WO2001056053A1

WO2001056053A1 - Dispositif electroluminescent a decharge et son procede de fabrication

Info

Publication number: WO2001056053A1
Application number: PCT/JP2001/000485
Authority: WO
Inventors: Hiroyuki Kado; Kanako Miyashita
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date: 2000-01-26
Filing date: 2001-01-25
Publication date: 2001-08-02
Also published as: EP1258899A4; US20030137247A1; DE60144467D1; US6744208B2; KR100723751B1; EP1258899B1; KR20020072291A; TW508610B; EP1258899A1

Description

明細書ガス放電発光装置及びその製造方法

[技術分野]

本発明は、コンピュータのモニタおよびテレビ等の画像表示に用いるプラズマディスプレイ装置や希ガスバリァ放電ランプや無電極放電ランプなどのガス放電発光装置及びその製造方法に関するものである。

[背景技術]

図 1 0は、従来一般的な AC型（交流型）のプラズマディスプレイ装置のパネル部位の構成を示す断面図である。

図 1 0において、 20 1は、前面ガラス基板であり、この前面ガラス基板 20 1上には一対の表示電極線 202が複数対それぞれの電極線が互いに平行となるように形成されている。この表示電極線 202それぞれは、誘電体ガラス層 203によって覆われ、更に、誘電体ガラス層表面は酸化マグネシゥムからなる保護層 204によつて被膜されている。また、 2 1 1は、背面ガラス基板であり、この背面ガラス基板 2 1 1 上にはァドレス電極線 2 1 2が形成され、このアドレス電極線を覆うように可視光反射層 2 1 3が形成されている。そして、可視光反射層の表面には隔壁 2 1 4が前記ァドレス電極線と交互にかつ互いに平行に位置するように形成されている。また、互いに隣合う隔壁同士の間隙には各色の蛍光体層 2 1 5 (赤色蛍光体層 2 1 5 R、緑色蛍光体層 2 1 5 G、青色蛍光体層 2 1 5 B) が交互に設けられている。この各色蛍光体 2 1 5は、放電によって発生する波長の短い真空紫外線（波長 1 47 nm) により励起発光する。

なお、各色の蛍光体としては、以下のものが一般的に用いられている。青色蛍光体： B aMg A 1₁₀O₁₇： E u

緑色蛍光体； Z n ₂S i O, ： Mn又は B aMgA l ₁₂〇₁₉ ： Mn 赤色蛍光体： Y₂B 0₃： E u又は（ Y_XG d ,__x) B 0₃： E u

ここで、前面ガラス基板 20 1 と、表示電極線 202と、誘電体ガラス層 203と、保護層 204とからなるパネル要素を前面パネルと呼び、背面ガラス基板 2 1 1 と、アドレス電極線 2 1 2と、可視光反射層 2 1 3と、隔壁 2 1 4と、蛍光体層 2 1 5とからなるパネル要素を背面パネルと呼ぶ。

そして、前記前面パネルと背面パネルとの間には放電空間 220が形成され、所定の組成（例えば、ヘリウム [H e] とキセノン [X e] とからなる混合ガス系や、ネオン [N e] とキセノン [X e] とからなる混合ガス系など）の希ガス混合ガスからなる放電ガスが所定の圧力（ 1 3. 3 k P a ( l O OT o r r ) 〜80 k P a ( 600 T o r r ) 程度の範囲）に封入されている。

かかるプラズマディスプレイ装置の発光原理は、基本的に蛍光灯と同様であって、電極に電圧を印加してグロ一放電を発生させることにより放電ガスから紫外線を発生させ、その紫外線により蛍光体を励起発光させる。

上記プラズマディスプレイ装置は、具体的には例えば以下のような製造プロセスを経て製造される。

背面ガラス基板上に、銀からなるアドレス電極線を形成し、その上に誘電体ガラスからなる可視光反射層と、所定のピッチにガラス製の隔壁を順次作製する。

そして、隔壁同士の間に形成された溝に、赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体各色の蛍光体を含む各色蛍光体ペーストをそれぞれ配設し、その後所定温度（例えば 500 °C) にて焼成することによって、各色の蛍光体層を形成する。

蛍光体焼成後に、背面ガラス基板の外周部に前面ガラス基板との封着用シール材として、低融点ガラスペーストを塗布し、低融点ガラスぺースト内の樹脂成分等を除去するために所定の温度（例えば 350°C) で仮焼する。

上記のように背面パネルを準備するとともに、前面ガラス基板上に、表示電極線、誘電体ガラス層、及び保護層を順次形成することによって前面パネルを準備する。

このようにして準備した前面パネル及び背面パネル両パネルを、各表示電極線及びアドレス電極線とが互いに直交し、かつ、誘電体ガラス層及び隔壁形成面が対向するように重ね合わせる。この後、所定の温度（例えば 4 5 0 °C ) で加熱することによって両パネルを張り合わせ封着する (封着工程）。

封着工程の後、所定の温度（例えば 3 5 0 °C ) に加熱しながらパネル内を真空排気し（真空排気工程）、終了後に放電ガスを所定の圧力充填封入する（放電ガス封入工程）。

このようにして製造されるガス放電発光装置においては、放電電圧が低い方が消費電力の低減を図る上で望ましいことは言うまでもないが、そのためには製造プロセスを工夫する必要がある。

また、発光特性の向上が求められることも言うまでもないが、それを実現するためには、一つには蛍光体の特性を製造プロセスが進行しても劣化させないようにすることが必要である。そのために、前記封着工程において生じる現象として一般に知られる蛍光体の熱劣化を抑制するよう製造プロセスを工夫することが求められる。

[発明の開示]

そこで、本発明は、放電電圧が低いプラズマディスプレイ装置などのガス放電発光装置及びその製造方法を提供することを第一の目的とする ₍ また、ガス放電発光装置の製造に必要な封着工程を通じても、蛍光体の熱劣化がほとんど発生せず、かつ、放電電圧が低いガス放電発光装置及びその製造する方法を提供することを第二の目的とする。

上記第一目的を達成するために、本発明は、ガス媒体が封入された放電空間が形成され、前記放電空間内におけるガス媒体の放電を利用したガス放電発光装置であって、前記ガス媒体には、少なくとも水蒸気が 0 . 0 1体積％以上、 1体積％以下含まれていることを特徴とする。

これにより、ガス媒体中に含まれる水蒸気が放電時において電子を増幅させるという電子増幅作用を発揮することから、表示電極に印加する放電を生じさせるための電圧（放電電圧）が低減される。つまり、水蒸気は、電子が衝突すると希ガスなどの放電ガスよりも簡単に電子を放出するので、この電子放出の反応が次々にカスケード的に進行し易い。その結果、電子が顕著に増幅されることになる。

このような水蒸気の作用機能が顕著に現われるには、水蒸気含量に最適値が存在する。つまり、 0 . 0 1体積％以上 1体積％以下であることが必要であることが実験的に判明している。 0 . 0 1体積％以上とならなければ水蒸気の有する上記電子増幅作用が顕著に現れず、一方、水蒸気量は多いほど放電電圧を低下させる効果は顕著になるようにも思われるが上限値が 1体積％を超えると逆に放電電圧が上昇し始める。また、低温（氷点下での使用）環境下で使用した場合に、 1体積％を超えると内部空間形成壁面に水滴となって水蒸気が結露し望ましくない。

ここで、前記ガス媒体には、少なくともヘリウム、ネオン、キセノン、アルゴンのうち、少なくとも 1種類の希ガスが含まれるものとすることができる。

ここで、少なくとも放電空間周囲に電極及び蛍光体を備え、前記放電空間内における放電に伴って発生する紫外線あるいは真空紫外線により蛍光体が励起され可視光を発生するものとすることができる。

ここで、前記電極表面が誘電体で覆われているものとすれば、上記のように水蒸気が含まれていてもむき出しの電極に水蒸気が吸着して電極の劣化を防止することができる。電極に水蒸気が吸着した状態で電圧を印加すると、電極の構成材料成分と水分とが反応して電極が劣化する。その結果、例えば、抵抗値が増大するなどする。ここで、少なくとも放電空間周囲に蛍光体を備え、放電空間外部から電界又は磁界を印加し、ガス媒体を無電極放電させ、当該放電に伴って発生する紫外線あるいは真空紫外線により蛍光体が励起され可視光を発生するものとすることもできる。

このように、本発明は、いわゆる無電極ランプなどのガス放電発光装置に適用することも可能であり、この場合にもガス媒体中に存在する水蒸気によって上記同様の作用により放電電圧を低減させることができるここで、前記蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態で封着されたものとすることで、上記第二目的が達成される。

これにより、前記封着工程において蛍光体の熱劣化を抑制することができるからである。

また、第一目的を達成するために、本発明は、第一基板と、蛍光体が配された第二基板とを、内部空間が形成され、かつ、当該内部空間に蛍光体が臨むように重ね合わせた状態で封着する封着工程と、前記内部空間を真空排気する真空排気工程とを有するガス放電発光装置の製造方法であって、前記真空排気工程後に、前記内部空間に水蒸気量が調整された放電ガスを封入する放電ガス封入工程を備えることを特徴とする。これにより、放電ガス中に含まれる水蒸気が放電時において電子を増幅させるという前記した電子増幅作用を発揮することから、表示電極に印加する放電を生じさせるための電圧（放電電圧）が低減される。つまり、水蒸気は、電子が衝突すると簡単に電子を放出するので、この電子放出の反応が次々にカスケード的に進行し易い。その結果、電子が顕著に増幅されることになる。

ここで、前記放電ガス充填工程で充填する放電ガス中の水蒸気含量は、内部空間に充填された状態において、 0 . 0 1体積％以上 1体積％以下となるように調整されているものとすることが望ましい。

ここで、前記封着工程において、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態で封着することで、上記第二目的が達成される。また.. 上記第一目的を達成するために、本発明は、第一基板と、蛍光体が配された第二基板とを、内部空間が形成され、かつ、当該内部空間に蛍光体が臨むように重ね合わせた状態で封着する封着工程と、前記内部空間を真空排気する真空排気工程とを有するガス放電発光装置の製造方法であって、前記封着工程と前記真空排気工程との間に、前記内部空間に予め規定された量の水蒸気を導入する水蒸気導入工程を備えることを特徴とする。

これにより、出来上がったガス放電発光装置の内部空間に水蒸気を所望量残存させることができ、その結果、水蒸気の有する前記した電子増幅作用が発揮されることから、表示電極に印加する放電を生じさせるための電圧（放電電圧）が低減される。つまり、水蒸気は、電子が衝突すると簡単に電子を放出するので、この電子放出の反応が次々にカスケ一ド的に進行し易い。その結果、電子が顕著に増幅されることになる。なお、ここで、「所望量の水蒸気」とは、電子増幅作用が顕著に現われる程度の量である。

ここで、前記水蒸気導入工程で導入する水蒸気の量は、内部空間において常温での水蒸気分圧が 1 . 3 kPa ( 1 O Torr) 以上となるよう調整されていることが望ましい。

少なくとも水蒸気分圧が 1 . 3 kPa ( 1 O Torr) となるよう調整されていることによって、水蒸気を効率良く装置内に残存させられ、前記した水蒸気の電子増幅作用がより顕著となるからである。

ここで、前記水蒸気導入工程は、ガス媒体に水蒸気を含有させて水蒸気を導入するものとすることができる。

ここで、前記水蒸気導入工程における水蒸気の導入は、ガス放電発光装置構成要素を 1 0 0 °C以上、 3 5 0 °C以下に加熱した状態で行なうものとすることができる。

これにより、出来上がったガス放電発光装置の内部空間に水蒸気を効率良く残存させることができ、放電電圧低減効果も向上させることが容易となる。しかも、この温度範囲では水蒸気存在下で蛍光体の熱劣化は生じ難い。

ここで、前記封着工程において、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態で封着することで、上記第二目的が達成される。

また、上記第一目的を達成するために、本発明は、第一基板と、蛍光体が配された第二基板とを、内部空間が形成され、かつ、当該内部空間に蛍光体が臨むように重ね合わせた状態で封着する封着工程と、前記内部空間を真空排気する真空排気工程とを有するガス放電発光装置の製造方法であって、前記封着工程は、ガス放電発光装置構成要素をピーク温度まで加熱後の温度降下時に、前記内部空間に予め規定された量の水蒸気を導入する水蒸気導入工程を備えることを特徴とする。

これにより、出来上がったガス放電発光装置の内部空間に水蒸気を所望量残存させることができ、その結果、水蒸気の有する前記した電子増幅作用が発揮されることから、表示電極に印加する放電を生じさせるための電圧（放電電圧）が低減される。つまり、水蒸気は、電子が衝突すると簡単に電子を放出するので、この電子放出の反応が次々にカスケ一ド的に進行し易い。その結果、電子が顕著に増幅されることになる。しかも、ピーク温度から温度降下時に水蒸気を内部空間に導入することから、水蒸気存在下での蛍光体の熱劣化は生じ難い。なお、この水蒸気を導入する温度は水蒸気と蛍光体との反応温度未満とすることがより望ましい。

ここで、前記水蒸気導入工程における水蒸気の導入は、 3 5 0 °C以下、 1 0 0 °c以上の温度に降下時に行なうことが望ましい。

これにより、出来上がったガス放電発光装置の内部空間に水蒸気を効率良く残存させることができ、放電電圧低減効果も向上させることが容易となる。しかも、この温度範囲では水蒸気存在下で蛍光体の熱劣化は殆ど生じず、もっとも劣化し易い青色蛍光体の熱劣化もほとんど生じない。ここで、前記水蒸気導入工程で導入する水蒸気の量は、内部空間において常温での水蒸気分圧が 1 . 3 kPa ( 1 0 Torr) 以上となるよう調整されているものとすることが望ましい。

少なくとも水蒸気分圧が 1 . 3 kPa ( 1 0 Torr) となるよう調整されていることによって、水蒸気を効率良く装置内に残存させられ、前記した水蒸気の電子増幅作用がより顕著となるからである。

前記水蒸気導入工程は、ガス媒体に水蒸気を含有させて水蒸気を導入するものとすることができる。

ここで、前記封着工程は、少なくともピーク温度に加熱するまでは、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態にて封着を行なうことによって、上記第二目的を達成することができる。

なお、上記乾燥ガスとしては、酸素を含むガスを用いることが望ましい。 [図面の簡単な説明]

図 1 ；実施の形態に共通の交流面放電型プラズマディスプレイ装置のパネル部位の構成を示す要部断面図である。

図 2 ；前記パネルに回路プロックを実装した装置の構成図プロック図である。

図 3 ：青色蛍光体 B a M g A 1 ₁₀〇₁₇： E uを、 4 5 0 °Cで 2 0分で焼成したときにおける、空気の水蒸気分圧を変えた場合の、相対発光強度の水蒸気分圧依存性の測定結果を示す。

図 4 ；青色蛍光体 B a M g A 1 ₁₀O ₁₇： E uを、 4 5 0 °Cで 2 0分で焼成したときにおける、空気の水蒸気分圧を変えた場合の、色度座標 yの水蒸気分圧依存性の測定結果を示す。

図 5 ；封着工程におけるパネル内に送る乾燥空気の水蒸気分圧を変えて作製したときの、青色蛍光体の発光強度及び放電電圧を示す.

図 6 ；実施形態 2における水蒸気導入方法を説明する図である。図 7 ；パブリング装置を通じて水蒸気を含む空気中で青色蛍光体を焼成したときの発光強度の加熱温度依存性を示す。

図 8 ；実施形態 3における水蒸気導入方法を説明する図である。

図 9 ；実施形態 3における加熱炉の加熱プロフアイルを示す。

図 1 0 ；従来例の交流面放電型プラズマディスプレイ装置のパネル部位の構成を示す要部断面図である。

表 1 ：実施例 1及び比較例のパネルの各種特性を示す。

表 2 ；実施例 2及び比較例のパネルの各種特性を示す。 [発明を実施するための最良の形態]

以下に図面を参照にしながら本発明に係るプラズマディスプレイ装置及びその製造方法について具体的に説明する。

〔プラズマディスプレイ装置の全体構成及び製法について〕

図 1 は、下記各実施の形態に共通の交流面放電型プラズマディスプレィ装置のパネル部位（以下、 P D P (プラズマディスプレイパネルの略）という。）の構成を示す要部断面図であり、図 2は、このパネルに回路ブロックを実装した装置の構成図プロック図である。

プラズマディスプレイ装置は、各電極にパルス状の電圧を印加することで放電を放電空間内で生じさせ、放電に伴って背面パネル側で発生した各色の可視光を前面パネルの主表面から透過させるものである。

このために、 P D Pは、前面ガラス基板 1 1上に複数の表示電極線 1 2 (走査電極線、維持電極線の対からなる）、誘電体層 1 3、保護層 1 4 が配されてなる前面パネル 1 0と、背面ガラス基板 2 1上に複数のァドレス電極線 2 2、誘電体層（可視光反射層） 2 3とが配された背面パネル 2 0とが、表示電極線 1 2とアドレス電極線 2 2とを対向させた状態で間隔をおいて互いに平行に配されて構成されている。

P D Pの中央部は画像を表示する領域であって、ここでは前面パネル 1 0及び背面パネル 2 0間の間隙は、ストライプ状の隔壁 2 4複数本で仕切られることによって複数の放電空間 3 0が形成され、当該放電空間 3 0内には放電ガスが封入されている。また放電空間 3 0内において、背面パネル 2 0側には、複数の蛍光体層 2 5が配設されている。この蛍光体層 2 5は、赤（2 5 R ) , 緑（2 5 G ) , 青 ( 2 5 B ) の順で繰返し並べられている。

表示電極線 1 2及びァドレス電極線 2 2は、共にストライプ状であつて、表示電極線 1 2は隔壁 2 4と直交する方向に、アドレス電極線 2 2 は隔壁 2 4と平行に配されている。

そして、表示電極線 1 2とアドレス電極線 2 が交差するところに、赤，緑，青の各色を発光するセルが形成されたパネル構成となっている。誘電体層 1 3は、前面ガラス基板 1 1 の表示電極線 1 2が配された表面全体を覆って配設された誘電物質からなる層であって、一般的に、鉛系低融点ガラスが材料として用いられているが、ビスマス系低融点ガラス、或は鉛系低融点ガラスとビスマス系低融点ガラスの積層物で形成しても良い。

保護層 1 4は、酸化マグネシウム（M g O ) からなる薄層であって、誘電体層 1 3の表面全体を覆っている。誘電体層 2 3は、可視光反射層としての働きも兼ねるように、 T i 〇₂粒子が混合されている。

隔壁 2 4は、ガラス材料からなり、背面パネル 2 0の誘電体層 2 3の表面上に突設されている。

一方、 P D Pの外周部では、前面パネル 1 0及び背面パネル 2 0が封着材によつて封着されている。

隔壁 2 4の頂部と前面パネル 1 0とは、ほぼ全体的に接触しているか接合材によって接合された状態になっている。

かかる構成の P D Pに図 2 に示すように、各ドライバ及び駆動制御回路が接続されて、詳しくは省略するがいわゆるフィールド内時分割表示方法によつて画像表示が行なわれる。

このような P D Pを作製する方法の一例について以下に説明する。前面パネルの作製；

前面ガラス基板 1 1上に、表示電極線 1 2を形成し、その上を覆うように誘電体層 1 3を形成し、更に誘電体層 1 3の表面に、真空蒸着法，電子ビーム蒸着法，あるいは C V D法で、酸化マグネシウム（M g O ) からなる保護層 1 4を形成することによつて前面パネルを作製する。表示電極線 1 2は、銀電極用のペーストをスクリーン印刷で塗布した後に焼成することによつて形成することができる。この他に、 I T O (ィンジゥム · スズ ·ォキサイド）や S n〇₂で透明電極を形成した後、その上に上記のように銀電極を形成したり、フォトリソグラフィ一法で C r — C u— C r電極を形成してもよい。

誘電体層 1 3は、鉛系のガラス材料（その組成は、例えば、酸化鉛 [ P b O ] 7 0重量％, 酸化硼素 [ B ₂0₃] 1 5重量％, 酸化硅素 [ S i 0₂] 1 5重量％。）を含むペーストをスクリーン印刷法で塗布し焼成することによつて形成することができる。

背面パネルの作製：

まず、背面ガラス基板 2 1上に、表示電極線 1 2と同様にスクリーン印刷法を用いて、アドレス電極線 2 2を形成する。

次に、 T i 〇₂粒子が混合されたガラス材料をスクリーン印刷法を用いて塗布し焼成することによつて誘電体層 2 3を形成する。

次に隔壁 2 4を形成する。隔壁 2 4は、スクリーン印刷法で隔壁用ガラスペ一ストを重ね塗布した後、焼成することによつて形成することができる。この他に、隔壁用ガラスペーストを誘電体層 2 3上の全面に塗布した後、隔壁を形成しない部分をサンドプラスト法で削りとる方法を用いても隔壁 2 4を形成することができる。

そして、隔壁 2 4の間の溝に蛍光体層 2 5を形成する。この蛍光体層

2 5は、一般的には各色蛍光体粒子を含む蛍光体ペーストをスクリーン印刷法で塗布し焼成することによって形成されるが、蛍光体ィンキをノズルから連続的に噴射しながら溝に沿って走査する方法で塗布し、塗布後に蛍光体ィンキに含まれている溶剤やバインダーを除去するため焼成することによって形成することもできる。この蛍光体インキは、各色蛍光体粒子が、バインダー、溶剤、分散剤などの混合物に分散され、適度な粘度に調整されたものである。

蛍光体粒子の具体例としては、

青色蛍光体： B a M g A 1₁₍₎0₁₇： E u

緑色蛍光体： B a A 1₁₂0₁₉： Mnあるいは Z n₂S i 〇₄： Mn 赤色蛍光体：（Y_xG d_1-x) B〇₃： E uあるいは Y B〇₃： E u を挙げることができる。

本実施形態では、 40インチクラスの VGAやハイビジョンテレビに合わせて、隔壁の高さは 0. 06〜0. 1 5 mm、隔壁のピッチは 0. 1 3〜 0. 36 mmとする。

封着工程 · 真空排気工程 · 放電ガス封入工程：

次に、このように作製した前面パネル 1 0と背面パネル 20とを封着する。

この封着工程においては、前面パネル 1 0及び背面パネル 20を、外周部に封着材を介挿させて重ね合わせて外囲器を形成し、当該封着材で封着を行う。このとき、必要に応じて背面パネル 20の隔壁 24の頂部に接合材を塗布しておいても構わない。

封着材としては、熱などのエネルギーを外部から加えることによって軟化するもの、通常は低融点ガラスを用い、封着材を封着材が軟化する程度の温度（封着温度）までに加熱して軟化させた後、冷却することによって硬化させ封着を行う。

封着工程が終われば、外囲器の内部に吸着されている不純物ガスなどを追い出すために内部空間を高真空（例えば、 1. 3 Χ 1 (Τ"ΜΡ 3 ) にして排気する（真空排気工程）。

その後、外囲器の内部に放電ガス（例えば H e _X e系. N e _X e 系，八 1"ー 6系の希ガス）を所定の圧力で封入する（放電ガス封入ェ程）ことによって P D Pを作製する。

なお、実施形態では、放電ガスにおける X eの含有量を 5体積％程度とし、封入圧力は、従来から一般的な 1 3. 3 k P a ( l O O T o r r) 〜80 k P a ( 600 T o r r ) の範囲に設定する。

以下に、各実施形態について説明する。

く実施の形態 1 >

本実施形態においては封着工程において、水蒸気分圧が 0. 1 3 k P a ( l T o r r ) 以下に調整された空気、希ガスなどの乾燥ガスをパネルの内部空間に流通させながら封着を行う。

通常、前面パネルや背面パネルには、水蒸気などのガスが吸着されているが、これらのパネルを加熱昇温すると、吸着されているガスが放出される。

乾燥ガスを内部空間に流通させないで封着させる方法では、封着工程では、前面パネルと背面パネルとを室温で重ね合わせてから加熱昇温して封着するので、この封着工程時に、前面パネルと背面パネルに吸着されているガスが放出される。封着工程開始時まで、即ち、大気中で室温に放置された間に空気中のガスが吸着されるので、封着工程において加熱によって各パネル表面からガスの放出が始まる。そして、放出されたガスが狭い内部空間内に閉じ込められる。このとき（加熱時）、内部空間における水蒸気分圧は、 20 T o r r以上になることが測定の結果わかつている。

そのため、内部空間に臨んでいる蛍光体層がガスの影響、特に水蒸気の影響で熱劣化しやすい。

このことは以下の測定データからも明らかである。図 3及び図 4に青色蛍光体 B a Mg A 1₁₀O₁₇： E uを、 450 °Cで 20分で焼成したときにおける、空気の水蒸気分圧を変えた場合の、相対発光強度及び色度座標 yの水蒸気分圧依存性の測定結果をそれぞれ示す。相対発光強度は、焼成前の青色蛍光体の発光強度を 1 00とする。また、焼成前の青色蛍光体の色度座標 yは 0.052であった。なお、水蒸気分圧は室温（2 5 °C) での値である。

水蒸気分圧が 0 P a (0 T 0 r r ) 付近では、加熱による発光強度の熱劣化及び色度変化はほとんど見られないが、水蒸気分圧の増加とともに相対発光強度は弱くなり、色度座標 yは大きくなつた。このように青色蛍光体の色度座標 yが大きくなるとパネルの色再現域が狭まるという問題ゃパネルの色温度が低くなるという問題が発生する。

蛍光体が加熱により発光強度が劣化したり、色度座標 yが大きくなる原因としては、付活剤 E u²⁺ィオンが加熱により E u³⁺イオンになるためとする考えが有力であつたが、上記のような水蒸気分圧依存性の測定結果から、これらの劣化は内部空間に存在する酸素ガスと付活剤とが反応する酸化反応ではなく、内部空間に存在する水蒸気に起因した熱劣化と考えられる。即ち、雰囲気中の水蒸気分圧を減少させることによって、蛍光体の加熱に伴う熱劣化を防止することが可能であるということが分かる。

本実施形態ではかかる知見に基づいて封着工程においては、上記のように水蒸気分圧が 0. 1 3 k P a ( l T o r r) 以下に調整された空気、希ガスなどの乾燥ガスを蛍光体の臨む内部空間（放電空間）に流通させながら封着を行うこととしている。このような封着方法によって、封着時の蛍光体の熱劣化を防止することができる。

P D Pの製造工程の中で、前面パネルと背面パネルとを重ね合わせて封着する封着工程では、隔壁等に仕切られた狭い空間領域にガスが閉じ込められるので、加熱によって前面パネルの保護層（Mg〇層）や背面パネルの蛍光体層あるいは封着材から放出される水蒸気を含むガスの影響を大きく受けるものと考えられ、封着工程において、パネルの蛍光体の臨む部位における内部空間を乾燥雰囲気とすることは重要である。なお、 P D Pパネルに多く用いられる B aMg A 1₁₀O₁₇ : E u、 Z n ₂S i 0₄ : Mnや（Y、 G d) B 0₃： E u等の酸化物系の蛍光体は、無酸素の雰囲気中で加熱すると多少酸素欠陥が形成され発光効率が低下する場合があるので、封着工程で用いる乾燥ガスには少なくとも酸素が含まれていることが望ましい。このことは以下の実施形態においても同様である。

また、本実施形態では、放電ガス封入工程において、パネル内に封入する放電ガスとして通常よりも水蒸気リツチなガスを用いる。

蛍光体の熱劣化を防止する観点に立てば、封着工程において、水蒸気をあまり含まない乾燥ガスを流通させながら加熱することが望ましいことは上述の通りであるが、放電電圧に着目すると、封着時の雰囲気ガスを乾燥雰囲気とするほど、つまり、蛍光体の熱劣化を防止する効果が高いほど、放電電圧が高くなる傾向がある。

このことは以下の測定データからも明らかである。図 5に封着工程におけるパネル内に送る乾燥空気の水蒸気分圧を変えて作製したときの、青色蛍光体の発光強度及び放電電圧を示す。ここで放電電圧とは、 P D Pを白色表示で全面点灯させるのに必要な最小電圧とする。

この図からも明らかなように、蛍光体の発光強度が低いほど、つまり、封着時のパネル内の残留水分を多くするほど、放電電圧を低下させられることが分かる。

このような知見に基づいて、本実施形態では、放電ガスとして、封入された状態で H e—X e系， N e _ X e系， A r— X e系等の混合ガス中に通常の放電ガスよりも水蒸気量がリッチな 0 . 0 1体積％〜 1体積％の量、水蒸気を含有した放電ガスを用いている。

このような水蒸気量に規定することによって、放電電圧の上昇を抑えることが可能となる。

このように水蒸気を放電ガスに含有させることによつて放電電圧を下げることができるのは水蒸気の有する電子増幅作用に基づくと考えられる。つまり、水蒸気は、電子が衝突すると通常のガスよりも簡単に電子を放出するので、この電子放出の反応が次々にカスケード的に進行し易い。その結果、電子が顕著に増幅されることになる。その結果、放電電圧が低下する。

もっとも、従来一般的な P D Pにおいても放電ガス中に水蒸気が含有されていることは否定することができないが、本実施形態における含有量は従来の量よりも多いことから、水蒸気による電子増幅作用は顕著に現われ、放電電圧も従来のものよりも低い（無論、同じ発光条件とした場合）。

また、従来、水蒸気量を制御することによって放電電圧を下げようとする考えは存在しない。一方、本実施形態では、放電ガスの水蒸気分圧を制御するのであるが、これも比較的容易に行なえる。つまり、封着工程において、水蒸気量の制御された乾燥ガスを流通させながら加熱を行なうので、封着後のパネル内の水蒸気残存量は極めて少ないことによつて内部の乾燥度は高い。このように乾燥状態のところに水蒸気を導入するのであるから、パネル完成後における放電ガス中の水蒸気量は制御し易いと言える。すなわち、ガス封入前のパネル内の乾燥度が極めて高いので、パネル内に封入する放電ガス中の水蒸気分圧と封入状態における水蒸気分圧とをほぼ同一とすることができ、封入する放電ガスのガス組成を調整することによつてパネル内の水蒸気分圧を所定の値に制御する事が容易となる。

「実施例 1」

上記実施形態等に基づき作製条件を適宜変えて複数のパネルを作製した。下記表 1 に各パネルの特性を示す。【表 1】

パネル 1 〜 5は、上記実施形態に基づいて作製した実施例に係る p _D Pであり、放電ガスとして水蒸気を含むガスを導入し、それぞれのパネル内の水蒸気含有量を変えたものである。そのうちパネル 1〜₄はパネル内を乾燥雰囲気にしながら封着したパネル、パネル 5は、乾燥雰囲気としないで封着したパネルである。

パネル 6は、パネル内を乾燥雰囲気にしながら封着したパネルに、水蒸気をほとんど含まない従来の放電ガス（N eと X eとの混合ガスで、水蒸気を全く含まないとはいえないが、ほとんどゼロに等しい。）をパネル内に導入したものであり（比較例）、パネル 7は、パネル内を乾燥雰囲気とせず、水蒸気をほとんど含まない従来の放電ガスをパネル内に導入したものである（比較例）。

パネル内の放電ガスの水蒸気含有量は、パネル点灯評価後に、パネルを破壊してパネル内の放電ガスを取り出し、四重極質量分析計により測定した。パネル 6及び 7においてもパネル内部で吸着していた水等が、一部脱離して放電ガスに含有されていた（ただし、 0 . 0 1体積％未満） c なお、パネルの大きさは 4 2 " インチである。

前記各パネルにおいて、放電ガス以外のパネル構成はすべて同じ構成とし、蛍光体膜厚は 3 0 w mである。放電ガスは N e ( 9 5体積％) — X e ( 5体積％) の放電ガス或いは N e ( 9 5体積％) - X e ( 5体積％) に水蒸気を任意の値で含有させた放電ガスを用い、封入圧力はすべて 6 6 . 5 k P a ( 5 0 0 T o r r ) とした。

パネルを点灯させて評価した特性としては、青色の発光強度（輝度を色度座標 yで除した値）と色度座標 y、及び放電電圧（白色表示するときに、パネル全面が点灯する最小電圧）を測定した。なお、青色の発光強度は比較例のパネル 7を 1 0 0とした相対発光強度で示している。放電電圧の特性評価比較より、すべてのパネルにおいて水蒸気を導入することで、従来パネル（パネル 6及び 7 ) よりも、放電電圧を下げることが可能となっている。放電電圧は水蒸気の含有量を多くするほど低下しているが、一方、あまり高くなるとパネル内で結露を起こし、放電異常が起こるなど、放電が不安定となる。従って、パネル内の放電ガスの水蒸気含量としては、 0 . 0 1体積％以上、 1体積％以下が好ましい。また、封着を乾燥雰囲気にて行なったパネルについては、蛍光体の熱劣化が防止された結果、発光強度、色度座標 yは実施例及び従来例ともに高い特性を示していたが（パネル 1〜4、パネル 6)、封着を乾燥雰囲気にて行なわなかったパネルについては、蛍光体の熱劣化が防止されない結果、発光強度、色度座標 yは実施例及び従来例ともに低い特性を示していたが（パネル 5、パネル 7)。

つまり、封着を乾燥雰囲気にて行ない、かつ、水蒸気を所定量含む放電ガスを導入することによって、蛍光体特性の改善と放電電圧改善の両方が実現される。

く実施の形態 2>

本実施形態においては封着工程において、上記同様に水蒸気分圧が 0. 1 3 k P a ( l T o r r ) 以下に調整された空気、希ガスなどの乾燥ガスを流通させながら封着を行う。これによつて、封着時の蛍光体の熱劣化を防止することができる。

また、本実施形態の製造工程では、放電ガス封入工程時に水蒸気を導入するかわりに、放電電圧を下げるために封着工程と真空排気工程との間にパネル内に水蒸気を所定量含んだ空気や希ガスなどのガス媒体を導入する工程を備えている。

かかる工程は以下のような装置よつて行われる。図 6は、当該工程で用いる製造装置の構成を示す平面図である。

まず、封着が完了したパネルを加熱炉 1 0 1 内に配置する。このとき背面パネルには、排気管を兼ねたガラス管 1 02a、 1 02 bを設ける。ガラス管 1 02a からは、乾燥空気ボンべ 1 03 a、 1 03 b, 流量コントローラ 1 04a、 l 04 b及び水バブリング装置 1 05により水蒸気分圧が調整された空気がパネル内に導入され、ガラス管 1 02 bを通じて排出される。

このパネルを加熱炉により、水蒸気を含む空気をパネル内に流した状態で一定の温度まで加熱した。これによつて、パネル内に水蒸気が残存することになるので、上記した水蒸気の電子増幅作用が得られ放電電圧は低下する。水蒸気導入は、パネル内の水蒸気残存量が上記実施形態 1 で説明した 0 . 0 1体積％〜 1体積％の範囲となるような量で行なうことが望ましい。そしてそのためには、封着工程の後に、一旦パネル内を真空排気する工程を経ても、パネル内に水蒸気がこの程度残るような量に規定する必要がある。このため、パネル内に導入する空気中の水蒸気分圧（常温下）は、パネル内において 1 . 3 k P a ( 1 0 T o r r ) 以上とすることで放電電圧の低下が顕著なものとなった。

放電電圧は、パネルを加熱せず水蒸気を含む空気をパネル内に流すだけでも低下したが、パネルを 1 0 o °c以上に加熱することで顕著となり、高い温度で加熱するほど放電電圧の低下が大きくなる傾向であった。これはより高い温度で加熱する方が、水蒸気の残存量を増やすことができるからと考えられる。しかし、一方で、加熱温度が高すぎると青色蛍光体と水蒸気とが反応し、蛍光体が劣化する。図 7にパブリング装置を通じて水蒸気を含む空気中で青色蛍光体を焼成したときの発光強度の加熱温度依存性を示す。この図から分かるように、この工程では、青色蛍光体の劣化が顕著とならないように 3 5 0 °C以下で加熱することが好ましい。

なお、上記では、ガラス管を通じて強制的にパネル内に水蒸気を導入したが、パネルの周囲の雰囲気（加熱炉内の雰囲気）を、水蒸気を含むガス雰囲気とすることによつても効果があった。これはパネルの周囲の雰囲気中の水蒸気がガラス管を通じてパネル内のガスと自然置換し、パネル内部に入るためと考えられる。ただしこの場合、十分に置換させるために、強制的にパネル内に水蒸気を導入する場合に比較して時間が長く必要である。

〈実施の形態 3 >

本実施形態においては封着工程において、上記同様に水蒸気分圧が 0 . 1 3 k P a ( l T o r r ) 以下に調整された空気、希ガスなどの乾燥ガスを流通させながら封着を行う。これによつて、封着時の蛍光体の熱劣化を防止することができる。

また、本実施形態の製造工程では、放電ガス封入工程時に水蒸気を導入するかわりに、放電電圧を下げるために封着工程途中からパネル内に水蒸気を所定量含んだ空気や希ガスなどのガス媒体を導入する工程を備えている。

かかる工程は以下のような装置よつて行われる。図 8は、当該工程で用いる製造装置の構成を示す平面図である。

まず、封着前の前面パネル及び背面パネル 2枚を重ね合わせて加熱炉 1 1 1 内に配置する。このとき背面パネルには、排気管を兼ねたガラス管 1 1 2 a、 1 1 2 bを設ける。ガラス管 1 1 2 aには、乾燥空気ボンべ 1 1 3 a , 1 1 3 b、流量コントローラ 1 1 4 a、 1 1 4 b、バルブ 1 1 5 a、 1 1 5 b及び水パブリング装置 1 1 6が接続されており、バルブ 1 1 3 a、 1 1 3 bの切り替えで、乾燥空気あるいは水蒸気分圧が調整された空気がパネル内に導入され、ガラス管 1 1 2 bを通じて排出される。つまり、この装置ではパネル内への乾燥ガスの導入と水蒸気を含有したガスの導入とを、同じ加熱炉内に配置したままで、バルブを切り替えることで連続的に行なえ、封着から水蒸気導入までの工程を連続的に実施することができる。

図 9に、上記製造装置における加熱炉の加熱プロファイルを示す。ここで、加熱開始時（図中 A ) からパネル内に乾燥空気を導入し、加熱ピーク温度（図中 B ) を過ぎ、温度降下途中（図中 C ) まで乾燥空気を流し続けることで、封着時の蛍光体の熱劣化を防止する。その後、温度降下途中（図中 C ) からは、バルブによりガス流路を切り替えて、水パブリング装置 1 1 6を通じて水蒸気を含む空気を、封着終了時までパネル内に導入した。

水蒸気を含む空気を、パネル内に導入するタイミング（図中 Cの時間帯）は、上記実施形態と同様に 1 0 0 °C以上 3 5 0 °C以下の温度に降下した時点とすることが望ましい。

また、水蒸気導入は、パネル内の水蒸気残存量が上記実施形態 1 で説明した 0 . 0 1体積％〜 1体積％の範囲となるような量で行なうことが望ましい。そしてそのためには、封着工程の後に、一旦パネル内を真空排気する工程を経ても、パネル内に水蒸気がこの程度残るような量に規定する必要がある。このため、パネル内に導入する空気中の水蒸気分圧 (常温下）は、パネル内において 1 . 3 k P a ( 1 0 T o r r ) 以上とすることで放電電圧の低下が顕著なものとなった。

なお、上記では、ガラス管を通じて強制的にパネル内に水蒸気を導入したが、パネルの周囲の雰囲気（加熱炉内の雰囲気）を、温度降下途中 (図中 C ) で水蒸気を含むガス雰囲気とすることによっても効果があつた。これはパネルの周囲の雰囲気中の水蒸気がガラス管を通じてパネル内のガスと自然置換し、パネル内部に入るためと考えられる。ただしこの場合、十分に置換させるために、強制的にパネル内に水蒸気を導入する場合に比較して時間が長く必要である。

「実施例 2」

上記実施形態 2、 3等に基づき作製条件を適宜変えて複数のパネルを作製した。下記表 2に各パネルの特性を示す。

【表 2 】

パネル 1 1 〜 1 4は、上記実施形態 2に基づいて作製した実施例に係る P D Pであり、封着工程後に、内部空間に水蒸気を導入した後のパネル加熱温度を変えて作製したものである。

パネル 1 5〜 1 7は、上記実施形態 3に基づいて作製した実施例に係る P D Pであり、パネル内に導入するガスを、乾燥ガスから水蒸気を含むガスに切り替える温度（図 9における Cで示す時間帯）を変えて作製したものである。

更に、パネル 1 8は、上記実施形態 3において、水蒸気を含む空気をパネル内に導入せずに、封着開始から終了時までパネル内に乾燥空気を流したパネルであり（比較例）、パネル 1 9は、封着時に乾燥空気を導入せずしかもその後水蒸気を導入することもなく作製された従来もっとも一般的なものである（比較例）。

なお、パネルは 4 2 " サイズで、パネル内に導入した水蒸気を含むガスは、水蒸気分圧が 1 . 6 k P a ( 1 2 T o r r ) の空気とし、封着ピーク温度（図 9中 B) は 4 5 0 °Cとしこれを 2 0分程度保持した。

前記各パネルにおいて、パネル構成はすべて同じ構成とし、蛍光体膜厚は 3 0 mである。放電ガスは N e ( 9 5体積％) — X e ( 5体積％) の放電ガスを用い、封入圧力はすべて 6 6 . 5 k P a ( 5 0 0 T o r r ) とした。

パネルを点灯させて評価した特性としては、青色の発光強度（輝度を色度座標 yで除した値）と色度座標 y、及び放電電圧（白色表示するときに、パネル全面が点灯する最小電圧）を測定した。なお、青色の発光強度は比較例のパネル 1 9を 1 0 0とした相対発光強度で示している。放電電圧の特性評価比較より、すべてのパネルにおいて水蒸気を導入することで、従来パネル（パネル 1 8及び 1 9 ) よりも、放電電圧を下げることが可能となっている。放電電圧は水蒸気を導入したときの温度が高いほど低下しているが、一方、あまり高くなり蛍光体との反応温度を超えると蛍光体と反応し蛍光体の発光特性を劣化させる。パネル 1 4、 1 5のデータは、このぎりぎりのところでの加熱温度を表しており、つまり、水蒸気を含んだガスを導入するタイミングは蛍光体と水蒸気とが反応しない 3 5 0 °C以下の温度が好ましいと言える。

なお、放電電圧は、このように水蒸気を導入したときの温度が高いほど低下する理由としては、温度が高いほど、水蒸気と M g 0とが反応し、その後の排気工程を経た後でもパネル内に残存し易くなるからと考えられる。そして、 M g〇と反応した水蒸気は、エージング工程（放電特性を安定化させる処理）等の放電によつて放電ガス中に水蒸気となつて残ることになる。

また、封着を乾燥雰囲気にて行なったパネルについては、蛍光体の熱劣化が防止され結果、発光強度、色度座標 yは実施例及び従来例ともに高い特性を示していたが（パネル 1 1 〜 1 7、パネル 1 8 )、封着を乾燥雰囲気にて行なわなかったパネル（パネル 1 9 ) については、蛍光体の熱劣化が防止されない結果、発光強度、色度座標 yは実施例及び従来例ともに低い特性を示していた。

つまり、封着を乾燥雰囲気にて行ない、かつ、水蒸気を所定量導入することによって、蛍光体特性の改善と放電電圧改善の両方が実現される。最後に上記実施形態は、面放電型の P D Pについて説明したが対向放電型の P D Pでも同様に適用可能である。

また、上記のように放電ガス中に水蒸気を含有させることによって、放電電圧を低減させるという本発明は、プラズマディスプレイパネル装置のみならず、希ガスバリァ放電ランプや無電極放電ランプなどガスを放電させることによつて発光を生じさせる発光装置にも同様に適用することができる。

[産業上の利用可能性]

本発明は、テレビ、コンピュータのモニタ等の画像表示として用いられるプラズマディスプレイパネル装置等の製造に利用できる。

Claims

請求の範囲

1 ガス媒体が封入された放電空間が形成され、前記放電空間内におけるガス媒体の放電を利用したガス放電発光装置であって、

前記ガス媒体には、少なくとも水蒸気が 0 . 0 1体積％以上、 1体積％以下含まれていることを特徴とするガス放電発光装置。

2 前記ガス媒体には、少なくともヘリウム、ネオン、キセノン、ァルゴンのうち、少なくとも 1種類の希ガスが含まれることを特徴とする請求の範囲 1 に記載のガス放電発光装置。

3 少なくとも放電空間周囲に電極及び蛍光体を備え、前記放電空間内における放電に伴って発生する紫外線あるいは真空紫外線により蛍光体が励起され可視光を発生することを特徴とする請求の範囲 1又は 2に記載のガス放電発光装置。

4 前記電極表面が誘電体で覆われていることを特徴とする請求の範囲 3に記載のガス放電発光装置。 5 少なくとも放電空間周囲に蛍光体を備え、放電空間外部から電界又は磁界を印加し、ガス媒体を無電極放電させ、当該放電に伴って発生する紫外線あるいは真空紫外線により蛍光体が励起され可視光を発生することを特徴とする請求の範囲 1又は 2に記載のガス放電発光装置。 6 前記蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態で封着されたことを特徴とする請求の範囲 3に記載のガス放電発光装置。

7 前記蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態で封着されたことを特徴とする請求の範囲 4に記載のガス放電発光装置。

8 前記蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態で封着されたことを特徴とする請求の範囲 5に記載のガス放電発光装置。

9 第一基板と、蛍光体が配された第二基板とを、内部空間が形成され、かつ、当該内部空間に蛍光体が臨むように重ね合わせた状態で封着する封着工程と、前記内部空間を真空排気する真空排気工程とを有するガス放電発光装置の製造方法であって、

前記真空排気工程後に、前記内部空間に水蒸気量が調整された放電ガスを封入する放電ガス封入工程を備えることをガス放電発光装置の製造方法。

1 0 前記放電ガス封入工程で封入する放電ガス中の水蒸気含量は、内部空間に充填された状態において、 0 . 0 1体積％以上 1体積％以下となるように調整されていることを特徴とする請求の範囲 9に記載のガス放電発光装置の製造方法。

1 1 前記封着工程においては、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態で封着することを特徴とする請求の範囲 1 0に記載のガス放電発光装置の製造方法。

1 2 第一基板と、蛍光体が配された第二基板とを、内部空間が形成され、かつ、当該内部空間に蛍光体が臨むように重ね合わせた状態で封着する封着工程と、前記内部空間を真空排気する真空排気工程とを有するガス放電発光装置の製造方法であって、

前記封着工程と前記真空排気工程との間に、前記内部空間に予め規定された量の水蒸気を導入する水蒸気導入工程を備えることをガス放電発光装置の製造方法。

1 3 前記水蒸気導入工程で導入する水蒸気の量は、内部空間内において常温での水蒸気分圧が 1 . 3 kPa ( 1 O Torr) 以上となるよう調整されていることを特徴とする請求の範囲 1 2に記載のガス放電発光装置の製造方法。

1 4 前記水蒸気導入工程は、ガス媒体に水蒸気を含有させて水蒸気を導入することを特徴とする請求の範囲 1 2又は 1 3に記載のガス放電発光装置の製造方法。

1 5 前記水蒸気導入工程における水蒸気の導入は、ガス放電発光装置構成要素を 1 0 0 °C以上、 3 5 0 °C以下に加熱した状態で行なうことを特徴とする請求の範囲 1 2又は 1 3に記載のガス放電発光装置の製造方法 c

1 6 前記水蒸気導入工程における水蒸気の導入は、ガス放電発光装置構成要素を 1 0 0 °C以上、 3 5 0で以下に加熱した状態で行なうことを特徴とする請求の範囲 1 4に記載のガス放電発光装置の製造方法。 1 7 前記封着工程においては、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態で封着することを特徴とする請求の範囲 1 2又は 1 3に記載のガス放電発光装置の製造方法。

1 8 前記封着工程においては、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態で封着することを特徴とする請求の範囲 1 4に記載のガス放電発光装置の製造方法。

1 9 前記封着工程においては、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態で封着することを特徴とする請求の範囲 1 5に記載のガス放電発光装置の製造方法。

2 0 前記封着工程においては、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態で封着することを特徴とする請求の範囲 1 6に記載のガス放電発光装置の製造方法。

2 1 第一基板と、蛍光体が配された第二基板とを、内部空間が形成され，かつ、当該内部空間に蛍光体が臨むように重ね合わせた状態で封着する封着工程と、前記内部空間を真空排気する真空排気工程とを有するガス放電発光装置の製造方法であって、

前記封着工程は、ガス放電発光装置構成要素をピーク温度まで加熱後の温度降下時に、前記内部空間に予め規定された量の水蒸気を導入する水蒸気導入工程を備えることをガス放電発光装置の製造方法。

2 2 前記水蒸気導入工程における水蒸気の導入は、 3 5 0 °C以下、 1 0 0 °C以上の温度に降下時に行なうことを特徴とする請求の範囲 2 1 に記載のガス放電発光装置の製造方法。 2 3 前記水蒸気導入工程で導入する水蒸気の量は、内部空間において常温での水蒸気分圧が 1 . 3 kPa ( 1 O Torr) 以上となるよう調整されていることを特徴とする請求の範囲 2 1又は 2 2に記載のガス放電発光装置の製造方法。 2 4 前記水蒸気導入工程は、ガス媒体に水蒸気を含有させて水蒸気を導入することを特徴とする請求の範囲 2 1又は 2 2に記載のガス放電発光装置の製造方法。 2 5 前記水蒸気導入工程は、ガス媒体に水蒸気を含有させて水蒸気を導入することを特徴とする請求の範囲 2 3に記載のガス放電発光装置の製造方法。 2 6 前記封着工程は、少なくともピーク温度に加熱するまでは、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態にて封着を行なうことを特徴とする請求の範囲 2 1又は 2 2に記載のガス放電発光装置の製造方法。

2 7 前記封着工程は、少なくともピーク温度に加熱するまでは、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態にて封着を行なうこどを特徴とする請求の範囲 2 3に記載のガス放電発光装置の製造方法。

2 8 前記封着工程は、少なくともピーク温度に加熱するまでは、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態にて封着を行なうことを特徴とする請求の範囲 2 4に記載のガス放電発光装置の製造方法。

2 9 前記封着工程は、少なくともピーク温度に加熱するまでは、蛍光体に乾燥ガスを接触させた状態にて封着を行なうことを特徴とする請求の範囲 2 5に記載のガス放電発光装置の製造方法。