WO2001006560A1

WO2001006560A1 - Dispositif d'ouverture/fermeture pour un couvercle d'ouverture/fermeture de boite de stockage d'objet non traite et systeme de traitement d'objet non traite

Info

Publication number: WO2001006560A1
Application number: PCT/JP2000/004701
Authority: WO
Inventors: Kazunari Sakata; Tamotsu Tanifuji; Masahiro Ogawa
Original assignee: Tokyo Electron Limited
Priority date: 1999-07-14
Filing date: 2000-07-13
Publication date: 2001-01-25
Also published as: EP1195807B1; EP1195807A1; US6419482B1; TW503474B; JP3635061B2; EP1195807A4; KR100403663B1; DE60043699D1; KR20020015305A

Description

被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び被処理体の処理技術分野

本発明は、被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び被処理体の処理システムに係わり、特に、半導体ウェハ等の被処理体を気密状態で収容する被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及びそのような開閉装置を用いた処理システムに関する。

背景技術

一般に、 I Cや L S Iの半導体集積回路を製造するには、半導体ウェハに対して成膜処理、酸化拡散処理、エッチング処理等が繰り返し行なわれる。これらの処理は別々の処理装置により行われるため、処理装置間で半導体ウェハを搬送する必要がある。半導体ウェハを搬送する際、歩留りを維持するために、半導体ゥェハの表面への異物の付着や、自然酸化膜の形成を防止する必要がある。このため、半導体ウェハは被処理体収容ポックスに収容されて搬送される。

図 1及び図 2に示すように、被処理体収容ボックス 2は、一側面に開口部 4として形成されて、他側面が半円状に形成されたボックス容器 6を有している。ボックス容器 6の内壁面には複数の支持突起 8が設けられ、半導体ウェハ Wの周縁部を支持するようになっている。半導体ウェハ Wは、支持突起 8に支持された状態で垂直方向に等間隔で多段に収容される。

通常は、 1つのボックス 2内に 2 5枚又は 1 3枚のウェハ Wが収容可能である。ボックス容器 6の開口部 4には、四角形の中空板よりなる開閉蓋 1 0が取り付けられる。開閉蓋 1 0は、ボックス容器の開口部 4に取り付けられた状態で、ポックス容器 6内をある程度の気密状態に保持することができ、それにより、収容されたウェハ Wが外気に触れないようにしている。

開閉蓋 1 0には、 2つのロック機構 1 2が設けられており、ロック機構 1 2を操作することにより開閉蓋 1 0をボックス容器 6に固定することができる。また、ロック機構 1 2を解除することにより、開閉蓋 1 0を開口部 4から離脱できるようになつている。具体的には、このロック機構 1 2は、図 3 A〜図 5にも示すように、開閉蓋 1 0の高さ方向の略中央に、軸受 1 4を介して回転可能に取り付けられたロック板 1 6を有している。ロック板 1 6には、後述する力ギ部材と嵌合する細長い凹部状のカギ溝 1 8が形成されている。ロック板 1 6の前方は、口ック時のカギ溝 1 8の位置（図 3 A参照）と対応する位置にカギ挿通孔 2 0を有するロック板被い部材 2 2により被われている。

ロック板 1 6には、図 3 A， 3 B及び図 4にも示すように、円弧運動を直線運動に変換するクランク機構を形成するようにアーム 2 3が係合している。アーム 2 3は上下方向に延在しており、各々のアーム 2 3の先端にはピン 2 4が接続されている。すなわち、ロック板 1 6を正逆 9 0度回転させることにより、各々のピン 2 4はそれぞれ上下方向へ移動される。

各々のピン 2 4の先端は、ロック時には図 2に示すように開口部 4を画成する上縁部及び下縁部のピン穴 2 8 (図 2では下縁部のみ示す）に挿入され、開閉蓋 1 0が開口部 4から外れないようになつている。なお、ピン 2 4は、中空状の開閉蓋 1 0内を上下に貫くようにして設けられる。従って、図 4或いは図 5に示すように、カギ溝 1 8に力ギ部材 2 6を嵌合し、図 3 Aに示すロック状態からカギ部材 2 6を 9 0度回転させることにより、図 3 Bに示すようにピン 2 4を後退させてピン穴 2 8 (図 2参照）から抜き、アンロック状態とするようになつている。

収容ボックス 2は、一般的には、収容ボックスの自動搬送機構やこれを一時的に収容するストック領域等を備えた処理システム内で自動的に搬送される。また、力ギ部材 2 6もこれを有する自動機器によって操作され、上述のような手順で収容ボックス 2の開閉蓋 1 0を自動的に脱着するようになっている。ところが、力ギ部材 2 6はカギ溝 1 8内に遊嵌されるため、力ギ部材 2 6とカギ溝 1 8との間には遊びがある。従って、開閉蓋 1 0をアンロックし、これを開口部 4から取り外してこの開閉蓋 1 0を力ギ部材 2 6で支持する際、図 6に示すように、カギ部材 2 6に対して開閉蓋 1 0自体が僅かに傾いたりして位置ずれを起こすことがある。従って、ウェハ処理が完了した後、再度開閉蓋 1 0を開口部 4に取り付けて収容ボックス 2を閉鎖する際、開閉蓋 1 0が位置ずれをおこしているために開口部 4に完全に装着することができなくなるといった問題があった。

このような問題を解決するため、開閉蓋 1 0に位置合わせ穴 3 0を設けて、これにカギ部材 2 6と略一体的に前進後退する位置合わせピン（図示せず）を挿入してこの位置合わせピンでも開閉蓋 1 0の荷重を分担して支持するようにしている。しかし、位置合わせピンの寸法も余裕を持たせて位置合わせ穴 3 0に遊嵌するように設定されているので、開閉蓋 1 0の位置ずれを完全に防ぐことができなレ^ そこで、開閉蓋 1 0を取り外した時の位置ずれを防止するために、力ギ部材 2 6と略一体的に前進後退する真空パッドを設け、この真空パッドにより開閉蓋 1 0の前面を真空吸着した状態で保持することにより、開閉蓋 1 0の位置ずれを防止することも行なわれている。しかし、この場合には真空パッド機構の追加により開閉蓋 1 0の開閉機構が複雑化するという問題があった。発明の開示

本発明は、上述の問題を解決した改良された有用な被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び処理システムを提供することを目的とする。

本発明のより具体的な目的は、開閉蓋を取り外した際に開閉蓋の位置ずれを防止することができる、被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び被処理体の処理システムを提供することにある。

上述の目的を達成するために、本発明の一つの実施形態によれば、被処理体を収容する収容ボックスの開口部を塞いで口ック機構によりロックされる開閉蓋を開閉する開閉装置であって、

ベース台と、

ベース台に対して回転可能且つベース台の前面に対して垂直方向に移動可能な状態で、ベアリング機構を介してベース台に取り付けられた力ギ部材と、力ギ部材を正逆両方向に回転させる力ギ部材回転機構と、

力ギ部材回転機構をベース台に対する前記垂直方向へ移動させる力ギ部材回転機構移動手段と、

ベース台を収容ボックスに対して水平方向に移動させる水平駆動手段と、ベース台を収容ボックスに対して垂直方向へ移動させる垂直駆動手段とを備えたことを特徴とする開閉装置が提供される。

上述の発明によれば、垂直駆動手段及び水平駆動手段をそれぞれ駆動させて、力ギ部材を開閉蓋のロック機構の例えば力ギ溝へ挿入し、力ギ部材回転機構により力ギ部材を回転してロック機構を解除する。次に、力ギ部材回転機構移動手段を駆動して力ギ部材のみを後退させることにより、ベース台の前面と力ギ部材との間で開閉蓋の一部を挟み込んでこれを保持する。そして、この状態で水平駆動手段を駆動してベース台を後退させることにより、開閉蓋を取り外す。開閉蓋は力ギ部材とベース台とによりは挟まれて保持されているため、開閉蓋がベース台に対して位置ずれを起こすことが防止される。

上述の開閉装置において、弾性部材をベース台の前面に設けることにより、開閉蓋の一部を力ギ部材と弾性部材とにより挟んで保持することとしてもよい。また、本発明の他の実施形態によれば、

被処理体を収容する収容ボックスの開口部を塞いでロック機構によりロックされる開閉蓋を開閉する開閉装置であって、

ベース台と、

ベース台に対して回転可能な状態で、ベアリング機構を介してベース台に取り付けられだ力ギ部材と、

力ギ部材を正逆両方向に回転させる力ギ部材回転機構と、

ベース台の前方に配置され、ベース台から離間する方向に弾発部材により付勢された補助台と、

上述の発明によれば、垂直駆動手段及び水平駆動手段をそれぞれ駆動させて、ガギ部材を開閉蓋のロック機構の例えばカギ溝へ挿入し、力ギ部材回転機構により力ギ部材を回転してロック機構を解除することができる。そして、力ギ部材を開閉蓋に向けて移動しすると、ベース台の前面に設けられた補助台が開閉蓋の前面に当接する。この際、補助台は弾発部材の弹発力により開閉蓋を押圧する。従つて、開閉蓋の一部が弾発部材の弾発力により補助台と力ギ部材との間に挟み込まれて保持された状態となる。そして、この状態で水平駆動手段を駆動してベース台を後退させることにより、開閉蓋を収容ボックスから取り外すことができる。開閉蓋は弹発部材の弾発力により力ギ部材と補助台との間に挟まれて保持されるため、開閉蓋が補助台すなわちベース台に対して位置ずれを起こすことが防止される。また、弾性部材を補助台の前面に設けることにより、開閉蓋の一部を力ギ部材と弾性部材とにより挟んで保持することとしてもよい。更に、弾発部材は、ベース台と補助台との間に設けられたコイルスプリングであることが好ましい上述の発明において、開閉蓋のロック機構を少なくとも 2個設け、ロック機構の数と同じ数の力ギ部材を設けることが好ましい。

また、力ギ部材回転機構は、直線運動を発生するエアシリンダと、直線運動を回転運動に変換するクランク機構とを有することとしてもよい。

代わりに、力ギ部材回転機構は、直線運動を発生するエアシリンダと、エアシリンダにより駆動されるベルトと、力ギ部材が取り付けられ、ベルトに係合して回転駆動されるプーリとを有することとしてもよい。これによれば、力ギ部材を一様なトルクで回転させることができ、力ギ部材が回転の途中で止まってしまうことを防止することができる。

また、本発明の更に別の実施形態によれば、上述の本発明による開閉装置を有する非処理体の処理システムが提供される。

本発明の他の目的、特徴及び利点は、添付の図面を参照しながら以下の詳細な説明を読むことにより一層明瞭となるであろう。図面の簡単な説明

図 1は被処理体収容ボックスを示す斜視図である。

図 2は被処理体収容ボックスの開閉蓋が開いた状態を示す斜視図である。図 3 A及び 3 Bは開閉蓋のロック機構を示す図である。

図 4力ギ部材によるロック機構の操作を説明するための斜視図である。

図 5はロック機構の主要部を示す断面図である。図 6は開閉蓋を外した時に開閉蓋が傾いて位置ずれを起こした状態の断面図である。

図 7は本発明の第 1実施例による処理システムを示す概略構成図である。図 8は図 7に示す処理システムの斜視図である。

図 9は本発明の第 1実施例による開閉装置を示す側面図である

図 1 0は本発明の第 1実施例による開閉装置を示す斜視図である。

図 1 1は本発明の第 1実施例による開閉装置の背面図である。

図 1 2 A, 1 2 B , 1 2 C , 1 2 Dは本発明の第 1実施例による開閉装置の開閉動作を説明するための図である。

図 1 3は本発明の第 2実施例による開閉装置を示す側面図である。

図 1 4は本発明の第 2実施例による開閉装置の斜視図である。

図 1 5は本発明の第 2実施例による開閉装置の背面図である

図 1 6は本発明の第 2実施例による開閉装置の動作状態を示す部分拡大断面図である。

図 1 7 A, 1 7 B , 1 7 C , 1 7 Dは本発明の第 2実施例による開閉装置の開閉動作を説明するための図である。

図 1 8は本発明の第 2実施例による開閉装置の変形例を示す断面図である。図 1 9は開閉装置の力ギ部材回転機構の他の例を示す斜視図である。発明を実施するための最良の実施の形態

以下に、本発明の第 1実施例による被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び被処理体の処理システムを図 7〜図 1 2を参照しながら説明する。図 7は本発明の第 1実施例による被処理体の処理システムを示す概略構成図である。図 8 は図 7に示す処理システムの概略斜視図である。図 9は本発明の第 1実施例による被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置を示す側面図である。図 1 0は図 9 に示す開閉装置の一部を示す斜視図である。図 1 1は図 1 0に示す開閉装置の一部の背面図であり。図 1 2は図 9に示す開閉装置の開閉動作を説明するための図である。

まず、図 7及び図 8を参照しながら被処理体の処理システムについて説明する。図示するように、被処理体の処理システム 3 2は、全体が例えばステンレス等よりなる筐体 3 4に囲まれている。処理システム 3 2の内部は、収容ボヅクス 2 を搬送するための収容ボックス搬送エリア 3 6と、被処理体である半導体ウェハ Wを搬送するウェハ搬送エリア 3 8とに、区画壁 4 0により 2分されている。処理システム 3 2は、収容ボックス 2をシステム 3 2内に対して搬入搬出させるための搬出入ポート 4 2と、収容ボックス 2を一時的に格納するためのストッカ部 4 4と、収容ボックス 2と被処理体ボート 4 6との間で半導体ウェハ Wを移載する移載ステージ 4 8と、被処理体ボ一ト 4 6に移載されて保持されている被処理体 Wに対して所定の処理を施す処理ュニット 5 0と、搬出入ポ一ト 4 2と移載ステージ 4 8の近傍に設けられた第 1及び第 2の開閉装置 5 2， 5 4とにより構成される。

搬出入ポート 4 2において、筐体 3 4にはボックス搬出入口 5 6が形成されており、搬出入口 5 6には開閉ドア 5 8が設けられている。また、このボックス搬出入口 5 6の内側には、外部より搬送されてきた収容ボックス 2をその上に載置するための第 1載置台 6 0が設置されている。また、このボックス搬出入口 5 6 の内側の直下には、収容ボックス 2の開閉蓋 1 0を一時的に開閉するために本発明の第 1実施例による第 1の開閉装置 5 2が設置されている。ここで収容ポックス 2の開閉蓋 1 0を一時的に外す理由は、収容ボックス 2内のウェハの枚数や載置位置を図示しないセンサにより検出するためである。この第 1の開閉装置 5 2 の構造については後述する。

また、収納ボックス搬送エリア 3 6内の上方には、上述のストッカ部 4 4が配置されている。ストッカ部 4 4は、本実施例においては 2列 4段に上記収容ポックス 2を一時的に載置する棚段 6 2が 2個並設されている。従って、ストッカ部 4 4には、全部で 1 6個（= 8 X 2 ) の収容ボックス 2を一時的に保管することができる。上記 2つの棚段 6 2間には、昇降エレべ一夕 6 4が設けられている。昇降エレべ一夕 6 4には、水平方向に延在した昇降口ッド 6 5が昇降可能に設けられると共に、昇降口ッド 6 5には旋回及び屈伸可能なボックス搬送アーム 6 6 が水平移動可能に設けられている。従って、このボックス搬送アーム 6 6を屈伸及び昇降させることにより、収容ボックス 2をボックス搬送アーム 6 6で保持し、搬出入ポート 4 2とスットカ部 4 4との間で搬送できるようになつている。また、上記移載ステージ 4 8において、両エリア 3 6， 3 8間を区画する区画壁 4 0には、収容ボックス 2の開口部 4 (図 2参照）と略同じ大きさの 2つの開口 6 8が形成されている。開口 6 8の収容ボックス搬送エリア 3 6側には、 2つの第 2載置台 7 0が水平に設けられており、この上に収容ボックス 2を載置できるようになっている。また、第 2載置台 7 0の一側には、この上に載置された収容ボックス 2を区画壁 4 0側へ押圧付勢するための水平ァクチユエ一夕 7 2が設けられている。水平ァクチユエ一夕 7 2は、収容ボックス 2の開閉蓋 1 0を開口 6 8に臨ませた状態で、ボックス容器 6の開口部 4の開口縁を区画壁 4 0の開口 6 8の開口縁に略機密な状態で押圧する。また、この開口 6 8には、これを開閉する開閉ドア 7 4が設けられている。

そして、この開口 6 8のウェハ搬送エリア 3 8内側の直下には、収容ボックス 2の開閉蓋 1 0を開閉するために本実施例による第 2の開閉装置 5 4が設置されている。第 2の開閉装置 5 4の構成については後述する。ウェハ搬送エリア 3 8 内には、ウェハポートの如き被処理体ボート 4 6を載置する 2つのポート載置台 7 4 (図 7では 1つのみ記す）が設けられている。ボート載置台 7 4と上記移載ステージ 4 8との間には、旋回及び屈伸可能なウェハ搬送アーム 7 6が設けられており、このウェハ搬送アーム 7 6は昇降エレベータ 7 8により上下動可能である。従って、このウェハ椴送アーム 7 6を屈伸 ·旋回及び昇降駆動することにより、第 2載置台 7 0上の収容ボックス 2とボート載置台 7 4上の被処理体ポート 4 6との間でウェハ Wの移載を行なうことができる。

被処理体ポート 4 6は、例えば石英よりなり、例えば 5 0〜 1 5 0枚程度のゥェハ Wを所定のピッチで多段に支持できるようになつている。また、ウェハ搬送エリア 3 8の一側面の上方には、石英製の円筒体状の処理容器 8 0を有する縦型熱処理炉よりなる処理ュニット 5 0が配置されている。処理ュニット 5 0は、一度に多数枚のウェハ Wに対して成膜や酸化拡散等の所定の熱処理を施すことがでさる。

処理容器 8 0の下方には、昇降エレベータ 8 2により昇降可能になされたキヤップ 8 4が配置されている。キャップ 8 4上に被処理体ポート 4 6を載置してこれを上昇させることにより、ボート 4 6を処理容器 8 0の下端開口部より処理容器 8 0内へロードできるようになつている。この時、処理容器 8 0の下端開口部は上記キャップ 8 4により気密に閉じられるようになつている。そして、降下されたキャップ 8 4と上記ポート載置台 7 4との間には、屈伸及び旋回可能になされたボート椴送アーム 8 6が設けられており、ボート載置台 8 6とキャップ 8 4 との間で被処理体ポート 4 6の移載が可能となっている。

次に、以上のように構成された処理システム 3 2の動作について説明する。まず、ウェハ搬送エリア 3 8内は、ウェハ表面への自然酸化膜の付着を防止するために不活性ガス、例えば N 2ガス雰囲気になされ、また、収容ボックス搬送エリァ 3 6内は、清浄空気の雰囲気に維持されている。外部より搬送されてきた収容ボックス 2は、開閉蓋 1 0が開閉ドア 5 8側に向けられた状態で搬出入ポート 4 2の第 1載置台 6 0上に載置される。そして、搬出入ポート 4 2の開閉ドア 5 8 を上方ヘスライドさせることにより、ボックス搬出入口 5 6を開く。

次に、第 1の開閉装置 5 2を駆動することにより、上記収容ボックス 2の開閉蓋 1 0を一時的に取り外し、そして、図示しないセンサを用いて収容ボックス 2 内に収容されているウェハの枚数や収容位置等を検出する。検出が終了したならば、再度、第 1の開閉装置 5 2を駆動して、取り外した開閉蓋 1 0を再度収容ポックス 2へ装着する。この時、後述するように、開閉蓋 1 0に位置ずれを生ずることなく精度良く収容ボックス 2へ再装着することができる。

次に、ボックス搬送アーム 6 6を駆動することにより、搬出入ポート 4 2に設置されている収容ボックス 2をボックス搬送アーム 6 6により保持する。更に、昇降エレべ一夕 6 4を駆動することによって、収容ボックス 2をストッカ部 4 4 の棚段 6 2の所定位置まで搬送する。収容ボックス 2はこの位置において一時的に保管される。これと同時に、すでに棚段 6 2に一時保管されており、処理対象となったウェハを収容する収容ボックス 2を、ボックス搬送アーム 6 6により取りに行く。そして、上述のように昇降エレべ一夕 6 4を駆動してボックス搬送ァーム 6 6を降下させて、収容ボックス 2を移載ステージ 4 8の第 2載置台 7 0上に移載する。この時、収容ボックス 2の開閉蓋 1 0は、区画壁 4 0に設けた開閉ドア 7 4側に向けられており、しかも、第 2載置台 7 0の一側面に設けられた水平ァクチユエ一夕 7 2により、収容ボックス 2は押圧付勢されて第 2載置台 7 0 上にて固定されている。

この状態で開閉ドア 7 4をスライド移動することにより、開口 6 8が開かれる。ここで、収容ボックス 2の開口部の周縁部は、区画壁 4 0に押圧されて密接状態となつているので、開口 6 8を介して両エリア 3 6 , 3 8間で気体が流通することはない。そして、第 2の開閉装置 5 4を駆動することにより、収容ボックス 2に設けた開閉蓋 1 0を取り外す。更に、ウェハ搬送アーム 7 6及び昇降エレべ一夕 7 8を駆動することにより、収容ボックス 2内に収容されていたウェハ Wを一枚ずつ取り出し、これをポート載置台 7 4上に設置されている被処理体ボート 4 6に移載する。

被処理体ポート 4 6へのウェハ Wの移載が完了したならば、次にボート搬送ァ —ム 8 6を駆動して、ボート載置台 7 4上の被処理体ポート 4 6を、最下端に位置しているキャップ 8 4上に載置する。そして、被処理体ポート 4 6の移載が完了したならば、昇降エレベータ 8 2を駆動させて、被処理体ポート 4 6の載置されたキャップ 8 4を上昇させ、このポート 4 6を処理ユニット 5 0の処理容器 8 0の下端開口部より処理容器 8 0内へ導入してロードする。そして、キャップ 8 4によって処理容器 8 0の下端開口部を密閉し、この状態で処理ュニット 5 0内でウェハ Wに対して所定の熱処理、例えば成膜処理や酸化拡散処理等を行なう。所定の熱処理が終了したならば、前述した操作と逆の操作を行なって、処理済みのウェハ Wを取り出す。すなわち、被処理体ボート 4 6を処理容器 8 0内から降下させてアンロードし、更にこれをボート載置台 7 4上に移載する。そして、ウェハ搬送アーム 7 6を用いて処理済みのウェハ Wをポート 4 6から第 2載置台 7 0上の収容ボックス 2内に移載する。収容ボックス 2内への処理済みウェハ W の移載が完了したならば、第 2の開閉装置 5 4を駆動して、開閉蓋 1 0を再度収容ボックス 2へ装着する。この時、後述するように、位置ずれを生ずることなく精度良く開閉蓋 1 0を収容ボックス 2へ再装着することができる。

次に、開閉ドア 7 4を閉じて、両エリア 3 6 , 3 8間を気密に仕切ったならば、ボックス搬送アーム 6 6を駆動し、収容ボックス 2を一時的にストッカ部 4 4 へ保管し、或いは保管することなくボックス搬出入口 5 6を介して搬出入ポート 4 2の第 1載置台 6 0上に移載し、処理システム 3 2外へ搬送することになる。尚、上記した収容ボックス 2の流れは単に一例を示したものであり、これに限定されものではない。

次に、搬出入ポート 4 2の近傍に設けられる第 1の開閉装置 5 2について図 9 乃至図 1 2 Dを参照しながら説明する。図 9は第 1の開閉装置 5 2を示す側面図である。開閉装置 5 2は、板状のベース台 9 0と、このべ一ス台 9 0に対して回転及びスライド可能とするベアリング機構 9 2 (図 1 0参照）を介して設けられた力ギ部材 2 6と、力ギ部材 2 6を正逆回転させる力ギ部材回転機構 9 4と、回転機構 9 4をベース台 9 0に対してスライド方向へ接近離間させる力ギ部材回転機構移動手段 9 6と、開閉蓋 1 0を力ギ部材 2 6とベース台 9 0との間で挟み込んだ際に開閉付帯 1 0の滑りを防止するためにベース台 6 0の前面に設けられた弾性部材 9 8と、ベース台 9 0を水平方向へ移動させる水平駆動手段 9 9と、ベ —ス台 9 0を垂直（上下）方向へ駆動させる垂直駆動手段 1 0 0とにより構成されている。

水平駆動手段 9 9は、筐体 3 4の底部 3 4 Aに固定されている固定台 1 0 2に設けられたスライド型ァクチユエ一夕よりなる。水平駆動手段 9 9は、水平移動ロッド 1 0 4を水平方向に位置調整可能に前進後退する。ロッド 1 0 4の先端には、垂直駆動手段 1 0 0が固定された取付台 1 0 6が固定されている。また、取付台 1 0 6には、水平移動口ッド 1 0 4と平行になるように案内口ッド 1 0 8が取り付けられている。案内ロッド 1 0 8の先端は、固定台 1 0 2に設けられた案内溝 1 1 0内に挿入されており、取付台 1 0 6の移動時に取付台 1 0 6を案内する。

また、垂直駆動手段 1 0 0も例えばスライド型のァクチユエ一夕よりなり、垂直移動口ッド 1 1 2は上下方向へ移動可能である。垂直移動口ッド 1 1 2の先端には、ベース台 9 0が取り付けられている。ベース台 9 0には、細長い直方体状の力ギ部材 2 6の基部を構成する主動作ロッド 1 1 4がべァリング機構 9 2を介してべ一ス台 9 0を貫通した状態で設けられている。

力ギ部材 2 6は、図 1 0に示すように、水平方向に所定の距離だけ隔てて 2個設けられる。ベアリング機構 9 2は、図 1 2A乃至 1 2 Dに示すように、主動作ロッド 1 1 4に取り付けられて、この主動作ロッド 1 1 4の軸方向に沿ってスラィド可能とするスライド軸受 1 1 6と、スライド軸受 1 1 6の外側に取り付けられた回転軸受 1 1 8とにより構成されている。これにより、主動作ロッド 1 1 4 はベース台 9 0に対してスライドと回転が可能になされている。

主動作ロッド 1 0 4の貫通部を囲むようにして、ベース台 9 0の前面側に例えばリング状のシリコンゴムよりなる弾性部材 9 8が取り付けられている。また、ベース台 9 0の前面側には、ベース台 9 0力収容ボックス 2の開閉蓋 1 0に近接した時に、検出信号を出力する検出スィッチ 1 2 0や、先端が例えば円錐状になされた 2個の位置合わせピン 1 2 2が前方へ突出した状態で設けられている。位置合わせピン 1 2 2は、図 1に示す開閉蓋 1 0の位置合わせ穴 3 0へ挿入され、これによりベース台 9 0と開閉蓋 1 0との位置合わせが行われる。

主動作口ッド 1 1 4の基端は、補助板 1 2 4に回転軸受 1 2 6を介して貫通するようにして設けられる。また、力ギ部材回転機構移動手段 9 6は、補助板 1 2 4を水平方向へ駆動するスライド型ァクチユエ一夕よりなる。補助板 1 2 4は、スライド型ァクチユエ一夕のロッド 1 2 8の先端に取り付けられている。

補助板 1 2 4のベース 9 0の反対側には、上述の力ギ部材回転機構 9 4が取り付けられている。力ギ部材回転機構 9 4は、水平方向に移動可能になされたロッド 1 3 0を備えたエアシリンダ 1 3 2を有している。ロッド 1 3 0の先端には、案内レール 1 3 4に沿って移動可能になされた移動体 3 6が取り付けられている。移動体 1 3 6の下部の両端からは、それぞれ回動ピン 1 3 8を介して揺動可能に取り付けられた 2本の水平ロッド 1 4 0が反対方向へ延在している。各水平口ッド 1 4 0の両端には、同じく回動ピン 1 4 2を介して揺動可能に取り付けられた 2本の作動ロッド 1 4 4が設けられている。これら 2本の作動ロッド 1 4 4の端部は、補助板 1 2 4を回転可能に貫通した状態で設けられた主動作ロッド 1 1 4の基端部に固定されている。従って、図 1 1に実線と仮想線で示すように、ェァシリンダ 1 3 2を駆動してロッド 1 3 0を前進後退させることにより、両主動作ロッド 1 1 4は、共に同じ方向へ略 9 0度正逆回転できるように構成されている。

次に、以上のように構成された第 1の開閉装置 5 2の動作について図 1 2 Α乃至 1 2 Dも参照して説明する。尚、図 1 2 A乃至 1 2 Dでは主要部のみ記載しており、ロック板 1 6に接続されているアーム 2 3 (図 1 5参照）等は省略されている。

前述したように、第 1の開閉装置 5 2は、搬出入ポート 4 2 (図 7参照）に載置された収容ボックス 2の開閉蓋 1 0を開閉するためのものである。まず、固定台 1 0 2に設けた水平駆動手段 9 9及び取付台 1 0 6に設けた垂直駆動手段 1 0 0を適宜駆動して、ベース台 9 0を開閉蓋 1 0に接近させる。そして、ベース台 9 0の前面に設けられた 2つの位置合わせピン 1 2 2を、開閉蓋 1 0の 2つの位置合わせ穴 3 0にそれぞれ挿入してベース台 9 0の位置合わせを行なう。この時の状態は、図 1 2 Aに示されており、ロック板 1 6 (図 5も参照）に形成されているカギ溝 1 8はその長手方向が水平方向とされており、また、これに対応して直方体状の力ギ部材 2 6もその長手方向が水平方向とされている。

この状態で水平駆動手段 9 9を駆動することにより、更にベース台 9 0を前進させて、図 1 2 Bに示すように、力ギ部材 2 6をロック板 1 6に形成されているカギ溝 1 8に挿入する。この時、ベース台 9 0の前面に設けられているリング状の弾性部材 9 8がロック板被い部材 2 2の前面と当接することになる。この状態で、力ギ部材回転機構 9 4のエアシリンダ 1 3 2 (図 1 1参照）を駆動して、口ッド 1 3 0を開方向へ移動させる。これにより、主動作口ッド 1 1 4の基板部に固定されている作動ロッド 1 4 4は開方向へ略 9 0度回転する。これと同時に、主動作ロッド 1 1 4も図 1 2 Cに示すように 9 0度回転するので、カギ溝 1 8に挿入されている力ギ部材 2 6も回転して、ロック板 1 6が 9 0度回転される。この結果、図 1 5を参照して説明したように、ロック機構 1 2のピン 2 4が引き込まれ、開閉蓋 1 0のロックが解除される。

この状態で、図 1 0に示す力ギ部材回転機構移動手段 9 6を駆動することにより、ピストンロッド 1 2 8を僅かに延出する。これにより、補助板 1 2 4及びこれに一体的に取り付け固定されている力ギ部材回転機構 9 4がベース台 9 0から遠ざかるように移動する。結果として、図 1 2 Dに示すように、ベース台 9 0は移動することなく、主動作ロッド 1 1 4のみが僅かに後退する。この時、カギ部材 2 6とベース台 9 0の前面に設けた弾性部材 9 8との間で、開閉蓋 1 0の一部であるロック板被い部材 2 2を強固に弾性的に挟み込むことになる。なお、本実施例では、弾性部材 9 8はシリコンゴムのような弾性変形可能な部材により形成されているが、弾性変形が主な機能ではない。すなわち、弾性部材 9 8を設ける目的は、開閉蓋 1 0が力ギ部材 2 6とベース台 9 0との間に挟み込まれた際に、開閉蓋 1 0が動かないようにすベり止めの機能を提供することである。したがつて、弾性部材 9 8は開閉蓋 1 0に対して大きな摩擦係数を有する材料で形成される。また、ベース台 9 0自体が開閉蓋 1 0に対して大きな摩擦係数を有しており、開閉蓋 1 0が位置ずれを起こさないのであれば、弾性部材 9 8を設ける必要はない。

上述のようにロック板被い部材 2 2を挟み込んだ状態で、水平駆動手段 9 9を駆動してこの出没ロッド 1 0 4を後退させることにより、ベース台 9 0及び補助板 1 2 4がー体的に後退する。これにより、開閉蓋 1 0は、収容ボックス 2から外れることになる。そして、垂直駆動手段 1 0 0を駆動して開閉蓋 1 0を垂直下方へ移動してセンサによる検知操作の障害とならない位置としておく。この際、上述のように、開閉蓋 1 0の一部であるロック板被い部材 2 2は力ギ部材 2 6と弾性部材 9 8との間、強固に固定されて保持されているので、開閉蓋 1 0が位置ずれを起こすこともない。従って、前述した操作と逆の操作を行なって、開閉蓋 1 0を収容ボックス 2に再度装着する際に、開閉蓋 1 0を位置ずれなく、円滑に、且つ精度良く再装着することができる。尚、開閉蓋 1 0をロックするためには、上記ロック板 1 6を前述した方向とは逆方向へ 9 0度回転させればよい。次に、本発明の第 2実施例による開閉装置について図 1 3乃至図 1 8 Dを参照ながら説明する。本発明の第 2実施例による開閉装置は、移動ステージ 4 8の近傍に設けられる第 2の開閉装置 5 4に相当する。図 1 3は台 2の開閉装置 5 4の側面図であり、図 1 4は第 2の開閉装置 5 4の一部を示す斜視図である。また、図 1 5は第 2の開閉装置 5 4の一部を示す背面図である。図 1 6は第 2の開閉装置 5 4の動作状態を示す断面図である。また、図 1 8 A乃至 1 8 Dは第 2の開閉装置 5 4の開閉動作を説明するための図である。尚、図 1 3乃至図 1 8 Dにおいて、上述の第 1の開閉装置 5 2と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。移載ステージ 4 8では、収容ボックス 2が第 2載置台 7 0上にて水平ァクチュエー夕 7 2 (図 7参照）により固定されている。この点を考慮すると、第 2の開閉装置 5 4の構成は、第 1の開閉装置 5 2と比較して簡単化される。

図 1 3に示すように、第 2の開閉装置 5 4は、板状のベース台 9 0と、ベース台 9 0に対して回転のみ可能な（スライドしないような）ベアリング機構 1 5 0 (図 1 4参照）を介して設けられた力ギ部材 2 6と、力ギ部材 2 6を正逆回転させる力ギ部材回転機構 9 4と、ベース台 9 0の前方においてべ一ス部材 9 0から離間するように弾発部材 1 5 2により付勢された補助台 1 5 4と、開閉蓋 1 0の一部を力ギ部材 2 6との間で挟み込むために補助台 1 5 4の前面に設けられた弾性部材 9 8と、ベース台 9 0を水平方向へ移動させる水平駆動手段 9 9と、ベース台 9 0を垂直（上下）方向へ駆動する垂直駆動手段 1 0 0とにより構成されている。

具体的には、水平駆動手段 9 8は、垂直駆動手段 1 0 0及びベース台 9 0は、第 1の開閉装置 5 2の構成と同じである。ただし、主動作ロッド 1 1 4を支持するベアリング機構 1 5 0は、主動作口ッド 1 1 4の回転のみを許容すればよいので、図 1 7に示すように回転軸受 1 1 8のみよりなり、スライド軸受 1 1 6は設けられていない。そして、ベース台 9 0の裏面側に、図 1 5に示すようにカギ部材回転機構 9 4が設けられている。力ギ部材回転機構 9 4は、ベース台 9 0に設けられていることを除いて、図 5を参照して説明したものと同様の構成である。第 2の開閉装置 5 4において、ベース台 9 0の前方において、ベース台 9 0と直方体状の力ギ部材 2 6との間に、リング状の補助台 1 5 4が設けられている。すなわち、リング状の補助台 1 5 4の中心部には、上記主動作ロッド 1 1 4を揷通させており、そして、この補助台 1 5 4とベース台 9 0の前面との間に、コィルスプリングよりなる弾発部材 1 5 2を設けて、補助台 1 5 4を常に前方へ付勢している。補助台 1 5 4の中心開口部の直径は、直方体状の力ギ部材 2 6の長さよりも小さく設定されており、力ギ部材 2 6よりも前方へ補助台 1 5 4が飛び出ないようになっている。そして、補助台 1 5 4の前面に、リング状の弾性部材 9 8が設けられている。

次に、以上のように構成された第 2の開閉装置 5 4の動作について図 1 7 A乃至 1 7 Dも参照して説明する。尚、図 1 7 A乃至 1 7 Dでは主要部のみ記載しており、ロック板 1 6に接続されているアーム 2 3 (図 3 A, 3 B参照）等の図示は省略している。

前述したように、第 2の開閉装置 5 4は、移載ステージ 4 8 (図 7参照）に載置された収容ボックス 2の開閉蓋 1 0を開閉するためのものである。まず、第 1 の開閉装置 5 2の場合と同様に水平駆動手段 9 9及び垂直駆動手段 1 0 0を適宜駆動して、ベース台 9 0を開閉蓋 1 0に接近させる。そして、ベース台 9 0の前面に設けてある 2つの位置合わせピン 1 2 2を、開閉蓋 1 0の 2つの位置合わせ穴 3 0にそれぞれ揷入してベース台 9 0の位置合わせを行なう。この時の状態は、図 1 7 Aに示すように、ロック板 1 6 (図 1 6も参照）に形成されているカギ溝 1 8の長手方向は水平方向とされ、また、これに対応して直方体状の力ギ部材 2 6の長手方向も水平方向とされている。

この状態で水平駆動手段 9 9を駆動することにより、更にベース台 9 0を前進させて、図 1 7 Bに示すように、力ギ部材 2 6をロック板 1 6に形成されているカギ溝 1 8に少しずつ揷入する。この際、補助台 1 5 4の前面に設けられているリング状の弾性部材 9 8がロック板被い部材 2 2の前面と当接する。更に、ベース台 9 0を弾発部材 1 5 2の弾発力に杭して更に前進させると、弾発部材 1 5 2 は縮まった状態となり、力ギ部材 1 6はカギ溝 1 8に完全に挿入された状態となる。尚、この際、収容ボックス 2は強く後方へ押されることになるが、この収容ボックス 2は水平ァクチユエ一夕 7 2 (図 7参照）で第 2載置台 7 0上に固定されているので、収容ボックス 2が反動で動くことはない。

この状態で、力ギ部材回転機構 9 4のエアシリンダ 1 3 2 (図 1 5参照）を駆動して、ロッド 1 3 0を開方向へ移動させる。すると、主動作ロッド 1 1 4の基板部に固定されている作動ロッド 1 4 4は開方向へ略 9 0度回転し、これと同時に、主動作ロッド 1 1 4も図 1 7 Cに示すように 9 0度回転する。これにより、カギ溝 1 8に挿入されている力ギ部材 2 6も回転して、ロック板 1 6を 9 0度回転させるとになる。この結果、図 3 A及び 3 Bを参照して説明したように、ロック機構 1 2のピン 2 4が引き込まれ、開閉蓋 1 0のロックが解除される。

次に、この状態で、水平駆動手段 9 9を駆動して出没口ッド 1 0 4を後退させることにより、ベース台 9 0を後退させる。この時、力ギ部材 2 6と補助台 1 5 4の前面に設けられた弾性部材 9 8との間で、開閉蓋 1 0の一部であるロック板被い部材 2 2は、図 1 7 Dに示すように弹発部材 1 5 2の弾性復元力により強固に、且つ弾性的に挟み込まれることになる。

ロック板被い部材 2 2を挟み込んだ状態で、水平駆動手段 9 9を更に駆動してベース台 9 0を更に後退させることにより、開閉蓋 1 0は収容ボックス 2から外れることになる。そして、垂直駆動手段 1 0 0を駆動して開閉蓋 1 0を下方向へ降下させてウェハ Wの搬入搬出操作の障害とならないように配置しておく。この際、上述のように、開閉蓋 1 0の一部であるロック板被い部材 2 2は力ギ部材 2 6と弾性部材 9 8との間で、弾発部材 1 5 2の弾発力により強固に固定されて保持されているので、開閉蓋 1 0力位置ずれを起こすことはない。従って、前述した操作と逆の操作を行なって、開閉蓋 1 0を収容ボックス 2に再度装着する際に、開閉蓋 1 0の位置ずれがなく、円滑に、且つ精度良く再装着することが可能となる。尚、開閉蓋 1 0をロックするためには、ロック板 1 6を前述した方向とは逆方向へ 9 0度回転させればよい。また、この場合には、第 1の開閉装置 5 2において設けられていた補助板 1 2 4や力ギ部材回転機構移動手段 9 6を設ける必要がないので、その分、構造を簡単化することができる。

第 2の開閉装置 5 4の変形例として、図 1 8に示すように構成してもよい。この変形例では、補助台 1 5 4の基部に、主動作ロッド 1 1 4が貫通した状態で設けられる。そして、主動作ロッド 1 1 4に摺動するように円筒状の摺動部材 1 6 0を一体的に設け、摺動部材 1 6 0の基端にその直径を大きくした拡大部 1 6 0 Aを形成する。そして、摺動部材 1 6 0の拡大部 1 6 O Aを囲み込み、且つ、この摺動移動を一定のストローク内で許容するように円商体状のストッパ部材 1 6

2をべ一ス台 9 0に固定して設ける。そして、弾発部材 1 5 2をこのストツバ部材 1 6 2内に嵌装させるようにして設け、上記拡大部 1 6 O Aを常時前方へ付勢する。また、ストツバ部材 1 6 2と補助部材 1 6 0との摺動面及び補助部材 1 6 0と主動作ロッド 1 1 4の接触面に、それぞれ 0リング等のシール部材 1 6 6 , 1 6 8を介在させて、ウェハ搬送エリア 3 8と収容ボックス搬送エリア 3 6内との間での雰囲気の流通を確実に防止する構成としてもよい。この変形例の場合には、補助台 1 5 4の摺動移動が、ストツバ部材 1 6 2により案内されるので、補助台 1 5 4の動作を安定させることができる。また、カギ部材 2 6と補助台 1 5 4とが接触することもないので、塵埃（パーティクル）が発生することも防止することができる。

次に、上述の第 1及び第 2の開閉装置 5 2， 5 4に用いられている力ギ部材回転機構 9 4の他の例について、図 1 9を参照しながら説明する。図 1 9は上述の第 1及び第 2の開閉装置 5 2 , 5 4に設けられた力ギ部材回転機構 9 4の他の例を示す斜視図である。

図 1 9に示す力ギ部材回転機構 1 6 0は、上述の第 1及び第 2の開閉装置の力ギ部材回転機構 9 4の代わりにべ一ス材 9 0に設けられる。上述の力ギ部材回転機構 9 4は、図 1 1及び図 1 5に詳細に示すように、クランク機構により往復運動を回転運動に変換している。すなわち、水平ロッド 1 4 0の一端を直線移動することにより、水平口ッド 1 4 0の他端に回動可能に係合した作動口ッド 1 4 4 を介して主動作ロッド 1 1 4を回動している。

このようなクランク機構では、主動作ロッド 1 4 4の回動の中間点、すなわち図 1 1に示す作動ロッド 1 4 4の長手方向が上下方向となった状態において、主動作ロッド 1 4 4に作用する力が最も小さくなる。したがって、このようなクランク機構により発生する力ギ部材 2 6の回転機構では、力ギ部材 2 6の回転の途中で回転力が弱くなり、力ギ部材 2 6が滑らかに回転しなくなるおそれがある。そこで、図 1 9に示す力ギ部材回転機構 1 6 0は、エアシリンダにより発生する往復運動をベルトとプーリとにより回転運動に変換することにより、力ギ部材 2 6がどの回転位置にあっても一様な回転力が得られるようになつている。すなわち、 2つの力ギ部材 2 6を支持する主動作ロッド 1 4 4は各々対応するプーリ 1 6 2の中心に固定されている。プーリ 1 6 2はべ一ス台 9 0に回転可能に設けられており、両方のプーリ 1 6 2はループ状のタイミングベルト 1 6 4に係合している。タイミングベルト 1 6 4は、プーリ 1 6 2との間でスベリが生じにくレように、例えば波付きタイミングベルトにより構成される。

夕イミングベルト 1 6 4の両プ一リ 1 6 2の間には、移動部材 1 6 6が固定されている。移動部材 1 6 6はエアシリンダ 1 6 8の駆動軸 1 6 8 aに接続されており、駆動軸 1 6 8 aを駆動することにより、移動部材 1 6 6を直線移動することができる。移動部材 1 6 6が直線移動することにより、タイミングベルト 1 6 4が駆動され、結果としてタイミングベルトが係合した両プーリ 1 6 2が回転する。このプーリ 1 6 2の回転により力ギ部材 2 6が回転する。

上述のようなチミングベルトとプーリによる回転機構では、タイミングベルト 1 6 4がー様な力で直線運動すると、プーリ 1 6 2も一様な力で回転する。すなわち、プーリ 1 6 2のトルクが変化しないため、力ギ部材 2 6も一様な回転力で滑らかに回転することができる。したがって、力ギ部材 2 6が回転の途中で止まつてしまって、開閉蓋 1 0の開閉ができなくなるといった不具合を防止することができる。また、プーリ 1 2 6の直径を変えることにより、力ギ部材 2 6のトルクを容易に変更することができる。

また、移動部材 1 6 6の移動方向の両側にスットパ 1 7 0を設けることにより、タイミングベルトの移動量を規制することができ、これによりプーリ 1 6 2すなわち力ギ部材 2 6の回転範囲を規制することができる。

尚、図 1 9に示す例では、エアシリンダ 1 6 8及び移動部材 1 6 6を夫々 2個設けて、夕イミングベルト 1 6 4の上側及び下側の両方でタイミングベルトを駆動する構成となっている。このように、エアシリンダ 1 6 8を 2個設ける構成は、一つのエアシリンダ 1 6 8の直径を小さくするためである。したがって、エアシリンダを設ける空間に制約がなく、大きい直径のエアシリンダを設けることができる場合、あるいは、エアシリンダに供給する空気圧を十分に高くできる場合は、タイミングベルト 1 6 4の上側又は下側のいずれか一方のみにエアシリンダを設けることとしてもよい。

上述の実施例において、図 7に示す構成では、第 1の開閉装置 5 2を搬出入ポ —ト 4 2に設け、第 2の開閉装置 5 4を移動ステージ 4 8に設けるようにしたが、第 1の開閉装置 5 2を移動ステージ 4 8に設け、第 2の開閉装置 5 4を搬出ポート 4 2に設けることとしてもよい。或いは、搬出入ポート 4 2及び移動ステ一ジの両方に同じ種類の開閉装置を設けることもできる。ただし、第 2の開閉装置 5 4を用いる場合には、収容ボックス 2を設置する載置台には必ず水平ァクチュエー夕 7 2のような固定治具を設けるようにする。また、本実施例では、被処理体として半導体ウェハを用いる場合を例にとって説明したが、これに限定されず、 L C D基板やガラス基板等を処理する場合にも本発明を適用することができる。

以上説明したように、本発明の被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び被処理体の処理システムによれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。すなわち、被処理体を収容する被処理体収容ボックスの開閉蓋を開閉する際に、開閉蓋を外した時に、これを強固に保持することができるので、開閉蓋の位置ずれを防止することができる。従って、開閉蓋を再装着する際に、開閉蓋を精度良く、且つ円滑に装着することができる。また、開閉蓋の回転カギが位置する近傍で開閉蓋の一部を保持するようにしたので、開閉蓋自体に無理な力が加わることがない。

本出願は具体的に開示された実施例に限られず、本発明の範囲内で様々な変形例及び改良例がなされるであろう。

Claims

請求の範囲

1. 被処理体（W) を収容する収容ボックス（2) の開口部（4) を塞いで口ック機構（12) によりロックされる開閉蓋（10) を開閉する開閉装置（52 ) であって、

ベース台（90) と、

該ベース台（90) に対して回転可能且つ前記ベース台（90) の前面に対して垂直方向に移動可能な状態で、ベアリング機構（92) を介して前記ベース台 (90) に取り付けられた力ギ部材（26) と、

該カギ部材（26) を正逆両方向に回転させる力ギ部材回転機構（94、 16 0) と、

該カギ部材回転機構（94、 160) を前記ベース台（90) に対する前記垂直方向へ移動させる力ギ部材回転機構移動手段（96) と、

前記べ一ス台（90) を前記収容ボックス（2) に対して水平方向に移動させる水平駆動手段（99) と、

前記ベース台（90) を前記収容ボックス（2) に対して垂直方向へ移動させる垂直駆動手段（100) と

を備えたことを特徴とする開閉装置。 2. 請求の範囲第 1項記載の開閉装置であって

前記ベース台（90) の前面に設けられた弾性部材（98) を更に有し、前記開閉蓋（10) の一部を前記力ギ部材（26) と前記弾性部材（98) とにより挟んで保持することを特徴とする開閉装置。 3. 被処理体（W) を収容する収容ボックス（2) の開口部（4) を塞いで口ック機構（12) によりロックされる開閉蓋（10) を開閉する開閉装置（52 ) であって、

ベース台（90) と、

該ベース台（90) に対して回転可能な状態で、ベアリング機構（150) を介して前記ベース台（90) に取り付けられだ力ギ部材（26) と、該カギ部材（26) を正逆両方向に回転させる力ギ部材回転機構（94) と、前記ベース台（90) の前方に配置され、前記ベース台（90) から離間する方向に弾発部材（152) により付勢された補助台（1 54) と、

前記ベース台（90) を前記収容ボックス（2) に対して水平方向に移動させる水平駆動手段（99) と、

を備えたことを特徴とする開閉装置。

4. 請求の範囲第 3項記載の開閉装置であって、

前記補助台（154) の前面に設けられた弾性部材（98) を更に有し、前記開閉蓋（10) の一部を前記力ギ部材（26) と前記弾性部材（98) とにより挟んで保持することを特徴とする開閉装置。

5. 請求の範囲第 3項又は第 4項記載の開閉装置であって、

前記弾発部材（152) は、前記ベース台（90) と前記補助台（154) との間に設けられたコイルスプリングであることを特徴とする開閉装置。

6. 請求の範囲第 1項又は第 3項記載の開閉装置であって、

前記開閉蓋（10) のロック機構は少なくとも 2個設けられており、前記ロック機構の数と同じ数の力ギ部材（26) が設けられたことを特徴とする開閉装置

7. 請求の範囲第 1項又は第 3項記載の開閉装置であって、

前記力ギ部材回転機構（94) は、

直線運動を発生するエアシリンダ（132) と、

該直線運動を回転運動に変換するクランク機構（140， 144) とを有することを特徴とする開閉装置。

8. 請求の範囲第 1項又は第 3項記載の開閉装置であって、前記力ギ部材回転機構（94) は、

直線運動を発生するエアシリンダ（168) と、

該エアシリンダ（168) により駆動されるベルト（164) と、前記力ギ部材（26) 力取り付けられ、前記ベルト（164) に係合して回転駆動されるプーリ（162) と

を含むことを特徴とする開閉装置。

9. 収容ボックス（2) に収容して移送される被処理体（W) の処理： (32) であって、

前記収容ボックス（2) を該処理システム（32) に搬入又は該処理：

(32) から搬出するための搬出入ポート（42) と、

前記収容ボックス（2) を一時的に保管するためのストッカ部（44) と、前記被処理体（W) が収容された前記収容ボックス（2) を、前記ストッカ部

(44) と被処理体ボート（46) との間で移動するための移載ステージ（48 ) と、

前記処理体ポート（46) に保持された前記被処理体（W) に対して所定の処理を施す処理ユニット（50) と、

前記搬出入ポート（42) 及び/又は前記移載ステージ（48) の近傍に設けられた請求項 1又は 3記載の開閉装置（52， 54) と

を備えたことを特徴とする被処理体の処理システム。