WO2002083984A1 - Hartstoffbeschichtetes bauteil mit zwischenschicht zur verbesserung der haftfestigkeit der beschichtung - Google Patents

Hartstoffbeschichtetes bauteil mit zwischenschicht zur verbesserung der haftfestigkeit der beschichtung Download PDF

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Definitions

  • a hard material coating In order to be able to take full advantage of the good mechanical and thermal properties of the material, the tribochemical and thermochemical reactions between the materials of the workpiece and the tool must be largely avoided.
  • the coatings are not only applied to metal cutting tools, in particular high-speed steel (HSS) or hard metal (HM), but also to tools made of ceramic materials such as silicon nitride cutting inserts. Wear can also be reduced with a hard material coating on forming tools.
  • each of the layers, apart from the intermediate layer can have a thickness of approximately 10 ⁇ m, for example in the case of a titanium-based layer, up to approximately 20 ⁇ m, for example in the case of an aluminum oxide layer, so that layer thicknesses of over 60 ⁇ m are achieved can be.
  • at least one intermediate layer between the titanium-based layers is required.
  • a coherently dense sublayer 6 of the cobalt material component was initially deposited, when the cobalt content is depleted from the gas to build up the titanium-based layers, a sublayer 7, which mainly consists of TiC, with deposits 8 of the cobalt material component still visible are.
  • a layer 9 based on titanium is again generated. This layer 9 is the lighter Coloring recognizable. It has the same composition as the first layer, layer 4: Ti (C, N).
  • the last layer 10 is a cover layer made of aluminum oxide, Al 2 O 3 .

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Abstract

Bauteile, die hohen Belastungen ausgesetzt sind, insbesondere durch Verschleiß, können durch eine Hartstoffbeschichtung geschützt werden. So ist es beispielsweise bei Zerspanungswerkzeugen bereits bekannt, die Verschleißfestigkeit durch eine Hartstoffbeschichtung zu verbessern. Auf Grund der unterschiedlichen thermischen Ausdehnung zwischen dem Substratwerkstoff und dem Schichtwerkstoff sowie bei einer Beschichtung aus mehreren Schichten können aufgrund unterschiedlicher Schichtwerkstoffe große Spannungen entstehen. Insbesondere bei zunehmender Dicke der Beschichtung steigt die Spannung an und dadurch die Gefahr des Abplatzens der Beschichtung. Erfindungsgemäß wird deshalb vorgeschlagen, dass mindestens zwischen zwei Schichten (4, 9) der Beschichtung (3) eine Zwischenschicht (5) angeordnet ist, die überwiegend oder ausschließlich aus einer Werkstoffkomponente (6, 8) eines Elements aus der vierten bis achten Nebengruppe der vierten und fünften Periode des Periodensystems besteht.

Description

Hartstoffbeschichtetes Bauteil mit Zwischenschicht zur Verbesserung der
Haftfestigkeit der Beschichtung
Die Erfindung betrifft ein Bauteil aus einem metallischen oder keramischen Werkstoff mit einer Hartstoffbeschichtung nach dem Oberbegriff des ersten Anspruchs sowie ein Verfahren zum Aufbringen dieser Beschichtung nach dem dreizehnten Anspruch.
Bauteile, die hohen Belastungen ausgesetzt sind, insbesondere durch Verschleiß, können durch eine Hartstoffbeschichtung geschützt werden. Um die guten mechanischen und thermischen Eigenschaften des Werkstoffs voll ausnutzen zu können, müssen insbesondere die tribochemischen und die thermochemischen Reaktionen zwischen den Werkstoffen des Werkstücks und des Werkzeugs, weitgehend vermieden werden. So ist es beispielsweise bei Zerspanungswerkzeugen bereits bekannt, die Verschleißfestigkeit durch eine Hartstoffbeschichtung zu verbessern. Die Beschichtungen werden nicht nur auf spangebenden Werkzeugen aus Metall, insbesondere Schnellarbeitsstahl (HSS) oder Hartmetall (HM), aufgebracht, sondern auch auf Werkzeuge aus keramischen Werkstoffen wie beispielsweise Siliziumnitrid-Schneidplatten. Auch bei Umformwerkzeugen kann der Verschleiß durch eine Hartstoffbeschichtung herabgesetzt werden.
Für die erwünschten Verbesserungen der Eigenschaften, insbesondere bei Zerspanungswerkzeugen, genügen in der Regel Schichtdicken im Mikrometerbereich. Solche Schichten lassen sich beispielsweise aus der Gasphase nach dem PVD-, CVD- oder Plasma-CVD-Verfahren abscheiden. Je nach Werkstoff sind dadurch Schichtdicken einer Schicht von unter 1 μm bis über 20 μm möglich.
Die angegebenen Verfahren ermöglichen es, nicht nur einzelne Schichten aus einem Werkstoff abzuscheiden. Sowohl bezüglich der Anzahl der Werkstoffe, die in der
Schichtfolge miteinander kombinierbar sind, als auch der Anzahl der Schichten sind
BESTATIGUNGSKOPIE viele Variationen möglich. Vor allem beim Einsatz von Zerspanungswerkzeugen, kommen vorzugsweise Schichtwerkstoffe auf Titan-Basis, wie beispielsweise Titannitrid, -carbid, -oxid, -carbonnitrid sowie Schichten aus einer oder mehreren Modifikationen des Aluminiumoxids zum Einsatz.
Auf Grund der unterschiedlichen thermischen Ausdehnung zwischen dem Substratwerkstoff und dem Schichtwerkstoff sowie bei einer Beschichtung aus mehreren Schichten können aufgrund unterschiedlicher Schichtwerkstoffe große Spannungen entstehen. Insbesondere bei zunehmender Dicke der Beschichtung steigt die Spannung an und dadurch die Gefahr des Abplatzens der Beschichtung.
Zur Verbesserung der Haftfestigkeit einer Beschichtung ist es beispielsweise aus der DE 36 08 734 C1 bekannt, bei beschichteten Keramik-Wendeschneidplatten auf einen Grundkörper aus gesinterten keramischen Werkstoffen, der mit einer keramischen Nutzschicht versehen ist, eine Zwischenschicht aus Siliziumdioxid abzuscheiden. Dieser Stand der Technik betrifft allerdings nur die Beschichtung mit einer Schicht.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Haftfestigkeit der Hartstoffschichten auf dem Substratwerkstoff eines Bauteils aus einem metallischen oder keramischen Werkstoff sowie der Schichten untereinander zu erhöhen.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt bei einem Bauteil nach dem Oberbegriff des ersten Anspruchs mit Hilfe seiner kennzeichnenden Merkmale. Im dreizehnten Anspruch wird das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung dieser Bauteile beansprucht. Vorteilhafte Ausgestaltungen werden in den abhängigen Ansprüchen beansprucht.
Ein erfindungsgemäßes Bauteil mit einer Beschichtung zeichnet sich dadurch aus, dass mindestens zwischen zwei Schichten der Beschichtung eine Zwischenschicht angeordnet ist, die überwiegend oder ausschließlich aus einer Werkstoffkomponente eines Elements aus der vierten bis achten Nebengruppe der vierten und fünften Periode des Periodensystems besteht. Die Anzahl der Zwischenschichten wird auf die Anzahl der Schichten der Beschichtungen abgestimmt. Je dicker eine Beschichtung ist und je mehr Schichten für den Schichtaufbau erforderlich sind, desto vorteilhafter ist es, Zwischenschichten vorzusehen.
Insbesondere eignen sich die Elemente aus der achten Nebengruppe der vierten Periode zur Bildung einer Zwischenschicht. Beispielsweise wird bei Schichten auf Titan-Basis die Haftfestigkeit bevorzugt durch Zwischenschichten aus einer Werkstoffkomponente des Elements Kobalt gesteigert.
Das Aufbringen einer Hartstoffbeschichtung erfolgt in bekannter Weise nach dem PVD-, CVD- oder Plasma-CVD-Verfahren aus der Gasphase. Die erfindungsgemäße Zwischenschicht wird ebenfalls aus der Gasphase abgeschieden. Dazu wird das Element der Zwischenschicht ebenfalls in die Gasphase überführt. Wird beispielsweise eine Schicht auf Titan-Basis wie Ti(C,N) nach dem CVD-Verfahren aus der Gasphase aufgebaut, kann zur Bildung einer Zwischenschicht auf Basis eines metallischen Werkstoffs ein Presskörper in den Reaktor eingebracht werden. Das Abscheiden einer Schicht, beispielsweise auf Titan-Basis, erfolgt vorzugsweise bei einer Temperatur von etwa 1000 CC und einem Druck geringfügig unterhalb des Atmosphärendrucks. Unter diesen Bedingungen bleibt das Metall in der Gasphase und schlägt sich nicht als Schichtwerkstoff nieder. Erst wenn der Druck abgesenkt wird, erfolgt der Aufbau der Zwischenschicht mit der metallischen Werkstoffkomponente. Diese Zwischenschicht kann, je nach den bei der Beschichtung eingestellten Parametern beziehungsweise der zur Verfügung stehenden Menge der metallischen Werkstoffkomponente, als eine zusammenhängende Schicht ausgebildet sein oder in Form von Einlagerungsbereichen vorliegen. Ist der Vorrat an der metallischen Werkstoffkomponente verbraucht oder wird der Druck auf das vorhergehende Niveau wieder erhöht, stoppt auch der Aufbau der Zwischenschicht. Diese Zwischenschichten sind dünner als die anderen Schichten und haben eine Dicke von etwa 0,05 μm bis etwa 5 μm. Durch eine Zwischenschicht werden die Spannungen in der Beschichtung herabgesetzt und dadurch die Gefahr des Abplatzens wesentlich verringert.
Die Schichten weisen in der Regel eine Zusammensetzung auf, wie sie entsprechend der bekannten Beschichtungsverfahren entstehen. Beschichtungen auf Titan-Basis bestehen in der Regel aus folgenden Verbindungen: TiN, Ti(C,N), TiC, TiO, TiON und TiCON.
Die Beschichtungen können aber auch aus mindestens einer der Modifikationen des Aluminiumoxids bestehen.
Die Beschichtung kann einphasig, das heißt aus einem Werkstoff sein. Die Beschichtung kann auch mehrphasig sein, d.h. aus einer abwechselnden Folge von Schichten unterschiedlicher Werkstoffe, beispielsweise auf Titan-Basis und Aluminiumoxid. Eine solche Beschichtung aus mehreren Schichten kann eine Dicke bis zu 60 μm und mehr erreichen.
Eine solche Beschichtung, auch Multilayer-Beschichtung genannt, könnte beispielsweise wie folgt aufgebaut sein: Eine oder mehrere Titan-basierte Schichten, eine Aluminiumoxidschicht in der α- und/oder κ-Modifikation und gegebenenfalls eine oder mehrere Deckschichten auf Titan-Basis, wobei mindestens zwischen zwei Titanbasierten Schichten eine Zwischenschicht angeordnet ist.
Jede der Schichten, außer der Zwischenschicht, kann, je nach verwendetem Werkstoff, eine Dicke von etwa 10 μm, beispielsweise bei einer Titan-basierten Schicht, bis zu etwa 20 μm, beispielsweise bei einer Aluminiumoxidschicht, aufweisen, so dass Schichtdicken über 60 μm erreicht werden können. Um die Haftfestigkeit einer Beschichtung beispielsweise in einer solchen Dicke zu gewährleisten, ist mindestens eine Zwischenschicht zwischen den Titan-basierten Schichten erforderlich. Die Erfindung gibt vorteilhaft die Möglichkeit, jeden Substratwerkstoff, den Grundwerkstoff des Werkzeugs, sei es Schnellarbeitsstahl, Hartmetall oder auch keramische Werkstoffe wie beispielsweise Siliziumnitrid, SiAlON, Aluminiumnitrid oder auf AI2O3-Basis, mit einer gut haftenden Beschichtung zu versehen, die den Verschleiß wesentlich herabsetzt. Dabei kann der Substratwerkstoff nach den erwünschten Eigenschaften gewählt werden.
An Hand eines Ausführungsbeispiels wird die Erfindung näher erläutert.
Das Ausführungsbeispiel zeigt schematisch dargestellt einen Querschliff durch ein beschichtetes Bauteil 1 aus Siliziumnitrid, Si3N4. Auf dem Grundwerkstoff 2 des Bauteils 1 , dem Substrat mit den hellen Einlagerungen aus den zur Herstellung erforderlichen Sinterhilfsmitteln, befindet sich eine Beschichtung 3 aus mehreren Schichten, eine Multilayer-Beschichtung. Die Beschichtung 3 baut sich im vorliegenden Ausführungsbeispiel aus vier einzelnen, unterschiedlich dicken Schichten auf.
Auf das Substrat 2 folgt eine Schicht 4 auf Titan-Basis, im vorliegenden Ausführungsbeispiel aus Ti(C,N). Bei dem Beschichtungsprozess laufen beim Aufbau der Schichten auf Titan-Basis folgende bekannte chemische Reaktionen ab: TiCI + 1/2 N2 = TiN + 4 HCI, TiCI4 + CH4 = TiC + 4 HCI und TiCI4 + CH4 +V_ N2 = Ti(C,N) + 4 HCI. Darauf folgt, gut sichtbar, die Zwischenschicht 5, überwiegend auf Kobalt-Basis. Während die erste Schicht 4 bei einer Temperatur von etwa 1000 °C und einem Druck von 800 mbar abgeschieden wurde, wurde bei dieser Schicht 5 bei gleicher Temperatur der Druck auf unter 500 mbar gesenkt. Während zunächst eine zusammenhängend dichte Teilschicht 6 der Werkstoffkomponente Kobalt abgeschieden wurde, bildet sich beim Verarmen des Gehalts an Kobalt aus dem Gas zum Aufbau der Schichten auf Titan-Basis eine Teilschicht 7, die überwiegend aus TiC besteht, wobei noch Einlagerungen 8 der Werkstoffkomponente Kobalt sichtbar sind. Bei der Änderung der Beschichtungsparameter in den alten Zustand wird wieder eine Schicht 9 auf Titan-Basis erzeugt. Diese Schicht 9 ist an der helleren Färbung erkennbar. Sie weist die gleiche Zusammensetzung auf wie die erste Schicht, die Schicht 4: Ti(C,N). Die letzte Schicht 10 ist eine Deckschicht aus Aluminiumoxid, AI2O3. Der Beschichtungsprozess läuft nach folgender bekannter Reaktion ab: 2AICI3 + 3H2O = AI2O3 + 6HCI.

Claims

Patentansprüche
1. Bauteil aus einem metallischen oder keramischen Werkstoff, insbesondere zur spangebenden oder umformenden Bearbeitung von Werkstücken, das eine Hartstoffbeschichtung aufweist, wobei die Beschichtung aus mehreren Schichten aufgebaut ist und die Schichten auch aus unterschiedlichen
Werkstoffen bestehen können, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwischen zwei Schichten (4, 9) der Beschichtung (3) eine Zwischenschicht (5) angeordnet ist, die überwiegend oder ausschließlich aus einer Werkstoffkomponente (6, 8) eines Elements aus der vierten bis achten Nebengruppe der vierten und fünften Periode des Periodensystems besteht.
2. Bauteil nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenschicht (5) etwa 0,05 μm bis etwa 5 μm dick ist.
3. Bauteil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Element ein Element (6, 8) aus der achten Nebengruppe der vierten Periode des Periodensystems ist.
4. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichten (4, 9) der Beschichtung (3) aus einem Werkstoff auf Titan-Basis bestehen.
5. Bauteil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Schicht (4, 9) bis zu etwa 10 μm beträgt.
6. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (10) der Beschichtung (3) aus mindestens einer der Modifikationen des Aluminiumoxids bestehen.
7. Bauteil nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Schicht (10) bis zu etwa 20 μm beträgt.
8. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Aufbau einer Beschichtung (3) aus mehreren Schichten (4, 9, 10) aus einer abwechselnden Folge von Schichten auf Titan-Basis (4, 9) und aus
Aluminiumoxid (10) in mindetens einer seiner Modifikationen besteht.
9. Bauteil nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass eine Beschichtung des Bauteils aus mehreren Schichten wie folgt aufgebaut ist: eine oder mehrere Titan-basierte Schichten, eine Aluminiumoxidschicht in der α- und/oder K- Modifikation und gegebenenfalls eine oder mehrere Deckschichten auf Titan-
Basis, wobei mindestens zwischen zwei Titan-basierten Schichten eine Zwischenschicht angeordnet ist.
10. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Substratwerkstoff (2) des Bauteils (1 ) Siliziumnitrid oder SiAlON ist.
11. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Substratwerkstoff des Bauteils Aluminiumnitrid ist.
12. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Substratwerkstoff des Bauteils ein Werkstoff auf AI2O3-Basis ist.
13. Verfahren zum Aufbringen einer Hartstoffbeschichtung auf ein Bauteil aus einem metallischen oder keramischen Werkstoff als Substrat, insbesondere zur spangebenden oder umformenden Bearbeitung von Werkstücken, wobei die Beschichtung aus mehreren Schichten aufgebaut werden kann und die Schichten auch aus unterschiedlichen Werkstoffen bestehen können, insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass beim Auftragen der Schichten, vorzugsweise nach dem PVD-, CVD- oder Plasma-CVD-Verfahren, mindestens in einer Schicht ein Element aus der vierten bis achten Nebengruppe der vierten und fünften Periode des Periodensystems ebenfalls aus der Gasphase abgeschieden wird, und dass die Abscheidung durch die Verfahrensparameter so gesteuert wird, dass mit der 5 Werkstoffkomponente des abgeschiedenen Elements eine Zwischenschicht gebildet wird, die überwiegend oder ausschließlich aus dieser Werkstoffkomponente besteht.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Menge der Abscheidung des Elements über die Variation des Druckes gesteuert wird.
10 15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenschicht durch Absenken des Druckes gebildet wird.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Zwischenschicht über die zur Abscheidung bereitgehaltene Menge des Elements gesteuert wird.
15 17. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenschicht bis auf eine Dicke von etwa 0,05 μm bis etwa 5 μm aufgebaut wird.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass bei einer Beschichtung aus mehreren Schichten auf dem Bauteil in 0 abwechselnder Folge Schichten auf Titan-Basis und Schichten aus
Aluminiumoxid in mindestens einer seiner Modifikationen abgeschieden werden.
19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass bei einer Beschichtung des Bauteils mit mehreren Schichten zunächst eine oder mehrere 5 Titan-basierte Schichten, darauf eine Aluminiumoxidschicht in der α- und/oder K-Modifikation und darauf gegebenenfalls eine oder mehrere Deckschichten auf Titan-Basis aufgetragen werden und dass mindestens zwischen zwei Titan- basierten Schichten eine Zwischenschicht abgeschieden wird.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichten der Beschichtung in Abhängigkeit vom Werkstoff in einer Dicke bis zu etwa 10 μm beziehungsweise bis zu etwa 20 μm abgeschieden werden.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung vorzugsweise auf Bauteile aus einem der Werkstoffe Siliziumnitrid, SiAlON, Aluminiumnitrid oder auf AI2O3-Basis abgeschieden wird.
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