WO2001057471B1 - Capteur visuel a deplacement - Google Patents

Capteur visuel a deplacement

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WO2001057471B1 PCT/JP2001/000656 JP0100656W WO0157471B1 WO 2001057471 B1 WO2001057471 B1 WO 2001057471B1 JP 0100656 W JP0100656 W JP 0100656W WO 0157471 B1 WO0157471 B1 WO 0157471B1
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Tatsuya Matsunaga
Masahiro Kawachi
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Omron Tateisi Electronics Co
Tatsuya Matsunaga
Masahiro Kawachi
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Claims

55
補正書の請求の範囲
[ 2 0 0 1年 7月 11日 （1 1.07. 0 1 ) 国際事務局受理：
出願当初の請求の範囲 66及び 67は取り下げられた；他の請求の範囲は変更なし。 ]
をなす面に対応する計測対象領域を、 基準面の移動に追従させて変位測 定方向へと移動させる、 請求の範囲第 6 0項に記載のビジュアル式変位 センサ。
6 2 . 基準面が移動したか否かの判定は、 基準面に対応して予め設定さ れた計測対象領域を使用して計測された変位が変動したことに基づいて 行われる、 請求の範囲第 6 1項に記載のビジュアル式変位センサ。
6 3 . 設定領域移動手段が、 二次元撮像素子で撮影された画像に基づい て、 計測対象物体上の段差境界線が移動したと判定されたとき、 段差境 界線を挟んでその両脇に段差測定のために設定された一対の計測対象領 域を、 段差境界線の移動に追従させて、 変位測 方向と直交する方向へ と移動させる、 請求の範囲第 6 0項に記載のビジュアル式変位センサ。 6 4 . 段差境界線が移動したか否かの判定は、 ラインビームに沿う計測 変位と規定の変位しきい値との交差点が変位測定方^と直交する方向へ と移動したことに基づいて行われる、 請求の範囲第 6 2項に記載のビジ ユアル式変位センサ。
6 5 . 変位しきい値が、 段差を構成する基準段面の計測値に追従して設 定される、 請求の範囲第 6 4項に記載のビジュアル式変位センサ。
6 6 . (削除）
6 7 . (削除）
補正された用紙 （条約第 19条）
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