PL205677B1 - Element konstrukcyjny z materiału metalicznego lub ceramicznego oraz sposób nanoszenia powłoki z bardzo twardego materiału na element konstrukcyjny - Google Patents
Element konstrukcyjny z materiału metalicznego lub ceramicznego oraz sposób nanoszenia powłoki z bardzo twardego materiału na element konstrukcyjnyInfo
- Publication number
- PL205677B1 PL205677B1 PL368606A PL36860602A PL205677B1 PL 205677 B1 PL205677 B1 PL 205677B1 PL 368606 A PL368606 A PL 368606A PL 36860602 A PL36860602 A PL 36860602A PL 205677 B1 PL205677 B1 PL 205677B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- layers
- coating
- layer
- titanium
- intermediate layer
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 79
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 67
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 36
- 238000010276 construction Methods 0.000 title claims description 13
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 title claims description 10
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 148
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 41
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 36
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 11
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 7
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910003564 SiAlON Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 5
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 5
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 7
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 4
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000997 High-speed steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910003074 TiCl4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 3
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- -1 for example Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910034327 TiC Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010282 TiON Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229940000425 combination drug Drugs 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- WIIZEEPFHXAUND-UHFFFAOYSA-N n-[[4-[2-(dimethylamino)ethoxy]phenyl]methyl]-3,4,5-trimethoxybenzamide;hydron;chloride Chemical compound Cl.COC1=C(OC)C(OC)=CC(C(=O)NCC=2C=CC(OCCN(C)C)=CC=2)=C1 WIIZEEPFHXAUND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
- C04B41/90—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
- C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Aiming, Guidance, Guns With A Light Source, Armor, Camouflage, And Targets (AREA)
- Building Environments (AREA)
Description
Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest element konstrukcyjny z materiału metalowego lub ceramicznego, zwłaszcza do wiórowej lub plastycznej obróbki obrabianych przedmiotów posiadający powłokę z bardzo twardego materiału oraz sposób nanoszenia powłoki z bardzo twardego materiału na element konstrukcyjny.
Elementy konstrukcyjne poddawane dużym obciążeniom, zwłaszcza wskutek ścierania, chroni się powłoką z bardzo twardego materiału. Aby można było w pełni wykorzystać dobre mechaniczne i termiczne własności materiału muszą zostać wyeliminowane zwłaszcza reakcje trybochemiczne i termochemiczne pomiędzy materiałami obrabianego przedmiotu i narzędzia. Wiadome jest, że przykładowo przy narzędziach skrawających poprawia się odporność na ścieranie za pomocą powłoki z bardzo twardego materiału. Powłoki umieszcza się nie tylko na skrawających narzę dziach z metalu, zwłaszcza ze stali szybkotnącej (HSS) lub z bardzo twardego materiału (HM), lecz także na narzędziach z materiałów ceramicznych, takich jak przykładowo płytki skrawające z azotku krzemu. Również w narzędziach do obróbki plastycznej można zmniejszyć ścieranie za pomocą powłoki z bardzo twardego materiału.
Do żądanej poprawy własności, zwłaszcza narzędzi skrawających, wystarczające są z reguły warstwy o grubości w zakresie mikrometrów. Warstwy takie można osadzać przykładowo z fazy gazowej to znaczy sposobem PVC, CVD lub CVD z użyciem plazmy. Zależnie od materiału można przy tym uzyskać grubości warstwy od poniżej 1 μm do powyżej 20 μm.
Podane sposoby umożliwiają osadzanie nie tylko pojedynczych warstw z danego materiału. Zarówno pod względem liczby materiałów, które mogą ulegać kombinacjom co do ich kolejności, jak także pod względem liczby warstw, możliwe są liczne warianty. Przede wszystkim przy narzędziach skrawających stosuje się korzystnie jako materiały warstw, materiały na bazie tytanu, takie jak przykładowo azotek tytanu, węglik tytanu, tlenek tytanu, węgloazotek tytanu oraz warstwy z jednej lub wielu modyfikacji tlenku glinu.
Ze względu na różniącą się rozszerzalność cieplną materiału podłoża i materiału warstwy oraz przy powłoce złożonej z wielu warstw, mogą występować duże naprężenia powodowane różniącymi się materiałami warstw. Zwłaszcza przy wzrastającej grubości powłoki wzrasta naprężenie, a więc i możliwość odpryskiwania powłoki.
W celu poprawienia przyczepności powłoki z opisu DE 36 08 73 C1 znane jest, że przy powlekanych ceramicznych przestawnych płytkach wieloostrzowych, na korpus podstawowy ze spieczonych, ceramicznych materiałów, który wyposażony jest w ceramiczną warstwę użyteczną, osadza się warstwę pośrednią z dwutlenku krzemu. Ten stan techniki dotyczy jednak tylko powłoki o jednej warstwie.
Zadaniem wynalazku jest zwiększenie przyczepności warstw z bardzo twardego materiału na materiale podłoża elementu konstrukcyjnego z metalowego lub ceramicznego materiału oraz przyczepności warstw między sobą.
Ponadto, zadaniem wynalazku jest opracowanie sposobu nanoszenia powłoki z bardzo twardego materiału na element konstrukcyjny z metalicznego lub ceramicznego materiału stanowiącego podkład.
Element konstrukcyjny z materiału metalicznego lub ceramicznego, do wiórowej lub plastycznej obróbki obrabianych przedmiotów, posiadający powłokę z bardzo twardego materiału, przy czym powłoka zbudowana jest z wielu warstw, a warstwy mogą składać się z różnych materiałów, według wynalazku charakteryzuje się tym, że przynajmniej pomiędzy dwiema warstwami powłoki umieszczona jest, dla redukcji naprężeń między warstwami powłoki, warstwa pośrednia, która utworzona jest głównie lub wyłącznie z metalicznego składnika materiału pierwiastka z czwartej do ósmej grupy pobocznej czwartego i piątego układu okresowego pierwiastków, przy czym warstwa pośrednia utworzona jest jako spójna warstwa z metalicznego składnika materiału względnie jako spójna warstwa z metalicznego składnika materiału z warstwą częściową z bardzo twardego materiału z wtrąceniami metalicznego składnika materiału.
Korzystnie, warstwa pośrednia ma grubość 0,05 μm do 5 μm.
Pierwiastek metalicznego składnika materiału warstwy pośredniej jest pierwiastkiem z ósmej grupy pobocznej czwartego okresu układu okresowego pierwiastków.
Warstwy powłoki składają się z materiału na bazie tytanu, przy czym grubość warstwy wynosi do 10 nm.
Korzystnie, powłoka pokryta jest warstwą z przynajmniej jednej z modyfikacji tlenku glinu, przy czym grubość warstwy wynosi 10 μm do 20 μm.
PL 205 677 B1
Powłoka składa się z wielu warstw w przemiennej kolejności, warstw na bazie tytanu i warstwy tlenku glinu w przynajmniej jednej z jego modyfikacji.
Powłoka elementu konstrukcyjnego zbudowana jest z wielu warstw poczynając kolejno od podłoża; z metalicznego lub ceramicznego materiału, z wielu warstw na bazie tytanu, warstwy z tlenku glinu o modyfikacji α i/lub κ i korzystnie jednej lub wielu warstw pokrywających na bazie tytanu, przy czym pomiędzy przynajmniej dwiema warstwami na bazie tytanu umieszczona jest warstwa pośrednia.
Materiałem podkładowym elementu konstrukcyjnego jest azotek krzemu albo SiAlON.
Materiałem podkładowym elementu konstrukcyjnego jest azotek glinu.
Materiałem podkładowym elementu konstrukcyjnego jest materiał na bazie AI2O3.
Sposób nanoszenia powłoki z bardzo twardego materiału na element konstrukcyjny z metalicznego lub ceramicznego materiału stanowiącego podkład, do wiórowej lub plastycznej obróbki obrabianych przedmiotów, przy czym powłoka może być utworzona z wielu warstw, a warstwy mogą składać się z różnych materiałów, według wynalazku charakteryzuje się tym, że przy nanoszeniu warstw sposobem PVD, CVD lub CVD przy zastosowaniu plazmy, pomiędzy dwiema warstwami powłoki osadza się przynajmniej jedną warstwę pośrednią również z fazy gazowej do redukcji naprężeń pomiędzy warstwami powłoki, przy czym ta warstwa pośrednia składa się głównie lub wyłącznie z metalicznego składnika materiału pierwiastka z czwartej do ósmej grupy pobocznej czwartego i piątego okresu okresowego układu pierwiastków, przy czym warstwa pośrednia utworzona jest jako spójna warstwa z metalicznego składnika materiału względnie jako spójna warstwa z metalicznego składnika materiału z warstwą częściową z bardzo twardego materiału z wtrąceniami metalicznego składnika materiału.
Ilość osadzanego pierwiastka ze składnika materiału reguluje się przez zmianę ciśnienia.
Korzystnie warstwę pośrednią tworzy się poprzez obniżenie ciśnienia, a grubość warstwy pośredniej reguluje się za pomocą ilości pierwiastka utrzymywanej dla osadzania.
Korzystnie, w sposobie według wynalazku warstwę pośrednią tworzy się aż do grubości od
0,05 μm do 5 μm.
Przy powłoce złożonej z wielu warstw, na elemencie konstrukcyjnym osadza się w przemiennej kolejności warstwy na bazie tytanu i warstwy z tlenku glinu w przynajmniej jego α i/lub κ modyfikacji.
Przy powlekaniu elementu konstrukcyjnego wieloma warstwami korzystnie nanosi się najpierw warstwy na bazie tytanu, następnie warstwę tlenku glinu o modyfikacji α i/lub κ i korzystnie następnie nanosi się jedną lub wiele warstw pokrywających na bazie tytanu, przy czym przynajmniej pomiędzy dwiema warstwami na bazie tytanu osadza się warstwę pośrednią.
Korzystnie, w sposobie według wynalazku warstwy powłoki, w zależności od materiału, osadza się o grubości do 20 μm, korzystnie dla warstwy tlenku glinu, względnie do 10 μm, korzystnie dla warstw na bazie tytanu.
Powłokę osadza się korzystnie na elementy konstrukcyjne z jednego z materiałów w postaci azotku krzemu, SiAlON, azotku glinu lub na bazie Al2O3.
Im grubsza jest powłoka i im więcej warstw koniecznych jest do układu warstwowego, tym korzystniej jest stosować warstwy pośrednie.
Pierwiastki z ósmej podgrupy czwartego okresu nadają się zwłaszcza do tworzenia warstwy pośredniej. Przykładowo, przy warstwach na bazie tytanu, przyczepność wzrasta korzystnie przy użyciu warstw pośrednich ze składnika materiałowego pierwiastka w postaci kobaltu.
Nanoszenie powłoki z bardzo twardego materiału w znany sposób następuje z fazy gazowej sposobem PVD, CVD lub CVD przy użyciu plazmy. Warstwa pośrednia według wynalazku również osadzana jest z fazy gazowej. W tym celu pierwiastek warstwy pośredniej wprowadzany jest również w fazę gazową. Jeżeli przykładowo nanosi się warstwę na bazie tytanu Ti(C,N) z fazy gazowej sposobem CVD, to dla utworzenia warstwy pośredniej na bazie metalowego materiału, do reaktora wprowadza się metal w postaci stałej, gdzie wprowadza się go w fazę gazową. Osadzanie warstwy na przykład na bazie tytanu, korzystnie następuje w temperaturze około 1000° i przy ciśnieniu trochę niższym od ciśnienia atmosferycznego. W tych warunkach metal pozostaje w fazie gazowej i nie osadza się jako materiał warstwy. Dopiero, gdy ciśnienie zostanie obniżone następuje osadzanie się warstwy pośredniej z metalowymi składnikami materiału. Warstwa ta, zależnie od parametrów nastawionych przy powlekaniu, względnie od ilości metalowych składników materiału będących do dyspozycji, może być wykonana jako warstwa spójna lub w postaci zawierającej obszary wtrąceniowe. Jeżeli zapas metalowych składników materiału zostanie zużyty lub gdy ciśnienie zostanie ponownie podwyższone do pierwotnego poziomu, to zahamowaniu ulega także nanoszenie warstwy pośredniej.
PL 205 677 B1
Te warstwy pośrednie mają grubość od 0,05 μm do 5 μm. Wskutek warstwy pośredniej zmniejszone zostają naprężenia w powłoce, a tym samym zmniejszeniu ulega niebezpieczeństwo ewentualnego odpryskiwania powłoki.
Warstwy z reguły mają skład jaki stosuje się w znanych sposobach nanoszenia powłok. Powłoki na bazie tytanu z reguły składają się z następujących związków: TiN, Ti(C,N), TiC, TiO, TiON i TiCON.
Powłoki mogą się także składać przynajmniej z jednej z modyfikacji tlenku glinu.
Powłoka może być jednofazowa, to znaczy z jednego materiału. Powłoka może być także wielofazowa, to znaczy ze zmieniającego się ciągu warstw z różnych materiałów, na przykład na bazie tytanu i tlenku glinu. Tego rodzaju powłoka składająca się z wielu warstw może mieć grubość do 60 μm lub nawet większą.
Tego rodzaju powłoka, zwana także powłoką wielowarstwową, może być na przykład zbudowana jak następuje: jedna lub wiele warstw na bazie tytanu, warstwa tlenku glinu w modyfikacji α i/lub κ oraz ewentualnie jedna lub wiele warstw przykrywających na bazie tytanu, przy czym przynajmniej pomiędzy dwiema warstwami na bazie tytanu umieszczona jest warstwa pośrednia.
Każda z warstw, z wyjątkiem warstwy pośredniej, zależnie od zastosowanego materiału może mieć grubość od około 10 μm, na przykład dla warstwy na bazie tytanu, aż do około 20 μm, na przykład dla warstwy z tlenku glinu tak, że można osiągnąć warstwy o grubości powyżej 60 nm. Aby zapewnić przyczepność powłoki, na przykład przy takich grubościach, konieczna jest przynajmniej jedna warstwa pośrednia pomiędzy warstwami na bazie tytanu.
Wynalazek stwarza korzystną możliwość, aby każdy materiał podłoża, to znaczy podstawowy materiał narzędzia, czy to ze stali szybkotnącej, czy bardzo twardego metalu, czy też w postaci materiałów ceramicznych takich jak na przykład azotek krzemu, SiAlON, azotek glinu lub na bazie Al2O3, wyposażyć w powłokę dobrze przylegającą, która znacznie zmniejsza ścieralność. Przy tym materiał podłoża można dobrać zgodnie z żądanymi własnościami.
Przedmiot wynalazku jest uwidoczniony w przykładzie wykonania na rysunku.
Przykład wykonania stanowi schematycznie przedstawiony zgład poprzeczny poprzez powleczony element konstrukcyjny 1 z azotku krzemu, SiN4. Na materiale podstawowym 2 elementu konstrukcyjnego 1, z jasnymi wtrąceniami z pomocniczych środków koniecznych do spiekania, znajduje się powłoka 3 składająca się z wielu warstw, to znaczy powłoka wielowarstwowa. Powłokę 3 w niniejszym przykładzie wykonania, nanosi się w postaci czterech osobnych warstw o różnej grubości.
Na podłożu 2 znajduje się warstwa 4 na bazie tytanu, w niniejszym przykładzie wykonania z Ti(C,N). Podczas procesu nanoszenia powłoki przy tworzeniu warstw na bazie tytanu zachodzą następujące, znane reakcje chemiczne: TiCl4 + 1/2 N2 + 2 H2 = TiN + 4 HCl, TiCl4 + CH4 = TiC + 4 HCl i TiCl4 + CH4 + 1/2 N2 = Ti(C,N) + 4 HCl. Na tym utworzona jest, dobrze widoczna, warstwa pośrednia 5, głównie na bazie kobaltu. Podczas, gdy pierwsza warstwa 4 została osadzona przy temperaturze około 1000° i ciśnieniu 8·104 Pa, przy warstwie pośredniej 5, w tej samej temperaturze, ciśnienie zostało obniżone do wartości poniżej 5·104 Pa. Podczas, gdy najpierw osadzona została jednolita, cząstkowa spójna warstwa 6 składnika materiału w postaci kobaltu, który jako metal w stałej postaci został wprowadzony do reaktora, gdzie przeszedł w fazę gazową, to przy zubożeniu zawartości kobaltu, z gazu do osadzania warstw na bazie tytanu tworzy się warstwa częściowa 7, która głównie składa się z TiC, przy czym widoczne są jeszcze wtrącenia 8 składnika materiału w postaci kobaltu. Przy zmianie parametrów nanoszenia powłoki do stanu poprzedniego wytwarza się ponownie warstwa 9 na bazie tytanu. Warstwa 9 jest rozpoznawalna po jaśniejszym kolorze. Ma ona ten sam skład co pierwsza warstwa to znaczy warstwa 4, Ti(C,N). Ostatnia warstwa 10 jest warstwą pokrywającą z tlenku glinu, AI2O3. Proces powlekania przebiega zgodnie ze znaną reakcją: 2 AICI3 + 3 H2O = AI2O3 + 6 HCl.
Claims (21)
1. Element konstrukcyjny z materiału metalicznego lub ceramicznego, do wiórowej lub plastycznej obróbki obrabianych przedmiotów, posiadający powłokę z bardzo twardego materiału, przy czym powłoka zbudowana jest z wielu warstw, a warstwy mogą składać się z różnych materiałów, znamienny tym, że przynajmniej pomiędzy dwiema warstwami (4, 9) powłoki (3) umieszczona jest, dla redukcji naprężeń między warstwami powłoki (3), warstwa pośrednia (5), która utworzona jest głównie lub wyłącznie z metalicznego składnika materiału pierwiastka z czwartej do ósmej grupy pobocznej czwartego i piątego okresu układu okresowego pierwiastków, przy czym warstwa pośrednia (5) utworzona
PL 205 677 B1 jest jako spójna warstwa (6) z metalicznego składnika materiału względnie jako spójna warstwa (6) z metalicznego składnika materiału z warstwą częściową (7) z bardzo twardego materiału z wtrąceniami (8) metalicznego składnika materiału.
2. Element według zastrz. 1, znamienny tym, że warstwa pośrednia (5) ma grubość 0,05 μm do 5 μm.
3. Element według zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, że pierwiastek metalicznego składnika materiału warstwy pośredniej (5) jest pierwiastkiem z ósmej grupy pobocznej czwartego okresu układu okresowego pierwiastków.
4. Element według zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, że warstwy (4, 9) powłoki (3) składają się z materiału na bazie tytanu.
5. Element według zastrz. 4, znamienny tym, że grubość warstwy (4, 9) wynosi do 10 nm.
6. Element według zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, że powłoka (3) pokryta jest warstwą (10) z przynajmniej jednej z modyfikacji tlenku glinu.
7. Element według zastrz. 6, znamienny tym, że grubość warstwy wynosi 10 μm do 20 nm.
8. Element według zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, że powłoka (3) składa się z wielu warstw (4, 9, 10) w przemiennej kolejności, warstw na bazie tytanu (4, 9) i warstwy (10) tlenku glinu w przynajmniej jednej z jego modyfikacji.
9. Element według zastrz. 8, znamienny tym, że powłoka elementu konstrukcyjnego zbudowana jest z wielu warstw poczynając kolejno od podłoża; z metalicznego lub ceramicznego materiału (2), z wielu warstw (4, 9) na bazie tytanu, warstwy (10) tlenku glinu o modyfikacji α i/lub κ i korzystnie jednej lub wielu warstw pokrywających na bazie tytanu, przy czym pomiędzy przynajmniej dwiema warstwami na bazie tytanu umieszczona jest warstwa pośrednia (5).
10. Element według zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, że materiałem podkładowym (2) elementu konstrukcyjnego (1) jest azotek krzemu albo SiAlON.
11. Element według zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, że materiałem podkładowym (2) elementu konstrukcyjnego (1) jest azotek glinu.
12. Element według jednego z zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, że materiałem podkładowym elementu konstrukcyjnego jest materiał na bazie Al2O3.
13. Sposób nanoszenia powłoki z bardzo twardego materiału na element konstrukcyjny z metalicznego lub ceramicznego materiału stanowiącego podkład, do wiórowej lub plastycznej obróbki obrabianych przedmiotów, przy czym powłoka może być utworzona z wielu warstw, a warstwy mogą składać się z różnych materiałów, znamienny tym, że przy nanoszeniu warstw sposobem PVD, CVD lub CVD przy zastosowaniu plazmy, pomiędzy dwiema warstwami powłoki osadza się przynajmniej jedną warstwę pośrednią również z fazy gazowej do redukcji naprężeń pomiędzy warstwami powłoki, przy czym ta warstwa pośrednia składa się głównie lub wyłącznie z metalicznego składnika materiału pierwiastka z czwartej do ósmej grupy pobocznej czwartego i piątego okresu okresowego układu pierwiastków, przy czym warstwa pośrednia utworzona jest jako spójna warstwa (5) z metalicznego składnika materiału względnie jako spójna warstwa (6) z metalicznego składnika materiału z warstwą częściową (7) z bardzo twardego materiału z wtrąceniami (8) metalicznego składnika materiału.
14. Sposób według zastrz. 13, znamienny tym, że ilość osadzanego pierwiastka ze składnika materiału reguluje się przez zmianę ciśnienia.
15. Sposób według zastrz. 14, znamienny tym, że warstwę pośrednią tworzy się poprzez obniżenie ciśnienia.
16. Sposób według zastrz. 13 albo 14, albo 15, znamienny tym, że grubość warstwy pośredniej reguluje się za pomocą ilości pierwiastka utrzymywanej dla osadzania.
17. Sposób według zastrz. 13 albo 14, albo 15, znamienny tym, że warstwę pośrednią tworzy się aż do grubości od 0,05 μm do 5 μm.
18. Sposób według zastrz. 13 albo 14, albo 15, znamienny tym, że przy powłoce złożonej z wielu warstw, na elemencie konstrukcyjnym osadza się w przemiennej kolejności warstwy na bazie tytanu i warstwy z tlenku glinu w przynajmniej jego α i/lub κ modyfikacji.
19. Sposób według zastrz. 18, znamienny tym, że przy powlekaniu elementu konstrukcyjnego wieloma warstwami nanosi się najpierw warstwy na bazie tytanu, następnie warstwę tlenku glinu o modyfikacji α i/lub κ i korzystnie następnie nanosi się jedną lub wiele warstw pokrywających na bazie tytanu, przy czym przynajmniej pomiędzy dwiema warstwami na bazie tytanu osadza się warstwę pośrednią.
PL 205 677 B1
20. Sposób według zastrz. 13 albo 14, albo 15, znamienny tym, że warstwy powłoki, w zależności od materiału, osadza się o grubości do 20 μm, korzystnie dla warstwy tlenku glinu, względnie do 10 μm, korzystnie dla warstw na bazie tytanu.
21. Sposób według zastrz. 13 albo 14, albo 15, albo 19, znamienny tym, że powłokę osadza się korzystnie na elementy konstrukcyjne z jednego z materiałów w postaci azotku krzemu, SiAlON, azotku glinu lub na bazie AI2O3.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10109523A DE10109523A1 (de) | 2001-02-28 | 2001-02-28 | Hartstoffbeschichtetes Bauteil mit Zwischenschicht zur Verbesserung der Haftfestigkeit der Beschichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL368606A1 PL368606A1 (pl) | 2005-04-04 |
| PL205677B1 true PL205677B1 (pl) | 2010-05-31 |
Family
ID=7675728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL368606A PL205677B1 (pl) | 2001-02-28 | 2002-02-26 | Element konstrukcyjny z materiału metalicznego lub ceramicznego oraz sposób nanoszenia powłoki z bardzo twardego materiału na element konstrukcyjny |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7378158B2 (pl) |
| EP (1) | EP1370712B1 (pl) |
| AT (1) | ATE409757T1 (pl) |
| BR (1) | BR0207670B1 (pl) |
| DE (2) | DE10109523A1 (pl) |
| DK (1) | DK1370712T3 (pl) |
| ES (1) | ES2315372T3 (pl) |
| MX (1) | MXPA03007517A (pl) |
| PL (1) | PL205677B1 (pl) |
| PT (1) | PT1370712E (pl) |
| WO (1) | WO2002083984A1 (pl) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10332926A1 (de) * | 2003-07-19 | 2005-03-03 | Dr.Ing.H.C. F. Porsche Ag | Spanlos formgebendes Werkzeugteil |
| JP3896358B2 (ja) * | 2003-12-22 | 2007-03-22 | Ｔｄｋ株式会社 | 磁気ヘッド用基板材料、磁気ヘッド用基板、ヘッドスライダおよび磁気ヘッド用基板の製造方法 |
| EP1612307B1 (de) * | 2004-06-18 | 2011-03-16 | Rieter Ingolstadt GmbH | Auflöseeinrichtung für Spinnmaschinen |
| DE102004029659B4 (de) * | 2004-06-18 | 2017-03-30 | Rieter Ingolstadt Gmbh | Auflöseeinrichtung für Spinnmaschinen |
| AT501722B1 (de) * | 2005-07-12 | 2006-11-15 | Miba Gleitlager Gmbh | Beschichtungsverfahren |
| EP1918421B1 (en) * | 2006-09-27 | 2017-03-15 | Hitachi Metals, Ltd. | Hard-material-coated member excellent in durability |
| US9371580B2 (en) | 2013-03-21 | 2016-06-21 | Kennametal Inc. | Coated body wherein the coating scheme includes a coating layer of TiAl2O3 and method of making the same |
| DE112014001520B4 (de) | 2013-03-21 | 2023-06-15 | Kennametal Inc. | Beschichtungen für Schneidwerkzeuge |
| DE112014001562B4 (de) | 2013-03-21 | 2019-08-08 | Kennametal Inc. | Beschichtungen für Schneidwerkzeuge |
| US9719175B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-08-01 | Kennametal Inc. | Multilayer structured coatings for cutting tools |
| US9650712B2 (en) | 2014-12-08 | 2017-05-16 | Kennametal Inc. | Inter-anchored multilayer refractory coatings |
| US9650714B2 (en) | 2014-12-08 | 2017-05-16 | Kennametal Inc. | Nanocomposite refractory coatings and applications thereof |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3444613A (en) * | 1965-11-24 | 1969-05-20 | Coast Metals Inc | Method of joining carbide to steel |
| CH542678A (de) * | 1969-06-02 | 1973-10-15 | Suisse De Rech S Horlogeres La | Verbundwerkstoff für Schneidwerkzeuge |
| AT336905B (de) * | 1975-02-10 | 1977-06-10 | Plansee Metallwerk | Verschleissteil fur die spanabhebende und spanlose formgebung |
| US4501786A (en) | 1981-12-16 | 1985-02-26 | General Electric Company | Coated product with oxide wear layer |
| DE3503105A1 (de) * | 1985-01-30 | 1986-07-31 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zum beschichten von maschinenteilen und werkzeugen mit hartstoffmaterial und durch das verfahren hergestellte maschinenteile und werkzeuge |
| DE3608734C1 (de) * | 1986-03-15 | 1987-01-02 | Feldmuehle Ag | Beschichtete Keramik-Wendeschneidplatte |
| US4943450A (en) * | 1987-01-20 | 1990-07-24 | Gte Laboratories Incorporated | Method for depositing nitride-based composite coatings by CVD |
| US5145739A (en) * | 1990-07-12 | 1992-09-08 | Sarin Vinod K | Abrasion resistant coated articles |
| US5575902A (en) | 1994-01-04 | 1996-11-19 | Chevron Chemical Company | Cracking processes |
| JP2793772B2 (ja) * | 1994-05-13 | 1998-09-03 | 神鋼コベルコツール株式会社 | 密着性に優れた硬質皮膜被覆工具および硬質皮膜被覆部材 |
| JPH0839317A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-02-13 | O S G Kk | 硬質被覆層を有する回転切削工具 |
| DE69521410T2 (de) * | 1994-10-04 | 2001-10-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Beschichtete hartlegierung |
| US5879823A (en) * | 1995-12-12 | 1999-03-09 | Kennametal Inc. | Coated cutting tool |
| US5989733A (en) | 1996-07-23 | 1999-11-23 | Howmet Research Corporation | Active element modified platinum aluminide diffusion coating and CVD coating method |
| SE518151C2 (sv) | 1997-12-10 | 2002-09-03 | Sandvik Ab | Multiskiktbelagt skärverktyg |
| JP3031907B2 (ja) * | 1998-03-16 | 2000-04-10 | 日立ツール株式会社 | 多層膜被覆部材 |
| DE19832571A1 (de) * | 1998-07-20 | 2000-01-27 | Hauzer Ind Bv | Mehrlagenschicht und Verfahren zu deren Herstellung |
| WO2000052225A1 (en) | 1999-03-02 | 2000-09-08 | Kennametal Inc. | A tool having a multilayer coating comprising multiple mtcvd layers |
| DE19920567C2 (de) * | 1999-05-03 | 2001-10-04 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Beschichtung eines im wesentlichen aus Titan oder einer Titanlegierung bestehenden Bauteils |
| SE519921C2 (sv) * | 1999-05-06 | 2003-04-29 | Sandvik Ab | PVD-belagt skärverktyg och metod för dess framställning |
| DE19947547A1 (de) * | 1999-10-02 | 2001-04-05 | Schlafhorst & Co W | Spinnrotor für eine Offenend-Spinnmaschine |
| DE19962056A1 (de) * | 1999-12-22 | 2001-07-12 | Walter Ag | Schneidwerkzeug mit mehrlagiger, verschleissfester Beschichtung |
| JP4560964B2 (ja) * | 2000-02-25 | 2010-10-13 | 住友電気工業株式会社 | 非晶質炭素被覆部材 |
-
2001
- 2001-02-28 DE DE10109523A patent/DE10109523A1/de not_active Withdrawn
-
2002
- 2002-02-26 AT AT02745190T patent/ATE409757T1/de active
- 2002-02-26 BR BRPI0207670-5A patent/BR0207670B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2002-02-26 MX MXPA03007517A patent/MXPA03007517A/es active IP Right Grant
- 2002-02-26 US US10/467,488 patent/US7378158B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-02-26 PT PT02745190T patent/PT1370712E/pt unknown
- 2002-02-26 WO PCT/EP2002/002026 patent/WO2002083984A1/de not_active Ceased
- 2002-02-26 ES ES02745190T patent/ES2315372T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-26 DK DK02745190T patent/DK1370712T3/da active
- 2002-02-26 PL PL368606A patent/PL205677B1/pl unknown
- 2002-02-26 DE DE50212836T patent/DE50212836D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-26 EP EP02745190A patent/EP1370712B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PT1370712E (pt) | 2009-01-06 |
| US7378158B2 (en) | 2008-05-27 |
| WO2002083984A1 (de) | 2002-10-24 |
| DE10109523A1 (de) | 2002-09-05 |
| BR0207670A (pt) | 2004-02-25 |
| EP1370712A1 (de) | 2003-12-17 |
| DK1370712T3 (da) | 2009-02-09 |
| ES2315372T3 (es) | 2009-04-01 |
| ATE409757T1 (de) | 2008-10-15 |
| US20040137279A1 (en) | 2004-07-15 |
| PL368606A1 (pl) | 2005-04-04 |
| EP1370712B1 (de) | 2008-10-01 |
| BR0207670B1 (pt) | 2011-05-31 |
| MXPA03007517A (es) | 2004-10-15 |
| DE50212836D1 (de) | 2008-11-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2717187C (en) | Body coated with hard material | |
| CA2717188C (en) | Body coated with hard material | |
| CA1329897C (en) | Ultrathin laminated oxide coatings and methods | |
| US8257841B2 (en) | Bodies coated with a hard material and method for the production thereof | |
| US4714660A (en) | Hard coatings with multiphase microstructures | |
| US7455918B2 (en) | Alumina coating, coated product and method of making the same | |
| US8080312B2 (en) | CVD coating scheme including alumina and/or titanium-containing materials and method of making the same | |
| CN101652500B (zh) | 多层cvd涂层 | |
| IL182344A (en) | Cutting with a ceramic coating | |
| PL205677B1 (pl) | Element konstrukcyjny z materiału metalicznego lub ceramicznego oraz sposób nanoszenia powłoki z bardzo twardego materiału na element konstrukcyjny | |
| KR20120140642A (ko) | 고속 기계가공 방법 및 피복 절삭공구 | |
| CA2501085C (en) | Composite material | |
| JP2020524085A (ja) | コーティングされた切削工具 | |
| CN105142831B (zh) | 表面被覆切削工具及其制造方法 | |
| EP0963456A1 (en) | Multilayered pvd coated cutting tool | |
| KR20070093403A (ko) | Ａｌ２ｏ３ 다층 플레이트 | |
| EP1762638B1 (en) | PVD coated cutting tool | |
| US11253927B2 (en) | Coated cutting tool | |
| KR102728353B1 (ko) | 피복 절삭 공구 | |
| KR100832868B1 (ko) | 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 부재용 박막 | |
| JP4761291B2 (ja) | 切断工具の耐摩耗性複合セラミック被膜 | |
| Holzschuh | Moderate temperature CVD of Ti-BCN on cemented carbide tools: Properties and metal-cutting tests | |
| PL174004B1 (pl) | Sposób powlekania narzędzia warstwątlenku oraz narzędzie powleczone warstwątlenku |