WO2002027869A1

WO2002027869A1 - Contacteur conducteur avec plaque-guide mobile

Info

Publication number: WO2002027869A1
Application number: PCT/JP2001/008376
Authority: WO
Inventors: Toshio Kazama
Original assignee: Nhk Spring Co.,Ltd.
Priority date: 2000-09-28
Filing date: 2001-09-26
Publication date: 2002-04-04
Also published as: MY130306A; TWI232301B; JP4521106B2; JP2002107377A

Description

可動ガイドブレート付き導電性接触子発明の属する技術分野

本発明は、半導体パッケージの電気的テスト時に、該パッケージの基板や電極の位置決め及び支持を行う可動ガイドブレ一トを備えた、可動ガイドプレート付き導電性接触子に関する。

背景技術

このような可動ガイドプレート付き導電性接触子として、図 1および図 2 に示す導電性接触子 1 0 0が知られている。この導電性接触子 1 0 0は、絶縁性のホルダ 3と、このホルダ 3に積層され、投入される検査対象としての半導体パッケージ Pを受ける開口部 4 aが開設された固定プレート 4との間に形成されるガイド収容空間 5に、絶縁性の可動ガイドブレート 2が収容されている。

配線プレート 6が固定プレート 4と反対の側でホルダ 3に積層され、ホルダ 3を貫通して設けられた支持孔 7がガイド収容空間 5と配線プレート 6とを連通する。ホルダ 3は、上部ホルダ 3 aと下部ホルダ 3 bとを積層して構成され、支持孔 7は、上部ホルダ 3 aに形成された上段部 7 aと、下部ホルダ 3 bに形成された下段部 7 bとを有し、上部および下部ホルダ 3 a及び 3 bを貫通する。

軸方向に弾性を有する導電性針状部材 8が、支持孔 7に収容されて取付けられ、その上端部が可動ガイドブレ一卜 2に設けられた貫通孔 2 aに挿入され、下端部が配線プレート 6の導電部 6 aに当接する。この導電性針状部材 8は、 1本図示されているが、数本〜数千本集って導電性接触子 1 0 0を構成する。

この導電性接触子 1 0 0を用いて半導体パッケージを検査するテストでは、その初期段階（図 1参照）で半導体パッケージ Pの電極 P 1を貫通孔 2 aに嵌入させて針状部材 8の一端部に当接させ、終期段階（図 2参照）で、半導体パッケージ Pの基板 P 2を可動ガイドプレート 2に当接させる。

この導電性接触子 1 0 0の可動ガイドブレート 2は、ホルダ 3に固着された複数のガイドピン 9、 9に案内されて移動可能で、各ガイドピン 9に外揷されたコイルばね 1 0によって固定プレート 4側へ付勢される。

導電性針状部材 8は、パイプ体 8 aと、このパイプ体 8 aに内蔵されたコィルばね（図示せず）により相互に離反する方向へ付勢された先端側及び基端側の導電性針状体 8 bおよび 8 cとで構成される。パイプ体 8 aは支持孔 7に保持され、そこで上端縁及び下端縁をそれぞれ上段部 7 aおよび下段部

7 bに当接させて抜け止めされる。この取付状態においては、下側導電性針状体 8 cの先端が配線プレート 6の導電部 6 aに当接し、上側導電性針状体

8 bの先端部が可動ガイドプレート 2の貫通孔 2 aに挿入されている。

この導電性接触子 1 0 0は、可動ガイドプレート 2がガイドピン 9で案内される部分を必要とし、その分、プレート自身の形状の複雑化と大型化を招き、コスト高になる、という課題を有する。

この導電性接触子 1 0 0は、導電性針状部材 8がパイプ体 8 aを伴い、可動ガイドプレート 2の付勢手段が複数のガイドピン 9とコイルばね 1 0とで構成されるので、部品点数が多く、組付けおよび交換作業が煩雑で、さらにコスト高となる、という課題も有する。発明の開示

この発明は、可動ガイドプレートの形状の単純化及び小型化と、部品点数の削減が可能で、組付けおよび交換作業の容易化とコスト低減化が図れる可動ガイドプレート付き導電性接触子を提供することをその目的としている。上記目的を達成すべく、本発明に係る可動ガイドプレート付き導電性接触子は、 1つ以上の支持孔を有する絶縁ホルダと、前記ホルダの一端側に積層され、前記ホルダと共に前記支持孔に連通する空間を形成する固定プレートと、前記ホルダの他端側に積層される配線プレートと、前記空間に収容され、前記絶縁ホルダの支持孔に連通する 1つ以上の貫通孔を有する絶縁可動ガイドプレートと、前記支持孔に収容される、軸方向に弾性を有する 1つ以上の導電性針状部材とからなり、前記導電性針状部材は、前記可動ガイドプレートの貫通孔に揷入されて、前記固定プレート上部に設けられた開口部から投入される検査対象の電極と接触する一端部と、前記配線プレートに設けられた導電部と接触する他端部と、前記可動ガイドプレートの貫通孔の下縁に係合する段部とからなることを特徴とする。

前記導電性針状部材は、好ましくは、前記可動ガイドプレートの貫通孔に挿入される一端部としての小径部と、前記支持孔に収容される大径部とを有し、前記可動ガイドプレートの貫通孔の下縁に係合する段部は、前記小径部と大径部との間の境界部として形成される。

従って、可動ガイドプレートは、導電性針状部材の小径部が貫通孔に挿入されることにより位置決めされ、かつその段部が貫通孔の下縁に係合すると共に、導電性針状部材自身のばね付勢力で支えられるので、従来必要とされたガイドビンで案内される部分が不要になり、専用の案内部材も不要になつて、可動ガイドプレートの形状の単純化と小型化が可能になり、部品点数の削減、組付けおよび交換作業の容易化、コスト低減化も可能になる。

本発明の第 1の実施形態によれば、前記導電性針状部材は、コイルばね部材と、前記コイルばね部材の少なくとも前記可動ガイドプレート側の端部に連結される導電性針状体とを有し、前記コイルばね部材の前記可動ガイドプレート側の端部に連結される導電性針状体は、前記貫通孔に往復動を許容して収容される上軸部と、前記上軸部よりも大径で、前記支持孔に往復動を許容して収容される中間軸部とを有し、前記可動ガイドプレートの貫通孔の下縁に係合する段部は、前記上軸部と中間軸部との間の境界部として形成される。

従って上記実施形態によれば、導電性針状部材の導電性針状体が、その中間軸部を直接支持孔に収容して組み付けられ、その径方向の芯ずれを極力抑制でき、上軸部が貫通孔へ揷入される導電性針状体の段部で可動ガイドブレートが支えられ安定する。本発明の他の実施形態によれば、前記導電性針状部材はコイルばね部材のみで形成され、前記コイルばね部材は、前記貫通孔に挿入する小径コイル部と、前記支持孔に収容される大径コイル部とを有し、前記可動ガイドプレートの貫通孔の下縁に係合する段部は、前記小径コイル部と大径コイル部との間の境界部として形成される。

この実施形態によれば、導電性針状部材がコィルばね部材を用いた一部品として構成でき、部品点数を一層削減できる。

なお、前記支持孔には、前記配線プレート側の開口部近傍に前記導電性針状部材の抜止め用段部を形成することが好ましい。また、前記支持孔は 1個のホルダを貫通して設けて、前記導電性針状部材を摺動自在に案内することが好ましい。

この構成によれば、可動ガイドプレートや固定プレート等の部品と同じ側 (配線プレートの反対側）から導電性針状部材を組み付けることができ、固定プレートをホルダから離脱させれば交換が容易になり、組み付けおよび交換作業の一層の容易化が図れる。また、 1個のホルダを貫通して支持孔を設けるので、精度良く形成でき、これにより導電性針状部材の作動が安定する。さらに、従来、 2個必要であったホルダが 1個ですみ、部品点数をさらに削減できる。図面の簡単な説明

以下に添付図面を参照して、本発明の上記及びさらなる目的、新規な特徴及び効果を詳述する。図中、

図 1は従来の可動ガイドブレート付き導電性接触子の縦断面図で、テストの初期段階を示し、

図 2は図 1の導電性接触子の縦断面図で、テストの終期段階を示し、図 3は本発明の第 1の実施形態に係る可動ガイドブレート付き導電性接触子の縦断面図で、テストの初期段階を示し、

図 4は図 3の導電性接触子の縦断面図で、テストの終期段階を示し、図 5は上記第 1の実施形態の変更例に係る導電性接触子の縦断面図であり、そして

図 6は本発明の第 2実施形態に係る可動ガイドブレート付き導電性接触子の縦断面図である。発明の実施の形態

以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づき説明する。同じ部材又は要素は同じ符号で示す。

図 3および図 4に、本発明の第 1の実施形態に係る可動ガイドプレート付き導電性接触子 1を示す。

この導電性接触子 1は、絶縁性のホルダ 3と、このホルダに積層され、投入された検査対象としての半導体パッケージ Pを受ける開口部 4 aを開設した固定プレート 4と，の間に形成される空間 5に絶縁性の可動ガイドブレート 2が収容され、配線プレート 6がホルダ 3の固定プレート 4と反対の側に積層され、ホルダ 3を貫通して多数の支持孔 7 ( 1つだけ図示）がマトリツクス状に形成され、ガイドブレート 2を収容した空間 5と配線プレート 6とを連通する。各支持孔 7には軸方向に弾性を有する導電性針状部材 8が収容され、その上端部が可動ガイドプレート 2に設けられた貫通孔 2 aに揷入され、下端部が配線プレート 6の導電部 6 aに当接する。この導電性接触子 1 を用いて半導体パッケージを検査するテストでは、その初期段階（図 3参照）で、半導体パッケージ Pの電極 P 1を貫通孔 2 aに嵌入させて針状部材 8の上端部に当接させ、終期段階（図 4参照）で、半導体パッケージ Pの基板 P 2を可動ガイドプレート 2に当接させる。電極 P 1は、ハンダポール等からなる。

導電性針状部材 8の上部は、貫通孔 2 aに挿入される小径部と支持孔 7に収容される大径部との間の境界部として段部 Aが形成され、この段部 Aが貫通孔 2 aの下縁 2 dと係合して、可動ガイドプレート 2を固定プレート 4に押し付ける。具体的には、導電性針状部材 8は、コイルばね部材 1 1と、このコイルばね部材 1 1の上下端に連結される上側導電性針状体 1 2および下側導電性針状体 1 3とからなる。上側導電性針状体 1 2は、貫通孔 2 aに往復動自在に収容される前記小径部としての上軸部 1 2 aと、支持孔 7に往復動自在に収容される前記大径部としての中間軸部 1 2 bと、この中間軸部 1 2 bよりも小径のボス部 1 2 cとを有する。上軸部 1 2 aの上端面には、半導体パッケージ Pの電極 P 1に当接させて電気的に接続する電極端子 1 2 dが突出形成される。，

コイルばね部材 1 1は、密着巻き部 1 1 aとピッチ巻き部 1 1 bとで構成され、密着巻き部 1 1 aの上端部を上側導電性針状体 1 2のボス部 1 2 cに嵌着させ、ピッチ巻き部 1 1 bの下端部を下側導電性針状体 1 3の上向きポス部 1 3 cに嵌着させ、相互連結している。ピッチ巻き部 1 1 bのばね力により、上側導電性針状体 1 2と下側導電性針状体 1 3とは相互に離反する方向に付勢される。これにより、可動ガイドプレート 2は段部 Aで支持され、下側導電性針状体 1 3の下端先鋭部 1 3 aは配線プレート 6の導電部 6 aに当接する。下側導電性針状体 1 3は、支持孔 7に往復動自在に収容される。このような構成の導電性接触子 1は、可動ガイドブレー卜 2を平坦な板状体にすることができ、プレート 2自身と、周辺（特に、可動ガイドプレート 2に対向するホルダ 3の面）の加工精度を低くできる。

導電性接触子 1の可動ガイドプレート 2は、導電性針状部材 8の上軸部 1 2 aを貫通孔 2 aに挿入させることで位置決めされ、段部 Aが貫通孔 2の下縁 2 dに係合し、導電性針状部材 8自身がばね付勢力を与えることで支えられる。このため、可動ガイドプレート 2は、従来必要としたガイドピン（図 1および図 2のガイドピン 9参照）で案内される部分が不要で、プレート 2 自身の形状の単純化と小型化、及びコストの低減化が図れる。

導電性接触子 1は従来必要とされた案内専用部材が不要で、導電性針状部材 8を支持孔 7に直接収容でき、しかも従来必要とされたパイプ体も不要で、部品点数が大幅に削減され、組付けおよび交換作業が容易となり、コストが一層低減される。

導電性接触子 1の導電性針状部材 8は、その上側導電性針状体 1 2の中間軸部 1 2 bを支持孔 7に直接収容するので、その径方向の芯ずれが抑制される。また、上側導電性針状体 1 2の上軸部 1 2 aを貫通孔 2 aに揷入した状態で、段部 Aは可動ガイドブレート 2を支え、安定させる。

支持孔 7は、 1個のホルダ 3を貫通して設けられ、導電性針状部材 8を摺動自在に案内する。

支持孔 7の下端部に、導電性針状部材 8を抜止めする段部 7 cが形成される。配線プレート 6の組付け以前でも、下側導電性針状体 1 3に形成されたフランジ部 1 3 bが抜止め用段部 7 cに係合し、導電性針状部材 8が支持孔 7から抜け止めされる。

この構成によれば、可動ガイドプレート 2や固定プレート 4等の部品と同じ上側（配線プレート 6の反対側）から導電性針状部材 8を組み付けることができ、固定プレート 4をホルダ 3から離脱させれば交換が容易になる。支持孔 7は 1個のホルダ 3を貫通して設けるので精度よく形成でき、導電性針状部材 8の作動が安定する。

図 5は、上記第 1の実施形態の変更例を示し、導電性針状部材 8の下部をコイルばね 1 1の延長部で形成した点で、図 3に示した第 1の実施形態に係る導電性接触子 1と異なる。この変形例に係る導電性接触子 1 aの導電性針状体 8は、コイルばね 1 1が、密着巻き部 1 1 aと、ピッチ巻き部 1 1 bと、コイル径を絞り込んだ先鋭コイル部 1 1 cとが連続的に形成される。先鋭コィル部 1 1 cは配線プレート 6の導電部 6 aに当接する。この導電性接触子 1 aは、ピッチ巻き部 1 1 bと先鋭コイル部 1 1 cとの間の境界部として形成された段部 1 1 dが抜止め用段部 7 cに係合し、導電性針状部材 8が支持孔 7からの抜け止めされる。

導電性接触子 1 aの導電性針状部材 8は、導電性接触子 1の導電性針状部材 8と同様な作用を有する。導電性接触子 l aは、導電性接触子 1と同様な効果を有する。図 6は、本発明の第 2の実施形態に係る可動ガイドプレート付き導電性接触子 2 0を示す。この導電性接触子 2 0は、導電性針状部材 8の構成が第 1 実施形態と異なる。

本実施形態の導電性針状部材 8は、コイルばね部材 1 1で形成され、貫通孔 2 aに揷入される上側の小径コイル部 l i eと支持孔 7に収容される下側の大径コイル部 1 1 f との間の境界部として段部 Aが形成される。コイルばね部材 1 1は、小径コイル部 1 1 eとこれに連続する大径コイル部 1 1 が密着巻き部として構成され、大径コイル部 1 1 f に連続させてこれと同径の密着巻き部 1 1 a、ピッチ巻き部 1 1 bおよび先鋭コイル部 1 l cが、前述した導電性接触子 1 aと同様に形成される。コイルばね部材 1 1は、大径コィル部 1 1 aを密着巻きにすることで必要な剛性を得、ピッチ巻き部 1 1 b のばね力で、貫通孔 2 aの下縁 2 dに係合する段部 Aが、可動ガイドブレート 2を安定に支持する。

この導電性接触子 2 0の導電性針状部材 8は、コイルばね部材 1 1の単一部品として構成され、部品点数が一層削減される。産業上の利用可能性

この発明によれば、導電性針状部材に設けた段部を可動ガイドプレートの貫通孔の縁に係合させることで、可動ガイドプレートが支持される。簡略な構成が得られる。

Claims

請求の範囲

1 . 1つ以上の支持孔を有する絶縁ホルダと、

前記ホルダの一端側に積層され、前記ホルダと共に前記支持孔に連通する空間を形成する固定プレートと、

前記ホルダの他端側に積層される配線プレートと、

前記空間に収容され、前記絶縁ホルダの支持孔に連通する 1っ以上の貫通孔を有する絶縁可動ガイドプレートと、

前記支持孔に収容される、軸方向に弾性を有する 1つ以上の導電性針状部材と、

からなる可動ガイドプレート付き導電性接触子において、前記導電性針状部材は、

前記可動ガイドプレートの貫通孔に揷入されて、前記固定プレート上部に設けられた開口部から投入される検査対象の電極と接触する一端部と、

前記配線プレートに設けられた導電部と接触する他端部と、前記可動ガイドプレートの貫通孔の下縁に係合する段部とからなることを特徴とする可動ガイドブレート付き導電性接触子。

2 . 請求項 1に記載の導電性接触子において、

前記導電性針状部材は、前記可動ガイドプレートの貫通孔に揷入される一端部としての小径部と、前記支持孔に収容される大径部とを有し、前記可動ガイドブレー卜の貫通孔の下縁に係合する段部は、前記小径部と大径部との間の境界部として形成されることを特徴とする導電性接触子

3 . 請求項 1に記載の導電性接触子において、

' 前記導電性針状部材は、コイルばね部材と、前記コイルばね部材の少なくとも前記可動ガイドプレート側の端部に連結される導電性針状体とを有し、

前記コイルばね部材の前記可動ガイドブレー卜側の端部に連結される導電性針状体は、前記貫通孔に往復動を許容して収容される上軸部と、前記上軸部よりも大径で、前記支持孔に往復動を許容して収容される中間軸部とを有し、

前記可動ガイドプレートの貫通孔の下縁に係合する段部は、前記上軸部と中間軸部との間の境界部として形成されることを特徴とする導電性接触子。

4. 請求項 1に記載の導電性接触子において、

前記導電性針状部材はコイルばね部材のみで形成され、前記コィルばね部材は、前記貫通孔に挿入する小径コィル部と、前記支持孔に収容される大径コィル部とを有し、

前記可動ガイドプレートの貫通孔の下縁に係合する段部は、前記小径コィル部と大径コィル部との間の境界部として形成されていることを特徵とする導電性接触子。

5 . 請求項 1に記載の導電性接触子において、前記支持孔の前記配線プレー卜側の開口部近傍には、前記導電性針状部材の抜止め用段部が形成されていることを特徴とする導電性接触子。

6 . 請求項 1に記載の導電性接触子において、前記支持孔は、前記導電性針状部材を摺動自在に案内するように、 1個のホルダを貫通して設けられることを特徴とする導電性接触子。

7 . 絶縁性のホルダと、

前記ホルダに積層され、半導体パッケージを投入する開口部を開設した固定プレートと、前記ホルダと前記固定プレートとの間に形成されるガイド収容空間と、

前記ガイド収容空間に収容される絶縁性の可動ガイドプレートと、前記ホルダの前記固定プレートの反対側に積層される配線プレートと、

前記ガイド収容空間と前記配線プレートとを連通するように前記ホルダを貫通して設けられた支持孔と、

前記支持孔に収容される、軸方向に弾性を有する導電性針状部材とからなる可動ガイドブレ一ト付き導電性接触子において、

前記導電性針状部材の一端部は前記可動ガイドプレートに設けられた貫通孔に揷入され、他端部は前記配線プレートの導電部に当接させ、テストの初期段階で前記半導体パッケージの電極が前記貫通孔に嵌入して前記針状部材の一端部に当接し、テストの終期段階で前記半導体パッケージの基板が前記可動ガイドプレートに当接し、

前記導電性針状部材は、その一端側の、前記貫通孔に揷入する小径部と、前記支持孔に収容される大径部と、前記小径部と大径部との間の境界部として形成され、前記貫通孔の下縁に係合して非テスト中の前記可動ガィドプレートを前記固定プレートとの間で挟持する段部とを備えることを特徴とする導電性接触子。