WO2002073656A3 - Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer kontaktierung und verfahren zu dessen herstellung - Google Patents
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Abstract
Die Elektrodenschichten (3, 5) des Vielschichtaktors erstrekken sich isolationszonenfrei über den gesamten Stapelquerschnitt bis zu den seitlichen Oberflächen des Stapels (1), wo für jede Elektrodenschicht (3, 5) separat eine horizontale, an der jeweiligen Elektrodenschicht (3, 5) mindestens über einen Teil des Stapelumfanges entlanglaufende Metalllisierung (2) aufebracht ist. Eine Weiterkontaktierung der Metallisierungen (2) insbesondere mit horizontale, parallelen Kontaktierungsdrähten ist möglich.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19945933A DE19945933C1 (de) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer Kontaktierung und Verfahren zu dessen Herstellung |
PCT/DE2001/000947 WO2002073656A2 (de) | 1999-09-24 | 2001-03-13 | Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer kontaktierung und verfahren zu dessen herstellung |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19945933A DE19945933C1 (de) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer Kontaktierung und Verfahren zu dessen Herstellung |
PCT/DE2001/000947 WO2002073656A2 (de) | 1999-09-24 | 2001-03-13 | Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer kontaktierung und verfahren zu dessen herstellung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2002073656A2 WO2002073656A2 (de) | 2002-09-19 |
WO2002073656A3 true WO2002073656A3 (de) | 2003-10-02 |
Family
ID=25750276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/DE2001/000947 WO2002073656A2 (de) | 1999-09-24 | 2001-03-13 | Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer kontaktierung und verfahren zu dessen herstellung |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19945933C1 (de) |
WO (1) | WO2002073656A2 (de) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19945933C1 (de) * | 1999-09-24 | 2001-05-17 | Epcos Ag | Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer Kontaktierung und Verfahren zu dessen Herstellung |
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- 1999-09-24 DE DE19945933A patent/DE19945933C1/de not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-03-13 WO PCT/DE2001/000947 patent/WO2002073656A2/de active Application Filing
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Title |
---|
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 008, no. 264 (E - 282) 4 December 1984 (1984-12-04) * |
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 014, no. 437 (E - 0980) 19 September 1990 (1990-09-19) * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2002073656A2 (de) | 2002-09-19 |
DE19945933C1 (de) | 2001-05-17 |
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