WO2002095465A1

WO2002095465A1 - Module optique et procede de production associe

Info

Publication number: WO2002095465A1
Application number: PCT/JP2002/004878
Authority: WO
Inventors: Fumitoshi Kobayashi; Kenichi Nakama; Katsuhide Shinmou
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co.,Ltd.
Priority date: 2001-05-23
Filing date: 2002-05-21
Publication date: 2002-11-28
Also published as: US20040165822A1; EP1413905A1; EP1413905A4; JP2002350674A; CA2448199A1; US7236665B2

Description

明細書

光モジュールおよびその製造方法技術分野

本発明は、光モジュールに関し、特に、マイクロレンズアレイを用いた小型高密度に空間分割多重化された光モジュールおよびその製造方法に関するものである。背景技術

この種の従来の空間分割型の光モジュールは、例えば日本国特許第 2 7 1 9 8 0 4号公報に開示されている。この光モジュールは、図 1 に示すように、表面が平坦な透明基板に円形のマイクロレンズ 6 1 を配列形成した平板マイクロレンズアレイ 6 0を備えている。この平板マイク口レンズァレイのレンズ形成面とは反対側の面にはマイク口レンズと光学的に結合されるべき素子、すなわち光フアイパ 6 3 に嵌合するためのァライメント用嵌合凹部 6 5が各マイクロレンズの中心位置に対応させて設けられている。そして、嵌合四部に向けて光ファイバの先端をガイド揷入するためのガイド穴 6 4 を有するポリイミド等の樹脂層 6 2が、平板マイクロレンズアレイ 6 0に接合固定されている。一方、光ファイバの方は、先端コア部が選択エッチングにより凸状に加工されてァライメント用嵌合凸部 6

6が形成されている。これを嵌合凹部 6 5 に揷入固定することで、アクティブな調芯（実際に光を導入し結合光強度が細大になるように調芯する方法）を行うことなく、位置調整のみによって調芯固定することを可能にしていた。なお、図 1 には、光ファイバ 6 3の先端からの光が、マイクロレンズ 6 1 によりコリメート光 1 0 0にされて出射している状態を示している。

上述した従来の光モジュールでは、光ファイバの調芯固定のために、平板マイクロレンズアレイにァライメント用嵌合凹部を設け、光ファイバの先端にァライメント用嵌合凸部を形成する必要がありそのための加工が複雑であるという問題がある。

さらには、光ファイバの先端をガイド揷入するためのガイド穴を有する樹脂層を、作製する工程もさらに必要とされる。上記特許第 2 7 1 9 8 0 4号公報に記載の技術では、フォトリソグラフィにより樹脂層にガイド穴を形成しているが、その工程は複雑である。

ガイド穴をあけた光ファイバガイド基板を平板マイクロレンズに接着固定する方法もある。この場合の穴あけの方法としては、レーザによる加工や、ドリル加工や超音波加工等による機械加工が挙げられる。

レーザ加工の場合は比較的低コストで製作可能であるが、穴径の制御が難しい上に、加工されたガイド穴の真円度が悪く、ガイド穴のテーパをうまく制御できない問題がある。また、加工できる基板材質にも制限がある。さらに、基板の裏面側にカケ（基板の部分的な脱落）が発生するため基板の裏打ちが必要となり、裏打ちをしたとしても若干のカケが発生する。裏打ちした場合には、貼り合わせ分離，洗浄の工程がさらに必要になる。

また、機械加工は、直径が 1 2 5 m程度の穴を精度良くあけることは難しい。

光ファイバガイド基板を使用する調芯方法では、光ファイバガイド基板のガイド穴の精度，ガイド穴のピッチ精度が十分であっても . 光モジュール組立時に平板マイク口レンズァレイと光ファイバガイド基板との調芯作業が必要になる。また、温度変化による各フアイパと各マイク口レンズとの間の調芯ずれを防ぐために、平板マイク口レンズアレイすなわちレンズアレイ基板と光ファイバガイド基板の熱膨張率を同じにする必要がある。発明の開示

本発明の目的は、レンズァレイ基板の裏面に設けたゾルゲル層に凹部を形成し、この凹部に光ファイバとの嵌合機能を持たせた光モジュールを提供することにある。

本発明の他の目的は、上記ゾルゲル層に形成した凹部の入口部分に、光ファイバのガイド機能をさらに持たせた光モジュールを提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、上記ゾルゲル層に形成した凹部の底部に光学素子を形成した光モジュールを提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、上記の光モジュールを製造する方法を提供することにある。

本発明の第 1 の態様は、光モジュールである。この光モジュールは、レンズ形成面に複数のマイクロレンズが配列形成された平板状のレンズアレイ基板と、前記レンズアレイ基板の前記レンズ形成面と反対側の面に付着された材料に、成形型による成形加工により、前記複数のマイク口レンズの各々の中心位置に対応して複数の光フアイバァライメント用凹部が配列形成されたァライメント用凹部ァレイとを備える。

本発明の第 2の態様は、光モジュールである。この光モジュールは、少なくとも片面に複数のマイクロレンズが配列形成された平板状のレンズアレイ基板と、前記レンズアレイ基板の面に一方の面が接着固定された平板状の共役比調整用透明基板と、前記共役比調整用透明基板の他方の面に付着された材料に、成形型による成形加工により、前記複数のマイクロレンズの各々の中心位置に対応して複数の光フアイバァライメント用凹部が配列形成されたァライメント用凹部ァレイとを備える。

また、これらの光モジュールによれば、前記ァライメント用凹部の入口部分を、光ファイバを挿入時にガイドするようにテーパ状に形成することができる。

さらに、これらの光モジュールによれば、前記ァライメント用凹部の底部には、光学素子を形成することができる。さらに、これらの光モジュールは、前記各光ファイバァライメント用凹部にそれぞれ先端が嵌合揷入されて接着固定された複数本の光ファイバを、さらに備えることができる。

本発明の第 3の態様は、光モジュールの製造方法である。この製造方法によれば、光ファイバァライメント用凹部を成形するための凸部が形成された成形型を準備する工程と、レンズ形成面に複数のマイク口レンズが配列形成された平板状のレンズアレイ基板のレンズ形成面と反対側の面に、ゾルゲル材料を塗布しゾルゲル層を形成する工程と、前記ゾルゲル層に前記成形型を押しつけて、前記凸部を前記ゾルゲル層に転写して、前記光ファイバァライメント用凹部を成形する工程と、成形したゾルゲル層を焼成硬化させる工程とを含む。

本発明の第 4の態様は、光モジュールの製造方法である。この製造方法によれば、光ファイバァライメント用凹部を成形するための凸部が形成された成形型を準備する工程と、平板状の共役比調整用透明基板の一方の面にゾルゲル材料を塗布しゾルゲル層を形成する工程と、前記ゾルゲル層に前記成形型を押しつけて、前記凸部を前記ゾルゲル層に転写して、前記光ファイバァライメント用囬部を成形する工程と、成形したゾルゲル層を焼成硬化させる工程と、少なくとも片面に複数のマイク口レンズが配列形成された平板状のレンズアレイ基板の面に、前記共役比調整用透明基板の他方の面が接するようにし、かつ、前記マイクロレンズの中心位置が前記光フアイバァライメント用凹部の中央位置に一致するようにして接着剤で接着固定する工程とを含む。

また、これらの製造方法によれば、前記成形型で光ファイバァラィメント用凹部を成形するときに、前記光ファイバァライメント用凹部の入口部分に、光ファイバの揷入時にガイドするテーパを同時に成形することができる。

さらに、これらの製造方法によれば、前記成形型で光ファイバァライメント用凹部を成形するときに、前記光フアイバァライメント用凹部の底部に、光学素子用凹部を同時に成形することができる。

さらに、これらの製造方法によれば、前記光ファイバァライメント用凹部に光ファイバを嵌合挿入して、接着剤で接着固定する工程をさらに含むことができる。図面の簡単な説明

図 1 は従来の光モジュールを示す図である。

図 2 は本発明の第 1 の実施例である光モジュールを示す図である。

図 3 A 図 3 Bは、成形型を示す平面図および側面図である。

図 4 A 図 4 B , 図 4 Cは、ァライメント用凹部アレイを作製する工程を示す図である。 ·

図 5 A, 図 5 Bは、凹部の入口部分をテーパ状にしたァライメント用凹部を有する光モジュールの例を示す図である。

図 6 A，図 6 Bは、第 2の実施例に用いる成形型を示す図である , 図 7 A，図 7 Bは、第 2の実施例の光モジュールを示す図である , 図 8 は、凹部にレンズが形成される状態を示す図である。

図 9 A, 図 9 Bは、本発明の第 3の実施例である光モジュールを示す図である。発明を実施するための最良の形態

第 1 の実施例

図 2は、本発明の第 1 の実施例である光モジュールを示す。レンズ間ピッチ 2 5 0 μ m , 4 X 4個のマイクロレンズ 1 0が开乡成された厚さ 3 mmのレンズアレイ基板 1 2 に、直径が 1 2 5 μ πιの光フアイバ 1 4 を 1 6本実装するために、ゾルゲル成形によりレンズァレイ基板 1 2の裏面（光ファイバ接続面側）にゾルゲル層 1 6 よりなるァライメント用凹部アレイを作製した。図中、 1 8はァライメント用凹部を示している。

このような凹部アレイは、レンズアレイ基板の裏面にゾルゲル材料を塗布し、成形型でプレスして成形することにより作製される。

図 3 A, 図 3 Bに、用いるべき成形型 2 0 を示す。図 3 Aは平面図、図 3 Bは側面図である。成形型は、直径 1 2 7 μ ΐη，高さ 3 0 μ ηιの円柱状の凸部 2 2 を、 2 5 0 /i mピッチで 4 X 4個持つものを機械加工により作製した。

このような成形型を用いて、ァライメント用凹部アレイを作製する工程を、図 4 A , 図 4 B , 図 4 Cに示す。図 4 Aに示すように、レンズアレイ基板 1 2 の光ファイバ接続面側に、ゾルゲル材料 2 4 を塗布して、約 3 5 μ ΐη厚さのゾルゲル層を形成する。

次に、レンズ位置と成形型の凸部の位置をァライメントして、図 4 Βに示すように、ゾルゲル層に成形型 2 0 を押しつけ凸部の形状を転写する。すなわち、プレス成形して、ァライメント用凹部 1 8 を形成した後に、図 4 Cに示すように、成形型 2 0 を分離する。そして、成形されたゾルゲル層を有するレンズアレイ基板 1 2 を焼成して、ゾルゲル層を硬化させた。

焼成後のゾルゲル層 1 6の厚さは 3 0 z m ± 3 /z mの精度に、穴径は 1 2 7 〃 m ± 2 〃；mの精度に、ピッチは 2 5 0 / m ± 2 〃 mの精度にそれぞれ収まっていた。その結果、マイクロレンズの光軸に対する光ファイバの位置ずれを、 ± 2 m以内に収めることができた。

以上のようにゾルゲル層 1 6 に形成されたァライメント用凹部 1 8 に、 U V硬化接着剤を塗布し、光ファイバ 1 4の先端を嵌合し、 U V光を照射して図 2に示したように接着固定する。

以上のようにして構成された光モジュールにおいては、プレス成形により作製された凹部 1 8の底部には、薄いゾルゲル層が残ってレヽる。し力し、このゾルゲル層の厚さは、 1 μ m以下であり、光学特性に影響を及ぼさないレベルであった。また、焼成後のゾルゲル層の厚さは、 3 0 ± 3 μ mであり、レンズアレイ基板 1 2 の厚さである 3 m mと比較して十分に薄いため、温度変化による応力の発生が無いことが確認できた。

本実施例では、ゾルゲル材料を用いたが、エポキシ樹脂，光（紫外線）硬化樹脂等の樹脂で成形することも可能である。

光硬化樹脂を用いる場合には、レンズアレイ基板の光ファイバ接続面側に、光硬化樹脂を塗布した後、成形型を押し当て、この状態で紫外線を照射して樹脂を硬化させ、離型したのち焼成を行うという工程をとる。

また、ァライメント用凹部. 1 8 の形状を、直径が 1 2 7 /i mの円柱状としたが、これに限られるものではなく、直径が 1 2 7 mの円が内接する三角柱状や四角柱状のような角柱状とすることができる。このような柱状凹部を成形するためには柱状凸部をもつ成形型が必要であるが、成形型の機械加工の点からは角柱状の加工の方が円柱状の加工より容易である。

また、四部の形状は、前述したような柱状のみとする必要はなく光ファイバのガイドを容易にするために、凹部の入口部分をテーパ状にしてもよい。

図 5 A , 図 5 Bは、そのようなァライメント用凹部 2 6 を有する光モジュールの例を示す。図 5 Aは、光モジュールの全体を示す図図 5 Bはァライメント用凹部 2 6 を拡大して示す図である。凹部 2 6の入口部は深さ 2 Ο μ ηι (^円錐状（テーパ角度 3 0 ° ) であり、底部は深さ 2 0 mの円柱状である。

その他の構造および製造方法は、上述した実施例 1 と同様であるので、再度の説明は行わない。

以上の各実施例においては、成形型を機械加工で作製したが、フォトリソグラフィ技術を利用したシリコン基板のエッチングにより、成形型を作製することも可能である。

なお、図 2 あるいは図 5 A，図 5 Bの実施例においてゾルゲル層に設けられたァライメント用凹部だけでは光ファイバの機械的支持が十分でない場合は、テーパ状のガイド穴を開けた光ファイバガイド基板を、別個に設けてもよい。

第 2 の実施例

第 2の実施例では、成形型の凸部にレンズ形状を持たせ、ァライメント用凹部と同時にレンズ形状も転写させる例について説明する図 6 A , 図 6 Bに、本実施例に用いる成形型 3 0 の平面図および側面図を示す。図 6 A , 図 6 Bに示すように、直径が 1 2 7 mの円柱部 3 2 の先端に、曲率半径 Rが 3 0 μ πιの半球部 3 4を持つ成形型 3 0を作製し、これを用いて実施例 1 と同じ方法でレンズァレィ基板 1 2 の光ファイバ接続面に塗布したゾルゲル層 1 6 に凹部を形成した。

図 7 Αに、本実施例の光モジュールの全体図を、図 7 Βに成形型 3 0 により、ゾルゲル層 1 6 に転写された凹部 4 0 の拡大図を示すこの凹部 4 0 の入口部には、成形型 3 0 の円柱部 3 2が転写されたァライメント用凹部 4 2が形成され、ァライメント用凹部 4 0 の底部には、成形型 3 0の円柱部先端の半球部 3 4が転写されたレンズ用凹部 4 4が形成される。光ファイバ 1 4 をゾルゲル層 1 6の凹部 4 0 に接着固定するに際し、ゾルゲル材料よりも屈折率の高い U V硬化接着剤を用いて、その接着剤でレンズ用凹部 4 4を充てんした状態で接着固定した。

図 8 は、凹部 4 0に光ファイバ 1 4 を接着固定した状態の拡大図を示す。レンズ用凹部 4 4 に接着剤 5 0が満たされている。レンズアレイ基板 1 2 の屈折率 = 1 . 5 4、ゾルゲル層 1 6 の屈折率 = 1 3、 U V硬化接着剤 5 0 の屈折率 = 1 . 6程度であるため、凹部 4 4を球面形状のレンズとして機能させることが可能である。

その結果、本実施例の光モジュールは、 2枚レンズ構成の光学系となるため、実施例 1 と比較して開口数（Ν Α ) を小さくすることが可能になり、収差を低減することも可能になった。この第 2の実施例では、凹部 4 0の底部に球面形状のレンズを形成したが、球面以外の球面形状の成形型を作製することにより、非球面レンズを成形することも可能である。

また、プリズムやビームスプリッタを形成することや、回折格子を成形して機能を持たすことも可能である。

第 3の実施例

第 1 および第 2の実施例の光モジュールは、ンズァレイ基板に光ファイバを直接に接続する構造である。このような構造の光モジユールは、特に他の面型光学素子と組み合わせて用いる場合、例えば、面型光学素子が液晶光スィッチのような面型の透過型光素子応用モジュールなどでは、それに組み合わせるマイク口レンズ光学系は、無限の共役比をもつコリメート光学系で構成する必要があるのに対して、レーザアレイのような発光素子と光ファイバとを結合する光モジュールなどでは、それと組み合わせるマイクロレンズ光学系は、有限の共役比をもつ縮小結像光学系で構成する必要がある。なお、共役比とは物体距離と像距離との比を意味する。

また、光ファイバに対して結合するような光モジュールなどではマイクロレンズ光学系は、等倍結像光学系で構成する必要があり、また、フォトディテクタアレイなどの光ファイバのモードフィールド直径よりも大きな受光面積をもつ面型の光素子と結合する光モジユールなどでは、マイクロレンズ光学系は、拡大結像光学系で構成する必要がある。

このような必要性に答えるためには、各々の応用に最適な共役比になるように、マイク口レンズ自体の焦点距離がそれぞれ異なるレンズアレイ基板を別個に用意するか、レンズアレイ基板の厚さをそれぞれ個別に調整する必要があり、レンズアレイ基板自体の品種を増やさざるを得ない。また、実験的に光学特性を調整していくときなど、レンズアレイ基板自体を作り直す必要があり、効率的な.開発と早期の製品化が妨げられるという問題が生じる。このような問題を避けるためには、レンズアレイ基板と光ファイバとの間に、共役比調整用透明基板を設ければ良い。

共役比調整用透明基板を用いた光モジュールの実施例を、図 9 A 図 9 Bに示す。図 9 A，図 9 Bは、それぞれ、レンズアレイ基板 1 2 と、ゾルゲル層 1 6 との間に、共役比調整用透明基板 6 0 を設けた光モジュールである。なお、この共役比調整用透明基板 6 0 により、無限の共役比が得られ、図 9 A，図 9 Bには、光ファイノ 1 4 の先端からの光が、マイクロレンズ 1 0により、コリメート光 1 0 0 にされて出射している状態を示す。

図 9 Aの光モジユーノレと図 9 Bの光モジユーノレとの相違は、レンズアレイ基板 1 2に形成されるマイクロレンズ 1 0 の位置が異なつていることである。図 9 Aの光モジュールでは、マイクロレンズ 1 0は共役比調整用透明基板 6 0 と接する側の面に形成されており、図 9 B の光モジュールでは、マイクロレンズ 1 0は共役比調整用透明基板 6 0 とは反対側の面に形成されている。

このような光モジュールを製造するには、共役比調整用透明基板 6 0の一方の面にゾ /レゲノレ材料を塗布しゾノレゲノレ層 1 6 を开成し、ゾルゲル層に成形型を押しつけてァライメント用凹部 2 6 を形成し. 成形したゾルゲル層を焼成硬化させる。

次に、レンズアレイ基板 1 2 の面に、共役比調整用透明基板 6 0 の他方の面が接するようにし、かつ、マイクロレンズ 1 0の中心位置がァライメント用凹部 2 6 の中央位置に一致するようにして接着剤で接着固定する。

最後に、ァライメント用凹部 2 6に光ファイバ 1 4 を嵌合揷入して、接着剤で接着固定する。

このように共役比調整用透明基板 6 0 にゾルゲル層を設けてァラィメント用凹部 2 6 を形成した後に、レンズアレイ基板 1 2 を共役比調整用透明基板 6 0 に接触する理由は、ゾルゲル層の焼成硬化は 3 0 0 〜 5 0 0 °Cの高温で行うので、先に共役比調整用透明基板 6 0 にレンズアレイ基板 1 2 を接着剤で接触した後に、ゾルゲル層を設けてァライメント用凹部を形成しょうとすると、一般の接着剤では熱的に耐えられないからである。

本実施例のように共役比調整用透明基板を挟むことは、レンズァレイ基板の構成に自由度を増大させる効果がある。したがって、レンズアレイ基板は、両面にマイクロレンズが形成された平板マイク口レンズアレイでもよく、また、複数枚の平板マイクロレンズァレィを貼り合わせたものも、用いることができる。

なお、この実施例においても、第 2 の実施例で示したように、ゾルゲル層のァライメント用凹部の底部に、光学素子を形成することができる。

また、本実施例においても、ゾルゲル層に代えて光硬化樹脂を用いることもできる。光硬化樹脂の場合には焼成硬化は不要であるので、レンズアレイ基板 1 2 と共役比調整用透明基板 6 0 とを接着した後に、共役比調整用透明基板 6 0に光硬化樹脂を設けてァライメント用凹部を形成してもよいし、あるいは、共役比調整用透明基板 6 0 に光硬化樹脂を設けてァライメント用凹部を形成した後に、マイク口レンズ 1 0 とァライメント用凹部の中心を調芯しながら、レンズアレイ基板 1 2 を共役比調整用透明基板 6 0 に接着してもよい, 産業上の利用可能性

本発明によれば、成形により、レンズアレイ基板に光ファイバをァライメントするためのァライメント用凹部アレイを高精度，低コストで作製することが可能である。

また、成形型を工夫することにより、光ファイバガイド用のテーパ等も自在に作製することが可能である。

さらに、ァライメント用凹部アレイと同時に、レンズ，ビームスプリッタ，回折格子等の光学素子を成形することが可能であり、光学素子により分光，集光等が可能になる。レンズを成形した場合は. レンズァレイ基板のマイク口レンズと合わせて 2枚レンズ構成となるために、 N Aを小さくできる、収差を小さくできる等の利点がある。

Claims

請求の範囲'

1 - レンズ形成面に複数のマイク口レンズが配列形成された平板状のレンズアレイ基板と、

前記レンズアレイ基板の前記レンズ形成面と反対側の面に付着された材料に、成形型による成形加工により、前記複数のマイクロレンズの各々の中心位置に対応して複数の光ファイバァライメント用凹部が配列形成されたァライメント用凹部アレイと、

を備える光モジュール。

2 . 少なくとも片面に複数のマイクロレンズが配列形成された平板状のレンズアレイ基板と、

前記レンズアレイ基板の面に一方の面が接着固定された平板状の共役比調整用透明基板と、

前記共役比調整用透明基板の他方の面に付着された材料に、成形型による成形加工により、前記複数のマイク口レンズの各々の中心位置に対応して複数の光ファイバァライメント用囬部が配列形成されたァライメント用凹部アレイと、

を備える光モジュール。

3 . 前記光ファイバァライメント用凹部の形状は、光ファイバが内接する円柱状または角柱状である、請求項 1 または 2 に記載の光モシュ一ノレ。

4 . 前記光ファイバァライメント用凹部の入口部分は、光ファイバを揷入時にガイドするようにテーパ状に形成されている、請求項 1 または 2 に記載の光モジュール。

5 . 前記材料は、ゾルゲル材料，または光硬化樹脂である、請求項 1 または 2 に記載の光モジュール。

6 . 前記光ファイバァライメント用凹部の底部には、光学素子が形成されている、請求項 1 または 2 に記載の光モジュール。

7 . 前記光学素子は、前記光ファイバァライメント用凹部の底部に形成された光学素子用凹部に充てんされた接着剤により構成されるレンズである、請求項 6 に記載の光モジュール。

8 . 前記各光ファイバァライメント用凹部にそれぞれ先端が嵌合揷入されて接着固定された複数本の光ファイバを、さらに備える、請求項 1 または 2に記載の光モジュール。

9 . 前記各光ファイバァライメント用凹部にそれぞれ先端が嵌合揷入されて接着固定された複数本の光ファイバを、さらに備える、請求項 7 に記載の光モジュール。

1 0 . 光ファイバァライメント用凹部を成形するための凸部が形成された成形型を準備する工程と、

レンズ形成面に複数のマイク口レンズが配列形成された平板状のレンズアレイ基板のレンズ形成面と反対側の面に、ゾルゲル材料を塗布しゾルゲル層を形成する工程と、

前記ゾルゲル層に前記成形型を押しつけて、前記凸部を前記ゾルゲル層に転写して、前記光ファイバァライメント用凹部を成形する工程と、

成形したゾルゲル層を焼成硬化させる工程と、

を含む、光モジュールの製造方法。

1 1 . 光ファイバァライメント用凹部を成形するための凸部が形成された成形型を準備する工程と、

平板状の共役比調整用透明基板の一方の面にゾルゲル材料を塗布しゾルゲル層を形成する工程と、

成形したゾルゲル層を焼成硬化させる工程と、

少なくとも片面に複数のマイクロレンズが配列形成された平板状のレンズアレイ基板の面に、前記共役比調整用透明基板の他方の面が接するようにし、かつ、前記マイクロレンズの中心位置が前記光ファイバァライメント用凹部の中央位置に一致するようにして接着剤で接着固定する工程と、

を含む、光モジュールの製造方法。

1 2 . 前記成形型で光ファイバァライメント用凹部を成形するときに、前記光ファイバァライメント用凹部の入口部分に、光ファイバの揷入時にガイドするテーパを同時に成形することを特徴とする請求項 1 0または 1 1 に記載の光モジュールの製造方法。

1 3 . 前記成形型で光ファイバァライメント用凹部を成形するときに、前記光ファイバァライメント用凹部の底部に、光学素子用凹部を同時に成形する、請求項 1 0または 1 1 に記載の光モジュールの製造方法。

1 4 . 前記光ファイバァラィメント用凹部に光ファイバを嵌合挿入して、接着剤で接着固定する工程をさらに含む、請求項 1 0または 1 1 に記載の光モジュールの製造方法。

1 5 . 前記光ファイバァライメント用凹部に光ファイバを嵌合揷入して、接着剤で接着固定する工程をさらに含み、前記光ファイバァライメント用凹部に前記光ファイバを接着固定するときに、前記光学素子用凹部を前記接着剤で充てんして、レンズを形成する請求項 1 3に記載の光モジュールの製造方法。

1 6 . 光ファイバァライメント用凹部を成形するための凸部が形成された成形型を準備する工程と、

レンズ形成面に複数のマイク口レンズが配列形成された平板状のレンズアレイ基板のレンズ形成面と反対側の面に、光硬化樹脂を塗布する工程と、

前記光硬化樹脂に前記成形型を押しつけて、前記凸部を前記光硬化樹脂に転写して、前記光ファイバァライメント用凹部を形成した後、光を照射して前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、

を含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。

1 7 . 光ファイバァライメント用凹部を成形するための凸部が形成された成形型を準備する工程と、

少なくとも片面に複数のマイクロレンズが配列形成された平板状のレンズアレイ基板の面に、平板状の共役比調整用透明基板の一方の面を接着剤で接着固定する工程と、 .

前記共役比調整用透明基板の他方の面に光硬化樹脂を塗布するェ程と、

を含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。

1 8 , 光ファイバァライメント用回部を成形するための凸部が形成された成形型を準備する工程と、

平板状の共役比調整用透明基板の一方の面に光硬化樹脂を塗布する工程と、前記光硬化樹脂に前記成形型を押しつけて、前記凸部を前記光硬化樹脂に転写して、前記光ファイバァライメント用凹部を形成した後、光を照射して前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、

少なくとも片面に複数のマイクロレンズが配列形成された平板状のレンズアレイ基板の面に、前記共役比調整用透明基板の他方の面が接するようにし、かつ、前記光ファイバマイクロレンズの中心位置が前記ァラィメント用凹部の中央位置に一致するようにして接着剤で接着固定する工程と、

を含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。

1 9 . 前記成形型で光ファイバァライメント用凹部を成形するときに、前記光ファイバァライメント用凹部の入口部分に、光ファイバの揷入時にガイドするテーパを同時に成形することを特徴とする請求項 1 6， 1 7または 1 8 に記載の光モジュールの製造方法。

2 0 . 前記成形型で光ファイバァライメント用凹部を成形するときに、前記光ファイバァライメント用凹部の底部に、光学素子用凹部を同時に成形する、請求項 1 6， 1 7または 1 8 に記載の光モジュールの製造方法。

2 1 . 前記光ファイバァライメント用凹部に光ファイバを嵌合揷入して、接着剤で接着固定する工程をさらに含む、請求項 1 6 , 1 7 または 1 8 に記載の光モジュールの製造方法。

2 2 . 前記光ファイバァライメント用凹部に光ファイバを嵌合揷入して、接着剤で接着固定する工程をさらに含み、前記光ファイバァライメント用凹部に前記光ファイバを接着固定するときに、前記光学素子用凹部を前記接着剤で充てんし、レンズを形成する、請求項 2 0 に記載の光モジュールの製造方法。