WO2002104078A1 - Dispositif et procede de fabrication d'un ecran electroluminescent organique - Google Patents

Dispositif et procede de fabrication d'un ecran electroluminescent organique Download PDF

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WO2002104078A1
WO2002104078A1 PCT/JP2002/005461 JP0205461W WO02104078A1 WO 2002104078 A1 WO2002104078 A1 WO 2002104078A1 JP 0205461 W JP0205461 W JP 0205461W WO 02104078 A1 WO02104078 A1 WO 02104078A1
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organic
display
layer
glass substrate
sealing
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PCT/JP2002/005461
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Inventor
Haruo Wakayama
Original Assignee
Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd.
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Definitions

  • the present invention relates to an organic EL display manufacturing apparatus and an organic EL display manufacturing method for manufacturing an organic EL display having a structure in which an organic light emitting layer formed on a glass substrate is sealed with a sealing cap.
  • FIG. 6 is a perspective view showing a schematic configuration of a general organic EL display.
  • the organic EL display 1 has a transparent glass substrate 2 on which a plurality of anode layers 3 are spaced apart from each other by a transparent conductive material such as ITO. It is provided in a stripe shape.
  • a hole transport layer 4 that supplies holes by applying a DC voltage, an organic light emitting layer 5 containing a trace amount of organic dye as a dopant, and electrons are applied by applying a DC voltage.
  • the electron transport layers 6 to be supplied are sequentially laminated on the glass substrate 2 in this order.
  • a plurality of cathode layers 7 made of a conductive material are provided on the electron transport layer 6 serving as the uppermost layer at a predetermined interval in a stripe shape extending in a direction orthogonal to the direction in which each anode layer 3 extends. Have been killed.
  • Each anode layer 3 on the glass substrate 2 is connected to an anode of a DC power supply 8, and each uppermost cathode layer 7 is connected to a cathode of the DC power supply 8.
  • this organic EL display 1 a plurality of anode layers 3 formed on a glass substrate 2 and a plurality of cathode layers 7 provided on the uppermost layer intersect each other at right angles.
  • image light having each intersection as one unit of display can be formed outside the glass substrate 2.
  • FIG. 8 is a configuration diagram showing a schematic configuration of an organic EL manufacturing apparatus for manufacturing an organic EL display.
  • the organic EL manufacturing apparatus 10 includes a film forming chamber 11 for performing a film forming process of an organic light emitting layer 5 and the like on a glass substrate 2 and a sealing chamber for providing a sealing cap 9 on the glass substrate 2 after film formation.
  • the film forming chamber 11 and the sealing chamber 12 are connected to each other by a communication passage 13.
  • the film forming chamber 11 has a transfer chamber 110 provided with a transfer robot 110a at the center thereof. Radially from the transfer chamber 110, a substrate stock chamber 111 for stocking the glass substrate 2, a pretreatment chamber 111 for performing pretreatment such as cleaning on the glass substrate 2 before film formation, and an anode layer 3, a plurality of vapor deposition chambers 1 13 to 1 16 for vapor-depositing each layer of the hole transport layer 4, the organic light-emitting layer 5, the electron transport layer 6, and the cathode layer 7 on the glass substrate 2 at predetermined intervals. It is arranged. The gas flow between the transfer chamber 110 located in the center, the substrate stock chamber 111, the pre-treatment chamber 112, and the vapor deposition chambers 113-116, respectively.
  • gate valves 1 1 a to 1 16 a that can be opened and closed.
  • a transfer chamber 110 and a communication passage 13 are provided between the substrate stock chamber 111 and the outside. Between them, there are provided gate valves 13a for communicating the gas in each space when the glass substrate 2 after film formation is transferred to the sealing chamber 12 side.
  • the sealing chamber 12 has a transfer chamber 120 provided with a transfer robot 120a at the center, and the organic light emitting layer 5 formed on the glass substrate 2 radially from the transfer chamber 120.
  • Inspection room 1 2 1 for inspecting the state of each layer, etc.
  • Sealing cap fixing room 1 2 2 to provide sealing cap 9 on each layer formed on glass substrate 2
  • Discharge chamber 1 2 4 for carrying glass substrate 2 with sealing cap 9 out
  • spare chambers 1 25 and 1 26 provided for spare, respectively, as specified Are arranged at intervals.
  • Transport room 12 0 located in the center, inspection room 1 2 1, sealing cap fixing room 1 2 2, cap stock room 1 2 3, spare rooms 1 2 5 and 1 2 6, discharge room 1 2 4 Between them, there are provided gate valves 121a to l26a which can open and close the gas flow state, respectively.
  • the cap stocking chamber 123 has a gate valve 123 for making the inside equal to the atmospheric pressure when the sealing cap 9 is carried in for stocking in the cap stocking chamber 123.
  • a gate valve 1 24 b is provided in the discharge chamber 124 to make the inside equal to the atmospheric pressure when the glass substrate 2 with the sealing cap 9 is carried out. Is provided.
  • each of the chambers 110 to 116 of the film forming chamber 11, the communication passage 13, and each of the chambers 120 to 126 of the sealing chamber 12 have a gas supply line and a gas discharge line (not shown).
  • the interior of each chamber can be adjusted to a desired pressure state filled with a desired gas.
  • the glass substrate 2 stocked in the substrate stock room 111 is transferred to the pretreatment chamber 1 110 by the transfer robot 110 a of the transfer chamber 110. After being transferred to 12 and subjected to a predetermined pretreatment, it is transferred to each of the vapor deposition chambers 11 13 to 16 under the condition that a predetermined gas is filled to a predetermined pressure, and the anode layer 3 and the positive Each of the hole transport layer 4, the organic light emitting layer 5, the electron transport layer 6, and the cathode layer 7 is sequentially laminated.
  • the gate valves 11 11 a to 16 a provided between the transfer chamber 110 and each of the chambers 111 to 116 are opened and closed, and a gas supply line (not shown) A predetermined gas is led in and out from the gas discharge line to adjust the gas pressure in each chamber, but the glass substrate 2 is kept out of contact with the atmosphere.
  • the glass substrate 2 on which each layer is laminated in the film forming chamber 11 is transferred to the sealing chamber 12 through the communication passage 13 while maintaining the airtight state.
  • the transfer robot 120 provided in the transfer room 120 transfers the test room 122 to the inspection room 121 where a predetermined inspection is performed.Then, the transfer robot 122 is transferred to the sealing cap fixing room 122 and the storage room.
  • a sealing cap 9 stocked at 123 is provided at a predetermined position on the glass substrate 2.
  • the glass substrate 2 in which the sealing cap 9 is provided and each layer such as the organic light emitting layer 5 is in a sealed state is carried out from the discharge chamber 124 to the outside, and the organic EL display is manufactured.
  • the organic light-emitting layer 5 used in the organic EL display contains a trace amount of moisture, which may cause dark spots.
  • a sealing cap 9 is provided so as not to be taken out of the container and to contain water as it is, and to cover each layer.
  • a UV curable adhesive is applied to the contact surface with the glass substrate 2, and UV light is irradiated from the glass substrate 2 side to be fixed on the glass substrate 2.
  • an organic EL display needs to be manufactured in a state where moisture is removed, and in order to improve the mass productivity of the manufacture, a large-area glass substrate is used to simultaneously prepare a plurality of organic EL displays. Perform a film forming process for EL displays, provide a sealing cap for each OLED display, and then replace the large-area glass substrate on which multiple OLED displays are formed with the portion where each OLED display is formed. Each time, it is necessary to manufacture a plurality of OLED displays at the same time by forming a scribe line and applying a bending moment to the scribe line to divide each OLED display.
  • the sealing cap 9 projecting from the glass substrate 2 to a predetermined height may be used. It is difficult to stably support the substrate 2, and it is not easy to stably form scribe lines. Also, a hardened adhesive is formed on the surface of the sealing cap 9 on the opposite side where the scribe line is formed, in contact with the glass substrate 2, and the adhesive is separated from the scribe line by the influence of the adhesive. However, there is also a problem that the raked direction does not always proceed in a desired direction, and a desired sectional plane cannot be obtained.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and has been made in order to divide each organic EL display in a glass substrate in which a plurality of sealing caps covering each layer such as an organic light emitting layer are provided so as to cover each layer. , Make sure the scribe line at the desired position
  • An object of the present invention is to provide an organic EL display manufacturing apparatus and an organic EL display manufacturing method that can be formed. Disclosure of the invention
  • an organic EL display manufacturing apparatus of the present invention comprises an anode layer, a hole transport layer, an organic light emitting layer, an electron transport layer, and an anode layer in a vacuum or an inert gas atmosphere.
  • Sealing means for providing a member, wherein a scribe line is formed before sealing in a predetermined partial region used for each portion of the brittle substrate to be an organic EL display. Things.
  • the brittle substrate is formed on each of the brittle substrates on which the respective layers are formed by the film forming means in a vacuum or an inert gas atmosphere. It is preferable to include a scribe unit for forming a scribe line for a predetermined partial region to be used.
  • the scribing means includes a glass cutter having a bi-cone-shaped cutting blade having a maximum diameter at a central portion, and a holder rotatably supporting the cutting blade around a conical axis. It is preferable to have an evening.
  • the method for producing an organic EL display of the present invention comprises the steps of: placing each of an anode layer, a hole transport layer, an organic light emitting layer, an electron transport layer, and a cathode layer on a brittle substrate in a vacuum or an inert gas atmosphere; A film-forming step of forming a film for each part to be an organic EL display, and a sealing member for attaching a sealing member for sealing each layer on the brittle substrate in a hermetic state for each part in a vacuum or an inert gas atmosphere. And a scribe line is formed in a predetermined partial region used for each part of the brittle substrate to be an organic EL display before the sealing member attaching step. Things.
  • a vacuum or an inert gas atmosphere on the brittle substrate on which each layer is formed.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing a schematic configuration of an organic EL display manufacturing apparatus of the present invention.
  • FIG. 2 is a side view showing a glass cutter provided in the scribe room.
  • FIGS. 3 (a) to 3 (e) are cross-sectional views for explaining, for each process, a process of attaching a sealing cap to a glass substrate on which each layer is formed, and dividing the glass substrate for each organic EL display.
  • FIG. 4 is a schematic plan view showing a schematic configuration of another organic EL display manufacturing apparatus of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic plan view showing a schematic configuration of still another organic EL display manufacturing apparatus of the present invention.
  • FIG. 6 is a perspective view showing a schematic configuration of an organic EL display.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing an organic EL display equipped with a sealing cap.
  • FIG. 8 is a schematic plan view showing a schematic configuration of a conventional organic EL display manufacturing apparatus. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • FIG. 1 is a configuration diagram showing a schematic configuration of an organic production apparatus 100 of the present invention.
  • the manufactured organic EL display device has a structure similar to the structure shown in FIG.
  • the organic EL display manufacturing apparatus 100 includes a film forming chamber 11 for performing a film forming process of each layer such as an organic light emitting layer 5 on a glass substrate (brittle substrate) 2, and a sealing on a glass substrate 2 after film formation. It has a sealing chamber 20 provided with a stop cap 9, and the film forming chamber 11 and the sealing chamber 20 are connected by a communication passage 13.
  • the film forming chamber 11 has a transfer chamber 110 having a transfer robot 110a at the center thereof, and a substrate stock chamber 111 for storing the glass substrate 2 radially from the transfer chamber 110.
  • Pre-treatment chamber for pre-treatment such as cleaning of glass substrate 2 before film formation 1 1
  • Anode layer 3 Hole transport layer 4, Organic light emitting layer 5, Electron transport layer 6, Cathode layer 7
  • a plurality of vapor deposition chambers 113 to 116 for vapor-depositing each layer on the glass substrate 2 are arranged at predetermined intervals. Between the transfer chamber 110 located in the center, the substrate stock chamber 111, the pretreatment chamber 112, and each of the vapor deposition chambers 113-116, the flow of gas is controlled.
  • a gate valve 1 11 a to l 16 a that can be opened and closed is provided. Further, a gas supply line and a gas discharge line (not shown) are provided in the substrate stock chamber 111, the pretreatment chamber 112, and the vapor deposition chambers 113 to 116, respectively. Can be adjusted to a desired pressure state filled with a desired gas.
  • the sealing chamber 20 has a transfer chamber 210 provided with a transfer robot 210a at the center, and the organic light emitting layer 5 formed on the glass substrate 2 radially from the transfer chamber 210.
  • Inspection room 2 16 for inspecting the state of each layer such as, a scribing room 30 for forming scribe lines on the surface of the glass substrate 2 for dividing the glass substrate 2 for each organic EL display, and a glass substrate
  • a cap stock chamber 2 1 3 for storing a sealing cap 9 provided on each layer such as the organic light emitting layer 5 formed on 2 and a sealing cap fixing chamber 2 for placing the sealing cap 9 on the glass substrate 2 1 and 2, a UV irradiation chamber 2 1 4 for irradiating UV light to cure the UV curable adhesive attached to the contact surface of the sealing cap 9 with the glass substrate 2, and the sealing cap 9
  • the provided discharge chambers 2 15 for discharging the glass substrate 2 to the outside respectively It is disposed at an interval.
  • a scribe line is formed at a predetermined position on the glass substrate 2 in the scribe room 30 Cutter 21 (see Fig. 2) is provided.
  • FIG. 2 shows a cutout 21 provided in the scribe room 30.
  • the cutter 21 has a cutting edge 22 made of a material having a high hardness such as a carbide or sintered diamond.
  • the cutting blade 22 is formed in a bi-cone shape having a maximum diameter at the center, and both ends of the cutting blade 22 are centered on the conical axis by a holder 23 having an open lower surface. It is rotatably supported and mounted so that it can be rotated.
  • the central portion of the cutting blade 22 protruding from the lower surface of the holder 23 is pressed against a desired position on the glass substrate 2 to form the cutting blade 22. This is performed by running in a predetermined direction while rotating.
  • an organic EL display is manufactured by the organic EL display manufacturing apparatus 100, first, the glass substrate 2 stocked in the substrate stock chamber 111 of the film forming chamber 111 is transferred to the transfer pot 110 of the transfer chamber 110. After transporting to the pre-processing chamber 112 by 10a and performing the predetermined pre-processing, it is transported to each of the vapor deposition chambers 113 to 116, where the predetermined gas is filled to the predetermined pressure.
  • Each layer of the anode layer 3, the hole transport layer 4, the organic light emitting layer 5, the electron transport layer 6, and the cathode layer 7 is sequentially laminated on the glass substrate 2 to form a film.
  • the gate valves 111-l16a provided between the transfer chamber 110 and each of the chambers 111-116 are opened and closed, respectively, to supply gas supply lines and gas exhaust (not shown). Predetermined gas is led in and out of the line, but is not connected to the atmosphere.
  • the glass substrate 2 on which the respective layers are stacked in the film forming chamber 11 passes through the communication passage 13 and is conveyed to the sealing chamber 20 while keeping the airtight state.
  • the glass substrate 2 conveyed to the sealing chamber 20 through the communication passage 13 is in a state where the layers such as the anode layer 3 are laminated at predetermined intervals as shown in FIG. 3 (a). I have.
  • the transfer robot 210a of the transfer room 210 transfers the glass substrate 2 to the inspection room 216, where a predetermined inspection is performed. After that, carry it into the scribe room 30.
  • the loaded glass substrate 2 is subjected to optical alignment and position shift correction, and then X and Y cross scribe is performed in accordance with preset scribe pitch data.
  • a scribe line S is formed on each part of the glass substrate 2 that will be an organic EL display by running while rotating the cutting blade 21 shown in FIG. 2 as shown in FIG. 3 (b). I do.
  • the glass substrate 2 on which the scribe line S has been formed is carried into the sealing cap fixing chamber 2 12 by the transfer robot 2 10 a in the transfer chamber 2 10, and is stocked in the cap stock chamber 2 13.
  • the sealing cap 9 is placed so as to cover each layer formed on the glass substrate 2.
  • the sealing cap 9 is placed on the contact surface with the glass substrate 2 with a UV curable adhesive interposed.
  • the glass substrate 2 on which the sealing cap 9 is placed is carried into the UV irradiation chamber 2 14 by the transfer port pot 2 10 a of the transfer chamber 2 10, and as shown in FIG. 3 (d).
  • UV light is irradiated from the back side of the glass substrate 2 to cure the UV curable adhesive applied to the contact surface of the sealing cap 9 that comes into contact with the glass substrate 2, so that each sealing The cap 9 is fixed at a predetermined position on the glass substrate 2.
  • the glass substrate 2 to which the sealing cap 9 is fixed is transferred to the discharge chamber 215 by the transfer port pot 210a of the transfer chamber 210, and the reduced pressure state of the discharge chamber 215 is gated.
  • the glass substrate 2 on which the sealing cap 9 is attached is carried out to the outside of the discharge chamber 2 15 by making the lube 2 15 b equal to the atmospheric pressure.
  • the scribe lines S formed in a predetermined pattern on the glass substrate 2 are broken to divide each organic EL display.
  • the sealing cap 9 and the cutter 21 are problematic when forming the scribe line S on the glass substrate 2 after providing the sealing cap 9.
  • contact with the sealing cap 9 can be avoided, and the occurrence of disconnection failure due to the influence of residual stress due to the sealing cap 9 being bonded can be eliminated.
  • FIG. 4 is a configuration diagram showing a schematic configuration of another organic EL display manufacturing apparatus 100 of the present invention.
  • the manufactured organic EL display device has a structure similar to the structure shown in FIG.
  • a scribe room 30 for forming a scribe line S on the surface of the glass substrate 2 to divide the glass substrate 2 for each organic EL display is formed by film formation. It is provided outside the chamber 11 and the sealing chamber 20. Further, the sealing chamber 20 is provided with a spare chamber 211 provided for spare. The other points are the same as those of the organic EL display manufacturing apparatus shown in FIG. 1, and a detailed description thereof will be omitted.
  • a scribing line S is formed at a desired position on the glass substrate 2 in the scribe room 30, and then the scribe line S is formed.
  • the deposited glass substrate 2 is carried into the substrate stock chamber 111 of the film forming chamber 111. After that, it is transported to each of the chambers 1 12 to 1 16 of the film forming chamber 11 by the transport robot 110 a of the transport chamber 110 to form each layer such as the anode layer 3 of the organic EL display. Film.
  • FIG. 5 is a schematic diagram of still another organic EL display manufacturing apparatus 100 of the present invention. It is a block diagram showing a schematic structure.
  • the manufactured organic EL display device has a structure similar to the structure shown in FIG.
  • a scribe room 30 for forming a scribe line S on the surface of the glass substrate 2 for dividing the glass substrate 2 for each organic EL display is formed as a film forming chamber.
  • the sealing chamber 20 is provided with a spare chamber 211 provided as a spare.
  • the glass substrate 2 stocked in the substrate stock room 111 is transferred by the transfer pot 110a in the transfer room 110.
  • the glass substrate 2 is sequentially transported to each of the chambers 112 to 116 for forming a film, and each layer of the organic EL display is formed.
  • the glass substrate 2 on which each layer of the organic EL display is formed is transferred to the scribe room 30 by the transfer robot 110a, and the scribe room 30 is moved to a desired position on the surface of the glass substrate 2. Scribe line S is formed.
  • the film forming process and the scribe line forming process on the glass substrate 2 in the film forming chamber 11 are performed by forming the scribe line S after performing the film forming process as described above.
  • the scribe line S may be formed thereon before the film formation process is performed.
  • the glass substrate 2 on which each layer has been formed and the scribe line has been formed is transferred to the sealing chamber 20 via the communication path 13, and the transfer robot of the transfer chamber 210 of the sealing chamber 20 is transferred.
  • the process of mounting the sealing cap 9 in each area of the glass substrate 2 which becomes the respective organic EL display by being transferred to each of the chambers 21 to 2 16 in the sealing chamber 20 by the 210a. Is made.
  • the glass substrate 2 to which the sealing cap 9 is attached is discharged to the outside through the discharge chamber 215.
  • the scribe line S is formed on the glass substrate 2 before the sealing cap 9 is mounted on the glass substrate 2.
  • the scribe line S may be formed in the glass substrate 2 before the film formation step is performed, as shown in FIG. You may do so.
  • the scribe line is formed in each region to be each EL display before the sealing member is provided. It is possible to avoid contact between the sealing member and the glass cutter, which is a problem when forming a scribe line on a glass substrate, and also to prevent a disconnection defect due to the influence of residual stress due to the bonding of the sealing member. Occurrence and the like can be eliminated.

Landscapes

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Description

明 細 書
有機 製造装置及び有機 E Lデイスプレイの製造方法 技術分野
本発明は、 ガラス基板上に形成された有機発光層を封止キャップによって封止 した構造を有する有機 E Lディスプレイを製造する有機 E Lディスプレイ製造装 置及び有機 E Lディスプレイの製造方法に関する。 背景技術
有機 EL (E l e c t r o Lumi n e s c e n c e) ディスプレイは、 現 在フラットパネルディスプレイの主流となっている液晶ディスプレイに比較して 様々な優位性を有しており、 この液晶ディスプレイに置き換えられることが将来 的に見込まれる次世代のフラットパネルディスプレイとして注目を集めている。 図 6は、 一般的な有機 E Lディスプレイの概略構成を示す斜視図である。 この有機 ELディスプレイ 1は、 透明なガラス基板 2を有しており、 このガラ ス基板 2上に複数の陽極層 3が I TO等の透明な導電性材料により、 それぞれ所 定の間隔を空けたストライプ状に設けられている。 各陽極層 3の上には、 直流電 圧を印加することにより正孔を供給する正孔輸送層 4、 微量の有機色素をドーパ ントとして含む有機発光層 5、 直流電圧を印加することにより電子を供給する電 子輸送層 6が、 順次、 ガラス基板 2上にこの順に積層されている。 最上層となる 電子輸送層 6上には、 導電性材料からなる複数の陰極層 7が、 それぞれ所定の間 隔を空けて各陽極層 3が延びる方向とは直交する方向に延びるストライプ状に設 けられている。
ガラス基板 2上の各陽極層 3は、それぞれ直流電源 8の陽極に接続され、また、 最上層の各陰極層 7は、 それぞれ直流電源 8の陰極に接続されている。
上記構成の有機 ELディスプレイ 1の各陽極層 3と陰極層 7との間に直流電源 8により直流電圧を印加すると、 直流電圧が印加された陽極層 3上に積層された 正孔輸送層 4から正孔が有機発光層 5中に注入されるとともに、 直流電圧が印加 された陰極層 7の下層の電子輸送層 6から電子が有機発光層 5中に注入される。 正孔輸送層 4からの正孔及び電子輸送層 6からの電子がそれぞれ注入された有機 発光層 5中では、 各正孔と電子とが再結合して、 この再結合により発生したエネ ルギ一が有機発光層 5に含まれる有機色素に吸収されて発光する。 有機発光層 5 にて発生した光は、 正孔輸送層 4、 陽極層 3、 ガラス基板 2を順次透過して、 ガ ラス基板 2の裏面 （図 6において下側） から出射される。
この有機 E Lディスプレイ 1では、 ガラス基板 2上に形成された複数の陽極層 3と最上層に設けられた複数の陰極層 7とが、 それぞれ直交して交差しており、 各交差部分ごとに、 直流電圧の印加を T F T等によって調整することにより、 各 交差部分を表示の 1単位とする画像光をガラス基板 2の外側に形成することがで さる。
有機 E Lディスプレイ 1は、 正孔輸送層 4上に積層される有機発光層 5が水分 に極めて弱く、 大気に触れただけで、 ダークスポットと呼ばれる黒点となって画 像光の非表示欠陥となって表れるため、 真空または不活性ガス条件とされたチヤ ンバー内で各層の成膜工程を行った後、 そのまま、 大気に触れない状態を維持し て、 図 7に示すように、 封止キャップ 9を設けて、 有機発光層 5等を大気と遮断 した状態とする。 これにより、 水分によるダークスポットの発生が防止される。 図 8は、 有機 E Lディスプレイを製造するための有機 E L製造装置の概略構成 を示す構成図である。
この有機 E L製造装置 1 0は、 ガラス基板 2上に有機発光層 5等の成膜工程を 行う成膜室 1 1と、 成膜後のガラス基板 2上に封止キャップ 9を設ける封止室 1 2とを有し、 成膜室 1 1及び封止室 1 2とは、 連絡通路 1 3によって連結されて いる。
成膜室 1 1は、 搬送ロボッ卜 1 1 0 aを備えた搬送室 1 1 0を中央部に有し、 この搬送室 1 1 0から放射状に、 ガラス基板 2をストックする基板ストック室 1 1 1、 成膜前のガラス基板 2に対して洗浄等の前処理を行う前処理室 1 1 2、 陽 極層 3、 正孔輸送層 4、 有機発光層 5、 電子輸送層 6、 陰極層 7の各層をガラス 基板 2に蒸着する複数の蒸着室 1 1 3〜1 1 6が、 それぞれ、 所定の間隔を空け て配置されている。 中央に配置された搬送室 1 1 0と、 基板ストック室 1 1 1及 び前処理室 1 1 2及び各蒸着室 1 1 3〜1 1 6との間には、 それぞれ、 ガスの流 通状態を開閉できるゲートバルブ 1 1 1 a〜l 1 6 aが設けられている。 また、 基板ストック室 1 1 1と外部側には、 ガラス基板 2を搬入する際に内部を大気圧 の状態にするためのゲートバルブ 1 1 1 b、 搬送室 1 1 0と連絡通路 1 3との間 には、 成膜後のガラス基板 2を封止室 1 2側に搬送する際に各空間のガスを連通 状態とするゲートバルブ 1 3 aが、 それぞれ設けられている。
封止室 1 2は、 搬送ロボット 1 2 0 aを備えた搬送室 1 2 0を中央部に有し、 この搬送室 1 2 0から放射状に、 ガラス基板 2上に形成された有機発光層 5等の 各層の状態を検査する検査室 1 2 1、 ガラス基板 2上に形成された各層上に封止 キャップ 9を設ける封止キャップ固定室 1 2 2、 封止キャップ 9をストックする キャップストック室 1 2 3、 封止キャップ 9が設けられたガラス基板 2を外部に 搬出する排出室 1 2 4、 予備用に備えられている予備室 1 2 5及び 1 2 6が、 そ れぞれ、所定の間隔を空けて配置されている。中央に配置された搬送室 1 2 0と、 検查室 1 2 1、 封止キヤップ固定室 1 2 2、 キャップストック室 1 2 3、 予備室 1 2 5及び 1 2 6、 排出室 1 2 4との間には、 それぞれ、 ガスの流通状態を開閉 できるゲートバルブ 1 2 1 a〜l 2 6 aが設けられている。 また、 キャップスト ック室 1 2 3には、 封止キャップ 9をキャップストック室 1 2 3内にストックす るために搬入する際に内部を大気圧に等しくするためのゲートバルブ 1 2 3 が 設けられており、 また、 排出室 1 2 4には、 封止キャップ 9が取り付けられたガ ラス基板 2を外部に搬出する際に内部を大気圧に等しくするためのゲートバルブ 1 2 4 bが設けられている。 また、 成膜室 1 1の各室 1 1 0〜1 1 6、 連絡通路 1 3、 封止室 1 2の各室 1 2 0 - 1 2 6には、 図示しないガス供給ライン及びガス排出ラインがそれぞれ設 けられており、 各室の内部をそれぞれ所望のガスが充填された所望の圧力状態に 調整できるようになつている。
この有機 E L製造装置 1 0によって有機 E Lディスプレイを製造するには、 基 板ストック室 1 1 1にストックされたガラス基板 2を搬送室 1 1 0の搬送ロボッ ト 1 1 0 aにより前処理室 1 1 2に搬送して、 所定の前処理を行った後、 各蒸着 室 1 1 3〜1 1 6に搬送して、所定のガスが所定圧に充填された条件下において、 陽極層 3、 正孔輸送層 4、 有機発光層 5、 電子輸送層 6、 陰極層 7の各層を順次 積層する。 この間、 搬送室 1 1 0と各室 1 1 1 ~ 1 1 6との間に設けられたそれ ぞれのゲ一トバルブ 1 1 1 a〜l 1 6 aを開閉し、 図示しないガス供給ライン及 びガス排出ラインから所定のガスの導出入が行われて各室のガス圧が調整される が、 ガラス基板 2が大気に接触しないようになっている。
成膜室 1 1にて各層が積層されたガラス基板 2は、 連絡通路 1 3を通って、 気 密の状態を維持したまま、 封止室 1 2に搬送され、 この封止室 1 2の搬送室 1 2 0に備えられた搬送ロボット 1 2 0 aにより、 検査室 1 2 1に搬送されて所定の 検査が行われた後、 封止キヤップ固定室 1 2 2に搬送されて、 キヤッブストツク 室 1 2 3にストックされた封止キャップ 9がガラス基板 2上の所定位置に設けら れる。
そして、 封止キャップ 9が設けられて有機発光層 5等の各層が封止状態になつ たガラス基板 2は、 排出室 1 2 4から外部に搬出され、 有機 E Lディスプレイが 製造される。
有機 E Lディスプレイに使用される有機発光層 5は、 微量の水分が含まれてい れば、 ダークスポット発生の原因となるために、 水分を含まないチャンバ一中で 成膜工程を行った後、 大気中に取り出すことなく、 そのまま水分を含まない状態 とされて、各層上を覆うように封止キャップ 9が設けられる。封止キャップ 9は、 ガラス基板 2との接触面に U V硬化性の接着剤が塗布されて、 ガラス基板 2側か ら U V光が照射されてガラス基板 2上に固定される。
有機 E Lディスプレイは、 上記のように、 水分が除去された状態にて作製され る必要があり、 その作製の量産性を向上させるためには、 大面積のガラス基板を 用いて、 同時に複数の有機 E Lディスプレイのための成膜工程を行い、 各有機 E Lディスプレイ毎に封止キャップを設け、 その後、 複数の有機 E Lディスプレイ が形成された大面積のガラス基板を、 各有機 E Lディスプレイが形成された部分 毎に、 スクライブラインを形成し、 このスクライブラインに曲げモーメントを作 用させて各有機 E Lディスプレイに分断することにより、 同時に複数の有機 E L ディスプレイを製造することが必要である。
しかし、 この方法では、 ガラス基板 2において、 封止キャップ 9が設けられた 側と同じ面側にスクライブラインを形成する場合、封止キヤップ 9があるために、 封止キヤップ 9に近接した位置にスクライブラインを形成することが困難であり、 封止キヤップ 9から所定距離離れた位置にスクライブラインを形成しなければな らないという問題がある。
また、 ガラス基板 2において、 封止キャップ 9が設けられた側と反対側にスク ライブラインを設ける場合には、 ガラス基板 2から所定高さに突出する封止キヤ ップ 9のために、 ガラス基板 2を安定的に支持することが困難であり、 安定して スクライブラインを形成することが容易ではない。 また、 スクライブラインが形 成される反対側の封止キャップ 9のガラス基板 2との接触面には、 硬化した接着 剤が形成されており、 この接着剤の影響によって、スクライブラインから分断（ブ レーク） される方向が必ずしも所望の方向に進行せず、 所望の分断面が得られな いという問題もある。
本発明は、 上記問題に鑑みてなされたものであり、 有機発光層等の各層を覆う 封止キャップが各層を覆った状態に複数設けられたガラス基板において、 各有機 E Lディスプレイに分断するために、 所望の位置に確実にスクライブラインを形 成し得る有機 E Lディスプレイ製造装置及び有機 E Lディスプレイ製造方法を提 供することを目的とする。 発明の開示
上記課題を解決するため、 本発明の有機 E Lディスプレイ製造装置は、 真空ま たは不活性ガス雰囲気中で、 陽極層、 正孔輸送層、 有機発光層、 電子輸送層、 陰 極層の各層を脆性基板上に、 各有機 E Lディスプレイとなる部分毎に成膜する成 膜手段と、 真空または不活性ガス雰囲気中で、 前記脆性基板上の各層を前記部分 毎に気密状態に封止する封止部材を設ける封止手段と、 を具備し、 前記脆性基板 の各有機 E Lディスプレイとなる部分毎に用いられる所定部分領域に対してスク ライブラインが封止前に形成されていることを特徴とするものである。
上記本発明の有機 E Lディスプレイ製造装置において、 前記成膜手段により各 層が成膜される脆性基板上に、 真空または不活性ガス雰囲気中で、 前記脆性基板 の各有機 E Lディスプレイとなる部分毎に用いられる所定部分領域に対してスク ライブラインを形成するスクライブ手段を具備することが好ましい。
上記本発明の有機 E Lディスプレイ製造装置において、前記スクライブ手段は、 中央部を最大径とする両円錐形状の切刃と、 該切刃を円錐軸を軸として回転自在 に支持するホルダとを有するガラスカツ夕一を備えていることが好ましい。
また、 本発明の有機 E Lディスプレイの製造方法は、 真空または不活性ガス雰 囲気中で、 陽極層、 正孔輸送層、 有機発光層、 電子輸送層、 陰極層の各層を脆性 基板上に、 各有機 E Lディスプレイとなる部分毎に成膜する成膜工程と、 真空ま たは不活性ガス雰囲気中で、 前記脆性基板上の各層を前記部分毎に気密状態に封 止する封止部材を取り付ける封止部材取付工程とを具備し、 前記脆性基板の各有 機 E Lディスプレイとなる部分毎に用いられる所定部分領域に対してスクライブ ラインが封止部材取付工程前に形成されていることを特徴とするものである。 上記本発明の有機 E Lディスプレイの製造方法において、 前記成膜工程におい て各層が成膜される脆性基板上に、 真空または不活性ガス雰囲気中で、 前記脆性 基板の各有機 E Lディスプレイとなる部分毎に用いられる所定部分領域に対して スクライブラインを形成するスクライブ工程を具備することが好ましい。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明の有機 E Lディスプレイ製造装置の概略構成を示す模式的平面 図である。
図 2は、 スクライブ室に備えられるガラスカッターを示す側面図である。 図 3 ( a ) ~ ( e ) は、 それぞれ、 各層が成膜されたガラス基板に封止キヤッ プを取り付けて、 各有機 E Lディスプレイ毎に分断する工程を工程毎に説明する 断面図である。
図 4は、 本発明の他の有機 E Lディスプレイ製造装置の概略構成を示す模式的 平面図である。
図 5は、 本発明のさらに他の有機 E Lディスプレイ製造装置の概略構成を示す 模式的平面図である。
図 6は、 有機 E Lディスプレイの概略構成を示す斜視図である。
図 7は、 封止キヤップを装着した有機 E Lディスプレイを示す断面図である。 図 8は、 従来の有機 E Lディスプレイ製造装置の概略構成を示す模式的平面図 である。 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明の有機 製造装置について、 図面に基づいて説明 する。
図 1は、 本発明の有機 製造装置 1 0 0の概略構成を示す構成 図である。 なお、 製造される有機 E Lディスプレイ装置は、 図 6に示す構造と同 様の構造になっている。 この有機 E Lディスプレイ製造装置 1 0 0は、 ガラス基板 （脆性基板） 2上に 有機発光層 5等の各層の成膜工程を行う成膜室 1 1と、 成膜後のガラス基板 2上 に封止キャップ 9を設ける封止室 2 0とを有し、 この成膜室 1 1と封止室 2 0と は、 連絡通路 1 3によって連結されている。
成膜室 1 1は、 搬送ロボッ卜 1 1 0 aを備えた搬送室 1 1 0を中央部に有し、 この搬送室 1 1 0から放射状に、 ガラス基板 2をストックする基板ストック室 1 1 1、 成膜前のガラス基板 2に対して洗浄等の前処理を行う前処理室 1 1 2、 陽 極層 3、 正孔輸送層 4、 有機発光層 5、 電子輸送層 6、 陰極層 7の各層をガラス 基板 2に蒸着する複数の蒸着室 1 1 3〜1 1 6が、 それぞれ、 所定の間隔を空け て配置されている。 中央部に配置された搬送室 1 1 0と、 基板ストック室 1 1 1 及び前処理室 1 1 2及び各蒸着室 1 1 3〜1 1 6との間には、 それぞれ、 ガスの 流通状態を開閉できるゲートバルブ 1 1 1 a〜l 1 6 aが設けられている。また、 基板ストック室 1 1 1及び前処理室 1 1 2及び各蒸着室 1 1 3〜1 1 6には、 そ れぞれ図示しないガス供給ライン及びガス排出ラインが設けられており、 各室の 内部を所望のガスが充填された所望の圧力状態に調整できるようになつている。 封止室 2 0は、 搬送ロボット 2 1 0 aを備えた搬送室 2 1 0を中央部に有し、 この搬送室 2 1 0から放射状に、 ガラス基板 2上に形成された有機発光層 5等の 各層の状態を検査する検査室 2 1 6と、 ガラス基板 2を各有機 E Lディスプレイ 毎に分断するためのスクライブラインをガラス基板 2の表面上に形成するスクラ イブ室 3 0と、 ガラス基板 2上に形成された有機発光層 5等の各層に設けられる 封止キャップ 9をストックするキャップストック室 2 1 3と、 ガラス基板 2上に 封止キャップ 9を載置する封止キャップ固定室 2 1 2と、 封止キャップ 9のガラ ス基板 2との当接面に貼付された U V硬化性接着剤を硬化させるために U V光を 照射する U V照射室 2 1 4と、 封止キャップ 9が設けられたガラス基板 2を外部 に排出する排出室 2 1 5とが、 それぞれ、 所定の間隔を空けて配置されている。 スクライブ室 3 0には、 ガラス基板 2の所定の位置にスクライブラインを形成 するためのカッター 2 1 (図 2参照） が備えられる。
図 2は、 スクライブ室 3 0に備えられるカツ夕一 2 1を示している。
このカッター 2 1は、 超硬または焼結ダイヤモンド等の高硬度を有する素材に より形成された切刃 2 2を有している。 この切刃 2 2は、 中央部を最大径とする 両円錐形状に形成されており、 この切刃 2 2の両端部は、 下面を開放したホルダ 2 3によって、 その円錐形の軸を中心軸として回転できるように回転自在に支持 されて取り付けられている。
このカッター 2 1によりガラス基板 2上にスクライブラインを形成するには、 ホルダ 2 3の下面から突出した切刃 2 2の中央部をガラス基板 2上の所望の位置 に押し付けて切刃 2 2を回転させながら所定の方向に走查することにより行う。 この有機 E Lディスプレイ製造装置 1 0 0によって有機 E Lディスプレイを製 造する場合、 まず、 成膜室 1 1の基板ストック室 1 1 1にストックされたガラス 基板 2を搬送室 1 1 0の搬送ロポット 1 1 0 aにより前処理室 1 1 2に搬送して、 所定の前処理を行った後、 各蒸着室 1 1 3〜 1 1 6に搬送して、 所定のガスが所 定圧に充填された条件の下に各層の成膜を行い、 陽極層 3、 正孔輸送層 4、 有機 発光層 5、 電子輸送層 6、 陰極層 7の各層を順次、 ガラス基板 2上に積層して成 膜する。 この間、 搬送室 1 1 0と各室 1 1 1〜 1 1 6との間に設けられたゲー卜 バルブ 1 1 1 a〜 l 1 6 aをそれぞれ開閉し、 図示しないガス供給ライン及びガ ス排出ラインから所定のガスの導出入が行われるが、 大気とは連通しないように される。
成膜室 1 1にて各層が積層されたガラス基板 2は、 連絡通路 1 3を通って、 気 密状態が保たれたまま封止室 2 0に搬送される。
以下、 各層が成膜されたガラス基板 2に封止キャップ 9を取り付ける工程につ いて、 図 3 ( a ) 〜 （e ) を参照して説明する。
連絡通路 1 3を通って封止室 2 0に搬送されたガラス基板 2は、 図 3 ( a ) に 示すように、 所定の間隔毎に陽極層 3等の各層が積層された状態となっている。 搬送室 2 1 0にガラス基板 2が搬送されると、 搬送室 2 1 0の搬送ロボット 2 1 0 aは、 このガラス基板 2を、検査室 2 1 6に搬送し、所定の検査が行われた後、 スクライブ室 3 0に搬入する。
スクライブ室 3 0では、 搬入されたガラス基板 2を、 光学ァライメントを行い 位置ズレ補正をした上で、 予め設定されたスクライブピッチデータに従って X · Yのクロススクライブを行う。 このクロススクライブでは、 図 2に示す切刃 2 1 を回転させながら走行することにより、 図 3 ( b ) に示すように、 ガラス基板 2 上の有機 E Lディスプレイとなる部分ごとにスクライブライン Sを形成する。 次に、 搬送室 2 1 0の搬送ロボット 2 1 0 aにより、 スクライブライン Sが形 成されたガラス基板 2を封止キャップ固定室 2 1 2に搬入し、 キャップストック 室 2 1 3にストックされた封止キャップ 9をガラス基板 2上に形成された各層を 覆うように載置する。 封止キャップ 9は、 ガラス基板 2との接触面に U V硬化性 接着剤を介在させて載置される。
次に、 搬送室 2 1 0の搬送口ポット 2 1 0 aにより、 封止キャップ 9が載置さ れたガラス基板 2を U V照射室 2 1 4に搬入し、 図 3 ( d ) に示すように、 ガラ ス基板 2の裏面側から U V光を照射して、 封止キャップ 9のガラス基板 2に当接 する当接面に塗布されている U V硬化性接着剤を硬化させて、 各封止キヤップ 9 をガラス基板 2の所定位置に固定する。
次に、 搬送室 2 1 0の搬送口ポット 2 1 0 aにより、 封止キャップ 9が固定さ れたガラス基板 2を排出室 2 1 5に搬送し、 排出室 2 1 5の減圧状態をゲートバ ルブ 2 1 5 bを開放することによって大気圧に等しくして、 排出室 2 1 5の外部 に封止キヤップ 9が取り付けられたガラス基板 2を搬出する。
最後に、 図 3 ( e ) に示すように、 ガラス基板 2上に所定のパターンに形成さ れたスクライブライン Sをブレークして、各有機 E Lディスプレイ毎に分断する。 以上に説明したように、 本発明の E Lディスプレイ製造装置 1 0 0によれば、 ガラス基板 2上に陽極層 3等の各層を成膜した後、 封止キャップ 9を設ける前に 各 E Lディスプレイとなる領域毎にスクライブライン Sを形成しているため、 封 止キャップ 9を設けた後にガラス基板 2上にスクライブライン Sを形成するとき に問題となる封止キャップ 9とカッター 2 1との接触を回避することができ、 ま た、 封止キャップ 9が貼り合わされていることによる残留応力の影響による分断 不良の発生等を解消することができる。
また、 図 4は、 本発明の他の有機 E Lディスプレイ製造装置 1 0 0の概略構成 を示す構成図である。 なお、 製造される有機 E Lディスプレイ装置は、 図 6に示 す構造と同様の構造になっている。
この有機 E Lディスプレイ製造装置 1 0 0では、 ガラス基板 2を各有機 E Lデ イスプレイ毎に分断するためのスクライブライン Sをガラス基板 2の表面上に形 成するためのスクライブ室 3 0が、 成膜室 1 1及び封止室 2 0の外部に設けられ ている。 また、 封止室 2 0には、 予備用に備えられている予備室 2 1 1が設けら れている。 他の点は、 図 1に示す有機 E Lディスプレイ製造装置と同様の構成に なっているので、 詳しい説明は省略する。
この有機 E Lディスプレイ製造装置を用いて有機 E Lディスプレイを製造する 場合には、 まず、 スクライブ室 3 0にて、 ガラス基板 2上の所望の位置にスクラ ィブライン Sを形成した後、 スクライブライン Sが形成されたガラス基板 2を成 膜室 1 1の基板ストツク室 1 1 1に搬入する。 その後、 成膜室 1 1の各室 1 1 2 〜 1 1 6の各室に搬送室 1 1 0の搬送ロボッ卜 1 1 0 aにより搬送し、 有機 E L ディスプレイの陽極層 3等の各層を成膜する。
そして、 各層の成膜がなされたガラス基板 2は、 連絡通路 1 3を介して封止室 2 0に搬送され、 封止室 2 0の搬送室 2 1 0の搬送ロボット 2 1 0 aによって、 封止室 2 0内の各室 2 1 1〜2 1 6に搬送されガラス基板 2上の各有機 E Lディ スプレイとなる領域毎に封止キャップ 9を装着する工程がなされる。 封止キヤッ プ 9が装着されたガラス基板 2は、 排出室 2 1 5を通って外部に排出される。 また、 図 5は、 本発明のさらに他の有機 E Lディスプレイ製造装置 1 0 0の概 略構成を示す構成図である。 なお、 製造される有機 E Lディスプレイ装置は、 図 6に示す構造と同様の構造になっている。
この有機 E Lディスプレイ製造装置 1 0 0では、 ガラス基板 2を各有機 E Lデ イスプレイ毎に分断するためのスクライブライン Sをガラス基板 2の表面上に形 成するためのスクライブ室 3 0が成膜室 1 1内に設けられている。 また、 封止室 2 0には、 予備として備えられる予備室 2 1 1が設けられている。
この有機 E Lディスプレイ製造装置 1 0 0を用いて有機 E Lディスプレイを製 造する場合、 まず、 基板ストック室 1 1 1にストックされたガラス基板 2を搬送 室 1 1 0の搬送ロポット 1 1 0 aによって、 ガラス基板 2を成膜するための各室 1 1 2〜1 1 6に順次搬送し、有機 E Lディスプレイの各層を成膜する。その後、 搬送ロボット 1 1 0 aによって、 有機 E Lディスプレイの各層が成膜されたガラ ス基板 2をスクライブ室 3 0に搬送し、 このスクライブ室 3 0にてガラス基板 2 の表面上の所望の位置にスクライブライン Sを形成する。 なお、 成膜室 1 1にお けるガラス基板 2上への成膜工程及びスクライブライン形成工程は、 上記のよう に成膜工程を行ってからスクライブライン Sを形成する他、 先にガラス基板 2上 にスクライブライン Sを形成してから成膜工程を行うようにしてもよい。
そして、 各層の成膜及びスクライブラインの形成が行われたガラス基板 2は、 連絡通路 1 3を介して封止室 2 0に搬送され、 封止室 2 0の搬送室 2 1 0の搬送 ロボット 2 1 0 aによって、 封止室 2 0内の各室 2 1 2〜2 1 6に搬送され、 ガ ラス基板 2上の各有機 E Lディスプレイとなる領域毎に封止キヤップ 9を装着す る工程がなされる。 封止キャップ 9が装着されたガラス基板 2は、 排出室 2 1 5 を通って外部に排出される。
以上に説明したように、 本発明の有機 E Lディスプレイ製造装置は、 ガラス基 板 2上に封止キャップ 9を装着する前に、 ガラス基板 2上にスクライブライン S を形成している。 この場合、 図 1及び図 5に示すように、 ガラス基板 2上に有機 E Lディスプレイとなる各層を形成した後に、 真空または不活性ガスの雰囲気中 でスクライブライン Sを形成する工程を行うようにしてもよく、 また、 図 4に示 すように、 成膜工程を行う前に、 外部にて予めガラス基板 2上にスクライブライ ン Sを形成するようにしてもよい。 産業上の利用可能性
本願発明の有機 E Lディスプレイ製造装置及び有機 E Lデイスプレイの製造方 法は、 封止部材を設ける前に各 E Lディスプレイとなる領域毎にスクライブライ ンを形成しているため、 封止部材を設けた後にガラス基板上にスクライブライン を形成したときに問題となる封止部材とガラスカッターとの接触を回避すること ができ、 また、 封止部材が貼り合わされていることによる残留応力の影響による 分断不良の発生等を解消することができる。

Claims

請求の範囲
1 . 真空または不活性ガス雰囲気中で、 陽極層、 正孔輸送層、 有機発光層、 電子 輸送層、 陰極層の各層を脆性基板上に、 各有機 E Lディスプレイとなる部分毎に 成膜する成膜手段と、
真空または不活性ガス雰囲気中で、 前記脆性基板上の各層を前記部分毎に気密 状態に封止する封止部材を設ける封止手段と、
を具備し、
前記脆性基板の各有機 E Lディスプレイとなる部分毎に用いられる所定部分領 域に対してスクライブラインが封止前に形成されていることを特徴とする有機 E
2 . 前記成膜手段により各層が成膜される脆性基板上に、 真空または不活性ガス 雰囲気中で、 前記脆性基板の各有機 E Lディスプレイとなる部分毎に用いられる 所定部分領域に対してスクライブラインを形成するスクライブ手段を具備するこ とを特徴とする請求の範囲第 1項に記載の有機 E Lディスプレイ製造装置。
3 . 前記スクライブ手段は、 中央部を最大径とする両円錐形状の切刃と、 該切刃 を円錐軸を軸として回転自在に支持するホルダとを有するガラスカツ夕一を備え ている、 請求の範囲第 2項に記載の有機 E Lディスプレイ製造装置。
4 . 真空または不活性ガス雰囲気中で、 陽極層、 正孔輸送層、 有機発光層、 電子 輸送層、 陰極層の各層を脆性基板上に、 各有機 E Lディスプレイとなる部分毎に 成膜する成膜工程と、
真空または不活性ガス雰囲気中で、 前記脆性基板上の各層を前記部分毎に気密 状態に封止する封止部材を取り付ける封止部材取付工程とを具備し、
前記脆性基板の各有機 E Lディスプレイとなる部分毎に用いられる所定部分領 域に対してスクライブラインが封止部材取付工程前に形成されていることを特徴 とする有機 E Lディスプレイの製造方法。
5 . 前記成膜工程において各層が成膜される脆性基板上に、 真空または不活性ガ ス雰囲気中で、 前記脆性基板の各有機 E Lディスプレイとなる部分毎に用いられ る所定部分領域に対してスクライブラインを形成するスクライブ工程を具備する ことを特徴とする請求の範囲第 4項に記載の有機 E Lデイスプレイの製造方法。
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