mm/D ₂ = 55 m m (図 4の第 1回目のピークを示す長さ）であった。電極部材のチタン網ケース内には直径 25 mmのニッケルボールを多数詰めたものを用いた。振動羽根とチタン網ケースとの距離を 50mmとし、チタン網ケースと被処理品との距離を 1 0 Ommとした。振動モータを 50 H zで駆動し、振動羽根を振幅 2 mm、振動数 3 1 00回 /分で振動させた。

処理液としてスルファミン酸ニッケル浴を用いて、下記の要領で電铸 •めっきを行なった。

( 1 ) スルファミン酸ニッケル浴の組成

スルフアミン酸ニッケル結晶 600 g/リツトル塩化ニッケル 5 gノリットルホウ酸 40 gZリットル応力調整剤（ナフタリントリスルホン酸ソ一ダ）

0. 5〜 3ミリリットルリットル

ピット防止剤（ラウリル硫酸ナトリウム）

2〜 3ミリリツ卜ル Zリットル

(2 ) 処理温度 50°C

(3) 処理時間 30分

(4) 電流密度 60 AZdm²

( 5 ) 電圧 1 7 V

(6) pH 4. 5

比較のために、絶縁式でないことを除いて同等の振動撹拌装置を備えた図 2 7に関し説明した装置を用いて電銹めっきを行なった,

以下の表 6に、処理条件及び得られた結果を示す。

[表 6]

_ 実施例 1 3 比較例

処理時間 [分] 30 60

膜厚 [μπι] 300 300 ± 1 0 ガスピッ卜不良率 [%] _ — 0 3〜5

尚、ガスピットは、電解で水素ガスが発生し、これが電着面に小さな穴を発生させ、めっき面の外観を不良にするものであり、製品不良の原因となる。

[実施例 1 4] (めっき）

図 32に関し説明しためっき装置を用いて、 1 00 X 1 00 X 1. 5m mの前処理及び導電化処理済のエポキシ樹脂製プリン卜基板（被処理品）の銅めつき（特に 50 μηιのスルーホールへのめっき）を行なった。絶縁式振動撹拌装置は、振動モータが 200V (3相） X 1 50Wで、振動羽根がチタン製で、厚さ 0. 4mm、図 1 2に示す = 1 80mm /Ό₂ = 50 mm (図 4の第 1回目のピークを示す長さ） 5枚であった。電極部材の 25 Omm X 30 m m Φのチタン網ケース内に含リン銅製ボ一ル 8個を入れたものを横向きにして上下に 4本並べてセッ卜した。振動羽根とチタン網ケースとの距離を 5 Ommとし、チタン網ケースと被処理品との距離を 5 Ommとした。

振動モータを 50 H zで駆動し、振動羽根を振幅 2mm、振動数 300 0回 Z分で振動させ、めっき槽（725 X 400 X 45 Omm) 中で、下記の要領でめっきを行なった。

( 1 ) めっき液の組成

硫酸 1 90 リットル

硫酸銅五水和物 70 g/ヮッ卜ノレ

添加剤（光沢剤） 5 リリッ卜メレ/ リッ卜レ

( 2 ) 処理条件

めっき浴液温 25°C 30 A/dm²

処理時間 5分

比較のために、絶縁式でないことを除いて同等の振動撹拌装置を備えた図 27に関し説明した装置を用いてめっきを行なった。

以下の表 7に、処理条件及び得られた結果を示す。

ほ 7]

― 実施例 14 _ 比較例

電圧 [V] 8 8

電流密度

30 3

処理時間 [分] 5 50

膜厚 [ m] 33 ± 1 33 ± 3

硬度 [HV] 400 200

外観光沢有光沢やや有

レペリング良好レベリングる備考）

膜厚測定： J I S - H— 8680 うず電流式測定法

硬度判定： J I S - H— 8882 ビッカース硬度計（H V)

[実施例 1 5] (めっき）

図 2 1に関し説明した装置（但し、図 2 1に示されているものとは極性が異なる）を用いて、プリント基板の銅めつきを行なった。絶縁式振動撹拌装置は、電極用補助羽根を有することを除いて実施例 14のものと同様のものを使用した。電極用補助羽根は、図 1 2の D, に対応する寸法が振動羽根と同一であるが、図 12の D₂ に対応する寸法が振動羽根の 2倍となる様にした。電極用補助羽根の枚数は 5枚とした。

それ以外は実施例 14と同様にして実施した。めっき液は適宜補充した。

めっきの速さ及び仕上り状態は実施例 14とほぼ同一であつたが、スル一ホールへのめっきは実施例 14より優れていた。

[実施例 1 6] (めっき）

実施例 1 5において、直流 8 Vの適用を、周波数 1 k Hzの 5%パルス電源を使用して実施した。直径 20 mのスルーホール部分のめっきが実施例 1より一層きれいに、均一に且つ長時間にわたって安定して実施可能であった。産業上の利用可能性

( 1 ) 振動撹拌装置の振動棒またはそれと振動発生手段との間に絶縁領 "域を設けることにより、振動撹拌装置の新しい利用分野が開拓された。

(2) 絶縁領域を熱的絶縁領域とすることにより、高温または低温の処理液の撹拌にも振動撹拌装置を使用することができる様になつた。

(3) 絶縁領域を電気的絶縁領域とすることにより、振動撹拌装置の振動棒や振動羽根及び必要に応じて付設された電極用補助羽根に通電できるので、通電による被処理液の処理や通電による被処理物品の表面処理において振動撹拌の機能と通電のための少なくとも一方の電極としての機能とを持つ振動撹拌装置が提供された。

(4) 通電による被処理物品の表面処理に本発明の振動撹拌装置を用いると、被処理品とその逆極性の電極との間の距離を短くして電流を流しても、ショートすることがなく、また被処理品または電極から泡が発生することがないため、従来より大きな電流密度で安定に高速処理することが可 '能となり、表面処理の効率を著しく向上させることができた。例えば、めっきの場合には従来 3 AZ dm² 程度であった電流密度を 20〜30 dm² 程度に、電铸めっきの場合には従来 30 AZdm² 程度であった電流密度を 60 dm² 程度に、陽極酸化の場合には従来 3 AZdm² 程度であった電流密度を 30 dm² 程度に、それぞれ向上させることができた。

(5) 特に、被処理品とは逆極性の電極として利用される電極用補助羽根を付設した場合には、該電極用補助羽根の先端縁を一層被処理品に近付けることができるので、より大きな電流密度を容易に実現することができた。

(6) 本発明の表面処理によれば、得られる表面の特性を著しく優れたものとすることができた。特に、形成された膜の厚さが均一であり、膜質特性も優れたものとなった。

( 7 ) めっきの場合には、本発明を適用すると、従来法に比べて短時間でめつきができるだけでなく、被処理品に析出する金属の膜厚が細かくそろうことにより、ピットがなく均一な平滑面（レべリング）を形成することができた。

( 8 ) 電着塗装の場合には、本発明を適用すると、凹凸のある複雑な形状の部品の電着においても凹部と凸部との膜厚に差の少ない均一な電着膜を形成することができた。

( 9 ) アルミニウムやマグネシウム等の軽金属の陽極酸化の場合には、本発明を適用すると、処理時間を大幅に短縮して生産性を格段に向上させ、且つ飛躍的に膜の硬度を高めると同時にマイクロポ一ラスがない高品質の製品が得られた。

Claims

請求の範囲

1 - 振動発生手段と、該振動発生手段に連係して振動する少なくとも 1本の振動棒と、該振動棒に取り付けられた少なくとも 1枚の振動羽根とを含んでなり、前記振動棒と前記振動発生手段との連結部に又は前記振動棒の振動羽根を取り付けた部分より前記連結部に近い部分に電気的及び又は熱的な絶縁領域が設けられていることを特徴とする絶縁式振動撹拌

2 . 前記絶縁領域は、合成樹脂及び Z又はゴムを主成分とする材料からなることを特徴とする、請求項 1に記載の絶縁式振動撹拌装置。

3 . 前記絶縁領域は電気的絶縁領域であり、前記振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に通電線が接続されていることを特徴とする、請求項 1に記載の絶縁式振動撹拌装置。

4 . 前記通電線に接続された電源を備えていることを特徴とする、請求項 3に記載の絶縁式振動撹拌装置。

5 . 前記振動棒には、前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に、前記振動棒を介して前記通電線と電気的に接続された電極部材が取り付けられていることを特徴とする、請求項 3に記載の絶縁式振動撹拌装置。

6 . 前記振動羽根のうちの少なくとも一枚が前記電極部材として機能することを特徴とする、請求項 5に記載の絶縁式振動撹拌装置。

7 . 前記振動棒には、前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に、前記振動棒を介して前記通電線と電気的に接続された電極用補助羽根が取り付けられていることを特徴とする、請求項 3に記載の絶縁式振動撹拌装置。

8 . 前記電極用補助羽根は前記振動羽根と交互に位置するように前記振動棒に取り付けられていることを特徴とする、請求項 7に記載の絶縁式振動撹拌装置。

9 . 前記電極用補助羽根は前記振動羽根より大きな面積を持ち且つ前記振動羽根の先端縁よりも更に突出せしめられていることを特徴とする、請求項 7に記載の絶縁式振動撹拌装置。

1 0 . 前記電極部材としての対をなす第 1の電極部材及び第 2の電極部材のそれぞれが複数の前記振動棒に取り付けられており、前記第 1の電極部材は前記複数の振動棒のうちの少なくとも 1つを介して前記通電線と電気的に接続されており、前記第 2の電極部材は前記複数の振動棒のうちの他の少なくとも 1つを介して前記通電線と電気的に接続されていることを特徴とする、請求項 5に記載の絶縁式振動撹拌装置。

1 1 . 前記第 1の電極部材と前記第 2の電極部材との間隔が 2 0〜 4 0 O m mに維持されていることを特徴とする、請求項 1 0に記載の絶縁式振動撹拌装置。

1 2 . 前記振動羽根が前記複数の振動棒に取り付けられており、前記振動羽根の少なくとも一部が前記第 1の電極部材又は前記第 2の電極部材として機能することを特徴とする、請求項 1 0に記載の絶縁式振動撹拌

1 3 . 複数の前記振動羽根のそれぞれが前記複数の振動棒に取り付けられており、前記複数の振動羽根の一部が前記第 1の電極部材として機能し、前記複数の振動羽根の他の一部が前記第 2の電極部材として機能することを特徴とする、請求項 1 0に記載の絶縁式振動撹拌装置。

1 4 . 前記複数の振動棒には前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に電極用補助羽根が取り付けられており、該電極用補助羽根は前記第 1の電極部材又は前記第 2の電極部材として機能することを特徴とする、請求項 1 0に記載の絶縁式振動撹拌装置。

1 5 . 前記複数の振動棒には前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に複数の電極用補助羽根が取り付けられており、該複数の電極用補助羽根の一部が前記第 1の電極部材として機能し、前記複数の電極用補助羽根の他の一部が前記第 2の電極部材として機能することを特徴とする、請求項 1 0に記載の絶縁式振動撹拌装置。

1 6 . 前記絶縁領域は熱的絶縁領域であり、前記振動棒の前記熱的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に熱交換媒体注入部及び熱交換媒体取出部が設けられていることを特徴とする、請求項 1に記載の絶縁式振動撹拌装置。

1 7 . 振動発生手段と、該振動発生手段に連係して振動する少なくとも 1本の振動棒と、該振動棒に取り付けられた少なくとも 1枚の振動羽根とを含み、前記振動棒と前記振動発生手段との連結部に又は前記振動棒の振動羽根を取り付けた部分より前記連結部に近い部分に電気的絶縁領域 "が設けられている絶縁式振動撹拌装置；

被処理液が収容される処理槽；

対をなす第 1の電極部材及び第 2の電極部材；及び

を備えていることを特徴とする液処理装置。

1 8 . 前記第 1の電極部材と前記第 2の電極部材との間の間隔が 2 0〜4 0 0 m mに維持されていることを特徴とする、請求項 1 7に記載の液処理装置。

1 9 . 前記振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に通電線が接続されており、前記第 1の電極部材又は前記第 2の電極部材は前記振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽 '根を取り付けた部分の側に取り付けられ且つ前記振動棒及び前記通電線を介して前記電源と電気的に接続されていることを特徴とする、請求項 1 7 に記載の液処理装置。

2 0 . 前記振動棒及び前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された前記振動羽根が前記第 1の電極部材又は前記第 2の電極部材として機能することを特徴とする、請求項 1 9に記載の液処理装置。

2 1 . 前記振動棒には、前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に、前記振動棒及び前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された電極用補助羽根が取り付けられており、該電極用補助羽根が前記第 1の電極部材又は前記第 2の電極部材として機能することを特徴とする、請求項 1 9に記載の液処理装置。

2 2 . 2台の前記絶縁式振動撹拌装置を備えており、一方の前記絶 "縁式振動撹拌装置の前記第 1の電極部材と他方の前記絶縁式振動撹拌装置の前記第 2の電極部材との間に前記電源により電圧が印加されることを特徴とする、請求項 1 9に記載の液処理装置。

2 3 . 前記振動羽根が複数の前記振動棒に取り付けられており、前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のそれぞれが前記複数の振動棒に取り付けられており、前記第 1の電極部材は前記複数の振動棒のうちの少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続されており、前記第 2の電極部材は前記複数の振動棒のうちの他の少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続されていることを特徴とする、請求項 1 9に記載の液処理装

2 4 . 前記複数の振動棒のうちの少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された前記振動羽根が前記第 1の電極部材として機能し、及びノ又は、前記複数の振動棒のうちの他の少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された前記振動羽根が前記第 2の電極部材として機能することを特徴とする、請求項 2 3に記載の液処理装置。

2 5 . 前記複数の振動棒には前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に電極用補助羽根が取り付けられており、前記複数の振動棒のうちの少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された前記電極用補助羽根が前記第 1の電極部材として機能し、及びノ又は、前記複数の振動棒のうちの他の少なくとも 1つ及びそれに接続された前記通電線を介して前記電源と電気的に接続された前記電極用補助羽根が前記第 2の電極部材として機能することを特徴とする、請求項 2 3に記載の液処理装置。

2 6 . 請求項 1 7に記載の液処理装置の前記処理槽内に被処理液を入れ、前記振動羽根を前記被処理液に浸漬し、前記第 1の電極部材と前記第 2の電極部材との間で前記被処理液を介して通電しながら前記振動羽根を振動させることを特徴とする液処理方法。

2 7 . 前記第 1の電極部材と前記第 2の電極部材との間の間隔を 2 0〜4 0 O m mに維持することを特徴とする、請求項 2 6に記載の液処理方法。

2 8 . 前記振動発生手段において 1 0〜5 0 0 H zの振動数の振動を発生させ、前記振動羽根を振幅 0 . 1〜3 O m m且つ振動数 2 0 0〜1 2 0 0 0回/分で振動させることを特徴とする、請求項 2 6に記載の液処理方法。

2 9 . 前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のうちの少なくとも一方として、前記絶縁式振動撹拌装置の振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に取り付けられたものを用いることを特徴とする、請求項 2 6に記載の液処理方法。

3 0 . 前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のうちの少なくとも一方として前記振動羽根を用いることを特徴とする、請求項 2 6に記載の液処理方法。

3 1 . 前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のうちの少なくとも一方として、前記絶縁式振動撹拌装置の振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に取り付けられた電極用補助羽根を用いることを特徴とする、請求項 2 6に記載の液処理方法。

3 2 . 前記絶縁式振動撹拌装置を 2台使用し、前記第 1の電極部材として第 1の前記絶縁式振動撹拌装置の前記振動棒に取り付けられたものを用い、前記第 2の電極部材として第 2の前記絶縁式振動撹拌装置の前記振動棒に取り付けられたものを用いることを特徴とする、請求項 2 6に記載の液処理方法。

3 3 . 前記絶縁式振動撹拌装置として、前記振動羽根が複数の前記振動棒に取り付けられ、前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のそれぞれが前記複数の振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に取り付けられたものを使用し、前記第 1の電極部材として前記複数の振動棒のうちの少なくとも 1つを介して前記電源と電気的に接続されたものを用い、前記第 2の電極部材を前記複数の振動棒のうちの他の少なくとも 1つを介して前記電源と電気的に接続されたものを用いることを特徴とする、請求項 2 6に記載の液処理方法。

3 4 . 前記第 1の電極部材及び前記第 2の電極部材のうちの少なくとも一方として前記振動羽根を用いることを特徴とする、請求項 33に記載の液処理方法。

35. 処理槽；

振動発生手段と、該振動発生手段に連係して振動する少なくとも 1本の振動棒と、該振動棒に取り付けられた少なくとも 1枚の振動羽根とを含んでなる振動撹拌装置（A) ；

電極部材（B) ；及び

被処理品（C) を通電可能に保持する保持手段

を備えており、

前記振動羽根、前記電極部材（B) 及び前記被処理品（C) がそれぞれの間隔を 20〜40 Ommに維持して前記処理槽内に配置されるよう構成されていることを特徴とする表面処理装置。

36. 前記電極部材（B) 又は前記被処理品（C) が前記振動羽根の先端縁と対向して配置されるよう構成されていることを特徴とする、請求項 35に記載の表面処理装置。

37. 前記電極部材（B) は、多孔質板状体、網状体、かご状体又は棒状体からなることを特徴とする、請求項 35に記載の表面処理装

38. 処理槽；

振動発生手段と、該振動発生手段に連係して振動する少なくとも 1本の振動棒と、該振動棒に取り付けられた少なくとも 1枚の振動羽根とを含んでなり、前記振動棒と前記振動発生手段との連結部に又は前記振動棒の振動羽根を取り付けた部分より前記連結部に近い部分に電気的絶縁領域が設けられている絶縁式振動撹拌装置（Α' ) ；及び

被処理品（C) を通電可能に保持する保持手段

を備えており、

前記振動羽根及び前記被処理品（C) がそれぞれの間隔を 20〜400 mmに維持して前記処理槽内に配置されるよう構成されていることを特徴とする表面処理装置。

39. 前記被処理品（C) が前記振動羽根の先端縁と対向して配置されるよう構成されていることを特徴とする、請求項 3 8に記載の表面処

4 0 . 更に電極部材（B ) を備えており、該電極部材（B ) は前記振動羽根及び前記被処理品（C ) のそれぞれとの間隔を 2 0〜4 0 O m m に維持して前記処理槽内に配置されるよう構成されていることを特徴とする、請求項 3 8に記載の表面処理装置。

4 1 . 前記電極部材（B ) は、多孔質板状体、網状体、かご状体又は棒状体からなることを特徴とする、請求項 4 0に記載の表面処理装置。

4 2 . 前記絶縁式振動撹拌装置（Α ' ) の電気的絶縁領域は、合成樹脂及びノ又はゴムを主成分とする材料からなることを特徴とする、請求項 3 8に記載の表面処理装置。

4 3 . 前記絶縁式振動撹拌装置（Α ' ) の振動棒の前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側には通電線が接続されていることを特徴とする、請求項 3 8に記載の表面処理装置。

4 4 . 前記振動棒には、前記電気的絶縁領域に対する前記振動羽根を取り付けた部分の側に電極用補助羽根が取り付けられていることを特徴とする、請求項 3 8に記載の表面処理装置。

4 5 . 前記電極用補助羽根は前記振動羽根と交互に位置するように前記振動棒に取り付けられていることを特徴とする、請求項 4 4に記載の

4 6 . 前記電極用補助羽根は前記振動羽根より大きな面積を持ち且つ前記振動羽根の先端縁よりも更に突出せしめられていることを特徴とする、請求項 4 4に記載の表面処理装置。

4 7 . 請求項 3 5に記載の表面処理装置の前記処理槽内に処理液を入れ、前記振動羽根、前記電極部材（Β ) 及び前記被処理品（C ) を前記処理液に浸漬し、前記電極部材（Β ) を一方の電極とし、且つ前記被処理品（C ) を他方の電極とし、前記一方の電極及び前記他方の電極の間で前記処理液を介して通電しながら前記振動羽根を振動させて、前記被処理品 ( C ) の表面処理を行なうことを特徴とする表面処理方法。

48. 前記表面処理は電着塗装、陽極酸化、電解研磨、電解脱脂、めっき又は電铸めっき、あるいはこれらの前処理または後処理であることを特徴とする、請求項 47に記載の表面処理方法。

49. 前記電着塗装、陽極酸化、電解研磨、電解脱脂又はめつき、これらの前処理または後処理、あるいは電铸めっきの前処理または後処理を 1 OAZdm² 以上の電流密度で行なうことを特徴とする、請求項 48 に記載の表面処理方法。

50. 前記電铸めっきを 20 AZdm² 以上の電流密度で行なうことを特徴とする、請求項 48に記載の表面処理方法。

51. 前記振動発生手段において 10〜500 H zの振動数の振動を発生させ、前記振動羽根を振幅 0. 1〜3011111且っ振動数200〜1 2000回ノ分で振動させることを特徴とする、請求項 47に記載の表面処理方法。

52. 請求項 38に記載の表面処理装置の前記処理槽内に処理液を入れ、前記振動羽根及び前記被処理品（C) を前記被処理液に浸漬し、前記振動棒及びこれに電気的に接続された前記振動羽根を一方の電極とし、且つ前記被処理品（C) を他方の電極とし、前記一方の電極及び前記他方の電極の間で前記処理液を介して通電しながら前記振動羽根を振動させて、前記被処理品（C) の表面処理を行なうことを特徴とする表面処理方法。

53. 前記処理槽内に前記振動羽根及び前記被処理品（C) のそれぞれと間隔 20〜40 Ommを維持するように電極部材（B) を配置し、 '該電極部材（B) をも前記一方の電極として使用することを特徴とする、請求項 52に記載の表面処理方法。

54. 前記表面処理は電着塗装、陽極酸化、電解研磨、電解脱脂、めっき又は電铸めっき、あるいはこれらの前処理または後処理であることを特徴とする、請求項 52に記載の表面処理方法。

55. 前記電着塗装、陽極酸化、電解研磨、電解脱脂又はめつき、これらの前処理または後処理、あるいは電铸めっきの前処理または後処理を 1 0 AZdm² 以上の電流密度で行なうことを特徴とする、請求項 54 に記載の表面処理方法。

56. 前記電铸めつきを SOAZdm² 以上の電流密度で行なうことを特徴とする、請求項 54に記載の表面処理方法。

57. 前記振動発生手段において 10〜500 H zの振動数の振動を発生させ、前記振動羽根を振幅 0. 1〜3 Omm且つ振動数 200〜1 2000回 Z分で振動させることを特徴とする、請求項 52に記載の表面処理方法。